KR101327658B1 - Flash lamp ignition apparatus for solid state laser and the control mathod - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의하면, 상용교류전원을 입력받아 고전압 펄스로 변화시켜 출력하는 제 1변압부; 상용교류전원을 입력받아 예비방전전원 및 아크방전전원으로 변화시켜 출력하는 제 2변압부; 상기 제 2변압부에 출력된 예비방전전원을 제공받아 예비방전전압을 생성하고 출력하여 플래시 램프의 점등상태를 유지시키는 예비방전부; 상기 제 2변압부에 출력된 아크방전전원을 제공받아 아크방전전압을 생성하고 출력하여 상기 플래시 램프를 방전시키는 아크방전부; 및 상기 제 1변압부, 상기 제 2변압부 및 상기 아크방전부에 제어신호를 출력하는 제어부;를 포함하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치를 제공한다.
본 발명을 통해 제작 또는 생산된 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치는 소형화 및 경량화에 유리하여 의료분야 및 소규모 용접 융착 분야 등 다양한 분야에 적용가능한 효과가 있다. According to the present invention, the first transformer unit for receiving a commercial AC power supply to change the high voltage pulse output; A second transformer unit which receives a commercial AC power and changes the pre-discharge power and the arc discharge power to output the power; A preliminary discharge unit configured to receive a preliminary discharge power output from the second transformer unit to generate and output a preliminary discharge voltage to maintain a lighting state of a flash lamp; An arc discharge unit configured to receive an arc discharge power output from the second transformer unit to generate and output an arc discharge voltage to discharge the flash lamp; And a control unit for outputting a control signal to the first transformer unit, the second transformer unit, and the arc discharge unit.
Flash lamp lighting device for a solid laser produced or produced through the present invention has an effect that can be applied to various fields, such as the medical field and small-scale welding fusion because it is advantageous in miniaturization and light weight.

Description

고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치 및 그 제어 방법{FLASH LAMP IGNITION APPARATUS FOR SOLID STATE LASER AND THE CONTROL MATHOD}FLASH LAMP IGNITION APPARATUS FOR SOLID STATE LASER AND THE CONTROL MATHOD}

본 발명은 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치 및 그 제어방법에 관한 것이다. 보다 상세하게 설명하면, 고주파스위칭을 이용해 임피던스 제어를 통한 플래시 램프의 예비방전상태를 유지하며, 동시에 대전류 고속스위치를 적용해 아크방전을 제어함으로써 플래시 램프 점등 장치 구조를 단순화시킬뿐만 아니라 크기를 소형화시킬수 있는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a flash lamp lighting device for a solid state laser and a control method thereof. In more detail, high frequency switching is used to maintain the pre-discharge state of the flash lamp through impedance control, and at the same time, by applying a large current high-speed switch to control the arc discharge, the structure of the flash lamp lighting device can be simplified as well as the size can be reduced. The present invention relates to a flash lamp lighting device for a solid state laser and a control method thereof.

고체 레이저 발생은 기본적으로 유도방출현상을 이용하여 광을 방출 및 증폭시키는 이득매질과, 상기 이득매질에 에너지를 전달하는 플래시 램프와, 상기 이득매질 양단에 반사율이 높은 2개의 평면거울을 서로 평행하게 위치시켜 광 증폭 현상을 유지시키는 공진기에 의해 이루어진다.Solid-state laser generation is basically parallel to a gain medium that emits and amplifies light using an induced emission phenomenon, a flash lamp which transfers energy to the gain medium, and two planar mirrors having high reflectivity at both ends of the gain medium. By a resonator for positioning and maintaining the optical amplification phenomenon.

플래시 램프의 에너지가 이득매질에 전달되면 바닥상태에 있던 이득매질의 원자가 들뜬 상태로 올라간다. 들뜬 상태의 원자는 유도방출현상에 의해 광을 방출하고 방출된 광은 공진기 사이를 왕복하면서 이득매질에 의해 증폭된다. 이득매질에 의해 증폭된 광의 세기가 문턱값(이득매질의 이득계수가 공진기의 소멸계수와 같아질 경우의 광의 세기)을 넘어서면 레이저가 발생하게 된다. When the energy of the flash lamp is transferred to the gain medium, the atoms of the gain medium in the ground state are excited. The excited atoms emit light by induced emission phenomena and the emitted light is amplified by the gain medium as it travels between resonators. The laser is generated when the intensity of light amplified by the gain medium exceeds the threshold (the intensity of light when the gain coefficient of the gain medium is equal to the extinction coefficient of the resonator).

상기 고체 레이저를 발생시키기 위해 많이 사용되는 방법은 플래시 램프(크세논(Xenon) 또는 크립톤(Krypton) 램프)에 대전류를 방전시킴으로써 발생되는 광에너지를 결정 또는 비정질 고체 물질인 이득매질(예를 들어 루비, Nd:Yag, 알렉산드라이트 등)에 조사하여 유도방출현상을 일으켜 레이저를 발생시키는 방식이 있다. 이 경우 플래시 램프에 방전되는 대전류는 일반적으로 충전용 대용량 콘덴서에 에너지를 충전하였다가 스위치소자를 통해 순간적으로 방전시킴으로서 발생하게 된다.A method commonly used to generate the solid state laser is to determine the light energy generated by discharging a large current to a flash lamp (Xenon or Krypton lamp) or a gain medium (for example, ruby, Nd: Yag, alexandrite, etc.) may cause a laser emission by causing an induced emission phenomenon. In this case, the large current discharged in the flash lamp is generally generated by charging energy in a large capacity capacitor for charging and discharging it instantaneously through a switch element.

이와 같이 종래의 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치는 플래시 램프의 전기적 특성상 다원화된 전원공급계통 즉, 1)플래시 램프의 방전개시를 위한 절연파괴용 고전압, 2)플래시 램프의 수명연장을 위한 예비방전, 3)플래시 램프의 발광을 위한 아크방전을 인가하기 위한 3개의 전원공급계통을 별도로 가진다. 이러한 특성을 가진 종래의 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치는 복잡하고 비효율적일 뿐만 아니라 부피 및 무게가 증가하며, 각각의 전원공급계통의 설계를 간소화하기 위해 철심변압기를 사용함으로 인해 전기적 효율이 떨어지는 문제점이 있었다.As such, the conventional solid-state laser flash lamp lighting device has a diversified power supply system due to the electrical characteristics of the flash lamp, that is, 1) high voltage for insulation breakdown for initiating the discharge of the flash lamp, and 2) preliminary discharge for extending the life of the flash lamp. 3) It has three separate power supply system for applying arc discharge for light emission of flash lamp. Conventional solid-state flash lamp lighting device having such characteristics is not only complicated and inefficient, but also increases in volume and weight, and has low electrical efficiency due to the use of an iron core transformer to simplify the design of each power supply system. there was.

또한 종래의 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치는 저주파 상용전력을 단순한 전압승압비에 따른 변압기를 통해 스위칭하여 전력제어에 불리할뿐만 아니라 출력제어를 위하여 입력전압을 수동적으로 승하강시키다 보니 정밀제어가 불가능한 문제점이 있었다. In addition, the conventional solid-state laser flash lamp lighting device is not only disadvantageous to power control by switching the low-frequency commercial power through a transformer according to a simple voltage step-up ratio, but also by manually raising and lowering the input voltage for output control. There was a problem.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 고주파스위칭을 이용해 임피던스 제어를 통한 플래시 램프의 예비방전상태를 유지하며, 동시에 대전류 고속스위치를 적용해 아크방전을 제어함으로써 플래시 램프 점등 장치 구조를 단순화시킬뿐만 아니라 크기를 소형화시킬수 있는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치 및 그 제어방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In order to solve the above problems, the present invention maintains the pre-discharge state of the flash lamp through the impedance control using high frequency switching, and at the same time, by applying a large current high speed switch to control the arc discharge to simplify the structure of the flash lamp lighting device, It is an object of the present invention to provide a flash lamp lighting device for a solid-state laser and a control method thereof, which can be miniaturized in size.

본 발명에 의하면, 상용교류전원을 입력받아 고전압 펄스로 변화시켜 출력하는 제 1변압부; 상용교류전원을 입력받아 예비방전전원 및 아크방전전원으로 변화시켜 출력하는 제 2변압부; 상기 제 2변압부에 출력된 예비방전전원을 제공받아 예비방전전압을 생성하고 출력하여 플래시 램프의 점등상태를 유지시키는 예비방전부; 상기 제 2변압부에 출력된 아크방전전원을 제공받아 아크방전전압을 생성하고 출력하여 상기 플래시 램프를 방전시키는 아크방전부; 및 상기 제 1변압부, 상기 제 2변압부 및 상기 아크방전부에 제어신호를 출력하는 제어부;를 포함하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치를 제공한다.According to the present invention, the first transformer unit for receiving a commercial AC power supply to change the high voltage pulse output; A second transformer unit which receives a commercial AC power and changes the pre-discharge power and the arc discharge power to output the power; A preliminary discharge unit configured to receive a preliminary discharge power output from the second transformer unit to generate and output a preliminary discharge voltage to maintain a lighting state of a flash lamp; An arc discharge unit configured to receive an arc discharge power output from the second transformer unit to generate and output an arc discharge voltage to discharge the flash lamp; And a control unit for outputting a control signal to the first transformer unit, the second transformer unit, and the arc discharge unit.

한편, 상기 제 1변압부는 상기 상용교류전원을 1차측 코일에 입력받아 2차측 코일에 고전압 펄스로 유도시키는 제 1변압기; 및 상기 제어부의 제어신호에 따라 상기 상용교류전원을 상기 제 1변압기로 스위칭하는 제 1스위치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The first transformer may include: a first transformer receiving the commercial AC power to the primary coil to induce a high voltage pulse to the secondary coil; And a first switch for switching the commercial AC power to the first transformer according to a control signal of the controller.

한편, 상기 제 2변압부는 상기 상용교류전원을 1차측 코일에 입력받아 제 1 이차측 코일에 예비방전전원으로 유도시키며, 상기 1차측 코일에 입력받은 상용교류전원을 제 2 이차측 코일에 아크방전전원으로 유도시키는 제 2변압기; 및 상기 제어부의 제어신호에 따라 상기 상용교류전원을 상기 제 2변압기로 스위칭하는 제 2스위치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the second transformer receives the commercial AC power to the primary coil and induces the first secondary coil as a preliminary discharge power, and the commercial AC power input to the secondary coil arc discharge to the second secondary coil A second transformer leading to a power source; And a second switch for switching the commercial AC power to the second transformer according to a control signal of the controller.

한편, 상기 제 2변압기는 상기 제 2변압기의 2차측 코일이 상기 1차측 코일보다 저밀도로 권선되어 상기 제 2변압기 자체에 의한 인덕턴스(L)와 상기 저밀도로 권선된 2차측 코일에 의한 커패시턴스(C)가 고주파 영역에서 공진하는 공진형 변압기인 것을 특징으로 한다. In the second transformer, the secondary coil of the second transformer is wound at a lower density than the primary coil so that the inductance L of the second transformer itself and the capacitance of the secondary coil wound at the low density are obtained. ) Is a resonant transformer resonating in a high frequency region.

한편, 상기 예비방전부는 상기 제 2스위치의 온동작시 상기 제 2변압기의 제 1 이차측 코일에 유도된 예비방전전원을 제공받아 예비방전전압으로 정류하는 제 1정류부; 및 상기 제 1정류부에 의해 정류된 예비방전전압을 저장하는 제 1저장부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The preliminary discharge unit may include: a first rectifying unit receiving a preliminary discharge power induced in a first secondary coil of the second transformer and rectifying the preliminary discharge voltage when the second switch is turned on; And a first storage unit storing the preliminary discharge voltage rectified by the first rectifier.

한편, 상기 아크방전부는 상기 제 2스위치의 온동작시 상기 제 2변압기의 제 2 이차측 코일에 유도된 아크방전전원을 제공받아 아크방전전압으로 정류하는 제 2정류부; 상기 제 2정류부에 의해 정류된 아크방전전압을 저장하는 제 2저장부; 및상기 제어부의 제어신호에 따라 상기 아크방전전압을 상기 플래시 램프로 스위칭하는 제 3스위치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the arc discharge unit is provided with an arc discharge power induced in the second secondary coil of the second transformer of the second transformer when the on operation of the second switch rectifying the arc discharge voltage; A second storage unit for storing the arc discharge voltage rectified by the second rectifier; And a third switch for switching the arc discharge voltage to the flash lamp according to a control signal of the controller.

한편, 상기 제어부는 상기 플래시 램프의 양단에 걸리는 전압을 검출하는 검출기를 포함하되, 상기 제어부는 상기 검출기에 의해 검출된 플래시 램프의 양단 전압을 이용해 제어신호를 출력하며, 상기 제 1스위치, 상기 제 2스위치 및 상기 제 3스위치의 스위칭에 의해 상기 제 1변압부, 상기 제 2변압부 및 상기 아크방전부로 상기 출력된 제어신호를 전달하여 제어하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the control unit includes a detector for detecting a voltage across the flash lamp, the control unit outputs a control signal using the voltage across the flash lamp detected by the detector, the first switch, the first By controlling the switching of the second switch and the third switch is characterized in that for transmitting and controlling the output control signal to the first transformer, the second transformer and the arc discharge unit.

한편, 상기 제어부의 제어신호는 상기 제 2스위치를 스위칭시켜 상기 제 1저장부에 저장되는 예비방전전압이 최대 충전치에 도달하면 상기 제 2스위치를 정지시키는 신호, 상기 예비방전전압이 최대 충전치에 도달한 후 상기 제 1스위치를 스위칭시켜 상기 상용교류전원으로부터 상기 고전압 펄스를 발생시키는 신호 또는 상기 제 3스위치를 스위칭시켜 상기 아크방전전압을 발생시키는 신호 중 어느 하나의 신호인 것을 특징으로 한다.The control signal of the controller may be a signal for stopping the second switch when the preliminary discharge voltage stored in the first storage unit reaches the maximum charge value by switching the second switch, and the preliminary discharge voltage is the maximum charge value. After reaching the first switch is characterized in that the signal of any one of the signal for generating the high voltage pulse from the commercial AC power supply or the signal for generating the arc discharge voltage by switching the third switch.

한편, 상기 제 1스위치, 상기 제 2스위치 및 상기 제 3스위치는 고속으로 스위칭되는 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) 또는 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)인 것을 특징으로 한다.On the other hand, the first switch, the second switch and the third switch is characterized in that the MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) or Insulated Gate Bipolar Transistor (IGBT) which is switched at a high speed.

또한 본 발명에 의하면, 제어부의 제어신호에 따라 제 2스위치가 스위칭되어 상용교류전원이 제 2변압부 및 예비방전부를 거쳐 예비방전전압으로 생성되는 제 1단계; 상기 제 1단계에서 생성된 예비방전전압이 플래시 램프의 점등상태를 유지시키기 위한 전압에 도달하는지를 판단하는 제 2단계; 상기 제 2단계에서 판단된 전압이 상기 플래시 램프의 점등상태를 유지시킬 수 있는 예비방전전압인 경우, 상기 제어부의 제어신호에 따라 제 1스위치가 스위칭되어 상용교류전원이 제 1변압부를 거쳐 고전압 펄스로 생성되는 제 3단계; 상기 제 3단계에서 생성된 고전압 펄스를 상기 플래시 램프의 양단에 인가하여 상기 플래시 램프의 절연을 파괴하는 제 4단계; 상기 제 4단계 이후 상기 플래시 램프의 절연이 파괴된 경우, 상기 예비방전전압이 전압강하되고, 상기 전압강하된 예비방전전압이 일정한 값으로 안정화되어 상기 플래시 램프가 예비방전상태로 유지되는 제 5단계; 및 상기 제 5단계 이후 상기 제어부의 제어신호에 따라 제 3스위치가 스위칭되어 아크방전부를 통해 생성된 아크방전전압이 상기 플래시 램프의 양단에 인가되는 제 6단계;를 포함하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 제어 방법를 제공한다.According to the present invention, the second switch is switched in accordance with the control signal of the control unit, the first step of generating a commercial discharge power to the pre-discharge voltage through the second transformer and the pre-discharge unit; A second step of determining whether the preliminary discharge voltage generated in the first step reaches a voltage for maintaining the lighting state of the flash lamp; When the voltage determined in the second step is a preliminary discharge voltage capable of maintaining the lighting state of the flash lamp, the first switch is switched in accordance with a control signal of the controller so that the commercial AC power supply passes through the first transformer and the high voltage pulse. Generated by the third step; A fourth step of breaking the insulation of the flash lamp by applying the high voltage pulse generated in the third step to both ends of the flash lamp; A fifth step in which the preliminary discharge voltage drops and the preliminary discharge voltage stabilizes to a constant value when the insulation of the flash lamp is destroyed after the fourth step, thereby maintaining the flash lamp in the preliminary discharge state. ; And a sixth step of switching the third switch according to a control signal of the controller after the fifth step so that the arc discharge voltage generated through the arc discharge unit is applied to both ends of the flash lamp. Provide a control method.

한편, 상기 제어부는 상기 플래시 램프의 양단에 걸리는 전압을 검출하는 검출기를 포함하되, 상기 제어부는 상기 검출기에 의해 검출된 플래시 램프의 양단 전압을 이용해 제어신호를 출력하며, 상기 출력된 제어신호를 이용하여 상기 제 1스위치, 상기 제 2스위치 및 상기 제 3스위치의 스위칭에 의해 발생되는 상기 고전압 펄스, 상기 예비방전전압 및 상기 아크방전전압을 제어하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, the control unit includes a detector for detecting a voltage across the flash lamp, the control unit outputs a control signal using the voltage across the flash lamp detected by the detector, using the output control signal The high voltage pulse, the preliminary discharge voltage and the arc discharge voltage generated by the switching of the first switch, the second switch and the third switch are controlled.

한편, 상기 제어부의 제어신호는 상기 제 2스위치를 스위칭시켜 상기 예비방전전압이 최대 충전치에 도달하면 상기 제 2스위치를 정지시키는 신호, 상기 예비방전전압이 최대 충전치에 도달한 후 상기 제 1스위치를 스위칭시켜 상기 상용교류전원으로부터 상기 고전압 펄스를 발생시키는 신호 또는 상기 제 3스위치를 스위칭시켜 상기 아크방전전압을 발생시키는 신호 중 어느 하나의 신호인 것을 특징으로 한다.On the other hand, the control signal of the control unit is a signal for switching the second switch to stop the second switch when the pre-discharge voltage reaches the maximum charge value, the first after the pre-discharge voltage reaches the maximum charge value And a signal for generating the high voltage pulse from the commercial AC power by switching a switch or a signal for generating the arc discharge voltage by switching the third switch.

한편, 상기 제 1스위치, 상기 제 2스위치 및 상기 제 3스위치는 고속으로 스위칭되는 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) 또는 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)인 것을 특징으로 한다.On the other hand, the first switch, the second switch and the third switch is characterized in that the MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) or Insulated Gate Bipolar Transistor (IGBT) which is switched at a high speed.

본 발명을 통해 제작 또는 생산된 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치는 소형화 및 경량화에 유리하여 의료분야 및 소규모 용접 융착 분야 등 다양한 분야에 적용가능한 효과가 있다. Flash lamp lighting device for a solid laser produced or produced through the present invention has an effect that can be applied to various fields, such as the medical field and small-scale welding fusion because it is advantageous in miniaturization and weight.

또한 본 발명은 종래의 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치에서 요구되는 다수의 변압기의 배치에 의한 제어가 용이하지 않은 점, 인덕터나 저항 등의 수동소자에 의한 전압 또는 전류의 제한을 한 점 및 저속스위칭 소자를 이용해 다수의 변압기가 대형화된 점 등에 의한 문제점을 개선하기 위해 고주파스위칭을 통한 플래시 램프 양단의 임피던스 제어를 통해 플래시 램프의 예비방전상태를 유지하고 아울러 아크방전의 강제적 제어를 위해 MOSFET 또는 IGBT와 같은 고속스위칭 소자를 적용하여 전원변환계통의 단순화 및 플래시 램프 점등의 효율성을 높이는 효과가 있다. In addition, the present invention is not easy to control by the arrangement of a large number of transformers required in the conventional solid state flash lamp lighting device, limiting the voltage or current by passive elements such as inductors or resistors and low speed switching In order to solve the problems caused by the large size of the transformer using the device, the impedance control of both ends of the flash lamp is maintained through high frequency switching to maintain the preliminary discharge state of the flash lamp, and the MOSFET or IGBT for the forced control of the arc discharge. By applying the same high speed switching device, it is effective to simplify the power conversion system and increase the efficiency of lighting the flash lamp.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치를 나타낸 블록도이다.
도 2는 도 1의 제 1변압부의 회로를 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1의 제 2변압부의 회로를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1의 예비방전부의 회로를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1의 아크방전부의 회로를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 1의 플래시 램프를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 1의 회로도로서, 도 2 내지 도 6을 유기적으로 결합한 전체 회로도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치의 플래시 램프 양단의 전압 파형을 나타낸 그래프이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 고체 레이저용 플래시 램프 점등 제어 방법을 나타낸 흐름도이다.1 is a block diagram showing a flash lamp lighting apparatus for a solid state laser according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a circuit of the first transformer unit of FIG. 1.
3 is a diagram illustrating a circuit of a second transformer of FIG. 1.
4 is a diagram illustrating a circuit of the preliminary discharge unit of FIG. 1.
5 is a diagram illustrating a circuit of the arc discharge unit of FIG. 1.
FIG. 6 is a view illustrating the flash lamp of FIG. 1.
FIG. 7 is a circuit diagram of FIG. 1, which is an overall circuit diagram organically combining FIGS. 2 to 6.
8 is a graph showing voltage waveforms across both ends of the flash lamp of the flash lamp lighting apparatus for a solid state laser according to an embodiment of the present invention.
9 is a flowchart illustrating a method of controlling lighting of a flash lamp for a solid state laser according to an exemplary embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to constituent elements of each drawing, it should be noted that the same constituent elements are denoted by the same reference numerals even though they are shown in different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치를 나타낸 블록도이고, 도 2는 도 1의 제 1변압부의 회로를 나타낸 도면이고, 도 3은 도 1의 제 2변압부의 회로를 나타낸 도면이고, 도 4는 도 1의 예비방전부의 회로를 나타낸 도면이고, 도 5는 도 1의 아크방전부의 회로를 나타낸 도면이고, 도 6은 도 1의 플래시 램프를 나타낸 도면이고, 도 7은 도 1의 회로도로서, 도 2 내지 도 6을 유기적으로 결합한 전체 회로도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치의 플래시 램프 양단의 전압 파형을 나타낸 그래프이고, 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 고체 레이저용 플래시 램프 점등 제어 방법을 나타낸 흐름도이다.1 is a block diagram showing a flash laser lighting device for a solid state laser according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view showing a circuit of the first transformer of Figure 1, Figure 3 is a circuit of the second transformer of Figure 1 4 is a diagram illustrating a circuit of the preliminary discharge unit of FIG. 1, FIG. 5 is a diagram illustrating a circuit of the arc discharge unit of FIG. 1, FIG. 6 is a diagram illustrating the flash lamp of FIG. 1, FIG. 7 is a circuit diagram of FIG. 1, which is an overall circuit diagram organically combining FIGS. 2 to 6, and FIG. 8 is a graph showing voltage waveforms across both flash lamps of a flash lamp lighting apparatus for a solid state laser according to an exemplary embodiment of the present invention. 9 is a flowchart illustrating a method for controlling lighting of a flash lamp for a solid state laser according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치(10)는 제 1변압부(100), 제 2변압부(200), 예비방전부(300), 아크방전부(400) 및 제어부(500)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a solid state flash lamp lighting apparatus 10 includes a first transformer unit 100, a second transformer unit 200, a preliminary discharge unit 300, an arc discharge unit 400, and a controller 500. ).

도 2를 참조하면, 상기 제 1변압부(100)는 상용교류전원을 입력받아 고전압 펄스로 변화시켜 출력한다. 상기 제 1변압부(100)는 상기 상용교류전원을 1차측 코일에 입력받아 2차측 코일에 고전압 펄스로 유도시키는 제 1변압기(110) 및 상기 제어부(500)의 제어신호에 따라 상기 상용교류전원을 상기 제 1변압기(110)로 스위칭하는 제 1스위치(120)를 포함한다. 상기 제 1변압기(110)는 FBT(FlyBack Transformer)로서, 상기 제 1변압기(110)의 1차측 코일에는 상용교류전원이 연결되며, 상기 상용교류전원이 1차측 코일 및 2차측 코일을 거쳐 고전압 펄스(예를 들어, 15 ~ 30kV)로 출력된다. 상기 고전압 펄스는 플래시 램프(A)의 절연을 파괴시키는 작용을 하며, 제어부(500)의 제어신호에 의해 플래시 램프(A)의 절연파괴 전까지 상기 고전압 펄스가 발생된다. 플래시 램프(A)의 절연이 파괴됨과 동시에 제 1변압기(110)의 2차측 코일의 고전압 펄스의 발생이 정지되어 플래시 램프(A)의 양단에는 고전압 펄스의 전달이 정지된다. Referring to FIG. 2, the first transformer unit 100 receives a commercial AC power and outputs a high voltage pulse. The first transformer unit 100 receives the commercial AC power to the primary coil and induces a high voltage pulse to the secondary coil according to the control signal of the first transformer 110 and the controller 500. It includes a first switch 120 for switching to the first transformer 110. The first transformer 110 is a FBT (FlyBack Transformer), the commercial AC power is connected to the primary coil of the first transformer 110, the commercial AC power is a high voltage pulse through the primary coil and the secondary coil (For example, 15 to 30 kV). The high voltage pulse serves to break the insulation of the flash lamp A, and the high voltage pulse is generated before the breakdown of the flash lamp A by the control signal of the controller 500. At the same time as the insulation of the flash lamp A is broken, the generation of the high voltage pulse of the secondary coil of the first transformer 110 is stopped and the transfer of the high voltage pulse is stopped at both ends of the flash lamp A.

도 3을 참조하면, 상기 제 2변압부(200)는 상용교류전원을 입력받아 예비방전전원 및 아크방전전원으로 변화시켜 출력한다. 상기 제 2변압부(200)는 상기 상용교류전원을 1차측 코일에 입력받아 제 1 이차측 코일에 예비방전전원으로 유도시키며, 상기 1차측 코일에 입력받은 상용교류전원을 제 2 이차측 코일에 아크방전전원으로 유도시키는 제 2변압기(210) 및 상기 제어부(500)의 제어신호에 따라 상기 상용교류전원을 상기 제 2변압기(210)로 스위칭하는 제 2스위치(220(220a,220b))를 포함한다. Referring to FIG. 3, the second transformer 200 receives a commercial AC power, and converts it into a preliminary discharge power and an arc discharge power. The second transformer 200 receives the commercial AC power into the primary coil and induces the first secondary coil as preliminary discharge power, and converts the commercial AC power input into the primary coil into the second secondary coil. A second switch 220 (220a, 220b) for switching the commercial AC power to the second transformer 210 according to a control signal of the second transformer 210 and the controller 500 for inducing arc discharge power. Include.

상기 제 2변압기(210)의 제 1 이차측 코일은 예비방전전원을 생성시키는 역할을 하며, 상기 제 2변압기(210)의 제 2 이차측 코일은 아크방전전원을 생성시키는 역할을 한다. 상기 제 1 이차측 코일은 고전압 발생에 유리한 단일 감기(single winding) 방식으로 권선되며, 상기 제 2 이차측 코일은 대전류의 의존성이 강한 중앙탭(center tab) 방식으로 권선된다. 상기 1차측 코일은 변압기 자체 기생요소로 인하여 충분히 공진이 일어날 수 있는 고주파수로 구동되며, 푸시풀(push pull), 플라이백(flyback), 하프 브릿지, 풀브릿지 등과 같은 다양한 회로 토폴로지로 응용될 수 있으며, 본 발명에서는 푸시풀 토폴로지로서 일예를 들기로 한다. The first secondary coil of the second transformer 210 serves to generate preliminary discharge power, and the second secondary coil of the second transformer 210 serves to generate arc discharge power. The first secondary coil is wound in a single winding manner, which is advantageous for high voltage generation, and the second secondary coil is wound in a center tab manner having a high current dependence. The primary coil is driven at a high frequency where sufficient resonance may occur due to the parasitic elements of the transformer itself, and may be applied to various circuit topologies such as push pull, flyback, half bridge, and full bridge. In the present invention, an example is given as a push-pull topology.

상기 제 2변압기(210)는 제 2변압기(210)의 제 1 이차측 코일이 1차측 코일보다 저밀도로 권선되어 상기 제 2변압기(210) 자체에 의한 인덕턴스(L)와 상기 저밀도로 권선된 제 1 이차측 코일에 의한 커패시턴스(C)가 고주파 영역에서 공진하는 공진형 변압기로서 구성되는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 제 2변압기(210)의 1차측 코일과 제 1 이차측 코일의 높은 권선비에 의하지 않고 저밀도 권선법에 의한 제 2변압기(210)의 기생용량(C)과 1차측 코일의 자화인덕턴스(L) 간의 자기공진(Self Resonance)을 이용하여 제 1 이차측 코일에 높은 피크전압을 출력할 수 있기 때문이다. 다만, 경부하 상태(플래시 램프의 낮은 부하)에서의 제 1 이차측 코일의 출력값은 1차측 코일과 제 1 이차측 코일의 권선비에 의하지 않고 공진에 의한 출력값을 따르나, 일정부하가 제공된 상태에서는 1차측 코일과 제 1 이차측 코일 간의 권선비에 따른 전압변화비와 해당주파수에 따른 임피던스 요인에 의해 제 1 이차측 코일의 출력전류를 제한할 수 있다.The second transformer 210 is the first secondary coil of the second transformer 210 is wound at a lower density than the primary coil, the inductance (L) by the second transformer 210 itself and the winding of the low density It is preferable that the capacitance C by the secondary coil is configured as a resonant transformer that resonates in the high frequency region. This is because the parasitic capacitance C of the second transformer 210 and the magnetization inductance L of the primary coil are not dependent on the high turns ratio of the primary coil and the first secondary coil of the second transformer 210. This is because a high peak voltage can be output to the first secondary coil by using self resonance between the? However, the output value of the first secondary coil in the light load state (low load of the flash lamp) follows the output value due to resonance, regardless of the winding ratio of the primary coil and the first secondary coil, but 1 in a state where a constant load is provided. The output current of the first secondary coil may be limited by the voltage change ratio according to the winding ratio between the secondary coil and the first secondary coil and the impedance factor according to the corresponding frequency.

도 4를 참조하면, 상기 예비방전부(300)는 상기 제 2변압부(200)에 출력된 예비방전전원을 제공받아 예비방전전압을 생성하고 출력하여 플래시 램프(A)의 점등상태를 유지시키는 역할을 한다. 상기 예비방전부(300)는 상기 제 2스위치(220)의 온동작시 상기 제 2변압기(210)의 제 1 이차측 코일에 유도된 예비방전전원을 제공받아 예비방전전압으로 정류하는 제 1정류부(310) 및 상기 제 1정류부(310)에 의해 정류된 예비방전전압을 저장하는 제 1저장부(320)를 포함한다. 상기 제 1정류부(310)는 고전압 다이오드로 구성된 브릿지 정류회로(D3, D4, D5,D6)를 통해 예비방전전원을 예비방전전압으로 정류하며, 상기 정류된 예비방전전압은 제 1저장부(320)에 고전압 에너지 형태로 저장된다. 상기 제 1저장부(320)는 커패시터(C1)의 형태로 나타날 수 있다. 따라서 제 1저장부(320)는 제 2변압기(210)의 출력전압의 피크전압까지 충전하는데 주파수에 따라 달리 시간이 소요되며, 이러한 특성으로 인해 플래시 램프가 예비방전(Simmer Stream)을 유지하는데 매우 중요한 요소로 작용한다.Referring to FIG. 4, the preliminary discharge unit 300 receives the preliminary discharge power output from the second transformer unit 200 to generate and output a preliminary discharge voltage to maintain the lighting state of the flash lamp A. FIG. Play a role. The preliminary discharge part 300 receives a preliminary discharge power induced in the first secondary coil of the second transformer 210 when the second switch 220 is turned on and rectifies the preliminary discharge voltage. And a first storage unit 320 for storing the preliminary discharge voltage rectified by the first rectifier 310. The first rectifier 310 rectifies the preliminary discharge power to the preliminary discharge voltage through the bridge rectification circuit (D 3 , D 4 , D 5 , D 6 ) consisting of a high voltage diode, the rectified pre-discharge voltage is a first The storage unit 320 is stored in the form of high voltage energy. The first storage unit 320 may appear in the form of a capacitor C 1 . Therefore, the first storage unit 320 takes time differently depending on the frequency to charge up to the peak voltage of the output voltage of the second transformer 210, and due to this characteristic, the flash lamp is very difficult to maintain a preliminary discharge (Simmer Stream). It is an important factor.

도 5를 참조하면, 상기 아크방전부(400)는 상기 제 2변압부(200)에 출력된 아크방전전원을 제공받아 아크방전전압을 생성하고 출력하여 상기 플래시 램프(A)를 방전시키는 역할을 한다. 상기 아크방전부(400)는 상기 제 2스위치(220)의 온동작시 상기 제 2변압기(210)의 제 2 이차측 코일에 유도된 아크방전전원을 제공받아 아크방전전압으로 정류하는 제 2정류부(410)와, 상기 제 2정류부(410)에 의해 정류된 아크방전전압을 저장하는 제 2저장부(420) 및 상기 제어부(500)의 제어신호에 따라 상기 아크방전전압을 상기 플래시 램프(A)로 스위칭하는 제 3스위치(430)를 포함한다. 상기 제 2정류부(410)는 두 개의 다이오드(D6, D7)로 구성될 수 있으며, 상기 제 2저장부(420)는 커패시터(C2)의 형태로 나타날 수 있다. Referring to FIG. 5, the arc discharge unit 400 receives an arc discharge power output from the second transformer 200 to generate and output an arc discharge voltage to discharge the flash lamp A. FIG. do. The arc discharge unit 400 receives a arc discharge power induced in the second secondary coil of the second transformer 210 when the on-off operation of the second switch 220 is rectified to the arc discharge voltage The flash lamp (A) according to the control signal of the second storage unit 420 and the control unit 500 for storing the arc discharge voltage rectified by the second rectifying unit 410 and the flash lamp (A). The third switch 430 for switching to). The second rectifying unit 410 may be composed of two diodes D 6 and D 7 , and the second storage unit 420 may be in the form of a capacitor C 2 .

제 2변압기(210)의 제 2 이차측 코일, 즉 별단의 중앙탭으로 권선된 제 2 이차측 코일의 출력단으로부터 출력된 아크방전전원(예를 들어 400 ~ 1000V의 고전압)을 정류한 아크방전전압을 예비방전부(300)에 의해 예비방전이 유지되고 있는 플래시 램프(A)의 양단에 인가한다. 상기 인가된 아크방전전압은 제 3스위치(430)의 스위칭에 의해 제어되며, 검출기(510)에서 검출된 플래시 램프(A)의 양단 전압을 이용해 제어부(500)의 제어신호가 생성되어 상기 제어신호에 의해 상기 제 3스위치(430)가 동작한다. 이와 같이 검출기(510)를 통해 검출된 플래시 램프(A)의 양단 전압을 제어부(500)가 피드백받아 상기 피드백된 플래시 램프(A)의 양단 전압을 통해 플래시 램프의 출력광(아크방전전압)을 조절하게 된다. Arc discharge voltage which rectifies the arc discharge power (for example, high voltage of 400-1000V) output from the 2nd secondary coil of the 2nd transformer 210, ie, the output terminal of the 2nd secondary coil wound by the center tap of the other end. Is applied to both ends of the flash lamp A in which the preliminary discharge is maintained by the preliminary discharge unit 300. The applied arc discharge voltage is controlled by the switching of the third switch 430, and a control signal of the controller 500 is generated by using the voltage between both ends of the flash lamp A detected by the detector 510 to generate the control signal. By the third switch 430 is operated. As such, the control unit 500 feeds back the voltage across the flash lamp A detected by the detector 510 and receives the output light (arc discharge voltage) of the flash lamp through the voltage across the flash lamp A. Will be adjusted.

도 6을 참조하면, 플래시 램프(A)는 고체 레이저에 사용되는 램프로서, 특히 제논램프가 통상적으로 사용된다. 상기 플래시 램프에서 방전된 에너지는 고체 레이저에 사용되는 매질 내부의 분자 또는 원자를 여기시키는 역할을 한다. Referring to FIG. 6, the flash lamp A is a lamp used for a solid state laser, in particular a xenon lamp is commonly used. The energy discharged in the flash lamp serves to excite molecules or atoms in the medium used in the solid state laser.

도 7을 참조하면, 상기 제어부(500)는 상기 제 1변압부(100), 상기 제 2변압부(200) 및 상기 아크방전부(400)에 제어신호를 출력한다. 상기 제어부(500)는 상기 플래시 램프의 양단에 걸리는 전압을 검출하는 검출기(510)를 포함하되, 상기 제어부(500)는 상기 검출기(510)에 의해 검출된 플래시 램프의 양단 전압을 이용해 제어신호를 출력하며, 상기 제 1스위치(120), 상기 제 2스위치(220(220a, 220b)) 및 상기 제 3스위치(430)의 스위칭에 의해 상기 제 1변압부(100), 상기 제 2변압부(200) 및 상기 아크방전부(400)로 상기 출력된 제어신호를 전달하여 제어한다. 따라서 제 1스위치(120)는 스위칭에 의해 제 1변압기(110)로부터 출력되는 고전압 펄스가 플래시 램프에 인가되어 절연파괴를 유도하도록 한다. 제 2스위치(220(220a, 220b))는 스위칭에 의해 제 2변압기(210)를 거쳐 예비방전부(300)로부터 출력되는 예비방전전압이 플래시 램프의 예비방전상태를 유지되도록 한다. 제 3스위치(430)는 스위칭에 의해 아크방전부(400)의 아크방전전압을 플래시 램프의 양단에 인가하여 플래시 램프가 아크방전상태가 되도록 한다.Referring to FIG. 7, the controller 500 outputs a control signal to the first transformer unit 100, the second transformer unit 200, and the arc discharge unit 400. The control unit 500 includes a detector 510 for detecting a voltage across the flash lamp, and the control unit 500 uses a voltage at both ends of the flash lamp detected by the detector 510 to control the signal. Outputs the first transformer unit 100 and the second transformer unit by switching the first switch 120, the second switch 220 (220a, 220b) and the third switch 430. 200 and the arc discharge unit 400 transmits and controls the output control signal. Therefore, the first switch 120 is applied to the high voltage pulse output from the first transformer 110 by the switching to the flash lamp to induce breakdown. The second switches 220 (220a and 220b) maintain the preliminary discharge state of the flash lamp by the preliminary discharge voltage output from the preliminary discharge unit 300 via the second transformer 210 by switching. The third switch 430 applies the arc discharge voltage of the arc discharge unit 400 to both ends of the flash lamp by switching so that the flash lamp is in an arc discharge state.

상기 제어부(500)에 의한 제 3스위치(430)의 스위칭을 제어하는 방법을 살펴본다. 예비방전부(400)를 통해 플래시 램프의 예비방전이 유지됨을 검출기(510)를 통해 제어부(500)가 확인하여 플래시 램프의 아크방전조건을 만족하면 상기 제어부(500)는 제 3스위치(430)에 제어신호를 보내어 제 2변압기(210)의 제 2 이차측 코일로부터 생성되고 정류된 고전압 즉, 아크방전전압을 플래시 램프로 보내고, 결국 플래시 램프의 캐소드와 직렬로 연결된 제 3스위치(430)를 통해 통전 또는 단속을 반복하며 통전비에 따라서 플래시 램프에 흐를 수 있는 전류의 양이 제한되고 상기 제한된 전류의 양에 따라 플래시 램프의 광량을 조절하게 되는 것이다.A method of controlling the switching of the third switch 430 by the controller 500 will be described. When the controller 500 confirms that the preliminary discharge of the flash lamp is maintained through the preliminary discharge unit 400 and the arc discharge condition of the flash lamp is satisfied through the detector 510, the controller 500 switches the third switch 430. Sends a control signal to the second secondary coil of the second transformer 210 sends the high voltage, that is, the arc discharge voltage generated in the rectified to the flash lamp, and finally the third switch 430 connected in series with the cathode of the flash lamp Through repeated energization or interruption, the amount of current that can flow through the flash lamp is limited according to the energization ratio, and the light amount of the flash lamp is adjusted according to the limited amount of current.

상기 제어부(500)의 제어신호는 상기 제 2스위치(220)를 스위칭시켜 상기 제 1저장부(320)에 저장되는 예비방전전압이 최대 충전치에 도달하면 상기 제 2스위치(220)를 정지시키는 신호, 상기 예비방전전압이 최대 충전치에 도달한 후 상기 제 1스위치(120)를 스위칭시켜 상기 상용교류전원으로부터 상기 고전압 펄스를 발생시키는 신호 또는 상기 제 3스위치(430)를 스위칭시켜 상기 아크방전전압을 발생시키는 신호 중 어느 하나의 신호일 수 있다.The control signal of the control unit 500 switches the second switch 220 to stop the second switch 220 when the preliminary discharge voltage stored in the first storage unit 320 reaches a maximum charging value. After the signal and the preliminary discharge voltage reaches the maximum charging value, the first switch 120 is switched to generate a high voltage pulse from the commercial AC power source or the third switch 430 to switch the arc discharge. The signal may be any one of a signal generating voltage.

상기 제 1스위치(120), 상기 제 2스위치(220) 및 상기 제 3스위치(430)는 고속으로 스위칭되는 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) 또는 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)일 수 있다. 상기 MOSFET 이나 IGBT와 같은 고속스위칭 소자를 사용하여 강제 스위칭을 함으로써 SCR(Silicon Controlled Rectifier)과 같은 저속스위칭 소자에 의해 플래시 램프의 양단 전압이 결정되는 종래의 플래시 램프 점등 장치에 비해 월등히 방전속도를 빨리하여 거의 연속광에 가까운 고출력의 플래시 램프 제어가 가능하게 되는 것이다. 상기 제어부(500)에 의해 제어된 플래시 램프의 광에너지는 고체 레이저의 매질에 조사되어 매질의 분자 또는 원자를 여기시켜 레이저의 에너지원으로 사용된다.The first switch 120, the second switch 220, and the third switch 430 may be metal oxide semiconductor field effect transistors (MOSFETs) or insulated gate bipolar transistors (IGBTs) that are switched at high speed. Forced switching using a high speed switching device such as MOSFET or IGBT enables a faster discharge rate than a conventional flash lamp lighting device in which the voltage at both ends of the flash lamp is determined by a low speed switching device such as a silicon controlled rectifier (SCR). Therefore, it is possible to control the high-power flash lamp near the continuous light. The light energy of the flash lamp controlled by the controller 500 is irradiated onto the medium of the solid laser to excite molecules or atoms of the medium to be used as an energy source of the laser.

도 9를 참조하여 고체 레이저용 플래시 램프 점등 제어방법을 설명하면 다음과 같다. 먼저 제 1단계는 제어부(500)의 제어신호에 따라 제 2스위치(220)가 스위칭되어 상용교류전원이 제 2변압부(200) 및 예비방전부(300)를 거쳐 예비방전전압으로 생성되는 단계이다(S110). 도 8을 참조하면, 제 1단계에 의한 제 2스위치(220)의 스위칭에 의해 예비방전전압이 생성되는 그래프가 도시되어 있다.Referring to Figure 9 describes a flash lamp lighting control method for a solid state laser as follows. First, in the first step, the second switch 220 is switched according to the control signal of the controller 500 to generate a commercial AC power as a preliminary discharge voltage via the second transformer 200 and the preliminary discharge unit 300. (S110). Referring to FIG. 8, there is shown a graph in which the preliminary discharge voltage is generated by the switching of the second switch 220 according to the first step.

제 2변압기(210)의 제 1 이차측 코일을 저밀도로 권선하면 1차측 코일과 제 1 이차측 코일의 낮은 권선비에 의한 최대 RMS 값은 결정되나 높은 피크전압을 출력할 수 있다. 따라서 제 1 이차측 코일로부터 출력된 고전압 교류에너지인 예비방전전원이 예비방전부(300)의 제 1정류부(310)를 통해 정류되며 제 1저장부(320)의 커패시터(C1)를 통해 고전압의 직류성분으로 변환되어 저장된다. 상기 저장(충전)은 제 2변압부(200)의 1차측 코일에 인가되는 제 2스위치(220)의 스위칭 주파수와 공진임피던스에 의존한다.When the first secondary coil of the second transformer 210 is wound at a low density, the maximum RMS value due to the low turns ratio of the primary coil and the first secondary coil may be determined, but a high peak voltage may be output. Therefore, the preliminary discharge power, which is the high voltage AC energy output from the first secondary coil, is rectified through the first rectifying unit 310 of the preliminary discharge unit 300 and the high voltage through the capacitor C 1 of the first storage unit 320. It is converted into DC component and stored. The storage (charging) depends on the switching frequency and the resonance impedance of the second switch 220 applied to the primary coil of the second transformer 200.

또한, 제 2스위치(220)에 의한 스위칭시 고정 주파수의 고정 듀티비로 스위칭하여도 제 1저장부(320)의 커패시터(C1)의 용량에 따라서 피크전압의 출력까지 도달하는 시간이 달라진다. 이때 충전(저장)되는 직류전압이 피크전압까지 도달하는 시간이 지연되어야 하는 이유는 부하(플래시 램프)의 임피던스 변화에 따른 출력전압의 변동을 고유시정수의 변화에 따라서 별도의 능동적 제어회로 없이 대응하도록 하여 회로의 구조를 단순화하기 위해서이다. 다만, 제어부(500)에 의해 예비방전부(300)의 출력전압보다 제 1 저장부(320)의 충전전압이 높아지지 않도록 출력전압의 피드백값을 통해 제한할 수 있도록 한다. 플래시 램프(A)의 예비방전을 위한 예비방전전압의 에너지 축적량(E)은 다음의 수학식1에 의해 결정된다.In addition, even when switching to a fixed duty ratio of a fixed frequency at the time of switching by the second switch 220, the time to reach the peak voltage output varies according to the capacity of the capacitor C 1 of the first storage unit 320. At this time, the time that the charged DC voltage reaches the peak voltage should be delayed because the change of the output voltage according to the impedance change of the load (flash lamp) can be handled without a separate active control circuit according to the change of the intrinsic time constant. This is to simplify the circuit structure. However, the control unit 500 may limit the feedback voltage of the output voltage so that the charging voltage of the first storage unit 320 does not become higher than the output voltage of the preliminary discharge unit 300. The energy accumulation amount E of the preliminary discharge voltage for preliminary discharge of the flash lamp A is determined by the following equation (1).

Figure 112012027717832-pat00001
Figure 112012027717832-pat00001

여기서, V는 예비방전부(300)의 출력전압 실효값, C는 제 1저장부(320)의 커패시터의 커패시턴스, f는 구동주파수이다. Here, V is the output voltage effective value of the preliminary discharge unit 300, C is the capacitance of the capacitor of the first storage unit 320, f is the driving frequency.

제 2단계는 상기 제 1단계(S110)에서 생성된 예비방전전압이 플래시 램프의 점등상태를 유지시키기 위한 전압에 도달하는지를 판단하는 단계이다(S120). 도 8을 참조하면, 제 2단계에 의한 예비방전전압이 플래시 램프의 점등상태를 유지시키기 위한 전압에 도달하는지를 나타내는 그래프가 도시되어 있다.The second step is a step of determining whether the preliminary discharge voltage generated in the first step (S110) reaches a voltage for maintaining the lighting state of the flash lamp (S120). Referring to FIG. 8, there is shown a graph showing whether the preliminary discharge voltage according to the second step reaches a voltage for maintaining the lighting state of the flash lamp.

플래시 램프의 점등상태를 유지시키기 위한 전압은 플래시 램프 자체의 임피던스에 따라 달라지며, 상기 제 1단계(S110)에서 생성된 예비방전전압이 플래시 램프의 점등상태를 유지시키기 위한 전압보다 낮은 경우에는 제 1단계로 회귀하여 다시 예비방전전압이 생성된다. The voltage for maintaining the lighting state of the flash lamp depends on the impedance of the flash lamp itself, and when the preliminary discharge voltage generated in the first step S110 is lower than the voltage for maintaining the lighting state of the flash lamp, Returning to step 1, a preliminary discharge voltage is generated again.

제 3단계는 상기 제 2단계(S120)에서 판단된 전압이 상기 플래시 램프의 점등상태를 유지시킬 수 있는 예비방전전압인 경우, 상기 제어부(500)의 제어신호에 따라 제 1스위치(120)가 스위칭되어 상용교류전원이 제 1변압부(100)를 거쳐 고전압 펄스로 생성되는 단계이다(S130). 도 8을 참조하면, 제 3단계에 의한 고전압 펄스가 생성되는 그래프가 도시되어 있다.In the third step, when the voltage determined in the second step (S120) is a preliminary discharge voltage capable of maintaining the lighting state of the flash lamp, the first switch 120 according to the control signal of the controller 500 In operation S130, the AC power is switched to generate a high voltage pulse through the first transformer unit 100. Referring to FIG. 8, there is shown a graph in which a high voltage pulse is generated according to a third step.

제어부(500)는 예비방전전압이 최대 충전치에 도달하면, 즉시 제 1변압부(100)의 제 1스위치(120)에 제어신호를 인가하여 15 ~ 30 kV의 고전압 펄스를 발생시킨다. When the preliminary discharge voltage reaches the maximum charging value, the controller 500 immediately applies a control signal to the first switch 120 of the first transformer unit 100 to generate a high voltage pulse of 15 to 30 kV.

제 4단계는 상기 제 3단계(S130)에서 생성된 고전압 펄스를 상기 플래시 램프의 양단에 인가하여 상기 플래시 램프의 절연을 파괴하는 단계이다(S140). 도 8을 참조하면, 제 4단계에 의한 고전압 펄스를 플래시 램프의 양단에 인가하여 절연이 파괴되는 그래프가 도시되어 있다.The fourth step is a step of breaking the insulation of the flash lamp by applying the high voltage pulse generated in the third step (S130) to both ends of the flash lamp (S140). Referring to FIG. 8, there is shown a graph in which insulation is broken by applying the high voltage pulse according to the fourth step to both ends of the flash lamp.

상기 플래시 램프의 절연파괴는 제 2변압기(210) 및 예비방전부(300)를 통해 생성된 고전압의 예비방전전압이 인가된 상태에서 제 1변압기(110)의 출력전압(고전압 펄스)이 플래시 램프에 인가되어 절연파괴를 유도한다.Insulation breakdown of the flash lamp is a flash lamp output voltage (high voltage pulse) of the first transformer 110 in the state that the pre-discharge voltage of the high voltage generated through the second transformer 210 and the pre-discharge unit 300 is applied Is applied to induce dielectric breakdown.

제 5단계는 상기 제 4단계(S140) 이후 상기 플래시 램프의 절연이 파괴된 경우, 상기 예비방전전압이 전압강하되고, 상기 전압강하된 예비방전전압이 일정한 값으로 안정화되어 상기 플래시 램프가 예비방전상태로 유지되는 단계이다(S150). 도 8을 참조하면, 제 5단계에 의한 예비방전상태가 아크방전의 유발과 무관하게 유지되는 그래프가 도시되어 있다.In the fifth step, when the insulation of the flash lamp is destroyed after the fourth step (S140), the preliminary discharge voltage drops and the preliminary discharge voltage stabilizes to a constant value. The step is maintained in the state (S150). Referring to FIG. 8, there is shown a graph in which the preliminary discharge state according to the fifth step is maintained irrespective of inducing arc discharge.

따라서 예비방전부(300)의 제 1저장부(320)에 저장되어 있는 예비방전전압은 플래시 램프의 절연파괴로 인해 임피던스가 급격히 떨어짐과 동시에 전압강하가 일어난다. 이때 예비방전부(300)의 높은 피크전압을 통한 플래시 램프의 예비방전을 유도함과 동시에 예비방전 이후의 연속 예비방전을 유지시키기 위한 전류제한이 가능하다. 즉, 플래시 램프의 절연파괴 후에도 플래시 램프에 도통되지 않은 상태로 전위만 유지하고 있는 상태에서 플래시 램프의 임피던스가 급격히 떨어짐과 동시에 통전이 되는 현상과 이 현상을 유지하기 위한 전류제한의 기능이 플래시 램프의 특성과 맞지 않을 시에는 예비방전을 유지할 수 없는데, 이는 제 2변압기(210)를 통한 고전압 펄스 또는 정현파가 충분히 높은 주파수로 출력될시에는 제 2변압기(210) 자체의 임피던스 제한요소에 의해 이를 적절히 능동적으로 제어가 가능하다. Therefore, the preliminary discharge voltage stored in the first storage unit 320 of the preliminary discharge unit 300 has a sudden drop in impedance and a voltage drop at the same time due to insulation breakdown of the flash lamp. At this time, it is possible to induce preliminary discharge of the flash lamp through the high peak voltage of the preliminary discharge unit 300, and at the same time, it is possible to limit the current to maintain the continuous preliminary discharge after the preliminary discharge. That is, even after the breakdown of the flash lamp, the flash lamp's impedance drops rapidly and energizes while the potential of the flash lamp is not maintained, but the current limiting function to maintain this phenomenon is maintained. If it does not match the characteristics of the preliminary discharge can not be maintained, which is when the high voltage pulse or sinusoidal wave through the second transformer 210 is output at a sufficiently high frequency by the impedance limiting element of the second transformer 210 itself. Properly active control is possible.

플래시 램프의 절연파괴와 동시에 임피던스 특성변화로 인해 발생한 전압강하한 예비방전전압이 일정한 값으로 안정화됨을 확인하면 제 1스위치(120)의 작동을 중지하고 제 2스위치(220)의 스위칭 제어를 연속적으로 실시하여 예비방전상태를 유지하여 이후에 있을 아크방전에 대비한다. When it is confirmed that the preliminary discharge voltage lowered due to the change of the impedance characteristic of the flash lamp and the stabilization of the flash lamp stabilizes to a constant value, the operation of the first switch 120 is stopped and the switching control of the second switch 220 is continuously performed. Keep a preliminary discharge state to prepare for future arc discharge.

제 6단계는 상기 제 5단계(S150) 이후 상기 제어부(500)의 제어신호에 따라 제 3스위치(430)가 스위칭되어 아크방전부(400)를 통해 생성된 아크방전전압이 상기 플래시 램프의 양단에 인가되는 단계이다(S160). 도 8을 참조하면, 제 6단계에 의한 아크방전전압이 플래시 램프의 양단에 인가되는 그래프가 도시되어 있다.In the sixth step, after the fifth step (S150), the third switch 430 is switched according to the control signal of the controller 500 so that the arc discharge voltage generated through the arc discharge unit 400 has both ends of the flash lamp. The step is applied to (S160). Referring to FIG. 8, there is shown a graph in which the arc discharge voltage according to the sixth step is applied to both ends of the flash lamp.

제 2변압기(210)의 제 2 이차측 코일에 출력된 아크방전전원이 아크방전부(400)를 통해 아크방전전압으로 정류 및 충전(저장)되며, 충전된 에너지(아크방전전압)는 플래시 램프의 애노드(양극) 및 캐소드(음극)로 인가된다. 이는 제 3스위치(430)의 구동주파수와 도통주기에 따라 아크방전전압이 제어된다. 따라서 제 3스위치(430)의 스위칭에 의해 아크방전이 유도되며 상기 유도된 아크방전은 고체 레이저의 매질에 조사되어 매질의 분자 또는 원자를 여기시켜 레이저의 에너지원으로 사용된다.The arc discharge power output to the second secondary coil of the second transformer 210 is rectified and charged (stored) to the arc discharge voltage through the arc discharge unit 400, and the charged energy (arc discharge voltage) is flash lamp. Is applied to the anode (anode) and cathode (cathode) of. The arc discharge voltage is controlled according to the driving frequency and the conduction period of the third switch 430. Therefore, the arc discharge is induced by the switching of the third switch 430, and the induced arc discharge is irradiated onto the medium of the solid laser to excite molecules or atoms of the medium to be used as an energy source of the laser.

이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 명세서에 개시된 실시예들은 본 발명을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 사상과 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Therefore, the embodiments disclosed in the present specification are intended to illustrate rather than limit the present invention, and the scope and spirit of the present invention are not limited by these embodiments. The scope of the present invention should be construed according to the following claims, and all the techniques within the scope of the present invention should be construed as being included in the scope of the present invention.

10: 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치
100: 제 1변압부
110: 제 1변압기
120: 제 1스위치
200: 제 2변압부
210: 제 2변압기
220(220a, 220b): 제 2스위치
300: 예비방전부
310: 제 1정류부
320: 제 1저장부
400: 아크방전부
410: 제 2정류부
420: 제 2저장부
430: 제 3스위치
500: 제어부
510: 검출기
A: 부하(플래시 램프)10: flash lamp lighting device for solid state laser
100: first transformer
110: first transformer
120: first switch
200: second transformer
210: second transformer
220 (220a, 220b): second switch
300: preliminary discharge
310: first rectifying unit
320: first storage unit
400: arc discharge unit
410: second rectifying unit
420: second storage unit
430: third switch
500:
510: detector
A: Load (Flash Lamp)

Claims (13)

삭제delete 상용교류전원을 입력받아 고전압 펄스로 변화시켜 출력하는 제 1변압부;
상용교류전원을 입력받아 예비방전전원 및 아크방전전원으로 변화시켜 출력하는 제 2변압부;
상기 제 2변압부에 출력된 예비방전전원을 제공받아 예비방전전압을 생성하고 출력하여 플래시 램프의 점등상태를 유지시키는 예비방전부;
상기 제 2변압부에 출력된 아크방전전원을 제공받아 아크방전전압을 생성하고 출력하여 상기 플래시 램프를 방전시키는 아크방전부; 및
상기 제 1변압부, 상기 제 2변압부 및 상기 아크방전부에 제어신호를 출력하는 제어부;를 포함하되,
상기 제 1변압부는 상기 상용교류전원을 1차측 코일에 입력받아 2차측 코일에 고전압 펄스로 유도시키는 제 1변압기와, 상기 제어부의 제어신호에 따라 상기 상용교류전원을 상기 제 1변압기로 스위칭하는 제 1스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치.
A first transformer unit for receiving a commercial AC power and converting the same into a high voltage pulse and outputting the same;
A second transformer unit which receives a commercial AC power and changes the pre-discharge power and the arc discharge power to output the power;
A preliminary discharge unit configured to receive a preliminary discharge power output from the second transformer unit to generate and output a preliminary discharge voltage to maintain a lighting state of a flash lamp;
An arc discharge unit configured to receive an arc discharge power output from the second transformer unit to generate and output an arc discharge voltage to discharge the flash lamp; And
And a controller configured to output a control signal to the first transformer unit, the second transformer unit, and the arc discharge unit.
The first transformer is a first transformer for receiving the commercial AC power to the primary coil and induces a high voltage pulse to the secondary coil, and switching the commercial AC power to the first transformer in accordance with a control signal of the controller. A flash lamp lighting device for a solid state laser, comprising: a switch.
제 2항에 있어서,
상기 제 2변압부는
상기 상용교류전원을 1차측 코일에 입력받아 제 1 이차측 코일에 예비방전전원으로 유도시키며, 상기 1차측 코일에 입력받은 상용교류전원을 제 2 이차측 코일에 아크방전전원으로 유도시키는 제 2변압기; 및
상기 제어부의 제어신호에 따라 상기 상용교류전원을 상기 제 2변압기로 스위칭하는 제 2스위치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치.
The method of claim 2,
The second transformer part
A second transformer configured to receive the commercial AC power into the primary coil to guide the first secondary coil to the preliminary discharge power, and to introduce the commercial AC power input to the primary coil into the second secondary coil as the arc discharge power; ; And
And a second switch for switching the commercial AC power to the second transformer in accordance with a control signal of the controller.
제 3항에 있어서,
상기 제 2변압기는 상기 제 2변압기의 2차측 코일이 상기 1차측 코일보다 저밀도로 권선되어 상기 제 2변압기 자체에 의한 인덕턴스(L)와 상기 저밀도로 권선된 2차측 코일에 의한 커패시턴스(C)가 고주파 영역에서 공진하는 공진형 변압기인 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치.
The method of claim 3,
In the second transformer, the secondary coil of the second transformer is wound at a lower density than the primary coil so that the inductance L of the second transformer itself and the capacitance C of the secondary coil wound at the low density are obtained. A solid state flash lamp lighting device, characterized in that the resonant transformer resonates in the high frequency region.
제 4항에 있어서,
상기 예비방전부는
상기 제 2스위치의 온동작시 상기 제 2변압기의 제 1 이차측 코일에 유도된 예비방전전원을 제공받아 예비방전전압으로 정류하는 제 1정류부; 및
상기 제 1정류부에 의해 정류된 예비방전전압을 저장하는 제 1저장부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치.
5. The method of claim 4,
The preliminary discharge unit
A first rectifying unit receiving a preliminary discharge power induced in a first secondary coil of the second transformer and rectifying the preliminary discharge voltage during an on operation of the second switch; And
And a first storage unit for storing the preliminary discharge voltage rectified by the first rectifying unit.
제 5항에 있어서,
상기 아크방전부는
상기 제 2스위치의 온동작시 상기 제 2변압기의 제 2 이차측 코일에 유도된 아크방전전원을 제공받아 아크방전전압으로 정류하는 제 2정류부;
상기 제 2정류부에 의해 정류된 아크방전전압을 저장하는 제 2저장부; 및
상기 제어부의 제어신호에 따라 상기 아크방전전압을 상기 플래시 램프로 스위칭하는 제 3스위치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치.
6. The method of claim 5,
The arc discharge unit
A second rectifier configured to receive an arc discharge power induced in a second secondary coil of the second transformer and rectify to an arc discharge voltage when the second switch is turned on;
A second storage unit for storing the arc discharge voltage rectified by the second rectifier; And
And a third switch for switching the arc discharge voltage to the flash lamp in accordance with a control signal from the controller.
제 6항에 있어서,
상기 제어부는 상기 플래시 램프의 양단에 걸리는 전압을 검출하는 검출기를 포함하되, 상기 제어부는 상기 검출기에 의해 검출된 플래시 램프의 양단 전압을 이용해 제어신호를 출력하며, 상기 제 1스위치, 상기 제 2스위치 및 상기 제 3스위치의 스위칭에 의해 상기 제 1변압부, 상기 제 2변압부 및 상기 아크방전부로 상기 출력된 제어신호를 전달하여 제어하는 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치.
The method according to claim 6,
The control unit includes a detector for detecting a voltage across the flash lamp, wherein the control unit outputs a control signal using the voltage across the flash lamp detected by the detector, wherein the first switch, the second switch And transmitting and controlling the output control signal to the first transformer unit, the second transformer unit, and the arc discharge unit by switching of the third switch.
제 7항에 있어서,
상기 제어부의 제어신호는 상기 제 2스위치를 스위칭시켜 상기 제 1저장부에 저장되는 예비방전전압이 최대 충전치에 도달하면 상기 제 2스위치를 정지시키는 신호, 상기 예비방전전압이 최대 충전치에 도달한 후 상기 제 1스위치를 스위칭시켜 상기 상용교류전원으로부터 상기 고전압 펄스를 발생시키는 신호 또는 상기 제 3스위치를 스위칭시켜 상기 아크방전전압을 발생시키는 신호 중 어느 하나의 신호인 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치.
8. The method of claim 7,
The control signal of the controller switches the second switch to stop the second switch when the preliminary discharge voltage stored in the first storage reaches the maximum charge value, and the preliminary discharge voltage reaches the maximum charge value. And the signal for generating the high voltage pulse from the commercial AC power by switching the first switch or the signal for generating the arc discharge voltage by switching the third switch. Flash lamp lighting device.
제 7항에 있어서,
상기 제 1스위치, 상기 제 2스위치 및 상기 제 3스위치는 고속으로 스위칭되는 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) 또는 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)인 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 장치.
8. The method of claim 7,
And the first switch, the second switch, and the third switch are MOSFETs (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors) or Insulated Gate Bipolar Transistors (IGBTs) which are switched at a high speed.
제어부의 제어신호에 따라 제 2스위치가 스위칭되어 상용교류전원이 제 2변압부 및 예비방전부를 거쳐 예비방전전압으로 생성되는 제 1단계;
상기 제 1단계에서 생성된 예비방전전압이 플래시 램프의 점등상태를 유지시키기 위한 전압에 도달하는지를 판단하는 제 2단계;
상기 제 2단계에서 판단된 전압이 상기 플래시 램프의 점등상태를 유지시킬 수 있는 예비방전전압인 경우, 상기 제어부의 제어신호에 따라 제 1스위치가 스위칭되어 상용교류전원이 제 1변압부를 거쳐 고전압 펄스로 생성되는 제 3단계;
상기 제 3단계에서 생성된 고전압 펄스를 상기 플래시 램프의 양단에 인가하여 상기 플래시 램프의 절연을 파괴하는 제 4단계;
상기 제 4단계 이후 상기 플래시 램프의 절연이 파괴된 경우, 상기 예비방전전압이 전압강하되고, 상기 전압강하된 예비방전전압이 일정한 값으로 안정화되어 상기 플래시 램프가 예비방전상태로 유지되는 제 5단계; 및
상기 제 5단계 이후 상기 제어부의 제어신호에 따라 제 3스위치가 스위칭되어 아크방전부를 통해 생성된 아크방전전압이 상기 플래시 램프의 양단에 인가되는 제 6단계;를 포함하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 제어 방법.
A first step of switching a second switch according to a control signal of a controller to generate a commercial discharge power as a preliminary discharge voltage through a second transformer unit and a preliminary discharge unit;
A second step of determining whether the preliminary discharge voltage generated in the first step reaches a voltage for maintaining the lighting state of the flash lamp;
When the voltage determined in the second step is a preliminary discharge voltage capable of maintaining the lighting state of the flash lamp, the first switch is switched in accordance with a control signal of the controller so that the commercial AC power supply passes through the first transformer and the high voltage pulse. Generated by the third step;
A fourth step of breaking the insulation of the flash lamp by applying the high voltage pulse generated in the third step to both ends of the flash lamp;
A fifth step in which the preliminary discharge voltage drops and the preliminary discharge voltage stabilizes to a constant value when the insulation of the flash lamp is destroyed after the fourth step, thereby maintaining the flash lamp in the preliminary discharge state. ; And
And a sixth step of switching a third switch according to a control signal of the controller after the fifth step so that an arc discharge voltage generated through the arc discharge part is applied to both ends of the flash lamp. Way.
제 10항에 있어서,
상기 제어부는 상기 플래시 램프의 양단에 걸리는 전압을 검출하는 검출기를 포함하되, 상기 제어부는 상기 검출기에 의해 검출된 플래시 램프의 양단 전압을 이용해 제어신호를 출력하며, 상기 출력된 제어신호를 이용하여 상기 제 1스위치, 상기 제 2스위치 및 상기 제 3스위치의 스위칭에 의해 발생되는 상기 고전압 펄스, 상기 예비방전전압 및 상기 아크방전전압을 제어하는 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 제어 방법.
The method of claim 10,
The control unit includes a detector for detecting a voltage across the flash lamp, wherein the control unit outputs a control signal using the voltage across the flash lamp detected by the detector, and by using the output control signal And controlling the high voltage pulse, the preliminary discharge voltage, and the arc discharge voltage generated by switching of the first switch, the second switch, and the third switch.
제 11항에 있어서,
상기 제어부의 제어신호는 상기 제 2스위치를 스위칭시켜 상기 예비방전전압이 최대 충전치에 도달하면 상기 제 2스위치를 정지시키는 신호, 상기 예비방전전압이 최대 충전치에 도달한 후 상기 제 1스위치를 스위칭시켜 상기 상용교류전원으로부터 상기 고전압 펄스를 발생시키는 신호 또는 상기 제 3스위치를 스위칭시켜 상기 아크방전전압을 발생시키는 신호 중 어느 하나의 신호인 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 제어 방법.
12. The method of claim 11,
The control signal of the controller switches the second switch to stop the second switch when the preliminary discharge voltage reaches the maximum charge value, and switches the first switch after the preliminary discharge voltage reaches the maximum charge value. And a signal for generating the high voltage pulse from the commercial AC power supply or a signal for switching the third switch to generate the arc discharge voltage.
제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1스위치, 상기 제 2스위치 및 상기 제 3스위치는 고속으로 스위칭되는 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) 또는 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)인 것을 특징으로 하는 고체 레이저용 플래시 램프 점등 제어 방법.
13. The method according to any one of claims 10 to 12,
And the first switch, the second switch, and the third switch are MOSFETs (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors) or Insulated Gate Bipolar Transistors (IGBTs) which are switched at a high speed.
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KR830002610B1 (en) * 1979-03-02 1983-11-16 히고 이찌로오 Discharge lamp lighting device
KR100554223B1 (en) 2005-07-13 2006-03-03 주식회사 맥스엔지니어링 Lighting circuit for flash lamp
KR100705735B1 (en) * 2006-03-03 2007-04-09 주식회사 비앤비시스템 Power supply for laser
JP2007109508A (en) 2005-10-13 2007-04-26 Ushio Inc Flash lamp lighting device

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