KR101322737B1 - 자외선 엘이디 모듈 탑재 마스크 얼라이너 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 자외선 엘이디를 이용한 노광장치에 관한 것으로서, UV 영역의 빛을 마스크를 통과하여 스테이지 상에 위치하는 감광막이 도포된 기판에 조사하기 위한 광을 생성하는 UV-LED 어레이, 상기 UV-LED 어레이로부터 방출된 빛을 평행광으로 전환하여 상기 기판에 조사하는 평행광 발생부, 상기 UV-LED 어레이로부터 방출된 광량을 일정하게 유지하도록 상기 UV-LED 어레이의 전류를 조절하는 전류 감지부 및 전류 보상부, 상기 전류 감지부 및 전류 보상부와 연동하여 상기 UV-LED 어레이의 과열을 방지하는 열전소자, 상기 UV-LED 어레이 및 열전소자에 전원을 공급하는 전원부 및 상기 전류 보상부, 전류 감지부 및 전원부를 제어하는 메인 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

자외선 엘이디 모듈 탑재 마스크 얼라이너{Mask aligner using a UV-LED module}
본 발명은 UV(ultra violet)-LED 광원을 사용한 마스크 얼라이너에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 광원으로서 UV-LED를 사용하여 전류제어 방식으로 구동되고 열전소자를 이용하여 냉각되는 마스크 얼라이너(mask aligner)에 관한 것이다.
반도체 집적회로의 제작은 증착과 식각을 반복하여 제작하는데 원하는 패턴을 형성하기 위하여 리소그래피 공정이 반드시 필요하며 이때 사용되는 장비가 마스크 얼라이너와 같은 노광장치가 사용된다. 반도체 공정의 미세화와 높은 형상비(aspect ratio)의 필요성에 따라서 분해능을 높일 수 있는 자외선(UV) 광원과 같은 짧은 파장의 노광장치가 사용된다.
종래 노광장치의 360nm 자외선 광원은 수은 램프 등이 주로 사용되었다. 수은 램프는 복잡한 렌즈 구조와 안정화 시간이 필요하여 항상 켜 놓아야 하는데, 사용수명이 800h ~ 1,000h 정도로서 정기적으로 교환해야 하기 때문에 노광장치의 유지보수 비용을 증가시키는 요인이 되었다. 또한, 종래 노광장치는 램프의 조도를 증가시키기 위해 높은 전력을 필요로 하고 그에 따른 발열 대책 등이 필요하며, 수은 램프의 폭발시에는 수은이 증기 상태로 존재하기 때문에 사람에게 치명적인 영향을 끼칠 수 있어 폭발이 일어난 장소를 밀폐하고 일정시간이 지난 후에 작업을 진행하여 생산에 차질이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 수은 램프에 비해 발광 효율이 높아 전력을 줄일 수 있으며, 상대적으로 발열 특성이 우수하여 유지비용을 줄일 수 있는 고체 반도체 소자인 발광 다이오드(LED)를 노광장치의 광원이 사용되고 있다.
그러나 LED도 광변환 효율이 15% 내외로 나머지는 열로 발생하기 때문에 발열 대책이 필수적이다. 정전압 제어 방식의 구동은 일정한 레벨의 전압이 발광 다이오드로 공급됨에 따라 안정된 효율을 유지할 수 있으나 발광 다이오드의 발열에 의해 상승된 전류에 의해 발광 다이오드의 광특성이 저하되는 것을 방지하지 못한다.
도 1은 본 출원인이 특허문헌 1에서 제시한 엘이디 광원의 냉각모듈을 구비한 노광장치로서, 엘이디 광원부(25), 평행광 발생부, 냉각모듈 및 메인 제어부(31)로 포함하며, 평행광 발생부는 1차 응집렌즈(33), 플라이 아이렌즈(35) 및 2차 응집렌즈(37)로 구성되며, 냉각모듈은 냉각 자켓(47), 냉각기(49) 및 냉각팬(51)을 포함하여 구성되어 냉각기(49)로부터 공급된 냉매를 이용하여 엘이디 광원부(25)의 상부에 위치한 냉각 자켓(47)에 의하여 엘이디 광원부(25)에서 발생한 열을 냉각시킨다.
특허문헌 1은 LED의 발열을 효과적으로 냉각시켜 광효율 특성을 향상시킬 수 있고 광량 제어모듈을 사용하여 빛의 조도를 일정하게 유지시킬 수 있으나, 냉매를 사용하여 순환시키기 때문에 냉각기와 냉각팬을 추가로 설치해야 하기 때문에 장비 부피가 커지고 설치비용이 증대되며 온도제어 속도가 느리고, 노광공정에서 중요한 광량의 제어가 복잡하다.
특허문헌 2에서도 자외선 반도체 광원을 이용한 노광장치를 제시하고 있으나, 특허문헌 1과 마찬가지로 냉각용 유체 또는 기체를 사용하여 자외선 엘이디(UV LED)에서 발생하는 열을 냉각시키기 때문에 장비가 커지고 설치비용이 증대되며 광량의 제어가 복잡하다.
1. 한국공개특허 제2011-0050168호(2011. 05. 13.) 2. 한국공개특허 제2011-0066270호(2011. 06. 17.)
상기와 같은 문제점을 해결하고자 본 발명에서는 일정한 광량을 유지하기 위하여 전류제어 방식으로 LED를 구동하여 노광공정의 안정화를 도모한다.
또한, 냉각장치로서 간단한 열전소자를 사용함으로써 냉각을 위한 부대장비를 장치를 제거하여 콤팩트한 노광장비를 제공하고자 한다.
상기와 같은 해결하고자 하는 과제를 위한 본 발명에 따른 자외선 엘이디 모듈 탑재 마스크 얼라이너의 구성은, UV 영역의 빛을 마스크를 통과하여 스테이지 상에 위치하는 감광막이 도포된 기판에 조사하기 위한 광을 생성하는 UV-LED 어레이, 상기 UV-LED 어레이로부터 방출된 빛을 평행광으로 전환하여 상기 기판에 조사하는 평행광 발생부, 상기 UV-LED 어레이로부터 방출된 광량을 일정하게 유지하도록 상기 UV-LED 어레이의 전류를 조절하는 전류 감지부 및 전류 보상부, 상기 전류 감지부 및 전류 보상부와 연동하여 상기 UV-LED 어레이의 과열을 방지하는 열전소자, 상기 UV-LED 어레이 및 열전소자에 전원을 공급하는 전원부 및 상기 전류 보상부, 전류 감지부 및 전원부를 제어하는 메인 제어부를 포함한다.
본 발명의 바람직한 일 실시예로서, 전류 감지부는 UV-LED 어레이에 인가되는 전류를 감지하는 센싱 저항 및 센싱 저항의 양단에 병렬로 연결되어 센싱 저항의 온도 변화를 보상하는 트랜지스터를 포함하는 온도 보상부로 구성되고, 전류 감지부는 센싱 저항에서 감지된 전류에 상응하는 전압을 증폭부에서 증폭시키고, 아날로그-디지털(A/D) 변환기로 디지털 변환한 감지 전압을 상기 메인 제어부로 출력하고, 메인 제어부는 감지 전압과 미리 설정된 기준 전압을 비교한 비교결과에 기초하여 생성된 오차 신호에 따라 전류 보상값을 결정하되, 상기 오차 신호는 현재 측정한 감지 전압과 미리 설정된 기준 전압과의 차이를 나타내는 순시 오차값과 소정 기간 동안 순시 오차값을 평균한 평균 오차값을 각각 가중치와 이득을 곱하여 더한 값으로 하고, 전류 감지부를 통해 입력받은 전압과 기준 전압의 차이만큼 UV-LED 어레이에 인가되는 전류를 보상하기 위한 제어 신호를 전류 보상부로 출력하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 일 실시예로서, 광량을 일정하게 유지하기 위하여 UV센서를 상기 평행광 발생부의 플라이 아이렌즈와 2차 응집렌즈 사이의 노광장치 일측 벽에 설치하여 광량을 감지하여 그 신호를 메인 제어부로 출력하여 전류 보상부를 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 일 실시예로서, 열전소자의 양면은 금속판으로 되어 있고, 중간 부분에는 N형-P형 반도체 쌍이 배열되어 있어 전압을 공급하면 온도차가 발생하여 상기 UV-LED 어레이를 냉각하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 전류제어 방식은 UV-LED 어레이로 공급되는 전류를 PWM 신호의 듀티비로 제어하며 기준 전압과의 오차를 지속적으로 관찰하여 오차 신호와 오차 신호를 적분한 값 및 오차 신호를 미분한 값에 대한 보상을 해줌으로써 정전류를 유지시킬 수 있어 노광공정의 중요한 변수인 노광량을 일정하게 유지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 냉각장치로서 간단한 열전소자를 사용함으로써 냉각을 위한 부대장비를 장치를 제거하여 콤팩트한 노광장비를 제공할 수 있다.
도 1은 종래의 기술에 의한 자외선 엘이디 노광 장치
도 2는 본 발명에 따른 자외선 엘이디를 탑재한 마스크 얼라이너의 제어 블럭도
도 3은 본 발명에 따른 냉각장치인 열전소자의 열 흐름도
이하에서, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 자외선 엘이디 모듈 탑재 마스크 얼라이너의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 각 도면에 있어서, 구조물들의 사이즈나 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나 축소하여 도시한 것이므로 도면으로 한정하지는 아니한다.
본 발명에 따른 자외선 엘이디 모듈 탑재 마스크 얼라이너는 UV-LED 어레이, 평행광 발생부, 열전소자 및 메인 제어부를 포함한다.
UV-LED 어레이(110)는 전원을 공급받아 자외선 광을 생성한다. 여기서 UV-LED 어레이(110)는 병렬로 연결된 복수의 발광 다이오드 그룹으로 이루어질 수 있다. 또한, 복수의 발광 다이오드 그룹 각각은 직렬로 연결된 복수의 발광 다이오드로 이루어질 수 있다.
평행광 발생부는 도 1을 참조하면 1차 응집렌즈(33), 플라이 아이렌즈(35) 및 2차 응집렌즈(37)로 구성된다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자외선 엘이디 모듈 탑재 마스크 얼라이너의 구동제어는 전류 감지부(120), 전류 보상부(130), 메인 제어부(140) 및 전원부(160)를 포함한다.
전원부(160)는 UV-LED 어레이(110)에 구동을 위한 전원을 공급한다. 여기서 전원부(160)는 외부로부터 전원 전압을 입력받아 입력받은 전원 전압을 UV-LED 어레이(110)에 제공할 수 있다. 이때, 전원부(160)는 외부의 컨버터로부터 UV-LED 어레이(110)의 구동을 위한 전원 전압을 입력받는다. 예를 들면, 전원부(160)는 컨버터의 종류에 따라 약 24V ~ 36V의 다양한 전압 범위를 갖는 전원 전압을 입력받을 수 있다.
전류 감지부(120)는 UV-LED 어레이(110)에 인가된 전류를 감지한다. 여기서 전류 감지부(120)는 UV-LED 어레이(110)에 인가되었던 전류를 감지하여 감지된 전류에 상응하는 전압을 메인 제어부(140)에 제공할 수 있다. 이러한, 전류 감지부(120)는 전류를 감지하는 센싱 저항과 감지된 전류에 상응하는 전압을 증폭시키는 증폭부를 포함할 수 있다. 센싱 저항은 UV-LED 어레이(110)의 종단에 연결되어 UV-LED 어레이(110)에 흐르는 전류를 인가받아 전류를 감지한다.
그런데, 상기 센싱 전항은 상기 UV-LED 어레이(110)로부터 방출되는 빛과 전류 제어 장치의 주변 온도의 상승 및 상기 센싱 저항을 흐르는 전류에 의해서 발생하는 열에 의해 저항값이 변화될 수 있다. 상기 센싱 저항의 저항값이 변하게 되면, 상기 UV-LED 어레이(110)에 적절한 전류가 흐르더라도 저항값이 변함에 따라 감지되는 전압이 변하게 되므로 전류가 변동하게 되는 문제점을 유발한다.
따라서 본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위하여 상기 센싱 저항의 온도 변화에 따라 전류를 보상해주는 온도 보상부를 더 포함할 수 있다. 온도 보상부는 센싱 저항의 양단에 병렬로 연결되어 상기 센싱 저항의 온도 변화를 보상하는 트랜지스터를 포함할 수 있다. 온도 보상부의 상기 트랜지스터는 모스 트랜지스터 또는 바이폴라 트랜지스터일 수 있고, 온도 보상부는 모스(MOS) 트랜지스터의 게이트 전압 또는 바이폴라 트랜지스터의 베이스 전압을 제어함으로써 상기 트랜지스터에 흐르는 전류를 제어할 수 있다.
메인 제어부(140)는 센싱 저항에 걸리는 전압의 값을 읽어들여 전류의 변동을 감지할 수 있다. 효율이 100%라고 가정했을 때 50W 기준 전류량은 2A이며 센싱 저항에서 소비되는 전력은 0.2W 정도로 효율에는 영향을 미치지 않는다.
전류 감지부(120)는 아날로그 디지털 컨버터(ADC)로 증폭된 전압을 변환하여 디지털 신호를 메인 제어부(140)에 제공할 수 있다. 예를 들면, 전류 감지부(120)는 증폭된 전압을 10bit 디지털 신호로 변환하여 메인 제어부(140)로 출력할 수 있다.
메인 제어부(140)는 UV-LED 어레이(110)에 인가된 전류를 일정하기 유지시키는 제어 신호를 출력한다. 여기서 메인 제어부(140)는 전류 감지부(120)로부터 UV-LED 어레이(110)에 인가된 전류에 상응하는 전압을 입력받을 수 있다. 그리고 메인 제어부(140)는 입력받은 전압과 미리 설정된 기준 전압을 비교할 수 있다. 여기서 메인 제어부(140)는 비교 결과에 기초하여 UV-LED 어레이(110)에 인가되는 전류를 일정하게 유지시키는 전류 보상값을 제어 신호로 출력할 수 있다. 메인 제어부(140)는 전류 감지부(120)를 통해 입력받은 전압과 기준 전압의 차이만큼 UV-LED 어레이(110)에 인가되는 전류를 보상하기 위한 제어 신호를 전류 보상부(130)로 출력할 수 있다. 이때, 메인 제어부(140)는 제어 신호를 PWM(Pulse Width Modulation) 방식의 신호로 출력할 수 있다. 그리고 메인 제어부(140)는 전류 보상값만큼 듀티비를 설정하여 제어 신호를 출력할 수 있다. 이러한 메인 제어부(140)는 발광 다이오드 어레이로 공급되는 전류를 PWM 신호의 듀티비로 제어하며 기준 전압과의 오차를 지속적으로 관찰하여 오차 신호와 오차 신호를 적분한 값 및 오차 신호를 미분한 값에 대한 보상을 해줌으로써 정전류를 유지시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 정전류 제어 방법은 상기 오차 신호를 순시 오차값과 평균 오차값의 합으로 나타낼 수 있다. 여기서 순시 오차값은 현재 측정한 감지 전압과 기준 전압과의 차이를 나타내고, 평균 오차값은 소정 기간 동안 상기 순시 오차값을 평균한 값을 나타낼 수 있다. 또한, 상기 순시 오차값에는 대응하는 소정의 이득이 곱해질 수 있고, 마찬가지로, 평균 오차값에도 대응하는 소정의 이득이 곱해질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전류제어 방법은 센싱 저항에서 측정된 감지 전압에 대한 오차값이 허용 가능한 임계치 이상이 될 때는 순시 오차값에 대한 이득 및 가중치를 크게 하여 PWM 듀티비를 제어함으로써 재빨리 오차값을 보상하고, 허용 가능한 임계치보다 낮은 오차값을 나타내는 평소에는 순시 오차값과 평균 오차값에 동일한 가중치를 부여하여 PWM 듀티비를 제어함으로써 긴 시간에 걸친 평균 오차와 매 시간마다의 순시 오차를 함께 보상할 수 있는 효과를 나타낸다. 이러한 제어 방식은 메인 제어부(140)에 의해 수행될 수 있다.
전류 보상부(130)는 센싱 저항으로 인가되는 전류의 흐름을 제어한다. 여기서 전류 보상부(130)는 스위칭 동작을 통해 전류의 흐름을 제어할 수 있다. 그리고 전류 보상부(130)는 메인 제어부(140)로부터 스위칭 동작의 제어를 위한 제어 신호를 수신할 수 있다. 예를 들면, 전류 보상부(130)는 메인 제어부(140)로부터 PWM 방식의 온 신호 또는 오프 신호로 이루어진 제어 신호를 수신할 수 있다. 그리고 전류 보상부(130)는 수신한 제어 신호에 따라 스위칭 동작을 수행할 수 있다. 이때, 전류 보상부(130)는 제어 신호의 듀티비에 의해 센싱 저항으로 인가되는 전류의 양을 제어할 수 있다. 이러한 전류 보상부(130)는 MOSFET 스위칭 소자를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 일 실시예로서, 순시 오차값이 허용 가능한 임계치(Cdth) 이상이 될 때 아래의 수학식에 의하여 상기 오차 신호를 생성하는 것을 특징으로 한다.
Gd(t) = a(t)·gp ·Cd(t) + (1-a(t))·gi·Ed(t)
( 여기서, Gd(t) : 오차 신호, Cd(t) : 순시 오차값, Ed(t) : 평균 오차값, a(t) : 순시 오차값에 대한 가중치 (순시 오차값이 허용 가능한 임계치(Cdth) 이상이 되면 1이 되고 일정 시간 안에 점차 0.5로 감소함), gp : 순시 오차값에 대한 이득(gp = gph, if Cd(t) = Cdth , gp = gpl, if Cd(t) < Cdth 여기서 gph는 1보다 큰 상수 또는 (Cd(t) - Cdth)에 비례하는 값이고, gpl은 gph보다 작은 소정의 상수임) gi : 평균 오차값에 대한 이득)
본 발명에 따른 일 실시예로서, 상기 순시 오차값에 대한 가중치는 일정한 시간 안에 점차 감소하고, 상기 평균 오차값에 대한 가중치는 점차 증가하여 상기 일정한 시간이 지난 시점에서 상기 순시 오차값과 상기 평균 오차값에 대한 가중치가 같아지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 일 실시예로서, 센싱 저항에서 측정된 감지 전압에 대한 오차값이 허용 가능한 임계치 이상이 될 때는 순시 오차값에 대한 이득 및 가중치를 크게 하여 PWM 듀티비를 제어함으로써 신속하게 오차값을 보상하고, 허용 가능한 임계치보다 낮은 오차값을 나타내는 경우에는 순시 오차값과 평균 오차값에 동일한 가중치를 부여하여 PWM 듀티비를 제어하는 것을 특징으로 한다.
UV-LED 광량을 일정하게 유지하는 방법의 또 다른 방법은 UV센서를 플라이 아이렌즈와 2차 응집렌즈 사이의 노광장치 일측 벽에 설치하여 광량을 감지하여 그 신호를 메인 제어부(140)로 보내어 전류 보상부(140)를 제어하는 방법이다.
종래의 냉각 자켓을 이용한 수냉각 장치는 부피가 크고 온도 제어속도가 느려 새로운 냉각 방식인 히트 파이프를 고려할 수 있다. 히트 파이프는 금속 케이스 내부를 진공으로 형성하고, 작동 유체를 주입한 후 내부를 진공으로 만들어 봉압하여 제작되는 열전달 기구로서, 한 쪽에 열을 가하면 내부에서 작동 유체가 증발하여 열을 가하지 않은 타 측 방향으로 이동하여 응축하여 다시 돌아오는 방식으로 작동한다. 즉 증발 잠열을 이용하여 빠른 열을 이동시키는 열전달 기구이다. 작동 유체로는 물, 아세톤, 나트륨, 수은 등이 이용된다. 이러한 히트 파이프를 냉각 장치도 작동 유체가 순환할 수 있는 길이와 히트 싱크 등 필요한 장비의 부피가 커 소형화되는 장비에 적용하기 힘든 수준이다.
부피가 작고 설치하기가 용이하며 충분한 냉각 효과를 낼 수 있는 냉각 장치가 요구되는데 제안되는 것은 펠티어(peltier) 효과를 이용한 열전소자(thermo-electric device)이다. 펠티어 효과는 전위차를 주었을 때 양쪽에서 발열과 흡열 현상이 동시에 일어나 온도차를 발생시킬 수 있는 효과로서 이러한 효과를 이용하여 개발한 소자가 열전소자이다. 열전소자의 양면은 금속판으로 되어 있고, 중간 부분에는 샌드위치처럼 N형-P형 반도체 쌍이 배열되어 있어 전압을 공급하면 양쪽 면에서 발열과 흡열 현상이 발생하며 아이스 쿨러와 같은 냉장고에 사용된다.
도 3은 펠티어 열전소자(150)에서 열의 흐름을 도시한 것으로서 전위차를 가하면 흡열면(152)에서 방열면(151)로 열이 이동한다. 따라서 흡열면(152)에 UV-LED 어레이 모듈을 붙이고 방열면(151)에 냉각핀을 부착하여 방열시키면 된다. 냉각핀은 냉각팬을 추가하여 냉각효율을 높일 수 있다. 이와 같은 열전소자는 냉매를 순환시킬 필요가 없으므로 노광장비의 제작이 용이하고 장비가 간단해지며 유지보수 비용을 줄일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전류제어 방법은 온도 변화에 따라 센싱 저항의 저항값이 변화하여 전류가 변동되는 것을 보상해줌으로써 온도 변화에도 불구하고 안정된 전류를 얻을 수 있다. 또한, 정전류 컨버터뿐만 아니라 정전압 컨버터로부터 전원을 공급받을 수 있어 비용을 절감시킬 수 있다.
또한, 냉각장치로서 간단한 열전소자를 사용함으로써 냉각을 위한 부대장비를 장치를 제거하여 콤팩트한 노광장비를 제공할 수 있다.
110: UV-LED 어레이 120: 전류 감지부
130: 전류 보상부 140: 메인 제어부
150: 열전소자 160: 전원부

Claims (3)

  1. UV 영역의 빛을 마스크를 통과하여 스테이지 상에 위치하는 감광막이 도포된 기판에 조사하기 위한 광을 생성하는 UV-LED 어레이, 상기 UV-LED 어레이로부터 방출된 빛을 평행광으로 전환하여 상기 기판에 조사하는 평행광 발생부, 상기 UV-LED 어레이로부터 방출된 광량을 일정하게 유지하도록 상기 UV-LED 어레이의 전류를 조절하는 전류 감지부 및 전류 보상부, 상기 전류 감지부 및 전류 보상부와 연동하여 상기 UV-LED 어레이의 과열을 방지하는 열전소자, 상기 UV-LED 어레이 및 열전소자에 전원을 공급하는 전원부 및 상기 전류 보상부, 전류 감지부 및 전원부를 제어하는 메인 제어부를 포함하는 마스크 얼라이너에 있어서,
    상기 전류 감지부는 상기 UV-LED 어레이에 인가되는 전류를 감지하는 센싱 저항 및 상기 센싱 저항의 양단에 병렬로 연결되어 상기 센싱 저항의 온도 변화를 보상하는 트랜지스터를 포함하는 온도 보상부로 구성되고,
    상기 전류 감지부는 센싱 저항에서 감지된 전류에 상응하는 전압을 증폭부에서 증폭시키고, 아날로그-디지털(A/D) 변환기로 디지털 변환한 감지 전압을 상기 메인 제어부로 출력하고,
    상기 메인 제어부는 감지 전압과 미리 설정된 기준 전압을 비교한 비교결과에 기초하여 생성된 오차 신호에 따라 전류 보상값을 결정하되, 상기 오차 신호는 현재 측정한 감지 전압과 미리 설정된 기준 전압과의 차이를 나타내는 순시 오차값과 소정 기간 동안 순시 오차값을 평균한 평균 오차값을 각각 가중치와 이득을 곱하여 더한 값으로 하고, 전류 감지부를 통해 입력받은 전압과 기준 전압의 차이만큼 상기 UV-LED 어레이에 인가되는 전류를 보상하기 위한 제어 신호를 전류 보상부로 출력하는 것을 특징으로 하는 자외선 엘이디 모듈 탑재 마스크 얼라이너
  2. 제1항에 있어서,
    광량을 일정하게 유지하기 위하여 UV센서를 상기 평행광 발생부의 플라이 아이렌즈와 2차 응집렌즈 사이의 노광장치 일측 벽에 설치하여 광량을 감지하여 그 신호를 메인 제어부로 출력하여 전류 보상부를 제어하는 것을 특징으로 하는 자외선 엘이디 모듈 탑재 마스크 얼라이너
  3. 제1항에 있어서,
    상기 열전소자의 양면은 금속판으로 되어 있고, 중간 부분에는 N형-P형 반도체 쌍이 배열되어 있어 전압을 공급하면 온도차가 발생하여 상기 UV-LED 어레이를 냉각하는 것을 특징으로 하는 자외선 엘이디 모듈 탑재 마스크 얼라이너
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