KR101320136B1 - 진동 액추에이터 - Google Patents

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KR101320136B1
KR101320136B1 KR1020120082401A KR20120082401A KR101320136B1 KR 101320136 B1 KR101320136 B1 KR 101320136B1 KR 1020120082401 A KR1020120082401 A KR 1020120082401A KR 20120082401 A KR20120082401 A KR 20120082401A KR 101320136 B1 KR101320136 B1 KR 101320136B1
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vibration actuator
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piezoelectric element
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비아체슬라브 스미르노프
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 진동 액추에이터는 내부공간을 제공하고, 상기 내부공간이 외부와 연통할 수 있도록 홀이 형성되는 하우징; 상기 내부공간을 제1 챔버 및 제2 챔버로 분리하도록 배치되는 다이아프램; 상기 다이아프램과 결합하며, 상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버 중 어느 하나에 배치되는 질량체; 및 상기 하우징의 내측 일면에 결합하고, 상기 질량체의 하측에 배치되는 압전 소자; 를 포함할 수 있다.

Description

진동 액추에이터{Vibrating actuator}
본 발명은 진동 액추에이터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 압전 소자를 이용한 진동 액추에이터에 관한 것이다.
최근에는 사용자의 편의성을 위해 LCD화면이 큰 개인휴대단말기의 출시가 급증하고 있으며, 이에 따라 터치스크린 방식이 채택되게 되고, 터치시 진동을 발생시키기 위해 진동모터가 사용되고 있다.
진동모터는 전자기적 힘의 발생원리를 이용하여 전기적 에너지를 기계적 진동으로 변환하는 부품으로써, 개인휴대단말기에 탑재되어 무음 착신알림용으로 사용되고 있다.
종래에는 커뮤테이터(Commutator)를 사용한 브러쉬(Brush) 타입의 구조를 사용하거나, 전자기력을 공진주파수에 맞춰서 주기적으로 발생시켜 진동을 발생시키는 방식을 사용하고 있었다.
그러나, 커뮤테이터(Commutator)를 사용한 브러쉬(Brush) 타입의 구조는 모터 회전시 브러쉬(Brush)가 커뮤테이터(Commutator)의 세그먼트와 세그먼트의 극간을 지나면서 기계적인 마찰과 전기적인 스파크를 유발하고, 이물을 생성하여 모터의 수명이 짧아지는 문제점이 있었고, 모터에 전압 인가시 회전관성에 의하여 목표진동량에 도달하는데 시간이 걸리므로 터치스크린에서의 적합한 진동을 구현하는데 문제가 있었다.
또한, 선형 진동자는 내부공간에 진동하는 구성요소 간의 접촉 및 소음이 발생하여 진동자의 성능 및 특성이 변하게 되는 문제가 발생하였으며, 이는 결국 상기 선형 진동자를 채용하는 휴대용 전자기기의 성능에도 영향을 미치게 되었다.
따라서, 휴대용 전자기기의 소형화 및 슬림화를 요구하는 시장의 트렌드에 맞춰 슬림화가 가능하고 효율적으로 생산 가능하고 여러가지 요인이 작용하더라도 진동자의 성능 및 특성에 영향이 없는 진동 액추에이터에 대한 연구가 필요한 실정이다.
하기의 선행기술문헌에 기재된 특허문헌에는 압전소자를 이용하여 진동을 발생시키는 진동발생기가 개시된다.
대한민국등록특허 제0639024호
본 발명의 목적은 휴대용 전자기기의 소형화 및 슬림화를 만족시킬 수 있고, 진동량을 증가시킬 수 있으며, 소비 전력을 감소시킬 수 있는 진동 액추에이터를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 진동 액추에이터의 구동 과정에서 발생하는 열을 냉각시킬 수 있는 쿨링 시스템을 구비한 진동 액추에이터를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 내부공간을 제공하고, 상기 내부공간이 외부와 연통할 수 있도록 홀이 형성되는 하우징; 상기 내부공간을 제1 챔버 및 제2 챔버로 분리하도록 배치되는 다이아프램; 상기 다이아프램과 결합하며, 상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버 중 어느 하나에 배치되는 질량체; 및 상기 하우징의 내측 일면에 결합하고, 상기 질량체의 하측에 배치되는 압전 소자; 를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 질량체는 상기 제2 챔버에 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 홀은 상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버가 각각 상기 하우징의 외부 대기와 연통하도록 상기 하우징에 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 다이아프램은 일면에 적어도 하나의 반구 형상으로 이루어진 굴곡부가 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 다이아프램은 탄성력을 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 압전 소자에는 하나의 압전막이 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 압전 소자에는 다수의 압전막이 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 하우징의 내측 일면에는 상기 압전 소자의 외경과 대응되도록 돌출되는 외벽이 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 질량체는 상면의 적어도 일부가 상측으로 돌출되는 돌출부가 형성되며, 상기 돌출부가 상기 다이아프램과 결합할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 상기 하우징과 상기 다이아프램 사이에 배치되고, 상기 다이아프램과 결합하는 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 지지부; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 압전 소자는 상기 질량체와 소정 간격 이격되도록 배치되고, 상기 압전 소자와 상기 질량체 사이에는 제1 탄성 부재; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 상기 하우징과 상기 다이아프램 사이에 배치되고, 상기 다이아프램과 결합하는 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 지지부; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 내부공간을 제공하고, 상기 내부공간이 외부와 연통할 수 있도록 홀이 형성되는 하우징; 상기 하우징의 내측 일면과 결합하는 압전 소자; 상기 압전 소자와 접촉하도록 배치되는 질량체; 및 일단이 상기 질량체와 결합하고, 타단이 상기 하우징과 결합하여 상기 질량체와 함께 상기 내부공간을 제1 챔버 및 제2 챔버로 분리하는 다이아프램; 을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 중심부에서 상측으로 돌출되는 돌출부 및 상기 수평부의 외측에서 하측으로 절곡되어 형성되는 회피부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 다이아프램의 일단은 상기 수평부와 결합할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 하우징의 내측 일면에는 상기 압전 소자의 외경과 대응되도록 돌출되는 외벽이 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 하우징의 내측 타면에는 상기 돌출부의 외경보다 큰 내경을 구비하도록 돌출되는 돌기부가 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 중심부에서 상측으로 돌출되어 형성되는 돌출부, 상기 수평부의 외측에서 하측으로 절곡되어 형성되는 회피부, 상기 회피부에서 반경 방향 외측으로 연장되어 형성되는 안착부 및 상기 안착부에서 하측으로 연장되어 형성되는 연장부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 다이아프램의 일단은 상기 안착부와 결합할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 일단이 상기 하우징과 결합하고, 타단이 상기 안착부와 결합하여 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성 부재; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 일단이 상기 하우징과 결합하고, 타단이 상기 돌출부와 결합하여 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성 부재; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 외측에서 상측 및 하측으로 각각 연장되어 형성되는 수직부 및 상기 수직부의 하측에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 다이아프램의 일단은 상기 안착부와 결합할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 상기 하우징과 상기 수평부 사이에 배치되고, 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 지지부; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 일단이 상기 하우징과 결합하고, 타단이 상기 안착부와 결합하여 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성 부재; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 상기 하우징과 상기 수평부 사이에 배치되고, 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 지지부; 를 더 포함할 수 있다.
삭제
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 외측에서 하측으로 연장되어 형성되는 회피부, 상기 회피부에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부 및 상기 안착부에서 하측으로 연장되어 형성되는 연장부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 상기 하우징과 상기 수평부 사이에 배치되고, 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 지지부; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 하우징의 내측 타면에는 상기 지지부의 외경과 대응되는 돌기부가 형성되고, 상기 돌기부의 내면에 상기 지지부가 삽입 고정될 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 내부공간을 제공하고, 상기 내부공간이 외부와 연통할 수 있도록 홀이 형성되는 하우징; 상기 하우징의 내측 일면과 결합하는 압전 소자; 상기 압전 소자의 상측에 배치되는 질량체; 일단이 상기 질량체와 결합하고, 타단이 상기 하우징과 결합하여 상기 질량체와 함께 상기 내부공간을 제1 챔버 및 제2 챔버로 분리하는 다이아프램; 및 상기 압전 소자와 상기 질량체 사이에 배치되는 제1 탄성 부재;를 포함할 수 있다..
본 발명에 따른 진동 액추에이터의 상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 외측에서 하측으로 절곡되어 형성되는 회피부 및 상기 회피부에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터는 일단이 상기 하우징과 결합하고, 타단이 상기 안착부와 결합하여 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성 부재; 를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 진동 액추에이터에 의하면, 휴대용 전자기기의 소형화 및 슬림화를 만족시킬 수 있고, 진동량을 증가시킬 수 있으며, 소비 전력을 감소시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 진동 액추에이터의 구비되는 쿨링 시스템을 통하여 진동 액추에이터의 구동 과정에서 발생하는 열을 냉각시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터의 질량체 및 압전 소자의 변형 예를 도시한 개략 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터의 질량체의 변형 예를 도시한 개략 단면도.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 지지부를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터의 지지부 및 압전 소자의 변형 예를 도시한 개략 단면도.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 홀의 형성위치를 달리한 모습을 도시한 개략 단면도.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 홀의 형성위치 및 질량체의 변형 예를 도시한 개략 단면도.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 지지부를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터의 지지부 및 압전 소자의 변형 예를 도시한 개략 단면도.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 진동 액추에이터의 질량체의 변형 예를 도시한 개략 단면도.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 진동 액추에이터의 제2 탄성 부재의 변형 예를 도시한 개략 단면도.
도 15는 본 발명의 제5 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 16은 본 발명의 제5 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 지지부를 제외하고 제2 탄성 부재를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도.
도 17은 본 발명의 제5 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 제2 탄성 부재를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도.
도 18은 본 발명의 제6 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 19는 본 발명의 제7 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 20은 본 발명의 제7 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 지지부를 제외하고 질량체가 제2 탄성 부재를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도.
도 21은 본 발명의 제8 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 22는 본 발명의 제9 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 23은 본 발명의 제9 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 제2 탄성 부재를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도.
도 24는 본 발명의 제10 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도.
도 25는 본 발명의 제10 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 제2 탄성 부재의 변형 예를 도시한 개략 단면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
또한, 각 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터의 질량체 및 압전 소자의 변형 예를 도시한 개략 단면도이며, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터의 질량체의 변형 예를 도시한 개략 단면도이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 지지부를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도이며, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터의 지지부 및 압전 소자의 변형 예를 도시한 개략 단면도이다.
우선, 방향에 대한 용어를 정의하면, 반경 방향 외측 또는 내측 방향은 하우징(112)의 중심으로부터 상기 하우징(112)의 외주면을 향하는 방향 또는 그 반대 방향일 수 있고, 상측 또는 하측 방향은 제2 챔버(S2)에서 제1 챔버(S1)을 향하는 방향 또는 그 반대 방향일 수 있다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터(100)는 상기 진동 액추에이터(100)의 외관을 형성하는 하우징(110), 다이아프램(120), 질량체(130) 및 압전 소자(140)를 포함할 수 있다.
하우징(110)은 일측이 개방되고 소정의 내부공간을 제공하는 하측 하우징(114)과 상기 하측 하우징(114)의 개방된 일측에 결합하는 상측 하우징(112)을 포함할 수 있다.
상기 내부공간은 질량체(130), 다이아프램(120) 및 압전 소자(140) 등을 수용할 수 있으며, 상기 하우징(110)은 일체로도 형성될 수 있다.
여기서, 상기 내부공간은 후술할 다이아프램(120)에 의하여 제1 챔버(S1) 및 제2 챔버(S2)로 분리될 수 있으며, 상기 하우징(110)에는 상기 내부공간이 외부와 연통할 수 있도록 홀(112a, 114a)이 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 홀(112a, 114a)에 의하여 상기 제1 챔버(S1) 및 상기 제2 챔버(S2)가 각각 상기 하우징(110)의 외부 대기와 연통할 수 있다.
구체적으로, 다이아프램(120)을 기준으로 상측의 내부공간을 제1 챔버(S1), 하측의 내부공간을 제2 챔버(S2)로 할 수 있다.
상기 홀(112a, 114a)은 상기 제2 챔버(S2)가 외부 대기와 연통할 수 있도록 상기 하우징(110)의 하면에 형성될 수 있고, 상기 제1 챔버(S1)가 외부 대기와 연통할 수 있도록 상기 하우징(110)의 상면에 형성될 수 있다.
그러나, 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이 홀(112a, 114a)이 상기 하우징(110)의 양 측면 중에서 상기 다이아프램(120)이 상기 하우징(110)에 부착되는 위치 및 상기 하우징(110)의 상면에 형성되는 것도 가능하다.
상기 하우징(110)의 내측 일면에는 후술할 압전 소자(140)의 외경과 대응되도록 돌출되는 외벽(114b)이 형성되고, 상기 외벽(114b)의 내면에 압전 소자(140)를 삽입 고정함으로써 압전 소자(140)를 상기 하우징(110)의 내측 일면에 더욱 견고히 결합할 수 있다.
다이아프램(120)은 상기 하우징(110)에 의하여 제공되는 내부공간에 배치되며, 상기 내부공간을 제1 챔버(S1) 및 제2 챔버(S2)로 분리시키는 구성일 수 있다.
상기 다이아프램(120)은 메탈, 플라스틱 레진, 러버 등과 같이 탄성력을 갖는 재질일 수 있으며, 상기 다이아프램(120)의 일면은 후술할 질량체(130)와 결합하여 질량체(130)를 탄성적으로 지지할 수 있다.
또한, 상기 다이아프램(120)은 일면에 적어도 하나의 반구 형상으로 이루어진 굴곡부(122)를 구비함으로써 상기 다이아프램(120)의 탄성력을 더욱 개선할 수 있다.
질량체(130)는 후술할 압전 소자(140)에 의하여 진동하는 구성으로서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터(100)에서 진동의 매개는 상기 다이아프램(120)에 의해 구현될 수 있다.
상기 질량체(130)가 진동하는 경우 상기 하우징(110) 내에서 접촉 없이 진동할 수 있도록 상기 질량체(130)는 상기 하우징(110)의 내주면의 내경보다는 작은 외경 크기로 구비될 수 있다.
이에 따라, 상기 하우징(110)의 내주면과 상기 질량체(130)의 외주면 사이에는 일정 크기의 간극이 형성될 수 있다.
상기 질량체(130)는 철보다 무거운 비중을 갖는 텅스텐과 같은 물질이 바람직하며, 이는 동일한 체적 내에 상기 질량체(130)의 질량을 높임으로써 진동량을 최대로 하기 위함이다.
다만, 상기 질량체(130)의 재질은 텅스텐에 한정하는 것은 아니며 설계자의 의도에 따라 다양한 재질을 사용하는 것도 가능하다.
상기 다이아프램(120)과 결합하기 위해 상기 질량체(130)의 상면의 적어도 일부가 상측으로 돌출되는 돌출부(132)가 형성될 수 있고 상기 돌출부(132)가 상기 다이아프램(120)과 결합할 수 있다.
상기 질량체(130)의 반경 방향 단면의 형상은 상기 하우징(110) 및 내부 구성 부품의 형상에 따라 원형, 직사각형, 정사각형 또는 고리 형상 등으로 다양하게 형성될 수 있다.
또한, 진동 과정에서 상기 하우징(110)의 내측 일면에 결합되는 압전 소자(140)와 접촉할 수 있도록, 상기 질량체(130)의 하면의 적어도 일부가 상측으로 함입되는 결합부(134)가 형성될 수 있다.
상기 질량체(130)는 상기 다이아프램(120)에 의해 분리되는 상기 내부공간 중 어느 하나에 배치될 수 있으며, 구체적으로 상기 질량체(130)는 상기 제2 챔버(S2) 내에 배치될 수 있다.
압전 소자(140)는 기계적 입력을 인가하면 전압이 발생하고, 전압을 인가하면 기계적 변형이 생기는 소자를 의미하는 것으로서, 외력을 가하면 전기 분극이 일어나서 전위차가 생기고, 반대로 전압을 가하면 변형이나 변형력이 생기는 성질을 가진 소자를 의미한다.
따라서, 본 발명에 따른 진동 액추에이터는 상기 압전 소자(140)에 전압을 인가하여 전기적 에너지를 기계적 에너지로 변환하여 진동력을 얻을 수 있고, 상기 압전 소자(140)에 전압을 인가하기 위한 별도의 회로기판을 구비할 수 있다.
상기 압전 소자(140)는 공통 전극의 역할을 하는 하부 전극(146), 전압의 인가에 따라 변형되는 압전막(144) 및 구동 전극의 역할을 하는 상부 전극(142)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 압전막(144)은 압전 물질, 바람직하게는 PZT(Lead Zirconate Titanate) 세라믹 재료로 이루어질 수 있으며 수정, 전기석, 로셸염, 티탄산바륨, 인산이수소암모늄 또는 타르타르산에틸렌디아민 등이 압전 물질로서 사용될 수 있다.
상기 압전 소자(140)에는 하나의 압전막(144)이 사용될 수 있으나, 다수의 압전막(144)을 겹쳐서 사용하는 것도 가능하다.
다수의 압전막(144)을 사용하여 상기 압전 소자(140)를 구성하는 경우에는 더욱 큰 진동력을 얻을 수 있다.
상기 압전 소자(140)는 상기 질량체(130)의 하측에 배치될 수 있으며, 구체적으로, 상기 질량체(130)와 접촉하도록 배치될 수 있다.
여기서, 상기 압전 소자(140)의 하면은 상기 하우징(110)의 내측 일면에 결합하고, 상기 압전 소자(140)의 상면은 상기 질량체(130)의 결합부(134)와 접촉할 수 있다.
상기 압전 소자(140)가 상기 질량체(130)와 접촉하므로, 상기 압전 소자(140)에 의한 진동력이 상기 질량체(130)에 직접적으로 전달될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 다이아프램(120)과 상기 하우징(110) 사이에는 지지부(160)가 더 구비될 수 있다.
즉, 상기 지지부(160)는 상기 질량체(130)가 배치되는 내부공간과 다른 내부공간에 배치될 수 있고, 상기 다이아프램(120)과 결합하여 상기 질량체(130)를 탄성적으로 지지할 수 있다.
상기 지지부(160)는 하나의 탄성 재질로 이루어질 수 있으나, 도 5에 도시된 바와 같이 여러 개의 탄성 재질이 층을 이루어 구비되는 것도 가능하다.
이하에서는, 본 발명에 따른 진동 액추에이터의 구동 과정에서 발생하는 열을 냉각시킬 수 있는 쿨링 시스템에 대하여 설명한다.
상기 압전 소자(140)에 전압을 인가하면, 전기적 에너지가 기계적 에너지로 변환되어 진동력을 얻을 수 있고, 상기 진동력에 의하여 상기 질량체(130)가 진동하게 된다.
상기 질량체(130)가 진동함에 따라 상기 제1 챔버(S1) 및 상기 제2 챔버(S2)의 체적의 크기가 변화하게 되고, 상기 제1 챔버(S1) 및 상기 제2 챔버(S2)의 체적의 크기가 변화하게 되면, 상기 하우징(110)에 형성되는 홀(112a, 114a)을 통하여 공기의 흐름이 발생하게 된다.
상기 질량체(130)의 진동에 의하여 상기 질량체(130)가 배치되는 상기 제2 챔버(S2) 내의 체적이 증가하고 상기 제1 챔버(S1) 내의 체적은 감소하게 되면, 상기 제2 챔버(S2) 내의 압력은 감소하고 상기 제1 챔버(S1) 내의 압력은 증가하게 된다.
이에 따라, 상기 하우징(110)에 형성되는 홀(112a, 114a)을 통하여 외부의 공기가 상기 제2 챔버(S2) 내로 흘러 들어오게 되고, 상기 제1 챔버(S1) 내의 공기는 상기 하우징(110)에 형성되는 홀(112a, 114a)을 통하여 외부로 토출된다.
반대로, 상기 질량체(130)의 진동에 의하여 상기 질량체(130)가 배치되는 상기 제2 챔버(S2) 내의 체적이 감소하고 상기 제1 챔버(S1) 내의 체적이 증가하게 되면, 상기 제2 챔버(S2) 내의 압력은 증가하고 상기 제1 챔버(S1) 내의 압력은 감소하게 된다.
이에 따라, 상기 하우징(110)에 형성되는 홀(112a, 114a)을 통하여 외부의 공기가 상기 제1 챔버(S1) 내로 흘러 들어오게 되고, 상기 제2 챔버(S2) 내의 공기는 상기 하우징(110)에 형성되는 홀(112a, 114a)을 통하여 외부로 토출된다.
상기 질량체(130)가 진동함에 따라, 상기 제1 챔버(S1) 및 상기 제2 챔버(S2) 내의 체적이 계속적으로 변화하게 되므로 외부의 공기가 지속적으로 상기 하우징(110) 내로 유입될 수 있고, 상기 하우징(110) 내로 유입된 공기는 상기 진동 액추에이터의 구동 과정에서 발생되는 열을 냉각시켜줌으로써 쿨링 시스템을 구성할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이고, 도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 홀의 형성위치를 달리한 모습을 도시한 개략 단면도이며, 도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 홀의 형성위치 및 질량체의 변형 예를 도시한 개략 단면도이고, 도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 지지부를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도이며, 도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터의 지지부 및 압전 소자의 변형 예를 도시한 개략 단면도이다.
도 6 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터(200)는 질량체(230), 압전 소자(240) 및 제1 탄성 부재(150)를 제외하고는 상기 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터(100)와 동일하므로 질량체(230), 압전 소자(240) 및 제1 탄성 부재(150) 이외의 설명은 생략하기로 한다.
질량체(230)의 반경 방향 단면의 형상은 하우징(110) 및 내부 구성 부품의 형상에 따라 원형, 직사각형, 정사각형 또는 고리 형상 등으로 다양하게 형성될 수 있다.
또한, 진동 과정에서 하우징(110)의 내측 일면에 결합되는 압전 소자(240)와 상기 질량체(230)가 접촉하는 것을 방지하기 위하여 상기 질량체(230)의 하면의 적어도 일부가 상측으로 함입되는 접촉방지부(234)가 형성될 수 있다.
따라서, 상기 질량체(230)와 압전 소자(240)는 소정 간격 이격되도록 배치될 수 있다.
압전 소자(240)의 하면은 하우징(110)의 내측 일면에 결합하고, 상기 압전 소자(240)의 상면은 상기 질량체(230)에 형성되는 상기 접촉방지부(234)와 대향할 수 있다.
상기 압전 소자(240)와 상기 질량체(230) 사이에는 상기 질량체(230)를 탄성적으로 지지하는 제1 탄성 부재(150)가 구비될 수 있다.
따라서, 상기 제1 탄성 부재(150)가 상기 압전 소자(240)로부터 전달되는 진동력을 상기 질량체(230)에 전달하여 상기 질량체(230)를 진동시킬 수 있다.
즉, 본 실시예에서 진동의 매개는 상기 제1 탄성 부재(150)에 의해 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 제1 탄성 부재(150)의 고유 진동 주파수는 상기 압전 소자(240)의 작동 주파수와 일치할 수 있다.
이는 상기 질량체(230)로 전달되는 진동력을 극대화하여 큰 진동량을 얻기 위함이다.
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이고, 도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 진동 액추에이터의 질량체의 변형 예를 도시한 개략 단면도이다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 진동 액추에이터(300)는 질량체(330), 다이아프램(320) 및 하우징(110')을 제외하고는 상기 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터와 동일하므로 질량체(330), 다이아프램(320) 및 하우징(110') 이외의 설명은 생략하기로 한다.
질량체(330)는 수평부(332), 상기 수평부(332)의 중심부에서 상측으로 돌출되는 돌출부(334) 및 상기 수평부(332)의 외측에서 하측으로 연장되어 형성되는 회피부(336)를 포함할 수 있다.
다이아프램(320)은 일단이 상기 질량체(330)의 상기 수평부(332)와 결합하고 타단이 하우징(110')과 결합하여, 상기 질량체(330)와 함께 하우징(110')의 내부공간을 분리할 수 있다.
상기 다이아프램(320)은 메탈, 플라스틱 레진, 러버 등과 같이 탄성력을 갖는 재질일 수 있으며, 상기 다이아프램(320)은 상기 질량체(330)의 상기 수평부(332)와 결합하여 상기 질량체(330)를 탄성적으로 지지할 수 있다.
또한, 상기 다이아프램(320)은 일면에 적어도 하나의 반구 형상으로 이루어진 굴곡부(322)를 구비함으로써 상기 다이아프램(320)의 탄성력을 더욱 개선할 수 있다.
하우징(110')의 내측 타면에는 상기 질량체(330)의 상기 돌출부(334)의 외경보다 큰 내경을 구비하도록 돌출 형성되는 돌기부(112b)를 구비할 수 있다.
상기 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터(100)와 마찬가지로, 상기 압전 소자(140)가 상기 질량체(330)와 접촉하므로, 상기 압전 소자(140)에 의한 진동력이 상기 질량체(330)에 직접적으로 전달될 수 있다.
따라서, 상기 질량체(330)는 탄성력을 구비하는 상기 다이아프램(320)을 매개로 진동할 수 있다.
도 13은 본 발명의 제4 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이고, 도 14는 본 발명의 제4 실시예에 따른 진동 액추에이터의 제2 탄성 부재의 변형 예를 도시한 개략 단면도이다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 진동 액추에이터(400)는 질량체(430), 다이아프램(420) 및 제2 탄성 부재(170)를 제외하고는 상기 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터(100)와 동일하므로 질량체(430), 다이아프램(420) 및 제2 탄성 부재(170) 이외의 설명은 생략하기로 한다.
질량체(430)는 수평부(432), 상기 수평부(432)의 중심부에서 상측으로 돌출되어 형성되는 돌출부(434), 상기 수평부(432)의 외측에서 하측으로 연장되어 형성되는 회피부(436), 상기 회피부(436)에서 반경 방향 외측으로 연장되어 형성되는 안착부(438) 및 상기 안착부(438)에서 하측으로 연장되어 형성되는 연장부(439)를 포함할 수 있다.
다이아프램(420)은 일단이 상기 질량체(430)의 상기 안착부(438)와 결합하고 타단이 하우징(110)과 결합하여, 상기 질량체(430)와 함께 하우징(110)의 내부공간을 분리할 수 있다.
상기 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터(100)와 마찬가지로, 상기 압전 소자(140)가 상기 질량체(430)와 접촉하므로, 상기 압전 소자(140)에 의한 진동력이 상기 질량체(430)에 직접적으로 전달될 수 있다.
여기서, 본 발명의 제4 실시예에 따른 진동 액추에이터(400)는 제2 탄성 부재(170)를 더 포함할 수 있다.
도 13에서와 같이 제2 탄성 부재(170)는 일단이 상기 하우징(110)과 결합하고, 타단이 상기 질량체(430)에 구비되는 상기 안착부(438)와 결합하여 상기 질량체(430)를 탄성적으로 지지할 수 있다.
또한, 도 14에서와 같이 제2 탄성 부재(170)는 일단이 상기 하우징(110)과 결합하고, 타단이 상기 질량체(430)에 구비되는 상기 돌출부(434)와 결합하여 상기 질량체(430)를 탄성적으로 지지하는 것도 가능하다.
따라서, 질량체(430)는 압전 소자(140)로부터 직접적으로 진동력을 전달받아 상기 제2 탄성 부재(170)를 매개로 진동할 수 있다.
도 15는 본 발명의 제5 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이고, 도 16은 본 발명의 제5 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 지지부를 제외하고 제2 탄성 부재를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도이며, 도 17은 본 발명의 제5 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 제2 탄성 부재를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도이다.
도 15 내지 도 17을 참조하면, 본 발명의 제5 실시예에 따른 진동 액추에이터(500)는 질량체(530), 다이아프램(520), 지지부(160) 및 제2 탄성 부재(170)를 제외하고는 상기 제1 실시예에 따른 진동 액추에이터(100)와 동일하므로 질량체(530), 다이아프램(520), 지지부(160) 및 제2 탄성 부재(170) 이외의 설명은 생략하기로 한다.
상기 질량체(530)는 수평부(532), 상기 수평부(532)의 외측에서 상측 및 하측으로 각각 연장되어 형성되는 수직부(534) 및 상기 수직부(534)의 하측에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부(536)를 포함할 수 있다.
다이아프램(520)은 일단이 상기 질량체(530)의 상기 안착부(536)와 결합하고 타단이 하우징(110)과 결합하여, 상기 질량체(530)와 함께 하우징(110)의 내부공간을 분리할 수 있다.
하우징(110)과 상기 수평부(532) 사이에는 탄성력을 가지는 지지부(160)가 배치되어 상기 질량체(530)를 탄성적으로 지지할 수 있다.
도 16 및 도 17을 참조하면, 본 발명의 제5 실시예에 따른 진동 액추에이터(500)는 제2 탄성 부재(170)를 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 제2 탄성 부재(170)는 상기 안착부(636)와 결합하여 상기 질량체(630)를 탄성적으로 지지할 수 있으며, 상기 제2 탄성 부재(170)의 고유 진동 주파수는 압전 소자(140)의 작동 주파수와 일치할 수 있다.
따라서, 상기 질량체(530)는 압전 소자(140)로부터 진동력을 전달받아 상기 제2 탄성 부재(170) 및 지지부(160)를 매개로 진동할 수 있다.
다만, 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 질량체(530)는 상기 제2 탄성 부재(170)를 제외하고 탄성력을 가지는 상기 지지부(160)에 의해서 탄성적으로 지지되는 것도 가능하다.
도 18은 본 발명의 제6 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이다.
도 18를 참조하면, 본 발명의 제6 실시예에 따른 진동 액추에이터(600)는 질량체(630), 하우징(110) 및 지지부(160)를 제외하고는 상기 제4 실시예에 따른 진동 액추에이터(400)와 동일하므로 질량체(630), 하우징(110) 및 지지부(160) 이외의 설명은 생략하기로 한다.
질량체(630)는 수평부(632), 상기 수평부(632)의 외측에서 하측으로 연장되어 형성되는 회피부(634), 상기 회피부(634)에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부(636) 및 상기 안착부(636)에서 하측으로 연장되어 형성되는 연장부(638)를 포함할 수 있다.
하우징(110)의 내측 타면에는 후술할 지지부(160)의 외경과 대응되도록 돌출 형성되는 돌기부(110c)를 구비하여 상기 돌기부(110c)의 내면에 지지부(160)를 삽입 고정함으로써 지지부(160)를 상기 하우징(110)의 내측 일면에 더욱 견고히 결합할 수 있다.
지지부(160)의 상면은 상기 하우징(110)의 내측 일면과 접촉하고, 상기 지지부(160)의 하면은 상기 질량체(630)에 구비되는 상기 수평부(632)의 상면과 접촉할 수 있다.
즉, 상기 지지부(160)는 상기 하우징(110)과 상기 질량체(630) 사이에 배치되어 상기 질량체(630)를 탄성적으로 지지할 수 있다.
도 19는 본 발명의 제7 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이고, 도 20은 본 발명의 제7 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 지지부를 제외하고 질량체가 제2 탄성 부재를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도이다.
도 19 및 도 20을 참조하면, 본 발명의 제7 실시예에 따른 진동 액추에이터(700)는 질량체(730) 및 제2 탄성 부재(170)를 제외하고는 상기 제6 실시예에 따른 진동 액추에이터(600)와 동일하므로 질량체(730) 및 제2 탄성 부재(170) 이외의 설명은 생략하기로 한다.
질량체(730)는 수평부(732), 상기 수평부(732)의 중심부에서 하측으로 함입되어 형성되는 고정부(734), 상기 수평부(732)의 양 끝단에서 하측으로 연장되어 형성되는 회피부(736), 상기 회피부(736)에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부(738) 및 상기 안착부(738)에서 하측으로 연장되어 형성되는 연장부(739)를 포함할 수 있다.
도 19를 참조하면, 지지부(160)는 하우징(110)의 내측 일면 및 상기 질량체(730)에 구비되는 상기 고정부(734)와 결합함으로써, 상기 지지부(160)를 견고히 고정시킬 수 있다.
상기 지지부(160)는 탄성력을 구비할 수 있으므로, 상기 질량체(730)를 탄성적으로 지지할 수 있다.
도 20을 참조하면, 상기 하우징(110)과 상기 고정부(734) 사이에는 상기 지지부(160) 대신 제2 탄성 부재(170)가 배치될 수 있다.
따라서, 질량체(730)는 압전 소자(140)로부터 진동력을 전달받아 상기 제2 탄성 부재(170)를 매개로 하여 진동할 수 있다.
도 21은 본 발명의 제8 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이다.
도 21을 참조하면, 본 발명의 제8 실시예에 따른 진동 액추에이터(800)는 질량체(830), 다이아프램(820) 및 제2 탄성 부재(170)를 제외하고는 상기 제2 실시예에 따른 진동 액추에이터(200)와 동일하므로 질량체(830), 다이아프램(820) 및 제2 탄성 부재(170) 이외의 설명은 생략하기로 한다.
질량체(830)는 압전 소자(140)에 의하여 진동하는 구성으로서, 진동의 매개는 제1 탄성 부재(150) 및 제2 탄성 부재(170)에 의해 구현될 수 있다.
상기 질량체(830)는 수평부(832), 상기 수평부(832)의 외측에서 하측으로 절곡되어 형성되는 회피부(834) 및 상기 회피부(834)에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부(836)를 포함할 수 있다.
다이아프램(820)은 일단이 상기 질량체(830)의 상기 안착부(836)와 결합하고 타단이 하우징(110)과 결합하여, 상기 질량체(830)와 함께 하우징(110)의 내부공간을 분리할 수 있다.
제2 탄성 부재(170)는 상기 안착부(836)와 결합하는 상기 다이아프램(820)의 일단과 결합하여 상기 질량체(830)를 탄성적으로 지지할 수 있으며, 제1 탄성 부재(150) 및 상기 제2 탄성 부재(170)의 고유 진동 주파수는 압전 소자(140)의 작동 주파수와 일치할 수 있다.
도 22는 본 발명의 제9 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이고, 도 23은 본 발명의 제9 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 제2 탄성 부재를 더 포함하는 모습을 도시한 개략 단면도이다.
도 22 및 도 23을 참조하면, 본 발명의 제9 실시예에 따른 진동 액추에이터(900)는 제1 탄성 부재(150) 및 제2 탄성 부재(170)를 제외하고는 상기 제3 실시예에 따른 진동 액추에이터(300)와 동일하므로 제1 탄성 부재(150) 및 제2 탄성 부재(170) 이외의 설명은 생략하기로 한다.
질량체(930)와 압전 소자(140) 사이에는 제1 탄성 부재(150)가 구비되어 상기 압전 소자(140)로부터 전달되는 진동력을 상기 질량체(930)에 전달하여 상기 질량체(930)를 진동시킬 수 있다.
또한, 도 23을 참조하면, 질량체(930)에 구비되는 돌출부(934)와 하우징(110) 사이에 제2 탄성 부재(170)가 배치될 수 있다.
구체적으로, 상기 제2 탄성 부재(170)는 상기 하우징(110)에 구비되는 돌기부(112b)보다 반경 방향 내측에 배치될 수 있다.
도 24는 본 발명의 제10 실시예에 따른 진동 액추에이터를 도시한 개략 단면도이고, 도 25는 본 발명의 제10 실시예에 따른 진동 액추에이터에서 제2 탄성 부재의 변형 예를 도시한 개략 단면도이다.
도 24 및 도 25를 참조하면, 본 발명의 제10 실시예에 따른 진동 액추에이터(1000)는 제1 탄성 부재(150) 및 제2 탄성 부재(170)를 제외하고는 상기 제4 실시예에 따른 진동 액추에이터(400)와 동일하므로 제1 탄성 부재(150) 및 제2 탄성 부재(170) 이외의 설명은 생략하기로 한다.
질량체(1030)와 압전 소자(140) 사이에는 제1 탄성 부재(150)가 구비되어 상기 압전 소자(140)로부터 전달되는 진동력을 상기 질량체(1030)에 전달하여 상기 질량체(1030)를 진동시킬 수 있다.
또한, 도 25을 참조하면, 질량체(1030)에 구비되는 돌출부(1034)와 하우징(110) 사이에 제2 탄성 부재(170)가 배치될 수 있고, 상기 제2 탄성 부재(170)는 상기 제1 탄성 부재(150)와 함께 상기 질량체를 탄성적으로 지지할 수 있다.
상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.
100: 진동 액추에이터 110: 하우징
120: 다이아프램 130: 질량체
140: 압전 소자 150: 제1 탄성 부재
160: 지지부 170: 제2 탄성 부재

Claims (32)

  1. 내부공간을 제공하고, 상기 내부공간이 외부와 연통할 수 있도록 홀이 형성되는 하우징;
    상기 내부공간을 제1 챔버 및 제2 챔버로 분리하도록 배치되는 다이아프램;
    상기 다이아프램과 결합하며, 상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버 중 어느 하나에 배치되는 질량체; 및
    상기 하우징의 내측 일면에 결합하고, 상기 질량체의 하측에 배치되는 압전 소자; 를 포함하는 진동 액추에이터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 질량체는 상기 제2 챔버에 배치되는 진동 액추에이터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 홀은 상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버가 각각 상기 하우징의 외부 대기와 연통하도록 상기 하우징에 형성되는 진동 액추에이터.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 다이아프램은 일면에 적어도 하나의 반구 형상으로 이루어진 굴곡부가 형성되는 진동 액추에이터.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 다이아프램은 탄성력을 구비하는 진동 액추에이터.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 압전 소자에는 하나의 압전막이 사용되는 진동 액추에이터.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 압전 소자에는 다수의 압전막이 사용되는 진동 액추에이터.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 하우징의 내측 일면에는 상기 압전 소자의 외경과 대응되도록 돌출되는 외벽이 형성되는 진동 액추에이터.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 질량체는 상면의 적어도 일부가 상측으로 돌출되는 돌출부가 형성되며, 상기 돌출부가 상기 다이아프램과 결합하는 진동 액추에이터.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 다이아프램 사이에 배치되고, 상기 다이아프램과 결합하는 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 지지부; 를 더 포함하는 진동 액추에이터.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 압전 소자는 상기 질량체와 소정 간격 이격되도록 배치되고, 상기 압전 소자와 상기 질량체 사이에는 제1 탄성 부재; 를 더 포함하는 진동 액추에이터.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 다이아프램 사이에 배치되고, 상기 다이아프램과 결합하는 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 지지부; 를 더 포함하는 진동 액추에이터.
  13. 내부공간을 제공하고, 상기 내부공간이 외부와 연통할 수 있도록 홀이 형성되는 하우징;
    상기 하우징의 내측 일면과 결합하는 압전 소자;
    상기 압전 소자와 접촉하도록 배치되는 질량체; 및
    일단이 상기 질량체와 결합하고, 타단이 상기 하우징과 결합하여 상기 질량체와 함께 상기 내부공간을 제1 챔버 및 제2 챔버로 분리하는 다이아프램; 을 포함하는 진동 액추에이터.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 중심부에서 상측으로 돌출되는 돌출부 및 상기 수평부의 외측에서 하측으로 연장되어 형성되는 회피부를 포함하는 진동 액추에이터.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 다이아프램의 일단은 상기 수평부와 결합하는 진동 액추에이터.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 하우징의 내측 일면에는 상기 압전 소자의 외경과 대응되도록 돌출되는 외벽이 형성되는 진동 액추에이터.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 하우징의 내측 타면에는 상기 돌출부의 외경보다 큰 내경을 구비하도록 돌출되는 돌기부가 형성되는 진동 액추에이터.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 중심부에서 상측으로 돌출되어 형성되는 돌출부, 상기 수평부의 외측에서 하측으로 연장되어 형성되는 회피부, 상기 회피부에서 반경 방향 외측으로 연장되어 형성되는 안착부 및 상기 안착부에서 하측으로 연장되어 형성되는 연장부를 포함하는 진동 액추에이터.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 다이아프램의 일단은 상기 안착부와 결합하는 진동 액추에이터.
  20. 제18항에 있어서,
    일단이 상기 하우징과 결합하고, 타단이 상기 안착부와 결합하여 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성 부재; 를 더 포함하는 진동 액추에이터.
  21. 제18항에 있어서,
    일단이 상기 하우징과 결합하고, 타단이 상기 돌출부와 결합하여 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성 부재; 를 더 포함하는 진동 액추에이터.
  22. 제13항에 있어서,
    상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 외측에서 상측 및 하측으로 각각 연장되어 형성되는 수직부 및 상기 수직부의 하측에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부를 포함하는 진동 액추에이터.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 다이아프램의 일단은 상기 안착부와 결합하는 진동 액추에이터.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 수평부 사이에 배치되고, 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 지지부; 를 더 포함하는 진동 액추에이터.
  25. 제23항 또는 제24항에 있어서,
    일단이 상기 하우징과 결합하고, 타단이 상기 안착부와 결합하여 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성 부재; 를 더 포함하는 진동 액추에이터.
  26. 삭제
  27. 제13항에 있어서,
    상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 외측에서 하측으로 연장되어 형성되는 회피부, 상기 회피부에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부 및 상기 안착부에서 하측으로 연장되어 형성되는 연장부를 포함하는 진동 액추에이터.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 하우징과 상기 수평부 사이에 배치되고, 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 지지부; 를 더 포함하는 진동 액추에이터.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 하우징의 내측 타면에는 상기 지지부의 외경과 대응되는 돌기부가 형성되고, 상기 돌기부의 내면에 상기 지지부가 삽입 고정되는 진동 액추에이터.
  30. 내부공간을 제공하고, 상기 내부공간이 외부와 연통할 수 있도록 홀이 형성되는 하우징;
    상기 하우징의 내측 일면과 결합하는 압전 소자;
    상기 압전 소자의 상측에 배치되는 질량체;
    일단이 상기 질량체와 결합하고, 타단이 상기 하우징과 결합하여 상기 질량체와 함께 상기 내부공간을 제1 챔버 및 제2 챔버로 분리하는 다이아프램; 및
    상기 압전 소자와 상기 질량체 사이에 배치되는 제1 탄성 부재;를 포함하는 진동 액추에이터.
  31. 제30항에 있어서,
    상기 질량체는 수평부, 상기 수평부의 외측에서 하측으로 절곡되어 형성되는 회피부 및 상기 회피부에서 반경 방향 외측으로 절곡되어 형성되는 안착부를 포함하는 진동 액추에이터.
  32. 제31항에 있어서,
    일단이 상기 하우징과 결합하고, 타단이 상기 안착부와 결합하여 상기 질량체를 탄성적으로 지지하는 제2 탄성 부재; 를 더 포함하는 진동 액추에이터.
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