KR101318178B1 - 편광판 부착장치 - Google Patents

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KR101318178B1
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금재열
최병권
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Abstract

편광판 부착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 편광판 부착장치는, 원통형 형상의 드럼을 갖는 드럼유닛과, 드럼유닛의 상부에서 왕복 이동가능하게 마련되며, 기판을 흡착하는 스테이지유닛과, 기판에 드럼에 흡착된 편광판을 부착하기 위하여 드럼에 흡착된 편광판의 위치에 기초하여 스테이지유닛을 얼라인(align)하여 편광판을 기판에 부착하도록 스테이지유닛을 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

편광판 부착장치{Device for attaching polarizing plate}
본 발명은, 편광판 부착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 편광판을 기판에 부착 시 파티클(particle)에 의해 기판이 오염되는 것을 방지하며, 편광판을 기판에 보다 정확하게 부착할 수 있는 편광판 부착장치에 관한 것이다.
최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.
평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이러한 평면디스플레이(FPD) 중 하나인 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.
또한, 유기전계발광표시장치(OLED)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 평면디스플레이로서 주목받고 있다.
이러한 유기전계발광표시장치(OLED) 기판을 제조하기 위해서는 기판 상에 TFT(Thin Film Transistor)를 형성하기 위한 무기물 증착 공정과 패터닝 공정이 반복적으로 이루어지고, 이후 발광 Cell을 구성하기 위한 유기물 증착이 이루어 진다.
TFT 공정은 반도체 제조 공정과 매우 유사한데, 증착(Deposition), 사진식각(Photo lithography), 식각(Etching)을 반복하여 유리기판 위에 박막 트랜지스터를 배열하는 공정이다.
Cell을 구성하기 위한 공정은 TFT 공정에 의해 제조된 TFT 하판과 칼라 필터(Color Filter)인 상판에 액정이 잘 정렬될 수 있도록 배향막을 형성하고, 스페이서(Spacer)를 산포(Splaying)하고 실(Seal) 인쇄를 하여 상하판을 합착하는 공정이다.
이후, 모듈(Module)공정이 계속되는데, 이러한 모듈(Module)공정은 완성된 OLED패널에 편광판을 부착하고 집적 회로(Drive-IC)를 실장한 후, PCB(Printed Circuit Board)와 조립한 다음, 그 배면으로 백라이트 유닛(Back-light Unit)과 기구물을 조립하는 일련의 단계를 가리킨다.
이러한 모듈 공정에서 사용되는 편광판은, OLED패널에 부착되어 액정을 투과한 빛 중 특정 방향으로 강하게 진동하는 빛만을 선택적으로 투과시키는 역할을 한다.
한편, 편광판이 OLED패널 조립공장으로 이송되는 과정에서 편광판의 표면에 스크래치가 발생하거나 이물질이 묻으면 곤란하다. 따라서 편광판이 제조되고 나면 편광판에 별도의 보호필름(Protecting Film)이 부착된다. 물론, 실질적으로 편광판 부착공정이 진행될 때는 보호필름이 박리된 상태에서 진행된다.
초기에는 작업자가 수작업에 의해 보호필름을 제거하고, 보호필름이 제거된 편광판을 기판에 부착 하여 왔으나, 수작업의 한계로 인해 생산 효율이 낮아질 수밖에 없게 되는 바, 근자에 들어서는 소위, 편광판 부착장치를 이용하기에 이르렀다.
이러한 편광판 부착장치는 보호필름의 박리 공정을 진행한 후에 OLED패널에 편광판을 부착하는 일련의 공정이 진행될 수 있도록 하는 장치이다.
종래기술에 따른 편광판 부착장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 본체(미도시)와, 상기 본체에 마련되어 기판(S)을 지지하며, 왕복 이동하는 스테이지유닛(E)과, 상기 스테이지유닛(E)의 상부에 마련되며, 원통형의 형상을 갖는 드럼(10)과, 편광판(M)에서 보호필름(N)을 제거하는 박리유닛(20)을 포함한다.
종래기술에 따른 편광판 부착장치는, 드럼(10)의 외주면에 편광판(M)을 흡착시킨 후 드럼(10)의 회전을 따라 편광판(M)이 기판(S)에 부착하는 방식으로 작동된다.
이러한 종래기술에 따른 편광판 부착장치는, 기판(S)을 지지하는 스테이지유닛(E)이 드럼(10)의 상부에 마련되기 때문에 기판(S)에 편광판(M)을 부착 시 편광판(M)에서 발생되는 파티클(paticle)이 중력에 의해 아래쪽으로 낙하하여 기판(S)을 오염시키는 문제가 발생된다.
따라서 편광판(M)을 기판(S)에 부착하는 과정에서, 편광판(M)에서 발생되는 파티클이 중력에 의해 낙하하여 기판(S)을 오염시키는 것을 방지할 수 있는 편광판 부착장치가 고려되어야 한다.
또한 종래기술에 따른 편광판 부착장치는, 편광판(M)이 드럼(10)에 흡착 시 편광판(M)의 흡착 위치가 매 작업과정에서 미세하게 틀려질 수 있다. 이와 같이 편광판(M)의 드럼(10) 흡착 시 기준위치에서 어긋난 위치에 흡착되면, 편광판(M)이 기판(S)에 흡착되는 과정에서도 원래의 기준위치와 다른 부정합한 위치에 부착되기 때문에 모듈공정에서 불량품이 발생되는 문제점이 있다.
따라서 편광판(M)이 원래의 기준위치에서 어긋난 상태로 드럼(10)에 흡착되더라도, 어긋난 위치를 보완하여 편광판(M)을 기판(S)의 정확한 위치에 부착시킬 수 있는 편광판 부착장치가 고려되어야 한다.
특허공개번호 KR 10-2000-0038517 (삼성전자 주식회사), 2000.07.05
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 편광판을 기판에 부착 시 편광판에서 발생되는 파티클에 의해 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있으며, 드럼에 흡착된 편광판과 기판을 얼라인(align)시켜 편광판을 기판에 정확하게 부착될 수 있는 편광판 부착장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 원통형 형상의 드럼을 갖는 드럼유닛과, 상기 드럼유닛의 상부에서 왕복 이동가능하게 마련되며, 기판을 흡착하는 스테이지유닛과, 상기 기판에 상기 드럼에 흡착된 편광판을 흡착하기 위하여 상기 드럼에 흡착된 편광판의 위치에 기초하여 상기 스테이지유닛을 얼라인(align)하여 상기 편광판을 상기 기판에 부착하도록 상기 스테이지유닛을 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 드럼유닛은, 상기 드럼을 구동시키는 드럼 구동부를 더 포함하며, 상기 드럼 구동부는, 상기 드럼을 회전시키는 드럼 회전용 모터와, 상기 드럼을 업/다운(up/down)시키는 드럼 업/다운(up/down) 구동부를 포함하는 편광판 부착장치가 제공될 수 있다.
상기 드럼유닛의 상부에 마련되며, 상기 스테이지유닛의 양단부를 지지하는 한 쌍을 레일을 더 포함할 수 있다.
상기 스테이지유닛은, 상기 기판이 흡착되는 기판 흡착판과, 상기 기판 흡착판을 좌우방향인 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동테이블과, 상기 X축 이동테이블과 인접하게 배치되며, 상기 기판 흡착판을 전후방향인 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동테이블과, 상기 X축 이동테이블 및 Y축 이동테이블을 지지하며, 상기 Y축 방향으로 이동가능한 주행테이블과, 상기 X축 이동테이블 또는 Y축 이동테이블 중 어느 하나에 지지되고, 상기 기판 흡착판과 연결되며, 상기 기판 흡착판을 상기 X축 방형 및 상기 Y축 방향과 교차하는 Z축방향을 중심으로 회전시키는 기판 흡착판 회전부를 포함할 수 있다.
상기 기판 흡착판에는 표면으로부터 함몰형성된 OLB(Outer Lead Bonding) 도피홈이 마련될 수 있다.
상기 스테이지유닛은, TAB(Tape Automated Bonding) 필름의 처짐을 방지하기 위하여 TAB 필름을 지지하는 탭 가이드(TAB Guide)를 더 포함할 수 있다.
상기 드럼에 흡착된 편광판에 부착된 보호필름을 상기 편광판으로부터 1차 박리하는 1차 박리유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 1차 박리유닛으로부터 1차 박리된 보호필름을 파지하여 2차 박리시키는 2차 박리유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 드럼에 인접하게 배치되어 상기 드럼에 흡착된 편광판을 촬상하여 상기 편광판의 위치정보를 획득하는 비젼유닛을 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 비젼유닛으로부터 전송된 상기 편광판의 위치정보에 기초하여 상기 편광판과 상기 기판을 얼라인(align)하여 상기 편광판을 상기 기판에 부착하도록 상기 스테이지유닛과 상기 드럼을 제어할 수 있다.
상기 비젼유닛은, 상기 편광판의 일측을 촬상하는 편광판용 고정카메라와, 상기 편광판의 크기에 따라 상기 편광판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 상기 편광판의 타측을 촬상하는 편광판용 이동카메라를 포함할 수 있다.
상기 비젼유닛은, 상기 편광판용 이동카메라를 상기 편광판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격시키기 위하여 상기 편광판용 이동카메라를 상기 드럼의 축 방향으로 이동시키는 리니어 주행부를 더 포함할 수 있다.
상기 리니어 주행부는, 상기 편광판용 이동카메라가 결합되는 LM 블록과, 상기 LM 블록의 이동을 가이드하는 LM 가이드와, 상기 LM 블록을 이동시키는 구동모터를 포함할 수 있다.
상기 비젼유닛은, 상기 드럼의 하측 영역에 배치되며, 상기 편광판용 고정카메라와 상기 편광판용 이동카메라는, 상기 드럼의 법선방향으로 배치될 수 있다.
상기 편광판용 고정카메라는 상기 편광판의 일측 모서리 영역을 촬상하고, 상기 편광판용 이동카메라는 상기 편광판의 타측 모서리 영역을 촬상하며, 상기 편광판의 위치정보는, 상기 제어부에 기입력된 편광판 기준선에서의 상기 편광판의 모서리의 위치와 상기 편광판용 고정카메라 및 상기 편광판용 이동카메라에 의해 촬상된 모서리의 위치를 비교하는 얻어질 수 있다.
상기 비젼유닛은, 상기 기판의 일측을 촬상하는 기판용 고정카메라와, 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 상기 기판의 타측을 촬상하는 기판용 이동카메라를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 기판용 고정카메라와 상기 기판용 이동카메라에 의해 촬상된 정보에 의하여 상기 기판의 위치정보를 획득할 수 있다.
상기 기판에는 위치측정용 마커(marker)가 마련되며, 상기 기판의 위치정보는, 상기 제어부에 기입력된 기판 기준선에서의 상기 기판의 마커의 위치와 상기 기판용 고정카메라 및 상기 기판용 이동카메라에 의해 촬상된 마커의 위치를 비교하여 얻어질 수 있다.
상기 기판용 이동카메라는, 상기 LM 블록에 결합되며, 상기 편광판용 이동카메라에 대하여 미리 결정된 거리만큼 이격되어 배치될 수 있다.
삭제
상기 드럼 업/다운(up/down) 구동부는, 상기 드럼이 결합되는 드럼 결합체와, 상기 드럼 결합체와 치합되어 회전에 의해 상기 드럼 결합체를 업/다운(up/down)시키는 볼 스크류(ball screw)와, 상기 볼 스크류를 회전시키는 서보모터(servo motor)와, 상기 드럼 결합체의 업/다운(up/down)을 가이드하는 드럼 업/다운(up/down) 가이드를 포함할 수 있다.
삭제
상기 기판은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 기판이고, 상기 드럼에는 상기 편광판의 흡착을 위한 다수의 드럼 흡착공이 형성되며, 상기 스테이지유닛에는 상기 기판의 흡착을 위한 진공패드가 마련될 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 기판을 흡착하는 스테이지유닛이 드럼유닛의 상부에 배치됨으로써, 기판에 편광판을 부착 시 편광판에서 발생되는 파티클(particle)은 중력에 의해 아래쪽으로 낙하하여 기판이 파티클에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예들은, 제어부가 드럼에 흡착된 편광판의 위치에 기초하여 스테이지유닛을 얼라인(align)하여 편광판을 기판에 부착함으로써, 기판에 편광판을 정밀하게 정합시켜 부착시킬 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 편광판 부착장치의 개략적인 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 편광판 부착장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 도 2의 편광판 부착장치가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 4는 도 2의 드럼유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 5는 도 2의 드럼유닛이 개략적으로 도시된 정면도이다.
도 6은 도 2의 스테이지유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 7은 도 6의 스테이지유닛이 도시된 정면도이다.
도 8은 도 6의 기판 흡착판을 아래쪽에서 바라본 사시도이다.
도 9는 도 2의 1착 박리유닛 및 2차 박리유닛의 동작이 나타난 동작상태도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 비젼유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 11은 도 10에서 드럼을 바라보는 편광판용 고정카메라의 배치가 도시된 도면이다.
도 12는 도 10에서 기판용 고정카메라와 기판용 이동카메라가 기판을 촬상하는 동작이 나타난 동작상태도이다.
도 13은 도 10에서 비젼유닛의 편광판 및 기판 촬상 영역이 도시된 도면이다.
도 14는 도 13에서 편광판용 고정카메라와 편광판용 이동카메라가 촬상한 이미지이다.
도 15는 도 13에서 기판용 고정카메라와 기판용 이동카메라가 촬상한 이미지이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 기판은 평면디스플레이에 사용된다. 평면디스플레이란 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중 어떠한 것이 적용되어도 좋다. 다만, 본 실시예에서는 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 단순히 기판이라 하여 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 편광판 부착장치가 개략적으로 도시된 측면도이고, 도 3은 도 2의 편광판 부착장치가 개략적으로 도시된 사시도이며, 도 4는 도 2의 드럼유닛이 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 5는 도 2의 드럼유닛이 개략적으로 도시된 정면도이며, 도 6은 도 2의 스테이지유닛이 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 7은 도 6의 스테이지유닛이 도시된 정면도이며, 도 8은 도 6의 기판 흡착판을 아래쪽에서 바라본 사시도이고, 도 9는 도 2의 1착 박리유닛 및 2차 박리유닛의 동작이 나타난 동작상태도이며, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 비젼유닛이 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 11은 도 10에서 드럼을 바라보는 편광판용 고정카메라의 배치가 도시된 도면이며, 도 12는 도 10에서 기판용 고정카메라와 기판용 이동카메라가 기판을 촬상하는 동작이 나타난 동작상태도이고, 도 13은 도 10에서 비젼유닛의 편광판 및 기판 촬상 영역이 도시된 도면이며, 도 14는 도 13에서 편광판용 고정카메라와 편광판용 이동카메라가 촬상한 이미지이고, 도 15는 도 13에서 기판용 고정카메라와 기판용 이동카메라가 촬상한 이미지이다.
도 2 내지 15에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치(100)는, 원통형 형상의 드럼(111)을 갖는 드럼유닛(110)과, 드럼유닛(110)의 상부에서 왕복 이동가능하게 마련되며, 기판(S)을 흡착하는 스테이지유닛(120)과, 기판(S)에 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)을 부착하기 위하여 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 위치에 기초하여 스테이지유닛(120)을 얼라인(align)하여 편광판(M)을 기판(S)에 부착하도록 스테이지유닛(120)을 제어하는 제어부(미도시)를 포함한다.
또한 본 실시예에 따른 편광판 부착장치(100)는, 드럼(111)에 편광판(M)이 흡착되도록 편광판(M)을 드럼(111)으로 공급하는 편광판 공급부(미도시)를 더 포함한다.
먼저 본 실시예에 따른 드럼유닛(110)은, 스테이지유닛(120)의 하부에 마련되며, 원통형 형상의 드럼(111)을 포함한다.
드럼(111)의 외주면에는, 편광판(M)의 흡착을 위한 드럼 흡착공(H1)이 형성된다. 이러한 드럼 흡착공(H1)은 드럼 진공압 공급부(미도시)과 연결되어 편광판(M)에 흡착력을 제공한다.
드럼 진공압 공급부(미도시)는 드럼 흡착공(H1)들과 관통 연결되는 다수개의 드럼 진공관들(미도시)과, 드럼 진공관들에 진공압을 공급하는 드럼 진공 펌프(미도시)를 포함한다.
또한, 드럼유닛(110)은 드럼(111)을 구동시키는 드럼 구동부(112,113)를 더 포함한다. 드럼 구동부(112,113)는, 드럼(111)을 회전시키는 드럼 회전용 모터(112)와, 드럼(111)을 업/다운(up/down)시키는 드럼 업/다운(up/down) 구동부(113)를 포함한다.
드럼 회전용 모터(112)는 드럼(111)의 중심축과 연결되어 드럼(111)을 회전시킨다.
드럼 업/다운(up/down) 구동부(113)는, 드럼(111)이 결합되는 드럼 결합체(114)와, 드럼 결합체(114)와 치합되어 회전에 의해 드럼 결합체(114)를 업/다운(up/down)시키는 볼 스크류(ball screw, 115)와, 볼 스크류(115)를 회전시키는 서보모터(servo motor, 116)와, 드럼 결합체(114)의 업/다운(up/down)을 가이드하는 드럼 업/다운(up/down) 가이드(117)를 포함한다.
드럼 결합체(114)에는 드럼(111)이 회전가능하게 결합되며, 드럼 회전용 모터(112)도 드럼 결합체(114)에 결합되어 드럼(111)과 함께 업/다운(up/down)될 수 있다.
이러한 드럼(111)의 업/다운(up/down)은, 드럼 결합체(114)와 치합되고 서보모터(116)의 의해 회전되는 볼 스크류(115)에 의해 이루어진다. 드럼 결합체(114)와 치합되는 볼 스크류(115)의 회전에 의해 드럼 결합체(114)가 업/다운(up/down)되고, 결국 드럼 결합체(114)에 결합된 드럼(111)이 업/다운(up/down)된다.
이와 같은 드럼 업/다운(up/down) 구동부(113)에 의해 드럼(111)은, 편광판(M)을 기판(S)에 부착하는 과정에서 스테이지유닛(120)으로 업(up)되어 스테이지유닛(120)에 접근한다. 이후 편광판(M)을 기판(S)에 부착하는 과정이 완료되면 드럼(111)은 다운(down)되어 스테이지유닛(120)에서 이격된다.
한편, 드럼 업/다운(up/down) 구동부(113)는, 실린더 로드(미도시)가 드럼 결합체(114)와 연결되어 드럼 결합체(114)의 업/다운 방향으로 드럼 결합체(114)를 가압하는 가압 실린더(118,119)를 더 포함한다.
가압 실린더(118,119)는, 드럼 결합체(114)의 상측 영역에 배치되는 상부 가압 실린더(118)와, 드럼 결합체(114)의 하측 영역에 배치되는 하부 가압 실린더(119)로 마련된다.
상부 가압 실린더(118)는 드럼 결합체(114)를 하측 방향으로 각각 가압하고 하부 가압 실린더(119)는 드럼 결합체(114)를 상측 방향으로 가압한다.
이러한 상부 및 하부 가압 실린더(118,119)는, 서보모터(116)와 볼 스크류(115)에 의한 드럼(111)의 업/다운(up/down) 구동을 보조하는 동시에, 드럼(111)이 원하는 높이에 정지된 후에 드럼(111)을 상측 및 하측에서 가압함으로써 작업 중 충격 등에 의하여 드럼(111)이 업/다운(up/down)되는 것을 방지한다.
한편 본 실시예에 따른 스테이지유닛(120)은, 기판(S)을 흡착하며, 드럼유닛(110)의 상부에서 왕복 이동가능하게 마련된다.
스테이지유닛(120)은, 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)을 기판(S)에 부착하는 과정에서 기판(S)을 지지하며 드럼(111)쪽으로 이동된다. 또한 스테이지유닛(120)은, 편광판(M)을 부착과정이 완료된 기판(S)을 다음 공정으로 이송시키기 위해 다음 작업장소로 이동한다.
스테이지유닛(120)은 레일(R)에 지지되어 왕복 이동하는데, 이러한 레일(R)은 드럼유닛(110)의 상부에 마련되며, 스테이지유닛(120)을 안정적으로 지지하기 위해 한 쌍으로 구성된다.
이러한 스테이지유닛(120)은, 기판(S)이 흡착되는 기판 흡착판(121)과, 기판 흡착판(121)을 좌우방향인 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동테이블(122)과, X축 이동테이블(122)과 인접하게 배치되며, 기판 흡착판(121)을 전후방향인 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동테이블(123)과, X축 이동테이블(122) 및 Y축 이동테이블(123)을 지지하며, Y축 방향으로 이동가능한 주행테이블(124)과, X축 이동테이블(122) 또는 Y축 이동테이블(123) 중 어느 하나에 지지되고, 기판 흡착판(121)과 연결되며, 기판 흡착판(121)을 X축 방형 및 Y축 방향과 교차하는 Z축방향을 중심으로 회전시키는 기판 흡착판 회전부(125)를 포함한다.
본 실시예에서 X축 이동테이블(122)과 Y축 이동테이블(123)은 편광판(M)과 기판(S)의 얼라인(align) 시 필요한 짧은 거리의 이동에 사용되며, 주행테이블(124)은 기판(S)에 편광판(M)을 부착하는 작업과 기판(S)을 이송시키는 작업과 같은 긴 거리의 이동에 사용된다.
본 실시예에 따른 스테이지유닛(120)은, 주행테이블(124)의 상부에 X축 방향으로 이동가능한 X축 이동테이블(122)이 배치되고, X축 이동테이블(122)의 상부에는 Y축 방향으로 이동가능한 Y축 이동테이블(123)이 배치되며, 기판 흡착판(121)과 연결된 기판 흡착판 회전부(125)는 Y축 이동테이블(123)에 지지된다.
X축 이동테이블(122)의 이동을 위해 주행테이블(124)의 상면부에는, X축 이동테이블(122)의 이동을 가이드하는 X축 이동테이블 가이드(124a)가 마련된다. 마찬가지로, Y축 이동테이블(123)의 이동을 위해 X축 이동테이블(122)의 상면부에는, Y축 이동테이블(123)의 이동을 가이드하는 Y축 이동테이블 가이드(122a)가 마련된다.
Y축 이동테이블(123)에는, 기판 흡착판(121)과의 연결을 위해, 기판 흡착판 결합공(123a)이 형성된다.
또한, X축 이동테이블(122)과 주행테이블(124)에는 기판 흡착판 회전부(125)가 통과하는 통과공(122b,124b)이 마련된다. 이러한 통과공(122b,124b)에 의해 X축 이동테이블(122)과 Y축 이동테이블(123)의 이동 시 X축 이동테이블(122) 및 Y축 이동테이블(123)이 기판 흡착판 회전부(125)와 간섭되는 것이 방지된다.
한편, 기판 흡착판 회전부(125)는 기판 흡착판(121)을 X축 방향 및 Y축 방향과 교차하는 Z축방향을 중심으로 회전시킨다.
이와 같은 구조의 스테이지유닛(120)에 의해, X축 이동테이블(122)과 Y축 이동테이블(123)의 X축 방향 및 Y축 방향의 이동에 의해 기판 흡착판(121)이 X축 방향과 Y축 방향으로 이동됨으로써, 기판(S)과 편광판(M)이 얼라인된다.
또한 기판 흡착판 회전부(125)에 의해 기판 흡착판(121)이 Z축 방향을 중심으로 회전됨으로써, 편광판(M)이 Z축을 중심으로 소정각도 회전되어 드럼(111)에 흡착되더라도, 기판 흡착판(121)이 Z축을 중심으로 회전되어 편광판(M)과 기판(S)이 얼라인될 수 있다.
한편, 기판 흡착판(121)에는 기판(S)의 흡착을 위한 진공패드(vacuum pad, 121a)가 마련된다.
또한, 본 실시예에 따른 기판 흡착판(121)에는, 도 8에 자세히 도시된 바와 같이, 표면으로부터 함몰형성된 OLB(Outer Lead Bonding) 도피홈(126)이 마련된다. 여기서 OLB 도피홈(126)은, 기판(S)에 마련되는 본딩패드(bonding pad, 미도시)와 연결되는 TCP(Tape Carrier Package) 출력부 단자인 OLB 패드(Outer Lead Bonding Pad, 미도시)가 기판 흡착판(121)의 표면에 접촉되는 것을 방지한다.
TCP(Tape Carrier Package)란, 집적회로(IC) 구동단자를 TAB(Tape Auto Bonding)하기 위한 것으로, 드라이브 아이씨(Drive IC)를 캐리어(carrier)인 테이프 필름(tape film)에 장착한 것이다. 이하에서, 테이프 필름(tape film)은 간략하게 TAB(Tape Automated Bonding) 필름(미도시)이라 한다.
한편 스테이지유닛(120)은, TAB(Tape Automated Bonding) 필름의 처짐을 방지하기 위하여 TAB 필름을 지지하는 탭 가이드(TAB Guide, 127)를 더 포함한다.
본 실시예에서, TAB 필름(미도시)은 두께가 얇고, TAB 필름의 일측부만 기판(S)의 가장자리부분과 연결되기 때문에 기판(S)과 접촉되지 않은 TAB 필름의 타측부는 중력에 의해 휘어져 아래로 처질 수 있다.
따라서 탭 가이드(127)는, 기판(S)과 접촉되지 않는 TAB 필름의 타측부를 지지하여 TAB 필름이 휘어지는 것을 방지한다.
이와 같은 탭 가이드(127)는, TAB 필름을 용이하게 지지하기 위해 기판(S)을 흡착하는 기판 흡착판(121)에 마련된다. 또한, 본 실시예에 따른 스테이지유닛(120)은, 다양한 TAB 필름의 크기에 대응하기 위해 탭 가이드(127)를 기판 흡착판(121)에 접근 또는 이격되는 방향으로 이동시키는 탭 가이드 이동부(128)를 더 포함한다.
한편 본 실시예에 따른 편광판 부착장치(100)는, 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)에 부착된 보호필름(N)을 편광판(M)으로부터 1차 박리하는 1차 박리유닛(130)을 더 포함한다.
1차 박리유닛(130)은, 보호필름(N)이 점착되어 점착롤러(131)와, 점착롤러(131)를 업/다운(up/down)시키는 점착롤러 업/다운(up/down) 구동부(132)를 포함한다.
본 실시예에서 점착롤러 업/다운(up/down) 구동부(132)는 리니어 모터를 사용하지만, 이에 의해 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며 공압 또는 유압 실린더를 사용할 수도 있을 것이다.
보호필름(N)의 1차 박리 시에 점착롤러(131)는 업(up)되어 드럼(111)에 인접한다.
점착롤러(131)는, 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 모서리 영역에서 보호필름(N)에 점착되며 회전에 의해 보호필름(N)의 일부분을 편광판(M)으로부터 분리시킨다.
본 실시예에 따른 편광판 부착장치(100)는, 1차 박리유닛(130)으로부터 1차 박리된 보호필름(N)을 그립핑하여 2차 박리시키는 2차 박리유닛(140)을 더 포함한다.
2차 박리유닛(140)은, 1차 박리된 보호필름(N)을 그립핑하는 그립퍼(Gripper, 141)와, 그립퍼(141)를 드럼(111)에서 접근 및 이격되는 방향으로 왕복 이동시키는 그립퍼 이동부(142)를 포함한다.
그립퍼(141)가 1차 박리된 보호필름(N)을 그립핑하면, 점착롤러(131)는 다운(down)된다. 점착롤러(131)의 다운(down)과 동시에 또는 점착롤러(131)가 다운(down)된 후에, 드럼(111)이 회전되고, 드럼(111)의 회전과 함께 그립퍼(141)가 드럼(111)에서 이격되는 방향으로 이동되어 편광판(M)에서 보호필름(N)이 2착 박리된다.
이와 같은 1차 박리유닛(130) 및 2차 박리유닛(140)에 의해 편광판(M)에서 보호필름(N)이 완전히 박리된다.
한편 제어부는, 기판(S)에 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)을 부착하기 위하여 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 위치에 기초하여 스테이지유닛(120)을 얼라인(align)하여 편광판(M)을 기판(S)에 부착한다.
본 실시예에 따른 편광판 부착장치(100)는, 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 위치정보를 획득하기 위하여, 드럼(111)에 인접하게 배치되어 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)을 촬상하여 편광판(M)의 위치정보를 획득하는 비젼유닛(150)을 포함한다.
따라서 본 실시예에 따른 제어부는, 비젼유닛(150)으로부터 전송된 편광판(M)의 위치정보에 기초하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)하여 편광판(M)을 기판(S)에 부착하도록 스테이지유닛(120)과 드럼(111)을 제어한다.
비젼유닛(150)은, 편광판(M)의 일측을 촬상하는 편광판용 고정카메라(151)와, 편광판(M)의 크기에 따라 편광판용 고정카메라(151)에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 편광판(M)의 타측을 촬상하는 편광판용 이동카메라(152)를 포함한다.
본 실시예에서 편광판용 이동카메라(152)를 사용하는 이유는 편광판 부착장치(100)에 사용되는 다양한 크기의 기판(S)에 대응할 수 있도록 하기 위해서이다. 기판(S)의 크기에 따라 편광판(M)의 크기도 달라진다.
결국 본 실시예에 따른 편광판 부착장치(100)는, 편광판(M)의 크기에 따라 드럼(111)의 축 방향 길이 전체에 해당되는 길이의 편광판(M)도 사용되고 드럼(111)의 축 방향 길이보다 짧은 길이의 편광판(M)도 사용된다. 이러한 다양한 크기의 편광판(M)의 위치정보를 획득하기 위하여 편광판용 이동카메라(152)가 편광판(M)의 크기에 따라 드럼(111)의 축 방향으로 이동된다.
이러한 편광판용 고정카메라(151)와 편광판용 이동카메라(152)는, 드럼(111)의 하측 영역에 배치된다.
또한 편광판용 고정카메라(151)와 편광판용 이동카메라(152)는, 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 위치를 정확하게 촬상하기 위해, 드럼(111)의 법선방향에서 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)을 바라본다.
이때, 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 위치정보를 얻기 위해, 편광판용 고정카메라(151)와 편광판용 이동카메라(152)는, 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 모서리 영역(C1,C2)을 촬상한다. 편광판용 고정카메라(151)가 편광판(M)의 일측 모서리 영역(C1)을 촬상하고, 편광판용 이동카메라(152)는 편광판(M)의 타측 모서리 영역(C2)을 촬상하는 방법이다.
결국, 편광판용 고정카메라(151)와 편광판용 이동카메라(152)의 촬상에 의해 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 모서리의 위치를 알 수 있다.
이러한 편광판용 고정카메라(151)와 편광판용 이동카메라(152)에 의해 촬상된 편광판(M)의 모서리의 위치는 제어부에 기입력된 편광판 기준선(MT)에서의 편광판(M)의 모서리의 위치와 비교함으로써 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 위치정보를 얻을 수 있다.
여기서 기입력된 편광판 기준선(MT)에서의 편광판(M)의 모서리의 위치는 도 14에 도시된 바와 같이 십자선의 중심점이다.
이러한 비젼유닛(150)은, 편광판용 이동카메라(152)를 편광판용 고정카메라(151)에 대하여 접근 및 이격시키기 위하여 편광판용 이동카메라(152)를 드럼(111)의 축 방향으로 이동시키는 리니어 주행부(153)를 더 포함한다.
리니어 주행부(153)는, 편광판용 이동카메라(152)가 결합되는 LM 블록(154)과, LM 블록(154)의 이동을 가이드하는 LM 가이드(155)와, LM 블록(154)을 이동시키는 구동모터(미도시)를 포함한다.
LM 블록(154)에 편광판용 이동카메라(152)가 결합되며, 구동모터의 작동에 의해 LM 블록(154)이 LM 가이드(155)를 따라 이동된다. 따라서 편광판용 이동카메라(152)는 LM 블록(154)에 의해 이동된다.
한편, 본 실시예에 따른 비젼유닛(150)은, 기판(S)의 일측을 촬상하는 기판용 고정카메라(156)와, 기판(S)의 크기에 따라 기판용 고정카메라(156)에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 기판(S)의 타측을 촬상하는 기판용 이동카메라(157)를 더 포함한다.
또한 제어부는, 기판용 고정카메라(156)와 기판용 이동카메라(157)에 의해 촬상된 정보에 의하여 기판(S)의 위치정보를 획득하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)하여 편광판(M)을 기판(S)에 부착하도록 스테이지유닛(120)과 드럼(111)을 제어한다.
기판용 고정카메라(156)와 기판용 이동카메라(157)는, 편광판용 고정카메라(151) 및 편광판용 이동카메라(152)와 마찬가지로 드럼(111)의 하측 영역에 배치된다.
본 실시예에서 기판(S)의 모서리 영역(C3,C4)에는 위치측정용 마커(marker, K)가 마련되며, 기판용 고정카메라(156)와 기판용 이동카메라(157)는, 기판(S)의 모서리 영역(C3,C4)을 촬상한다.
기판용 고정카메라(156)는 기판(S)의 일측 모서리 영역(C3)을 촬상하며 기판용 이동카메라(157)는 기판(S)의 타측 모서리 영역(C4)을 촬상한다. 본 실시예에서 위치측정용 마커(K)가 기판(S)의 모서리 영역에 마련되지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것은 아니며 기판(S)의 모서리 영역이 아닌 다른 위치에 마커(K)가 마련될 수도 있다.
편광판용 고정카메라(151)와 기판용 고정카메라(156)는 대칭을 이루며 편광판(M)과 기판(S)을 각각 촬상한다. 따라서 편광판(M)과 기판(S)의 얼라인이 더욱 용이하다.
기판용 이동카메라(157)는, LM 블록(154)에 결합되며, 편광판용 이동카메라(152)에 대하여 미리 결정된 거리만큼 이격되어 배치된다. 이와 같이 기판용 이동카메라(157)와 편광판용 이동카메라(152)가 LM 블록(154)에 함께 결합됨으로써, 기판용 이동카메라(157)와 편광판용 이동카메라(152)의 이동을 위해 개별적인 이동수단을 구비할 필요 없이 LM 블록(154) 하나만으로 기판용 이동카메라(157)와 편광판용 이동카메라(152) 모두를 이동시킬 수 있어 공간활용도가 높아진다.
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또한 편광판용 이동카메라(152)와 기판용 이동카메라(157)가 대칭을 이루며 편광판(M)과 기판(S)을 각각 촬상하기 때문에 편광판(M)과 기판(S)의 얼라인이 더욱 용이하다.
한편, 제어부는 기판 기준선(ST)에서의 기판(S)의 위치가 미리 입력되어 있다. 따라서 제어부에 기입력된 기판 기준선(ST)에서의 마커(K)의 위치와 기판용 고정카메라(156) 및 기판용 이동카메라(157)에 의해 촬상된 마커(K)의 위치를 비교하면 기판(S)의 위치정보가 얻어진다. 여기서, 기입력된 기판 기준선(ST)에서의 마커(K)의 위치는 도 15에 도시된 바와 같이 십자선의 중심점이다.
이러한 기판용 고정카메라(156)와 기판용 이동카메라(157)에 의해 제어부는 기판(S)의 위치정보를 획득한다.
따라서 본 실시예에 따른 제어부는, 편광판용 고정카메라(151)와 편광판용 이동카메라(152)로부터 편광판(M)의 위치정보로 획득하며, 기판용 고정카메라(156)와 기판용 이동카메라(157)로부터 기판(S)의 위치정보까지 획득한다.
결국 제어부는 비젼유닛(150)으로부터 전송된 기판(S)의 위치정보 및 편광판(M)의 위치정보에 기초하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)하여 편광판(M)을 기판(S)에 부착하도록 스테이지유닛(120)과 드럼(111)을 제어할 수 있다.
이하에서 본 실시예에 따른 편광판 부착장치(100)의 작동에 대해 설명한다.
먼저 편광판(M)을 드럼(111)에 흡착시키기 위해 편광판 공급부(미도시)가 드럼(111)에 편광판(M)을 공급한다.
편광판(M)이 드럼(111)에 흡착된 후에 1차 박리유닛(130)이 업(up) 보호필름(N)을 1차 박리하고, 1차 박리 후 2차 박리유닛(140)이 보호필름(N)을 2차 박리함으로써, 편광판(M)에서 보호필름(N)이 완전히 박리된다.
한편, 편광판(M)이 드럼(111)에 흡착된 후에는 비젼유닛(150)이 편광판(M)의 위치정보를 획득한다.
편광판용 고정카메라(151)와 편광판용 이동카메라(152)가 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 모서리 영역을 촬상함으로써, 드럼(111)에 흡착된 편광판(M) 위치가 제어부에 기입력된 편광판 기준선(MT)에서의 편광판(M)의 위치에서 어느 정도 벗어나 있는지를 알 수 있다.
이렇게 획득된 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 위치정보에 따라 제어부는, 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 모서리 위치와 편광판 기준선(MT)에서의 편광판(M) 모서리 위치의 차이가 보정되도록 X축 이동테이블(122), Y축 이동테이블(123) 및 기판 흡착판 회전부(125)를 제어한다.
X축 이동테이블(122), Y축 이동테이블(123) 및 기판 흡착판 회전부(125)에 작동에 의해 기판 흡착부가, X축 방향, Y축 방향으로 이동되며 Z축을 중심으로 회전된다.
또한, 기판용 고정카메라(156)와 기판용 이동카메라(157)가 기판 흡착판(121)에 흡착된 기판(S)의 모서리 영역(C3,C4)을 촬상함으로써, 기판(S)의 마커(K)의 위치가 제어부에 기입력된 기판 기준선(ST)의 위치에서 어느 정도 벗어나 있는지를 알 수 있다.
이러한 편광판용 고정카메라(151)와 편광판용 이동카메라(152)가 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)의 모서리 영역을 촬상하는 과정과 동시에 스테이지유닛(120)이 기판(S)에 편광판(M)을 부착하기 위해 드럼(111)을 향해 접근한다.
스테이지유닛(120)의 이동에 의해 기판(S)이 드럼(111)에 인접하면, 기판용 고정카메라(156)와 기판용 이동카메라(157)가기판 흡착판(121)에 흡착된 기판(S)의 모서리 영역(C3,C4)을 촬상함으로써, 기판(S)의 마커(K)의 위치가 제어부에 기입력된 기판 기준선(ST)의 위치에서 어느 정도 벗어나 있는지를 알 수 있다.
이렇게 획득된 기판(S)의 위치정보에 따라 제어부는, 기판 흡착판(121)에 흡착된 기판(S)의 마커(K)의 위치와 기판 기준선(ST)에서의 마커(K)의 위치의 차이가 보정되도록 X축 이동테이블(122), Y축 이동테이블(123) 및 기판 흡착판 회전부(125)를 제어한다.
X축 이동테이블(122), Y축 이동테이블(123) 및 기판 흡착판 회전부(125)의 작동에 의해 기판 흡착부가, X축 방향, Y축 방향으로 이동되며 Z축을 중심으로 회전된다.
결국 제어부의 X축 이동테이블(122), Y축 이동테이블(123) 및 기판 흡착판 회전부(125)의 제어에 의해 편광판(M)과 기판(S)이 얼라인(align)된다.
다음, 편광판(M)과 기판(S)이 얼라인(align)된 후 드럼(111)을 업(up)시키고, 편광판(M)이 기판(S)에 부착되도록 주행테이블(124)을 이동시킨다.
주행테이블(124)의 이동과 함께 드럼(111)이 회전되어 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)이 기판(S)에 부착되어 편광판(M) 부착작업이 완료된다.
편광판(M)의 부착작업이 완료되면 드럼(111)은 다운(down)된다. 이후 스테이지유닛(120)은 편광판(M)의 부착작업이 완료된 기판(S)을 다음 공정으로 이송하기 위해 다른 작업장소로 이동된다.
이와 같이 본 실시예에 따른 편광판 부착장치(100)는, 기판(S)을 이동시키는 스테이지유닛(120)이 드럼(111)의 상측에 위치하기 때문에, 편광판(M)을 드럼(111)에 흡착하는 과정 또는 편광판(M)에서 보호필름(N)을 박리하는 과정에서 발생되는 파티클의 영향을 받지 않는다. 왜냐하면 파티클은 중력에 의해 드럼의 아래쪽으로 낙하하기 때문이다.
또한 본 실시예에 따른 편광판 부착장치(100)는, 비젼유닛(150)이 드럼(111)에 흡착된 편광판(M)과 스테이지유닛(120)에 지지되는 기판(S) 각각을 촬상하여 편광판(M)과 기판(S) 각각의 위치정보를 획득하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)함으로써, 편광판(M)을 기판(S)에 정밀하게 정합시켜 부착시킬 수 있다.
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 편광판 부착장치 110: 드럼유닛
111: 드럼 112: 드럼 회전용 모터
113: 드럼 업/다운(up/down) 구동부 114: 드럼 결합체
115: 볼 스크류 116: 서보모터
117: 드럼 업/다운(up/down) 가이드 118: 상부 가압 실린더
119: 상부 가압 실린더 120: 스테이지유닛
121: 기판 흡착판 122: X축 이동테이블
123: Y축 이동테이블 124: 주행테이블
125: 기판 흡착판 회전부 126: OLB 도피홈
127: 탭 가이드 130: 1차 박리유닛
131: 점착롤러
132: 점착롤러 업/다운(up/down) 구동부
140: 2차 박리유닛 141: 그립퍼
142: 그립퍼 이동부 150: 비젼유닛
151: 편광판용 고정카메라 152: 편광판용 이동카메라
153: 리니어 주행부 154: LM 블록
155: LM 가이드 156: 기판용 고정카메라
157: 기판용 이동카메라 R: 레일
M: 편광판 S: 기판
N: 보호필름 MT: 편광판 기준선
ST: 기판 기준선 K: 마커

Claims (19)

  1. 원통형 형상의 드럼을 갖는 드럼유닛;
    상기 드럼유닛의 상부에서 왕복 이동가능하게 마련되며, 기판을 흡착하는 스테이지유닛; 및
    상기 기판에 상기 드럼에 흡착된 편광판을 부착하기 위하여 상기 드럼에 흡착된 편광판의 위치에 기초하여 상기 스테이지유닛을 얼라인(align)하여 상기 편광판을 상기 기판에 부착하도록 상기 스테이지유닛을 제어하는 제어부를 포함하며,
    상기 드럼유닛은,
    상기 드럼을 구동시키는 드럼 구동부를 더 포함하며,
    상기 드럼 구동부는,
    상기 드럼을 회전시키는 드럼 회전용 모터; 및
    상기 드럼을 업/다운(up/down)시키는 드럼 업/다운(up/down) 구동부를 포함하는 편광판 부착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 드럼유닛의 상부에 마련되며, 상기 스테이지유닛의 양단부를 지지하는 한 쌍을 레일을 더 포함하는 편광판 부착장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지유닛은,
    상기 기판이 흡착되는 기판 흡착판;
    상기 기판 흡착판을 좌우방향인 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동테이블;
    상기 X축 이동테이블과 인접하게 배치되며, 상기 기판 흡착판을 전후방향인 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동테이블;
    상기 X축 이동테이블 및 Y축 이동테이블을 지지하며, 상기 Y축 방향으로 이동가능한 주행테이블; 및
    상기 X축 이동테이블 또는 Y축 이동테이블 중 어느 하나에 지지되고, 상기 기판 흡착판과 연결되며, 상기 기판 흡착판을 상기 X축 방형 및 상기 Y축 방향과 교차하는 Z축방향을 중심으로 회전시키는 기판 흡착판 회전부를 포함하는 편광판 부착장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 기판 흡착판에는 표면으로부터 함몰형성된 OLB(Outer Lead Bonding) 도피홈이 마련되는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 스테이지유닛은,
    TAB(Tape Automated Bonding) 필름의 처짐을 방지하기 위하여 TAB 필름을 지지하는 탭 가이드(TAB Guide)를 더 포함하는 편광판 부착장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 드럼에 흡착된 편광판에 부착된 보호필름을 상기 편광판으로부터 1차 박리하는 1차 박리유닛을 더 포함하는 편광판 부착장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 1차 박리유닛으로부터 1차 박리된 보호필름을 파지하여 2차 박리시키는 2차 박리유닛을 더 포함하는 편광판 부착장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 드럼에 인접하게 배치되어 상기 드럼에 흡착된 편광판을 촬상하여 상기 편광판의 위치정보를 획득하는 비젼유닛을 더 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 비젼유닛으로부터 전송된 상기 편광판의 위치정보에 기초하여 상기 편광판과 상기 기판을 얼라인(align)하여 상기 편광판을 상기 기판에 부착하도록 상기 스테이지유닛과 상기 드럼을 제어하는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 비젼유닛은,
    상기 편광판의 일측을 촬상하는 편광판용 고정카메라; 및
    상기 편광판의 크기에 따라 상기 편광판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 상기 편광판의 타측을 촬상하는 편광판용 이동카메라를 포함하는 편광판 부착장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 비젼유닛은,
    상기 편광판용 이동카메라를 상기 편광판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격시키기 위하여 상기 편광판용 이동카메라를 상기 드럼의 축 방향으로 이동시키는 리니어 주행부를 더 포함하는 편광판 부착장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 리니어 주행부는,
    상기 편광판용 이동카메라가 결합되는 LM 블록;
    상기 LM 블록의 이동을 가이드하는 LM 가이드; 및
    상기 LM 블록을 이동시키는 구동모터를 포함하는 편광판 부착장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 비젼유닛은,
    상기 드럼의 하측 영역에 배치되며,
    상기 편광판용 고정카메라와 상기 편광판용 이동카메라는,
    상기 드럼의 법선방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 편광판용 고정카메라는 상기 편광판의 일측 모서리 영역을 촬상하고, 상기 편광판용 이동카메라는 상기 편광판의 타측 모서리 영역을 촬상하며,
    상기 편광판의 위치정보는,
    상기 제어부에 기입력된 편광판 기준선에서의 상기 편광판의 모서리의 위치와 상기 편광판용 고정카메라 및 상기 편광판용 이동카메라에 의해 촬상된 모서리의 위치를 비교하는 얻어지는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 비젼유닛은,
    상기 기판의 일측을 촬상하는 기판용 고정카메라; 및
    상기 기판의 크기에 따라 상기 기판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 상기 기판의 타측을 촬상하는 기판용 이동카메라를 더 포함하며,
    상기 제어부는,
    상기 기판용 고정카메라와 상기 기판용 이동카메라에 의해 촬상된 정보에 의하여 상기 기판의 위치정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 기판에는 위치측정용 마커(marker)가 마련되며,
    상기 기판의 위치정보는,
    상기 제어부에 기입력된 기판 기준선에서의 상기 기판의 마커의 위치와 상기 기판용 고정카메라 및 상기 기판용 이동카메라에 의해 촬상된 마커의 위치를 비교하여 얻어지는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 기판용 이동카메라는,
    상기 LM 블록에 결합되며, 상기 편광판용 이동카메라에 대하여 미리 결정된 거리만큼 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
  17. 삭제
  18. 제1항에 있어서,
    상기 드럼 업/다운(up/down) 구동부는,
    상기 드럼이 결합되는 드럼 결합체;
    상기 드럼 결합체와 치합되어 회전에 의해 상기 드럼 결합체를 업/다운(up/down)시키는 볼 스크류(ball screw);
    상기 볼 스크류를 회전시키는 서보모터(servo motor); 및
    상기 드럼 결합체의 업/다운(up/down)을 가이드하는 드럼 업/다운(up/down) 가이드를 포함하는 편광판 부착장치.
  19. 제1항에 있어서
    상기 기판은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 기판이고,
    상기 드럼에는 상기 편광판의 흡착을 위한 다수의 드럼 흡착공이 형성되며,
    상기 스테이지유닛에는 상기 기판의 흡착을 위한 진공패드가 마련되는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
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