KR101311905B1 - 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법 - Google Patents

태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 저온 플라즈마 코팅 설비에 의해 태양광 발전용 모듈 전용 백시트에 방열 코팅막을 형성함으로써, 금속성 시트를 추가 제작하여 부착할 필요가 없어 공정이 간단하고 친환경적이며, 방열 코팅막이 형성된 백시트가 태양광 모듈에 적용됨에 따라 기존의 표면온도 변화에 관계없이 발전량의 수준을 일정하게 유지시킬 수 있고, 모듈의 효율을 최소 2~3% 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 저온 플라즈마 기술을 활용한 백시트의 방열 코팅 기술에 의해 전체 태양광 발전 모듈 시장의 저비용화 흐름에 부합되며 동시에 효율을 높이고, 다른 에너지 부분에서도 큰 에너지 절감효과가 있는 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 (a) 저온 플라즈마 방열코팅장치의 진공챔버 내부에 태양광 발전용 모듈 전용 백시트를 장착하고, 상기 진공챔버 내부를 진공 상태로 만드는 단계; (b) 액체 유량 제어기(LMFC, Liquid Mass Flow Controller)를 이용하여 기화기(Vaporizer)에 전구체(Precursor)를 정량으로 투입하여 기화시키는 단계; (c) 상기 (b)단계에 의해 기화된 전구체를 상기 진공챔버 내부로 투입하는 단계; 및 (d) 상기 (c)단계에서 투입된 기화된 전구체가 상기 진공챔버 내부에서 안정화되면 상기 진공챔버 내부의 전극에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시켜 상기 백시트에 방열 코팅막을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법을 제공한다.

Description

태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법{Method for making radiant heat coating layer to back sheet of solar energy module}
본 발명은 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 저온 플라즈마 코팅 설비에 의해 태양광 발전용 모듈 전용 백시트에 방열 코팅막을 형성함으로써, 금속성 시트를 추가 제작하여 부착할 필요가 없어 공정이 간단하고 친환경적이며, 방열 코팅막이 형성된 백시트가 태양광 모듈에 적용됨에 따라 기존의 표면온도 변화에 관계없이 발전량의 수준을 일정하게 유지시킬 수 있고, 모듈의 효율을 최소 2~3% 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 저온 플라즈마 기술을 활용한 백시트의 방열 코팅 기술에 의해 전체 태양광 발전 모듈 시장의 저비용화 흐름에 부합되며 동시에 효율을 높이고, 다른 에너지 부분에서도 큰 에너지 절감효과가 있는 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법에 관한 것이다.
화석연료의 고갈과 지구온난화에 따른 대비책으로, 풍력, 파력, 태양광 발전과 같은 신재생에너지에 대한 많은 연구가 이루어지고 있다.
태양광을 이용한 발전방식 중 대표적인 것으로 태양전지가 있다. 태양전지는 무한한 청정 에너지인 태양광 에너지를 에너지원으로 하여 전기에너지를 생산해 내는 것으로, 대체적으로 반도체 소자를 이용하고 있다.
국내 신재생 에너지원별 분석을 참조하면 태양광발전 시스템이 가장 큰 비중을 차지하고 있어, 향후에도 지속적으로 증가할 것으로 예상된다. 따라서, 태양광 발전시스템의 효율향상과 저비용화가 시급한 상황이다.
태양광 발전 시스템의 효율은 대략 7~20% 정도로 매우 낮은 수준이다. 그 원인중에 대표적인 것으로 태양전지 셀이 열에 매우 약하고 셀 온도의 증가로 인해 발전효율을 대략 12~13%까지 저하시키는 것을 들 수 있다. 태양광 발전용 모듈 자체 및 주변기기의 열이 태양광 발전의 효율에 큰 영향을 미치는 요인에 해당되는 것이다.
태양광 발전 시스템의 효율을 높이기 위해서는 태양광 모듈 자체와 주변기기의 방열 기술이 필요하다. 최근에는 발전비용의 절감과 효율향상을 동시에 해결하기 위해 셀 보호를 목적으로 일체화되어 있는 백시트(back sheet)를 방열도구로 활용하고자 하는 시도가 이루어지고 있다.
일례로, 대한민국 등록특허공보 제0999460호에는 알루미늄, 동, 스테인리스 스틸 등의 금속박판 중에서 방열시트를 성택하고, 시트의 양면 또는 일측면에 양극산화법, 화성피막법 등의 통상적인 표면처리방법을 이용하여 피막층을 형성시킨 후, 양면테이프 또는 접착제를 사용하여 태양광 발전용 모듈에 부착시키는 기술이 개시되어 있다.
그러나, 이러한 금속 소재의 방열시트는 고온다습한 지역에서 수분에 의해 내부가 쉽게 부식되는 현상이 발생하는 문제점이 있다. 따라서, 이러한 방열시트는 20년 이상을 견딜 수 있는 높은 내구성을 요하는 태양광 발전 시스템에 적용하기 곤란하다. 더욱이, 이와 같은 금속 소재의 방열시트는 비중이 큰 관계로 경량화에 장애물로 작용함은 물론, 공정이 복잡하고 기존의 태양광 발전용 모듈보다 고가인 문제점이 있다.
상기 선행기술을 포함한 기존의 방열 백시트는 대부분 금속재질을 사용하거나 피막을 형성하는 방법이어서 부식 등의 내구성 문제로 모듈 전체의 수명에 영향을 주게 된다. 또한, 공정이 복잡하고 기존의 태양광 발전용 모듈보다 고가인 문제점이 있다. 백시트는 태양전지 모듈의 수명을 확보하기 위해 고온 다습한 환경에서 견딜 수 있는 고도의 내구성과 간단한 공정이 요구된다.
따라서, 태양광 발전용 모듈이 고온다습한 환경에서도 고도의 내구성과 방열 선응을 가질 수 있도록 하고, 모듈내부의 열을 낮추어 발전효율을 향상시킬 수 있는 태양광 모듈용 방열 백시트의 제조기술에 대한 개발필요성이 대두된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 특히 공정이 간단하고 친환경적이며, 표면온도 변화에 관계없이 발전량의 수준을 일정하게 유지시킬 수 있고, 모듈의 효율을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 전체 태양광 발전 모듈 시장의 저비용화 흐름에 부합되며 동시에 효율을 높이고, 다른 에너지 부분에서도 큰 에너지 절감효과가 있는 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 안출된 본 발명에 따른 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법은 (a) 저온 플라즈마 방열코팅장치의 진공챔버 내부에 태양광 발전용 모듈 전용 백시트를 장착하고, 상기 진공챔버 내부를 진공 상태로 만드는 단계; (b) 액체 유량 제어기(LMFC, Liquid Mass Flow Controller)를 이용하여 기화기(Vaporizer)에 전구체(Precursor)를 정량으로 투입하여 기화시키는 단계; (c) 상기 (b)단계에 의해 기화된 전구체를 상기 진공챔버 내부로 투입하는 단계; 및 (d) 상기 (c)단계에서 투입된 기화된 전구체가 상기 진공챔버 내부에서 안정화되면 상기 진공챔버 내부의 전극에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시켜 상기 백시트에 방열 코팅막을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 (c)단계에서 상기 기화된 전구체와 함께, 유량 제어기(MFC, Mass Flow Controller)를 이용하여 캐리어 가스(carrier gas)를 정량으로 상기 진공챔버 내부로 투입할 수 있다.
또한, 상기 저온 플라즈마 방열코팅장치는 진공챔버; 상기 진공챔버 내부에 한 쌍이 서로 마주보도록 배치되는 제1 전극과 제2 전극; 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 중 어느 하나의 일측면에 장착되는 히터; 상기 진공챔버의 일측에 구비되어 상기 진공챔버 내부를 진공으로 만들기 위한 통로를 제공하는 펌핑관(Gas outlet pumping); 상기 진공챔버의 타측에 구비되어 외부로부터 가스가 투입되는 통로를 제공하는 가스 투입관; 상기 가스 투입관을 통해 기화된 전구체와 캐리어 가스(carrier gas)를 투입하기 위해 상기 전구체를 기화시키는 기화기(Vaporizer); 및 상기 전구체를 상기 기화기로 정량 투입하기 위한 액체 유량 제어기(LMFC)를 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면 저온 플라즈마 코팅 설비에 의해 태양광 발전용 모듈 전용 백시트에 방열 코팅막을 형성함으로써, 금속성 시트를 추가 제작하여 부착할 필요가 없어 공정이 간단하고 친환경적인 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면 방열 코팅막이 형성된 백시트가 태양광 모듈에 적용됨에 따라 기존의 표면온도 변화에 관계없이 발전량의 수준을 일정하게 유지시킬 수 있고, 모듈의 효율을 최소 2~3% 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의하면 저온 플라즈마 기술을 활용한 백시트의 방열 코팅 기술에 의해 전체 태양광 발전 모듈 시장의 저비용화 흐름에 부합되며 동시에 효율을 높이고, 다른 에너지 부분에서도 큰 에너지 절감효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법에 의해 방열 코팅막이 형성된 백시트가 적용된 태양광 발전용 모듈의 구조를 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하기 위한 저온 플라즈마 방열코팅장치의 구조를 도시한 개념도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법에 의해 방열 코팅막이 형성된 백시트가 적용된 태양광 발전용 모듈의 구조를 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 태양광 발전용 모듈은 태양전지 셀(2), 에틸렌 비닐 아세테이트(EVA) 층(4), 유리기판(6), 및 백시트(8)를 포함하여 이루어진다.
EVA 층(4)은 제1 EVA 층과 제2 EVA 층을 포함하며, 태양전지 셀(2)의 상부와 하부에 각각 구비된다.
유리기판(6)은 제1 EVA 층의 상부에 구비되며, 백시트(8)는 제2 EVA 층의 하부에 구비된다.
일반적인 백시트는 태양전지 셀(2)을 보호하기 위한 용도로 사용된다.
본 발명에 따른 백시트는 표면에 방열 코팅 박막이 형성되어 방열 기능을 발휘함으로써, 태양전지 셀(2)에서 발생하는 열과 외부환경 및 외부기기로부터 가해지는 열을 신속하고 효과적으로 방출시켜 태양광 발전용 모듈의 발전 효율을 극대화한다.
또한, 본 발명에 따른 백시트는 에이징(aging) 현상을 원천적이고 반영구적으로 해결하고, 코팅막에 의해 부식을 방지하여 태양광 발전용 모듈의 내구성을 향상시킨다.
기존의 방식에 의하면 태양광 발전용 모듈 전용 백시트가 아닌 별도의 금속소재 방열시트에 피막층을 형성한 다음, 태양광 발전용 모듈 전용 백시트의 후방에 접합시키는 등의 복잡하고 번거로운 공정이 필요하다. 그러나, 본 발명에 따른 백시트는 기본 모듈의 백시트(전용 백시트) 자체에 직접 방열 코팅막을 형성시키기 때문에 공정이 간단하고 제조비용이 절감되며, 부식 등 내구성 문제가 발생할 염려가 없다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하기 위한 저온 플라즈마 방열코팅장치의 구조를 도시한 개념도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하기 위한 저온 플라즈마 방열코팅장치는, 도 2를 참조하면, 진공챔버(10), 제1 전극(12), 제2 전극(14), 히터(16), 백시트(18), 펌핑관(20), 가스 투입관(22), 기화기(24), 전구체(26), 액체 유량 제어기(LMFC, Liquid Mass Flow Controller)(28), 및 유량 제어기(MFC, Mass Flow Controller)(30, 32)를 포함하여 이루어진다.
진공챔버(10)에는 전극(12, 14)에 전압을 인가하기 위한 전원 공급부가 전극(12, 14)과 전기적으로 연결된다.
제1 전극(12)과 제2 전극(14)은 진공챔버(10) 내부에 한 쌍이 서로 마주보도록 배치된다. 제1 전극(12)과 제2 전극(14)은 외부의 전원 공급부로부터 전압을 인가받아 진공챔버(10) 내부에 투입된 기화된 전구체를 이온화하여 플라즈마를 발생시킨다.
히터(16)는 제2 전극(14)의 일측면에 장착되어, 제2 전극(14)과 진공챔버(10) 내부를 가열한다.
백시트(18)는 제2 전극(14)의 타측면에 장착되며, 발생된 플라즈마가 백시트(18)의 표면에 증착되어 방열 코팅막이 형성된다.
펌핑관(20)은 진공챔버(10)의 일측에 구비되어 진공챔버(10) 내부를 진공으로 만들기 위한 통로를 제공한다.
가스 투입관(22)은 진공챔버(10)의 타측에 구비되어 외부로부터 가스가 투입되는 통로를 제공한다. 외부로부터 투입되는 가스로는 기화된 전구체와 캐리어 가스(carrier)가 있다.
가스 투입관(22)을 통해 기화된 전구체와 캐리어 가스를 투입하기 위해 기화기(24)는 액상의 전구체(26)를 기화시킨다.
전구체(26)는 진공챔버(10) 내부에 플라즈마를 발생시키기 위해 액상의 상태로 기화기(24)에 투입된다.
액체 유량 제어기(28)는 전구체(26)를 기화기(24)로 정량 투입되도록 한다.
유량 제어기(30, 32)는 효과적인 플라즈마 코팅을 위한 캐리어 가스로 사용될 가스(편의상 'A' gas와 'B' gas로 도시하였음)의 유량을 제어하여 가스 투입관(22)을 통해 정량 투입되도록 한다.
이와 같은 저온 플라즈마 방열코팅장치를 이용하여 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 과정은 다음과 같다.
먼저, 저온 플라즈마 방열코팅장치의 진공챔버(10) 내부에 태양광 발전용 모듈 전용 백시트(18)를 장착하고, 펌핑관(20)을 이용하여 진공챔버(10) 내부를 진공 상태로 만든다.
다음으로, 액체 유량 제어기(28)를 이용하여 기화기(24)에 전구체(26)를 정량으로 투입하여 기화시킨다.
다음으로, 기화기(24)에 의해 기화된 전구체 가스를 가스 투입관(22)을 통해 진공챔버(10) 내부로 투입한다. 이때, 기화된 전구체와 함께, 유량 제어기(30, 32)를 이용하여 캐리어 가스를 정량으로 가스 투입관(22)을 통해 진공챔버(10) 내부로 투입한다. 즉, 기화된 전구체 가스와 캐리어 가스가 가스 투입관(22)을 통해 진공챔버(10) 내부로 동시에 투입된다.
다음으로, 진공챔버(10) 내부로 투입된 기화된 전구체가 진공챔버(10) 내부에서 안정화되면 진공챔버(10) 내부의 전극(12, 14)에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시킴으로써, 백시트(18)에 방열 코팅막을 형성한다.
이와 같이 본 발명은 저온 플라즈마 코팅공법을 이용하여 기존의 태양광 발전용 모듈의 구조는 변경하지 않고 원래 태양광 모듈의 백시트에 직접 저온 플라즈마 기술을 응용하여 코팅함으로써, 백시트에 코팅막을 형성시킨다. 이를 통해 방열 효과를 가짐으로써 발전효율을 높이고 에이징(aging) 현상을 원천적이고 반영구적으로 해결할 수 있다. 또한, 코팅막에 의해 부식을 방지하여 모듈의 내구성을 향상시키고, 별도의 금속 시트를 접합할 필요가 없이 기본 모듈의 백시트 자체에 직접 방열코팅막을 형성하는 것이다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
2 - 태양전지 셀 4 - EVA 층
6 - 유리기판 8 - 백시트
10 - 진공챔버 12 - 제1 전극
14 - 제2 전극 16 - 히터
18 - 백시트 20 - 펌핑관
22 - 가스 투입관 24 - 기화기
26 - 전구체 28 - LMFC
30, 32 - MFC

Claims (3)

  1. (a) 저온 플라즈마 방열코팅장치의 진공챔버 내부에 태양광 발전용 모듈 전용 백시트를 장착하고, 상기 진공챔버 내부를 진공 상태로 만드는 단계;
    (b) 액체 유량 제어기(LMFC, Liquid Mass Flow Controller)를 이용하여 기화기(Vaporizer)에 전구체(Precursor)를 정량으로 투입하여 기화시키는 단계;
    (c) 상기 (b)단계에 의해 기화된 전구체를 상기 진공챔버 내부로 투입하는 단계; 및
    (d) 상기 (c)단계에서 투입된 기화된 전구체가 상기 진공챔버 내부에서 안정화되면 상기 진공챔버 내부의 전극에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시켜 상기 백시트에 방열 코팅막을 형성시키는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 (c)단계에서 상기 기화된 전구체와 함께, 유량 제어기(MFC, Mass Flow Controller)를 이용하여 캐리어 가스(carrier gas)를 정량으로 상기 진공챔버 내부로 투입하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 저온 플라즈마 방열코팅장치는
    진공챔버;
    상기 진공챔버 내부에 한 쌍이 서로 마주보도록 배치되는 제1 전극과 제2 전극;
    상기 제1 전극과 상기 제2 전극 중 어느 하나의 일측면에 장착되는 히터;
    상기 진공챔버의 일측에 구비되어 상기 진공챔버 내부를 진공으로 만들기 위한 통로를 제공하는 펌핑관(Gas outlet pumping);
    상기 진공챔버의 타측에 구비되어 외부로부터 가스가 투입되는 통로를 제공하는 가스 투입관;
    상기 가스 투입관을 통해 기화된 전구체와 캐리어 가스(carrier gas)를 투입하기 위해 상기 전구체를 기화시키는 기화기(Vaporizer); 및
    상기 전구체를 상기 기화기로 정량 투입하기 위한 액체 유량 제어기(LMFC)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양광 발전용 모듈의 백시트에 방열 코팅막을 형성하는 방법.


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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100344967B1 (ko) 1994-04-20 2002-10-25 동경 엘렉트론 주식회사 플라즈마처리방법및플라즈마처리장치
KR20120012271A (ko) * 2010-07-30 2012-02-09 성균관대학교산학협력단 그래핀의 제조 방법, 그래핀 시트 및 이를 이용한 소자
KR20120091670A (ko) * 2011-02-09 2012-08-20 엘지전자 주식회사 태양전지 모듈 및 그 제조방법
KR101228534B1 (ko) 2009-11-02 2013-01-31 케이와 인코포레이티드 태양전지 모듈 이면용 방열 시트 및 이것을 사용한 태양전지 모듈

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100344967B1 (ko) 1994-04-20 2002-10-25 동경 엘렉트론 주식회사 플라즈마처리방법및플라즈마처리장치
KR101228534B1 (ko) 2009-11-02 2013-01-31 케이와 인코포레이티드 태양전지 모듈 이면용 방열 시트 및 이것을 사용한 태양전지 모듈
KR20120012271A (ko) * 2010-07-30 2012-02-09 성균관대학교산학협력단 그래핀의 제조 방법, 그래핀 시트 및 이를 이용한 소자
KR20120091670A (ko) * 2011-02-09 2012-08-20 엘지전자 주식회사 태양전지 모듈 및 그 제조방법

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