KR101296808B1 - 평판표시패널 연마장치 및 연마방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시패널의 연마방향에 따른 연마상태의 정확한 검사가 가능하여 공정효율과 검사신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 평판표시패널 연마장치 및 이를 이용한 평판표시패널 연마방법에 관한 것이다.
구체적으로 본 발명은 서로 나란한 제 1 및 제 2 측면을 갖는 평판표시패널 연마장치로서, 상기 평판표시패널이 안착되고, 상기 제 1 및 제 2 측면과 나란한 제 1 방향으로 슬라이딩되는 제 1 슬라이딩테이블과; 상기 슬라이딩되는 상기 평판표시패널의 상기 제 1 및 제 2 측면을 연마하는 복수의 제 1 연마휠과; 상기 평판표시패널의 슬라이딩 방향을 기준으로 상기 제 1 연마휠 이후에 마련되어, 상기 제 1 및 제 2 측면의 연마상태를 각각 검사하는 적어도 두 개의 제 1 스캔카메라를 포함하는 평판표시패널 연마장치 및 이를 이용한 평판표시패널 연마방법을 제공한다.

Description

평판표시패널 연마장치 및 연마방법{grinding apparatus for plat display panel and grinding method}
도 1은 일반적인 평판표시패널 연마장치의 모식도.
도 2는 본 발명에 따른 평판표시패널 연마장치의 모식도.
도 3은 본 발명에 따른 평판표시패널 연마장치의 측면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
102 : 평판표시패널
102a,102b,102c,102d : 제 1 내지 제 4 측면
110,150 : 제 1 및 제 2 연마유닛
112,152 : 제 1 및 제 2 슬라이딩테이블
114,154 : 제 1 및 제 2 그라인딩바
115,155 : 제 1 및 제 2 연마휠
116,156 : 제 1 및 제 2 CCD 카메라
118,158 : 제 1 및 제 2 검사카메라
본 발명은 평판표시패널(plat display panel) 연마장치(grinding apparatus) 및 연마방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 평판표시패널의 연마방향에 따른 연마상태의 정확한 검사가 가능하여 공정효율과 검사신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 평판표시패널 연마장치 및 이를 이용한 평판표시패널 연마방법에 관한 것이다.
근래의 본격적인 정보화 시대에 발맞추어 전기적 신호에 의한 대용량의 데이터를 시각적 화상으로 표시하는 디스플레이(display) 분야 또한 급속도로 발전하였고, 이에 부응해서 경량화, 박형화, 저소비전력화 장점을 지닌 여러 가지 평판표시장치(Flat Panel Display device : FPD)가 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이러한 평판표시장치의 대표적인 몇 가지 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등을 들 수 있는데, 이들 일반적인 평판표시장치는 화상구현을 위한 평판표시패널(plat display panel)을 공통의 필수요소로 하며, 이는 고유의 형광 또는 편광 물질층을 사이에 두고 두 기판을 나란히 합착시킨 형태를 나타낸다. 최근에는 특히 평판표시패널 상에 화상표현의 기본단위인 화소(pixel)를 행렬로 배열하고 각각을 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와 같은 스위칭소자로 개별 제어하는 능동행렬방식(active matrix type)이 동영상 구현능력과 색 재현성에서 뛰어나 널리 이용된다.
한편, 일반적인 평판표시패널의 제조공정은 제 1 및 제 2 기판을 얻기 위한 기판제조공정과, 고유의 형광 또는 편광 물질층을 사이에 두고 양 기판을 합착시켜 평판표시패널을 완성하는 셀(cell)공정으로 구분될 수 있다.
이때 기판제조공정과 셀공정은 통상 공정단축 내지는 수율향상의 효과를 꾀하고자 복수의 셀 영역이 포지션 별로 구분된 제 1 및 제 2 대면적 기판(bare or mother glass)을 대상으로 진행되는바, 기판제조공정에서는 박막증착(thin film deposition), 포토리소그라피(photo-lithography), 식각(etching) 등을 수 차례 반복해서 제 1 및 제 2 대면적 기판 각각의 셀 영역에 화소를 비롯한 박막트랜지스터 등을 구현하고, 셀공정에서는 제 1 또는 제 2 대면적 기판 중 어느 하나의 셀 영역에 합착을 위한 씰패턴(seal pattern)을 형성한 다음 고유의 형광 또는 평광 물질층을 개재하여 양 기판을 대면 합착시키고, 셀 영역 별로 절단해서 복수의 평판표시패널을 얻는다.
이중 특히 셀공정에는 절단을 통해 획득된 평판표시패널의 꼭지점 부분인 모서리와 측면을 연마해서 날카로운 부분을 제거하는 연마과정이 포함되고, 이를 위한 별도의 평판표시패널 연마장치가 동원된다.
첨부된 도 1은 일반적인 평판표시패널 연마장치(이하, 간략하게 연마장치라 한다.)의 개략적인 모식도이다. 이때 일반적인 평판표시패널(2)은 별도의 제 1 및 제 2 기판이 대면 합착된 형태를 나타내지만, 편의상 도면에는 간단하게 나타내 었다.
보이는 것처럼 일반적인 연마장치는 평판표시패널(2)의 서로 마주보는 임의의 두 측면을 연마하는 제 1 연마유닛(10)과 나머지 두 측면을 연마하는 제 2 연마유닛(50)으로 구분될 수 있는데, 이들 제 1 및 제 2 연마유닛(10,50)은 도시되지 않은 로봇(robot) 등의 기판이송수단을 사이에 두고 통상 일직선상에 차례로 배치된다.
따라서 연마대상물인 평판표시패널(2)은 제 1 및 제 2 연마유닛(10,50)을 차례로 통과하면서 네 개의 측면이 연마되며, 이를 위한 제 1 및 제 2 연마유닛(10,50)에는 각각, 평판표시패널(2)을 지지한 상태로 수평회전과 더불어 제 1 및 제 2 연마유닛(10,50)을 연결하는 임의의 X 축 방향 또는 그 반대의 -X 축 방향으로 슬라이딩 가능한 제 1 및 제 2 슬라이딩테이블(12,52)과, 이들 각각에 안착된 평판표시패널(2)의 해당 측면을 연마할 수 있도록 복수의 연마휠이 장착된 상태로 평판표시패널(2)의 이동방향 상단에 교차 고정된 제 1 및 제 2 그라인딩바(14,54)가 구비되어 있다.
이때 평판표시패널(2)이 직사각형이라는 전제 하에 제 1 연마유닛(10)에 의해 연마되는 두 측면을 장축변인 제 1 및 제 2 측면(2a,2b)이라 하고, 제 2 연마유닛(50)에 의해 연마되는 나머지 두 측면을 단축변인 제 3 및 제 4 측면(2c,2d)이라 하면, 제 1 연마유닛(10)의 제 1 슬라이딩테이블(12)에 안착된 평판표시패널(2)은 제 3 측면(2c)부터 제 1 그라인딩바(14) 하단을 통과하면서 제 1 및 제 2 측면(2a,2b)이 연마되고, 제 2 연마유닛(50)의 제 2 슬라이딩테이블(52)에 안착된 평 판표시패널(2)은 90°수평회전에 의해 제 1 측면(2a)부터 제 2 그라인딩바(54) 하단을 통과하면서 제 3 및 제 4 측면(2c,2d)이 연마된다.
또한 일반적인 연마장치에는 평판표시패널(2)의 이동방향을 기준으로, 제 1 및 제 2 그라인딩바(14,54) 이전의 이동경로 상단에 각각 평판표시패널(2)의 얼라인 여부를 확인하기 위한 제 1 및 제 2 CCD 카메라(16,56)가 마련되고, 제 1 및 제 2 그라인딩바(14,54) 이전의 이동경로 하단에 각각 평판표시패널(2)의 연마상태를 검사하기 위한 제 1 및 제 2 검사카메라(18,58)가 장착된다.
이때 일반적인 평판표시패널(2)의 제 3 측면(2c)과 제 1 측면(2a) 양 가장자리에는 각각 한 쌍의 제 1 및 제 2 얼라인마크가 구비되는바, 제 1 CCD 카메라(16)는 제 1 그라인딩바(14)에 고정된 상태로 제 1 얼라인마크를 각각 확인하는 한 쌍으로 이루어질 수 있고, 제 2 CCD 카메라(56) 역시 제 2 그라인딩바(54)에 고정된 상태로 제 2 얼라인마크를 각각 확인하는 한 쌍으로 이루어질 수 있다. 또한 제 1 검사카메라(18)는 임의로 제 1 측면(2a)의 이동경로 하단에 고정되어 그 상부를 지나는 평판표시패널(2) 측면의 연마상태를 검사하고, 제 2 검사카메라(58)는 임의로 제 4 측면(2d)의 이동경로 하단에 고정되어 그 상부를 지나는 평판표시패널(2) 측면의 연마상태를 검사한다.
이러한 일반적인 연마장치의 연마과정을 살펴보면, 연마대상물인 평판표시패널(2)은 최초 제 1 연마유닛(10)의 제 1 슬라이딩테이블(12)에 안착된다. 이때 제 1 슬라이딩테이블(12)은 제 1 그라인딩(14)바로부터 일정거리 이격된 홈포지션(home position)에 위치할 수 있고, 제 1 그라인딩바(14)를 향하는 평판표시패 널(2)의 선단은 제 3 측면(2c)이 차지하고 있다.
이후, 제 1 슬라이딩테이블(12)이 제 1 그라인딩바(14)를 향하는 방향, 즉 X축 방향으로 슬라이딩되어 평판표시패널(2)의 제 3 측면(2c) 양 가장자리에 마련된 한 쌍의 제 1 얼라인마크가 각각 제 1 CCD 카메라(16) 하단에 위치되면, 제 1 CCD 카메라(16)로 제 1 얼라인마크를 확인하여 평판표시패널(2)의 정렬여부를 검사한다.(ⓛ 얼라인)
그리고 평판표시패널(2)의 얼라인이 확인되면 제 1 슬라이딩테이블(12)은 X축 방향으로 재차 슬라이딩되어 평판표시패널(2)의 제 3 측면(2c)부터 제 1 그라이딩바(14) 하단을 통과하고, 이 과정 중에 제 1 그라인딩바(14)에 장착된 복수의 연마휠은 평판표시패널(2)의 제 1 및 제 2 측면(2a,2b)을 연마한다. 이때 필요하다면 평판표시패널(2)의 꼭지점 부분인 네 모서리가 함께 연마될 수 있다.(② 연마)
이에 따라 제 1 및 제 2 측면(2a,2b)의 연마가 완료된 평판표시패널(2)은 제 1 그라인딩바(14) 이후에 위치되고, 이어서 제 1 슬라이딩테이블(12)이 -X 축 방향으로 역슬라이딩되면 제 1 검사카메라(18)는 그 상단을 지나는 평판표시패널(2) 제 1 측면(2a)의 연마상태 검사한다. 이때 통상의 평판표시패널은 제 1 및 제 2 기판이 상하로 합착된 형태를 나타내는바, 제 1 및 2 측면(2a,2b)에 대응되는 상부 제 1 기판의 양 측면에 대한 연마상태 검사는 각각의 상단에 놓인 한 쌍의 제 1 CCD 카메라(16)에 의해 진행될 수 고, 제 1 검사카메라(18)는 제 1 측면(2a)의 하단에서 그 상부를 지나는 하부 제 2 기판의 일 측면에 대한 연마상태를 검사한다.(③ 연마상태 검사)
이후 평판표시패널(2)의 제 4 측면(2d)이 제 1 그라인딩바(14)를 향하는 선단에 위치하도록 제 1 슬라이딩테이블(12)은 180°회전하고(④ 180°회전), 다시 X 축 방향으로 슬라이딩되면 제 1 검사카메라(18)는 그 상단을 지나는 평판표시패널의 제 2 측면(2b), 엄밀하게는 하부 제 2 기판의 해당방향 일 측면에 대한 연마상태를 검사한다.(⑤ 연마상태 검사 )
이로써 제 1 연마유닛(10)에 의한 평판표시패널(2)의 제 1 및 제 2 측면(2a,2b)에 대한 연마 및 연마상태의 검사가 완료된다.
다음으로 로봇 등의 기판이송수단에 의해 평판표시패널(2)이 제 2 슬라이딩테이블(52)에 옮겨지고, 제 2 슬라이딩테이블(52)은 90°수평 회전해서 제 2 그라인딩바(54)를 바라보는 평판표시패널(2) 선단에 제 1 측면(2a)이 놓이도록 한다.
이어서 앞서와 유사한 과정을 통해 평판표시패널(2)의 제 3 및 제 4 측면(2c,2d)에 대한 연마 및 연마상태의 검사가 진행되는데, 제 2 슬라이딩테이블(52)이 X축 방향으로 슬라이딩되어 제 1 측면(2a)의 제 2 얼라인마크가 제 2 CCD 카메라(56) 하단에 놓이면 이들의 정렬여부를 통해 평판표시패널(2)의 얼라인 상태를 확인하고(⑥ 90°회전 및 얼라인), 다시 제 2 슬라이딩테이블(52)이 X축 방향으로 슬라이딩되어 평판표시패널(2)의 제 1 측면(2a)부터 제 2 그라인딩바(54) 하단을 통과하는 과정 중에 제 3 및 제 4 측면(2c,2d)에 대한 연마가 진행된다.(⑦ 연마)
이어서 제 2 슬라이딩테이블(52)이 -X 축 방향으로 역슬라이딩되는 과정 중에 제 2 검사카메라(58)를 이용해서 평판표시패널의 제 4 측면(2d)에 대한 연마상 태를 검사한다. 이때 평판표시패널(2) 제 3 및 제 4 측면(2c,2d)에 대응되는 상부 제 1 기판의 양 측면에 대한 연마상태는 각각의 상단에 놓인 제 2 CCD 카메라(56)에 의해 진행될 수 있다.(⑧ 연마상태 검사)
다음으로 제 2 슬라이딩테이블(52)이 180°회전되어 평판표시패널(2)의 제 2 측면(2b)이 제 2 그라인딩바(54)를 바라보는 선단에 오도록 한 후(⑨ 180°회전), 제 2 슬라이딩테이블(52)의 X축 방향 슬라이딩을 통해 제 2 검사카메라(58)에 의한 제 3 측면(2c), 엄밀하게는 하부 제 2 기판의 대응되는 일 측면에 대한 연마상태를 검사한다.(⑩ 연마상태 검사)
그리고 최종적으로 평판표시패널(2)은 제 2 그라인딩바(54) 이후의 엔드포지션에서 외부로 반출된다.
하지만, 이상에서 살펴본 일반적인 평판표시패널의 연마장치 및 연마방법은 매우 복잡한 단점을 나타내며, 특히 제 1 및 제 2 슬라이딩테이블(12,52)의 X축 방향 슬라이딩과 -X축 방향 역슬라이딩 그리고 180°회전이 혼재되어 동선이 복잡하고 소요시간이 긴 단점을 보인다. 그 결과 현재 평판표시패널(2)의 연마상태 검사는 시간 및 수율 등을 이유로 전제품이 아닌 랜덤샘플링(random sampling)에 의해 무작위로 진행되는 실정이며, 때문에 공정신뢰성이 크게 저하되는 단점을 보인다.
아울러 일반적인 연마장치는 부득이하게 제 1 및 제 2 CCD 카메라(16,56)를 이용하여 평판표시패널(2)의 제 1 기판에 대한 연마상태를 검사하고 있지만, 이들 제 1 및 제 2 CCD 카메라(16,56)는 실질적으로 제 1 및 제 2 얼라인마크의 확인을 위한 것인바, 분해능과 해상도면에서 검사카메라(18,58) 대비 상당한 질적 저하를 나타내고, 이로 인해 연마상태의 검사신뢰성 또한 크게 저하되는 단점을 보인다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 평판표시패널의 역슬라이딩과 불필요한 회전을 배제해서 연마방향에 따른 연마상태의 검사를 진행하고, 이로써 공정효율을 크게 향상시키는 연마장치 및 연마방법을 제시하는데 그 목적이 있다. 이와 동시에 본 발명은 평판표시패널의 모든 측면에 대한 연마상태를 전용의 검사카메라로 검사할 수 있도록 하여 검사신뢰성을 크게 향상시키는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 서로 나란한 제 1 및 제 2 측면을 갖는 평판표시패널 연마장치로서, 상기 평판표시패널이 안착되고, 상기 제 1 및 제 2 측면과 나란한 제 1 방향으로 슬라이딩되는 제 1 슬라이딩테이블과; 상기 슬라이딩되는 상기 평판표시패널의 상기 제 1 및 제 2 측면을 연마하는 복수의 제 1 연마휠과; 상기 제 1 방향을 기준으로 상기 제 1 연마휠 이후에 마련되어, 상기 제 1 및 제 2 측면의 연마상태를 각각 검사하는 적어도 두 개의 제 1 스캔카메라를 포함하는 평판표시패널 연마장치를 제공한다.
이때 상기 제 1 스캔카메라는, 상기 제 1 및 제 2 측면의 이동경로 상의 일 지점 상 하단에 각각 고정된 적어도 두 쌍을 이루는 것을 특징으로 하고, 상기 제 1 방향을 기준으로 상기 제 1 연마휠 이전에 구비되어, 상기 액정패널의 정렬여부를 확인하는 적어도 하나의 제 1 CCD 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 평판표시패널은 상기 제 1 및 제 2 측면에 각각 마련된 한 쌍의 제 1 얼라인마크를 더 구비하고, 상기 제 1 CCD 카메라는 상기 평판표시패널 상단에서 상기 한 쌍의 제 1 얼라인마크를 각각 인식하는 한 쌍을 이루는 것을 특징으로 한다. 아울러 상기 제 1 연마휠이 장착되고, 슬라이딩되는 상기 평판표시패널 상단에서 상기 제 1 방향에 교차 배열된 제 1 그라인딩바를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 평판표시패널은 서로 나란한 제 3 및 제 4 측면과, 상기 각 측면이 만나는 네 개의 모서리를 더 구비하는 것을 특징으로 하고, 이 경우 상기 제 1 연마휠은, 슬라이딩되는 상기 평판표시패널의 상기 네 개의 모서리를 함께 연마하는 것을 특징으로 한다.
그리고 이때 상기 평판표시패널이 안착되고, 상기 제 3 및 제 4 측면과 나란한 제 2 방향으로 슬라이딩되는 제 2 슬라이딩테이블과; 상기 슬라이딩되는 상기 평판표시패널의 상기 제 3 및 제 4 측면을 연마하는 복수개의 제 2 연마휠과; 상기 제 2 방향을 기준으로 상기 제 2 연마휠 이후에 마련되어, 상기 제 3 및 제 4 측면의 연마상태를 각각 검사하는 적어도 두 개의 제 2 스캔카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 제 2 스캔카메라는, 상기 제 3 및 제 4 측면의 이동경로 상의 일 지점 상 하단에 각각 고정된 적어도 두 쌍을 이루는 것을 특징으로 하고, 상기 제 2 방향을 기준으로 상기 제 2 연마휠 이전에 구비되어, 상기 액정패널의 정렬여부를 확인하는 적어도 하나의 제 2 CCD 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 평판표시패널은 상기 제 3 및 제 4 측면에 각각 마련된 한 쌍의 제 2 얼라인마크를 더 구비하고, 상기 제 2 CCD 카메라는 상기 평판표시패널 상단에서 상기 한 쌍의 제 2 얼라인마크를 각각 인식하는 한 쌍을 이루는 것을 특징으로 하며, 상기 제 2 연마휠이 장착되고, 슬라이딩되는 상기 평판표시패널 상단에 교차 배열된 제 2 그라인딩바를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 그리고 특히 상기 제 1 방향과 제 2 방향은 일직선 상에 위치하고, 상기 제 2 슬라이딩테이블은 상기 평판표시패널을 90°수평 회전시키는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 (a) 평판표시패널을 제 1 방향으로 슬라이딩 이동시키면서 상기 평판표시패널의 서로 마주보는 제 1 및 제 2 측면을 연마하는 단계와; (b) 상기 평판표시패널을 상기 제 1 방향으로 슬라이딩 이동시키면서 상기 제 1 및 제 2 측면의 연마상태를 검사하는 단계를 포함하는 평판표시패널 연마방법을 제공한다.
이때 상기 (a) 단계 이전, 상기 평판표시패널의 정렬여부를 검사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 (b) 단계 이후, (c) 상기 평판표시패널을 제 2 방향으로 슬라이딩 이동시키면서 상기 평판표시패널의 나머지 제 3 및 제 4 측면을 연마하는 단계와; (d) 상기 평판표시패널을 제 2 방향으로 슬라이딩 이동시키면서 상기 제 3 및 제 4 측면의 연마상태를 검사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러 상기 (b) 단계 이후 상기 (c) 단계 이전, 상기 평판표시패널의 정렬여부를 검사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 제 1 방향과 제 2 방향은 일직선상의 동일방향이고, 상기 (b) 단계 이후 상기 (c) 단계 이전, 상기 평판표시패널을 90°수평 회전시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조해서 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
첨부된 도 2와 도 3은 각각 본 발명에 따른 평판표시패널 연마장치(이하, 간략하게 연마장치라 한다.)의 개략적인 모식도와 측면도로서, 함께 참조하면, 본 발명에 따른 연마장치는 평판표시패널(2)의 서로 나란한 두 측면을 연마하는 제 1 연마유닛(110) 그리고 나머지 두 측면을 연마하는 제 2 연마유닛(150)으로 구분될 수 있다. 이때 본 발명에 따른 연마장치의 연마대상물인 평판표시패널(2)은 별도의 제 1 및 제 2 기판이 나란히 대면 합착된 형태를 나타내지만 편의상 도면에는 하나의 기판 만을 나타내었다.
이에 편의상 제 1 연마유닛(110)에서 연마되는 평판표시패널(2)의 서로 나란한 양 측면을 장축변의 제 1 및 제 2 측면(102a,102b)이라 하고, 제 2 연마유닛(150)에서 연마되는 나머지 두 측면을 단축변의 제 3 및 제 4 측면(102c,102d)이라 하면, 제 1 연마유닛(110)에는 평판표시패널(2)이 안착된 상태로 제 1 및 제 2 측면(102a,102b)에 나란한 제 1 방향으로 슬라이딩되는 제 1 슬라이딩테이블(112) 및 이에 의해 슬라이딩되는 평판표시패널(102)의 제 1 및 제 2 측면(102a,102b)을 연마하는 복수의 제 1 연마휠(115)이 구비되고, 제 2 연마유닛(150)은 평판표시패널(2)이 안착된 상태로 제 3 및 제 4 측면(102c,102d)에 나란한 제 2 방향으로 슬 라이딩되는 제 2 슬라이딩테이블(152) 및 이에 의해 슬라이딩되는 평판표시패널(2)의 제 3 및 제 4 측면(102c,102d)을 연마하는 복수의 제 2 연마휠(155)이 구비되어 있다.
이때 제 1 및 제 2 연마휠(115,155)은 각각 평판표시패널(2)의 슬라이딩 방향에 교차 고정된 제 1 및 제 2 그라인딩바(114,154)에 장착될 수 있는바, 평판표시패널(2)은 제 1 슬라이딩테이블(112)에 안착되어 제 1 그라인딩바(114) 하단을 통과하는 과정 중에 제 1 및 제 2 측면(102a,102b)이 연마되고, 제 2 슬라이딩테이블(152)에 안착되어 제 2 그라인딩바(154) 하단을 통과하는 과정 중에 제 3 및 제 4 측면(102c,102d)이 연마된다.
한편, 제 1 및 제 2 슬라이딩테이블(112,152)의 슬라이딩 방향은 같거나 다를 수 있지만 설명의 편의를 위해 제 1 및 제 2 연마유닛(110,150)을 비롯한 제 1 및 제 2 슬라이딩테이블(112,152)은 일직선상에 놓여진 것으로 가정하면, 이 경우 제 1 및 제 2 연마유닛(110,150) 사이로는 로봇 등과 같은 별도의 기판이송수단이 구비되어 제 1 슬라이딩테이블(112)의 평판표시패널(102)을 제 2 슬라이딩테이블(152)로 옮기고, 특히 제 2 슬라이딩테이블(152)은 90°수평회전이 가능하다.
또한 본 발명에 따른 연마장치에는 평판표시패널(102)의 이동방향을 기준으로, 제 1 및 제 2 그라인딩바(114,154) 이전의 이동경로 상단에 각각 제 1 및 제 2 CCD 카메라(116,156)가 구비되는데, 이때 평판표시패널(102)의 제 3 측면(102c)과 제 1 측면(102a) 양 가장자리에 각각 한 쌍의 제 1 및 제 2 얼라인마크가 구비될 수 있고, 제 1 CCD 카메라(116)는 제 1 그라인딩바(114)에 고정된 상태로 제 1 얼 라인마크를 각각 확인하는 한 쌍을 이루며, 제 2 CCD 카메라(156)는 제 2 그라인딩바(154)에 고정된 상태로 제 2 얼라인마크를 각각 확인하는 한 쌍을 이루는 것이 바람직하다.
아울러 본 발명에 따른 연마장치에는 평판표시패널(102)의 이동방향을 기준으로, 제 1 및 제 2 그라인딩바(114,154) 이후의 이동경로 상단 및/또는 하단에 각각 제 1 및 제 2 검사카메라(118,158)가 구비되는데, 특히 제 1 검사카메라(118)는 제 1 및 2 측면(102a,102b)의 이동경로 상 하단에 고정된 두 쌍을 이루고, 제 2 검사카메라(158)는 제 3 및 제 4 측면(102c,102d)의 이동경로 상 하단에 고정된 두 쌍을 이루는 것이 바람직하다. 그리고 이들 제 1 및 제 2 검사카메라(118,158) 각각은 가시거리 내에서 이동하는 물체를 연속적으로 쵤영할 수 있는 스캔카메라가 사용될 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명에 따른 연마장치를 이용한 평판표시패널(102)의 연마방법을 설명한다.
먼저, 평판표시패널(102)이 제 1 연마유닛(110)의 제 1 슬라이딩테이블(112)에 안착된다. 이때 제 1 슬라이딩테이블(112)은 제 1 그라인딩바(114)로부터 일정거리 이격된 홈포지션에 위치하고, 제 1 그라인딩바(114)를 향하는 평판표시패널(102)의 선단은 제 3 측면(102c)이 차지하고 있다.
이후, 평판표시패널(102)의 얼라인 상태를 확인하기 위해 제 1 슬라이딩테이블(112)이 제 1 그라인딩바(114)를 향하는 제 1 방향으로 슬라이딩된다. 이에 따라평판표시패널(102)의 제 3 측면(102c) 양 가장자리에 마련된 한 쌍의 제 1 얼라 인마크가 각각 제 1 CCD 카메라(116) 하단에 위치하고, 제 1 CCD 카메라(116)는 제 1 얼라인마크의 정위치 존재여부를 통해 평판표시패널(102)의 얼라인을 확인한다.(ⓛ 얼라인)
다음으로 평판표시패널(102)의 제 1 및 제 2 측면(102a,102b)에 대한 연마를 위해서 제 1 슬라이딩테이블(112)은 진행방향인 제 1 방향으로 계속 슬라이딩된다.
이에 따라 평판표시패널(102)은 제 3 측면(102c)부터 제 1 그라이딩바(114) 하단을 통과하며, 이 과정 중에 제 1 그라인딩바(114)에 장착된 제 1 연마휠(115)은 평판표시패널(102)의 제 1 및 제 2 측면(102a,102b)을 연마한다. 이때 바람직하게는 평판표시패널(102)의 꼭지점 부분인 네 모서리가 함께 연마될 수 있다.(② 연마)
이어서 연마량 측정을 위해 제 1 슬라이딩테이블(112)은 진행방향인 제 1 방향으로 계속 슬라이딩된다. 이때 제 1 그라인딩바(114) 후단에는 제 1 및 2 측면(102a,102b)의 이동경로 상 하단에 고정된 두 쌍의 제 1 검사카메라(118)가 위치하는바, 평판표시패널의 제 1 및 제 2 측면(102a,102b)은 각 쌍을 이루는 제 1 검사카메라(118) 사이를 지나게 되며, 이들을 통해 상하부의 제 1 및 제 2 기판에 대한 제 1 및 제 2 측면(102a,102b) 모두에 대한 연마상태를 검사할 수 있다.(③ 연마상태 검사)
이로써 제 1 연마유닛(110)에 의한 평판표시패널(102)의 제 1 및 제 2 측면(102a,102b)의 연마 및 연마상태의 검사가 완료된다. 이 과정 중에 제 1 슬라이딩테이블(112)은 일방향 슬라이딩 만을 거듭하였고, 아울러 평판표시패널(102)의 얼라인을 위한 소정각도 이외에는 수평회전 될 필요가 없다.
다음으로 로봇 등의 기판이송수단에 의해 평판표시패널(102)이 제 2 슬라이딩테이블(152)에 옮겨지고, 제 1 및 제 2 슬라이딩테이블(112,152)이 일직선상에 위치한다는 전제하에, 제 2 슬라이딩테이블(152)은 90°수평회전해서 평판표시패널(102)의 제 1 측면(102a)이 제 2 그라인딩바(154)를 바라보는 선단에 놓이도록 한다.
이어서 평판표시패널(102)의 얼라인 상태를 확인하기 위해 제 2 슬라이딩테이블(152)이 제 2 그라인딩바(154)를 향해 슬라이딩된다. 이에 따라 평판표시패널(102)의 제 1 측면(102a) 양 가장자리에 마련된 한 쌍의 제 2 얼라인마크가 각각 제 2 CCD 카메라(156) 하단에 위치하고, 제 2 CCD 카메라(156)는 제 2 얼라인마크의 정위치 존재여부를 통해 평판표시패널(102)의 얼라인을 확인한다.(④ 90°회전 및 얼라인)
계속해서 평판표시패널(102)의 제 3 및 제 4 측면(102c,102d)에 대한 연마를 위해서 제 2 슬라이딩테이블(152)은 동일 방향으로 계속 슬라이딩된다. 이에 따라 평판표시패널(102)은 제 1 측면(102a)부터 제 2 그라이딩바(154) 하단을 통과하며, 제 2 그라인딩바(154)에 장착된 제 2 연마휠(155)은 평판표시패널(102)의 제 3 및 제 4 측면(102c,102d)을 연마한다.(⑤ 연마)
다음으로는 제 3 및 제 4 측면(102c,102d)의 연마상태를 검사하기 위해 제 2 슬라이딩테이블(152)은 동일방향으로 계속 슬라이딩된다. 이때 제 2 그라인딩바(154) 후단에는 제 3 및 4 측면(102c,102d)의 이동경로 상 하단에 고정된 두 쌍 의 제 2 검사카메라(158)가 위치하고 있으며, 평판표시패널(102)의 제 3 및 제 4 측(102c,102d)면은 각 쌍을 이루는 제 2 검사카메라(158) 사이를 지나게 되는바, 이들을 통해 평판표시패널(102) 상하부의 제 1 및 제 2 기판에 대한 제 3 및 제 4 측면(102c,102d) 모두에 대한 연마상태를 검사할 수 있다.(⑥ 연마상태 검사)
이로써 제 2 연마유닛(150)에 의한 평판표시패널(102)의 제 3 및 제 4 측면(102c,102d)의 연마 및 연마상태의 검사가 완료되고, 평판표시패널(102)은 제 2 그라인딩바(154) 이후의 엔드포지션에서 외부로 반출되는바, 이 과정 중에 제 2 슬라이딩테이블(152) 또한 일방향 슬라이딩 만을 거듭하였고, 제 2 그라인딩바(154)에 대한 평판표시패널(102)의 연마방향을 결정하기 위한 최초의 90° 회전과 얼라인을 위한 소정각도 이외에는 수평회전될 필요가 없다.
이상에서 살펴본 것과 같이, 본 발명에 따른 평판표시패널 연마장치는 연마방향에 따른 연마상태의 검사가 가능하며, 불필요한 평판표시패널의 역슬라이딩 및 180° 회전을 배제해서 공정효율을 크게 향상시키는 효과가 있다. 아울러 본 발명에 따른 평판표시패널 연마장치는 모든 측면에 대한 연마상태를 전용의 스캔카메라로 검사하게 되며, 이를 통해 검사신뢰성 또한 크게 향상시킬 수 있다.

Claims (18)

  1. 서로 나란한 제 1 및 제 2 측면을 갖는 평판표시패널 연마장치로서,
    상기 평판표시패널이 안착되고, 상기 제 1 및 제 2 측면과 나란한 제 1 방향으로 슬라이딩되는 제 1 슬라이딩테이블과;
    상기 슬라이딩되는 상기 평판표시패널의 상기 제 1 및 제 2 측면을 연마하는 복수의 제 1 연마휠과;
    상기 제 1 방향을 기준으로 상기 제 1 연마휠 이후에 마련되어, 상기 제 1 및 제 2 측면의 연마상태를 각각 검사하는 적어도 두 개의 제 1 스캔카메라
    를 포함하며, 상기 제 1 스캔카메라는 상기 제 1 및 제 2 측면의 이동경로 상의 일 지점 상 하단에 각각 고정된 적어도 두 쌍을 이루는 평판표시패널 연마장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 방향을 기준으로 상기 제 1 연마휠 이전에 구비되어, 상기 평판표시패널의 정렬여부를 확인하는 적어도 하나의 제 1 CCD 카메라
    를 더 포함하는 평판표시패널 연마장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 평판표시패널은 상기 제 1 및 제 2 측면에 각각 마련된 한 쌍의 제 1 얼라인마크를 더 구비하고,
    상기 제 1 CCD 카메라는 상기 평판표시패널 상단에서 상기 한 쌍의 제 1 얼라인마크를 각각 인식하는 한 쌍을 이루는 평판표시패널 연마장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 연마휠이 장착되고, 슬라이딩되는 상기 평판표시패널 상단에서 상기 제 1 방향에 교차 배열된 제 1 그라인딩바를 더 포함하는 평판표시패널 연마장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 평판표시패널은 서로 나란한 제 3 및 제 4 측면과, 상기 각 측면이 만나는 네 개의 모서리를 더 구비하는 평판표시패널 연마장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 1 연마휠은, 슬라이딩되는 상기 평판표시패널의 상기 네 개의 모서리를 함께 연마하는 평판표시패널 연마장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 평판표시패널이 안착되고, 상기 제 3 및 제 4 측면과 나란한 제 2 방향으로 슬라이딩되는 제 2 슬라이딩테이블과;
    상기 슬라이딩되는 상기 평판표시패널의 상기 제 3 및 제 4 측면을 연마하는 복수개의 제 2 연마휠과;
    상기 제 2 방향을 기준으로 상기 제 2 연마휠 이후에 마련되어, 상기 제 3 및 제 4 측면의 연마상태를 각각 검사하는 적어도 두 개의 제 2 스캔카메라
    를 더 포함하는 평판표시패널 연마장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 2 스캔카메라는, 상기 제 3 및 제 4 측면의 이동경로 상의 일 지점 상 하단에 각각 고정된 적어도 두 쌍을 이루는 평판표시패널 연마장치.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 제 2 방향을 기준으로 상기 제 2 연마휠 이전에 구비되어, 상기 평판표시패널의 정렬여부를 확인하는 적어도 하나의 제 2 CCD 카메라
    를 더 포함하는 평판표시패널 연마장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 평판표시패널은 상기 제 3 및 제 4 측면에 각각 마련된 한 쌍의 제 2 얼라인마크를 더 구비하고,
    상기 제 2 CCD 카메라는 상기 평판표시패널 상단에서 상기 한 쌍의 제 2 얼라인마크를 각각 인식하는 한 쌍을 이루는 평판표시패널 연마장치.
  12. 제 8항에 있어서,
    상기 제 2 연마휠이 장착되고, 슬라이딩되는 상기 평판표시패널 상단에 교차 배열된 제 2 그라인딩바를 더 포함하는 평판표시패널 연마장치.
  13. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1 방향과 제 2 방향은 일직선 상에 위치하고,
    상기 제 2 슬라이딩테이블은 상기 평판표시패널을 90°수평 회전시키는 평판표시패널 연마장치.
  14. 서로 나란한 제 1 및 제 2 측면을 갖는 평판표시패널이 안착되고, 상기 제 1 및 제 2 측면과 나란한 제 1 방향으로 슬라이딩되는 제 1 슬라이딩테이블과; 상기 슬라이딩되는 상기 평판표시패널의 상기 제 1 및 제 2 측면을 연마하는 복수의 제 1 연마휠과; 상기 제 1 방향을 기준으로 상기 제 1 연마휠 이후에 마련되어, 상기 제 1 및 제 2 측면의 연마상태를 각각 검사하는 적어도 두 개의 제 1 스캔카메라를 포함하며, 상기 제 1 스캔카메라는 상기 제 1 및 제 2 측면의 이동경로 상의 일 지점 상 하단에 각각 고정된 적어도 두 쌍을 이루는 평판표시패널 연마장치를 이용한 평판표시패널의 연마방법에 있어서,
    (a) 평판표시패널을 제 1 방향으로 슬라이딩 이동시키면서 상기 평판표시패널의 서로 마주보는 제 1 및 제 2 측면을 연마하는 단계와;
    (b) 상기 평판표시패널을 상기 제 1 방향으로 슬라이딩 이동시키면서 상기 제 1 및 제 2 측면의 연마상태를 검사하는 단계
    를 포함하는 평판표시패널 연마방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 (a) 단계 이전, 상기 평판표시패널의 정렬여부를 검사하는 단계를 더 포함하는 평판표시패널 연마방법.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 (b) 단계 이후,
    (c) 상기 평판표시패널을 제 2 방향으로 슬라이딩 이동시키면서 상기 평판표 시패널의 나머지 제 3 및 제 4 측면을 연마하는 단계와;
    (d) 상기 평판표시패널을 제 2 방향으로 슬라이딩 이동시키면서 상기 제 3 및 제 4 측면의 연마상태를 검사하는 단계
    를 더 포함하는 평판표시패널 연마방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 (b) 단계 이후 상기 (c) 단계 이전, 상기 평판표시패널의 정렬여부를 검사하는 단계를 더 포함하는 평판표시패널 연마방법.
  18. 제 16항에 있어서,
    상기 제 1 방향과 제 2 방향은 일직선상의 동일방향이고,
    상기 (b) 단계 이후 상기 (c) 단계 이전, 상기 평판표시패널을 90°수평 회전시키는 단계를 더 포함하는 평판표시패널 연마방법.
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