KR101276445B1

KR101276445B1 - Polarized light illuminating apparatus

Info

Publication number: KR101276445B1
Application number: KR1020130040966A
Authority: KR
Inventors: 게이지 요시다
Original assignee: 우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date: 2012-04-23
Filing date: 2013-04-15
Publication date: 2013-06-19
Also published as: JP5163825B1; CN103235448B; JP2013225069A; CN103235448A; TW201335641A; TWI431344B

Abstract

PURPOSE: A polarized light irradiation apparatus is provided to prevent unevenness of a polarization axis of a polarized light even though a filter is arranged at an incident side of a wire grid polarization device. CONSTITUTION: A polarized light irradiation apparatus includes a linear light source, a wire grid polarization device(81), a light source comprising a reflection mirror(12) and a filter(90). The wire grid polarization device polarizes and irradiates a light from the light source. The light source comprising the reflection mirror covers the light source at an opposite side to the side where the wire grid polarization device is installed. The filter is formed on an optical path between the wire grid polarization device. The filter is larger than the wire grid polarization device when it is seen from width direction in parallel with a light irradiation plane and vertical to length direction of the light source. [Reference numerals] (AA) Cooling water output; (BB) Cooling water input

Description

편광광 조사 장치{POLARIZED LIGHT ILLUMINATING APPARATUS}POLARIZED LIGHT ILLUMINATION APPARATUS [0001]

본원의 발명은, 와이어 그리드 편광 소자를 사용하여 편광광을 조사하는 편광광 조사 장치에 관한 것이다.This invention relates to the polarizing light irradiation apparatus which irradiates polarized light using a wire grid polarizing element.

액정 패널의 배향막이나, 자외선 경화형 액정을 이용한 시야각 보상 필름의 배향층 등을 얻기 위한 배향 처리에 있어서, 워크에 자외역의 편광광을 조사함으로써 배향을 행하는 광 배향 기술이 채용되게 되었다. 이하, 본 명세서에서는, 광에 의해 배향을 행하는 것을 총칭하여 광 배향이라 하고, 광에 의해 배향 처리된 막이나 층을 광 배향막이라 총칭한다. 또한, 「배향」이란, 대상물의 어떠한 성질에 대해서 방향성을 부여하는 것이다.In the alignment process for obtaining the alignment layer of a liquid crystal panel, the alignment layer of the viewing angle compensation film using an ultraviolet curable liquid crystal, etc., the photo-alignment technique which performs alignment by irradiating the polarized light of an ultraviolet region to a workpiece | work became the employ | adopted. Hereinafter, in this specification, what is oriented by light is called generically, and it is called photo-alignment, and the film | membrane or layer oriented by light is called a photo-alignment film generically. In addition, "orientation" provides orientation to any property of an object.

액정 패널에서 이용되는 광 배향막은, 액정 패널의 대형화와 더불어 대형화하되고 있으며, 그와 함께 광 배향막용의 워크에 편광광을 조사하는 편광광 조사 장치도 대형화되고 있다.The photo-alignment film used by a liquid crystal panel is enlarged with the enlargement of a liquid crystal panel, and the polarized light irradiation apparatus which irradiates polarized light to the workpiece | work for a photo-alignment film with it is also enlarged.

이러한 대면적의 광 배향막용의 워크에 대해 광 배향을 행하기 위해서, 선형의 광원인 봉형상의 램프와 와이어 그리드 편광 소자를 조합한 편광광 조사 장치가, 예를 들면 특허 문헌 1(특허 제4506412호 공보)등에서 제안되어 있다.In order to perform photo-alignment with respect to the workpiece | work for such a large area photo-alignment film, the polarizing light irradiation apparatus which combined the rod-shaped lamp which is a linear light source, and a wire grid polarizing element is patent document 1 (patent No. 4506412, for example). Publication).

도 8은, 종래의 편광광 조사 장치의 주요부의 사시 개략도이다. 도 8에 나타낸 편광광 조사 장치는, 워크(W)를 반송하는 반송 기구와, 반송되는 워크(W)에 대해 편광광을 조사하는 광조사부(10) 등으로 구성되어 있다. 도 8에서, 워크(W)는, 예를 들면 시야각 보상 필름용의 띠형상의 장척 워크이며, 송출 롤(R1)로부터 송출되어, 도면 중 화살표 방향으로 반송되면서 편광광 조사에 의해 광 배향 처리되고, 권취 롤(R2)에 의해 권취된다. 봉형상의 램프(11) 및 홈통형상의 반사 미러(12)를 구비한 광조사부(10)로부터의 광은 와이어 그리드 편광 소자(81)에 의해 편광되고, 광조사부(10) 하에서 반송되는 워크(W)에 조사된다. 이에 의해, 광 배향 처리가 행해진다.8 is a perspective schematic view of an essential part of a conventional polarized light irradiation apparatus. The polarized light irradiation apparatus shown in FIG. 8 is comprised by the conveyance mechanism which conveys the workpiece | work W, the light irradiation part 10 etc. which irradiate the polarized light with respect to the workpiece | work W conveyed. In FIG. 8, the workpiece | work W is a strip | belt-shaped elongate workpiece | work for a viewing angle compensation film, for example, is sent out from the delivery roll R1, and is photo-aligned by polarized light irradiation, conveyed in the arrow direction in a figure, It is wound up by the winding roll R2. Light from the light irradiation part 10 provided with the rod-shaped lamp 11 and the groove-shaped reflection mirror 12 is polarized by the wire grid polarizing element 81, and the workpiece | work W conveyed under the light irradiation part 10 is carried out. Is investigated. Thereby, photo-alignment process is performed.

와이어 그리드 편광 소자(81)는, 이용하는 광(편광광)을 투과하는 투명 기판에 그리드를 형성한 구조를 갖는다. 그리드는, 일정한 방향으로 연장되는 도전성 또는 반도전성의 라인을 스페이스를 설치하면서 평행하게 다수 형성한 패턴(라인·앤드·스페이스)을 갖는다. 입사하는 광 중, 그리드의 길이 방향에 평행한 편광 성분은 대부분이 반사 혹은 흡수되고, 그리드의 길이 방향에 직교하는 편광 성분은 투과된다. 따라서, 와이어 그리드 편광 소자(81)를 투과한 광은, 그리드의 길이 방향에 직교하는 방향의 편광축을 갖는 편광광이 된다. 이러한 와이어 그리드 편광 소자(81)의 상세한 사항은, 예를 들면 특허 문헌 2(일본국 특허 공개 2002-328234호 공보)나 특허 문헌 3(일본국 특허 공표 2003-508813호 공보)에 나타나 있다.The wire grid polarizing element 81 has a structure in which a grid is formed on a transparent substrate that transmits light (polarized light) to be used. The grid has a pattern (line and space) in which a plurality of conductive or semiconductive lines extending in a constant direction are formed in parallel while providing a space. Of the incident light, most of the polarization components parallel to the longitudinal direction of the grid are reflected or absorbed, and the polarization components orthogonal to the longitudinal direction of the grid are transmitted. Therefore, the light transmitted through the wire grid polarizing element 81 becomes polarized light having a polarization axis in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the grid. The detail of such a wire grid polarizing element 81 is shown, for example in patent document 2 (Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-328234) and patent document 3 (Japanese Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-508813).

일본국 특허 제 4506412호 공보Japanese Patent No. 4506412 일본국 특허 공개 2002-328234호 공보Japanese Patent Publication No. 2002-328234 일본국 특허 공표 2003-508813호 공보Japanese Patent Publication No. 2003-508813 일본국 특허 공개 2006-184747호 공보Japanese Patent Publication No. 2006-184747

상술한 편광광 조사 장치에 있어서, 파장 선택이나 와이어 그리드 편광 소자의 보호 등의 목적으로, 광원과 와이어 그리드 편광 소자 사이에 필터를 배치하는 것이 필요해지는 경우가 있다. 예를 들면, 광 배향에서는, 상술한 바와 같이 자외선을 워크에 조사하는데, 워크가 감도를 갖는 파장(광 배향에 사용되는 파장) 이외의 자외선에 대해서는, 워크의 열화 등을 일으키므로 제거해야 하는 경우가 있다. 이러한 경우, 워크의 열화 등을 일으키는 유해한 파장의 자외선을 필터를 이용하여 컷하는 것이 행해진다.In the above-mentioned polarized light irradiation apparatus, it may be necessary to arrange | position a filter between a light source and a wire grid polarizing element for the purpose of wavelength selection, protection of a wire grid polarizing element, etc. For example, in the optical orientation, when the ultraviolet rays are irradiated onto the workpiece as described above, the ultraviolet rays other than the wavelength of the workpiece having the sensitivity (the wavelength used for the optical alignment) cause deterioration of the workpiece, etc. There is. In this case, the ultraviolet-ray of the harmful wavelength which causes deterioration of a workpiece | work etc. is cut using a filter.

또, 와이어 그리드 편광 소자의 중요한 특성 중 하나인 소광비가 있다. 광 배향에 있어서, 소광비는, Iv／Ip로 표시된다. Iv는, 그리드의 길이 방향에 수직인 방향의 편광광 강도, Ip는 평행한 방향의 편광광 강도이다. 높은 소광비의 편광광을 조사함으로써, 워크에 대한 광 배향 처리의 정도를 높일 수 있다. 발명자의 연구에 의하면, 와이어 그리드 편광 소자의 특성으로서, 특정 파장역에 대해서는 다른 파장역에 비해 소광비가 높아지는 경우가 있음이 판명되었다. 워크의 감광 파장역(광 배향이 가능한 파장역)과 소광비가 높아지는 파장역이 중첩되어 있으면, 그 중첩되어 있는 파장역의 자외선을 선택적으로 조사함으로써, 광 배향 처리의 효과를 보다 높일 수 있다. 필터에 의한 파장 선택은, 이러한 목적으로도 행해지는 경우가 있다.In addition, there is an extinction ratio which is one of the important characteristics of the wire grid polarizer. In the optical orientation, the extinction ratio is represented by Iv / Ip. Iv is polarized light intensity in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the grid, and Ip is polarized light intensity in a parallel direction. By irradiating the polarization light of a high extinction ratio, the grade of the photo-alignment process with respect to a workpiece | work can be raised. According to the research of the inventors, as a characteristic of the wire grid polarizing element, the extinction ratio may become high about a specific wavelength range compared with another wavelength range. When the photosensitive wavelength range (wavelength range which photo-alignment is possible) of a workpiece | work and the wavelength range which an extinction ratio becomes high overlap, the effect of a photo-alignment process can be heightened further by selectively irradiating the ultraviolet-ray of the overlapping wavelength range. The wavelength selection by a filter may be performed also for this purpose.

또, 상술한 바와 같이, 와이어 그리드 편광 소자는, 투명 기판 상에 미세한 그리드를 형성한 섬세하고 고가의 광학 소자이며, 그리드를 형성한 면(이하, 그리드면이라 함)에 대해서는 특히 신중한 취급이 요구된다. 그리드면을 잘못해서 손으로 만져 오손되어 버리거나 메인터넌스시에 나사 등을 낙하시켜 그리드에 결락 등을 생기게 하거나 하지 않도록 해야 한다. 그래서, 그리드면을 덮도록 하여 보호용 필터를 설치하는 것이 필요해지는 경우가 많다. 와이어 그리드 편광 소자는, 통상, 그리드면을 광원측을 향하게 한 상태로 배치된다. 광원과는 반대측을 향하면, 그리드면이 노출되어 버리는 구조로 되는 경우가 많아, 잘못해서 손으로 만져 버릴 우려가 높아지기 때문이다. 따라서, 보호용 필터는 와이어 그리드 편광 소자의 광원측(입사측)에 배치된다.As described above, the wire grid polarizing element is a delicate and expensive optical element in which a fine grid is formed on a transparent substrate, and special care is required for the surface on which the grid is formed (hereinafter referred to as grid surface). do. Do not touch the grid surface accidentally by hand, and do not drop the screws or the like during maintenance. Therefore, it is often necessary to provide a protective filter so as to cover the grid surface. The wire grid polarizing element is usually disposed in a state where the grid surface is directed toward the light source side. This is because the grid surface is often exposed to the opposite side to the light source, which increases the risk of accidentally touching it by hand. Therefore, the protective filter is disposed on the light source side (incident side) of the wire grid polarizing element.

상술한 한 가지 또는 두 가지 이상의 목적을 위해서, 와이어 그리드 편광 소자의 입사측에 필터를 배치하는 것이 필요해지는 경우가 있다. 여기서, 발명자의 연구에 의하면, 와이어 그리드 편광 소자의 입사측에 필터를 배치한 경우, 편광광 조사 영역의 주변부에서 편광광의 편광축의 불균일이 나타나는 문제가 발생한다고 판명되었다.For one or two or more purposes described above, it may be necessary to arrange a filter on the incidence side of the wire grid polarizing element. Here, according to the research of the inventors, when a filter is arrange | positioned at the incidence side of a wire grid polarizing element, the problem that the nonuniformity of the polarization axis of polarized light appears in the peripheral part of a polarized light irradiation area | region arises.

도 9는, 편광광 조사 영역의 주변부에서의 편광축의 불균일의 문제에 대해서 나타낸 평면 개략도이다. 도 9에서, 편광광의 편광축의 방향을 화살표로 나타냈다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 편광광 조사 영역은, 홈통형상의 반사 미러(12)의 하단 개구의 바로 아래의 영역이며, 램프(11)의 길이와 거의 같은 길이의 직사각형의 영역이 된다. 이러한 편광광 조사 영역에서, 예를 들면 램프(11)의 길이 방향에 직각인 방향의 편광광이 출사되도록 와이어 그리드 편광 소자(81)를 배치한 경우, 램프(11)의 바로 아래의 위치에서 편광광의 편광축을 측정하면, 도 9에 나타낸 바와 같이, 제대로 직각인 방향을 향하고 있는 지가 확인된다. 그러나, 편광광 조사 영역의 주변부, 특히 네 모서리의 부분에서 측정하면, 도 9에 나타낸 바와 같이 편광축이 직각을 향하지 않고, 비스듬하게 기울어져(회전하여) 있음이 확인된다.9 is a plan schematic diagram showing the problem of nonuniformity of the polarization axis at the periphery of the polarized light irradiation region. In FIG. 9, the direction of the polarization axis of polarized light was shown by the arrow. As shown in FIG. 8, the polarized light irradiation area is an area immediately below the lower end opening of the trough reflective mirror 12, and becomes a rectangular area of substantially the same length as the length of the lamp 11. In the polarized light irradiation area, for example, when the wire grid polarizing element 81 is disposed so that polarized light in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the lamp 11 is emitted, the polarization is performed at a position directly under the lamp 11. When the polarization axis of light is measured, as shown in FIG. 9, it is confirmed whether it is heading in the direction orthogonally perpendicular. However, when measured at the periphery of a polarized light irradiation area | region, especially the part of four corners, as shown in FIG. 9, it is confirmed that a polarization axis does not face a right angle but is inclined obliquely (rotates).

이러한 각 모서리부에서의 편광축의 불균일에 대해, 특허 문헌 4에서는, 램프와 와이어 그리드 편광 소자 사이에 통형상의 미러를 설치하는 등의 구조로 개선해 나가는 것이 검토되고 있다. 그러나, 발명자의 연구에 의하면, 와이어 그리드 편광 소자의 입사측에 필터를 배치하면, 폭방향의 단부에서 다른 요인으로 편광축의 불균일이 나타난 것이 판명되었다. 또한, 여기서 폭방향이란, 편광광 조사 영역 중 램프(11)의 길이 방향에 대해 수직인 방향을 의미하고 있으며, 도 9에 나타낸 예에서는, 워크(W)가 길이 방향(반송 방향)에 상당한다.In Patent Document 4, it is studied to improve the structure such as providing a cylindrical mirror between the lamp and the wire grid polarizing element with respect to the nonuniformity of the polarization axis at each corner portion. However, according to the inventor's research, when the filter was arrange | positioned on the incidence side of a wire grid polarizing element, it turned out that the nonuniformity of the polarization axis appeared by another factor at the edge part of the width direction. In addition, the width direction means the direction perpendicular | vertical to the longitudinal direction of the lamp 11 among polarized light irradiation area | regions, In the example shown in FIG. 9, the workpiece | work W corresponds to a longitudinal direction (transfer direction). .

본원 발명은, 상술한 새로운 과제(필터 배치에 따른 편광축 불균일이 나타나는 문제)를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 와이어 그리드 편광 소자의 입사측에 필터를 배치해도 편광광의 편광축의 불균일이 나타나지지 않도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.This invention is made | formed in order to solve the above-mentioned new subject (problem which the polarization axis nonuniformity according to filter arrangement | positioning appears), and an object is that the nonuniformity of the polarization axis of polarized light will not appear even if a filter is arrange | positioned on the incident side of a wire grid polarizing element. I am doing it.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본원의 청구항 1에 기재된 발명은, 선형의 광원과, 광원으로부터의 광을 편광시켜 조사하는 와이어 그리드 편광 소자와, 와이어 그리드 편광 소자가 설치된 측과는 반대측에서 광원을 덮은 홈통형상의 반사 미러를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서,MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, invention of Claim 1 which covered the light source on the opposite side to the side provided with the linear light source, the wire grid polarizing element which irradiates and irradiates the light from a light source, and the wire grid polarizing element is provided. In the polarizing light irradiation apparatus provided with the groove-shaped reflection mirror,

광원과 와이어 그리드 편광 소자 사이의 광로 상에는 필터가 설치되어 있고,A filter is provided on the optical path between the light source and the wire grid polarizing element,

광원의 길이 방향에 대해 수직이고 광조사면에 대해 평행한 방향인 폭방향에서 봤을 때, 필터는 와이어 그리드 편광 소자보다도 크다는 구성을 갖는다.When viewed in the width direction perpendicular to the longitudinal direction of the light source and parallel to the light irradiation surface, the filter has a configuration larger than that of the wire grid polarizing element.

또, 상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 2에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 반사 미러는, 상기 광원의 길이 방향에 수직인 단면에서의 반사면의 형상이 포물선을 이루고 있고, 상기 필터는 상기 와이어 그리드 편광 소자에 대해 평행하게 설치되어 있으며,Moreover, in order to solve the said subject, in the invention of Claim 2, in the structure of the said Claim 1, the shape of the reflecting surface in the cross section perpendicular | vertical to the longitudinal direction of the said light source forms the parabola, The filter is installed parallel to the wire grid polarizer,

상기 필터의 폭방향의 단부가 상기 와이어 그리드 편광 소자로부터 돌출되어 있는 길이는 2.5mm 이상이라는 구성을 갖는다.The length which the edge part of the width direction of the said filter protrudes from the said wire grid polarizing element has a structure of 2.5 mm or more.

또, 상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 3에 기재된 발명은, 상기 청구항 1의 구성에 있어서, 상기 반사 미러는, 상기 광원의 길이 방향에 수직인 단면에서의 반사면의 형상이 포물선을 이루고 있고, 상기 필터는 상기 와이어 그리드 편광 소자에 대해 평행하게 설치되어 있으며,Moreover, in order to solve the said subject, in the invention of Claim 3, in the structure of the said Claim 1, the shape of the reflecting surface in the cross section perpendicular | vertical to the longitudinal direction of the said light source forms the parabola, The filter is installed parallel to the wire grid polarizer,

상기 필터의 단부가 상기 와이어 그리드 편광 소자로부터 돌출되어 있는 길이를 S, 상기 와이어 그리드 편광 소자의 유효 영역의 끝점에 대해 가장 외측에서 입사하는 광의 입사각을 θ, 상기 필터와 상기 와이어 그리드 편광 소자의 이격 간격을 d로 했을 때, S≥d·tanθ의 관계가 성립하고 있는 구성을 갖는다.The length of the end of the filter protruding from the wire grid polarizer is S, and the angle of incidence of light incident on the outermost side with respect to the end point of the effective area of the wire grid polarizer is θ, and the separation between the filter and the wire grid polarizer. When the interval is d, it has a configuration in which a relationship of S≥d.tanθ is established.

또, 상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 4에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 구성에 있어서, 상기 광원, 상기 와이어 그리드 편광 소자 및 상기 반사 미러는 램프 하우스에 수용되어 있고,Moreover, in order to solve the said subject, in the invention of Claim 4, the said light source, the said wire grid polarizing element, and the said reflection mirror are accommodated in the lamp house in any one of the said Claims 1-3,

램프 하우스에는, 램프 하우스 내를 통풍에 의해 냉각하는 통풍로가 형성되어 있고,The lamp house is provided with a ventilation path for cooling the inside of the lamp house by ventilation,

상기 필터는 상기 와이어 그리드 편광 소자에 대해 평행하게 설치되어 있으며,The filter is installed parallel to the wire grid polarizer,

상기 필터와 상기 와이어 그리드 편광 소자 사이의 공간도 통풍로로 되어 있음과 더불어, 상기 필터의 출사면과 상기 와이어 그리드 편광 소자의 입사면의 이격 간격은 5mm 이상이라는 구성을 갖는다.The space between the filter and the wire grid polarizer is also a ventilation path, and the separation distance between the emission surface of the filter and the incident surface of the wire grid polarizer is 5 mm or more.

또, 상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 5에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 구성에 있어서, 상기 필터는, 필터 본체와 필터 본체를 유지한 필터 프레임에 의해 구성되어 있고, 필터 본체는 복수 설치되어 있으며, 필터 프레임은, 동일 평면 상에 나열된 복수의 필터 본체를 유지한 것인 구성을 갖는다.Moreover, in order to solve the said subject, in invention of Claim 5, the said filter is comprised by the filter frame which hold | maintained the filter main body and the filter main body in any one of the said Claims 1-4. The main body is provided in plurality, and the filter frame has the structure which hold | maintained the some filter main body arranged on the same plane.

또, 상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 6에 기재된 발명은, 상기 청구항 1 내지 5 중 어느 한 구성에 있어서, 상기 와이어 그리드 편광 소자는, 프레임에 의해 유지되고 있고, 상기 필터는 이 프레임에 연결되어 있어 상기 와이어 그리드 편광 소자와 함께 이동 가능하게 되어 있는 구성을 갖는다.Moreover, in order to solve the said subject, in the invention of Claim 6, the said wire grid polarizing element is hold | maintained by the frame in any one of said 1-5 structures, The said filter is connected to this frame, It has a structure which is movable with the said wire grid polarizing element.

이하에 설명하는 바와 같이, 본원의 각 청구항에 기재된 발명에 의하면, 폭방향에서 봤을 때, 필터는 와이어 그리드 편광 소자보다도 크기 때문에, 폭방향의 단부에 있어서의 편광축의 불균일이 나타나는 것이 방지된다. 이로써, 보다 균일성이 높은 광 배향 처리에 공헌할 수 있다.As described below, according to the invention described in each claim of the present application, since the filter is larger than the wire grid polarizing element when viewed in the width direction, the nonuniformity of the polarization axis at the end in the width direction is prevented from appearing. Thereby, it can contribute to the more uniform photo-alignment process.

또, 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 추가해 필터가 와이어 그리드 편광 소자의 냉각을 저해하는 일이 없기 때문에, 와이어 그리드 편광 소자가 한도 이상으로 가열되어 버리거나, 와이어 그리드 편광 소자가 발하는 복사열이 광 배향막을 한도 이상으로 가열해 버리거나 하는 문제가 방지된다.Moreover, according to invention of Claim 4, in addition to the said effect, since a filter does not inhibit cooling of a wire grid polarizing element, the radiant heat which a wire grid polarizing element heats more than the limit, or a wire grid polarizing element emits The problem of heating the photoalignment film beyond the limit is prevented.

또, 청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 추가해 복수의 필터 본체가 나열되어 필터 프레임에 의해 유지되고 있으므로, 보다 대면적의 영역에 편광광을 조사하는데 적합한 것이 된다.Moreover, according to invention of Claim 5, since several filter main bodies are arranged and hold | maintained by the filter frame in addition to the said effect, it becomes suitable for irradiating polarized light to the area of a larger area.

또, 청구항 6에 기재된 발명에 의하면, 상기 효과에 추가해 필터가 와이어 그리드 편광 소자와 함께 이동할 수 있으므로, 착탈시의 동작이 용이해진다.Moreover, according to invention of Claim 6, in addition to the said effect, since a filter can move with a wire grid polarizing element, operation | movement at the time of attachment and detachment becomes easy.

도 1은 본원 발명의 실시형태에 따른 편광광 조사 장치의 측면 단면 개략도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 필터의 평면 개략도이다.
도 3은 필터의 크기와 편광광 조사 영역에서의 편광축의 불균일의 관계에 대해서 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 와이어 그리드 편광 소자에 대한 필터의 상대적인 크기와 편광축의 불균일의 관계에 대해서 조사한 실험의 결과를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4에 결과를 나타내는 실험에 있어서, 편광축의 방향을 유효 조사 영역의 어느 지점에서 측정했는지를 나타내는 평면 개략도이다.
도 6은 와이어 그리드 편광 소자에 대한 필터의 상대적인 크기에 관한 정성적인 설명의 일례에 대해서 나타낸 개략도이다.
도 7은 와이어 그리드 편광 소자에 대한 필터의 돌출 길이가 일정한 경우에 이격 거리의 증대에 수반하여 편광축의 불균일이 커지는 점을 확인한 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 8은 종래의 편광광 조사 장치의 주요부의 사시 개략도이다.
도 9는 편광광 조사 영역의 주변부에서의 편광축의 불균일의 문제에 대해서 나타낸 평면 개략도이다.1 is a side cross-sectional schematic diagram of a polarized light irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan schematic view of the filter shown in FIG. 1. FIG.
It is a figure which shows typically the relationship of the magnitude | size of a filter and the nonuniformity of the polarization axis in a polarized light irradiation area | region.
FIG. 4 is a diagram showing the results of experiments that investigate the relationship between the relative size of the filter and the nonuniformity of the polarization axis with respect to the wire grid polarizer. FIG.
FIG. 5 is a plan schematic view showing at which point in the effective irradiation region the direction of the polarization axis is measured in the experiments showing the results in FIG. 4.
6 is a schematic view showing an example of a qualitative description regarding the relative size of the filter with respect to the wire grid polarizer.
FIG. 7 is a view showing experimental results confirming that the nonuniformity of the polarization axis increases with increase in the separation distance when the protrusion length of the filter with respect to the wire grid polarizing element is constant. FIG.
8 is a perspective schematic view of an essential part of a conventional polarized light irradiation apparatus.
9 is a plan schematic diagram showing the problem of nonuniformity of the polarization axis at the periphery of the polarized light irradiation region.

다음에, 본원 발명을 실시하기 위한 형태(이하, 실시형태)에 대해서 설명한다.Next, the form (hereinafter, embodiment) for implementing this invention is demonstrated.

도 1은, 본원 발명의 실시형태에 따른 편광광 조사 장치의 측면 단면 개략도이다. 도 1은, 워크(W)의 반송 방향에서의 단면도이다. 도 1에 나타낸 편광광 조사 장치는, 선형의 광원과 이 광원으로부터의 광을 편광시키는 와이어 그리드 편광 소자를 구비하고 있다.1 is a side cross-sectional schematic view of a polarized light irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention. 1: is sectional drawing in the conveyance direction of the workpiece | work W. FIG. The polarized light irradiation apparatus shown in FIG. 1 is provided with the linear light source and the wire grid polarizing element which polarizes the light from this light source.

광원은, 광 배향에 필요한 파장의 광을 방사하는 것이다. 도 8에 나타낸 경우와 마찬가지로, 워크(W)의 폭방향으로 긴 패턴으로 광을 조사하기 위해서, 봉형상의 램프(11)가 광원으로서 사용되고 있다. 본 실시형태에서는, 자외역의 광에 의해 광 배향을 행하므로, 고압 수은 램프나 수은에 다른 금속을 추가한 메탈할라이드 램프 등이 사용된다. 자외역의 필요한 파장의 광을 방사하는 LED를 복수 나열하여 긴 조사 패턴을 얻도록 해도 된다. 또한, 봉형상의 램프(11)는, 그 길이 방향이 워크(W)의 폭방향이 되도록 배치된다. 워크(W)는, 램프(11)의 길이 방향에 대해 수직인 수평 방향(도 1의 도면 좌우 방향)으로 반송되고, 그 반송 과정에서 편광광이 조사된다.The light source emits light of a wavelength necessary for light alignment. As in the case shown in FIG. 8, in order to irradiate light in a pattern long in the width direction of the workpiece | work W, the rod-shaped lamp 11 is used as a light source. In this embodiment, since photo-alignment is performed by the light of an ultraviolet range, the high pressure mercury lamp, the metal halide lamp which added another metal to mercury, etc. are used. A long irradiation pattern may be obtained by arranging a plurality of LEDs emitting light of a required wavelength in the ultraviolet region. Moreover, the rod-shaped lamp 11 is arrange | positioned so that the longitudinal direction may become the width direction of the workpiece | work W. As shown in FIG. The workpiece | work W is conveyed in the horizontal direction (FIG. 1 left-right direction of FIG. 1) perpendicular | vertical with respect to the longitudinal direction of the lamp 11, and polarized light is irradiated in the conveyance process.

도 8과 마찬가지로, 램프(11)를 덮도록 하여, 홈통형상의 반사 미러(12)가 설치되어 있다. 반사 미러(12)는, 램프(11)로부터의 광을 반사시켜 워크(W)를 향하게 함으로써 광의 이용 효율을 높이는 것이다. 홈통형상의 반사 미러(12)로는, 본 실시형태에서는, 반사면의 단면 형상이 포물선을 이루는 것(포물면 거울)이 사용되고 있다.Similarly to FIG. 8, a groove-shaped reflective mirror 12 is provided to cover the lamp 11. The reflection mirror 12 improves the light utilization efficiency by reflecting light from the lamp 11 and directing it to the work W. FIG. As the groove-shaped reflective mirror 12, in this embodiment, what has a parabolic cross section shape of a reflective surface (parabolic mirror) is used.

와이어 그리드 편광 소자(81)는, 램프(11)와 워크(W) 사이에 위치하도록 배치된다. 본 실시형태에서는, 워크(W)의 대형화에 대응하기 위해서, 복수의 와이어 그리드 편광 소자(81)를 나열하여 유닛화한 것이 채용되고 있다. 각 와이어 그리드 편광 소자(81)는 사각형의 판형상이며, 워크(W)의 폭방향(도 1의 지면 수직 방향)으로 나열되어, 프레임(82)으로 유지되고 있다. 각 와이어 그리드 편광 소자(81)의 단면이 이웃하는 개소에는, 간극으로부터의 누설광(비편광광의 누설)을 방지하기 위해서 도시하지 않은 차광판이 설치되어 있다. 이러한 와이어 그리드 편광 소자(81)의 유닛(이하, 편광 소자 유닛이라 함)의 구조에 대해서는, 특허 문헌 1에 개시된 것을 참조할 수 있다.The wire grid polarizing element 81 is disposed to be positioned between the lamp 11 and the work W. As shown in FIG. In this embodiment, in order to respond to the enlargement of the workpiece | work W, what aligned and united the some wire grid polarizing element 81 is employ | adopted. Each wire grid polarizing element 81 has a rectangular plate shape, is arranged in the width direction (the paper vertical direction in FIG. 1) of the workpiece W, and is held in the frame 82. In the place where the cross section of each wire grid polarizing element 81 adjoins, the light shielding plate which is not shown in figure is provided in order to prevent the leakage light (leakage of non-polarization light) from a clearance gap. For the structure of such a unit of the wire grid polarizing element 81 (hereinafter referred to as a polarizing element unit), reference may be made to what is disclosed in Patent Document 1.

또한, 편광 소자 유닛의 착탈을 용이하게 하기 위해서, 레일(83)을 따라서 이동시키는 구조가 채용되고 있다. 램프(11) 등을 수용한 하우징(이하, 램프 하우스라 함)(60)의 하판부에는 광 조사구(70)가 설치되어 있다. 광 조사구(70)의 가장자리를 따라서 한 쌍의 레일(83)이 설치되어 있고, 편광 소자 유닛은, 착탈시, 이 레일(83) 상을 이동하는 구조로 되어 있다.Moreover, in order to make attachment and detachment of a polarizing element unit easy, the structure which moves along the rail 83 is employ | adopted. A light irradiation port 70 is provided in the lower plate portion of the housing (hereinafter referred to as a lamp house) 60 that houses the lamp 11 or the like. A pair of rails 83 are provided along the edge of the light irradiation port 70, and the polarizing element unit has a structure which moves on this rail 83 at the time of attachment and detachment.

또, 램프(11)로부터의 광에 의한 열의 문제를 해소하기 위해서, 램프 하우스(60) 내를 냉각하는 구조가 채용되고 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 반사 미러(12)는 좌우 한 쌍의 것으로 되어 있다. 좌우의 반사 미러(12)는, 상부에서 이격하고 있고, 램프(11)의 상측에서 통풍용 슬릿을 형성하고 있다. 슬릿의 상방에는 라디에이터(20)가 설치되어 있고, 그 위에는 블로어(30)가 설치되어 있다. 블로어(30)가 동작하면, 도 1에 파선 화살표로 나타낸 바와 같이 라디에이터(20)를 통해 바람이 흘러들어가, 램프 하우스(60) 내가 냉각된다.Moreover, in order to eliminate the problem of the heat | fever by the light from the lamp 11, the structure which cools the inside of the lamp house 60 is employ | adopted. As shown in FIG. 1, the reflection mirror 12 is a pair of right and left. The left and right reflection mirrors 12 are spaced apart from each other and form ventilation slits on the upper side of the lamp 11. The radiator 20 is provided above the slit, and the blower 30 is provided on it. When the blower 30 operates, as shown by the broken arrow in FIG. 1, wind flows through the radiator 20, and the inside of the lamp house 60 is cooled.

냉각의 목적은, 램프(11) 자체의 온도 상승을 억제하는 것 외에, 램프 하우스(60) 내의 각 부품을 냉각하거나 램프 하우스(60)의 표면이 한도 이상으로 뜨겁게 되지 않도록 하거나 하기 위함이다. 또, 각 와이어 그리드 편광 소자(81)를 냉각함으로써 열적 손상을 방지하는 목적 외에, 각 와이어 그리드 편광 소자(81)가 고온으로 됨으로써 그 복사열로 워크(W)가 이상 가열되는 것을 방지하는 목적도 있다.The purpose of cooling is not only to suppress the temperature rise of the lamp 11 itself, but also to cool each component in the lamp house 60 or to prevent the surface of the lamp house 60 from becoming hot beyond the limit. In addition to the purpose of preventing thermal damage by cooling the respective wire grid polarizing elements 81, there is also an object to prevent the work W from being abnormally heated by the radiant heat due to the high temperature of each wire grid polarizing element 81. .

본 실시형태의 장치는, 와이어 그리드 편광 소자(81)의 입사측에 필터(90)를 구비하고 있다. 필터(90)의 배치는, 상술한 한 가지 또는 두 가지 이상의 목적이다. 필터(90)는, 필터 본체(91)와, 필터 본체(91)를 유지한 필터 프레임(92)으로 이루어진다.The apparatus of this embodiment includes a filter 90 on the incident side of the wire grid polarizing element 81. The arrangement of the filter 90 is for one or two or more purposes described above. The filter 90 consists of a filter main body 91 and a filter frame 92 holding the filter main body 91.

필터 본체(91)는, 이용하는 편광광의 파장을 충분히 투과하는 것임이 최저한 필요하다. 그 밖에, 파장 선택의 목적으로 필터(90)가 배치되는 경우, 목적으로 하는 파장을 투과하고, 다른 파장을 적절히 차단 내지 흡수하는 특성을 갖는 것이 사용된다.It is necessary that the filter main body 91 fully transmit the wavelength of the polarized light to be used. In addition, when the filter 90 is arrange | positioned for the purpose of wavelength selection, what has the characteristic which permeate | transmits the target wavelength and cuts off or absorbs another wavelength suitably is used.

도 2는, 도 1에 나타낸 필터의 평면 개략도이다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 와이어 그리드 편광 소자(81)와 동일하게, 필터(90)에 대해서도, 복수의 필터 본체(91)를 나열하여 배치한 구조가 채용되고 있다. 각 필터 본체(91)는 사각형의 판 형상이며, 워크(W)의 폭방향으로 나열되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 필터 프레임(92)의 내연은 필터 본체(91)의 장수만큼의 길이를 갖고, 동일 평면 상에 나열된 각 필터 본체(91)를 유지하고 있다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 필터 프레임(92)의 각 변은 L자형상의 단면 형상을 갖고, 단차를 갖는다. 각 필터 본체(91)는, 이 단차에 넣어진 상태로 유지되어 있다. 또한, 도 2에서는, 4장의 필터 본체(91)가 사용되고 있는데, 필터 본체(91)는 워크(W)의 크기에 따라 적절히 변경되는 것은 말할 필요도 없다. 보다 폭이 넓은 워크(W)에 대해서 보다 많은 장수의 필터 본체(91)가 사용되고, 폭이 좁은 워크(W)에 대해서는 적게 사용된다.FIG. 2 is a plan schematic view of the filter shown in FIG. 1. FIG. As shown in FIG. 2, similarly to the wire grid polarizing element 81, a structure in which a plurality of filter bodies 91 are arranged in a row is also employed for the filter 90. Each filter main body 91 is a rectangular plate shape, and is arranged in the width direction of the workpiece | work W. As shown in FIG. As shown in FIG. 2, the internal combustion of the filter frame 92 has a length equal to the length of the filter main body 91, and holds each filter main body 91 arranged on the same plane. As shown in FIG. 1, each side of the filter frame 92 has an L-shaped cross-sectional shape and has a step. Each filter main body 91 is hold | maintained in this step. In addition, although the four filter main bodies 91 are used in FIG. 2, it cannot be overemphasized that the filter main body 91 changes suitably according to the magnitude | size of the workpiece | work W. As shown in FIG. More long life of the filter main body 91 is used for the wider work W, and less is used for the narrow work W. As shown in FIG.

도 1에 나타낸 바와 같이, 각 필터 본체(91)는, 와이어 그리드 편광 소자(81)와 평행한 자세로 필터 프레임(92)에 유지되어 있다. 또, 필터 프레임(92)은, 연결구(93)에 의해 와이어 그리드 편광 소자(81)의 프레임(82)에 연결되어 있다. 따라서, 필터(90)는, 편광 소자 유닛의 착탈시에 편광 소자 유닛과 함께 레일(83) 상을 이동 가능하도록 되어 있다.As shown in FIG. 1, each filter main body 91 is hold | maintained in the filter frame 92 in the attitude | position parallel to the wire grid polarizing element 81. As shown in FIG. In addition, the filter frame 92 is connected to the frame 82 of the wire grid polarizing element 81 by the connector 93. Therefore, the filter 90 can move on the rail 83 with a polarizing element unit at the time of attaching and detaching a polarizing element unit.

또, 와이어 그리드 편광 소자(81)와 필터 본체(91) 사이에는, 블로어(30)에 의한 냉각풍이 흐르게 되어 있다. 즉, 필터(90)의 배치에 의해 와이어 그리드 편광 소자(81)의 냉각이 저해되지 않도록 하고 있다. 또한, 연결구(93)는, 필터 본체(91)와 와이어 그리드 편광 소자(81) 사이에 흐르는 냉각풍을 차폐하지 않는 구조로 되어 있다.Moreover, the cooling wind by the blower 30 flows between the wire grid polarizing element 81 and the filter main body 91. FIG. That is, the cooling of the wire grid polarizing element 81 is prevented from being inhibited by the arrangement of the filter 90. In addition, the connector 93 has a structure which does not shield the cooling wind flowing between the filter main body 91 and the wire grid polarizing element 81.

이러한 필터(90)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 와이어 그리드 편광 소자(81)보다도 폭이 넓은 것으로 되어 있다. 보다 정확하게 말하면, 폭방향에서 봤을 때, 필터(90)는 와이어 그리드 편광 소자(81)보다도 큰 것으로 되어 있다.Such a filter 90 is wider than the wire grid polarizing element 81, as shown in FIG. More precisely, the filter 90 is larger than the wire grid polarizing element 81 in the width direction.

또한, 「필터는 와이어 그리드 편광 소자보다도 크다」고 하는 경우, 말할 필요도 없으나, 필터로서 기능하는 영역이 와이어 그리드 편광 소자보다도 크다는 의미이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 필터 본체(91)의 단부는 필터 프레임(92)으로 덮여 있고, 필터 본체(91) 중 필터 프레임(92)으로 덮인 부분은 필터(90)로서는 기능하지 않는다. 따라서, 실시형태에서 말하면, 필터 본체(91) 중 필터 프레임(92)으로 덮여있지 않은 부분(유효 영역)의 크기가 와이어 그리드 편광 소자(81)보다도 크다는 것이다. 덧붙여 말하면, 이 점은 와이어 그리드 편광 소자(81)에 대해서도 동일하며, 와이어 그리드 편광 소자로서 유효하게 기능하는 영역보다도 필터(90)의 유효 영역쪽이 크다는 의미이다. 와이어 그리드 편광 소자(81)의 유효 영역은, 와이어 그리드 편광 소자(81) 중 프레임(82)이나 도시하지 않은 차광판으로 덮여있지 않은 부분이 된다.In addition, it goes without saying that when "a filter is larger than a wire grid polarizing element", it means that the area | region which functions as a filter is larger than a wire grid polarizing element. As shown in FIG. 1, the edge part of the filter main body 91 is covered with the filter frame 92, and the part covered with the filter frame 92 among the filter main bodies 91 does not function as the filter 90. As shown in FIG. Therefore, in the embodiment, the size of the portion (effective area) of the filter main body 91 not covered with the filter frame 92 is larger than the wire grid polarizing element 81. In addition, this point is the same also about the wire grid polarizing element 81, and it means that the effective area | region of the filter 90 is larger than the area | region which functions effectively as a wire grid polarizing element. The effective area of the wire grid polarizer 81 is a portion of the wire grid polarizer 81 that is not covered with the frame 82 or a light shielding plate (not shown).

상기와 같이 필터(90)를 와이어 그리드 편광 소자(81)보다도 큰 폭으로 해 두는 것은, 상술한 광조사면에 있어서의 편광축의 불균일이 나타나는 문제를 연구한 발명자의 연구 성과에 의거하고 있다. 이하, 이 점에 대해서 도 3을 사용하여 설명한다. 도 3은, 필터(90)의 크기와 편광축의 불균일의 관계에 대해서 모식적으로 나타낸 도면이다. 또한, 광조사면에 있어서, 일정 이상의 조도로 편광광이 조사되는 영역이 유효 조사 영역으로서 설정된다. 문제가 되는 편광축의 불균일은, 일의적으로는 유효 조사 영역에서 발생한다.As described above, the width of the filter 90 larger than the wire grid polarizing element 81 is based on the research results of the inventors who have studied the problem of nonuniformity of the polarization axis in the light irradiation surface described above. This point will be described below with reference to FIG. 3. 3 is a diagram schematically showing the relationship between the size of the filter 90 and the nonuniformity of the polarization axis. Moreover, in the light irradiation surface, the area | region to which polarized light is irradiated with predetermined illuminance is set as an effective irradiation area. Nonuniformity of the polarizing axis in question arises uniquely in the effective irradiation area.

상술한 바와 같이, 와이어 그리드 편광 소자에서는, 그리드의 길이 방향에 수직인 방향으로 편광하는 편광광을 투과하고, 그리드의 길이 방향에 평행한 방향으로 편광하는 편광광을 반사 내지 흡수한다. 이 특성은, 광이 와이어 그리드 편광 소자에 수직으로 입사할 때에 최적으로 얻어지는데, 광이 비스듬하게 입사해도 소광비 자체에는 영향이 없다. 그러나, 광이 비스듬하게 입사하면, 편광광의 편광축이 변화하고, 이 영향이 커지면 문제가 되는 편광축의 불균일이 나타나게 된다.As described above, the wire grid polarizing element transmits polarized light polarized in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the grid, and reflects or absorbs polarized light polarized in a direction parallel to the longitudinal direction of the grid. This property is optimally obtained when light is incident perpendicularly to the wire grid polarizing element, and even if the light is obliquely incident, the extinction ratio itself is not affected. However, when light enters at an angle, the polarization axis of polarized light changes, and when this influence becomes large, the nonuniformity of the polarization axis which becomes a problem appears.

도 3에 나타낸 바와 같이, 유효 조사 영역 중 폭방향(램프(11)의 길이 방향에 수직인 방향)에 대해서 생각해 본다. 유효 조사 영역의 각 점에는, 램프(11)로부터 직접 도달하는 광과, 반사 미러(12)를 거쳐 도달하는 광이 있다. 반사 미러(12)가 홈통형상 포물면 거울인 경우, 통상, 램프(11)의 중심이 초점의 위치가 되도록 램프(11)는 배치된다. 이 경우, 램프(11)의 중심으로부터 나와 반사 미러(12)에 반사된 광은, 광축(a)을 따른 평행광이 되어, 광조사면에 수직으로 입사한다. 램프(11)의 중심으로부터 나온 광의 궤적을, 도 3중 실선으로 나타낸다.As shown in FIG. 3, the width direction (direction perpendicular | vertical to the longitudinal direction of the lamp 11) of an effective irradiation area is considered. At each point of the effective irradiation area, there is light reaching directly from the lamp 11 and light reaching through the reflection mirror 12. When the reflecting mirror 12 is a trough parabolic mirror, the lamp 11 is usually arranged so that the center of the lamp 11 is the position of the focal point. In this case, the light reflected from the center of the lamp 11 and reflected on the reflection mirror 12 becomes parallel light along the optical axis a and enters the light irradiation surface perpendicularly. The trace of the light emitted from the center of the lamp 11 is shown by the solid line in FIG.

실제로는, 램프(11)는, 유한한 크기의 발광부를 갖고 있으며, 중심 이외의 장소로부터 나온 광은 평행광이 되지는 않는다. 가령, 램프(11)의 관내 전체가 발광부라 하면, 도 3에 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 광조사면의 한 점에 광이 도달한다. 또, 도 3 중에 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 반대측의 반사 미러(12)에 반사되어 한 점에 도달하는 광도 있다.In reality, the lamp 11 has a finite size light emitting portion, and light from a place other than the center does not become parallel light. For example, if the whole inside of the tube of the lamp 11 is a light emitting part, light reaches one point of the light irradiation surface as shown by the dashed-dotted line in FIG. Moreover, as shown by the dashed-dotted line in FIG. 3, there is also light reflected by the reflection mirror 12 on the opposite side and reaching one point.

도 3으로부터 용이하게 이해할 수 있듯이, 유효 조사 영역의 중앙부에서는, 각 광선의 입사각에 큰 차이는 없다. 그러나, 도 3에 나타낸 바와 같이, 유효 조사 영역의 단부의 점(E)에서는, 일방측의 반사 미러(12)에 반사되어 입사하는 광선과, 램프(11)로부터의 직사광 및 반대측의 반사 미러(12)에 반사되어 입사하는 광선 사이에서, 입사각의 차이가 커진다. 이 때문에, 유효 조사 영역의 중앙부에서는 문제가 되는 편광축의 불균일이 생기지 않더라도, 단부의 점(E)에서는, 문제가 되는 불균일이 발생하는 경우가 있다.As can be easily understood from FIG. 3, in the center portion of the effective irradiation area, there is no great difference in the incident angle of each light ray. However, as shown in FIG. 3, at the point E at the end of the effective irradiation region, the light reflected and incident on the reflection mirror 12 on one side, the direct light from the lamp 11 and the reflection mirror on the opposite side ( The difference in incidence angle between the light rays reflected and incident on 12) becomes large. For this reason, although the nonuniformity of the polarizing axis which becomes a problem does not arise in the center part of an effective irradiation area | region, the nonuniformity which becomes a problem may arise at the point E of an edge part.

여기서 중요한 것은, 점(E)에 입사하는 광 중, 외측으로부터 입사하는 광의 존재이다. 이 광은, 상술한 램프(11)가 유한한 발광부를 갖는 것에 기인하는 것으로, 이 예에서는, 램프(11)의 하부로부터 방사되어 단부의 점(E)의 측의 반사 미러(12)에 반사된 광이다. 이 외측으로부터 비스듬하게 입사하는 광(이하, 외측 경사 입사광이라 하고, 도 3 중에 Lo로 나타냄)은, 실제로는, 편광축이 불균일한 점에서는, 램프(11)로부터의 직사광이나 반대측의 반사 미러(12)에 반사해 입사하는 광(이하, 중앙측 광이라 함)의 영향을 약하게 하는 기능을 갖고 있다. 즉, 점(E)에서 측정되는 편광광의 편광축은, 입사하는 각 편광광의 편광축을 중첩시킨 것이며, 중첩의 원리가 성립한다. 외측 경사 입사광(Lo)은, 중앙측 광의 편광축을 약하게 하도록 작용해, 점(E)에서 총량으로서 관측되는 편광광의 편광축이 광조사 영역의 중앙부에 비해 크게 달라져 버리는(불균일해지는) 것을 억제하고 있다.What is important here is the presence of the light incident from the outside among the light incident on the point E. FIG. This light is caused by the above-described lamp 11 having a finite light emitting portion. In this example, the light is emitted from the lower part of the lamp 11 and reflected on the reflection mirror 12 on the side of the point E at the end. It is a light. The light incident obliquely from the outside (hereinafter, referred to as "outward inclined incident light", denoted by Lo in FIG. 3) is, in fact, in the point where the polarization axis is uneven, the direct light from the lamp 11 or the reflection mirror 12 on the opposite side. ), And has a function of weakening the influence of light incident on the light (hereinafter referred to as center light). That is, the polarization axis of the polarized light measured at the point E superimposed the polarization axis of each incident polarized light, and the principle of superposition is established. The outer oblique incident light Lo acts to weaken the polarization axis of the center side light, and suppresses that the polarization axis of the polarized light observed as the total amount at the point E is significantly different (uneven) from the center of the light irradiation area.

여기서, 어떠한 부재에 의해 외측 경사 입사광(Lo)이 차폐되어 버리면, 중앙측 광의 영향을 약하게 하는 작용이 없어져 버리므로, 편광축의 불균일이 나타나 버린다. 실시형태의 구조에서 말하면, 필터 프레임(92)이 이에 상당한다. 와이어 그리드 편광 소자(81)의 입사측에 필터(90)를 배치할 때, 도 3 중에 파선으로 나타낸 바와 같이, 와이어 그리드 편광 소자(81)와 동일한 정도의 폭의 필터(90)로 해버리면, 필터(90)는 필터 프레임(92)을 갖고 있다는 점에서, 이 필터 프레임(92)이 외측 경사 입사광(Lo)을 차폐하는 상태가 되어 버린다.Here, when the outside oblique incident light Lo is shielded by a certain member, the effect of weakening the influence of the center side light is lost, so that the polarization axis unevenness appears. In the structure of the embodiment, the filter frame 92 corresponds to this. When arranging the filter 90 on the incidence side of the wire grid polarizing element 81, as shown by the broken line in FIG. 3, if it is made into the filter 90 of the same width | variety as the wire grid polarizing element 81, Since the filter 90 has the filter frame 92, this filter frame 92 will be in the state which shields the outer oblique incident light Lo.

본원의 발명자는, 필터(90)를 당초에는 와이어 그리드 편광 소자(81)와 동일한 정도의 폭으로 했는데, 상기와 같은 편광축의 불균일이 나타난다는 것을 확인했다. 발명자는, 이 원인에 대해서 예의 검토하고, 상기와 같은 지견을 얻어, 필터(90)를 와이어 그리드 편광 소자(81)보다도 폭이 넓은 것으로 하는 해결책을 찾아낸 것이다.The inventor of this application made the filter 90 the width similar to the wire grid polarizing element 81 initially, but confirmed that the nonuniformity of the above-mentioned polarization axis appears. This inventor earnestly examines this cause, obtains the above knowledge, and finds the solution which makes the filter 90 wider than the wire grid polarizing element 81. FIG.

다음에, 필터(90)를 와이어 그리드 편광 소자(81)보다도 어느 정도 크게 해 두면 되는지에 대해서 설명한다. 도 4는, 와이어 그리드 편광 소자(81)에 대한 필터(90)의 상대적인 크기와 편광축의 불균일의 관계에 대해서 조사한 실험 결과를 나타내는 도면이다.Next, how much the filter 90 should be made larger than the wire grid polarizing element 81 is demonstrated. FIG. 4 is a diagram showing experimental results obtained by examining the relation between the relative size of the filter 90 and the nonuniformity of the polarization axis with respect to the wire grid polarizing element 81.

이 실험에서는, 폭이 다른 필터(90)를 준비하고, 각각에 대해서 편광축의 불균일이 어떻게 되는지를 조사했다. 도 5는, 도 4에 결과를 나타낸 실험에 있어서, 편광축의 방향을 유효 조사 영역의 어느 지점에서 측정했는지를 나타내는 평면 개략도이다.In this experiment, filters 90 with different widths were prepared, and how the nonuniformity of the polarization axis became about each was investigated. FIG. 5 is a schematic plan view showing at which point in the effective irradiation region the direction of the polarization axis is measured in the experiment shown in FIG. 4.

도 5에 나타낸 바와 같이, 먼저, 유효 조사 영역의 중심점(램프(11)의 중심의 바로 아래의 위치)(A)에서 편광축을 측정하고, 이것을 기준이 되는 편광축의 방향으로 했다. 다음에, 유효 조사 영역의 모서리의 한 점(B)에서 편광축의 방향을 측정하고, A점에 있어서의 편광축에 대해 이루는 각을 편광축의 불균일이라 했다. 또, 유효 조사 영역을 조금 벗어난 점이지만, 도 5에 나타낸 점(C)에 있어서의 편광축의 방향을 측정하고, 동일하게 점(A)에서의 편광축의 방향에 대해 이루는 각을 편광축의 불균일이라 했다.As shown in FIG. 5, first, the polarization axis was measured at the center point (position just under the center of the lamp 11) A of the effective irradiation area, and this was made into the direction of the polarization axis as a reference. Next, the direction of the polarization axis was measured at one point B of the corner of the effective irradiation area, and the angle formed with respect to the polarization axis at A point was called nonuniformity of the polarization axis. Moreover, although it is a point slightly out of an effective irradiation area, the direction of the polarization axis in the point (C) shown in FIG. 5 was measured, and the angle made with respect to the direction of the polarization axis in the point A was similarly called the nonuniformity of the polarization axis. .

치수에 대해서 예시하면, 램프(11)의 길이가 3000mm 정도라 하면, 유효 조사 영역은, 2500×80mm 정도이다. 점(C)은, 점(B)으로부터 예를 들면 150mm 정도 떨어진 장소가 된다. 이 예에서는, 와이어 그리드 편광 소자의 유효 영역의 폭은 90mm이다. 또한, 워크(W)의 폭의 전체 길이에 걸쳐 편광광을 조사할 필요가 있는 경우, 도 5 중에 파선으로 나타낸 바와 같이, 유효 조사 영역의 길이는 워크(W)의 폭보다 조금 크게 설정된다. 폭방향으로 여유분을 두고 워크(W)에 광 배향 처리하는 경우, 워크(W)의 폭보다 여유분만큼 좁은 영역이 유효 조사 영역으로서 설정된다.For example, if the length of the lamp 11 is about 3000 mm, the effective irradiation area is about 2500 x 80 mm. The point C becomes a place about 150 mm apart from the point B, for example. In this example, the width of the effective area of the wire grid polarizing element is 90 mm. In addition, when it is necessary to irradiate polarized light over the full length of the width | variety of the workpiece | work W, as shown by the broken line in FIG. 5, the length of the effective irradiation area | region is set a little larger than the width | variety of the workpiece | work W. As shown in FIG. When the photo-alignment processing is performed on the workpiece W with a margin in the width direction, a region narrower by the margin than the width of the workpiece W is set as the effective irradiation region.

도 4에 나타낸 바와 같이, 필터의 폭이 80mm인 경우(와이어 그리드 편광 소자보다도 10mm 좁은 경우), 점(B)에서는 0.24도 정도의 편광축의 어긋남이 관측되고, 점(C)에서는 1.0도 정도의 어긋남이 관측되었다. 또, 필터의 폭이 와이어 그리드 편광 소자와 동일한 90mm인 경우, B점에서는 0.15도 정도의 편광축의 어긋남이 관측되고, 점(C)은 0.6도 정도의 어긋남이 관측되었다. 필터의 폭이 와이어 그리드 편광 소자보다도 조금 크고, 95mm인 경우, B점에서는 0.11도 정도의 편광축의 어긋남이 관측되고, 점(C)에서는 0.49도 정도의 어긋남이 관측되었다. 또한, 필터의 폭을 크게 하여 100mm, 110mm로 했지만, 편광축의 어긋남은, 점(B)에서는 0.11도 정도, 점(C)에서는 0.48도 정도로 큰 변화는 없었다. 또, 필터를 배치하지 않는 상태에서의 측정도 동일하게 행하고 있으며, 그 결과가 도 3 중의 우단에 함께 나타나 있다. 점(B)에서 0.11도 정도의 어긋남, 점(C)에서는 0.48도 정도의 어긋남이며, 필터의 폭을 95mm 이상으로 한 경우와 동일한 정도였다.As shown in Fig. 4, when the width of the filter is 80 mm (10 mm narrower than the wire grid polarizing element), a deviation of the polarization axis of about 0.24 degrees is observed at the point B, and about 1.0 degrees at the point C. A discrepancy was observed. Moreover, when the width | variety of the filter is 90 mm same as a wire grid polarizing element, the shift | offset | difference of the polarization axis about 0.15 degree was observed in point B, and the shift | offset | difference of about 0.6 degree was observed for the point C. When the width of the filter is slightly larger than that of the wire grid polarizing element, and when it is 95 mm, a deviation of the polarization axis of about 0.11 degrees was observed at point B, and a deviation of about 0.49 degrees was observed at point C. In addition, although the width | variety of the filter was enlarged and it was set to 100 mm and 110 mm, the shift of the polarization axis did not have a big change about about 0.11 degree at the point B, and about 0.48 degree at the point C. Moreover, the measurement in the state which does not arrange | position a filter is performed similarly, and the result is shown together at the right end in FIG. It was a deviation of about 0.11 degrees at the point B, and a deviation of about 0.48 degrees at the point C, and was about the same as the case where the width of the filter was 95 mm or more.

이 도 4에 나타낸 결과를 보면, 필터의 폭을 95mm 이상으로 해두면, 문제가 되는 편광축의 불균일은 발생하지 않게 된다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 필터(90)는 와이어 그리드 편광 소자(81)와 동심 상에(중심이 동일 법선 상이 되도록) 평행하게 배치되고, 또한 서로의 폭방향이 동일 방향이 되도록 배치된다. 따라서, 전체가 5mm가 넘으므로, 각 측에서 2.5mm 이상 크게 되어 있으면 된다.As a result shown in FIG. 4, if the width of the filter is 95 mm or more, nonuniformity of the polarization axis in question does not occur. As shown in FIG. 1, the filter 90 is arrange | positioned in parallel with the wire grid polarizing element 81 concentrically (so that center may be on the same normal line), and arrange | positioned so that the width direction of each other may be the same direction. Therefore, since the whole exceeds 5 mm, what is necessary is just to enlarge 2.5 mm or more in each side.

이상은 실험 데이터에 의거하는 정량적인 설명이었는데, 외측 경사 입사광의 작용을 고려한 정성적인 설명도 가능하다. 이 설명에 대해서 도 6을 참조하여 행한다. 도 6은, 와이어 그리드 편광 소자에 대한 필터(90)의 상대적인 크기에 관한 정성적인 설명의 일례에 대해서 나타낸 개략도이다.The foregoing has been a quantitative explanation based on experimental data, but a qualitative explanation in consideration of the action of the outside inclined incident light is also possible. This description will be made with reference to FIG. 6 is a schematic diagram showing an example of a qualitative description regarding the relative size of the filter 90 with respect to the wire grid polarizing element.

상술한 바와 같이, 단부에 있어서의 편광축의 어긋남은, 외측 경사 입사광(Lo)이 차폐되는 것에 기인한다. 이것을 고려한 경우, 편광축의 불균일이 나타나지 않도록 하려면, 유효 조사 영역의 폭방향의 끝점(E)에서 가장 외측에서 비스듬하게 입사하는 광(가장 입사각이 큰 외측 경사 입사광, 이하, 최외 경사 입사광이라 하고, Lo＇로 나타냄)을 차단하지 않도록 하는 것이 임계적인 조건이 된다. 이 광을 차단하지 않으면, 보다 입사각이 작은 외측 경사 입사광도 차단되지 않고, 끝점(E)보다도 내측의 점에 있어서도 외측 경사 입사광이 차폐되지 않는다.As mentioned above, the shift | offset | difference of the polarization axis in an edge part is attributable to shielding external oblique incident light Lo. In consideration of this, in order to prevent the nonuniformity of the polarization axis from appearing, light incident obliquely at the outermost side at the end point E in the width direction of the effective irradiation area (outer inclined light having the largest incidence angle, hereinafter, outermost inclined light) It is a critical condition not to block). If this light is not blocked, the outside inclined incident light with a smaller incident angle is not blocked, and the outside inclined incident light is not shielded even at a point inside the end point E. FIG.

와이어 그리드 편광 소자의 유효 영역은, 끝점(E)에 입사하는 최외 경사 입사광(Lo＇)이 투과하는 크기가 된다. 통상은 여유를 두고 유효 영역은 조금 크게 되는데, 임계적인 조건을 생각하므로, 여기에서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 최외 경사 입사광(Lo＇)은 와이어 그리드 편광 소자(81)의 유효 영역의 끝점(P)을 통과하는 것으로 생각한다. 또한, 최외 경사 입사광(Lo＇)을 엄밀하게 표현하면, 발광부의 각 점 중, 유효 조사 영역의 끝점(E)으로부터 반사 미러(12)를 거쳐 발광부를 내다봤을 때 가장 와이어 그리드 편광 소자(81)측에 위치하는 점으로부터 나온 광이 된다.The effective area of the wire grid polarizing element is a size through which the outermost inclined incident light Lo 'incident on the end point E is transmitted. Usually, the effective area becomes a little larger with a margin, and the critical condition is considered. Here, as shown in FIG. 6, the outermost inclined incident light Lo 'is the end point of the effective area of the wire grid polarizing element 81. Think of passing through P). In addition, when the outermost inclined incident light Lo 'is expressed strictly, the wire grid polarizing element 81 is the most out of each point of the light emitting part when the light emitting part is viewed through the reflection mirror 12 from the end point E of the effective irradiation area. It becomes light from the point located in the side.

최외 경사 입사광(Lo＇)의 입사각을 θ라 한다. 필터(90), 와이어 그리드 편광 소자(81) 및 광조사면은 모두 평행하므로, 입사각(θ)은 각각의 면에서 동일하다. 또한, 도 6은, 필터 본체(91)나 와이어 그리드 편광 소자(81) 중에서의 굴절을 무시하고 그리고 있다. 또, 필터(90)와 와이어 그리드 편광 소자(81)의 이격 간격을 d라 한다. 이격 간격(d)은, 유효 영역을 규정하는 면 사이의 거리이며, 이 예에서는 각각의 출사면의 간격이다. 이 경우, 도 6에 나타낸 바와 같이, 필터(90)의 와이어 그리드 편광 소자(81)로부터의 돌출 길이(S)를, S≥d·cot(π/2-θ)=d·tanθ로 해두면, 최외 경사 입사광(Lo＇)을 차폐하지 않고 와이어 그리드 편광 소자(81)에 입사시킬 수 있게 된다. 필터(90) 전체적으로 보면, 2d·tanθ 이상 크게 해 두면 된다.The incident angle of the outermost inclined incident light Lo 'is referred to as θ. Since the filter 90, the wire grid polarizing element 81, and the light irradiation surface are all parallel, the incident angle [theta] is the same in each plane. 6 ignores the refraction in the filter main body 91 and the wire grid polarizing element 81. As shown in FIG. In addition, the clearance gap between the filter 90 and the wire grid polarizing element 81 is called d. The spacing d is a distance between the surfaces defining the effective area, and in this example, the spacing between the respective emission surfaces. In this case, as shown in FIG. 6, when the protrusion length S from the wire grid polarizing element 81 of the filter 90 is set to S ≧ d · cot (π / 2−θ) = d · tanθ Incidentally, the outermost inclined incident light Lo 'can be incident on the wire grid polarizing element 81 without being shielded. As a whole, the filter 90 may be made larger than 2d · tanθ.

이격 간격(d)은, 냉각을 행하는 경우, 냉각풍을 위한 필요한 컨덕턴스와의 관계로 규정된다. 실용적으로는 5mm 이상은 필요하고, 20~30mm 정도의 경우가 많다. 입사각(θ)은, 램프(11)의 발광부의 크기, 반사 미러(12)의 곡률, 설정되는 유효 조사 영역의 폭에 따라 결정된다. 예를 들면 θ가 5도이며, d가 25mm라고 하면, 2d·tanθ는 4.4mm정도가 되어, 상기 실험 결과의 5mm에 가까운 값이 된다. 이와 같이, 필터(90)를 와이어 그리드 편광 소자에 대해 5mm 이상 크게 하거나, 2d·tanθ 이상 크게 해두면, 문제가 되는 편광축의 불균일의 나타나는 것을 피할 수 있게 된다. The separation interval d is defined in relation to the necessary conductance for the cooling wind when cooling is performed. Practically, 5 mm or more is necessary and there are many cases of about 20-30 mm. Incident angle (theta) is determined according to the magnitude | size of the light emitting part of the lamp 11, the curvature of the reflection mirror 12, and the width of the effective irradiation area | region set. For example, if θ is 5 degrees and d is 25 mm, 2d · tanθ is about 4.4 mm, which is close to 5 mm of the above experimental results. In this manner, when the filter 90 is made larger by 5 mm or more or larger by 2 d · tanθ or more with respect to the wire grid polarizing element, the occurrence of unevenness in the polarization axis in question can be avoided.

상기와 같이, 돌출 길이(S)가 일정한 경우, 이격 거리(d)를 크게 해나가면, 편광축의 불균일은 커진다. 도 7은, 이 점을 확인한 실험의 결과를 나타낸 도면이다. 도 7에 결과를 나타낸 실험은, 도 4와 동일한 측정점에서 편광축의 불균일이 측정되었다. 이 때, 도 4의 조건으로부터, 필터를 와이어 그리드 편광 소자에 근접시키거나 떨어뜨리거나 하면서 측정을 행했다. 도 7 중, 「-10mm」라는 것은, 10mm 근접시킨 경우의 데이터, 「-20mm」라는 것은, 20mm 근접시킨 경우의 데이터, 「＋10mm」라는 것은, 10mm 떨어뜨린 경우의 데이터이다.As described above, when the protruding length S is constant, when the separation distance d is increased, the nonuniformity of the polarization axis becomes large. 7 is a diagram showing the results of an experiment confirming this point. In the experiment showing the result in FIG. 7, the nonuniformity of the polarization axis was measured at the same measurement point as in FIG. 4. At this time, from the conditions of FIG. 4, the measurement was performed, making the filter close to or drop the wire grid polarizing element. In FIG. 7, "-10 mm" is data when 10 mm is approached, "-20 mm" is data when 20 mm is near, and "+10 mm" is data when 10 mm is dropped.

도 7에 나타낸 바와 같이, 점(B)에서는 그만큼 큰 변화는 나와 있지 않지만, 점(C)에서는, 이격 거리(d)를 크게 함으로써, 편광축의 불균일의 커짐이 확인된다. 그리고 , 이격 거리(d)를 크게 함으로써, 편광축의 불균일이 나타나는 돌출 길이(S)의 값(임계점)의 상승이 확인된다.As shown in FIG. 7, the large change is not shown at the point B. However, at the point C, the nonuniformity of the polarization axis is increased by increasing the separation distance d. And the increase of the value (critical point) of the protrusion length S in which the nonuniformity of a polarization axis | shaft appears by increasing the separation distance d is confirmed.

이와 같이, 본 실시형태의 장치에 의하면, 편광광의 불균일이 나타나는 것이 억제되므로, 필터(90)를 사용하여 파장 선택을 하거나 와이어 그리드 편광 소자(81)를 보호하거나 하는 것을 가능하게 하면서, 편광축의 불균일이 적은 편광광 조사를 행할 수 있다. 이로써, 보다 균일성이 높은 광 배향 처리를 행하는 데에 공헌할 수 있다.As described above, according to the apparatus of the present embodiment, it is suppressed that the unevenness of the polarized light is suppressed, so that the wavelength 90 can be selected using the filter 90 or the wire grid polarizing element 81 can be protected. This little polarized light irradiation can be performed. Thereby, it can contribute to performing the photoalignment process with higher uniformity.

또, 필터(90)가, 복수의 필터 본체(91)를 나열하여 필터 프레임(92)으로 유지한 구조인 점은, 워크(W)의 대형화에 대응하여 보다 큰 영역에 편광광을 조사하는데 도움이 된다. 단, 필터 본체가 한 장뿐이며, 한 장만의 필터 본체를 필터 프레임으로 유지한 구조여도, 본원 발명은 실시 가능하다.In addition, the point that the filter 90 has the structure which arranged the some filter main body 91 and held by the filter frame 92 helps to irradiate a polarized light to a larger area | region in correspondence with the enlargement of the workpiece | work W. Becomes However, this invention can be implemented even if there is only one filter main body and the structure which hold | maintained only one filter main body by the filter frame.

또한, 필터도 목적인 기능에 대해서는, 상술했으나 어떠한 것이어도 되고, 상술한 이외의 것이어도 됨은 물론이다.In addition, although the filter also functions as an objective, what was mentioned above may be sufficient and of course may be other than the above-mentioned.

또, 필터 프레임(92)이 와이어 그리드 편광 소자(81)의 프레임(82)에 연결되어 있고, 필터(90)가 와이어 그리드 편광 소자(81)와 함께 이동 가능한 점은, 메인터넌스 등의 작업을 용이하게 하는 효과가 있다. 메인터넌스에 있어서, 예를 들면 램프(11)의 점검을 위해서 램프 하우스(60) 내를 개방할 필요가 생긴다. 이 경우 와이어 그리드 편광 소자(81)나 필터(90)를 램프 하우스(60)로부터 떼어낼 필요가 있지만, 본 실시형태에서는, 레일(83)을 따라서 인출함으로써 함께 취출할 수 있고, 또 레일(83)을 따라서 이동시킴으로써 재장착을 할 수 있다. 이로써, 작업이 용이하다.Moreover, the filter frame 92 is connected to the frame 82 of the wire grid polarizing element 81, and the filter 90 is movable with the wire grid polarizing element 81, and it is easy to carry out maintenance work. It's effective. In maintenance, for example, it is necessary to open the inside of the lamp house 60 for the inspection of the lamp 11. In this case, although it is necessary to remove the wire grid polarizing element 81 and the filter 90 from the lamp house 60, in this embodiment, it can take out together by pulling out along the rail 83, and also the rail 83 You can remount it by moving it along This facilitates work.

11:램프
12:반사 미러
20:라디에이터
30:블로어
60:램프 하우스
70:광 조사구
81:와이어 그리드 편광 소자
82:프레임
83:레일
90:필터
91:필터 본체
92:필터 프레임
93:연결구11: Lamp
12: reflection mirror
20: radiator
30: blower
60: lamp house
70: light irradiation zone
81: wire grid polarizing element
82: frame
83: Rail
90: filter
91: the filter body
92: filter frame
93: connector

Claims

선형의 광원과, 광원으로부터의 광을 편광시켜 조사하는 와이어 그리드 편광 소자와, 와이어 그리드 편광 소자가 설치된 측과는 반대측에서 광원을 덮은 홈통형상의 반사 미러를 구비한 편광광 조사 장치에 있어서,
광원과 와이어 그리드 편광 소자 사이의 광로 상에는 필터가 설치되어 있으며,
광원의 길이 방향에 대해 수직이고 광조사면에 대해 평행한 방향인 폭방향에서 봤을 때, 필터는 와이어 그리드 편광 소자보다도 큰 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.In the polarizing light irradiation apparatus provided with the linear light source, the wire grid polarizing element which polarizes and irradiates the light from a light source, and the groove-shaped reflection mirror which covered the light source on the opposite side to the side in which the wire grid polarizing element was provided,
A filter is provided on the optical path between the light source and the wire grid polarizer,
The filter is larger than a wire grid polarizing element when it sees from the width direction which is perpendicular to the longitudinal direction of a light source, and is parallel to a light irradiation surface, The polarizing light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned.

청구항 1에 있어서,
상기 반사 미러는, 상기 광원의 길이 방향에 수직인 단면에서의 반사면의 형상이 포물선을 이루고 있고, 상기 필터는 상기 와이어 그리드 편광 소자에 대해 평행하게 설치되어 있으며,
상기 필터의 폭방향의 단부가 상기 와이어 그리드 편광 소자로부터 돌출되어 있는 길이는 2.5mm 이상인 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.The method according to claim 1,
The reflection mirror has a parabolic shape of a reflection surface in a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the light source, and the filter is provided in parallel with the wire grid polarizing element.
The length which the edge part of the width direction of the said filter protrudes from the said wire grid polarizing element is 2.5 mm or more, The polarizing light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned.

청구항 1에 있어서,
상기 반사 미러는, 상기 광원의 길이 방향에 수직인 단면에서의 반사면의 형상이 포물선을 이루고 있고, 상기 필터는 상기 와이어 그리드 편광 소자에 대해 평행하게 설치되어 있으며,
상기 필터의 단부가 상기 와이어 그리드 편광 소자로부터 돌출되어 있는 길이를 S, 상기 와이어 그리드 편광 소자의 유효 영역의 끝점에 대해 가장 외측에서 입사하는 광의 입사각을 θ, 상기 필터와 상기 와이어 그리드 편광 소자의 이격 간격을 d로 했을 때, S≥d·tanθ의 관계가 성립하고 있는 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.The method according to claim 1,
The reflection mirror has a parabolic shape of a reflection surface in a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the light source, and the filter is provided in parallel with the wire grid polarizing element.
The length at which the end of the filter protrudes from the wire grid polarizer is S, and the angle of incidence of the light incident from the outermost with respect to the end point of the effective area of the wire grid polarizer is θ, and the separation between the filter and the wire grid polarizer. The relationship of S≥d * tan (theta) is established when the space | interval is set to d, The polarized light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned.

청구항 1에 있어서,
상기 광원, 상기 와이어 그리드 편광 소자 및 상기 반사 미러는, 램프 하우스에 수용되어 있고,
램프 하우스에는, 램프 하우스 내를 통풍에 의해 냉각하는 통풍로가 형성되어 있으며,
상기 필터는 상기 와이어 그리드 편광 소자에 대해 평행하게 설치되어 있고,
상기 필터와 상기 와이어 그리드 편광 소자 사이의 공간도 통풍로로 되어 있음과 더불어, 상기 필터의 출사면과 상기 와이어 그리드 편광 소자의 입사면의 이격 간격은 5mm 이상인 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.The method according to claim 1,
The light source, the wire grid polarizer and the reflection mirror are housed in a lamp house,
The lamp house is provided with a ventilation path for cooling the inside of the lamp house by ventilation.
The filter is installed parallel to the wire grid polarizer,
The space between the filter and the wire grid polarizer is also a ventilation path, and the separation distance between the emission surface of the filter and the incident surface of the wire grid polarizer is 5 mm or more.

청구항 1에 있어서,
상기 필터는, 필터 본체와, 필터 본체를 유지한 필터 프레임에 의해 구성되어 있고, 필터 본체는 복수 설치되어 있으며, 필터 프레임은, 동일 평면 상에 나열된 복수의 필터 본체를 유지한 것임을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.The method according to claim 1,
The said filter is comprised by the filter main body and the filter frame which hold | maintained the filter main body, The filter main body is provided in multiple numbers, The filter frame is the polarization characterized by holding the several filter main body arranged on the same plane. Light irradiation device.

청구항 1에 있어서,
상기 와이어 그리드 편광 소자는, 프레임에 의해 유지되어 있고, 상기 필터는 이 프레임에 연결되어 있어 상기 와이어 그리드 편광 소자와 함께 이동 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.The method according to claim 1,
The said wire grid polarizing element is hold | maintained by the frame, The said filter is connected to this frame, and it is movable with the said wire grid polarizing element, The polarized light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned.