KR101275631B1 - Vo2 laminate with graphene for smart window and method the same - Google Patents

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Abstract

스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체 및 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체는 적어도 1층 이상을 구비하는 그래핀(Graphene)층; 및 상기 그래핀층 일면에 형성되는 바나듐 디옥사이드층(VO2, Vanadium Dioxide)을 포함한다.Graphene-based VO 2 laminates for smart windows and methods of manufacture are disclosed. Graphene-based VO 2 laminate for smart window according to an embodiment of the present invention is a graphene (Graphene) layer having at least one layer; And a vanadium dioxide layer (VO 2 , Vanadium Dioxide) formed on one surface of the graphene layer.

Description

스마트 윈도우용 그래핀 기반 ＶＯ２ 적층체 및 제조방법{VO2 LAMINATE WITH GRAPHENE FOR SMART WINDOW AND METHOD THE SAME}Graphene-based BA2 laminate for smart window and manufacturing method {VO2 LAMINATE WITH GRAPHENE FOR SMART WINDOW AND METHOD THE SAME}

본 발명은 VO2 적층체 및 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스마트 윈도우에 전사 또는 부착하여 활용가능한 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체 및 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a VO 2 laminate and a manufacturing method, and more particularly, to a graphene-based VO 2 laminate and a manufacturing method for smart windows that can be utilized by transferring or attaching to a smart window.

건축물에 있어서 에너지 손실이 창호를 통해 제일 많이 일어난다는 사실은 널리 알려져 왔으며, 이러한 에너지 손실을 막기 위하여 다양한 방법들이 시도되어 왔다. It is widely known that energy loss occurs most frequently through windows in buildings, and various methods have been tried to prevent such energy loss.

특히, 최근에는 열에 의해 물질의 색이 변화하는 특성인 써모크로믹(thermochromic) 재료를 유리에 코팅하여 적외선 투과율을 통한 에너지 유입을 조절하는 써모크로믹 유리가 연구되고 있다. 이와 같은 써모크로믹 유리는 빛의 투과도나 반사율을 마음대로 조절할 수 있는 소위 '스마트 윈도우' 개발과 관련되어 관심이 집중되고 있는 실정이다. In particular, thermochromic glass has been studied in which a thermochromic material, which is a property of changing the color of a material due to heat, is coated on glass to control energy inflow through infrared transmission. Such thermochromic glass is focused on the development of a so-called 'smart window' that can control light transmittance or reflectance at will.

상기 써모크로믹 재료는 상변이 온도를 기준으로 하여 적외선 영역의 광투과도 및 반사도가 크게 변화하는 특성이 있으며, 써모크로믹 재료의 대표적인 예로는 바나듐 디옥사이드(VO2, Vanadium Dioxide)가 있다.The thermochromic material has a characteristic in which the light transmittance and reflectivity of the infrared region are largely changed based on a phase change temperature, and a representative example of the thermochromic material is vanadium dioxide (VO 2 ).

그러나, 종래와 같이 바나듐 디옥사이드만을 유리에 코팅시키는 경우에는 첫째, 광투과도의 절대치가 다소 낮다는 점, 둘째, 바나듐 디옥사이드를 유리에 코팅하는 공정에 있어서 400℃ 이상의 공정온도가 요구되므로 상기 바나듐 디옥사이드의 손상의 우려가 존재하고, 유리로부터 불순물이 혼입될 수 있다는 점, 셋째, 상술한 두번째 문제점의 해결을 위해 바나듐 디옥사이드를 포함한 필름형태로 제조하는 경우에는, 필름기재에 바나듐 디옥사이드를 전사 또는 부착시키기 어렵다는 문제점이 있었다.However, in the case of coating only vanadium dioxide on glass as in the prior art, first, the absolute value of light transmittance is somewhat low, and second, in the process of coating the vanadium dioxide on the glass requires a process temperature of 400 ℃ or more of the vanadium dioxide There is a risk of damage and impurities may be incorporated from the glass. Third, in the case of manufacturing in the form of a film containing vanadium dioxide to solve the above-mentioned second problem, it is difficult to transfer or attach vanadium dioxide to the film substrate. There was a problem.

본 발명의 실시예들은 그래핀층을 포함하는 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체 및 제조방법을 제공함으로써 써모크로믹 유리(스마트 윈도우)의 특성 및 효율을 향상시키고, 필름 형태로 제조함으로써 종래 바나듐 디옥사이드를 유리 등의 기판에 직접 코팅시 발생하는 문제점을 해결하는 것을 목적으로 한다.Embodiments of the present invention improve the properties and efficiency of the thermochromic glass (smart window) by providing a graphene-based VO 2 laminate for the smart window including a graphene layer and a manufacturing method, by manufacturing in the form of a film conventional vanadium An object of the present invention is to solve a problem that occurs when the dioxide is directly coated on a substrate such as glass.

본 발명의 일 측면에 따르면, 적어도 1층 이상을 구비하는 그래핀(Graphene)층; 및 상기 그래핀층 일면에 형성되는 바나듐 디옥사이드층(VO2, Vanadium Dioxide)을 포함하는 스마트 윈도우용 VO2 적층체가 제공될 수 있다. According to an aspect of the invention, the graphene (Graphene) layer having at least one layer; Yes and the body may be provided with a smart window VO 2 laminate comprising a layer of vanadium dioxide (VO 2, Vanadium Dioxide) formed on the pinned side.

또한, 본 발명의 일 측면에 따른 스마트 윈도우용 VO2 적층체는 상기 그래핀층 하부에 형성되는 육방정계 질화붕소층(H-BN, Hexagonal Boron Nitride)을 더 포함할 수 있으며, 또는 상기 그래핀층 및 상기 바나듐 디옥사이드층 사이에 형성되는 육방정계 질화붕소층을 더 포함할 수 있다. In addition, the smart window VO 2 laminate according to an aspect of the present invention may further include a hexagonal boron nitride layer (H-BN, Hexagonal Boron Nitride) formed on the graphene layer, or the graphene layer and It may further comprise a hexagonal boron nitride layer formed between the vanadium dioxide layer.

한편, 본 발명의 일 측면에 따른 스마트 윈도우용 VO2 적층체는 상기 바나듐 디옥사이드층 상부에 형성되는 보호층을 더 포함하고, 상기 보호층은 PMMA(Poly methyl methacrylate), PVDF(Polyvinylidene fluoride)코폴리머, PS(Polystyrene)-co-PMMA-co-PS, PR(Photoresist), ER(Electronresist), SiOx 또는 AlOx 중에서 선택되는 1종 이상일 수 있다. On the other hand, the smart window VO 2 laminate according to an aspect of the present invention further comprises a protective layer formed on the vanadium dioxide layer, the protective layer is PMMA (Poly methyl methacrylate), PVDF (Polyvinylidene fluoride) copolymer It may be at least one selected from polystyrene (PS) -co-PMMA-co-PS, photoresist (PR), electroresist (ER), SiO x or AlO x .

또한, 본 발명의 일 측면에 따른 스마트 윈도우용 VO2 적층체는 상기 그래핀층이 전사(transfer) 또는 부착되는 유연성 기재를 더 포함할 수 있고, 여기에서 상기 유연성 기재는 접착 테이프(adhesive tape), 풀(glue), 에폭시수지(epoxy resin), 광연화용 테이프, 열 박리성 테이프 또는 수용성 테이프일 수 있다. In addition, the VO 2 laminate for smart windows according to an aspect of the present invention may further include a flexible substrate to which the graphene layer is transferred or attached, wherein the flexible substrate is an adhesive tape, It may be glue, epoxy resin, photosoftening tape, heat peelable tape or water soluble tape.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 제1 기재 상에 그래핀을 성장시켜 그래핀층을 형성하는 제1 단계; 상기 그래핀층 상부에 바나듐 디옥사이드(VO2)를 증착하여 바나듐 디옥사이드층을 형성하는 제2 단계; 제2 기재를 라미네이팅하여 제1 기재-그래핀층-바나듐디옥사이드층-제2기재를 포함하는 적층체를 형성하는 제3 단계; 및 상기 적층체로부터 상기 제1 기재를 에칭법을 이용하여 제거함과 동시에, 상기 그래핀층을 상기 제2 기재 상에 전사하는 제4 단계를 포함하는 스마트 윈도우용 VO2 적층체 제조방법이 제공될 수 있다. According to another aspect of the invention, the first step of forming a graphene layer by growing graphene on the first substrate; A second step of forming a vanadium dioxide layer by depositing vanadium dioxide (VO 2 ) on the graphene layer; Laminating a second substrate to form a laminate including a first substrate-graphene layer-vanadium dioxide layer-second substrate; And removing the first substrate from the laminate by an etching method, and simultaneously transferring the graphene layer onto the second substrate, thereby providing a method for manufacturing a VO 2 laminate for a smart window. have.

이 때, 상기 제 1단계는, 제1 기재 상에 육방정계 질화붕소를 포함하는 h-BN 박막을 형성하는 단계; 및 상기 h-BN박막 상에서 그래핀을 성장시켜 그래핀층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.In this case, the first step may include forming an h-BN thin film including hexagonal boron nitride on the first substrate; And forming a graphene layer by growing graphene on the h-BN thin film.

본 발명의 실시예들은 바나듐 디옥사이드층을 그래핀층 상에서 형성함으로써, 스마트 윈도우에 사용될 시 광투과도를 향상시킬 수 있다. Embodiments of the present invention can improve the light transmittance when used in the smart window by forming a vanadium dioxide layer on the graphene layer.

또한, 그래핀층이 바나듐 디옥사이드층의 보호막 역할을 수행하므로 공정 도중 바나듐 디옥사이드의 손상을 방지할 수 있고, 유리 등의 기판위에 직접 바나듐 디옥사이드를 고온 공정을 통해 형성하지 않아도 됨으로써 유리에서 바나듐 디옥사이드층으로의 유해물질 유입을 막을 수 있다. In addition, since the graphene layer acts as a protective film of the vanadium dioxide layer, it is possible to prevent damage of vanadium dioxide during the process, and it is not necessary to form vanadium dioxide directly on a substrate such as glass through a high temperature process, so that the glass to vanadium dioxide layer is It can prevent the introduction of harmful substances.

또한, 그래핀층은 다양한 기재에 전사가 가능하므로 스마트 윈도우용 VO2 필름 제조시에 관련 공정을 보다 간단화시킬 수 있을 뿐만 아니라, 대면적화가 가능하므로 스마트 윈도우용 VO2 필름의 대량 생산이 가능하다.In addition, since the graphene layer can be transferred to various substrates, not only can the related process be simplified in manufacturing VO 2 film for smart window, but also the large area can be mass-produced VO 2 film for smart window. .

또한, 그래핀층 상부 또는 하부에 육방정계 질화붕소층을 형성하여 그래핀층을 절연시켜 그래핀층을 안정화시킬 수 있다.In addition, by forming a hexagonal boron nitride layer on or above the graphene layer to insulate the graphene layer can be stabilized the graphene layer.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 그래핀 유무에 따른 VO2막의 결정성을 나타내는 라만(Raman)분석 그래프이다.
도 3a 및 도3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체 제조방법의 순서도이다.
도 5는 도 4의 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체 제조방법에서 제1 단계를 구체예를 도시한 순서도이다.
도 6는 실시예 1,2 및 비교예 1,2의 파장에 따른 투과도를 도시한 그래프이다.
도 7은 실시예 1 내지 4의 파장에 따른 투과도를 도시한 그래프이다.1 is a perspective view schematically showing a graphene-based VO 2 stack for a smart window according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a Raman analysis graph showing the crystallinity of the VO2 film with or without graphene.
3A and 3B are perspective views schematically illustrating a graphene-based VO 2 stack for a smart window according to another embodiment of the present invention.
Figure 4 is a flow chart of a graphene-based VO 2 laminate manufacturing method for a smart window according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a flowchart illustrating an example of a first step in the method for manufacturing a graphene-based VO 2 laminate for smart windows of FIG. 4.
6 is a graph showing transmittance according to the wavelengths of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2;
7 is a graph showing the transmittance according to the wavelength of Examples 1 to 4.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체(100)의 구성에 대하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, the configuration of the graphene-based VO 2 laminate 100 for smart windows according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체(100, 이하 VO2 적층체)를 개략적으로 도시한 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a graphene-based VO 2 laminate (100, VO 2 laminate) for a smart window according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, VO2 적층체(100)는 그래핀(Graphene)층(110)과 그래핀층(110) 일면에 형성되는 바나듐 디옥사이드층(130, Vanadium Dioxide)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the VO 2 laminate 100 may include a graphene layer 110 and a vanadium dioxide layer 130 formed on one surface of the graphene layer 110.

그래핀층(110)은 바나듐 디옥사이드층(130)과 함께 VO2 적층체(100)를 이룸으로써, VO2 적층체(100)의 광투과도를 향상시키는 역할을 수행할 수 있다. 또한, 그래핀층(110)은 공정 도중 바나듐 디옥사이드층(130)을 보호하는 역할을 수행할 수도 있다. Yes pinned layer 110 may serve to as the VO 2 yirum stack 100 with a vanadium dioxide layer 130, improving the light transmittance of the VO 2 stack 100. In addition, the graphene layer 110 may serve to protect the vanadium dioxide layer 130 during the process.

한편, 그래핀층(110)은 바나듐 디옥사이드층(130)의 형상시 씨드(Seed) 베이스로서의 역할을 수행한다. 이와 관련하여 도 2는 그래핀 유무에 따른 VO2막의 결정성을 나타내는 라만(Raman)분석 그래프이다.Meanwhile, the graphene layer 110 serves as a seed base in the shape of the vanadium dioxide layer 130. In this regard, Figure 2 is a Raman analysis graph showing the crystallinity of the VO 2 film with or without graphene.

상기 그래프는 그래핀 표면 위에서 VO2막을 성장시킨 경우와 그래핀 없이 금속기재 위에서 VO2막을 성장시킨 경우를 나타낸다. 한편, '*' 표시가 되어 있는 부분이 VO2에서 나타나는 주요 피크에 해당한다.The graph shows a case where Yes is grown VO 2 film on the metal yes no pin base when grown VO 2 film on the pin surface. Meanwhile, the part marked with '*' corresponds to the main peak appearing in VO 2 .

도 2를 참조하면, 그래핀 표면 위에서 VO2막을 성장시킨 경우에는 VO2에서 나타나는 주요 피크가 나타나는 반면, 그래핀 없이 금속기재 위에서 VO2막을 성장시킨 경우에는 경우에는 VO2에서 나타나는 주요 피크가 나타나지 않음을 확인할 수 있다. 이는 그래핀층(110)이 바나듐 디옥사이드층(130)의 형성시 씨드 베이스로 기능하여 바나듐 디옥사이드층(130)의 형성을 보다 효과적으로 수행할 수 있음을 보여준다.Referring to FIG. 2, when the VO 2 film is grown on the graphene surface, the main peak appears in VO 2 , whereas when the VO 2 film is grown on a metal substrate without graphene, the main peak appears in VO 2 . Can be confirmed. This shows that the graphene layer 110 functions as a seed base when the vanadium dioxide layer 130 is formed, so that the formation of the vanadium dioxide layer 130 can be more effectively performed.

다시 도 1을 참조하면, 그래핀층(110)은 복수개의 탄소원자들이 서로 공유결합으로 연결되어 폴리시클릭 방향족 분자를 형성하는 그래핀이 층 또는 시트 형태를 형성한 것이다. 상기 공유결합으로 연결된 탄소원자들은 기본 반복단위로서 도 1에 도시된 바와 같이 6원환을 형성하나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 상기 탄소원자들은 5원환, 7원환등으로 형성되는 것도 가능하다. Referring back to FIG. 1, in the graphene layer 110, graphene, in which a plurality of carbon atoms are covalently linked to each other to form a polycyclic aromatic molecule, forms a layer or sheet form. The covalently linked carbon atoms form a 6-membered ring as shown in FIG. 1 as a basic repeating unit, but is not limited thereto. That is, the carbon atoms may be formed of five-membered rings, seven-membered rings, and the like.

그래핀층(110)은 단일층으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않고 복수층으로 형성되는 것도 가능하다. 예를 들면, 그래핀층(110)은 50층으로 형성되는 것도 가능하다. The graphene layer 110 may be formed of a single layer, but is not limited thereto and may be formed of a plurality of layers. For example, the graphene layer 110 may be formed of 50 layers.

또한, 그래핀층(110)은 대면적으로 형성될 수 있으며, 예를 들면 횡방향 또는 종방향의 길이가 약 1mm 이상 내지 1000m에 이르도록 형성되는 것이 가능하다. 한편, 그래핀층(110)을 형성시키는 방법에 대해서는 본 명세서의 제조방법과 관련된 부분에서 설명하기로 한다.In addition, the graphene layer 110 may be formed in a large area, and for example, the graphene layer 110 may be formed to have a length in a transverse direction or a longitudinal direction of about 1 mm or more and 1000 m. On the other hand, the method for forming the graphene layer 110 will be described in the part related to the manufacturing method of the present specification.

바나듐 디옥사이드층(130)은 그래핀층(110) 일면에 형성될 수 있으며, 바나듐 디옥사이드(VO2, Vanadium Dioxide)를 포함한다. 상기 바나듐 디옥사이드는 340K(68℃) 부근에서 절연체로부터 금속으로의 상전이(Metal-Insulator Transition: MIT) 특성을 가진다. 따라서, 상기 바나듐 디옥사이드는 상전이온도인 68℃ 이상에서는 금속 형태로 존재하여 적외선을 차폐하고, 68℃ 미만에서는 절연체 형태로 존재함으로써 적외선을 투과시키는 물질에 해당한다. The vanadium dioxide layer 130 may be formed on one surface of the graphene layer 110 and includes vanadium dioxide (VO 2 , Vanadium Dioxide). The vanadium dioxide has a metal-insulator transition (MIT) characteristic from an insulator to a metal at about 340 K (68 ° C.). Accordingly, the vanadium dioxide is present in the form of a metal at a phase transition temperature of 68 ℃ or more to shield the infrared rays, and below 68 ℃ corresponds to a material that transmits infrared rays by being in the form of an insulator.

또한, 상기 바나듐 디옥사이드는 써모크로믹 특성을 지닌 물질에 해당하므로, 상기 바나듐 디옥사이드의 상술한 MIT 특성 및 써모크로믹 특성을 이용하여 스마트 윈도우의 차폐기능 등을 조절할 수 있다.In addition, since the vanadium dioxide corresponds to a material having a thermochromic property, the shielding function of the smart window may be controlled by using the above-described MIT and thermochromic properties of the vanadium dioxide.

바나듐 디옥사이드층(130)은 그래핀층(110) 일면에 증착되어 형성될 수 있으며, 상기 증착을 위한 방법으로는 CVD(Chemical Vapor Deposition), 스퍼터링, 코팅 등이 있을 수 있다.The vanadium dioxide layer 130 may be formed by depositing on one surface of the graphene layer 110, and the deposition method may include chemical vapor deposition (CVD), sputtering, and coating.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 VO2 적층체(100)는 그래핀층(110)이 전사(transfer) 또는 부착되는 유연성 기재(P)를 더 포함할 수 있다. Meanwhile, the VO 2 laminate 100 according to an embodiment of the present invention may further include a flexible substrate P on which the graphene layer 110 is transferred or attached.

상기 그래핀은 다양한 기재에 전사가 용이하게 이루어 진다는 특징이 있다. 따라서, 그래핀 기반의 VO2 적층체(100)를 필름 형태로 제조하는 경우 다양한 유연성 기재(P)에 쉽게 전사시켜 제조하는 것이 가능하므로, 관련 공정을 보다 간단화시킬 수 있을 뿐만 아니라 대면적화하여 VO2 적층 필름의 대량 생산이 가능하다.The graphene is characterized in that the transfer is easily made to a variety of substrates. Therefore, in the case of manufacturing the graphene-based VO 2 laminate 100 in the form of a film, it is possible to easily transfer to a variety of flexible substrate (P) to be manufactured, thereby simplifying the relevant process as well as large area Mass production of VO 2 laminated film is possible.

유연성 기재(P)는 유연성을 가지며, 추가적으로 투명성을 가질 수도 있다. 유연성 기재(P)는 열 박리성 고분자를 포함하는 테이프 또는 박막일 수 있으나, 이에 제한되지는 않는다. The flexible substrate P has flexibility and may additionally have transparency. The flexible substrate P may be a tape or a thin film including a heat peelable polymer, but is not limited thereto.

예를 들어, 유연성 기재(P)는 PDMS(polydimethylsiloxane), 폴리 우레탄계 필름, 수계 점착제, 수용성 점착제, 초산 비닐 에멀젼 접착제, 핫멜트 접착제, 광경화용(UV, 가시광, 전자선, UV/EB 경화용) 접착제, 광연화용 테이프, PBI(Polybenizimidazole), PI(Polyimide), Silicone/imide, BMI(Bismaleimide), 변성 에폭시 수지, PVB(Polyvinylalcohol)테이프/박막, 일반 접착 테이프 등 일 수 있다. For example, the flexible substrate (P) may be a polydimethylsiloxane (PDMS), a polyurethane-based film, an aqueous adhesive, a water-soluble adhesive, a vinyl acetate emulsion adhesive, a hot melt adhesive, a photocuring (UV, visible light, electron beam, UV / EB curing) adhesive, Photo softening tape, polybenizimidazole (PBI), polyimide (PI), silicone / imide, bisaleimide (BMI), modified epoxy resin, polyvinylalcohol (PVB) tape / thin film, general adhesive tape, and the like.

또한, 유연성 기재(P)의 상부에는 그래핀층(110)의 접착 또는 분리를 용이하게 하기 위하여 점착층(미도시)이 추가적으로 형성될 수 있다. 상기 점착층은 접착 테이프, 풀, 에폭시 수지, 광연화용 테이프, 열박리성 테이프 또는 수용성 테이프를 포함할 수 있다. 한편, 유연성 기재(P)에 그래핀층(110)을 전사 또는 부착시키는 방법에 대해서는 본 명세서의 제조방법과 관련된 부분에서 설명하기로 한다. In addition, an adhesive layer (not shown) may be additionally formed on the flexible substrate P to facilitate adhesion or separation of the graphene layer 110. The adhesive layer may include an adhesive tape, a paste, an epoxy resin, a photosoftening tape, a heat peelable tape, or a water soluble tape. Meanwhile, a method of transferring or attaching the graphene layer 110 to the flexible substrate P will be described in a part related to the manufacturing method of the present specification.

본 발명의 일 실시예에 따른 VO2 적층체(100)는 바나듐 디옥사이드층(130) 상부에 형성되는 보호층(미도시)을 더 포함할 수 있다. 상기 보호층은 바나듐 디옥사이드층(130)을 보호하는 역할을 수행하며, 예를 들어, PMMA(Poly methyl methacrylate), PVDF(Polyvinylidene fluoride)코폴리머, PS(Polystyrene)-co-PMMA-co-PS, PR(Photoresist), ER(Electronresist), SiOx 또는 AlOx 중에서 선택되는 1종 이상으로 형성되는 것이 가능하다. The VO 2 laminate 100 according to an embodiment of the present invention may further include a protective layer (not shown) formed on the vanadium dioxide layer 130. The protective layer serves to protect the vanadium dioxide layer 130, and, for example, polymethyl methacrylate (PMMA), polyvinylidene fluoride (PVDF) copolymer, polystyrene (co-PMMA-co-PS), It is possible to be formed of at least one selected from PR (Photoresist), ER (Electronresist), SiO x or AlO x .

이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체(100, 이하 VO2 적층체)에 대하여 설명하도록 한다. Hereinafter, a graphene-based VO 2 laminate (100, VO 2 laminate) for smart windows according to another embodiment of the present invention will be described.

도 3a 및 도 3b 는 본 발명의 다른 실시예에 따른 VO2 적층체(100)를 개략적으로 도시한 사시도이다. 한편, 전술한 구성과 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호로 표기하였음을 밝혀둔다. 3A and 3B are perspective views schematically illustrating a VO 2 laminate 100 according to another embodiment of the present invention. It is noted that the same components as those described above are denoted by the same reference numerals.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 VO2 적층체(100)는 그래핀층(110), 그래핀층(110) 상부에 형성되는 바나듐 디옥사이드층(130) 및 그래핀층(110) 하부에 형성되는 육방정계 질화붕소층(150, H-BN, Hexagonal Boron Nitride)을 포함한다. 3A and 3B, the VO 2 laminate 100 according to another embodiment of the present invention includes a graphene layer 110, a vanadium dioxide layer 130, and a graphene layer formed on the graphene layer 110. 110) a hexagonal boron nitride layer (150, H-BN, Hexagonal Boron Nitride) formed on the bottom.

그래핀층(110) 및 바나듐 디옥사이드층(130)은 전술한 실시예와 동일한 구성인 바, 중복 설명은 생략하도록 한다. The graphene layer 110 and the vanadium dioxide layer 130 have the same configuration as the above-described embodiment, and thus redundant description thereof will be omitted.

육방정계 질화붕소층(150)은 그래핀층(110)을 절연시켜 안정화시키는 역할을 수행할 수 있다. 이는 육방정계 질화붕소(H-BN)가 그래핀과 격자 구조(lattice structure)가 거의 일치하면서도 고온 안정성 및 절연 특성을 갖기 때문이다. The hexagonal boron nitride layer 150 may serve to insulate and stabilize the graphene layer 110. This is because hexagonal boron nitride (H-BN) has a high temperature stability and insulation characteristics while almost matching graphene and lattice structure.

따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 VO2 적층체(100)는 육방정계 질화붕소층(150)을 추가로 형성함으로써, VO2 적층체(100)의 제조공정 또는 작동상태에 대해서 그래핀층(110)을 절연시켜 안정화 시키는 것이 가능하다. Therefore, the VO 2 laminate 100 according to another embodiment of the present invention further forms a hexagonal boron nitride layer 150, thereby forming a graphene layer (for the manufacturing process or operating state of the VO 2 laminate 100). It is possible to insulate and stabilize 110).

또한, 그래핀층(110) 상부에 바나듐 디옥사이드층(130)을 형성할 때에, 400℃ 이상의 산소분위기에 노출되므로 그래핀층(110)의 표면 산화 문제가 발생할 수 있다. 그러나, 고온에서 안정적인 육방정계 질화붕소층(150)을 추가적으로 형성시키는 경우에는 상기와 같은 문제점이 발생하지 않으므로 양질의 바나듐 디옥사이드층(130)을 형성 가능하다. In addition, when the vanadium dioxide layer 130 is formed on the graphene layer 110, it may be exposed to an oxygen atmosphere of 400 ° C. or higher, which may cause a problem of surface oxidation of the graphene layer 110. However, when the hexagonal boron nitride layer 150 is further formed at a high temperature, the above-described problems do not occur, and thus a high quality vanadium dioxide layer 130 may be formed.

한편, 육방정계 질화붕소층(150)은 그래핀층(110) 하부에 형성될 수 있고, 그래핀층(110) 및 바나듐 디옥사이드층(130) 사이에 형성되는 것도 가능하다(도2b 참조).Meanwhile, the hexagonal boron nitride layer 150 may be formed under the graphene layer 110 and may be formed between the graphene layer 110 and the vanadium dioxide layer 130 (see FIG. 2B).

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체의 제조방법에 대하여 설명하도록 한다. Hereinafter, a method for manufacturing a graphene-based VO 2 laminate for smart windows according to an embodiment of the present invention will be described.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체 제조방법의 순서도이다.Figure 4 is a flow chart of a graphene-based VO 2 laminate manufacturing method for a smart window according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체의 제조방법(이하, VO2 적층체 제조방법)은 제1 기재(A) 상에 그래핀을 성장시켜 그래핀층(110)을 형성하는 제1 단계(S110); 그래핀층(110) 상부에 바나듐 디옥사이드(VO2)를 증착하여 바나듐 디옥사이드층(130)을 형성하는 제2 단계(S120); 제2 기재(B)를 라미네이팅하여 제1 기재(A)-그래핀층(110)-바나듐디옥사이드층(130)-제2기재(B)를 포함하는 적층체를 형성하는 제3 단계(S130); 및 적층체로부터 제1 기재(A)를 에칭법을 이용하여 제거함과 동시에, 그래핀층(110)을 제2 기재(B) 상에 전사하는 제4 단계(S140)를 포함할 수 있다. 이하, 각 단계에 대하여 설명하도록 한다.
Referring to FIG. 4, in the method of manufacturing a graphene-based VO 2 laminate for smart windows according to an embodiment of the present invention (hereinafter, VO 2 laminate manufacturing method), graphene is grown on a first substrate (A). To form a graphene layer 110 to form a first step (S110); A second step (S120) of depositing vanadium dioxide (VO 2 ) on the graphene layer 110 to form a vanadium dioxide layer 130; Laminating the second substrate (B) to form a laminate including the first substrate (A) -graphene layer (110) -vanadium dioxide layer (130) -second substrate (B); And a fourth step S140 of removing the first substrate A from the laminate by an etching method and transferring the graphene layer 110 onto the second substrate B. Hereinafter, each step will be described.

우선 제1 기재(A) 상에 그래핀을 성장시켜 그래핀층(110)을 형성시킨다. First, graphene is grown on the first substrate A to form the graphene layer 110.

제1 기재(A)는 상기 그래핀을 성장시키기 위한 시드층 역할을 수행하는 것으로, 특정 재료로 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 기재(A)는 실리콘, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동, 청동, 백동, 스테인리스 스틸 및 Ge로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 금속 또는 합금을 포함할 수 있다. The first substrate A serves as a seed layer for growing the graphene, and is not limited to a specific material. For example, the first base material A is silicon, Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr And one or more metals or alloys selected from the group consisting of brass, bronze, cupronickel, stainless steel, and Ge.

또한, 제1 기재(A)는 상기 그래핀의 성장을 용이하게 하기 위해 촉매층을 포함할 수 있다. 상기 촉매층은 특정 재료로 한정되지 않으며, 제1 기재(A)와 동일 또는 상이한 재료에 의해 형성될 수 있다. 한편, 상기 촉매층의 두께 역시 제한되지 않으며, 박막 또는 후막일 수 있다. In addition, the first substrate (A) may include a catalyst layer to facilitate the growth of the graphene. The catalyst layer is not limited to a specific material, and may be formed of the same or different material as the first base material (A). On the other hand, the thickness of the catalyst layer is also not limited, and may be a thin film or a thick film.

한편, 제1 기재(A)에 상기 그래핀을 성장시키는 방법으로 통상의 화학기상증착법이 이용될 수 있다. 상기 화학기상증착법의 예로는 고온화학기상증착(RTCVD), 유도결합플라즈마 화학기상증착(ICP-CVD), 저압 화학기상증착(LPCVD), 상압화학기상증착(APCVD), 금속 유기화학기상증착(MOCVD) 또는 화학기상증착(PECVD)등이 있을 수 있다. Meanwhile, a conventional chemical vapor deposition method may be used as a method of growing the graphene on the first substrate A. Examples of chemical vapor deposition include high temperature chemical vapor deposition (RTCVD), inductively coupled plasma chemical vapor deposition (ICP-CVD), low pressure chemical vapor deposition (LPCVD), atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD), and metal organic chemical vapor deposition (MOCVD). ) Or chemical vapor deposition (PECVD).

예를 들면, 제1 기재(A)에 그래핀층(110)을 형성하기 위하여, 제1 기재(A)를 로(furnace)에 넣고, 탄소 소스를 포함하는 반응가스를 공급하고 상압에서 열처리 함(300 내지 2000℃)으로써 그래핀을 성장시킬 수 있다. 상기 탄소 소스의 예로는 일산화탄소, 이산화탄소, 메탄, 에탄, 에틸렌, 에탄올, 아세틸렌, 프로판, 부탄, 부타디엔, 펜탄, 펜텐, 사이클로펜타디엔, 헥산, 사이클로헥산, 벤젠, 톨루엔 등이 있을 수 있다.For example, in order to form the graphene layer 110 on the first base material A, the first base material A is placed in a furnace, and a reaction gas including a carbon source is supplied and heat treated at normal pressure ( 300 to 2000 ° C.) to grow the graphene. Examples of the carbon source may be carbon monoxide, carbon dioxide, methane, ethane, ethylene, ethanol, acetylene, propane, butane, butadiene, pentane, pentene, cyclopentadiene, hexane, cyclohexane, benzene, toluene and the like.

도 5는 도 4의 VO2 적층체 제조방법에서 상기 제1 단계(S110)의 구체예를 도시한 순서도이다. 5 is a flowchart illustrating a specific example of the first step (S110) in the VO 2 laminate manufacturing method of FIG. 4.

도 5를 참조하면, 상술한 제 1단계(S110)는 제1 기재(A) 상에 육방정계 질화붕소를 포함하는 h-BN 박막을 형성하는 단계(S111); 및 상기 h-BN박막 상에서 그래핀을 성장시켜 그래핀층(110)을 형성하는 단계(S112)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5, the above-described first step S110 may include forming a h-BN thin film including hexagonal boron nitride on the first substrate A (S111); And growing graphene on the h-BN thin film to form a graphene layer 110 (S112).

상기 h-BN 박막은 전술한 육방정계 질화붕소층(150)과 동일한 것으로 중복 설명은 생략하기로 한다. 한편, 상기 h-BN 박막을 형성하기 위해서 CVD, 스퍼터링, 코팅 등의 방법을 사용할 수 있다(이상 S110).The h-BN thin film is the same as the hexagonal boron nitride layer 150 described above, and description thereof will be omitted. On the other hand, in order to form the h-BN thin film can be used a method such as CVD, sputtering, coating (above S110).

다시 도 4를 참조하면, 다음으로 그래핀층(110) 상부에 바나듐 디옥사이드층(130)을 형성한다. 바나듐 디옥사이드층(130)은 바나듐 디옥사이드를 그래핀층(110) 상부에 증착함으로써 형성 가능하며, 상기 증착을 위한 방법으로는 CVD(Chemical Vapor Deposition), 스퍼터링, 코팅 등의 방법을 사용할 수 있다(이상 S120).Referring to FIG. 4 again, a vanadium dioxide layer 130 is formed on the graphene layer 110. The vanadium dioxide layer 130 can be formed by depositing vanadium dioxide on the graphene layer 110, the method for the deposition may be a method such as CVD (Chemical Vapor Deposition), sputtering, coating (over S120 ).

다음으로, 제2 기재(B)를 라미네이팅하여 제1 기재(A)-그래핀층(110)-바나듐 디옥사이드층(130)-제2 기재(B)를 포함하는 적층체를 형성한다. Next, the second substrate B is laminated to form a laminate including the first substrate A, the graphene layer 110, the vanadium dioxide layer 130, and the second substrate B.

상기 제2 기재(B)는 전술한 유연성 기재(P)과 동일한 것으로 중복 설명은 생략하기로 한다. 한편, 상기 제2 기재(B)를 라미네이팅 하기 위해서는 공지의 롤투롤(Roll to Roll) 공정을 이용하는 것이 가능하다. The second base material (B) is the same as the above-described flexible base material (P), and description thereof will be omitted. On the other hand, in order to laminate the second base material (B) it is possible to use a known roll to roll process.

예를 들면, 그래핀층(110) 및 바나듐 디옥사이드층(130)이 형성된 제1 기재(A)를 제2 기재(B)와 함께 서로 마주보는 복수개의 롤러부를 통과시킴으로써 라미네이팅 시킬 수 있다(이상 S130).For example, the first substrate A on which the graphene layer 110 and the vanadium dioxide layer 130 are formed may be laminated by passing a plurality of roller portions facing each other along with the second substrate B (above S130). .

다음으로, 상기 적층체로부터 제1 기재(A)를 에칭법을 이용하여 제거함과 동시에, 그래핀층(110)을 제2 기재(B) 상에 전사시킴으로써 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체를 제조할 수 있다.Next, the laminated body at the same time the first substrate (A) and removed by using an etching method since, well pinned layer 110, the second base (B) to the transfer by for smart windows So the pin based VO 2 laminate a It can manufacture.

여기에서 에칭법은 제1 기재(A)를 선택적으로 에칭시킬 수 있는 에칭 용액을 사용하는 것을 의미한다. 즉, 상기 에칭 용액은 제1 기재(A)의 종류에 따라 대응하여 선택될 수 있다. 또한, 그래핀층(110)을 제2 기재(B) 상에 전사시키기 위하여 전사 롤러를 포함하는 전사 장치가 이용될 수 있다. The etching method here means using an etching solution capable of selectively etching the first base material (A). That is, the etching solution may be correspondingly selected according to the type of the first substrate (A). In addition, a transfer apparatus including a transfer roller may be used to transfer the graphene layer 110 onto the second substrate B. FIG.

예를 들면, 상기 적층체를 전사 롤러에 통과시키되, 통과 도중에 상기 적층체가 제1 기재(A)만을 에칭시키는 에칭 용액을 거치도록 구성할 경우에는 제1 기재(A)는 상기 에칭 용액에 의해 제거되고 동시에 그래핀층(110)이 제2 기재(B) 상에 전사되는 것이 가능하다. 한편, 이와 같은 공정은 제1 기재(A)가 완전히 제거될 때까지 반복 수행되는 것이 가능하다(이상 S140).For example, if the laminate is passed through a transfer roller, and the laminate is configured to pass through an etching solution that only etches the first substrate A during the passage, the first substrate A is removed by the etching solution. And at the same time the graphene layer 110 can be transferred onto the second substrate (B). On the other hand, this process can be repeated until the first substrate (A) is completely removed (above S140).

상술한 바와 같이 제조된 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체는 플렉시블 기판, 유연성 투명 발열체, 유리, PET(Polyethylenterephthalate), 폴리이미드 필름 등의 다양한 기판에 부착 또는 전사되어 활용될 수 있다.
The graphene-based VO 2 laminate for smart windows manufactured as described above may be attached to or transferred to various substrates such as a flexible substrate, a flexible transparent heating element, glass, a polyethylene (polyethylenterephthalate), and a polyimide film.

이하, 시험예를 통하여 본 발명을 설명하도록 한다. 그러나, 하기 시험예에 의하여 본 발명의 보호범위가 제한되는 것은 아니다.
Hereinafter, the present invention will be described through test examples. However, the scope of protection of the present invention is not limited by the following test examples.

시험예Test Example

하기 [표1]과 같이 실시예 1 내지 4 및 비교예 1,2를 준비하고 파장(nm)에 따른 투과도(%)를 측정하였다.As shown in Table 1, Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 were prepared, and transmittance (%) was measured according to the wavelength (nm).

내용Contents 온도Temperature 실시예1Example 1 그래핀 기반 VO2 적층체가 부착된 유리Glass with graphene-based VO 2 laminate 20℃20 ℃ 실시예2Example 2 그래핀 기반 VO2 적층체가 부착된 유리Glass with graphene-based VO 2 laminate 100℃100 ℃ 실시예3Example 3 그래핀 기반 VO2 적층체가 부착된 PETPET with graphene-based VO 2 laminate 20℃20 ℃ 실시예4Example 4 그래핀 기반 VO2 적층체가 부착된 PETPET with graphene-based VO 2 laminate 100℃100 ℃ 비교예1Comparative Example 1 VO2만이 코팅된 유리VO 2 only coated glass 20℃20 ℃ 비교예2Comparative Example 2 VO2만이 코팅된 유리VO2 only coated glass 100℃100 ℃

도 6은 실시예 1,2 및 비교예 1,2의 파장에 따른 투과도를 도시한 그래프이고, 도 7은 실시예 1 내지 4의 파장에 따른 투과도를 도시한 그래프이다.6 is a graph showing transmittance according to the wavelengths of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, and FIG. 7 is a graph showing transmittance according to the wavelengths of Examples 1 to 4. FIG.

도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 기반 VO2 적층체가 부착된 유리(실시예 1,2)는 VO2만이 코팅된 유리(비교예 1,2)와 비교하여 동일 파장에서 평균 20% 가량 높은 광투과도를 보이고 있음을 확인할 수 있으며, 이는 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 기반 VO2 적층체가 스마트 윈도우의 특성 및 효율을 향상시킬 수 있음을 보여 준다. Referring to FIG. 6, the graphene-based VO 2 laminate according to one embodiment of the present invention (Examples 1 and 2) has the same wavelength compared to the glass coated with VO 2 only (Comparative Examples 1 and 2). It can be seen that the average transmittance of about 20% high light transmission, which shows that the graphene-based VO 2 laminate according to an embodiment of the present invention can improve the characteristics and efficiency of the smart window.

도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 기반 VO2 적층체가 부착된 PET(실시예 3,4)는 그래핀 기반 VO2 적층체가 부착된 유리(실시예 1,2)와 동등 또는 그 이상의 광투과도를 보이고 있음을 확인할 수 있으며, 이는 본 발명의 일 실시예에 따른 그래핀 기반 VO2 적층체가 다양한 기재에서도 동일 효과를 나타냄을 보여 준다. 7, one embodiment of graphene-based VO 2 laminated with PET attaching body according to the present invention (Examples 3, 4) is yes the glass body is attached to pin-based VO 2 laminated (Examples 1, 2) and It can be seen that the equivalent or more light transmittance is shown, which shows that the graphene-based VO 2 laminate according to an embodiment of the present invention shows the same effect in various substrates.

이상, 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, many modifications and changes may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims. The present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, and it is also within the scope of the present invention.

100: 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체
110: 그래핀층
130: 바나듐 디옥사이드층
150: 육방정계 질화붕소층
P: 유연성 기재100: graphene-based VO 2 stack for smart windows
110: graphene layer
130: vanadium dioxide layer
150: hexagonal boron nitride layer
P: flexible substrate

Claims (8)

적어도 1층 이상을 구비하는 그래핀(Graphene)층;
상기 그래핀층 상부에 형성되는 바나듐 디옥사이드층(130, VO2, Vanadium Dioxide); 및
상기 그래핀층 하부에 형성되거나, 상기 그래핀층과 바나듐 디옥사이드층 사이에 형성되는 육방정계 질화붕소층을 포함하는 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체.A graphene layer having at least one layer;
A vanadium dioxide layer (130, VO 2 , Vanadium Dioxide) formed on the graphene layer; And
Graphene-based VO 2 laminate for smart window comprising a hexagonal boron nitride layer formed on the graphene layer or formed between the graphene layer and the vanadium dioxide layer. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 바나듐 디옥사이드층 상부에 형성되는 보호층을 더 포함하고,
상기 보호층은 PMMA(Poly methyl methacrylate), PVDF(Polyvinylidene fluoride)코폴리머, PS(Polystyrene)-co-PMMA-co-PS, PR(Photoresist), ER(Electronresist), SiOx 또는 AlOx 중에서 선택되는 1종 이상인 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체.The method of claim 1,
Further comprising a protective layer formed on the vanadium dioxide layer,
The protective layer is selected from poly methyl methacrylate (PMMA), polyvinylidene fluoride (PVDF) copolymer, polystyrene (PS) -co-PMMA-co-PS, photoresist (PR), electroresist (ER), SiO x or AlO x . Graphene-based VO 2 stack for one or more smart windows. 제 1항 또는 제 4항에 있어서,
상기 그래핀층이 전사(transfer) 또는 부착되는 유연성 기재를 더 포함하는 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체.The method according to claim 1 or 4,
Graphene-based VO 2 laminate for smart window further comprises a flexible substrate to which the graphene layer is transferred or attached. 제 5항에 있어서,
상기 유연성 기재는 접착 테이프(adhesive tape), 풀(glue), 에폭시수지(epoxy resin), 광연화용 테이프, 열 박리성 테이프 또는 수용성 테이프인 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체.6. The method of claim 5,
The flexible substrate is an adhesive tape, glue, epoxy resin, photosoftening tape, heat-peelable tape, or water-soluble tape. Graphene-based VO 2 laminate for smart windows. 제1 기재 상에 그래핀을 성장시켜 그래핀층을 형성하는 제1 단계(S110);
상기 그래핀층 상부에 바나듐 디옥사이드(VO2)를 증착하여 바나듐 디옥사이드층을 형성하는 제2 단계(S120);
제2 기재를 라미네이팅하여 제1 기재-그래핀층-바나듐 디옥사이드층-제2 기재를 포함하는 적층체를 형성하는 제3 단계(S130); 및
상기 적층체로부터 상기 제1 기재를 에칭법을 이용하여 제거함과 동시에, 상기 그래핀층을 상기 제2 기재 상에 전사하는 제4 단계(S140)를 포함하는 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체 제조방법.A first step (S110) of forming a graphene layer by growing graphene on the first substrate;
A second step (S120) of depositing vanadium dioxide (VO 2 ) on the graphene layer to form a vanadium dioxide layer;
Laminating a second substrate to form a laminate including a first substrate-graphene layer-vanadium dioxide layer-second substrate (S130); And
Manufacturing a graphene-based VO 2 laminate for smart windows, comprising a fourth step (S140) of removing the first substrate from the laminate by an etching method and transferring the graphene layer onto the second substrate. Way. 제 7항에 있어서,
상기 제 1단계(S110)는,
제1 기재 상에 육방정계 질화붕소를 포함하는 h-BN 박막을 형성하는 단계(S111); 및
상기 h-BN박막 상에서 그래핀을 성장시켜 그래핀층을 형성하는 단계(S112)를 포함하는 스마트 윈도우용 그래핀 기반 VO2 적층체 제조방법.8. The method of claim 7,
The first step (S110),
Forming a h-BN thin film including hexagonal boron nitride on a first substrate (S111); And
The graphene-based VO 2 laminate manufacturing method for a smart window comprising the step of forming a graphene layer by growing graphene on the h-BN thin film (S112).
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