KR101255638B1 - 평판패널의 세정장치 및 세정방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판패널의 전면 및 배면을 순차적 또는 동시에 세정할 수 있는 평판패널의 세정장치 및 세정방법에 관한 것으로, 평판패널의 세정장치는 배면과 전면을 가지는 평판패널이 공급되는 적재부; 상기 배면을 진공흡착에 의해 고정하고 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 평판패널의 상기 전면을 세정하는 제 1 세정수단과 상기 전면을 진공흡착에 의해 고정하고 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 평판패널의 상기 배면을 세정하는 제 2 세정수단을 포함하는 제 1 세정부; 및 상기 평판패널을 반출하는 적하부;를 포함한다.

Description

평판패널의 세정장치 및 세정방법 {Apparatus and Method for cleaning flat panel}
본 발명은 평판패널의 전면 및 배면을 순차적 또는 동시에 세정할 수 있는 평판패널의 세정장치 및 세정방법에 관한 것이다.
최근에는, 고품위(high definition) TV 등의 새로운 첨단 영상 기기가 개발됨에 따라, 브라운관(CRT)을 대신하여 평판 패널 표시장치에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 일반적으로, 평판표시장치는 다양한 영상을 시각적으로 표시하는 장치로서 액정표시장치(liquid crystal display device), PDP(plasma display panel), ELD(electro luminescence display) 등을 포함한다. 특히, 평판표시장치는 얇고 가벼우며, 낮은 구동전압 및 낮은 소비전력을 갖는 장점이 있어, 산업 전반에 걸쳐 광범위하게 사용되고 있다.
이러한 평판표시장치는 다양한 공정, 예를 들어, 증착 공정, 식각 공정, 패터닝 공정 등을 통해 제조되며, 제조공정이 완료되면 평판패널의 전면 및 배면에 침착된 약액 및 불순물을 제거하기 위한 세정공정이 요구된다. 그리고, 평판표시장치는 적용분야에 따라 다양한 사이즈를 가지게 되는데, 최근 사용이 급증하고 있는 개인 휴대 단말기용 디스플레이 수단 등에 적용하기 위한 소형의 평판패널의 경우, 반송과 동시에 세정공정을 수행하기 어려운 문제가 있다. 부연하면, 평판패널의 전면을 세정한 후에, 작업자가 평판패널을 뒤집어서 평판패널의 배면을 세정해야 하므로, 처리속도가 저하되고 부가적인 장치 또는 인력이 투입되어야 하므로 생산성이 떨어지는 문제가 있다.
본 발명은 평판패널의 전면 및 배면을 순차적으로 진공흡착에 의해 고정하고 이동시키면서 평판패널의 전면 및 배면에 대한 세정공정을 수행하는 평판패널의 세정장치 및 세정방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 평판패널을 다수의 롤러로 구성되는 이송부를 이용하여 이동시키면서 동시에 평판패널의 전면 및 배면에 대해 린스 및 건조공정을 수행하는 평판패널의 세정장치 및 세정방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 배면과 전면을 가지는 평판패널이 공급되는 적재부; 상기 배면을 진공흡착에 의해 고정하고 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 평판패널의 상기 전면을 세정하는 제 1 세정수단과 상기 전면을 진공흡착에 의해 고정하고 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 평판패널의 상기 배면을 세정하는 제 2 세정수단을 포함하는 제 1 세정부; 및 상기 평판패널을 반출하는 적하부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 적재부는, 다수의 상기 평판패널이 수납된 수납수단이 위치하는 스테이지; 상기 수납수단으로부터 상기 평판패널을 인출하는 인출수단; 및 상기 인출수단에 의해 인출된 상기 평판패널을 제 1 축선 상에서 상기 세정부로 이동시키는 이동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 제 1 축선 상에서 상기 인출수단을 안내하는 안내축을 포함하는 것을 특징으로 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 인출수단은, 상기 안내축을 따라 이동 가능한 연동부; 상기 연동부의 상부에 설치되고, 상기 수납수단의 상기 평판패널을 인출하기 위하여 상기 제 1 축선과 수직한 제 2 축선 상에서 왕복 운동하는 인출부; 및 상기 인출부의 단부에 설치되고 상기 평판패널의 배면을 진공흡착하여 고정시키는 흡착부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 스테이지는 함몰부와 상기 함몰부에 위치하고 안착부를 포함하고, 상기 안착부는 상기 수납수단이 위치하는 지지판과 상기 지지판을 승강시키는 승강대를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 이동수단은, 상기 인출수단에 의해 인출된 상기 평판패널의 전면을 진공으로 흡착하여 이동시키는 피커를 사용하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 세정부는, 상기 평판패널의 상기 배면을 진공흡착으로 고정하여 상기 평판패널을 이동시키는 제 1 홀더와, 상기 평판패널의 상기 전면을 진공흡착으로 고정하여 상기 평판패널을 이동시키는 제 2 홀더를 포함하고, 상기 제 1 홀더에 의해서 상기 평판패널이 이동되는 과정에서 상기 제 1 세정수단에 의해서 상기 평판패널의 상기 전면이 브러싱 및 세정되고, 상기 제 2 홀더에 의해서 상기 평판패널이 이동되는 과정에서 상기 제 2 세정수단에 의해서 상기 평판패널의 상기 배면이 브러싱 및 세정되는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 제 1 세정수단은 상기 평판패널의 전면을 브러싱하는 제 1 브러싱부 및 상기 평판패널의 전면에 세정액을 공급하는 제 1 분사부를 포함하고, 상기 제 2 세정수단은 상기 평판패널의 배면을 브러싱하는 제 2 브러싱부 및 상기 평판패널의 배면에 세정액을 공급하는 제 2 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 제 1 및 제 2 브러싱부 각각에 윤활 또는 세정액을 공급하는 제 1 및 제 2 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 평판패널의 상기 배면과 전면을 린스하고 건조시키는 제 2 세정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 제 2 세정부는, 상기 평판패널을 이동시키는 이송부; 상기 평판패널의 상기 배면 및 전면을 린스하는 린스부; 상기 평판패널의 상기 배면 및 전면을 건조하는 건조부; 및 상기 평판패널을 정렬시키는 정렬부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 이송부는, 서로 대향하는 제 1 및 제 2 프레임; 상기 제 1 및 제 2 프레임에 회전 가능하게 설치되는 다수의 롤러; 상기 다수의 롤러 각각의 단부에 설치되는 다수의 단부자석; 상기 제 1 및 제 2 프레임 각각과 평행하고 상기 다수의 단부자석의 하부에 설치되는 제 1 및 제 2 회전축; 및 상기 다수의 단부자석과 대응되며 상기 제 1 및 제 2 회전축 각각에 설치되는 다수의 자석롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 린스부는, 상기 다수의 롤러의 상부에 설치되고 상기 평판패널의 상기 전면을 린스하는 상부 린스부; 및 상기 다수의 롤러의 하부에 설치되고 상기 다수의 롤러 사이에서 린스액을 공급하는 하부 린스부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 건조부는, 상기 다수의 롤러의 상부에 설치되고 상기 평판패널의 상기 전면을 고온의 공기를 분사하는 상부 건조부; 및 상기 다수의 롤러의 하부에 설치되고 상기 다수의 롤러 사이에서 고온의 공기를 분사하는 하부 건조부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 정렬부는, 상기 평판패널의 이동을 중지시키는 중지부; 및 상기 이송부 상에서 정렬을 위하여 상기 평판패널을 이동시키는 이동 가이드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 중지부는 상기 적하부에 인접한 상기 다수의 롤러 사이에 설치되고, 상기 이동 가이드는 상기 중지부의 양측에 설치되고 상기 다수의 롤러 사이에서 돌출되는 다수의 돌출부로 구성되는 제 1 및 제 2 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기 적하부는, 다수의 상기 평판패널이 인입되는 수납수단이 위치하는 스테이지; 상기 평판패널을 상기 수납수단에 인입시키는 인입수단; 및 상기 평판패널을 상기 제 1 세정부에서 상기 인입수단을 이동시키는 이동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치를 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 적재부에 배면과 전면을 가지는 평판패널을 공급하는 공급단계; 상기 평판패널을 상기 적재부에서 제 1 세정부로 이동시키고, 상기 배면을 진공흡착에 의해 고정하고 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 평판패널의 상기 전면을 제 1 세정수단에 의해서 세정하고, 상기 전면을 진공흡착에 의해 고정하고 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 평판패널의 상기 배면을 제 2 세정수단에 의해서 세정하는 제 1 세정단계; 및 상기 평판패널을 상기 제 1 세정부에서 적하부로 이동시키고, 상기 평판패널을 반출하는 적하단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법을 제공한다.
상기 공급단계는, 스테이지에 적재된 수납수단에서 인출수단을 이용하여 상기 평판패널을 인출하는 단계; 및 상기 인출수단에 의해서 인출된 상기 평판패널을 이동수단을 이용하여 상기 제 1 세정부로 이동시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법을 제공한다.
상기 제 1 세정단계는, 제 1 홀더를 이용하여 상기 평판패널의 상기 배면을 진공흡착으로 고정하여 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 평판패널의 상기 전면을 브러싱하는 단계; 상기 제 1 홀더의 이동과정에서 세정액을 공급하여 상기 평판패널의 상기 전면에 세정하는 단계; 제 2 홀더를 이용하여 상기 평판패널의 상기 전면을 진공흡착으로 고정하여 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 평판패널의 상기 배면을 브러싱하는 단계; 및 상기 제 2 홀더의 이동과정에서 세정액을 공급하여 상기 평판패널의 상기 배면을 세정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법을 제공한다.
상기 제 1 세정단계 후에, 상기 평판패널을 상기 제 1 세정부에서 제 2 세정부로 이동시키고, 상기 평판패널의 상기 배면과 전면을 린스하고 건조시키는 제 2 세정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법을 제공한다.
상기 제 2 세정단계는, 다수의 롤러로 구성되는 이송부를 이용하여 상기 평판패널을 이동시키면서, 상기 이송부의 상부 및 하부에서 린스액을 공급하여 상기 평판패널의 전면 및 배면을 린스하는 단계; 상기 이송부를 이용하여 상기 평판패널을 이동시키면서, 상기 이송부의 상부 및 하부에서 고온의 공기를 공급하여 상기 평판패널의 전면 및 배면을 건조하는 단계; 및 상기 평판패널의 이동을 중지시키고 상기 이송부 상에 평판패널을 정렬시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법을 제공한다.
본 발명의 평판패널의 세정장치 및 세정방법에 따르면, 평판패널의 전면 및 배면을 순차적으로 진공흡착에 의해 고정하고 이동시키면서 평판패널의 전면 및 배면에 대해 브러싱 및 세정공정을 수행하므로, 전면 및 배면의 방향을 변화시키는 변환공정이 필요하지 않고 연속공정이 가능하다.
본 발명은 다수의 롤러로 구성되는 이송부를 이용하여 평판패널을 이동시키면서, 이송부의 상부 및 하부에서 린스액 및 고온의 공기를 공급하여, 전면 및 배면의 방향을 변화시키는 변환공정을 사용하지 않고, 평판패널의 전면 및 배면을 동시에 린스 및 건조시킬 수 있어, 세정시간이 단축되어 생산성이 개선된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 세정장치의 개략도
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 수납수단의 모식도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 적재부의 상세도
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 제 1 세정부의 상세도
도 5는 본 발명에 따른 홀더의 상세도
도 6은 본 발명에 따른 브러싱부의 상세도
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 공급부의 상세도
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 분사부의 상세도
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 제 2 세정부의 상세도
도 10 및 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 이송부의 좌측 및 우측 측면도
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 적하부의 상세도
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 평판패널의 세정방법에 대한 순서도
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 세정장치의 개략도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 수납수단의 모식도이다.
세장장치(100)는 적재부(200), 제 1 세정부(300), 제 2 세정부(400) 및 적하부(500)를 포함하여 구성된다. 적재부(200), 제 1 세정부(300), 제 2 세정부(400) 및 적하부(500)의 하부에는 세정장치(100)를 동작시키기 위한 각종 유틸리티(도시하지 않음)가 수용되는 기반부(110)가 위치한다. 수납수단으로 카세트(130)를 사용하고, 카세트(130)는 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b)를 포함하고, 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b) 각각에는 평판패널(120)을 수납하기 위한 다수의 슬롯(slot)(134)이 설치된다. 수납수단으로 카세트(130)를 대신하여 트레이(tray)를 사용할 수 있다.
카세트(130) 또는 트레이에는 한변의 길이가 3 내지 5cm 정도로 소형인 평판패널(120)이 수납되고, 세정장치(100)에 의해서 세정된 평판패널(120)은 테스트를 거쳐 조립후에 완제품으로 출시될 수 있다.
적재부(200)는 다수의 평판패널(120)이 수납된 카세트(130)가 적재되고, 다수의 평판패널(120)을 카세트(130)로부터 제 1 세정부(300)에 전달하는 기능을 수행한다. 제 1 세정부(300)는 평판패널(120)의 전면과 배면에 부착되어 있는 약액 또는 이물질을 순차적으로 세정하는 기능을 수행하고, 제 2 세정부(400)는 평판패널(120)의 전면과 배면을 동시에 린스(rinse) 및 건조하는 기능을 수행한다. 적하부(500)는 세정이 완료되는 다수의 평판패널(120)을 카세트(130)에 수납시키고, 다수의 평판패널(120)이 수납된 카세트(130)를 세정장치(100)의 외부로 반출하는 기능을 수행한다.
세정장치(100)에는 하나의 평판패널(120)이 이동하면서 세정되는 트랙(track)이 다수 설치될 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 2 개의 트랙이 설치된 세정장치(100)를 설명한다. 그러나, 본 발명의 세정장치(100)에서는 하나의 트랙이 설치되거나 3 개 이상의 트랙이 설치되는 것을 배제하지 않는다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 적재부의 상세도이다.
도 1 내지 도 3에서 도시된 바와 같이, 적재부(200)는 제 1 스테이지(210), 인출수단(220), 제 1 안내축(230) 및 제 1 이동수단(240)을 포함하여 구성된다.
제 1 스테이지(210)는 기반부(110)에서 외측으로 돌출되며 수납수단으로 카세트(130)가 적재되는 제 1 안착부(214)를 포함한다. 제 1 스테이지((210)에는 제 1 안착부(214)와 함께 카세트(130)를 수용할 수 있는 제 1 함몰부(212)가 형성된다. 제 1 안착부(214)는 카세트(130)가 위치하는 제 1 지지판(214a)과 제 1 지지판(214a)을 승강시키는 제 1 승강대(214b)를 포함하여 구성된다. 카세트(130)를 제 1 지지판(214a)에 적재시키고 가압하면 카세트(130)와 제 1 지지판(214a)은 제 1 함몰부(212)의 내부에 수용되고, 카세트(130)의 상부에서 순차적으로 평판패널(120)이 인출됨에 따라 제 1 승강대(214b)가 순차적으로 상승한다.
인출수단(220)은 평판패널(120)을 카세트(130)에서 인출하는 기능을 수행하며, 카세트(130)의 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b)로부터 2 개의 평판패널(120)을 동시에 인출하기 위하여 제 1 및 제 2 인출수단(220a, 220b)으로 구성된다. 제 1 인출수단(220a)은 카세트(130)의 제 1 수납부(132a)에서 평판패널(120)을 인출하고, 제 2 인출수단(220b)은 카세트(130)의 제 2 수납부(132b)에서 평판패널(120)을 인출한다.
제 1 및 제 2 인출수단(220a) 각각은 제 1 안내축(230)과 연결되어 제 1 축선 상에서 이동하는 제 1 연동부(222), 제 1 연동부(222)의 상부에 설치되고 카세트(130)로부터 평판패널(120)을 인출하기 위해 평면에서 제 1 축선과 수직한 제 2 축선 상에서 왕복 운동하는 인출부(224) 및 인출부(224)에 설치되고 평판패널(120)의 배면을 흡착하는 제 1 흡착부(226)를 포함한다. 제 1 축선은 평판패널(120)이 세정되기 위하여 적재부(200)에서 적하부(500)로 이동되는 축선을 의미한다.
인출부(224)는 제 1 삽입부(224a) 및 제 1 몸체부(224b)를 포함한다. 삽입부(224a)에는 제 1 흡착부(226)가 설치되고, 카세트(130)의 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b)에 수납된 평판패널(120)의 하부에 삽입되어 평판패널(120)을 인출한다. 제 1 몸체부(224b)는 제 1 삽입부(224a)와 연결되고 제 1 연동부(222)를 따라 제 2 축선 상에서 왕복 운동한다. 제 1 삽입부(224a)는 카세트(130)의 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b)에 용이하게 삽입될 수 있도록 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b)의 너비보다 작게 만들어진다. 그리고, 제 1 삽입부(224a)의 너비는 제 1 몸체부(224b)의 너비보다 작다.
제 1 삽입부(224a)의 상부에 설치된 제 1 흡착부(226)는 평판패널(120)이 균형을 유지하면서 안전하게 인출될 수 있도록 제 1 및 제 2 흡입튜브(226a, 226b)로 구성된다. 인출부(224)가 카세트(130)의 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b)의 방향으로 이동하여 제 1 삽입부(224a)가 평판패널(120)의 하부에 위치되면, 제 1 및 제 2 흡착튜브(226a, 226b)가 상승하여 평판패널(120)의 하부를 흡착한 후, 인출부(224)가 원래의 상태로 복원된다. 평판패널(120)을 인출하기 위하여, 제 1 및 제 2 흡착튜브(226a, 226b)이 상승하지 않고 인출부(224)가 상승할 수 있다,
카세트(130)의 제 1 수납부(132a)에서 평판패널(120)을 인출한 제 1 인출수단(220a)의 인출부(224)가 정지하는 제 1 복원위치는 카세트(130)의 제 2 수납부(132b)에서 평판패널(120)을 인출한 제 2 인출수단(220b)의 인출부(224)가 정지하는 제 2 복원위치에 대하여 제 1 축선 상에서 후단에 위치한다. 다시 말하면, 제 1 복원위치와 제 1 세정부(300) 사이의 거리는 제 2 복원위치와 제 1 세정부(300) 사이의 거리보다 크며, 제 1 트랙에 위치한 평판패널(120)은 제 2 트랙에 위치한 평판패널(120)보다 지연되어 운송된다.
제 1 이동수단(240)는 제 1 복원위치에서 제 1 인출수단(220a)에 의해서 인출된 평판패널(120)을 진공흡착하는 제 1 피커(240a)와 제 2 복원위치에서 제 2 인출수단(220b)에 의해서 인출된 평판패널(120)을 진공흡착하는 제 2 피커(240b)로 구성된다. 제 1 및 제 2 피커(240a, 240b) 각각은 평판패널(120)이 평형을 유지하면서 안전하게 흡착되어 이동될 수 있도록, 2 개의 서브피커로 구성된다. 제 1 및 제 2 피커(240a, 240b) 각각의 정위치(home position)는 제 1 및 제 2 복원위치의 상부이고, 제 1 및 제 2 인출수단(220a, 220b) 각각이 카세트(130)로부터 평판패널(120)을 인출하면, 제 1 및 제 2 피커(220a, 220b) 각각 하강하여 평판패널(120)을 흡착한 후, 상승하여 제 2 세정부(200)로 이송시킨다.
수납수단으로 카세트(130)를 대신하여 트레이(도시하지 않음)를 사용할 수 있다. 트레이에는 다수의 평판패널(120)이 평면적으로 배열되므로, 인출수단(220)을 설치하지 않고, 제 1 이동수단(240)의 동작에 의해 트레이의 평판패널(120)을 제 1 세정부(200)로 이송시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 제 1 세정부의 상세도이고, 도 5는 본 발명에 따른 홀더의 상세도이고, 도 6은 본 발명에 따른 브러싱부의 상세도이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 공급부의 상세도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 분사부의 상세도이다.
도 1, 도 2 및 도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 제 1 세정부(300)는 제 1 및 제 2 홀더(310a. 310b), 제 1 및 제 2 브러싱부(320a, 320b), 제 1 및 제 2 공급부(330a, 330b), 제 1 및 제 2 분사부(340a, 340b), 제 1 및 제 2 홀더 안내축(350a, 350b)을 포함하여 구성된다. 제 1 브러싱부(320a), 제 1 공급부(330a), 및 제 1 분사부(340a)는 제 1 세정수단을 구성하고, 제 2브러싱부(320b), 제 2 공급부(330b), 및 제 2 분사부(340b)는 제 2 세정수단을 구성한다. 제 1 세정부(300)는 다수의 평판패널(120)을 브러싱 및 세정하면서 제 1 및 제 2 공급부(330a, 330b)와 제 1 및 제 2 분사부(340a, 340b)에서 공급되는 초순수가 외부로 유출되는 것을 방지하기 위하여, 내부를 관찰할 수 있는 투명벽(360)을 설치한다. 투명벽(360)은 제 1 세정부(300)의 주변부를 감싸면서 설치되고 유리로 제작된다.
제 1 및 제 2 홀더(310a, 310b) 각각은 도 5와 같이, 2 개의 평판패널(120)의 배면 또는 전면이 진공으로 흡입되어 고정되는 제 1 및 제 2 고정부(312a, 312b)와 제 1 및 제 2 고정부(312a, 312b)의 주위에 설치되는 다수의 배수구(314)를 포함하여 구성된다. 다수의 배수구(314)는 평판패널(120)의 세정을 위하여 제 1 및 제 2 공급부(330a, 330b)로부터 공급되는 초순수를 평판패널(120)의 근처에서 잔류되지 않고 신속하게 배수시키는 기능을 한다.
제 1 홀더(310a)는 제 1 및 제 2 피커(240a, 240b)에 의해서 이동된 평판패널(120)의 배면을 진공으로 흡착하고, 제 1 홀더 안내축(350a)에 의해서 제 1 축선으로 이동되면서, 평판패널(120)의 상면을 제 1 브러싱부(320a)와 접촉시켜 평판패널(120)의 상면에 부착된 약액 또는 이물질을 제거한 후에, 계속해서 제 1 홀더(310a)를 이동시켜 제 1 분사부(340a)의 하부를 지나게 한다. 제 1 분사부(340a)의 하부를 지나면서 제 1 분사부(340a)에서 공급되는 초순수에 의해서 평판패널(120)의 전면이 세정된다.
평판패널(120)의 전면에 대한 세정이 완료되면 제 1 홀더(310a)의 이동이 정지되고, 평판패널(120)의 배면에 대한 진공흡입이 중단된다. 그리고, 제 2 홀더(310b)가 제 1 홀더(310a)의 상부에 정렬되고 하강하여 평판패널(120)의 전면을 진공으로 흡입하여 고정시키고, 다시 상승하여 제 2 홀더 안내축(350b)에 의해서 제 1 축선으로 이동되면서, 평판패널(120)의 배면을 제 2 브러싱부(320b)와 접촉시켜 평판패널(120)의 배면에 부착된 약액 또는 이물질을 제거한 후에, 계속해서 제 2 홀더(310b)를 이동시켜 제 2 분사부(340b)의 상부를 지나게 한다. 제 2 분사부(340b)의 상부를 지나면서 제 2 분사부(340b)에서 공급되는 초순수에 의해서 평판패널(120)의 배면이 세정된다.
제 1 및 제 2 브러싱부(320a, 320b)가 평판패널(120)의 전면 및 배면을 브러싱할 때, 평판패널(120)의 전면 및 배면이 손상되지 않도록 윤활 및 세정기능을 수행하는 초순수를 공급하기 위한 제 1 및 제 2 공급부(330a, 330b)을 제 1 및 제 2 브러싱부(320a, 320b) 각각의 상부 및 하부에 설치한다.
도 6과 같이, 제 1 및 제 2 브러싱부(320a, 320b) 각각은, 브러쉬 회전축(322), 브러쉬 회전축(322)의 표면에 설치되는 다수의 모재부(324), 브러쉬 회전축(322)을 회전시키는 회전수단(도시하지 않음)을 포함하여 구성된다. 다수의 모재부(324) 사이에는 제 1 및 제 2 공급부(330a, 330b) 각각에 의해 공급되는 초순수가 유동하는 통로를 제공하는 채널부(326)가 형성된다. 다수의 모재부(324)는 브러쉬 회전축(322)과 수직 및 수평방향으로 서로 중첩되게 설치되어, 평판패널(120)의 배면 및 전면이 균일하게 브러싱된다. 다수의 모재부(324)는 합성수지로 제작된다. 제 1 및 제 2 브러싱부(320a, 320b) 각각은, 제 1 세정부(300)의 너비를 커버하여 설치되므로, 제 1 및 제 2 트랙을 진행하는 2 개의 평판패널(120)을 순차적으로 브러싱할 수 있다.
도 7과 같이, 제 1 및 제 2 공급부(330a, 330b) 각각은, 초순수가 공급되는 공급관(332) 및 공급관(332)에 균일한 간격으로 설치되는 다수의 공급노즐(334)을 포함하여 구성된다. 도 8과 같이, 제 1 및 제 2 분사부(340a, 340b) 각각은, 초순수가 공급되는 분사관(342)과 분사관(342)에 균일한 간격으로 설치되는 다수의 분사노즐(344)을 포함하여 구성된다. 다수의 분사노즐(344)은 평판패널(120)의 배면 및 전면과 공정의 조건에 따라 일정한 간격 및 각도를 유지시킨다. 그리고, 다수의 분사노즐(344) 각각에 의해서 분사되는 초순수의 분사면적은 서로 중첩되게 하여, 균일한 분사압을 가진 초순수가 평판패널(120)의 배면 및 전면에 공급되도록 한다. 제 1 및 제 2 분사부(340a, 340b) 각각은, 제 1 세정부(300)의 너비를 커버하여 설치되므로 제 1 및 제 2 트랙을 진행하는 2 개의 평판패널(120)을 동시에 세정할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 제 2 세정부의 상세도이고, 도 10 및 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 이송부의 좌측 및 우측 측면도이다.
도 1 및 도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 제 2 세정부(400)는 이송부(410), 린스부(420), 건조부(430) 및 정렬부(440)를 포함하여 구성된다. 이송부(410)는 제 1 세정부(300)에서 전달된 2 개의 평판패널(120)을 제 1 축선으로 이동시키고, 린스부(420)는 이송부(410)에 의해서 이동되는 평판패널(120)의 전면 및 배면에 초순수를 공급하여 린스하고, 건조부(430)는 이송부(410)에 의해 이동되는 평판패널(120)의 전면 및 배면에 고온의 공기를 공급하여 건조시키고, 정렬부(440)는 평판패널(120)의 이동을 중지시키고 평판패널(120)을 정렬시켜, 적하부(500)에 용이하게 전달시킬 수 있게 한다.
이송부(410)는 프레임(450), 다수의 롤러(452), 다수의 단부자석(454), 회전축(456), 다수의 자석롤러(458) 및 구동모터(도시하지 않음)를 포함하여 구성된다. 프레임(450)은 서로 대향하는 제 1 및 제 2 고정 프레임(450a, 450b)을 포함하고, 제 1 및 제 2 고정 프레임(450a, 450b) 각각에는 다수의 롤러(452)가 삽입되어 회전할 수 있는 원형의 제 1 및 제 2 개구(460a, 460b)가 형성된다.
다수의 롤러(452)는 다수의 제 1 및 제 2 롤러(452a, 452b)를 포함하고, 다수의 단부자석(454)은 다수의 제 1 및 제 2 단부자석(454a, 454b)을 포함한다. 소형의 평판패널(120)을 안정적으로 이동시키기 위해서, 다수의 롤러(452)는 작은 직경으로 제작되고, 다수의 롤러(452) 사이의 간격은 매우 좁게 유지시킨다. 그런데, 자력에 의해서 다수의 롤러(452)를 구동시키는 경우, 다수의 롤러(452)의 양측단부에 단부자석을 모두 설치하게 되면, 다수의 롤러(452) 사이의 간격이 넓어지게 된다. 따라서, 다수의 제 1 및 제 2 롤러(452a, 452b)를 교번시켜 배치하며, 다수의 제 1 롤러(452a) 각각의 일측단부에 제 1 단부자석(454a)을 연결하고, 다수의 제 2 롤러(452b) 각각의 타측단부에 제 2 단부자석(454b)을 연결한다.
회전축(456)은 제 1 및 제 2 회전축(456a, 456b)을 포함하고, 제 1 및 제 2 회전축(456a, 456b) 각각은 제 1 및 제 2 고정 프레임(450a, 450b)과 평행하고 다수의 제 1 및 제 2 단부자석(454a, 454b) 각각의 하부에 설치된다. 제 1 및 제 2 고정 프레임(450a, 450b) 각각의 외측에 설치되는 제 1 및 제 2 회전축(456a, 456b)은 구동모터에 연결되어 회전력을 제공받는다. 다수의 자석롤러(458)는 다수의 제 1 단부자석(454a) 각각과 대응되는 제 1 회전축(456a)에 설치되는 다수의 제 1 자석롤러(458a)와, 다수의 제 2 단부자석(454b) 각각과 대응되는 제 2 회전축(456b)에 설치되는 다수의 제 2 자석롤러(458b)를 포함한다. 다수의 자석롤러(458) 각각과 다수의 단부자석(454)는 서로 접촉하지 않도록 설치된다.
구동모터의 회전력을 전달받아 제 1 및 제 2 회전축(456a, 456b)이 회전하면, 다수의 제 1 및 제 2 자석롤러(458a, 458b)가 회전한다. 다수의 제 1 자석롤러(458a)과 제 1 단부자석(454a)의 상호 자력에 의해서 다수의 제 1 롤러(414a)가 회전하고, 다수의 제 2 자석롤러(458b)과 제 2 단부자석(454b)의 상호자력에 의해서 다수의 제 2 롤러(414b)가 회전하여, 2 개의 평판패널(120)을 제 1 축선으로 이동시킨다.
린스부(420)는 이송부(410)의 상부에 설치되어 평판패널(120)의 전면에 초순수를 공급하는 상부 린스부(420a)와 이송부(410)의 하부에 설치되어 평판패널(120)의 배면에 초순수를 공급하는 하부 린스부(420b)를 포함하여 구성된다. 상부 및 하부 린스부(420a, 420b) 각각에는 다수의 린스노즐(422)가 균일한 간격으로 설치된다. 하부 린스부(420b)에 의해서 공급되는 초순수는 다수의 롤러(452) 사이에 분사되어, 제 1 축선으로 이송되는 평판패널(120)의 배면에 공급된다. 상부 및 하부 린스부(420a, 420b) 각각은 제 2 세정부(400)의 너비를 커버하여 설치되므로, 제 1 및 제 2 트랙을 진행하는 2 개의 평판패널(120)을 동시에 린스할 수 있다.
건조부(430)는 이송부(410)의 상부에 설치되는 평판패널(120)의 전면에 고온의 공기를 공급하는 상부 건조부(430a)와 이송부(410)의 하부에 설치되고 평판패널(120)의 배면에 고온의 공기를 공급하는 하부 건조부(430b)를 포함하여 구성된다. 상부 및 하부 건조부(430b)는 2mm 정도의 폭을 가지고 이송부(410)의 가로방향으로 확장되는 분사개구(432)로부터 고온의 공기가 공급되어 평판패널(120)의 전면 및 배면을 완전하게 건조시키는 기능을 수행한다. 상부 및 하부 건조부(430a, 430b) 각각은 제 2 세정부(400)의 너비를 커버하여 설치되므로, 제 1 및 제 2 트랙을 진행하는 2 개의 평판패널(120)을 동시에 건조할 수 있다.
정렬부(440)는 제 1 및 제 2 정렬부(440a, 440b)를 포함하여 구성되고, 제 1 및 제 2 정렬부(440a, 440b) 각각은 정지부(442)와 이동 가이드(434)를 포함하여 구성된다. 정지부(442)는 적하부(500)에 인접한 다수의 롤러(414) 사이에 설치되며, 제 1 축선으로 평판패널(120)가 이동하는 것을 정지시킨다. 이동 가이드(434)는 정지부(432)의 양측에서 설치되는 제 1 및 제 2 가이드(434a, 434b)로 구성되며, 제 1 및 제 2 가이드(434a, 434b) 사이에 평판패널(120)이 위치되면 서로 대향하는 방향으로 제 1 및 제 2 가이드(434a, 434b)가 수축되면서 평판패널(120)을 정렬시킨다. 평판패널(120)이 정렬되어 적하부(500)로 이동되면, 제 1 및 제 2 가이드(434a, 434b)는 다시 확장되어, 다른 평판패널(120)을 수용할 수 있는 공간을 준비한다. 제 1 및 제 2 가이드(434a, 434b) 각각은 다수의 롤러(452)에 설치되는 돌기부로 구성된다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 적하부의 상세도이다.
도 1 및 도 12에서 도시된 바와 같이, 적하부(500)는 제 2 스테이지(510), 인입로봇(520), 제 2 안내축(530), 및 제 2 이동수단(540)을 포함하여 구성된다.
제 2 스테이지(510)는 기반부(110)에서 외측으로 돌출되며 수납수단으로 카세트(130)가 적재되는 제 2 안착부(514)를 포함한다. 제 2 스테이지(510)에는 안착부(514)와 함께 카세트(130)를 수용할 수 있는 제 2 함몰부(512)가 형성된다. 제 1 안착부(512)는 카세트(130)가 위치하는 제 1 지지판(512a)과 제 1 지지판(512a)을 승강시키는 제 2 승강대(512b)를 포함하여 구성된다. 카세트(130)를 지지판(512a)에 적재시키고 카세트(130)의 하부부터 순차적으로 평판패널(120)이 인입됨에 따라 제 2 승강대(512b)가 순차적으로 하강하여 카세트(130)와 제 2 지지판(512a)은 제 2 함몰부(514)의 내부에 수용되고, 최종적으로 카세트(130)이 적하부(500)의 외부로 반출된다.
인입수단(520)은 평판패널(120)을 카세트(130)에 인입하는 기능을 수행하며, 카세트(130)의 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b)에 2 개의 평판패널(120)을 동시에 인입하기 위하여 제 1 및 제 2 인입수단(520a, 520b)으로 구성된다. 제 1 인입수단(520a)은 카세트(130)의 제 1 수납부(132a)에서 평판패널(120)을 인입하고, 제 2 인입수단(220b)은 카세트(130)의 제 2 수납부(132b)에서 평판패널(120)을 인입한다.
제 1 및 제 2 인입수단(520a) 각각은 제 2 안내축(530)과 연결되어 제 1 축선 상에서 이동하는 제 2 연동부(522), 제 2 연동부(522)의 상부에 설치되고 카세트(130)에 평판패널(120)을 인입하기 위해 평면에서 제 1 축선과 수직한 제 2 축선 상에서 왕복 운동하는 인압부(524) 및 인입부(524)에 설치되고 평판패널(120)의 배면을 흡착하는 제 2 흡착부(526)를 포함한다.
인입부(524)는 제 2 삽입부(524a) 및 제 2 몸체부(524b)를 포함한다. 제 2 삽입부(524a)에는 평판패널(120)의 배면을 흡착하는 제 2 흡착부(526)가 설치된다. 제 2 몸체부(524b)는 제 2 삽입부(524a)와 연결되고 제 2 연동부(522)를 따라 제 2 축선 상에서 왕복 운동한다. 제 2 흡착부(526)는 평판패널(120)이 균형을 유지하면서 안전하게 인입될 수 있도록 제 3 및 제 4 흡입튜브(526a, 526b)로 구성된다. 평판패널(120)을 흡착시킨 인입부(524)가 카세트(130)의 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b)에 위치되면, 제 3 및 제 4 흡착튜브(526a, 526b)가 하강하고 흡착을 해제한 후, 인입부(524)가 원래의 상태로 복원된다. 평판패널(120)을 인입하기 위하여, 제 3 및 제 4 흡착튜브(526a, 526b)이 하강하지 않고 인입부(524)가 하강할 수 있다,
제 2 이동수단(540)은 제 2 세정부(400)의 제 1 정렬부(440a)에 위치한 평판패널(120)을 진공흡착하는 제 3 피커(540a)와 제 2 세정부(400)의 제 1 정렬부(440b)에 위치한 평판패널(120)을 진공흡착하는 제 4 피커(540b)로 구성된다. 제 3 및 제 4 피커(540a, 540b) 각각은 평판패널(120)이 평형을 유지하면서 안전하게 흡착되어 이동될 수 있도록, 2 개의 서브피커로 구성된다. 제 3 및 제 4 피커(540a, 540b) 각각은 제 1 및 제 2 정렬부(440a, 440b)에 위치한 평판패널(120)을 진공흡착하여 제 1 및 제 2 인입수단(520a, 520b)에 이송시킨다.
도 1 내지 도 12을 참조하면, 세정장치(100)에 2 개의 트랙에서 동시에 평판패널(120)이 이동되면서 세정공정을 수행할 수 있다. 적재부(200)에는 2 개의 평판패널(120)을 이송시키기 위하여, 제 1 및 제 2 인출수단(220a, 220b)과 제 1 및 제 2 피커(240a, 240b)가 설치된다. 제 1 세정부(300)에서는 2 개의 평판패널(120)을 동시에 고정시키는 제 1 및 제 2 고정부(312a, 312b)를 포함하는 제 1 및 제 2 홀더(310a, 310b)와, 2 개의 평판패널(120)을 동시에 정렬시키는 제 1 및 제 2 정렬부(430a, 430b)가 설치된다. 적하부(500)에는 2 개의 평판패널(120)을 이송시키는 제 3 및 제 4 피커(510a, 510b)와 제 1 및 제 2 인입수단(520a, 520b)이 설치된다.
따라서, 적재부(200)의 제 1 인출수단(220a) 및 제 1 피커(240a), 제 1 세정부(300)의 제 1 및 제 2 홀더(310a, 310b) 각각의 제 1 고정부(312a), 제 2 세정부(400)의 제 1 정렬부(430a), 및 적하부(500)의 제 3 피커(510a) 및 제 1 인입수단(520a)은 제 1 트랙을 구성하고, 적재부(200)의 제 2 인출수단(220b) 및 제 2 피커(240b), 제 1 세정부(300)의 제 1 및 제 2 홀더(310a, 310b) 각각의 제 2 고정부(312b), 제 2 세정부(400)의 제 2 정렬부(430b), 및 적하부(500)의 제 4 피커(510b) 및 제 2 인입수단(520b)은 제 2 트랙을 구성한다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 평판패널의 세정방법에 대한 순서도이다.
도 1 내지 도 13을 참조한 평판패널(120)의 세정방법은, 적재부(200)에 평판패널(120)을 공급하는 공급단계(S01 단계), 평판패널(120)을 적재부(200)에서 제 1 세정부(300)로 이동시키고, 평판패널(120)의 배면을 진공흡착에 의해 고정하고 평판패널(120)을 이동시키면서 평판패널(120)의 전면을 제 1 세정수단에 의해서 세정하고, 평판패널(120)의 전면을 진공흡착에 의해 고정하고 평판패널(120)을 이동시키면서 평판패널(120)의 배면을 제 2 세정수단에 의해서 세정하는 제 1 세정단계(S02 단계), 평판패널(120)을 제 1 세정부(300)에서 제 2 세정부(400)로 이동시키고, 평판패널(120)의 배면과 전면을 린스하고 건조시키는 제 2 세정단계, 및 평판패널(120)을 제 1 세정부(300)에서 적하부(500)로 이동시키고, 평판패널(120)을 반출하는 적하단계를 포함하여 실행된다.
공급단계(S01 단계)는 제 1 스테이지(210)의 제 1 안착부(214)에 세정되기 위한 다수의 평판패널(120)이 수납된 카세트(130)를 적재시키는 단계, 인출수단(220)을 이용하여 평판패널(120)을 카세트(130)로부터 인출하는 단계, 인출수단(220)에 의해서 인출된 평판패널(120)을 제 1 이동수단(240)에 의해서 제 1 세정부(300)으로 이동시키는 단계를 포함하여 수행된다.
카세트(130)를 적재시키는 단계에서, 카세트(130)를 제 1 지지판(212a)에 적재시키고 가압하면 카세트(130)와 제 1 지지판(212a)은 제 1 함몰부(214)의 내부에 수용된다. 평판패널(120)을 카세트(130)로부터 인출하는 단계에서, 카세트(130)의 최상부에 위치한 평판패널(120)이 인출되면 제 1 승강대(212b)가 상승하여 카세트(130)의 차상부에 위치한 평판패널(120)이 인출수단(220)에 의해 인출되기 위한 고도로 정렬되고, 평판패널(120)의 인출 및 제 1 승강대(221b)의 상승이 반복되어 카세트(130)에 수용된 다수의 평판패널(120)이 모두 인출수단(220)에 의해서 인출된다. 그리고, 카세트(130)의 평판패널(120)이 모두 인출되면, 세정되기 위한 다수의 평판패널(120)이 수납된 다른 카세트(130)로 교체된다.
인출수단(220)을 이용하여 평판패널(120)을 카세트(130)로부터 인출하는 단계에서, 제 1 연동부(222)의 상부에서 제 2 축선 상을 왕복 운동하는 인출부(224)가 카세트(130)의 제 1 및 제 2 수납부(132a, 132b)에 수납된 평판패널(120)의 하부에 삽입되고, 제 1 흡착부(226)이 상승하여 평판패널(120)의 배면을 흡착한 후, 원래상태로 복원된다. 평판패널(120)을 인출하기 위하여, 제 1 및 제 2 흡착튜브(226a, 226b)이 상승하지 않고 인출부(224)가 상승할 수 있다. 인출부(224)에 의해서 평판패널(120)이 인출되면, 제 1 이동수단(240)이 하강하여 평판패널(120)을 흡착한 후, 다시 상승하여 제 2 세정부(200)로 이송시킨다.
제 1 세정단계(S02 단계)는, 제 1 홀더(310a)를 이용하여 평판패널(120)의 배면을 진공흡착으로 고정하여 평판패널(120)을 이동시키면서 평판패널(120)의 전면을 브러싱하는 단계, 제 1 홀더(310a)의 이동과정에서 세정액을 공급하여 평판패널(120)의 전면에 세정하는 단계. 제 2 홀더(310b)를 이용하여 평판패널(120)의 전면을 진공흡착으로 고정하여 평판패널(120)을 이동시키면서 평판패널(120)의 배면을 브러싱하는 단계, 및 제 2 홀더(120)의 이동과정에서 세정액을 공급하여 평판패널(120)의 배면을 세정하는 단계를 포함하여 수행된다.
평판패널(120)의 전면을 브러싱하는 단계에서는, 제 1 이동수단(240)에 의해서 평판패널(120)이 이동되어 제 1 홀더(310a)의 제 1 및 제 2 고정부(312a, 312b)에 의해 평판패널(120)의 배면이 진공으로 흡입되어 고정된다. 그리고, 제 1 홀더(310a)가 제 1 홀더 안내축(350a)을 따라 이동되면서 평판패널(120)의 상면이 제 1 브러싱부(320a)와 접촉되어 평판패널(120)의 상면에 부착된 약액 또는 이물질을 제거한다. 그리고, 제 1 브러싱부(320a)에 의해 평판패널(120)의 전면이 손상되지 않도록 제 1 브러싱부(320a)에 제 1 공급부(330a)를 통하여 윤활 및 세정기능을 수행하는 초순수를 공급한다.
평판패널(120)의 전면에 세정하는 단계에서는, 제 1 홀더(310a)가 제 1 홀더 안내축(350a)을 따라 계속 이동되면서 제 1 분사부(340a)의 하부를 통과하고, 제 1 분사부(340a)의 하부를 통과하면서 제 1 분사부(340a)에서 공급되는 초순수에 의해서 평판패널(120)의 전면이 세정된다. 그리고, 평판패널(120)의 전면이 세정된 후에, 제 1 홀더(310a)의 이동과 평판패널(120)의 배면에 대한 진공흡입이 중지된다.
평판패널(120)의 배면을 브러싱하는 단계에서는, 제 2 홀더(310b)가 제 1 홀더(310a)의 상부에 정렬되고 하강하여, 제 2 홀더(310b)의 제 1 및 제 2 고정부(312a, 312b)에 의해 평판패널(120)의 전면이 진공으로 흡입되어 고정되고, 다시 상승한다. 평판패널(120)을 제 2 홀더(310b)에 전달한 제 1 홀더(310a)는 세정되기 위한 다른 평판패널(120)을 이동시키기 위하여 정위치(home position) 상태로 복원된다.
그리고, 제 2 홀더(310b)가 제 2 홀더 안내축(350b)에 의해서 제 1 축선으로 이동되면서, 평판패널(120)의 배면을 제 2 브러싱부(320b)와 접촉시켜 평판패널(120)의 배면에 부착된 약액 또는 이물질을 제거한다. 그리고, 제 2 브러싱부(320b)에 의해 평판패널(120)의 전면이 손상되지 않도록 제 2 브러싱부(320b)에 제 2 공급부(330b)를 통하여 윤활 및 세정기능을 수행하는 초순수를 공급한다.
평판패널(120)의 배면에 세정하는 단계에서는, 제 2 홀더(310b)가 제 2 홀더 안내축(350b)을 따라 계속 이동되면서 제 2 분사부(340b)의 상부를 통과하고, 제 2 분사부(340b)의 상부를 통과하면서 제 2 분사부(340b)에서 공급되는 초순수에 의해서 평판패널(120)의 배면이 세정된다. 평판패널(120)의 배면에 대한 세정이 완료되면, 제 2 홀더(310b)는 제 2 홀더 안내축(350b)을 따라 제 2 세정부(400)로 이동되고, 하강되어 이송부(410) 상에 평판패널(120)을 위치시킨다.
제 2 세정단계(S03 단계)는, 다수의 롤러(452)로 구성되는 이송부(410)를 이용하여 평판패널(120)을 이동시키면서, 이송부(410)의 상부 및 하부에서 린스액을 공급하여 평판패널(120)의 전면 및 배면을 린스하는 단계, 이송부(410)를 이용하여 평판패널(120)을 이동시키면서, 이송부(410)의 상부 및 하부에서 고온의 공기를 공급하여 평판패널(120)의 전면 및 배면을 건조하는 단계, 및 평판패널(120)의 이동을 중지시키고 정렬부(440)에 평판패널(120)을 위치시키는 단계를 포함하여 수행된다. 제 2 세정단계(S03 단계)에서는, 다수의 롤러(452) 각각에 연결된 다수의 단부자석(454)와 회전축(456)에 배열된 다수의 자석롤러(458)의 상호자력에 의해서 다수의 롤러(452)가 회전하면서 평판패널(120)이 이동된다.
평판패널(120)의 전면 및 배면을 린스하는 단계에서는, 평판패널(120)이 다수의 롤러(452)의 회전에 의해 이동되면서 이송부(410)의 상부에 설치된 상부 린스부(420a)에서 공급되는 린스액에 의해서 평판패널(120)의 전면이 린스되고, 이송부(410)의 하부에 설치된 하부 린스부(420b)로부터 다수의 롤러(452) 사이를 통과하여 린스액이 공급되어 평판패널(120)의 배면을 린스한다.
평판패널(120)의 전면 및 배면을 건조하는 단계에서는, 평판패널(120)이 다수의 롤러(452)의 회전에 의해 이동되면서 이송부(410)의 상부에 설치된 상부 건조부(430a)로부터 공급되는 고온의 공기에 의해 평판패널(120)의 전면이 건조되고, 이송부(410)의 하부에 설치된 하부 건조부(430b)로부터 다수의 롤러(452) 사이를 통과하여 고온의 공기가 공급되어 평판패널(120)의 배면이 건조된다.
정렬부(440)에 평판패널(120)을 위치시키는 단계에서는, 다수의 롤러(452)의 상부에서 이동되는 평판패널(120)이 정지부(442)에 의해서 이동이 중지되고, 정지부(442)의 양측에 위치한 제 1 및 제 2 가이드(434a, 434b)가 평판패널(120)을 사이에 놓고 서로 대향하는 방향으로 이동하여 평판패널(120)을 정렬시킨다.
적하단계(S04 단계)는 제 2 이동수단(540)을 이용하여 평판패널(120)을 제 2 세정부(400)로부터 인입수단(520)으로 이동시키는 단계와 인입수단(520)에 의해 평판패널(120)을 제 2 스테이지(510)에 적재된 카세트(130)에 인입시키는 단계를 포함하여 수행된다.
평판패널(120)을 인입수단(520)에 이동시키는 단계에서는, 제 2 이동수단(540)이 제 2 세정부(400)의 정렬부(440)에 위치한 평판패널(120)을 진공흡착한 후, 이동시켜 인입수단(520)에 위치시킨다. 인입수단(220)은 제 2 연동부(522), 인입부(524) 및 제 2 흡착부(526)로 구성되고, 제 2 이동수단(540)에 의해 이동된 평판패널(120)은 제 2 흡착부(526)에 진공으로 흡착된다.
평판패널(120)을 카세트(130)에 인입시키는 단계에서는, 인입부(524)가 카세트(130)에 인입되어 평판패널(120)을 슬롯(134)에 위치시킨다. 지지판(512a)에 적재된 카세트(130)는 순차적으로 평판패널(120)이 인입됨에 따라 제 2 승강대(512b)가 순차적으로 하강하여 카세트(130)와 제 2 지지판(512a)은 제 2 함몰부(514)의 내부에 수용되고, 최종적으로 카세트(130)이 적하부(500)의 외부로 반출된다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (22)

  1. 배면과 전면을 가지는 평판패널이 공급되는 적재부;
    상기 배면을 진공흡착으로 고정하여 상기 평판패널을 이동시키는 제 1 홀더와, 상기 제 1 홀더로 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 전면을 세정하는 제 1 세정수단과, 상기 전면을 진공흡착으로 고정하여 상기 평판패널을 이동시키는 제 2 홀더와, 상기 제 2 홀더로 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 배면을 세정하는 제 2 세정수단을 포함하는 제 1 세정부; 및
    상기 평판패널을 반출하는 적하부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 적재부는,
    다수의 상기 평판패널이 수납된 수납수단이 위치하는 스테이지;
    상기 수납수단으로부터 상기 평판패널을 인출하는 인출수단; 및
    상기 인출수단에 의해 인출된 상기 평판패널을 제 1 축선 상에서 상기 세정부로 이동시키는 이동수단;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 축선 상에서 상기 인출수단을 안내하는 안내축을 포함하는 것을 특징으로 평판패널의 세정장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 인출수단은,
    상기 안내축을 따라 이동 가능한 연동부;
    상기 연동부의 상부에 설치되고, 상기 수납수단의 상기 평판패널을 인출하기 위하여 상기 제 1 축선과 수직한 제 2 축선 상에서 왕복 운동하는 인출부; 및
    상기 인출부의 단부에 설치되고 상기 평판패널의 배면을 진공흡착하여 고정시키는 흡착부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 스테이지는 함몰부와 상기 함몰부에 위치하고 안착부를 포함하고, 상기 안착부는 상기 수납수단이 위치하는 지지판과 상기 지지판을 승강시키는 승강대를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 이동수단은, 상기 인출수단에 의해 인출된 상기 평판패널의 전면을 진공으로 흡착하여 이동시키는 피커를 사용하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 홀더에 의해서 상기 평판패널이 이동되는 과정에서 상기 제 1 세정수단에 의해서 상기 평판패널의 상기 전면이 브러싱 및 세정되고, 상기 제 2 홀더에 의해서 상기 평판패널이 이동되는 과정에서 상기 제 2 세정수단에 의해서 상기 평판패널의 상기 배면이 브러싱 및 세정되는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 세정수단은 상기 평판패널의 전면을 브러싱하는 제 1 브러싱부 및 상기 평판패널의 전면에 세정액을 공급하는 제 1 분사부를 포함하고, 상기 제 2 세정수단은 상기 평판패널의 배면을 브러싱하는 제 2 브러싱부 및 상기 평판패널의 배면에 세정액을 공급하는 제 2 분사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 브러싱부 각각에 윤활 또는 세정액을 공급하는 제 1 및 제 2 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 평판패널의 상기 배면과 전면을 린스하고 건조시키는 제 2 세정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 2 세정부는,
    상기 평판패널을 이동시키는 이송부;
    상기 평판패널의 상기 배면 및 전면을 린스하는 린스부;
    상기 평판패널의 상기 배면 및 전면을 건조하는 건조부; 및
    상기 평판패널을 정렬시키는 정렬부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 이송부는,
    서로 대향하는 제 1 및 제 2 프레임;
    상기 제 1 및 제 2 프레임에 회전 가능하게 설치되는 다수의 롤러;
    상기 다수의 롤러 각각의 단부에 설치되는 다수의 단부자석;
    상기 제 1 및 제 2 프레임 각각과 평행하고 상기 다수의 단부자석의 하부에 설치되는 제 1 및 제 2 회전축; 및
    상기 다수의 단부자석과 대응되며 상기 제 1 및 제 2 회전축 각각에 설치되는 다수의 자석롤러;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 린스부는,
    상기 다수의 롤러의 상부에 설치되고 상기 평판패널의 상기 전면을 린스하는 상부 린스부; 및
    상기 다수의 롤러의 하부에 설치되고 상기 다수의 롤러 사이에서 린스액을 공급하는 하부 린스부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 건조부는,
    상기 다수의 롤러의 상부에 설치되고 상기 평판패널의 상기 전면을 고온의 공기를 분사하는 상부 건조부; 및
    상기 다수의 롤러의 하부에 설치되고 상기 다수의 롤러 사이에서 고온의 공기를 분사하는 하부 건조부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 정렬부는,
    상기 평판패널의 이동을 중지시키는 중지부; 및
    상기 이송부 상에서 정렬을 위하여 상기 평판패널을 이동시키는 이동 가이드;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 중지부는 상기 적하부에 인접한 상기 다수의 롤러 사이에 설치되고, 상기 이동 가이드는 상기 중지부의 양측에 설치되고 상기 다수의 롤러 사이에서 돌출되는 다수의 돌출부로 구성되는 제 1 및 제 2 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 적하부는,
    다수의 상기 평판패널이 인입되는 수납수단이 위치하는 스테이지;
    상기 평판패널을 상기 수납수단에 인입시키는 인입수단; 및
    상기 평판패널을 상기 제 1 세정부에서 상기 인입수단을 이동시키는 이동수단;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정장치.
  18. 적재부에 배면과 전면을 가지는 평판패널을 공급하는 공급단계;
    상기 평판패널을 상기 적재부에서 제 1 세정부로 이동시키고, 제 1 홀더에 의하여 상기 배면을 진공흡착으로 고정하여 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 전면을 제 1 세정수단에 의해서 세정하고, 제 2 홀더에 의하여 상기 전면을 진공흡착으로 고정하여 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 배면을 제 2 세정수단에 의해서 세정하는 제 1 세정단계; 및
    상기 평판패널을 상기 제 1 세정부에서 적하부로 이동시키고, 상기 평판패널을 반출하는 적하단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 공급단계는,
    스테이지에 적재된 수납수단에서 인출수단을 이용하여 상기 평판패널을 인출하는 단계; 및
    상기 인출수단에 의해서 인출된 상기 평판패널을 이동수단을 이용하여 상기 제 1 세정부로 이동시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법.
  20. 제 18 항에서 있어서,
    상기 제 1 세정단계는,
    상기 제 1 홀더를 이용하여 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 전면을 브러싱하는 단계;
    상기 제 1 홀더를 이용하여 상기 평판패널을 이동시키면서 세정액을 공급하여 상기 전면에 세정하는 단계;
    상기 제 2 홀더를 이용하여 상기 평판패널을 이동시키면서 상기 배면을 브러싱하는 단계; 및
    상기 제 2 홀더를 이용하여 상기 평판패널을 이동시키면서 세정액을 공급하여 상기 배면을 세정하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법.
  21. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 세정단계 후에,
    상기 평판패널을 상기 제 1 세정부에서 제 2 세정부로 이동시키고, 상기 평판패널의 상기 배면과 전면을 린스하고 건조시키는 제 2 세정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 제 2 세정단계는,
    다수의 롤러로 구성되는 이송부를 이용하여 상기 평판패널을 이동시키면서, 상기 이송부의 상부 및 하부에서 린스액을 공급하여 상기 평판패널의 전면 및 배면을 린스하는 단계;
    상기 이송부를 이용하여 상기 평판패널을 이동시키면서, 상기 이송부의 상부 및 하부에서 고온의 공기를 공급하여 상기 평판패널의 전면 및 배면을 건조하는 단계; 및
    상기 평판패널의 이동을 중지시키고 상기 이송부 상에 평판패널을 정렬시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널의 세정방법.
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