KR101229799B1

KR101229799B1 - 레이저 리페어 장치

Info

Publication number: KR101229799B1
Application number: KR1020110049745A
Authority: KR
Inventors: 박노중; 임재우
Original assignee: (주)펨트론
Priority date: 2011-05-25
Filing date: 2011-05-25
Publication date: 2013-02-05
Also published as: KR20120131526A

Abstract

디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 검사하고 리페어하는 레이저 리페어 장치에 있어서, 레이저 리페어 장치는 검사 전의 상기 디스플레이 모듈이 안착되는 정렬 안착부와; 검사된 상기 디스플레이 모듈이 안착되어 언로딩(unloading)되도록 대기하는 언로딩 안착부와; 검사 전의 복수 개의 디스플레이 모듈이 장착된 카세트를 로딩(loading)시키며, 상기 카세트 내의 상기 디스플레이 모듈을 순차적으로 상기 정렬 안착부로 이송하는 로딩부와; 상기 언로딩 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 외부로 언로딩하는 언로딩부와; 한 쌍의 안착부를 구비하며, 상기 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 확인하도록 상기 디스플레이 모듈이 위치하는 검사 위치와, 상기 검사 위치로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈 또는 검사 후 상기 언로딩 안착부로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈이 이송 대기하는 대기 위치 간을 상기 한 쌍의 안착부가 상호 이동 가능하게 180˚ 회전시키는 회전 모듈을 포함하는 인덱스 테이블과; 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에서 흡착 해제하는 제1 흡착부와, 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부의 검사 후의 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 언로딩 안착부에서 흡착 해제하는 제2 흡착부와, 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부를 동시에 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착되어 있는 검사 전 상기 디스플레이 모듈은 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부로 검사 후 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈은 상기 언로딩 안착부로 이송되게 하는 이송 모듈을 포함하는 이송 유닛과, 상기 카세트로부터 로딩되어 상기 정렬 안착부로 이송된 상기 디스플레이 모듈을 정렬하도록 얼라인 유닛과, 상기 검사 위치에 위치한 상기 안착부에 안착된 검사 전의 상기 디스플레이 모듈을 점등시켜 불량 픽셀을 확인하는 프루브 유닛을 포함한다. 이에 따라, 검사 전의 디스플레이 모듈과 검사 후의 디스플레이 모듈을 동시에 이송함으로써, 공정 시간을 단축함과 동시에 순차적으로 검사 및 리페어 과정을 진행할 수 있어 공정 시간을 단축하여 생산성을 높일 수 있다.

Description

레이저 리페어 장치{LASER REPAIR DEVICE}

본 발명은 레이저 리페어 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부로부터 유입되는 디스플레이 모듈을 순차적으로 이송하면서도 장치 내에서 디스플레이 모듈을 정렬함과 동시에 검사 및 리페어하는 장치에 관한 것이다.

디스플레이 모듈(Display Module)의 제조시, 수많은 미세 픽셀들 중 한 개라도 결함이 있으면 디스플레이 모듈로서의 제 기능을 수행하지 못하므로 불량품 또는 등급하락으로 처리된다. 이와 같이 디스플레이 모듈의 일부 픽셀에만 결함이 발생하였는데도 불구하고 디스플레이 모듈을 불량품으로 폐기하거나 등급 하락의 처분을 받는 것은 수율 측면에서 비효율적이다.

따라서, 상술된 문제점을 해결하기 위해 디스플레이 모듈의 불량을 확인한 후 리페어 하는 과정이 도입되었다. 여기서, 디스플레이 모듈의 제조공정 중에는 디스플레이 모듈의 불량을 확인하기 위한 디스플레이 모듈 검사공정이 있다.

이러한 디스플레이 모듈 검사시 최근에는 검사장비로 수작업이 아닌 초고속설비(AVT : Auto Vition Type)를 이용하고 있으며, 초고속설비에 의하여 약 2.5초 만에 디스플레이 모듈을 자동으로 검사하여 디스플레이 모듈의 하나의 불량 예인 픽셀이 깜박깜박하는 이상방전현상을 나타내는 불량(멸점불량) 등을 확인할 수 있다.

상기와 같이 디스플레이 모듈 검사공정에서 멸점 불량 등의 픽셀 불량이 발견되는 경우에는 디스플레이 모듈의 불량 위치의 맵 데이타(Map Data)를 확보하여 리페어 장치로 송신하게 된다. 따라서, 리페어 장치로 이송된 디스플레이 모듈은 맵 데이타를 이용하여 불량 픽셀에 대한 리페어를 행하는 즉, 불량 픽셀을 암점화하여 양품화하는 리페어 과정을 수행 받게 된다.

종래에는 하나의 디스플레이 모듈을 디스플레이 모듈 검사장치에서 불량 픽셀을 확인하여 표시하고, 리페어 장치에서 리페어 가공을 수행한 후 카세트로 이송하기 때문에 많은 시간이 소요되고, 그에 따라 생산성의 저하가 발생한다.

또한, 불량 픽셀 검사공정과 리페어 공정을 나누어 각각의 공정을 효율화하더라도 여전히 리페어 공정에서는 하나의 디스플레이 모듈을 순차적으로 이송하면서 리페어 공정을 수행하기에 많은 시간이 소요되고, 그에 따라 여전히 생산성의 저하의 문제점이 발생된다.

특히, 이하에서 살펴볼 리페어 장치 내에 이용되는 도 1의 종래의 디스플레이 모듈의 이송의 개념도를 살펴보면 상기 문제를 확연히 알 수 있다.

도 1을 참조하여 살펴보면, 로딩된 디스플레이 모듈(2)은 제1 위치(Ⅰ)에서 정렬이 이루어지고, 제2 위치(Ⅱ)에서 비전 얼라인 유닛(5)을 통하여 디스플레이 모듈(2)의 정확한 위치 값을 파악 및 보정되며, 제3 위치(Ⅲ)에서 프루브 유닛(6)을 통하여 디스플레이 모듈(2)을 점등시켜 불량 픽셀을 파악하고 리페어하게 된다.

그리고, 리페어된 디스플레이 모듈(2)은 제4 위치(Ⅳ)로 이송되어 언로더 그리퍼(Unloader Gripper)(8)에 의하여 외부로 언로딩되게 된다.

그러나, 제3 위치(Ⅲ)에서 디스플레이 모듈(2)의 불량 픽셀을 확인하지 못하게 되면 디스플레이 모듈의 하면 측에서 불량 픽셀을 확인하여야 하는바, 제4 위치(Ⅳ)에서 디스플레이 모듈을 180˚ 회전하여 디스플레이 모듈의 상면과 하면의 위치가 전환된 후 다시 제1 위치(Ⅰ)로 디스플레이 모듈은 이송되어 상술된 과정을 다시 진행하게 된다.

따라서, 리페어 공정을 수행하기에 많은 시간이 소요되어 시간의 효율성이 떨어지며, 그에 따라 생산성의 저하의 문제점이 발생된다.

또한, 상술된 과정은 순차적으로 진행되기 때문에 상기 제3 위치(Ⅲ)에서 반전된 디스플레이 모듈이 제1 위치(Ⅰ) 위치로 이송되면, 로딩되어 제1 위치(Ⅰ)로 이송되려던 디스플레이 모듈이 이송될 수 없고, 또한 로딩되어 순차적으로 이송되던 디스플레이 모듈이 제3 위치(Ⅲ)에서 반전되어 제1 위치(Ⅰ) 위치로 이송되는 디스플레이 모듈에 의하여 진행이 연기되어 순서상에 오류가 발생하는 문제가 있다.

이에, 본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 디스플레이 모듈을 순차적으로 정렬 작업, 불량 픽셀 확인 및 리페어의 과정을 수행시키면서도 검사 전의 디스플레이 모듈과 검사 후의 디스플레이 모듈을 동시에 이송함으로써, 공정 시간을 단축함과 동시에 순차적으로 진행할 수 있도록 작업공정을 구성하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 디스플레이 모듈의 크기에 따라 하나의 장치에서 불량 픽셀 확인과 리페어 과정을 진행할 수 있도록 기 설정된 위치에 디스플레이 모듈이 위치할 수 있도록 정렬하여 리페어 과정을 순차적으로 진행하는데 그 목적이 있다.

상기 목적은 본 발명에 따라, 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 검사하고 리페어하는 레이저 리페어 장치에 있어서, 검사 전의 상기 디스플레이 모듈이 안착되는 정렬 안착부와; 검사된 상기 디스플레이 모듈이 안착되어 언로딩(unloading)되도록 대기하는 언로딩 안착부와; 검사 전의 복수 개의 디스플레이 모듈이 장착된 카세트를 로딩(loading)시키며, 상기 카세트 내의 상기 디스플레이 모듈을 순차적으로 상기 정렬 안착부로 이송하는 로딩부와; 상기 언로딩 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 외부로 언로딩하는 언로딩부와; 한 쌍의 안착부를 구비하며, 상기 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 확인하도록 상기 디스플레이 모듈이 위치하는 검사 위치와, 상기 검사 위치로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈 또는 검사 후 상기 언로딩 안착부로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈이 이송 대기하는 대기 위치 간을 상기 한 쌍의 안착부가 상호 이동 가능하게 180˚ 회전시키는 회전 모듈을 포함하는 인덱스 테이블과; 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에서 흡착 해제하는 제1 흡착부와, 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부의 검사 후의 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 언로딩 안착부에서 흡착 해제하는 제2 흡착부와, 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부를 동시에 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착되어 있는 검사 전 상기 디스플레이 모듈은 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부로 검사 후 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈은 상기 언로딩 안착부로 이송되게 하는 이송 모듈을 포함하는 이송 유닛과, 상기 카세트로부터 로딩되어 상기 정렬 안착부로 이송된 상기 디스플레이 모듈을 정렬하도록 얼라인 유닛과, 상기 검사 위치에 위치한 상기 안착부에 안착된 검사 전의 상기 디스플레이 모듈을 점등시켜 불량 픽셀을 확인하는 프루브 유닛을을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치에 의하여 달성된다.

여기서, 상기 이송 모듈은 상기 제1 흡착부를 승강이동시키는 제1 흡착이동부와; 상기 제2 흡착부를 승강이동시키는 제2 흡착이동부와; 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부가 동시에 이동될 수 있도록 상기 제1 흡착이동부 및 상기 제2 흡착이동부와 결합되는 결합부재와; 상기 정렬 안착부로부터 상기 대기 위치의 상기 안착부로 상기 디스플레이 모듈이 이송되는 방향인 X축 방향으로 상기 결합부재를 이동시켜 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부가 상기 X축 방향으로 이동되게 하는 X축 결합부재 이동부와; 수평면상에서 상기 X축 방향의 수직방향인 Y축 방향으로 상기 결합부재를 이동시켜 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부가 상기 Y축 방향으로 이동되게 하는 Y축 결합부재 이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 얼라인 유닛은 상기 정렬 안착부에 이동가능하게 돌출되어 상기 X축 방향으로 나란히 배치되는 한 쌍의 X축 돌기부재와; 상기 한 쌍의 X축 돌기부재가 상호 접근하도록 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 상기 X축 방향의 중심으로 정렬하는 X축 돌기 이송유닛과; 상기 정렬 안착부에 이동가능하게 돌출되어 상기 Y축 방향으로 나란히 배치되는 한 쌍의 Y축 돌기부재와; 상기 한 쌍의 Y축 돌기부재가 상호 접근하도록 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 상기 Y축 방향의 중심으로 정렬하는 Y축 돌기 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 얼라인 유닛은 상기 디스플레이 모듈의 크기에 따라 상기 이송 유닛에 의하여 상기 정렬 안착부에 안착되어 있는 상기 디스플레이 모듈이 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부의 기 설정된 위치로 이송될 수 있도록 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈이 Y축 방향으로 이송되게 하는 Y축 이송유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 인덱스 테이블은 상기 검사 위치에 위치하는 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈의 상면과 하면의 위치 전환이 되게 상기 디스플레이 모듈을 180˚ 회전시키는 안착부 회전체를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

한편, 상기 프루브 유닛은 상기 검사 위치의 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 점등시키는 프루브 카드와; 경사를 갖는 하부 단층면을 구비하는 하부 블럭과; 상기 하부 단층면에 맞닿은 상부 단층면을 구비하는 상부 블럭과; 상기 프루브 카드가 상기 디스플레이 모듈에 탈착가능하게 하도록 상기 하부 블럭 또는 상부 블럭을 밀거나 당겨 상기 하부 단층면을 따라 상기 상부 블럭이 승강 운동하게 하는 승강구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 검사 위치에 위치하는 상기 안착부의 상기 디스플레이 모듈을 상기 프루브 유닛이 점등시키도록 상기 안착부에 안착된 검사 전의 상기 디스플레이 모듈의 정확한 위치값을 파악하여 상기 프루브 유닛이 상기 디스플레이 모듈을 점등하는 위치를 보정하는 비전 얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 프루브 유닛에 의하여 점등된 상기 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 레이저로 리페어하는 레이저 리페어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 레이저 리페어부는 상기 검사 위치에 위치하는 상기 디스플레이 모듈의 상면 위에 배치되어 상기 디스플레이 모듈의 상면에서 불량 픽셀을 확인하는 상부 렌즈와; 상기 검사 위치에 위치하는 상기 디스플레이 모듈의 하면 아래에 배치되어 상기 디스플레이 모듈의 하면에서 불량 픽셀을 확인하는 하부 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 언로딩부는 상기 언로딩 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 불량 디스플레이 모듈과 정상 디스플레이 모듈로 구분하여 불량 카세트와 정상 카세트로 언로딩(unloading)시키며, 상기 불량 카세트와 상기 정상 카세트를 외부로 언로딩하는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 구성에 따라, 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치는 검사 전의 디스플레이 모듈과 검사 후의 디스플레이 모듈을 동시에 이송함으로써, 공정 시간을 단축함과 동시에 순차적으로 진행할 수 있어 공정 시간을 단축하여 생산성을 높일 수 있다.

또한, 디스플레이 모듈의 크기에 따라 하나의 장치에서 리페어 과정을 순차적으로 진행할 수 있도록 얼라인 유닛을 이용하여 기 설정된 위치에 디스플레이 모듈이 위치할 수 있도록 정렬할 수 있다.

그리고, 안착부에 회동가능하게 결합되는 안착부 회전체는 검사 위치에 위치하는 안착부에 안착된 디스플레이 모듈의 상면에서 불량 픽셀의 판단이 어려운 경우 하면에서 불량 픽셀을 검사할 수 있도록 디스플레이 모듈의 Y축 중심을 기준으로 180˚ 회전시킬 수 있기 때문에 즉, 불량 픽셀의 판단시 디스플레이 모듈의 양 방향에서 불량 픽셀을 확인할 수 있어 불량 픽셀을 확인하는 정확도를 높일 수 있다.

도 1은 종래의 디스플레이 모듈의 이송의 개념도이고,
도 2는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치를 나타낸 사시도이고,
도 3는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치에서 디스플레이 모듈이 이동되는 상태를 나타낸 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치에 카세트가 로딩되는 동작을 나타내는 도면이고,
도 5는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 디스플레이 모듈 로딩부 및 언로딩부를 나타낸 확대도이고,
도 6 내지 도 7은 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 얼라인 유닛을 나타낸 사시도, 배면사시도이고,
도 8은 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 얼라인 유닛 및 인덱스 테이블을 나타낸 평면도이고,
도 9는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 인덱스 테이블을 나타낸 사시도이고,
도 10은 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 인덱스 테이블의 일부분을 확대해서 나타낸 도면이고,
도 11 내지 도 12는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 이송 유닛을 나타낸 사시도 및 평면도이고,
도 13 내지 도 14는 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 프루브 유닛을 나타낸 사시도 및 평면도이고,
도 15 내지 도 16은 도 14의 C-C 선의 단면을 통하여 프루프 유닛의 승강이동을 나타낸 도면이고,
도 17 내지 도 18은 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치의 레이저 리페어부를 나타낸 사시도 및 배면도이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 여기서, 본 발명에 따른 실시예들을 설명하는데 있어, 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 사용하며, 필요에 따라 그 설명은 생략할 수 있다.

도 2 및 도 3을 참조하여 살펴보면, 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)는 본체(10), 로딩부(100), 얼라인 유닛(200), 프루브 유닛(300), 인덱스 테이블(400), 이송 유닛(500), 비전 얼라인부(600), 언로딩부(700), 언로딩 안착부(800) 및 레이저 리페어부(900)를 포함한다. 그리고, 얼라인 유닛(200)은 정렬 안착부(220)를, 인덱스 테이블(400)은 한 쌍의 안착부(410)를 포함한다.

여기서, 한 쌍의 안착부(410)에는 디스플레이 모듈(2)이 안착되며, 인덱스 테이블(400)은 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)이 디스플레이 모듈(2)의 불량 픽셀을 확인하도록 디스플레이 모듈(2)이 위치하는 검사 위치와, 검사 위치로 이송되기 전의 디스플레이 모듈(2) 또는 검사 후 언로딩 안착부(800)로 이송되기 전의 디스플레이 모듈(2)이 이송 대기하는 대기 위치 간을 상호 이동되게 한다.

정렬 안착부(220)로부터 대기 위치에 위치하는 안착부(410)로 디스플레이 모듈(2)이 이송되는 방향을 X축 방향, 수평면상에서 X축 방향의 수직방향을 Y축 방향 및 X-Y축상의 평면에 수직방향인 Z축 방향으로 하여 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)를 설명하는데 있어서 이해를 돕도록 한다.

로딩부(100)는 검사 전의 복수 개의 디스플레이 모듈(2)이 장착된 카세트(3)를 로딩(loading)시키는 카세트 로딩부(110)와 카세트 로딩부(110)에 의하여 이송된 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 순차적으로 정렬 안착부(220)로 이송하는 디스플레이 모듈 로딩부(120)를 포함한다.

도 4를 참조하여 살펴보면, 카세트 로딩부(110)는 카세트(3)를 수용하는 카세트 수용부(111), 카세트 수용부(111)에 결합되는 카세트 회전축부(112), 카세트 회전축부(112)에 연결되어 카세트 회전축부(112)를 기준으로 카세트 수용부(111)가 도 4에 도시된 바와 같이 틸트(tilt) 운동을 하도록 가압하는 카세트 실린더(113) 및 카세트 Z축 무빙 유닛(114)을 포함한다. 여기서, 카세트 Z축 무빙 유닛(114)은 카세트(3)를 Z축 방향으로 승강 이동시켜 디스플레이 모듈 이송부(120)가 기 설정된 위치의 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 용이하게 인출할 수 있도록 한다.

도 5를 참조하여 살펴보면, 디스플레이 모듈 로딩부(120)는 흡착판(121)을 구비하는 탈착 유닛(122), 탈착 유닛 X축 이동부(123), 탈착 유닛 Y축 이동부(124), 탈착부(125), 탈착부 Z축 이동부(126), 탈착부 LM가이드(127)를 포함한다.

탈착 유닛(122)은 탈착 유닛 X축 이동부(123)와 탈착 유닛 Y축 이동부(124)에 의하여 탈착 유닛 X축 이동부(123)와 탈착 유닛 Y축 이동부(124)에 의한 이동범위 내에서 X축 방향과 Y축 방향으로 자유롭게 움직인다.

따라서, 탈착 유닛(122)은 기 설정된 위치의 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 흡착판(121)을 이용하여 흡착하고, 탈착 유닛 X축 이동부(123)와 탈착 유닛 Y축 이동부(124)에 의하여 탈착부(125)로 인계할 수 있는 위치로 디스플레이 모듈(2)을 이송되게 한다.

또한, 탈착부(125)는 흡착 유닛(미도시)를 구비하여 탈착 유닛(122)에 의하여 이송된 디스플레이 모듈(2)을 흡착한다.

그리고, 탈착부(125)와 결합하여 탈착부(125)를 Z축 방향으로 이동가능하게 하는 탈착부 Z축 이동부(126), 탈착부 Z축 이동부(126)와 결합하여 탈착부(125)에 흡착된 디스플레이 모듈(2)을 정렬 안착부(220)로 이송되도록 안내하는 탈착부 LM가이드(127) 및 탈착부(125)가 탈착부 LM가이드(127)를 따라 이동하게 하는 구동부(미도시)를 이용하여 탈착부(125)에 흡착된 디스플레이 모듈(2)이 정렬 안착부(220)에 안착되게 한다.

상술된 바와 같이 기 설정된 위치의 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 인출하여 정렬 안착부(220)로 이송하는데 있어서 디스플레이 모듈 로딩부(120)를 그 예로 하였으나, 반드시 이에 한정되지 않고 그리퍼(미도시) 등을 이용하여 기 설정된 위치의 카세트(3) 내의 디스플레이 모듈(2)을 빼내어 정렬 안착부(220)로 이송할 수 있음은 물론이다.

또한, 언로딩부(700)는 검사 후의 언로딩 안착부(800)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 불량 디스플레이 모듈(2)과 정상 디스플레이 모듈(2)로 구분하여 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)로 언로딩(unloading)시키며, 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)를 외부로 언로딩하는 것을 특징으로 한다.

여기서, 언로딩부(700)는 검사 후의 디스플레이 모듈(2)이 장착된 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)를 외부로 언로딩시키는 카세트 언로딩부(710)와 카세트 언로딩부(710)로 검사 후의 언로딩 안착부(800)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)로 이송하는 디스플레이 모듈 언로딩부(720)를 포함한다.

여기서, 카세트 언로딩부(710)는 불량 카세트(3a)와 정상 카세트(3b)를 수용하는 카세트 수용부(711), 카세트 수용부(711)에 결합되는 카세트 회전축부(712), 카세트 회전축부(712)에 연결되어 카세트 회전축부(712)를 기준으로 카세트 수용부(711)가 도 4에 도시된 바와 같이 틸트(tilt) 운동을 하도록 가압하는 카세트 실린더(713) 및 카세트 Z축 무빙 유닛(714)을 포함한다.

디스플레이 모듈 언로딩부(720)는 흡착판(721)을 구비하는 탈착 유닛(722), 탈착 유닛 X축 이동부(723), 탈착 유닛 Y축 이동부(724), 탈착부(725), 탈착부 Z축 이동부(726), 탈착부 LM가이드(727)를 포함한다.

언로딩부(700)의 카세트 언로딩부(710)는 카세트 로딩부(110)에, 디스플레이 모듈 언로딩부(720) 디스플레이 모듈 이송부(120)에 대응되는 바, 언로딩부(700)는 로딩부(100)와 달리 디스플레이 모듈(2)을 카세트로 언로딩한다는 차이가 있을 뿐 언로딩부(700)의 구성요소는 로딩부(100) 동일 및 대응되기 때문에 언로딩부(700)의 구성요소에 대한 설명은 생략하기로 한다.

도 6 내지 도 7을 참조하여 살펴보면, 얼라인 유닛(200)은 얼라인 유닛 프레임(210), 정렬 안착부(220), X축 돌기부재(230), Y축 돌기부재(240), X축 돌기 이송유닛(250), Y축 돌기 이송유닛(260), X축 이송유닛(270) 및 Y축 이송유닛(280)을 포함한다.

정렬 안착부(220)에는 로딩부(100)에 의하여 이송된 디스플레이 모듈(2)이 안착한다. 여기서, 정렬 안착부(220)에는 X축 방향으로 나란히 배치되는 한 쌍의 X축 돌기부재(230)와 Y축 방향으로 나란히 배치되는 Y축 돌기부재(240)가 돌출되어 배치되도록 가이드 홈(211)이 형성될 수 있다.

도 6 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서는 2개의 X축 돌기부재(230) 한 쌍과 2개의 Y축 돌기부재(240) 한 쌍이 도시되어 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 한 개 또는 다수 개의 돌기부재(230, 240)가 한 쌍을 이루어 배치될 수 있음은 물론이다.

즉, 로딩부(100)에 의하여 이송된 디스플레이 모듈(2)은 정렬 안착부(220)에 돌출되어 배치된 X축 돌기부재(230)와 Y축 돌기부재(240) 사이에 위치되도록 로딩부(100)에 의하여 안착된다.

그리고, X축 돌기 이송유닛(250)은 한 쌍의 X축 돌기부재(230)를 상호 접근 또는 이격되도록 이동시킨다. 또한, Y축 돌기 이송유닛(260)은 한 쌍의 Y축 돌기부재(240)를 상호 접근 또는 이격되도록 이동시킨다. 따라서, X축 돌기부재(230)와 Y축 돌기부재(240) 사이에 위치하는 디스플레이 모듈(2)은 X축 돌기부재(230)와 Y축 돌기부재(240)가 상호 접근함으로써 정렬 안착부(220)의 중심에 정렬되게 된다.

여기서, X축 돌기 이송유닛(250)은 X축 돌기부재(230)와 결합되는 X축 돌기부재 연결바(251), X축 돌기부재 연결바(251)와 결합되어 X축 돌기부재 연결바(251)가 상호 이격 또는 접근하도록 배치된 X축 돌기 이송 볼 스크류(252) 및 X축 돌기 이송 볼 스크류(252)를 구동시키는 모터(253)를 포함할 수 있다.

또한, Y축 돌기 이송유닛(260)은 Y축 돌기부재(240)와 결합되는 Y축 돌기부재 연결바(261), Y축 돌기부재 연결바(261)와 결합되어 Y축 돌기부재 연결바(261)가 상호 이격 또는 접근하도록 배치된 Y축 돌기 이송 볼 스크류(262) 및 Y축 돌기 이송 볼 스크류(262)를 구동시키는 모터(263)를 포함할 수 있다.

따라서, X축 돌기 이송유닛(250)와 Y축 돌기 이송유닛(260) 각각은 X축 돌기 이송유닛(250)와 Y축 돌기 이송유닛(260) 각각의 X축 돌기부재 연결바(251)와 Y축 돌기부재 연결바(261)를 상호 접근시킴으로써, X축 돌기부재(230)와 Y축 돌기부재(240) 각각을 상호 접근시켜 디스플레이 모듈(2)을 정렬한다.

도 8을 참조하여 살펴보면, X축 이송유닛(270)과 Y축 이송유닛(280)은 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 이송 유닛(500)에 의하여 정렬 안착부(220)에 안착되어 있는 디스플레이 모듈(2)이 대기 위치에 위치하는 안착부(410)의 기 설정된 위치(line A, line B)로 이송될 수 있도록 정렬 안착부(220)에 안착된 디스플레이 모듈(2)이 X축 방향 및 Y축 방향으로 각각 이송되게 한다.

즉, 도 8에 도시된 바와 같이 작은 크기의 디스플레이 모듈(2)은 정렬 안착부(220)의 중심에 정렬되어 이송 유닛(500)에 의하여 디스플레이 모듈(2)이 대기 위치에 위치하는 안착부(410)로 이송되어 안착될 때 Y축 이송유닛(280)에 의하여 기 설정된 위치(line A)에 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 맞추게 된다.

따라서, 이송 유닛(500)에 의하여 기 설정된 위치(line A)에 정렬된 디스플레이 모듈(2)이 대기 위치에 위치하는 안착부(410)로 이송되게 되면 계속적으로 작은 크기의 디스플레이 모듈(2)을 이송할 수 있게 된다.

또한, 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 Y축 이송유닛(280)에 의하여 기 설정된 위치(line A)에 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 맞춤으로써 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에서 재정렬할 필요가 없기 때문에 공정의 효율성을 높일 수 있다.

또한, 후술될 이송유닛(500)에 있어서, 결합부재(550)의 폭은 일정하기 때문에 이송유닛(500)에 의하여 이송되는 디스플레이 모듈(2)의 이송범위가 한정되게 된다. 따라서, 인덱스 테이블(400)의 안착부(410)의 기 설정된 위치(line B)로 디스플레이 모듈(2)이 이송될 수 있도록 X축 이송유닛(270)은 얼라인 유닛(200)의 기 설정된 위치(line B)에 정렬 안착부(220)에 안착되는 디스플레이 모듈(2)의 중심이 위치하도록 조정될 수 있게 한다.

즉, X축 이송유닛(270)은 정렬 안착부(220), X축 돌기부재(230), Y축 돌기부재(240), X축 돌기 이송유닛(250) 및 Y축 돌기 이송유닛(260)의 하부에 배치되어 정렬 안착부(220), X축 돌기부재(230), Y축 돌기부재(240), X축 돌기 이송유닛(250) 및 Y축 돌기 이송유닛(260) 전부를 X축 방향으로 이동시킴으로써 얼라인 유닛(200)의 기 설정된 위치(line B)에 정렬 안착부(220)에 안착되는 디스플레이 모듈(2)의 중심이 위치하도록 조정될 수 있게 한다.

또한, Y축 이송유닛(280)은 X축 이송유닛(270)의 하부에 배치되어 X축 이송유닛(270)을 Y축 방향을 이동시킴으로써 기 설정된 위치(line A)에 디스플레이 모듈(2)의 일측면이 정렬될 수 있도록 한다.

도 9 내지 도 10을 참조하여 살펴보면, 인덱스 테이블(400)은 한 쌍의 안착부(410), 회전 모듈(420) 및 회전 가이드(430)를 포함한다.

여기서, 안착부(410)는 불량 픽셀 검사홀(411), 안착턱(412), 안착 프레임(413), 가압프레임(4140, 가압부재(415), 가압프레임 이송 볼 스크류(416) 및 가압프레임 구동부(417)을 포함한다.

그리고, 도 10에 도시된 바와 같이 안착프레임(413)은 내측에 불량 픽셀 검사홀(411)이 형성된 사각틀의 형상으로 형성된 것을 일 예로 하며, 안착부(410)의 내측 일측면에 안착턱(412)이 형성된 것을 특징으로 한다. 여기서, 불량 픽셀 검사홀(411)은 디스플레이 모듈(2)에 따라 다양한 형태의 틀 형상을 포함할 수 있음은 물론이다.

또한, 회전 모듈(420)은 인덱스 테이블 프레임(421), 안착부 회전체(422) 및 회전 유닛(423)을 포함한다.

한 쌍의 안착부(410)에는 안착부(410)를 회전시킬 수 있는 안착부 회전체(423)가 각각 결합되며, 안착부 회전체(423)는 인덱스 테이블 프레임(421)에 결합된다. 그리고, 인덱스 테이블 프레임(421)의 하부에는 인덱스 테이블 프레임(421)을 회전시키는 회전부(422)가 장착된다.

따라서, 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)은 인덱스 테이블 프레임(421)의 회전에 따라 180˚ 회전하여 대기 위치와 검사 위치 간을 상호 이동하게 된다.

한편, 이송 유닛(500)에 의하여 이송된 디스플레이 모듈(2)의 일측은 안착부(410)의 안착턱(412)에 안착되고 타측은 안착부(410)의 안착턱(412)에 대향하는 방향에 배치되는 가압프레임(414)에 안착된다.

여기서, 인덱스 테이블(400)은 안착턱(412) 및 가압프레임(414)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 정렬 및 고정하도록 가압프레임(414)의 내측 즉, 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 가압하는 방향으로 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 가압하는 가압부재(415)를 구비한다.

즉, 가압프레임(414)의 이동에 따라 가압부재(415)는 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 가압하여 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 고정 및 정렬하게 된다.

또한, 가압프레임(414)은 가압프레임 이송 볼 스크류(416)에 결합되어 가압프레임 구동부(417)의 구동에 따라 안착부에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 가압하거나 가압 해제하는 방향으로 이동하게 된다.

따라서, 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에 디스플레이 모듈(2)이 안착될 때 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 가압프레임(414)이 이동함으로써 디스플레이 모듈(2)의 일측은 안착턱(412)에 타측은 가압프레임(414)에 의하여 지지되도록 안착되게 된다. 그리고, 안착된 디스플레이 모듈(2)은 가압프레임(414)의 이동에 따른 가압부재(415)의 가압에 의하여 정렬 및 고정된다.

또한, 가압부재(415)에는 흡착공(418)을 더 포함할 수 있다. 여기서, 흡착공(418)은 가압부재(415)에 의하여 가압된 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 흡착력에 의해 고정함으로써 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 더욱 공고히 고정한다. 여기서, 가압부재(415)에 의하여 가압된 디스플레이 모듈(2)의 일측면을 흡착하는데 있어서는 에어(air) 등이 이용될 수 있다.

그리고, 안착부(410)에 회동가능하게 결합되는 안착부 회전체(423)는 검사 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)의 상면에서 불량 픽셀의 판단이 어려운 경우 디스플레이 모듈(2)의 하면 측에서 불량 픽셀을 검사할 수 있도록 디스플레이 모듈(2)의 Y축 중심을 기준으로 180˚ 회전시켜 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면을 전환시킨다.

따라서, 안착부 회전체(423)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면의 위치를 전환시킴으로써, 불량 픽셀의 판단시 디스플레이 모듈(2)의 정렬없이 디스플레이 모듈(2)의 양 방향에서 불량 픽셀을 확인할 수 있어 불량 픽셀을 확인하는 정확도를 높일 수 있다.

즉, 후술 될 상부 렌즈(970)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상부 측에서 불량 픽셀을 확인할 수 없는 경우 하부 렌즈(980)을 통하여 디스플레이 모듈(2)의 하부 측에서 불량 픽셀의 존재 여부를 확인하고, 디스플레이 모듈(2)의 하부 측에서의 불량 픽셀의 확인에 따라 안착부 회전체(423)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면의 위치 전환이 이루어지게 된다.

도 11 및 도 12를 참조하여 살펴보면, 이송 유닛(500)은 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520) 및 이송 모듈(530)을 포함한다. 여기서, 이송 모듈(530)은 제1 흡착 이동부(531), 제2 흡착이동부(532), 결합부재(533), X축 결합부재 이동부(534) 및 Y축 결합부재 이동부(535)를 포함할 수 있다.

여기서, 이송 유닛(500)은 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)를 동시에 이동시켜 정렬 안착부(220)에 안착되어 있는 검사 전 디스플레이 모듈(2)은 대기 위치에 위치하는 안착부(410)로 검사 후 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 디스플레이 모듈(2)은 언로딩 안착부(800)로 동시에 이송되게 하는 것을 특징으로 한다.

제1 흡착부(510)는 정렬 안착부(220)에 안착된 디스플레이 모듈(2)을 흡착하고 이송 모듈(530)에 의하여 이동된 후 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에서 흡착 해제한다. 그리고, 제2 흡착부(520)는 대기 위치에 위치하는 안착부(410)의 검사 후의 디스플레이 모듈(2)을 흡착하고 이송 모듈(530)에 의하여 이동된 후 언로딩 안착부(800)에서 흡착 해제한다.

또한, 제1 흡착 이동부(531)는 정렬 안착부(220)의 검사 전 디스플레이 모듈(2)을 흡착하고 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에서 디스플레이 모듈(2)을 결합해제할 수 있도록 제1 흡착부(510)를 승강 이동 즉, Z축 방향으로 이동시킨다.

그리고, 제2 흡착이동부(532)는 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 검사 후 디스플레이 모듈(2)을 흡착하고 언로딩 안착부(800)에서 디스플레이 모듈을 결합해제할 수 있도록 제2 흡착부(520)를 승강 이동 즉, Z축 방향으로 이동시킨다.

그리고, 결합부재(533)는 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 이송 모듈(530)에 의하여 동시에 X축 또는 Y축으로 이동될 수 있도록 제1 흡착이동부(531) 및 제2 흡착이동부(532)와 결합된다.

X축 결합부재 이동부(534)는 결합부재(533)를 이동시켜 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 X축 방향으로 이동되게 하며, Y축 결합부재 이동부(535)는 Y축 방향으로 결합부재(533)를 이동시켜 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 Y축 방향으로 이동되게 한다.

여기서, X축 결합부재 이동부(534)는 결합부재(533)와 결합하고, X축 결합부재 이동부(534)의 하부에 Y축 결합부재 이동부(535)가 결합되어 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 X축 또는 Y축 방향으로 이동될 수 있게 구성되어 있으나, 반드시 이에 한정되지 않고 Y축 결합부재 이동부(535)는 결합부재(533)와 X축 결합부재 이동부(534) 사이에 배치되어 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 X축 또는 Y축 방향으로 이동되게 할 수 있음은 물론이다.

여기서, X축 결합부재 이동부(534)와 Y축 결합부재 이동부(535) 각각은 제1 흡착부(510)와 제2 흡착부(520)가 X축 또는 Y축 방향으로 이동되도록 모터(537, 539)와 볼 스크류(536, 538)로 구성될 수 있다.

도 13 내지 도 14를 참조하여 살펴보면, 프루브 유닛(300)은 프루브 유닛 본체(310), 프루브 카드(320), 회전판(330), 회전판 구동부(340), 프루브 유닛 X축 이동부(350), 프루브 유닛 Y축 이동부(360), 이동프레임(370), 프루브 유닛 승강부(380) 및 전원인가부(390)를 포함한다.

여기서, 프루브 유닛(300)은 본체(10)의 일측에 배치되어 검사 위치에 위치한 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)을 점등시켜 불량 픽셀을 확인할 수 있게 한다.

즉, 프루브 유닛(300)의 프루브 카드(320)는 검사 위치에 위치한 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)에 접촉되도록 프루브 유닛 X축 이동부(350), 프루브 유닛 Y축 이동부(360) 및 프루브 유닛 승강부(380)에 의하여 이동되어 검사 위치에 위치한 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)을 점등시켜 불량 픽셀을 확인한다.

또한, 프루브 카드(320)는 전원인가부(390)에 전기적으로 연결된다. 그리고, 다양한 종류의 프루브 카드(320)는 회전판(330)에 결합되며, 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 회전판(330)은 회전하여 각 디스플레이 모듈(2)에 맞는 프루브 카드(320)가 선별되도록 하여 디스플레이 모듈(2)을 점등시키도록 한다. 여기서, 회전판(330)은 회전판 구동부(340)에 의하여 구동되어 회전한다.

여기서, 디스플레이 모듈(2)의 크기에 따라 회전판(330)은 회전하여 각 디스플레이 모듈(2)에 맞는 프루브 카드(320)가 선별되기 때문에, 프루브 카드(320)가 회전하기 위해서는 전원인가부(390)와 전기적으로 연결은 해제되어야 한다. 따라서, 전원인가부(390)는 회전판(330)의 회전시 프루브 카드(320)와 전기적으로 해제되도록 전원인가부(390)를 승강 이동시키는 유닛(미도시)을 더 포함할 수 있다.

또한, 회전판 구동부(340)는 이동프레임(370)에 의해 지지되며, 이동프레임(370)은 프루브 유닛 X축 이동부(350), 프루브 유닛 Y축 이동부(360) 및 프루브 유닛 승강부(380)에 의하여 이동되기 때문에, 이동프레임(370)에 이동에 따라 회전판(330)에 결합된 프루브 카드(320) 또한 이동하게 된다. 여기서, 이동프레임(370)은 이동판(371), 회전판 구동부 지지판(372) 및 지지블럭(373)을 포함할 수 있다.

본 실시예에서 회전판 구동부(340)는 회전판 구동부 지지판(372)의 중앙에 형성된 회전판 구동부 지지판 홀(374)에 삽입 결합되며, 이동판(371)과 회전판 구동부 지지판(372) 사이에는 지지블럭(373)에 의해 연결됨으로써, 이동판(371)의 이동에 따라 회전판 구동부 지지판(372) 또한 이동하게 된다.

또한, 전원인가부(390)와 회전판 구동부 지지판(372) 사이에는 전원인가프레임(391)이 배치되어 회전판 구동부 지지판(372)의 이동에 따라 전원인가부(390) 또한 함께 이동된다.

그리고, 프루브 유닛 X축 이동부(350)와 프루브 유닛 Y축 이동부(360)는 이동판(371)과 결합되어 이동판(371)을 X축 또는 Y축 방향으로 이동시킨다. 여기서, 프루브 유닛 X축 이동부(350)는 모터(351) 및 프루브 유닛 X축 볼 스크류(352)를 포함하며, 프루브 유닛 Y축 이동부(360)은 모터(361) 및 프루브 유닛 X축 볼 스크류(362)를 포함하여 이동판(371)이 X축 또는 Y축 방향으로 이동되게 할 수 있다.

도 15 내지 도 16을 참조하여 살펴보면, 프루브 유닛 승강부(380)는 상부블럭(381), 하부블럭(382), 승강구동부(385) 및 지지판(386)을 포함한다. 여기서, 승강구동부(385)는 모터(384)와 볼 스크류(383)를 포함할 수 있으며, 모터(384)의 구동에 의하여 볼 스크류(383)는 회전하고 볼 스크류(383)와 결합한 하부블럭(382)은 볼 스크류(383)의 길이 방향으로 전진 또는 후진하게 된다.

또한, 하부 블럭(382)은 경사를 갖는 하부 단층면(387)을 구비하며, 상부 블럭(381) 또한 하부 단층면(387)에 맞닿은 상부 단층면(388)을 구비하기 때문에 하부 블럭(382)을 밀거나 당기면 하부 단층면(387)을 따라 상부 블럭(386)이 승강 운동하게 된다.

본 실시예에서는 하부 블럭(382)을 밀거나 당기고 있으나, 반드시 이에 한정되지 않고 상부 블럭(381)을 밀거나 당김으로서 상부 블럭(381)이 하부 단층면(387)을 따라 승강 운동할 수 있음은 물론이다..

따라서, 상부 블럭(381)이 승강 운동함에 따라 상부 블럭(381)의 상면에 맞닿은 지지판(386) 또한 승강 운동을 하게 되고 지지판(386)에 맞닿은 이동프레임(370)도 지지판(386)에 의하여 지지되어 승강 운동을 하게 된다.

즉, 프루브 유닛 승강부(380)의 하부 단층면(387)을 구비한 하부 블럭(382)을 밀거나 당김으로써 프루브 카드(320)가 디스플레이 모듈(2)에 탈착가능하게 승강 운동을 하게 된다.

도 17 내지 18을 참조하여 살펴보면, 레이저 리페어부(900)는 레이저 옵틱(910), 지지 플레이트(920), 레이저 소스(930), 갠트리(ganrty)(940), X축 레이저 이동부(950), Y축 레이저 이동부(960), 상부 렌즈(970) 및 하부 렌즈(980)을 포함한다.

갠트리(940)의 양측 끝단에는 Y축 레이저 이동부(960)가 배치되어 갠트리(940)를 Y축 방향으로 이동시킨다. 그리고 갠트리(940)의 상부에는 레이저 소스(930)을 지지하는 지지 플레이트(920)가 결합되며, 갠트리(940)의 상부 일측과 레이저 옵틱(910) 사이에는 X축 레이저 이동부(950)이 배치되어 레이저 옵틱(910)이 X축 방향으로 이동되게 한다. 즉, 레이저 옵틱(910)은 갠트리(940)의 양측 끝단에 배치되는 Y축 레이저 이동부(960)와, X축 레이저 이동부(950)에 의하여 X축 또는 Y축 방향으로 이동할 수 있게 된다.

또한, 상부 렌즈(970)는 상술된 바와 같이 프루브 유닛(300)에 의하여 점등된 검사 위치의 디스플레이 유닛(2)의 불량 픽셀을 확인한다. 본 실시예에서는 상부 렌즈의 배율비를 달리하는 복수 개의 상부 렌즈를 구비함으로써, 불량 픽셀을 확인하는 정확도를 높힐 수 있다.

그리고, 상부 렌즈(970)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상부 측에서 불량 픽셀을 확인할 수 없는 경우 하부 렌즈(980)을 통하여 디스플레이 모듈(2)의 하부 측에서 불량 픽셀의 존재 여부를 확인한다. 여기서, 하부 렌즈(980)은 상부 렌즈(970)과는 달리 하나만이 설치되어 불량 픽셀의 존재 여부만을 확인하며, 불량 픽셀이 존재 여부가 확인되면 인덱스 테이블(400)의 안착부 회전체(423)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면의 위치 전환이 이루어지기 때문에 상부 렌즈(370)에 의하여 불량 픽셀의 정확한 확인이 가능해 진다.

즉, 디스플레이 모듈(2)의 하부 측에서의 불량 픽셀의 확인에 따라 상부 렌즈(370)를 통한 불량 픽셀을 확인하는 과정이 실행되기 때문에 공정 시간을 단축할 수 있다.

또한, 검사 위치에서 인덱스 테이블(400)의 안착부 회전체(423)에 의하여 디스플레이 모듈(2)의 상면과 하면의 위치 전환이 이루어지기 때문에 불량 픽셀의 정확한 위치 파악이 가능하고 별도의 디스플레이 모듈(2)의 정렬 과정을 요하지 않는다.

또한, 레이저 소스(930)에서 발생되는 레이저는 레이저 옵틱(910)을 통하여 조사되어 상부 렌즈(970)에 의하여 검출된 디스플레이 모듈(2)의 불량 픽셀을 암점화하여 리페어하게 된다.

한편, 도 2 내지 도 3을 참조하여 살펴보면 비전 얼라인부(600)는 대기 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)의 정확한 위치 값을 파악하기 위하여 대기 위치 상부에 위치하도록 배치될 수 있다. 또한, 비전 얼라인부(600)는 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)의 정확한 위치 값을 파악할 수 있다. 그리고, 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)의 위치 값을 이용하여 불량 픽셀의 위치 값을 보정할 수 있다. 여기서, 비전 얼라인부(600)는 CCD 카메라 등이 이용될 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)는 프루브 유닛 비전 얼라인부(610)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 프루브 유닛 비전 얼라인부(610)는 갠트리(940)의 일측에 결합되어 검사 위치에 위치하는 안착부(410)의 디스플레이 모듈(2)을 프루브 유닛(300)이 정확히 점등시키도록, 검사 위치에 위치하는 안착부(410)에 안착된 검사 전의 디스플레이 모듈(2)의 정확한 위치 값을 파악하여 프루브 유닛(300)이 디스플레이 모듈(2)을 점등하는 위치를 보정하게 된다.

특히, 프루브 유닛(300)에 의하여 검사 위치에 위치하는 디스플레이 모듈(2)이 점등되지 않는 경우 또는 디스플레이 모듈(2)의 교체에 의하여 프루브 카드(320)의 교체가 필요한 경우 프루브 유닛 비전 얼라인부(610)는 디스플레이 모듈(2)을 프루브 유닛(300)이 정확히 점등시키도록 프루브 유닛(300)의 접촉 위치 값을 파악하고 이를 이용하여 프루브 유닛(300)의 위치를 보정한다.

도 3을 참조하여 살펴보면, 상술된 바와 같이 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)에 의하여 디스플레이 모듈(2)은 정렬 안착부(220), 대기 위치의 안착부(410), 검사 위치의 안착부(410), 대기 위치의 안착부(410), 언로딩 안착부(800) 순으로 이송된다. 또한, 본 발명에 따른 레이저 리페어 장치(1)에 이송 및 검사되는 디스플레이 모듈(2)은 디스플레이 패널일 수도 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 바람직한 실시 예들을 통하여 상세하게 설명되었지만, 본 발명은 이러한 실시 예들의 내용에 한정되는 것이 아님을 밝혀둔다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 비록 실시 예에 제시되지 않았지만 첨부된 청구항의 기재 범위 내에서 다양한 본 발명에 대한 모조나 개량이 가능하며, 이들 모두 본 발명의 기술적 범위에 속함은 너무나 자명하다 할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

1 : 레이저 리페어 장치 2 : 디스플레이 모듈
3, 3a, 3b : 카세트 10 : 본체
100 : 로딩부 110 : 카세트 로딩부
120 : 디스플레이 모듈 이송부 200 : 얼라인 유닛
220 : 정렬 안착부 300 : 프루브 유닛
400 : 인덱스 테이블 410 : 안착부
500 : 이송 유닛 600 : 비전 얼라인부
700 : 언로딩부 800 : 언로딩 안착부
900 : 레이저 리페어부

Claims

디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 검사하고 리페어하는 레이저 리페어 장치에 있어서,
검사 전의 상기 디스플레이 모듈이 안착되는 정렬 안착부와;
검사된 상기 디스플레이 모듈이 안착되어 언로딩(unloading)되도록 대기하는 언로딩 안착부와;
검사 전의 복수 개의 상기 디스플레이 모듈이 장착된 카세트를 로딩(loading)시키며, 상기 카세트 내의 상기 디스플레이 모듈을 순차적으로 상기 정렬 안착부로 이송하는 로딩부와;
상기 언로딩 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 외부로 언로딩하는 언로딩부와;
한 쌍의 안착부를 구비하며, 상기 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 확인하도록 상기 디스플레이 모듈이 위치하는 검사 위치와, 상기 검사 위치로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈 또는 검사 후 상기 언로딩 안착부로 이송되기 전의 상기 디스플레이 모듈이 이송 대기하는 대기 위치 간을 상기 한 쌍의 안착부가 상호 이동 가능하게 180˚ 회전시키는 회전 모듈을 포함하는 인덱스 테이블과;
상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에서 흡착 해제하는 제1 흡착부와,
상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부의 검사 후의 상기 디스플레이 모듈을 흡착하여 상기 언로딩 안착부에서 흡착 해제하는 제2 흡착부와,
상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부를 동시에 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착되어 있는 검사 전 상기 디스플레이 모듈은 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부로, 검사 후 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈은 상기 언로딩 안착부로 이송되게 하는 이송 모듈을 포함하는 이송 유닛와,
상기 카세트로부터 로딩되어 상기 정렬 안착부로 이송된 상기 디스플레이 모듈을 정렬하도록 얼라인 유닛과,
상기 검사 위치에 위치한 상기 안착부에 안착된 검사 전의 상기 디스플레이 모듈을 점등시켜 불량 픽셀을 확인하는 프루브 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.
제1항에 있어서,
상기 이송 모듈은
상기 제1 흡착부를 승강이동시키는 제1 흡착이동부와;
상기 제2 흡착부를 승강이동시키는 제2 흡착이동부와;
상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부가 동시에 이동될 수 있도록 상기 제1 흡착이동부 및 상기 제2 흡착이동부와 결합되는 결합부재와;
상기 정렬 안착부로부터 상기 대기 위치의 상기 안착부로 상기 디스플레이 모듈이 이송되는 방향인 X축 방향으로 상기 결합부재를 이동시켜 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부가 상기 X축 방향으로 이동되게 하는 X축 결합부재 이동부와;
수평면상에서 상기 X축 방향의 수직방향인 Y축 방향으로 상기 결합부재를 이동시켜 상기 제1 흡착부와 상기 제2 흡착부가 상기 Y축 방향으로 이동되게 하는 Y축 결합부재 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.
제2항에 있어서, 상기 얼라인 유닛은
상기 정렬 안착부에 이동가능하게 돌출되어 상기 X축 방향으로 나란히 배치되는 한 쌍의 X축 돌기부재와;
상기 한 쌍의 X축 돌기부재가 상호 접근하도록 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 상기 X축 방향의 중심으로 정렬하는 X축 돌기 이송유닛과;
상기 정렬 안착부에 이동가능하게 돌출되어 상기 Y축 방향으로 나란히 배치되는 한 쌍의 Y축 돌기부재와;
상기 한 쌍의 Y축 돌기부재가 상호 접근하도록 이동시켜 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 상기 Y축 방향의 중심으로 정렬하는 Y축 돌기 이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.
제3항에 있어서,
상기 얼라인 유닛은
상기 디스플레이 모듈의 크기에 따라 상기 이송 유닛에 의하여 상기 정렬 안착부에 안착되어 있는 상기 디스플레이 모듈이 상기 대기 위치에 위치하는 상기 안착부의 기 설정된 위치로 이송될 수 있도록 상기 정렬 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈이 Y축 방향으로 이송되게 하는 Y축 이송유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.
제4항에 있어서,
상기 인덱스 테이블은
상기 검사 위치에 위치하는 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈의 상면과 하면의 위치 전환이 되게 상기 디스플레이 모듈을 180˚ 회전시키는 안착부 회전체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.
제5항에 있어서,
상기 프루브 유닛은
상기 검사 위치의 상기 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 점등시키는 프루브 카드와;
경사를 갖는 하부 단층면을 구비하는 하부 블럭과;
상기 하부 단층면에 맞닿은 상부 단층면을 구비하는 상부 블럭과;
상기 프루브 카드가 상기 디스플레이 모듈에 탈착가능하게 하도록 상기 하부 블럭 또는 상부 블럭을 밀거나 당겨 상기 하부 단층면을 따라 상기 상부 블럭이 승강 운동하게 하는 승강구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.
제6항에 있어서,
상기 검사 위치에 위치하는 상기 안착부의 상기 디스플레이 모듈을 상기 프루브 유닛이 점등시키도록 상기 안착부에 안착된 검사 전의 상기 디스플레이 모듈의 정확한 위치값을 파악하여 상기 프루브 유닛이 상기 디스플레이 모듈을 점등하는 위치를 보정하는 비전 얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.
제7항에 있어서,
상기 프루브 유닛에 의하여 점등된 상기 디스플레이 모듈의 불량 픽셀을 레이저로 리페어하는 레이저 리페어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.
제8항에 있어서,
상기 레이저 리페어부는
상기 검사 위치에 위치하는 상기 디스플레이 모듈의 상면 위에 배치되어 상기 디스플레이 모듈의 상면에서 불량 픽셀을 확인하는 상부 렌즈와;
상기 검사 위치에 위치하는 상기 디스플레이 모듈의 하면 아래에 배치되어 상기 디스플레이 모듈의 하면에서 불량 픽셀을 확인하는 하부 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.
제9항에 있어서,
상기 언로딩부는 상기 언로딩 안착부에 안착된 상기 디스플레이 모듈을 불량 디스플레이 모듈과 정상 디스플레이 모듈로 구분하여 불량 카세트와 정상 카세트로 언로딩(unloading)시키며, 상기 불량 카세트와 상기 정상 카세트를 외부로 언로딩하는 것을 특징으로 하는 레이저 리페어 장치.