KR101223333B1 - Organic el device and method for fabricating same - Google Patents

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KR101223333B1
KR101223333B1 KR1020067006457A KR20067006457A KR101223333B1 KR 101223333 B1 KR101223333 B1 KR 101223333B1 KR 1020067006457 A KR1020067006457 A KR 1020067006457A KR 20067006457 A KR20067006457 A KR 20067006457A KR 101223333 B1 KR101223333 B1 KR 101223333B1
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Abstract

발광 효율이 양호한 유기 EL 소자를 제공한다. 본 발명의 유기 EL 소자 (1) 는 투명 전극막 (12) 상에 산화 티탄으로 이루어지는 무기 재료막 (14) 을 갖고 있고, 무기 재료막 (14) 은 물과 같은 용매에 대한 친화성이 투명 전극막 (12) 보다도 높기 때문에, 정공 수송 재료와 같은 제 1 유기 재료가, 용매에 분산된 제 1 유기 재료를 무기 재료막 (14) 표면에 배치하면, 제 1 유기 재료는 무기 재료막 (14) 의 표면으로 퍼지고, 막두께가 균일한 제 1 유기층 (21) 이 형성된다. 제 1 유기층 (21) 의 표면은 평탄하기 때문에, 제 1 유기층 (21) 상에 제 2 유기 재료를 배치하면, 막두께가 균일한 제 2 유기층 (22) 이 형성된다. 이와 같이 본 발명의 유기 EL 소자 (1) 는 유기막 (20) 을 구성하는 제 1~제 3 유기층 (21)~(23) 의 막두께가 균일해지기 때문에, 발광 물질을 갖는 유기층 (22) 을 발광 시켰을 때에, 그 발광량이 균일해지고, 발광 효율이 높다. An organic EL device having good luminous efficiency is provided. The organic EL element 1 of the present invention has an inorganic material film 14 made of titanium oxide on the transparent electrode film 12, and the inorganic material film 14 has a transparent affinity for a solvent such as water. Since the first organic material such as the hole transporting material is disposed on the surface of the inorganic material film 14 because the first organic material such as the hole transport material is higher than the film 12, the first organic material is the inorganic material film 14. It spreads to the surface of and the 1st organic layer 21 with a uniform film thickness is formed. Since the surface of the first organic layer 21 is flat, when the second organic material is disposed on the first organic layer 21, the second organic layer 22 having a uniform film thickness is formed. Thus, since the film thickness of the 1st-3rd organic layers 21-23 which comprise the organic film 20 becomes uniform in the organic electroluminescent element 1 of this invention, the organic layer 22 which has a luminescent substance When light is emitted, the light emission amount becomes uniform, and the light emission efficiency is high.

유기 EL 소자 Organic EL device

Description

유기 ＥＬ 소자 및 유기 ＥＬ 소자의 제조 방법{ORGANIC EL DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING SAME}The organic EL element and the manufacturing method of an organic EL element {ORGANIC EL DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING SAME}

본 발명은 유기 EL 소자의 기술에 관한 것이고, 특히 표시 장치에 사용되는 유기 EL 소자와, 그 제조 기술에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the technique of organic electroluminescent element. Specifically, It is related with the organic electroluminescent element used for a display apparatus, and its manufacturing technique.

종래부터, 유기 EL (Electro-Luminescence) 소자를 사용한 표시 장치가 사용되고 있다. 유기 EL 소자의 제조 공정의 일례에 대하여 설명하면, 도 4(a) 의 부호 (110) 는 유기 EL 소자의 제조에 사용하는 처리 대상 기판을 나타내고 있다.Conventionally, display apparatuses using organic EL (Electro-Luminescence) elements have been used. When an example of the manufacturing process of an organic electroluminescent element is demonstrated, the code | symbol 110 of FIG. 4 (a) has shown the process target substrate used for manufacture of an organic electroluminescent element.

처리 대상 기판 (110) 은 투명 기판 (111) 과, 투명 기판 (111) 의 표면에 형성된 투명 전극막 (112) 과, 투명 기판 (111) 의 투명 전극막 (112) 이 형성된 측의 면에 배치된 격벽막 (115) 을 갖고 있고, 격벽막 (115) 에는 구멍 (116) 이 형성되고, 구멍 (116) 의 저면에는 투명 전극막 (112) 이 노출되어 있다. The substrate to be processed 110 is disposed on the surface of the side on which the transparent substrate 111, the transparent electrode film 112 formed on the surface of the transparent substrate 111, and the transparent electrode film 112 of the transparent substrate 111 are formed. The partition wall film 115 is provided, and the partition film 115 has a hole 116 formed therein, and the transparent electrode film 112 is exposed at the bottom of the hole 116.

이 처리 대상 기판 (110) 을 사용하여 유기 EL 소자를 제조하는데는, 정공 수송 물질이 분산된 액상의 제 1 유기 재료를 잉크젯 프린터의 탱크에 충전하고, 그 잉크젯 프린터의 노즐을 구멍 (116) 을 향한 상태에서, 제 1 유기 재료를 분출시켜, 구멍 (116) 저면의 투명 전극막 (112) 의 표면에 제 1 유기 재료의 도포층을 형성한 후, 그 도포층을 건조시켜 용매를 증발시키고, 정공 수송 물질을 주성분으로 하는 제 1 유기층 (121) 을 형성한다 (도 4(b)). In manufacturing an organic EL device using the substrate 110 to be processed, a liquid first organic material in which a hole transporting material is dispersed is filled into a tank of an inkjet printer, and the nozzle of the inkjet printer is opened with a hole 116. In the facing state, the first organic material is blown out to form a coating layer of the first organic material on the surface of the transparent electrode film 112 at the bottom of the hole 116, and then the coating layer is dried to evaporate the solvent. The 1st organic layer 121 which has a hole transport material as a main component is formed (FIG. 4 (b)).

발광 물질이 분산된 제 2 유기 재료와, 전자 수송 물질이 분산된 제 3 유기 재료를 준비하고, 상기 기술한 제 1 유기층 (121) 과 동일하게 잉크젯 프린터를 사용하여, 발광 물질을 주성분으로 하는 제 2 유기층 (122) 과, 전자 수송 물질을 주성분으로 하는 제 3 유기층 (123) 을 형성하고, 또한, 제 3 유기층 (123) 상에 상부 전극막 (125) 을 형성하면, 유기 EL 소자 (101) 가 얻어진다 (도 4(c)).A second organic material in which the luminescent material is dispersed and a third organic material in which the electron transporting material are dispersed are prepared, and the same as the first organic layer 121 described above, using an inkjet printer, When the second organic layer 122 and the third organic layer 123 having the electron transporting material as a main component are formed, and the upper electrode film 125 is formed on the third organic layer 123, the organic EL element 101 is formed. Is obtained (Fig. 4 (c)).

제 1~제 3 유기층 (121)~(123) 으로 이루어지는 유기막 (120) 은 투명 전극막 (112) 과 상부 전극막 (125) 사이에 끼인 상태로 되어 있고, 투명 전극막 (112) 과 상부 전극막 (125) 에 각각 정전압과 부전압을 인가하면, 제 1 유기층 (121) 에 정공이 주입되고, 제 3 유기층 (123) 에 전자가 주입된다. The organic film 120 formed of the first to third organic layers 121 to 123 is sandwiched between the transparent electrode film 112 and the upper electrode film 125, and the transparent electrode film 112 and the upper part. When a constant voltage and a negative voltage are applied to the electrode film 125, holes are injected into the first organic layer 121, and electrons are injected into the third organic layer 123.

제 1~제 3 유기층 (121)~(123) 은 정공 수송 물질과, 발광 물질과, 전자 수송 물질을 각각 주성분으로 하기 때문에, 정공은 제 1 유기층 (121) 으로부터 제 2 유기층 (122) 으로 운반되고, 전자는 제 3 유기층 (123) 으로부터 제 2 유기층 (122) 으로 운반되며, 제 2 유기층 (122) 에서 정공과 전자가 결합하면, 제 2 유기층 (122) 이 발광한다. Since the first to third organic layers 121 to 123 each contain a hole transporting material, a light emitting material, and an electron transporting material, the holes are transported from the first organic layer 121 to the second organic layer 122. The electrons are transported from the third organic layer 123 to the second organic layer 122, and when holes and electrons are combined in the second organic layer 122, the second organic layer 122 emits light.

제 2 유기층 (122) 에서 방출되는 빛 중, 투명 전극막 (112) 측으로 방출되는 빛은 투명 전극막 (112) 과 투명 기판 (111) 을 투과하여 유기 EL 소자 (101) 의 외부로 방출된다. Of the light emitted from the second organic layer 122, the light emitted to the transparent electrode film 112 side passes through the transparent electrode film 112 and the transparent substrate 111 and is emitted to the outside of the organic EL element 101.

상기 기술한 바와 같이, 잉크젯 프린터를 사용하면, 원하는 위치에만 제 1~제 3 유기 재료를 도포할 수 있기 때문에, 제 1~제 3 유기 재료가 낭비되지 않고, 효율적으로 제 1~제 3 유기층 (121)~(123) 을 형성할 수 있다. As described above, when the inkjet printer is used, the first to third organic materials can be applied only to a desired position, so that the first to third organic materials are not wasted and the first to third organic layers ( 121) to 123 can be formed.

그러나, 일반적으로 제 1 유기 재료에 사용되는 용매와, 투명 전극막 (112) 과의 친화성은 낮고, 제 1 유기 재료를 구멍 (116) 내부에 배치한 때에는 제 1 유기 재료가 투명 전극막 (112) 표면에서 퍼지지 않고, 물방울 형상으로 되어 버리며, 도 4(b) 에 나타내는 바와 같이, 구멍 (116) 저면의 중앙 부분에서는 제 1 유기층 (121) 의 막두께가 두꺼워지고, 구멍 (116) 의 측면 근방에서는 막두께가 얇아져, 제 1 유기층 (121) 의 막두께가 불균일해진다. However, in general, the affinity between the solvent used for the first organic material and the transparent electrode film 112 is low, and when the first organic material is disposed in the hole 116, the first organic material is the transparent electrode film 112. 4B, the film thickness of the first organic layer 121 becomes thicker at the central portion of the bottom of the hole 116, and the side surface of the hole 116 does not spread from the surface. In the vicinity, the film thickness becomes thin, and the film thickness of the first organic layer 121 becomes uneven.

그 상태에서, 제 2 유기 재료를 제 1 유기층 (121) 표면에 도포하고, 제 2 유기층 (122) 을 형성하면, 제 2 유기층 (122) 의 막두께도 불균일해진다. 제 2 유기층 (122) 과 같이, 발광 물질을 함유하는 층의 막두께가 불균일해지면, 유기막 (120) 내에서의 발광량이나 발광색이 안정되지 않고, 불균일해져, 발광 효율이 저하되게 된다. In this state, when the second organic material is applied to the surface of the first organic layer 121 and the second organic layer 122 is formed, the film thickness of the second organic layer 122 also becomes uneven. When the film thickness of the layer containing the light emitting material becomes uneven like the second organic layer 122, the amount of light emitted or the color of the light emitted in the organic film 120 is not stabilized, and the light emission efficiency is not uniform, thereby reducing the light emission efficiency.

이러한 문제를 해결하기 위해서, 투명 전극막 (112) 의 표면에 미리 친수성 유기 박막을 형성한 후, 제 1 유기 재료를 도포하는 방법이 공지되어 있다 (예를 들어 특허문헌 1 참조). 그러나, 이 방법에서는 유기 가스의 분위기에 유리 기판을 장시간 놓아둠으로써 친수성 유기 박막을 형성하기 때문에, 제조 시간이 길어져 버린다. 또 친수성 유기 박막의 제 1 유기 재료에 대한 친화성도 충분하지 않았다.In order to solve such a problem, the method of apply | coating a 1st organic material after forming a hydrophilic organic thin film in advance on the surface of the transparent electrode film 112 is known (for example, refer patent document 1). However, in this method, since a hydrophilic organic thin film is formed by leaving a glass substrate in the atmosphere of organic gas for a long time, manufacturing time becomes long. Moreover, the affinity with respect to the 1st organic material of a hydrophilic organic thin film was not enough.

특허문헌 1 : 일본 공개특허공보 제2002-237383호 공보Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-237383

발명이 해결하고자 하는 과제Problems to be solved by the invention

본 발명은 상기 종래 기술의 부적합을 해결하기 위해서 창작된 것이고, 그 목적은, 발광 효율이 높은 유기 EL 소자를 제공하는 것에 있다. The present invention has been made to solve the above-mentioned disadvantages of the prior art, and an object thereof is to provide an organic EL device having high luminous efficiency.

과제를 해결하기 위한 수단Means for solving the problem

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명은, 투명 기판 상에 배치되고, 소정 형상으로 패터닝된 투명 전극막과, 적어도 상기 투명 전극막 상에 위치하는 격벽막과, 상기 격벽막에 형성되고 저면에 상기 투명 전극막이 위치하는 복수의 구멍과, 각각의 상기 구멍 내에 각각 배치된 유기막과, 적어도 상기 유기막 상에 배치된 상부 전극막을 가지고, 상기 투명 전극막과 상기 상부 전극막 사이에 전압을 인가하면, 상기 유기막이 발광하는 유기 EL 소자를 제조하는 유기 EL 소자의 제조 방법으로서, 상기 투명 전극막 상에 상기 격벽막을 배치하고, 상기 격벽막이 갖는 상기 구멍 저면으로 노출되는 상기 투명 전극막 상에 무기 재료막을 형성한 후, 함유하는 용매의 상기 무기 재료막에 대한 친화성이, 상기 투명 전극막에 대한 친화성보다 높은 액상의 유기 재료를, 상기 무기 재료막의 표면에 배치하여 상기 유기막을 형성하는 유기 EL 소자의 제조 방법이다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, this invention is a transparent electrode film arrange | positioned on a transparent substrate and patterned in a predetermined shape, the partition film located on the said transparent electrode film at least, and the said transparent film formed in the partition film at the bottom surface When a voltage is applied between the transparent electrode film and the upper electrode film having a plurality of holes in which the electrode film is located, an organic film disposed in each of the holes, and at least an upper electrode film disposed on the organic film, A method of manufacturing an organic EL device for producing an organic EL device in which the organic film emits light, wherein the partition film is disposed on the transparent electrode film, and an inorganic material film is disposed on the transparent electrode film exposed to the bottom surface of the hole of the partition film. After forming, a liquid organic material having affinity for the inorganic material film of the solvent to be contained is higher than that for the transparent electrode film. It is a manufacturing method of the organic electroluminescent element which arrange | positions on the surface of the said inorganic material film and forms the said organic film.

본 발명은 유기 EL 소자의 제조 방법으로서, 상기 유기 재료의 액적을 상기 구멍을 향하여 분출시켜 상기 무기 재료막 표면으로 상기 유기 재료를 배치하는 유기 EL 소자의 제조 방법이다.This invention is a manufacturing method of the organic electroluminescent element as a manufacturing method of an organic electroluminescent element which arrange | positions the said organic material to the said inorganic material film surface by ejecting the droplet of the said organic material toward the said hole.

본 발명은 유기 EL 소자의 제조 방법으로서, 상기 유기 재료는, 폴리에틸렌디옥시티오펜과, 폴리아닐린의 어느 일방 또는 양방을 함유하는 유기 EL 소자의 제조 방법이다. This invention is a manufacturing method of an organic electroluminescent element, The said organic material is a manufacturing method of the organic electroluminescent element containing polyethylenedioxythiophene and any one or both of polyaniline.

본 발명은 유기 EL 소자의 제조 방법으로서, 상기 유기 재료에 함유되는 상기 용매는 친수성 용매인 유기 EL 소자의 제조 방법이다. This invention is a manufacturing method of an organic electroluminescent element as the manufacturing method of an organic electroluminescent element, The said solvent contained in the said organic material is a hydrophilic solvent.

본 발명은 유기 EL 소자의 제조 방법으로서, 상기 친수성 용매는 물과 알코올의 어느 일방 또는 양방을 함유하는 유기 EL 소자의 제조 방법이다. This invention is a manufacturing method of an organic electroluminescent element, The said hydrophilic solvent is a manufacturing method of the organic electroluminescent element containing either one or both of water and alcohol.

본 발명은 유기 EL 소자의 제조 방법으로서, 상기 무기 재료막은, 산화 티탄을 주성분으로 하는 유기 EL 소자의 제조 방법이다. This invention is a manufacturing method of an organic electroluminescent element, The said inorganic material film is a manufacturing method of the organic electroluminescent element which has a titanium oxide as a main component.

본 발명은 유기 EL 소자의 제조 방법으로서, 상기 무기 재료막의 구성 물질을 포함하는 타겟을 스퍼터링하여 스퍼터 입자를 방출시키고, 상기 구멍 저면에 위치하는 상기 투명 전극막의 표면에 상기 스퍼터 입자를 부착시켜 상기 무기 재료막을 형성하는 유기 EL 소자의 제조 방법이다. The present invention provides a method of manufacturing an organic EL device, wherein sputtering particles are released by sputtering a target including a constituent material of the inorganic material film, and the sputter particles are attached to a surface of the transparent electrode film located at the bottom of the hole to form the inorganic material. It is a manufacturing method of the organic electroluminescent element which forms a material film.

본 발명은 유기 EL 소자로서, 투명 기판 상에 배치되고, 소정 형상으로 패터닝된 투명 전극막과, 적어도 상기 투명 전극막 상에 위치하는 격벽막과, 상기 격벽막에 형성되고, 저면에 상기 투명 전극막이 위치하는 복수의 구멍과, 각각의 상기 구멍 내에 각각 배치된 유기막과, 적어도 상기 유기막 상에 배치된 상부 전극막을 가지고, 상기 투명 전극막과 상기 상부 전극막 사이에 전압을 인가하면, 상기 유기막이 발광하는 유기 EL 소자로서, 각각의 상기 구멍 내에 위치하는 상기 투명 전극막 상에는 산화 티탄을 주성분으로 하는 무기 재료막이 형성되고, 상기 유기막은 상기 무기 재료막의 표면에 형성되는 유기 EL 소자이다. The present invention provides an organic EL device, comprising: a transparent electrode film disposed on a transparent substrate and patterned into a predetermined shape, a partition film located on at least the transparent electrode film, and formed on the partition film, and the transparent electrode on a bottom surface thereof. And a plurality of holes in which the film is located, an organic film disposed in each of the holes, and an upper electrode film disposed on at least the organic film, and when voltage is applied between the transparent electrode film and the upper electrode film, An organic EL element in which an organic film emits light, an inorganic material film containing titanium oxide as a main component is formed on the transparent electrode film located in each of the holes, and the organic film is an organic EL device formed on the surface of the inorganic material film.

본 발명은 유기 EL 소자로서, 상기 유기막은 폴리에틸렌디옥시티오펜과, 폴리아닐린의 어느 일방 또는 양방을 함유하는 유기 EL 소자이다. The present invention is an organic EL device, wherein the organic film is an organic EL device containing either one or both of polyethylenedioxythiophene and polyaniline.

본 발명은 유기 EL 소자로서, 상기 무기 재료막은 친수성인 유기 EL 소자이다. The present invention is an organic EL device, wherein the inorganic material film is an organic EL device having hydrophilicity.

본 발명은 유기 EL 소자로서, 상기 투명 전극막은 소수성의 도전 재료를 주성분으로 하는 유기 EL 소자이다. The present invention is an organic EL device, wherein the transparent electrode film is an organic EL device having a hydrophobic conductive material as a main component.

본 발명은 유기 EL 소자로서, 상기 소수성의 도전 재료는 인듐 주석 산화물과, 산화 아연과, 산화 주석으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 1 종류의 도전 재료를 함유하는 유기 EL 소자이다. The present invention is an organic EL device, wherein the hydrophobic conductive material is an organic EL device containing any one kind of conductive material selected from the group consisting of indium tin oxide, zinc oxide, and tin oxide.

발명의 효과Effects of the Invention

본 발명에 의하면, 구멍의 저면에 위치하는 투명 전극막의 표면에는, 유기 재료의 용매에 대한 친화성이 높은 무기 재료막이 형성되어 있기 때문에, 구멍 내부에 유기 재료를 배치한 경우에, 유기 재료가 무기 재료막의 표면으로 퍼지고, 막두께가 균일한 유기층이 형성된다. 이 유기층 표면에 새로운 유기 재료를 배치하는 경우에도, 새로운 유기 재료는 막두께가 균일한 유기층의 표면에 배치되기 때문에, 그 도포층의 막두께도 균일해진다. 따라서, 투명 전극막 상에는 막두께가 균일한 유기층이 적층되고, 복수의 유기층을 갖는 유기막이 형성된다. 발광 물질이 함유된 유기층의 막두께가 균일한 경우에는, 유기막에 전압을 인가하면, 발광량이나 발광색은 안정하고, 발광 효율이 높아진다. 무기 재료막을 스퍼터링에 의해 형성하면, 막형성 시간이 짧을 뿐만이 아니라, 막두께의 컨트롤도 용이하고, 또 막형성된 무기 재료막과 투명 전극막의 밀착성도 높다. According to the present invention, since the inorganic material film having a high affinity for the solvent of the organic material is formed on the surface of the transparent electrode film located at the bottom of the hole, when the organic material is disposed inside the hole, the organic material is inorganic. It spreads to the surface of a material film, and the organic layer with a uniform film thickness is formed. Even when a new organic material is disposed on the surface of the organic layer, the new organic material is disposed on the surface of the organic layer having a uniform film thickness, and therefore the film thickness of the coating layer is also uniform. Therefore, an organic layer with a uniform film thickness is laminated on the transparent electrode film, and an organic film having a plurality of organic layers is formed. In the case where the film thickness of the organic layer containing the light emitting material is uniform, when a voltage is applied to the organic film, the amount of emitted light and the color of emitted light are stable and the light emission efficiency is increased. When the inorganic material film is formed by sputtering, not only the film formation time is short, but also the film thickness can be easily controlled, and the adhesion between the film formed inorganic material film and the transparent electrode film is also high.

도면의 간단한 설명Brief description of the drawings

[도 1] (a)~(d):본 발명의 유기 EL 소자의 제조 공정의 전반을 설명하는 단면도1: (a)-(d): sectional drawing explaining the first half of the manufacturing process of the organic electroluminescent element of this invention.

[도 2] (a)~(d):본 발명의 유기 EL 소자의 제조 공정의 후반을 설명하는 단면도(A)-(d): Cross section explaining the latter half of the manufacturing process of the organic electroluminescent element of this invention.

[도 3] 본 발명의 유기 EL 소자 제조 공정의 다른 예를 설명하는 단면도3 is a cross-sectional view illustrating another example of the organic EL device manufacturing process of the present invention.

[도 4] (a)~(c): 종래 기술의 유기 EL 소자의 제조 공정을 설명하는 단면도(A)-(c): sectional drawing explaining the manufacturing process of the organic electroluminescent element of a prior art.

부호의 설명Explanation of symbols

1,3······유기 EL 소자 11······기판 1,3 ... Organic EL element 11

12······투명 전극막 14, 34······무기 무기 재료막Transparent electrode film 14, 34 Inorganic inorganic material film

15······격벽막 16······구멍 15 bulkhead 16 holes

20······유기막 21······제 1 유기층20 Organic membrane 21 ... 1st organic layer

22······제 2 유기층 23······제 3 유기층22 ... 2nd organic layer 23 ... 3rd organic layer

발명을 실시하기Carrying out the invention 위한 최선의 형태 Best form for

본 발명의 유기 EL 소자의 제조 공정의 일례에 대하여 설명한다. 도 1(a) 의 부호 (10) 는 유기 EL 소자의 제조에 사용되는 처리 대상 기판을 나타내고 있고, 이 처리 대상 기판 (10) 은 투명 기판 (11) 을 갖고 있다. An example of the manufacturing process of the organic electroluminescent element of this invention is demonstrated. The code | symbol 10 of FIG. 1 (a) has shown the process target substrate used for manufacture of an organic EL element, and this process target substrate 10 has the transparent substrate 11.

투명 기판 (11) 의 표면에는 서로 절연된 얇고 긴 투명 전극막 (12) 이 복수개 연설되어 있고, 투명 기판 (11) 의 투명 전극막 (12) 이 배치된 측의 면에는 격벽막 (15) 이 형성되어 있다. A plurality of thin and long transparent electrode films 12 insulated from each other are stretched on the surface of the transparent substrate 11, and a partition film 15 is formed on a surface of the transparent substrate 11 on which the transparent electrode films 12 are disposed. Formed.

격벽막 (15) 은 복수의 구멍 (16) 을 갖고 있고, 각 투명 전극막 (12) 상에는 구멍 (16) 이 복수개씩 배치되어 있다. 각 구멍 (16) 은 절연성 수지막인 절연막이 에칭되어 형성되어 있고, 각 구멍 (16) 의 저면에는 투명 전극막 (12) 이 노출되어 있다. The partition film 15 has a plurality of holes 16, and a plurality of holes 16 are disposed on each transparent electrode film 12. Each hole 16 is formed by etching an insulating film, which is an insulating resin film, and the transparent electrode film 12 is exposed on the bottom of each hole 16.

이 처리 대상 기판 (10) 을 사용하여 유기 EL 소자를 제조하는 데는, 티탄으로 이루어지는 타겟이 배치되고, 미리 진공 분위기가 형성된 스퍼터 장치의 진공조 내부에 처리 대상 기판 (10) 을 반입하고, 처리 대상 기판 (10) 의 격벽막 (15) 이 형성된 측의 면을 타겟을 향하여 배치한다.  In manufacturing an organic EL element using this process target substrate 10, the target which consists of titanium is arrange | positioned, the process target substrate 10 is carried in in the vacuum chamber of the sputtering apparatus in which the vacuum atmosphere was previously formed, and a process target The surface of the side in which the partition film 15 of the board | substrate 10 was formed is arrange | positioned toward a target.

도 1 (b) 는 처리 대상 기판 (10) 이 타겟 (5) 을 향하여 배치된 상태를 나타내고 있고, 그 상태에서는 격벽막 (15) 상에는 마스크 (18) 가 배치되어 있다. 마스크 (18) 는 구멍 (16) 상의 위치에 개구를 갖고 있고, 개구의 내부에는 구멍(16) 저면에 위치하는 투명 전극막 (12) 이 노출되어 있지만, 격벽막 (15) 의 표면은 마스크 (18) 로 덮여져 있다. FIG.1 (b) has shown the state in which the process target substrate 10 was arrange | positioned toward the target 5, and the mask 18 is arrange | positioned on the partition film 15 in that state. The mask 18 has an opening at a position on the hole 16, and the transparent electrode film 12 located at the bottom of the hole 16 is exposed inside the opening, but the surface of the partition film 15 is formed by a mask ( 18) covered with

따라서, 진공조 내부를 진공 배기하면서, O2 가스로 이루어지는 반응 가스를 도입하고, 타겟 (5) 을 스퍼터링하면, 마스크 (18) 로 덮여진 부분에는 스퍼터입자는 도달하지 않지만, 마스크 (18) 의 개구를 통과한 스퍼터 입자는 구멍 (16) 의 저면에 노출되는 투명 전극막 (12) 에 도달하여, 반응 가스와 반응하여 산화 티탄 (TiO2) 으로 이루어지는 무기 재료막 (14) 이 형성된다 (도 1(c)). Therefore, when the reaction gas consisting of O 2 gas is introduced while sputtering the target 5 while evacuating the inside of the vacuum chamber, sputter particles do not reach the portion covered with the mask 18, but the The sputtered particles passing through the opening reach the transparent electrode film 12 exposed on the bottom surface of the hole 16 and react with the reaction gas to form an inorganic material film 14 made of titanium oxide (TiO 2 ) (FIG. 1 (c)).

무기 재료막 (14) 을 구성하는 산화 티탄막의 막두께는 특별히 한정되는 것이 아니지만, 설정 막두께가 5Å 미만이면, 막두께를 균일하게 형성하는 것이 상당히 곤란하고, 또 막두께가 50Å 를 초과하면, HOLE (정공) 의 이동이 저해되기 때문에, 그 막두께는 0.5nm 이상 5nm 이하 (5Å 이상 50Å 이하) 인 것이 바람직하다.  Although the film thickness of the titanium oxide film which comprises the inorganic material film 14 is not specifically limited, When the set film thickness is less than 5 GPa, it is quite difficult to form a film thickness uniformly, and when the film thickness exceeds 50 GPa, Since the movement of HOLE (holes) is inhibited, the film thickness is preferably 0.5 nm or more and 5 nm or less (5 Pa or more and 50 Pa or less).

다음으로, 물로 이루어지는 제 1 용매에 정공 수송 물질로 이루어지는 제1 의 유기 화합물이 분산된 액상의 제 1 유기 재료를, 도시되지 않은 잉크젯 프린터의 탱크에 충전하고, 그 잉크젯 프린터의 노즐을, 진공조로부터 꺼낸 처리 대상 기판 (10) 의 구멍 (16) 상의 위치에서 정지시키고, 노즐로부터 제 1 유기 재료를 분출시키면, 제 1 유기 재료의 액적이 구멍 (16) 내부에 착탄하여, 제 1 유기 재료가 무기 재료막 (14) 의 표면에 배치된다. Next, the liquid 1st organic material which the 1st organic compound which consists of a hole-transporting material disperse | distributed in the 1st solvent which consists of water is filled into the tank of the inkjet printer which is not shown in figure, and the nozzle of this inkjet printer is filled with a vacuum tank. When it stops at the position on the hole 16 of the process target board | substrate 10 taken out from it, and ejects a 1st organic material from a nozzle, the droplet of a 1st organic material will reach the inside of the hole 16, and a 1st organic material will be It is arrange | positioned at the surface of the inorganic material film | membrane 14.

일반적으로, 정공 수송 물질을 분산시키는 용매 (제 1 용매) 에는 에탄올, 메탄올 같은 알코올류나, 물이 사용되고 있다. 격벽막 (15) 은 폴리이미드 수지와 같은 절연성 재료로 구성되어 있고, 그 표면은 미리 플라즈마에 노출됨으로써, 상기 기술한 제 1 용매에 대한 친화성이 낮아져 있기 때문에, 제 1 유기 재료가 분출될 때에 노즐의 위치가 어긋나고, 구멍 (16) 의 외측에서 격벽막 (15) 표면에 착탄하였다고해도, 제 1 유기 재료는 격벽막 (15) 표면에서 퍼지지 않고 물방울 형상으로 된다. Generally, alcohols, such as ethanol and methanol, and water are used for the solvent (first solvent) which disperse | distributes a hole transport material. The partition film 15 is made of an insulating material such as polyimide resin, and the surface thereof is exposed to plasma in advance, so that the affinity for the first solvent described above is lowered, so that when the first organic material is ejected, Even if the position of the nozzle is shifted and the gas reaches the surface of the partition film 15 from the outside of the hole 16, the first organic material does not spread from the surface of the partition film 15 to form a droplet.

산화 티탄으로 이루어지는 무기 재료막 (14) 의 제 1 용매에 대한 친화성은, 격벽막 (15) 표면의 제 1 용매에 대한 친화성과 비교하여 매우 높고, 따라서 제 1 유기 재료의 착탄 위치가 구멍 (16) 의 근방이면, 물방울 형상으로 된 제 1 유기 재료는 무기 재료막 (14) 쪽으로 끌려가 구멍 (16) 내부로 이동하고, 결국, 제 1 유기 재료는 무기 재료막 (14) 의 표면에 배치되게 된다.  The affinity with respect to the 1st solvent of the inorganic material film 14 which consists of titanium oxide is very high compared with the affinity with respect to the 1st solvent of the surface of the partition film 15, Therefore, the impact position of the 1st organic material has a hole 16 ), The water droplet-shaped first organic material is attracted toward the inorganic material film 14 and moves into the hole 16, so that the first organic material is disposed on the surface of the inorganic material film 14 do.

투명 전극막 (12) 은 ITO (인듐·주석 산화물) 과 같은 투명 도전 재료로 이루어지고, 이러한 투명 전극막 (12) 의 제 1 용매에 대한 친화성은, 무기 재료막 (14) 에 비하여 매우 낮기 때문에, 투명 전극막 (12) 표면에 제 1 유기 재료가 직접 배치되면 튕겨져 버리지만, 제 1 유기 재료가 무기 재료막 (14) 표면에 배치되면, 튕기지 않고 퍼져, 막두께가 균일한 도포층이 형성된다. The transparent electrode film 12 is made of a transparent conductive material such as ITO (indium tin oxide), and the affinity for the first solvent of the transparent electrode film 12 is very low compared to the inorganic material film 14. When the first organic material is directly disposed on the surface of the transparent electrode film 12, the first organic material is bounced off, but when the first organic material is disposed on the surface of the inorganic material film 14, the coating layer is spread without being bounced and the film thickness is uniform. Is formed.

이어서 전체를 가열 건조하고, 도포층에서 여분의 제 1 용매를 제거하면, 제 1 유기 화합물을 주성분으로 하고, 막두께가 균일한 제 1 유기층 (21) 이 형성된다 (도 1(d)). Subsequently, when the whole is heat-dried and the excess 1st solvent is removed from an application layer, the 1st organic layer 21 which has a 1st organic compound as a main component and a uniform film thickness is formed (FIG. 1 (d)).

다음으로, 발광 물질로 이루어지는 제 2 유기 화합물이, 제 2 용매에 분산된 액상의 제 2 유기 재료를, 잉크젯 프린터의 탱크에 충전하고, 그 잉크젯 프린터의 노즐을 구멍 (16) 상에서 정지시키고, 노즐로부터 제 2 유기 재료를 분출시키면, 제 2 유기 재료의 액적이 구멍 (16) 의 내부에 착탄하고, 제 2 유기 재료가 제 1 유기층 (21) 표면에 배치된다. Next, the 2nd organic compound which consists of a luminescent material fills the tank of an inkjet printer with the liquid 2nd organic material disperse | distributed to the 2nd solvent, the nozzle of the inkjet printer is stopped on the hole 16, and a nozzle When the second organic material is ejected from the liquid droplets, the droplets of the second organic material reach the inside of the holes 16 and the second organic material is disposed on the surface of the first organic layer 21.

상기 기술한 바와 같이, 제 1 유기층 (21) 의 막두께는 균일하고, 그 표면은 평탄하게 되어 있기 때문에, 제 2 유기 재료가 제 1 유기층 (21) 의 표면에 배치되면, 막두께가 균일한 도포층이 형성된다. 이어서 전체를 가열 건조하고, 그 도포층에서 여분의 제 2 용매를 제거하면, 제 2 유기 화합물을 주성분으로 하고, 막두께가 균일한 제 2 유기층 (22) 이 형성된다 (도 2(a)). As described above, since the film thickness of the first organic layer 21 is uniform and the surface thereof is flat, when the second organic material is disposed on the surface of the first organic layer 21, the film thickness is uniform. An application layer is formed. Subsequently, when the whole is heat-dried and the excess 2nd solvent is removed from the application layer, the 2nd organic layer 22 which has a 2nd organic compound as a main component and a uniform film thickness is formed (FIG. 2 (a)). .

다음으로, 전자 수송 물질로 이루어지는 제 3 유기 화합물이 제 3 용매로 분산된 액상의 제 3 유기 재료를 잉크젯 프린터의 탱크에 충전하고, 그 잉크젯 프린터의 노즐을 구멍 (16) 상에서 정지시키고, 노즐로부터 제 3 유기 재료를 분출시키면, 제 3 유기 재료의 액적이 구멍 (16) 의 내부에 착탄하고, 제 3 유기 재료가 제 2 유기층 (22) 의 표면에 배치되어, 도포층이 형성된다. 이어서, 전체를 가열 건조하고, 제 3 유기 재료의 도포층에서 여분의 제 3 용매를 제거하면, 제 3 유기층 (23) 이 형성된다 (도 2(b)). Next, a liquid third organic material in which the third organic compound composed of the electron transporting material is dispersed in the third solvent is filled into the tank of the ink jet printer, and the nozzle of the ink jet printer is stopped on the hole 16, and from the nozzle When the third organic material is ejected, droplets of the third organic material reach the inside of the hole 16, and the third organic material is disposed on the surface of the second organic layer 22, thereby forming an application layer. Subsequently, when the whole is heat-dried and the excess 3rd solvent is removed from the application layer of 3rd organic material, the 3rd organic layer 23 is formed (FIG. 2 (b)).

도 2(b) 의 부호 (20) 는 구멍 (16) 의 내부에 형성된 제 1~제 3 유기층 (21)~(23) 으로 이루어지는 유기막을 나타내고 있다. 다음으로, 유기막 (20) 이 형성된 상태의 처리 대상 기판 (10) 을, 미리 진공 분위기가 형성된 증착 장치의 진공조 내부로 반입하고, 격벽막 (15) 측의 면을 진공조 내부의 증착원을 향한 상태로 배치하여, 도 2(c) 에 나타내는 바와 같이 격벽막 (15) 상에 전극용 마스크 (28) 를 배치한다. Reference numeral 20 in FIG. 2B denotes an organic film composed of the first to third organic layers 21 to 23 formed inside the hole 16. Next, the process target substrate 10 in the state where the organic film 20 is formed is brought into the vacuum chamber of the vapor deposition apparatus in which the vacuum atmosphere is formed in advance, and the surface of the partition film 15 side is deposited in the vacuum chamber. 2, the electrode mask 28 is disposed on the partition film 15 as shown in FIG. 2 (c).

전극용 마스크 (28) 는 가늘고 긴 개구를 복수개 갖고 있다. 전극용 마스크 (28) 가 격벽막 (15) 상에 배치된 상태에서는, 각 개구가 투명 전극막 (12) 과 구멍 (16) 상의 위치에서 교차하도록 되어 있고, 따라서 각 개구의 내부에는 격벽막 (15) 의 표면과, 유기막 (20) 의 표면이 노출되어 있다. The electrode mask 28 has a plurality of elongated openings. In the state where the electrode mask 28 is disposed on the partition film 15, the openings intersect at the positions on the transparent electrode film 12 and the holes 16, so that the partition film ( The surface of 15) and the surface of the organic film 20 are exposed.

이 상태에서, 증착원에서 전극 재료의 증기를 방출시키면, 개구를 통과한 증기가, 격벽막 (15) 표면의 개구 내에 노출되는 부분과 유기막 (20) 의 표면에 부착되고, 구멍 (16) 상의 위치에서 투명 전극막 (12) 과 교차하는 가늘고 긴 상부 전극막이, 개구와 동일한 개수 형성된다. In this state, when the vapor of the electrode material is released from the vapor deposition source, the vapor passing through the opening adheres to the portion exposed in the opening of the surface of the partition film 15 and the surface of the organic film 20, and the hole 16 An elongated upper electrode film intersecting with the transparent electrode film 12 at the position of the image is formed in the same number as the openings.

도 2(d) 의 부호 (1) 는 상부 전극막 (25) 이 형성된 상태의 유기 EL 소자를 나타내고 있다. 여기에서는, 각 투명 전극막 (12) 은 직선상으로 형성되어, 서로 소정 간격을 두고 평행하게 배치되어 있고, 각 상부 전극막 (25) 도 직선상으로 형성되어, 투명 전극막 (12) 과 직교하도록 각각 교차하고 있기 때문에, 동일한 투명 전극막 (12) 상에 형성된 복수의 유기막 (20) 에는, 각각 상이한 상부 전극막 (25) 이 밀착한 상태로 되어 있다. Reference numeral 1 in Fig. 2D shows an organic EL element in a state where the upper electrode film 25 is formed. Here, each of the transparent electrode films 12 is formed in a straight line, arranged in parallel with each other at a predetermined interval, and each of the upper electrode films 25 is also formed in a straight line, perpendicular to the transparent electrode film 12. Since it intersects so that it may cross each other, the different upper electrode film 25 is in the state which contact | adhered to the some organic film 20 formed on the same transparent electrode film 12, respectively.

따라서, 투명 전극막 (12) 과 상부 전극막 (25) 을 선택하여 정전압과 부전압을 각각 인가하면, 선택된 투명 전극막 (12) 상의 유기막 (20) 중, 선택된 상부전극막 (25) 과 밀착하는 유기막 (20) 에 전자가 주입된다. Therefore, when the transparent electrode film 12 and the upper electrode film 25 are selected to apply a constant voltage and a negative voltage, respectively, the selected upper electrode film 25 and the selected upper electrode film 25 of the organic film 20 on the selected transparent electrode film 12 are applied. Electrons are injected into the organic film 20 in close contact.

유기막 (20) 은 제 3 유기층 (23) 이 형성된 측의 면이 상부 전극막 (25)과 밀착하고 있어, 제 3 유기층 (23) 은 전자 수송 물질로 이루어지는 제 3 유기 화합물을 함유하기 때문에, 상부 전극막 (25) 으로부터 주입된 전자는 제 3 유기층 (23) 으로부터 제 2 유기층 (22) 으로 수송된다. Since the organic film 20 is in close contact with the upper electrode film 25 on the side where the third organic layer 23 is formed, and the third organic layer 23 contains a third organic compound made of an electron transporting material, Electrons injected from the upper electrode film 25 are transported from the third organic layer 23 to the second organic layer 22.

한편, 투명 전극막 (12) 은 무기 재료막 (14) 에 밀착되어 있기 때문에, 무기 재료막 (14) 에는 정공이 주입된다. On the other hand, since the transparent electrode film 12 is in close contact with the inorganic material film 14, holes are injected into the inorganic material film 14.

여기에서는, 제 1 유기 화합물은 정공 수송 물질인 PEDOT (poly(ethylenedioxy)thiophene, 폴리에틸렌디옥시티오펜) 으로 구성되어 있고, PEDOT 를 사용한 경우의 제 1 유기층 (21) 의 일함수는 5.0eV 이다. 또 ITO 로 이루어지는 투명 전극막 (12) 의 일함수는 4.8eV 이다. 이에 반하여, 산화 티탄으로 이루어지는 무기 재료막 (14) 의 일함수는 4.8eV 와 5.0eV 의 사이에 있기 때문에, 무기 재료막 (14) 에 주입된 정공은 제 1 유기층 (21) 으로 수송되고, 또한, 제 1 유기층 (21) 중의 PEDOT 로 수송되어 제 2 유기층 (22) 에 주입된다.Here, the 1st organic compound is comprised from PEDOT (poly (ethylenedioxy) thiophene, polyethylenedioxythiophene) which is a hole transport material, and the work function of the 1st organic layer 21 when PEDOT is used is 5.0 eV. The work function of the transparent electrode film 12 made of ITO is 4.8 eV. In contrast, since the work function of the inorganic material film 14 made of titanium oxide is between 4.8 eV and 5.0 eV, holes injected into the inorganic material film 14 are transported to the first organic layer 21, and Is transported to PEDOT in the first organic layer 21 and injected into the second organic layer 22.

제 2 유기층 (22) 은 발광 물질로 이루어지는 제 2 유기 화합물을 주성분으로 하기 때문에, 제 2 유기층 (22) 에 주입된 전자와 정공이 결합하면, 발광 물질이 여기되고, 제 2 유기층 (22) 이 발광한다. 상기 기술한 바와 같이, 본 발명에서는 제 2 유기층 (22) 의 막두께가 균일하게 되어 있기 때문에, 제 2 유기층 (22) 내에서 저항차가 발생하지 않고, 제 2 유기층 (22) 이 균일하게 발광한다.Since the 2nd organic layer 22 has a 2nd organic compound which consists of a luminescent material as a main component, when the electron and hole inject | poured into the 2nd organic layer 22 combine, a luminescent material is excited and the 2nd organic layer 22 is It emits light. As described above, in the present invention, since the film thickness of the second organic layer 22 is uniform, a resistance difference does not occur in the second organic layer 22, and the second organic layer 22 emits light uniformly. .

무기 재료막 (14) 의 막두께는 투광성을 가질 정도로 얇게 되어 있기 때문에, 제 2 유기층 (22) 으로부터 방출되는 빛 중, 무기 재료막 (14) 측으로 방출되는 빛은, 제 1 유기층 (21) 과, 무기 재료막 (14) 과, 투명 전극막 (12) 과, 투명 기판 (11) 을 통해 유기 EL 소자 (1) 의 외부로 방출된다. Since the film thickness of the inorganic material film 14 is so thin that it has a light transmittance, light emitted to the inorganic material film 14 side among the light emitted from the second organic layer 22 is the same as that of the first organic layer 21. , The inorganic material film 14, the transparent electrode film 12, and the transparent substrate 11 are released to the outside of the organic EL element 1.

상기 기술한 바와 같이, 이 유기 EL 소자 (1) 에서는, 선택된 투명 전극막 (12) 상에 위치하는 유기막 (20) 중, 선택된 상부 전극막 (25) 과 밀착하는 유기막 (20) 에만 전압이 인가되어 빛이 방출되기 때문에, 상부 전극막 (25) 과 투명 전극막 (12) 을 선택함으로써, 원하는 유기막 (20) 만을 발광시켜, 문자나 도면 같은 화상 정보를 표시할 수 있다.  As described above, in the organic EL element 1, only the organic film 20 in close contact with the selected upper electrode film 25 among the organic films 20 positioned on the selected transparent electrode film 12 has a voltage. Since light is applied and light is emitted, only the desired organic film 20 can be made to emit light by selecting the upper electrode film 25 and the transparent electrode film 12, so that image information such as letters and drawings can be displayed.

유기막 (20) 에 색소를 첨가하면, 유기 EL 소자로부터 방출되는 빛을 색소의 색으로 착색할 수 있다. 예를 들어, 3 개 이상의 유기막 (20) 을 1 세트의 발광 단위로 하고, 발광 단위를 구성하는 각 유기막 (20) 에 빨강, 초록, 파랑 등의 상이한 색의 색소를 함유시켜, 각 발광 단위를 1 개의 화소로서 발광시키면, 화상 정보를 컬러 표시할 수도 있다. When a pigment | dye is added to the organic film 20, the light emitted from an organic electroluminescent element can be colored by the color of a pigment | dye. For example, three or more organic films 20 are used as a set of light emitting units, and each organic film 20 constituting the light emitting unit contains pigments of different colors such as red, green, and blue, and emits light. When the unit emits light as one pixel, the image information can be displayed in color.

복수의 유기층 (21)~(23) 으로 이루어지는 유기막 (20) 에 색소를 첨가시키는 경우에는, 색소를 첨가하는 유기층 (21)~(23) 은 특별히 한정되는 것이 아니지만, 발광 물질을 함유하는 유기층 (22) 보다 무기 재료막 (14) 측의 유기층(22), (21) 에 첨가하는 것이 바람직하고, 그 중에서도 발광 물질을 함유하는 유기층 (22) 에 첨가하는 것이 보다 바람직하다. When adding a pigment | dye to the organic film 20 which consists of several organic layers 21-23, the organic layers 21-23 which add a pigment | dye are not specifically limited, The organic layer containing a luminescent substance It is more preferable to add to the organic layers 22 and 21 on the inorganic material film 14 side than (22), and it is more preferable to add to the organic layer 22 containing a light emitting substance especially.

이상은, 구멍 (16) 의 저면에 노출되는 투명 전극막 (12) 표면에만 무기 재료막 (14) 을 형성하는 경우에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.  As mentioned above, although the case where the inorganic material film 14 was formed only in the surface of the transparent electrode film 12 exposed to the bottom face of the hole 16 was demonstrated, this invention is not limited to this.

도 3 의 부호 3 은 본 발명의 다른 예의 유기 EL 소자를 나타내고 있다. 이 유기 EL 소자 (3) 에서는, 무기 재료막 (34) 이 스퍼터링에 의해서, 구멍 (16) 의 측면과, 구멍 (16) 의 저면에 연속하여 형성되어 있다. 3 has shown the organic electroluminescent element of the other example of this invention. In this organic EL element 3, the inorganic material film 34 is formed continuously on the side surface of the hole 16 and the bottom face of the hole 16 by sputtering.

이 유기 EL 소자 (3) 에 있어서도, 제 1 유기 재료는 구멍 (16) 의 내부 위치에서 무기 재료막 (34) 의 표면에 배치되기 때문에, 제 1 유기층 (21) 은 막두께가 균일하게 되고, 따라서, 제 1 유기층 (21) 표면에 형성되는 제 2 유기층 (22) 의 막두께도 균일하게 된다. Also in this organic EL element 3, since the 1st organic material is arrange | positioned at the surface of the inorganic material film | membrane 34 in the inside position of the hole 16, the film thickness of the 1st organic layer 21 becomes uniform, Therefore, the film thickness of the 2nd organic layer 22 formed in the surface of the 1st organic layer 21 also becomes uniform.

이상은, 유기막 (20) 이 제 1~제 3 유기층 (21)~(23) 을 갖는 경우에 대하여 설명하였지만 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 유기막이 적어도 정공 수송 물질과, 발광 물질을 갖고 있는 것이면, 2 층 이하의 유기층으로 하나의 유기막을 구성해도 되고, 또 4 층 이상의 유기층으로 하나의 유기막을 구성할 수도 있다. 정공 수송 물질과, 발광 물질은 따로 따로 유기층에 함유시켜도 되고, 동일한 유기층에 함유시켜도 된다.  As mentioned above, although the case where the organic film 20 has the 1st-3rd organic layers 21-23 was demonstrated, this invention is not limited to this, The organic film is a hole transport material and a light emitting material at least. If it has, you may comprise one organic film with two or less organic layers, and you may comprise one organic film with four or more organic layers. The hole transport material and the light emitting material may be separately contained in the organic layer or may be contained in the same organic layer.

투명 전극막 (12) 과 무기 재료막 (14) 사이와, 유기막 (20) 과 상부 전극막 (25) 사이의 어느 일방 또는 양방에 버퍼층과 같은 다른 층을 형성해도 된다. 정공 수송 물질은 PEDOT 으로 이루어지는 것에 한정되지 않고, PEDOT/PSS(poly(styrenesulfonate)), PANI(polyaniline, 폴리아닐린) 등도 사용할 수 있다. Another layer, such as a buffer layer, may be formed in any one or both of the transparent electrode film 12 and the inorganic material film 14 and between the organic film 20 and the upper electrode film 25. The hole transporting material is not limited to one consisting of PEDOT, and PEDOT / PSS (poly (styrenesulfonate)), PANI (polyaniline, polyaniline) and the like can also be used.

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제 1 유기 화합물을 분산하는 용매 (제 1 용매) 도 물에 한정되는 것이 아니라, 무기 재료막 (14) 에 대한 친화성이, 투명 전극막 (12) 보다도 높은 것이면, 메탄올, 에탄올, 부탄올 등의 알코올류를 사용할 수 있고, 또 그들 용매를 2 종류 이상 혼합하여 사용할 수도 있다. The solvent (first solvent) for dispersing the first organic compound is not limited to water, and if the affinity for the inorganic material film 14 is higher than that of the transparent electrode film 12, such as methanol, ethanol, butanol, and the like. Alcohols can be used, and these solvent can also be used in mixture of 2 or more types.

알코올은 친수성 용매이기 때문에, 알코올 또는 물을 갖는 제 1 용매는, 친수성 용매이다. 따라서, 무기 재료막 (14) 의 주성분에 친수성의 무기 재료를 사용하고, 투명 전극막 (12) 의 주성분에 소수성의 도전 재료를 사용하면, 상기 제 1 용매의 무기 재료막 (14) 에 대한 친화성이, 투명 전극막 (12) 보다 높아지게 된다.Since alcohol is a hydrophilic solvent, the 1st solvent which has alcohol or water is a hydrophilic solvent. Therefore, if a hydrophilic inorganic material is used for the main component of the inorganic material film 14 and a hydrophobic conductive material is used for the main component of the transparent electrode film 12, the parent material of the inorganic material film 14 is Hwaseong becomes higher than the transparent electrode film 12.

또한 본 발명에 사용하는 제 1 용매는 알코올이나 물에 한정되지 않고, 제 1 유기 화합물을 화학적으로 변성시키지 않는 것이면, 다른 친수성 용매를 사용할 수 있다. The first solvent used in the present invention is not limited to alcohol and water, and other hydrophilic solvents can be used as long as the first organic compound is not chemically modified.

또 정공 수송 물질과 같은 제 1 유기 화합물과 함께, 색소나 분산제나 완충제 등의 첨가제를 용매에 분산시킬 수도 있다. Moreover, additives, such as a pigment | dye, a dispersing agent, and a buffer, can also be disperse | distributed with a 1st organic compound like a hole transport material in a solvent.

본 발명에 사용하는 발광 물질은 특별히 한정되는 것이 아니라, 폴리파라페닐렌비닐렌 및 그 유도체나 폴리나프틸렌비닐렌, 폴리알킬티오펜 등 여러 가지의 발광 물질을 사용할 수 있다. The light emitting material used in the present invention is not particularly limited, and various light emitting materials such as polyparaphenylene vinylene and derivatives thereof, polynaphthylenevinylene and polyalkylthiophene can be used.

전자 수송 물질로서는, Alq (트리스(8-퀴놀리노라토) 알루미늄 (Ⅲ) 착물) 이나, 실롤 유도체, 아연의 벤조티아졸착물 등 여러 가지를 사용할 수 있다. 또 발광 물질이나 전자 수송 물질을 분산시키는 용매 (제 2, 제 3 용매) 도 특별히 한정되는 것이 아니라, 물, 자일렌, 에탄올, 메탄올 등 여러 가지의 용매를 사용하는 것이 가능하다. 이들 용매는 단독으로 사용해도 되고, 2 종류 이상을 혼합하여 사용해도 된다. 또, 발광 물질이나 전자 수송 물질을 용매에 분산시킨 액상의 유기 재료에 분산제, 완충제, 색소 등의 첨가물을 첨가할 수도 있다.As the electron transporting substance, various kinds of Alq (tris (8-quinolinolato) aluminum (III) complex), silol derivatives, and benzothiazole complexes of zinc can be used. The solvent (second and third solvents) for dispersing the luminescent material and the electron transporting material is not particularly limited, but various solvents such as water, xylene, ethanol and methanol can be used. These solvents may be used alone or in combination of two or more kinds thereof. Moreover, additives, such as a dispersing agent, a buffer, and a pigment, can also be added to the liquid organic material which disperse | distributed the luminescent substance and the electron carrying substance in the solvent.

투명 전극막 (12) 을 구성하는 물질도 ITO 에 한정되지 않고, 투광성이 높고, 또한 도전성을 갖는 것이라면, 산화 아연이나 산화 주석 등 다른 도전 재료를 투명 전극막 (12) 의 주성분으로서 사용할 수 있고, 또 이들 도전 재료를 2 종류 이상 함께 사용할 수도 있다. ITO 와, 산화 아연과, 산화 주석은 소수성의 도전 재료이고, 소수성의 도전 재료를 주성분으로 하는 투명 전극막 (12) 상에, 상기 친수성의 무기 재료막을 배치하면, 친수성 용매를 함유하는 유기 재료가 튕기지 않고서 무기 재료막 (14) 상에 도포된다. The material constituting the transparent electrode film 12 is also not limited to ITO, and other conductive materials such as zinc oxide and tin oxide can be used as the main component of the transparent electrode film 12, provided that the light transmitting property is high and the conductivity is sufficient. Moreover, two or more types of these electrically-conductive materials can also be used together. ITO, zinc oxide and tin oxide are hydrophobic conductive materials, and when the said hydrophilic inorganic material film is arrange | positioned on the transparent electrode film 12 which has a hydrophobic conductive material as a main component, the organic material containing a hydrophilic solvent will jump out. Is applied onto the inorganic material film 14 without the use.

상부 전극막 (25) 을 구성하는 도전 재료도 특별히 한정되는 것이 아니라, 마그네슘 합금, 알루미늄 합금, 금속 칼슘 등 여러 가지 도전 재료를 사용할 수 있다. 상부 전극막의 막형성법도 진공 증착법에 한정되지 않고, 이온 플레이팅법, 이온화 증착법, 스퍼터법 등 다른 막형성 방법으로 막형성할 수도 있다. The conductive material constituting the upper electrode film 25 is also not particularly limited, and various conductive materials such as magnesium alloy, aluminum alloy and metal calcium can be used. The film formation method of the upper electrode film is not limited to the vacuum deposition method, but may be formed by other film formation methods such as ion plating, ionization deposition, and sputtering.

격벽막 (15) 을 구성하는 수지 재료는 폴리이미드 수지에 한정되는 것이 아니라, 에폭시 수지 등 다른 수지 재료를 사용할 수도 있다. 또 격벽막 (15) 을 구성하는 재료는 수지 재료에 한정되지 않고, 규소 등 무기 재료도 사용할 수 있지만, 절연성 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 또 절연 재료로 이루어지는 절연층을 2 종류 이상 적층하여, 하나의 격벽막을 형성해도 된다. The resin material constituting the partition film 15 is not limited to polyimide resin, and other resin materials such as epoxy resin can also be used. Moreover, although the material which comprises the partition film 15 is not limited to a resin material, inorganic materials, such as silicon, can also be used, It is preferable to use an insulating material. Moreover, you may laminate | stack two or more types of insulating layers which consist of an insulating material, and may form one partition film.

이상은, 투명 전극막 (12) 과 상부 전극막 (25) 의 양방을 각각 복수개씩 형성하는 경우에 대하여 설명하였지만 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 투명 전극막 (12) 과 상부 전극막 (25) 중, 어느 일방의 전극막을 대면적으로 막형성하여, 타방의 전극막을 복수개로 분할하고, 분할된 각 전극막에 개별로 전압을 인가할 수 있는 트랜지스터 등의 전기 수단을 각각 형성하면, 전압을 인가하는 전극막을 선택함으로써, 원하는 유기막만을 발광시킬 수 있다.  As mentioned above, although the case where both the transparent electrode film 12 and the upper electrode film 25 were formed in multiple numbers each was demonstrated, this invention is not limited to this. In the transparent electrode film 12 and the upper electrode film 25, one electrode film is formed into a large area, the other electrode film is divided into a plurality, and voltage can be applied to each of the divided electrode films separately. When electrical means such as a transistor are formed, only the desired organic film can be emitted by selecting an electrode film to which a voltage is applied.

Claims (12)

투명 기판 상에 배치되고, 소정 형상으로 패터닝된 투명 전극막과,A transparent electrode film disposed on the transparent substrate and patterned into a predetermined shape; 적어도 상기 투명 전극막 상에 위치하는 격벽막과,A barrier film positioned on at least the transparent electrode film; 상기 격벽막에 형성되고, 저면에 상기 투명 전극막이 위치하는 복수의 구멍과,A plurality of holes formed in the barrier film and having the transparent electrode film on a bottom thereof; 각각의 상기 구멍 내에 각각 배치된 유기막과,An organic film disposed in each of the holes, 적어도 상기 유기막 상에 배치된 상부 전극막을 가지고, At least an upper electrode film disposed on the organic film, 상기 투명 전극막과 상기 상부 전극막 사이에 전압을 인가하면, 상기 유기막이 발광하는 유기 EL 소자를 제조하는 유기 EL 소자의 제조 방법으로서, As a method for producing an organic EL device, when an voltage is applied between the transparent electrode film and the upper electrode film, the organic film emits light. 상기 투명 전극막 상에 상기 격벽막을 배치하고, The partition film is disposed on the transparent electrode film, 상기 격벽막이 갖는 상기 구멍 저면에 노출되는 상기 투명 전극막 상에 무기 재료막을 형성한 후, After forming an inorganic material film on the transparent electrode film exposed to the bottom of the hole of the partition film, 함유하는 용매의 상기 무기 재료막에 대한 친화성이, 상기 투명 전극막에 대한 친화성보다 높은 액상의 유기 재료를, 상기 무기 재료막의 표면에 배치하여 상기 유기막을 형성하는, 유기 EL 소자의 제조 방법.The manufacturing method of the organic electroluminescent element which forms the said organic film by arrange | positioning the liquid organic material whose affinity to the said inorganic material film | membrane of the solvent to contain than affinity for the said transparent electrode film | membrane on the surface of the said inorganic material film | membrane. . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 재료의 액적을 상기 구멍을 향하여 분출시켜 상기 무기 재료막 표면에 상기 유기 재료를 배치하는, 유기 EL 소자의 제조방법. The droplet of the said organic material is blown toward the said hole, and the said organic material is arrange | positioned on the said inorganic material film surface, The manufacturing method of the organic electroluminescent element. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 재료는, 폴리에틸렌디옥시티오펜과, 폴리아닐린의 어느 일방 또는 양방을 함유하는, 유기 EL 소자의 제조 방법. The said organic material is a manufacturing method of the organic electroluminescent element containing polyethylenedioxythiophene and any one or both of polyaniline. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 재료에 함유되는 상기 용매는 친수성 용매인, 유기 EL 소자의 제조 방법. The said solvent contained in the said organic material is a hydrophilic solvent, The manufacturing method of the organic electroluminescent element. 제 4 항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 친수성 용매는 물과 알코올의 어느 일방 또는 양방을 함유하는, 유기 EL 소자의 제조방법. The said hydrophilic solvent contains either one or both of water and alcohol, The manufacturing method of the organic electroluminescent element. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 무기 재료막은, 산화 티탄을 함유하는, 유기 EL 소자의 제조방법. The inorganic material film contains a titanium oxide, a method for producing an organic EL device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 무기 재료막의 구성 물질을 포함하는 타겟을 스퍼터링하여 스퍼터 입자를 방출시키고, 상기 구멍 저면에 위치하는 상기 투명 전극막의 표면에 상기 스퍼터 입자를 부착시켜 상기 무기 재료막을 형성하는, 유기 EL 소자의 제조 방법. A method of manufacturing an organic EL device, wherein the target including the constituent material of the inorganic material film is sputtered to release sputter particles, and the sputter particles are attached to a surface of the transparent electrode film located at the bottom of the hole to form the inorganic material film. . 투명 기판 상에 배치되고, 소정 형상으로 패터닝된 투명 전극막과,A transparent electrode film disposed on the transparent substrate and patterned into a predetermined shape; 적어도 상기 투명 전극막 상에 위치하는 격벽막과,A barrier film positioned on at least the transparent electrode film; 상기 격벽막에 형성되고, 저면에 상기 투명 전극막이 위치하는 복수의 구멍과,A plurality of holes formed in the barrier film and having the transparent electrode film on a bottom thereof; 각각의 상기 구멍 내에 각각 배치된 유기막과,An organic film disposed in each of the holes, 적어도 상기 유기막 상에 배치된 상부 전극막을 가지고, At least an upper electrode film disposed on the organic film, 상기 투명 전극막과 상기 상부 전극막 사이에 전압을 인가하면, 상기 유기막이 발광하는 유기 EL 소자로서, As an organic EL device which emits light when a voltage is applied between the transparent electrode film and the upper electrode film, 각각의 상기 구멍 내에 위치하는 상기 투명 전극막 상에는 산화 티탄을 함유하는 무기 재료막이 형성되고, An inorganic material film containing titanium oxide is formed on the transparent electrode film located in each of the holes, 상기 유기막은 상기 무기 재료막의 표면에 형성되는, 유기 EL 소자. The organic film is formed on the surface of the inorganic material film. 제 8 항에 있어서,9. The method of claim 8, 상기 유기막은 폴리에틸렌디옥시티오펜과, 폴리아닐린의 어느 일방 또는 양방을 함유하는, 유기 EL 소자. The said organic film is an organic electroluminescent element containing polyethylenedioxythiophene and any one or both of polyaniline. 제 8 항에 있어서,9. The method of claim 8, 상기 무기 재료막은 친수성인, 유기 EL 소자. An organic EL device, wherein the inorganic material film is hydrophilic. 제 10 항에 있어서,11. The method of claim 10, 상기 투명 전극막은 소수성의 도전 재료를 함유하는, 유기 EL 소자.The transparent electrode film contains a hydrophobic conductive material. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 소수성의 도전 재료는 인듐 주석 산화물과, 산화 아연과, 산화 주석으로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 1 종류의 도전 재료를 함유하는, 유기 EL 소자. The said hydrophobic electrically-conductive material contains any one kind of electrically-conductive material chosen from the group which consists of indium tin oxide, zinc oxide, and tin oxide.
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