KR101213538B1 - A cassete for loading display pannels, rotating apparatus having the same and driving method thereof - Google Patents

A cassete for loading display pannels, rotating apparatus having the same and driving method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR101213538B1
KR101213538B1 KR1020110062756A KR20110062756A KR101213538B1 KR 101213538 B1 KR101213538 B1 KR 101213538B1 KR 1020110062756 A KR1020110062756 A KR 1020110062756A KR 20110062756 A KR20110062756 A KR 20110062756A KR 101213538 B1 KR101213538 B1 KR 101213538B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
display panel
shelf
shaft
rotating
Prior art date
Application number
KR1020110062756A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김창수
이민진
오용경
조문경
Original Assignee
(주) 씨앤아이테크놀로지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 씨앤아이테크놀로지 filed Critical (주) 씨앤아이테크놀로지
Priority to KR1020110062756A priority Critical patent/KR101213538B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101213538B1 publication Critical patent/KR101213538B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

PURPOSE: A cassette for loading a display panel, a rotation apparatus, and a driving method thereof are provided to improve production efficiency by successively proceeding upturn deposition and downstream deposition. CONSTITUTION: A plurality of display panels is mounted on a cassette body(102). A shelf body(112) is installed inside the cassette body. The plurality of display panels is settled on shelves one by one. A plurality of gripper(120) is installed in a grip body(122) in a longitudinal direction. The plurality of gripper grips the plurality of display panels which is settled on the shelves.

Description

디스플레이 패널 적재용 카세트, 이를 포함한 회전장치 및 이의 구동방법{A CASSETE FOR LOADING DISPLAY PANNELS, ROTATING APPARATUS HAVING THE SAME AND DRIVING METHOD THEREOF} Cassette for loading display panel, rotating device including the same and driving method thereof {A CASSETE FOR LOADING DISPLAY PANNELS, ROTATING APPARATUS HAVING THE SAME AND DRIVING METHOD THEREOF}

본 발명은 디스플레이 패널 적재용 카세트, 이를 포함한 회전장치 및 이의 구동방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다수개의 디스플레이 패널을 장착할 수 있는 카세트와, 진공챔버 내에서 진공을 깨지 않고 다수개의 디스플레이 패널이 장착된 카세트를 회전시키는 회전장치를 제공함으로써, 한 번에 많은 개수의 글래스를 뒤집어서 증착공정을 진행할 수 있으므로 제조시간의 감소 및 생산 효율을 높이고, 비용절감이 가능한 디스플레이 패널 적재용 카세트, 이를 포함한 회전장치 및 이의 구동방법에 관한 것이다.The present invention relates to a display panel stacking cassette, a rotating device including the same, and a driving method thereof, and more particularly, a cassette for mounting a plurality of display panels, and a plurality of display panels without breaking a vacuum in a vacuum chamber. By providing a rotating device that rotates the mounted cassette, a large number of glass can be turned upside down to proceed with the deposition process, thereby reducing the manufacturing time, increasing production efficiency, and reducing the cost of display panel stacking cassettes. An apparatus and a driving method thereof are provided.

정보화 사회가 발전함에 따라 디스플레이 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 증가하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 엘씨디(LCD, Liquid Crystal Display) 패널, 피디피(PDP, Plasma Display Panel), 이엘디(ELD, Electro LuminescentDisplay), 오엘이디(OLED) 등 여러 가지 평판 디스플레이 장치가 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal display (LCD) panels, plasma display panels (PDP), and electro luminescent displays (ELD) have been developed. ) And various flat panel display devices such as OLED.

이중 현재 상용되고 있는 여러 디스플레이 소자들의 성능을 보강하고, 천연색 표시 소자로서의 응용면에서 주목받고 있는 소자중의 하나가 유기 EL(Electro Luminescence), 즉 OLED(Organic Light Emitting Diode)이다.Among them, one of the devices that reinforces the performance of various commercially available display devices and attracts attention in application as a color display device is organic electroluminescence (EL), that is, organic light emitting diode (OLED).

일반적으로, 오엘이디(OLED) 소자는 평판 표시 소자의 하나로서, 투명한 기판 상의 양전극층과 음전극층 사이에 유기 발광층을 포함하는 유기 박막층 등을 개재하여 구성하며, 매우 얇은 두께의 매트릭스 형태를 이룬다.In general, an OLED device is one of flat panel display devices, and is formed between an anode layer and a cathode layer on a transparent substrate through an organic thin film layer including an organic light emitting layer, and forms a very thin matrix.

이러한 오엘이디 기판의 제조 시 상향증착과 하향증착을 순차적으로 진행하는 경우, 중간에 글래스 패널을 뒤집는 공정이 진행된다. When the up-and-down deposition is sequentially performed during the manufacture of the ODL substrate, the process of inverting the glass panel is performed in the middle.

구체적으로, 오엘이디의 투명 전극부와 발광부, 반대쪽 전극부를 상향증착법으로 공정을 진행한 후 글래스 패널을 한번 뒤집고나서, 봉지공정을 위해 하향으로 증착공정을 진행한다.Specifically, the ODL transparent electrode portion, the light emitting portion, and the opposite electrode portion is subjected to an upward deposition process, and then the glass panel is inverted once, and then the deposition process is performed downward for the encapsulation process.

그러나, 종래의 기술에서는 글래스 패널을 1장씩 증착한 후 뒤집는 공정을 진행하기 때문에, 생산효율이 매우 낮은 문제점이 있었다. However, in the prior art, since the glass panel is deposited one by one and then the upside down process, there is a problem in that the production efficiency is very low.

따라서, 보다 생산효율을 높이고, 비용절감을 할 수 있는 기술이 당업계에서 요구되는 실정이다.Therefore, there is a need in the art for a technology that can increase production efficiency and reduce costs.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 진공 챔버 내에서 다수개의 디스플레이 패널을 장착하여 고정한 후 별도의 회전수단에 의해 회전할 수 있는 카세트를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a cassette which can be rotated by a separate rotating means after fixing and mounting a plurality of display panels in a vacuum chamber.

또한, 진공챔버 내에서 진공을 깨지 않고 다수개의 디스플레이 패널이 장착된 카세트를 회전시키는 회전장치를 제공하는데 그 목적이 있다.It is also an object of the present invention to provide a rotating device for rotating a cassette equipped with a plurality of display panels without breaking the vacuum in the vacuum chamber.

또한, 진공챔버 내에서 다수개의 디스플레이 패널을 한 번에 뒤집음으로 인해 제조시간의 감소 및 생산 효율을 높이고, 비용절감이 가능하도록 하는 카세트 회전장치의 구동방법을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, the object of the present invention is to provide a method for driving a cassette rotating apparatus which reduces manufacturing time, increases production efficiency, and enables cost reduction by inverting a plurality of display panels in a vacuum chamber at one time.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 복수개의 디스플레이 패널을 장착하기 위한 카세트 몸체와, 상기 카세트 몸체의 내부에 설치되며, 상기 디스플레이 패널을 하나씩 안착시키는 선반들이 종방향으로 복수개 설치되는 선반몸체와, 상기 선반몸체의 선반들과 일대일 대응되어 상기 선반에 안착된 디스플레이 패널을 잡아주기 위한 그리퍼가 종방향으로 복수개 설치되는 그립몸체와, 상기 선반몸체를 상하로 이동시키도록 상기 선반몸체와 결합되며, 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제1 이동가이드샤프트가 삽입되는 제1 직선운동 가이드 하우징과, 상기 그립몸체를 상하로 이동시키도록 상기 그립몸체와 결합되며, 상기 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제2 이동가이드샤프트가 삽입되는 제2 직선운동 가이드 하우징과, 상기 제1 이동가이드샤프트에 개재되어 탄성복원력에 의해 상기 제1 직선운동 가이드 하우징을 밀어주는 제1 탄성체와, 상기 제2 이동가이드샤프트에 개재되어 탄성복원력에 의해 상기 제2 직선운동 가이드 하우징을 밀어주는 제2 탄성체를 포함하는 디스플레이 패널 적재용 카세트가 제공된다.In order to achieve the above object, the present invention provides a cassette body for mounting a plurality of display panels, a shelf body installed inside the cassette body, and having a plurality of shelves installed on the display panels one by one in a longitudinal direction. A grip body having a plurality of grippers installed in a longitudinal direction to grip the display panel seated on the shelf in one-to-one correspondence with shelves of the shelf body, and coupled to the shelf body to move the shelf body up and down, A first linear motion guide housing into which a first moving guide shaft which is moved up and down by a driving means is inserted, and which is coupled with the grip body to move the grip body up and down, and which is moved up and down by the driving means; A second linear motion guide housing into which the two movement guide shafts are inserted, and the first movement; A first elastic body interposed on an id shaft to push the first linear motion guide housing by an elastic restoring force, and a second elastic body interposed on the second moving guide shaft to push the second linear motion guide housing by an elastic restoring force There is provided a display panel stacking cassette comprising a.

본 발명에 있어서, 상기 선반몸체는 상기 디스플레이 패널의 4개 모서리가 안착되도록 상기 카세트 몸체의 4개의 모서리에 종방향으로 설치될 수 있다.In the present invention, the shelf body may be installed in the longitudinal direction at the four corners of the cassette body so that the four corners of the display panel is seated.

또한, 상기 그립몸체는 상기 선반몸체의 내측에 설치되는 것이 바람직하다.In addition, the grip body is preferably installed inside the shelf body.

상기 선반은 상기 디스플레이 패널이 안착하기 위한 안착홈이 상면에 형성되어 상기 안착홈에 디스플레이 패널을 안정적으로 로딩할 수 있다.The shelf may have a mounting groove formed on the upper surface of the shelf to stably load the display panel in the mounting groove.

상기 구동수단은 상기 카세트 몸체의 하부에 상하로 이동가능하게 설치되는 척인 것을 특징으로 한다.The driving means is characterized in that the chuck is installed to be movable up and down in the lower portion of the cassette body.

한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 카세트 회전장치는 진공챔버에 설치되는 것으로서, 상기 진공챔버에 수용되어 복수개의 디스플레이 패널이 안착되어 고정되는 카세트와, 상기 진공챔버의 양측에 구비되고 상기 카세트의 측면 플레이트에 착탈식으로 결합되어 상기 카세트를 회전시키는 클램프수단과, 상기 카세트에 상기 디스플레이 패널을 고정 또는 해제시키기 위해 상하로 이동되는 구동수단을 포함하여 구성된다.On the other hand, the cassette rotating apparatus for achieving the above object is installed in the vacuum chamber, the cassette accommodated in the vacuum chamber is mounted and fixed to the plurality of display panels, provided on both sides of the vacuum chamber and the Removably coupled to the side plate is configured to include a clamp means for rotating the cassette, and a drive means for moving up and down to fix or release the display panel to the cassette.

상기 카세트는, 복수개의 디스플레이 패널을 장착하기 위한 카세트 몸체와, 상기 카세트 몸체의 내부에 설치되며, 상기 디스플레이 패널을 하나씩 안착시키는 선반들이 종방향으로 복수개 설치되는 선반몸체와, 상기 선반몸체의 선반들과 일대일 대응되어 상기 선반에 안착된 디스플레이 패널을 잡아주기 위한 그리퍼가 종방향으로 복수개 설치되는 그립몸체와, 상기 선반몸체를 상하로 이동시키도록 상기 선반몸체와 결합되며, 상기 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제1 이동가이드샤프트가 삽입되는 제1 직선운동 가이드 하우징과, 상기 그립몸체를 상하로 이동시키도록 상기 그립몸체와 결합되며, 상기 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제2 이동가이드샤프트가 삽입되는 제2 직선운동 가이드 하우징과, 상기 제1 이동가이드샤프트에 개재되어 탄성복원력에 의해 상기 제1 직선운동 가이드 하우징을 밀어주는 제1 탄성체와, 상기 제2 이동가이드샤프트에 개재되어 탄성복원력에 의해 상기 제2 직선운동 가이드 하우징을 밀어주는 제2 탄성체를 포함할 수 있다.The cassette includes a cassette body for mounting a plurality of display panels, a shelf body installed inside the cassette body, and having a plurality of shelves for mounting the display panels one by one in the longitudinal direction, and shelves of the shelf body. A gripper for holding a display panel seated on the shelf in one-to-one correspondence with a grip body installed in a plurality of longitudinal directions, and coupled to the shelf body to move the shelf body up and down, and vertically by the driving means. A first linear motion guide housing into which the first moving guide shaft to be moved is inserted, and a second moving guide shaft which is coupled to the grip body to move the grip body up and down and moved up and down by the driving means are inserted. A second linear motion guide housing to be interposed and elastically interposed in the first moving guide shaft It may include a first elastic body for pushing the first linear motion guide housing by a restoring force, and a second elastic body interposed in the second moving guide shaft for pushing the second linear motion guide housing by an elastic restoring force.

본 발명에 있어서, 상기 클램프수단은 상기 카세트의 일측에 설치된 측면 플레이트에 착탈식으로 결합되어 상기 카세트를 회전시키기 위한 구동력을 발생하는 클램프 어셈블리와, 상기 카세트의 타측에 설치된 측면 플레이트에 착탈식으로 결합되어 상기 클램프 어셈블리와 함께 카세트를 회전시키기 위한 가이드 클램프 어셈블리로 이루어질 수 있다.In the present invention, the clamp means is detachably coupled to the side plate provided on one side of the cassette to generate a driving force for rotating the cassette, and detachably coupled to the side plate provided on the other side of the cassette It may consist of a guide clamp assembly for rotating the cassette together with the clamp assembly.

여기서, 상기 클램프 어셈블리는, 상기 측면 플레이트의 회전부에 삽입되어 고정되는 고정핀과, 상기 고정핀이 고정되는 핀홀더를 전후이동시키기 위한 샤프트와, 상기 샤프트를 회전시키기 위한 구동모터와, 상기 구동모터의 회전수를 감속시키는 감속기와, 상기 샤프트를 전후이동시키기 위한 에어 실린더와, 상기 에어 실린더의 작동에 의해 전후이동되는 전후이동플레이트와, 상기 전후이동플레이트의 전방에 설치되며 상기 샤프트에 개재되는 벨로우즈와, 상기 전후이동플레이트의 이동을 가이드하기 위한 가이드 샤프트를 포함할 수 있다.Here, the clamp assembly, the fixed pin is inserted and fixed to the rotating portion of the side plate, a shaft for moving back and forth the pin holder to which the fixing pin is fixed, a drive motor for rotating the shaft, and the drive motor A speed reducer, an air cylinder for moving the shaft back and forth, a forward and backward movement plate which is moved back and forth by the operation of the air cylinder, and a bellows installed in front of the front and rear movement plate and interposed on the shaft. And, it may include a guide shaft for guiding the movement of the front and rear movement plate.

상기 구동모터는 정방향 및 역방향의 회전이 가능하여 상기 카세트를 정방향 및 역방향으로 회전시킬 수 있다.The drive motor can rotate in the forward and reverse directions to rotate the cassette in the forward and reverse directions.

본 발명에 있어서, 상기 가이드 클램프 어셈블리는, 상기 측면 플레이트의 회전부에 삽입되어 고정되는 고정핀과, 상기 고정핀을 전후이동시키기 위한 샤프트와, 상기 샤프트를 전후이동시키기 위한 에어 실린더와, 상기 에어 실린더의 작동에 의해 전후이동되는 전후이동플레이트와, 상기 전후이동플레이트의 전방에 설치되며 상기 샤프트에 개재되는 벨로우즈와, 상기 전후이동플레이트의 이동을 가이드하기 위한 가이드 샤프트를 포함할 수 있다.In the present invention, the guide clamp assembly, a fixing pin which is inserted and fixed to the rotating portion of the side plate, a shaft for moving the fixing pin back and forth, an air cylinder for moving the shaft back and forth, and the air cylinder It may include a front and rear movement plate which is moved back and forth by the operation, a bellows which is installed in front of the front and rear movement plate, and a guide shaft for guiding the movement of the front and rear movement plate.

상기 구동수단은 상기 카세트의 하부에 설치되어 상하로 이동되는 척인 것을 특징으로 한다.The drive means is installed in the lower portion of the cassette is characterized in that the chuck to move up and down.

한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 회전장치 구동방법은 카세트 내부에 설치되는 선반몸체의 선반 위에 디스플레이 패널이 하나씩 안착되어 로딩되는 단계와, 상기 카세트의 양측에 설치된 클램프 수단이 카세트를 클램프하는 단계와, 상기 카세트의 하부에 설치된 척이 아래로 하강하면서 카세트 내부에 설치되는 그립몸체가 하강하여 상기 선반 위에 로딩된 디스플레이 패널을 홀딩하는 단계와, 고정된 디스플레이 패널의 하면이 상부로 위치하도록 상기 카세트를 180°회전시키는 단계와, 상기 척이 상부로 상승하면서 상기 선반몸체가 상부로 상승하여 상기 디스플레이 패널의 홀딩상태를 푸는 단계를 포함하여 진행될 수 있다.On the other hand, the rotating device driving method of the present invention for achieving the above object is the step of loading the display panel is seated one by one on the shelf of the shelf body is installed inside the cassette, and the clamp means installed on both sides of the cassette to the cassette Clamping, holding the display panel loaded on the shelf by lowering the grip body installed inside the cassette while the chuck installed at the bottom of the cassette descends, and the lower surface of the fixed display panel is positioned upward. And rotating the cassette 180 ° so as to release the holding body of the display panel by lifting the shelf body upward while the chuck is raised upward.

또한, 상기 척이 아래로 내려가면서 상기 선반몸체가 하강하여 상기 디스플레이 패널을 다시 홀딩하는 단계와, 상기 카세트를 반대방향으로 180°회전시키는 단계와, 상기 척이 상부로 상승하면서 상기 그립몸체가 상승하여 상기 디스플레이 패널의 홀딩상태를 푸는 단계와, 상기 카세트의 양측에 결합된 클램프 수단을 해제하는 단계가 더 포함될 수 있다.In addition, the chuck body is lowered as the shelf body is lowered to hold the display panel again, rotating the cassette 180 ° in the opposite direction, and the grip body is raised as the chuck is raised upwards And releasing the holding state of the display panel and releasing the clamp means coupled to both sides of the cassette.

이상에서 설명한 본 발명에 의하면, 다수개의 디스플레이 패널을 장착할 수 있는 카세트와, 진공챔버 내에서 진공을 깨지 않고 다수개의 디스플레이 패널이 장착된 카세트를 회전시키는 회전장치를 제공함으로써, 한 번에 많은 개수의 글래스를 뒤집을 수 있으므로 상향증착과 하향증착이 순차적으로 진행되는 제조공정에서 제조시간의 감소 및 생산 효율을 높이고, 비용절감이 가능한 효과가 있다.According to the present invention described above, by providing a cassette capable of mounting a plurality of display panels and a rotating device for rotating the cassette equipped with a plurality of display panels without breaking the vacuum in the vacuum chamber, a large number at a time Since the glass can be reversed, the manufacturing process in which the up-deposition and the down-deposition are performed sequentially reduces the manufacturing time, increases the production efficiency, and can reduce the cost.

도 1은 본 발명의 카세트 회전장치의 전체 구성을 도시한 사시도,
도 2는 본 발명의 카세트를 도시한 사시도,
도 3a는 본 발명의 클램프 어셈블리를 도시한 사시도,
도 3b는 본 발명의 클램프 어셈블리를 도시한 단면도,
도 4a는 본 발명의 가이드 클램프 어셈블리를 도시한 사시도,
도 4b는 본 발명의 가이드 클램프 어셈블리를 도시한 단면도,
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 회전장치의 구동방법을 순서대로 도시한 개념도.1 is a perspective view showing the overall configuration of the cassette rotating apparatus of the present invention,
2 is a perspective view showing a cassette of the present invention;
Figure 3a is a perspective view of the clamp assembly of the present invention,
3b is a sectional view of the clamp assembly of the present invention;
Figure 4a is a perspective view of the guide clamp assembly of the present invention,
4b is a cross-sectional view of the guide clamp assembly of the present invention;
5a to 5d are conceptual views showing a driving method of the rotating apparatus of the present invention in order.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 카세트 회전장치의 전체 구성을 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 카세트를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing the overall configuration of the cassette rotating apparatus of the present invention, Figure 2 is a perspective view showing the cassette of the present invention.

본 발명에서 제공하는 카세트(100)는 진공챔버(10) 내에 수용되어 복수개의 디스플레이 패널(1)을 장착하기 위한 것으로서, 대략 직육면체 형상으로 이루어지며 디스플레이 패널을 장착하기 위한 선반(110)이 종방향으로 설치된다.The cassette 100 provided in the present invention is accommodated in the vacuum chamber 10 to mount the plurality of display panels 1, and has a substantially rectangular parallelepiped shape, and the shelf 110 for mounting the display panel is in a longitudinal direction. Is installed.

이와 같은 카세트를 회전시키기 위한 장치로는 상기 진공챔버(10)의 양측에 구비되어 상기 카세트(100)의 측면 플레이트(130)에 착탈식으로 결합되어 상기 카세트(100)를 회전시키는 클램프수단으로서, 상기 카세트(100)의 일측에 설치된 측면 플레이트(130)의 회전부(132)에 착탈식으로 결합되어 상기 카세트를 회전시키기 위한 구동력을 발생하는 클램프 어셈블리(30)와, 상기 카세트(100)의 타측에 설치된 측면 플레이트(도시안함)의 회전부에 착탈식으로 결합되어 상기 클램프 어셈블리(30)와 함께 카세트를 회전시키기 위한 가이드 클램프 어셈블리(20)로 이루어진다.As a device for rotating the cassette as a clamp means for rotating the cassette 100 is provided on both sides of the vacuum chamber 10 detachably coupled to the side plate 130 of the cassette 100, Clamp assembly 30 that is detachably coupled to the rotating portion 132 of the side plate 130 installed on one side of the cassette 100 to generate a driving force for rotating the cassette, and the side installed on the other side of the cassette 100 Removably coupled to the rotating portion of the plate (not shown) consists of a guide clamp assembly 20 for rotating the cassette with the clamp assembly 30.

상기 카세트(100)는 도 2에 도시한 바와 같이, 대략 직육면체 형상으로 이루어지는 카세트 몸체(102)와, 상기 카세트 몸체(102)의 4개의 모서리에 종방향으로 설치되는 선반몸체(112)와, 상기 선반몸체의 내측으로 설치되는 그립몸체(122)를 구비한다.As shown in FIG. 2, the cassette 100 includes a cassette body 102 having a substantially rectangular parallelepiped shape, a shelf body 112 installed at four corners of the cassette body 102 in a longitudinal direction, and the A grip body 122 is installed to the inside of the shelf body.

상기 선반몸체(112)는 상기 디스플레이 패널(1)의 4개 모서리가 안착되기 위한 것으로, 상기 디스플레이 패널(1)을 하나씩 안착시키는 선반들(110)이 종방향으로 복수개 설치된다.The shelf body 112 is for mounting the four corners of the display panel 1, a plurality of shelves 110 for seating the display panel 1 one by one is installed in the longitudinal direction.

또한, 상기 그립몸체(122)는 상기 선반몸체(112)의 선반들(110)과 일대일 대응되어 상기 선반(110)에 안착된 디스플레이 패널(1)을 잡아주기 위한 그리퍼(gripper)(120)가 종방향으로 복수개 설치된다.In addition, the grip body 122 corresponds to the shelves 110 of the shelf body 112 to have a gripper 120 for holding the display panel 1 seated on the shelf 110. Plural numbers are installed in the longitudinal direction.

이와 같은 선반몸체(112)와 그립몸체(122)는 소정만큼 상하 방향으로 이동되는 이동수단을 갖는데, 상기 이동수단으로서 상기 선반몸체(112)를 상하로 이동시키도록 상기 선반몸체(112)와 결합되며, 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제1 이동가이드샤프트(146)가 삽입되는 제1 직선운동 가이드 하우징(160)과, 상기 그립몸체(122)를 상하로 이동시키도록 상기 그립몸체(122)와 결합되며, 상기 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제2 이동가이드샤프트(142)가 삽입되는 제2 직선운동 가이드 하우징(150)이 구비된다.The shelf body 112 and the grip body 122 has a moving means that moves in the vertical direction by a predetermined amount, coupled with the shelf body 112 to move the shelf body 112 up and down as the moving means. And a first linear guide housing 160 into which the first moving guide shaft 146 which is moved up and down by a driving means is inserted, and the grip body 122 to move the grip body 122 up and down. And a second linear motion guide housing 150 into which a second moving guide shaft 142 which is moved up and down by the driving means is inserted.

본 발명의 일실시예에서의 상기 제1, 제2 직선운동 가이드 하우징(160)(150)은 상기 제1, 제2 이동가이드샤프트(146)(142)가 모두 삽입되어 상기 제1, 제2 직선운동 가이드 하우징(160)(150)의 상하이동 시 상기 제1, 제2 이동가이드샤프트(146)(142)가 가이드역할을 하도록 구성하였으며, 상기 제1 이동가이드샤프트(146)와 제2 이동가이드샤프트(142)는 카세트 몸체(102)의 상하면에 소정길이만큼 돌출가능한 구성을 갖는다.In the first and second linear motion guide housings 160 and 150 in one embodiment of the present invention, both the first and second moving guide shafts 146 and 142 are inserted into the first and second linear motion guide housings 160 and 150. The first and second movement guide shafts 146 and 142 serve as guides when the linear motion guide housings 160 and 150 are moved in and out of the building. The first movement guide shaft 146 and the second movement The guide shaft 142 has a configuration protruded by a predetermined length on the upper and lower surfaces of the cassette body 102.

이를 위해, 상기 제1 이동가이드샤프트(146)에는 탄성복원력에 의해 상기 제1 직선운동 가이드 하우징(160)을 밀어줄 수 있는 제1 탄성체(148)가 개재되고, 상기 제2 이동가이드샤프트(142)에는 탄성복원력에 의해 상기 제2 직선운동 가이드 하우징(150)을 밀어줄 수 있는 제2 탄성체(144)가 개재된다.To this end, the first moving guide shaft 146 is interposed with a first elastic body 148 capable of pushing the first linear motion guide housing 160 by an elastic restoring force, the second moving guide shaft 142 ) Is interposed with a second elastic body 144 that can push the second linear motion guide housing 150 by an elastic restoring force.

상기 제1, 제2 탄성체(148)(144)는 스프링으로 이루어지며, 도 2에서와 같이 카세트(100)가 정방향으로 위치하는 경우, 상기 제2 탄성체(144)가 탄성복원력에 의해 상기 제2 직선운동 가이드 하우징(150)을 밀어주게 되어, 상기 그립몸체(122)가 하강한 상태를 유지하게 된다. 따라서, 제2 이동가이드샤프트(142)가 하방향으로 소정길이만큼 돌출되는 것이다.The first and second elastic bodies 148 and 144 are made of springs, and as shown in FIG. 2, when the cassette 100 is positioned in the forward direction, the second elastic body 144 is formed by the elastic restoring force. The linear motion guide housing 150 is pushed to maintain the grip body 122 in a lowered state. Therefore, the second movement guide shaft 142 protrudes downward by a predetermined length.

본 발명에 있어서, 상기 선반(110)와 상기 그리퍼(120)의 개수는 카세트(100)에 로딩되는 디스플레이 패널(1)의 개수보다 한 개 더 많이 설치된다. 즉, n개의 디스플레이 패널(1)이 로딩되는 경우, 상기 선반(110)과 그리퍼(120)는 n+1개가 설치되는 것이다.In the present invention, the number of the shelf 110 and the gripper 120 is one more than the number of display panels 1 loaded in the cassette 100. That is, when n display panels 1 are loaded, n + 1 of the shelves 110 and the grippers 120 are installed.

여기서, 상기 선반(110)은 상기 디스플레이 패널(1)이 안착하기 위한 안착홈이 상면에 형성되어 상기 안착홈에 디스플레이 패널을 안정적으로 로딩할 수 있다.Here, the shelf 110 has a mounting groove formed on the upper surface for mounting the display panel 1 can stably load the display panel in the mounting groove.

본 발명에서는 상기 카세트(100)에 상기 디스플레이 패널(1)을 고정 또는 해제시키기 위해 상하로 이동되는 구동수단을 포함하는데, 상기 구동수단은 상기 카세트 몸체의 하부에 상하로 이동가능하게 설치되는 척(chuck)(40)으로 이루어진다.The present invention includes a driving means that is moved up and down to fix or release the display panel (1) to the cassette 100, the drive means is installed in the lower portion of the cassette body to be moved up and down (chuck) chuck 40).

상기 척(40)은 구동축(42)에 의해 상하로 작동되며, 상기 척(40)의 작동에 따라 상기 제1 이동가이드샤프트(146) 또는 제2 이동가이드샤프트(146)(142)의 돌출부(146a)(142a)가 상하로 작동되어 상기 제1, 제2 이동가이드샤프트(146)(142)가 상하로 작동되고, 이에 연동되는 선반몸체(112)와 그립몸체(122)가 상하로 움직이는 것이다.The chuck 40 is vertically operated by the drive shaft 42, and the protrusions of the first moving guide shaft 146 or the second moving guide shaft 146, 142 according to the operation of the chuck 40. 146a) and 142a are operated up and down so that the first and second moving guide shafts 146 and 142 are operated up and down, and the shelf body 112 and the grip body 122 which are linked thereto are moved up and down. .

상기 척(40)의 상하이동구조는 공지된 기술이 적용될 수 있으며, 본 발명에서는 이를 제한하지 않는다.The shankdong structure of the chuck 40 may be a known technique, but the present invention is not limited thereto.

본 발명에 있어서, 상기 클램프 어셈블리(30)는, 도 3a 내지 도 3b에 도시한 바와 같이, 상기 측면 플레이트(130)의 회전부(132)에 삽입되어 고정되는 고정핀(32)과, 상기 고정핀(32)이 고정되는 핀홀더(32a)를 전후이동시키기 위한 샤프트(34)와, 상기 샤프트(34)를 회전시키기 위한 구동모터(33)와, 상기 구동모터(33)의 회전수를 감속시키는 감속기(38)와, 상기 샤프트(34)를 전후이동시키기 위한 에어 실린더(36)와, 상기 에어 실린더(36)의 작동에 의해 전후이동되는 전후이동플레이트(39)와, 상기 전후이동플레이트(39)의 전방에 설치되며 상기 샤프트(34)에 개재되는 벨로우즈(37)와, 상기 전후이동플레이트(39)의 이동을 가이드하기 위한 가이드 샤프트(31)를 포함한다.In the present invention, the clamp assembly 30, as shown in Figure 3a to 3b, the fixing pin 32 is inserted into and fixed to the rotating portion 132 of the side plate 130, and the fixing pin A shaft 34 for moving back and forth the pin holder 32a to which the 32 is fixed, a drive motor 33 for rotating the shaft 34, and a speed of rotation of the drive motor 33 are reduced. The reducer 38, the air cylinder 36 for moving the shaft 34 back and forth, the forward and backward movement plate 39 which is moved back and forth by the operation of the air cylinder 36, and the forward and backward movement plate 39 It is installed in front of the) includes a bellows 37 interposed in the shaft 34, and a guide shaft 31 for guiding the movement of the front and rear movement plate (39).

이와 같은 클램프 어셈블리(30)는 상기 구동모터(33)의 구동력을 상기 샤프트(34)에 전달하기 위한 동력전달수단으로서, 풀리(35)와 타이밍벨트(도시안함)이 구비된다.Such a clamp assembly 30 is a power transmission means for transmitting the driving force of the drive motor 33 to the shaft 34, a pulley 35 and a timing belt (not shown) is provided.

상기 구동모터(33)는 정방향 및 역방향의 회전이 가능하여 상기 카세트를 정방향 및 역방향으로 회전시킬 수 있다.The drive motor 33 may be rotated in the forward and reverse directions to rotate the cassette in the forward and reverse directions.

또한, 상기 가이드 클램프 어셈블리(20)는, 도 4a 내지 도 4b에 도시한 바와 같이, 상기 카세트(100)의 타측에 설치되는 측면 플레이트(도시안함)의 회전부에 삽입되어 고정되는 고정핀(22)과, 상기 고정핀(22)을 전후이동시키기 위한 샤프트(26)와, 상기 샤프트(26)를 전후이동시키기 위한 에어 실린더(23)와, 상기 에어 실린더(23)의 작동에 의해 전후이동되는 전후이동플레이트(25)와, 상기 전후이동플레이트(25)의 전방에 설치되며 상기 샤프트(26)에 개재되는 벨로우즈(24)와, 상기 전후이동플레이트(25)의 이동을 가이드하기 위한 가이드 샤프트(21)를 포함한다.In addition, the guide clamp assembly 20, as shown in Figure 4a to 4b, the fixing pin 22 is inserted and fixed to the rotating portion of the side plate (not shown) installed on the other side of the cassette 100 And a shaft 26 for moving the fixing pin 22 back and forth, an air cylinder 23 for moving the shaft 26 back and forth, and a forward and backward movement by the operation of the air cylinder 23. A moving plate 25, a bellows 24 installed in front of the front and rear movement plate 25 and interposed on the shaft 26, and a guide shaft 21 for guiding movement of the front and rear movement plate 25. ).

이와 같은 클램프 어셈블리(30)와 가이드 클램프 어셈블리(20)는 상기 에어 실린더(36)(23)가 구동하면 상기 전후이동플레이트(39)(25)가 전진 또는 후진함으로써 상기 샤프트(34)(26)을 전진 또는 후진시키고, 이에 따라 상기 고정핀(32)(22)을 카세트에 회전부에 삽입하거나 이탈시킬 수 있다.The clamp assembly 30 and the guide clamp assembly 20 are the shafts 34 and 26 when the air cylinders 36 and 23 are driven so that the front and rear movement plates 39 and 25 move forward or backward. To move forward or backward, the fixing pins 32, 22 can be inserted into or removed from the rotating part in the cassette.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 카세트 회전장치의 구동방법을 도 5a 내지 도 5d를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The driving method of the cassette rotating apparatus of the present invention having such a configuration will be described below with reference to FIGS. 5A to 5D.

먼저, 카세트(100) 내부에 설치되는 선반몸체의 선반(110a)(110b)(110c)(110d)과 그리퍼(120a)(120b)(120c)(120d) 위에 디스플레이 패널(1)이 하나씩 안착되어 로딩된다(도 5a).First, display panels 1 are seated one by one on shelves 110a, 110b, 110c, 110d and grippers 120a, 120b, 120c, and 120d of the shelf body installed inside the cassette 100. Loaded (FIG. 5A).

이때, 상단에 설치되는 선반(110a)과 그리퍼(120a)를 제외한 나머지 선반(110b)(110c)(110d)과 그리퍼(120b)(120c)(120d) 위에 디스플레이 패널(1)이 안착되는 것이다.At this time, the display panel 1 is seated on the remaining shelves 110b, 110c, 110d and grippers 120b, 120c, and 120d except for the shelves 110a and the grippers 120a installed at the top.

이후, 상기 카세트(100)의 양측에 설치된 클램프 어셈블리(30)와 가이드 클램프 어셈블리(20)의 에어 실린더(36)(23)가 구동하여 각각의 고정핀(32)(22)이 전진하고, 상기 고정핀(32)(22)이 카세트의 측면 플레이트(130)의 회전부(132)에 형성된 결합홀에 삽입되어 카세트(100)를 클램프한다.Thereafter, the air cylinders 36 and 23 of the clamp assembly 30 and the guide clamp assembly 20 installed on both sides of the cassette 100 are driven to advance the respective fixing pins 32 and 22. Fixing pins 32 and 22 are inserted into the coupling holes formed in the rotating part 132 of the side plate 130 of the cassette to clamp the cassette 100.

이후, 상기 카세트(100)의 하부에 설치된 척(40)이 아래로 하강하면서 상기 제2 탄성체(144)가 탄성복원력에 의해 상기 제2 직선운동 가이드 하우징(150)을 밀어주면서 카세트 내부에 설치되는 그립몸체(122)가 하강하여 상기 선반(110a)(110b)(110c)(110d) 위에 로딩된 디스플레이 패널(1)을 홀딩한다(도 5b).Subsequently, the second elastic body 144 is installed inside the cassette while pushing the second linear motion guide housing 150 by the elastic restoring force while the chuck 40 installed below the cassette 100 descends. The grip body 122 descends to hold the display panel 1 loaded on the shelves 110a, 110b, 110c and 110d (FIG. 5B).

즉, 상기 그립몸체(122)가 하강하면 상기 그리퍼(120a)(120b)(120c)(120d)가 하강하게 되고, 각각의 선반(110a)(110b)(110c)(110d) 위에 로딩된 디스플레이 패널(1)을 상부에 위치했던 그리퍼(120a)(120b)(120c)(120d)가 잡아주게 되어 패널을 홀딩할 수 있는 것이다.That is, when the grip body 122 descends, the grippers 120a, 120b, 120c, and 120d are lowered, and the display panel loaded on each shelf 110a, 110b, 110c, and 110d. The grippers 120a, 120b, 120c, and 120d, which were positioned at the upper part, are gripped to hold the panel.

이후, 상기 디스플레이 패널(1)의 하면이 상부로 위치하도록 상기 카세트(100)를 180°회전시킨다(도 5c).Thereafter, the cassette 100 is rotated 180 ° so that the lower surface of the display panel 1 is positioned upward (FIG. 5C).

이 경우, 상기 클램프 어셈블리(30)의 구동모터(33)가 구동하여 상기 샤프트(34)를 회전시킴으로써 카세트(100)를 회전시키는 것이며, 상기 가이드 클램프 어셈블리(20)가 상기 카세트(100)의 타측에 설치된 측면 플레이트(도시안함)에 고정되어 상기 클램프 어셈블리(30)의 구동 시 카세트(100)의 회전을 가이드하는 역할을 수행한다.In this case, the driving motor 33 of the clamp assembly 30 is driven to rotate the shaft 34 to rotate the cassette 100, and the guide clamp assembly 20 is the other side of the cassette 100. It is fixed to the side plate (not shown) installed in the serves to guide the rotation of the cassette 100 when the clamp assembly 30 is driven.

이후, 상기 척(40)이 상부로 상승하면서 상기 선반(110a)(110b)(110c)(110d)이 상부로 상승하게 되어 상기 디스플레이 패널의 홀딩상태를 푼다(도 5d).Thereafter, as the chuck 40 rises upward, the shelves 110a, 110b, 110c, and 110d rise upwards to release the holding state of the display panel (FIG. 5D).

이와 같은 방법에 의해 카세트에 디스플레이 패널(1)을 고정시키고, 회전한 후 언로딩할 수 있다.In this way, the display panel 1 can be fixed to the cassette, rotated and unloaded.

또한, 본 발명의 카세트 회전장치는 디스플레이 패널을 재회전시켜 원래의 방향대로 할 수 있다.In addition, the cassette rotating apparatus of the present invention can be rotated to the original direction by rotating the display panel again.

즉, 상기 척(40)이 아래로 내려가면서 상기 선반몸체(112)가 하강하여 상기 디스플레이 패널을 다시 홀딩한 후, 상기 카세트(100)를 반대방향으로 180°회전시키고, 상기 척(40)이 상부로 상승하면서 상기 그립몸체(122)가 상승하여 상기 디스플레이 패널의 홀딩상태를 풀 수 있다.That is, after the chuck 40 is lowered and the shelf body 112 is lowered to hold the display panel again, the cassette 100 is rotated 180 ° in the opposite direction, and the chuck 40 is rotated. The grip body 122 ascends to the upper side to release the holding state of the display panel.

이와 같은 본 발명에 의하면, 상기 선반(110) 위에 로딩된 디스플레이 패널을 홀딩하여 오엘이디 투명 전극부와 발광부, 반대쪽 전극부를 모두 상향증착법으로 공정을 진행하고, 상기 클램프 어셈블리와 가이드 클램프 어셈블리에 의해 카세트(100)를 회전시킨 후, 봉지공정을 하향 증착으로 진행할 수 있게 된다.According to the present invention, by holding the display panel loaded on the shelf 110, the OLED transparent electrode portion, the light emitting portion, and the opposite electrode portion is all proceeding the process by the upward deposition method, by the clamp assembly and the guide clamp assembly After the cassette 100 is rotated, the encapsulation process can be performed by downward deposition.

이와 같은 본 발명은 디스플레이트 패널을 복수개 장착한 카세트를 회전시킬 수 있으므로 한 번에 많은 개수의 디스플레이 패널의 증착공정 수행이 가능하여 제조시간의 감소 및 생산 효율을 높이고, 비용절감이 가능한 효과가 있다.Since the present invention can rotate a cassette having a plurality of display panels, it is possible to perform a deposition process of a large number of display panels at a time, thereby reducing manufacturing time, increasing production efficiency, and reducing costs. .

1 : 디스플레이 패널 10 : 진공챔버
20 : 가이드 클램프 어셈블리 21 : 가이드 샤프트
22 : 고정핀 23 : 에어 실린더
24 : 벨로우즈 25 : 전후이동플레이트
26 : 샤프트 30 : 클램프 어셈블리
31 : 가이드 샤프트 32 : 고정핀
33 : 구동모터 34 : 샤프트
36 : 에어 실린더 37 : 벨로우즈
38 : 감속기 39 : 전후이동플레이트
40 : 척 100 : 카세트
102 : 카세트 몸체 110 : 선반
112 : 선반몸체 120 : 그리퍼
122 : 그립몸체 130 : 측면 플레이트
142 : 제2 이동가이드샤프트 144 : 제2 탄성체
146 : 제1 이동가이드샤프트 148 : 제1 탄성체
150 : 제2 직선운동 가이드 하우징 160 : 제1 직선운동 가이드 하우징1 display panel 10 vacuum chamber
20: guide clamp assembly 21: guide shaft
22: fixed pin 23: air cylinder
24: bellows 25: back and forth moving plate
26 shaft 30 clamp assembly
31: guide shaft 32: fixed pin
33: drive motor 34: shaft
36: air cylinder 37: bellows
38: reducer 39: front and rear movement plate
40: Chuck 100: Cassette
102: cassette body 110: shelf
112: shelf body 120: gripper
122: grip body 130: side plate
142: second moving guide shaft 144: second elastic body
146: first moving guide shaft 148: first elastic body
150: second linear motion guide housing 160: first linear motion guide housing

Claims (14)

복수개의 디스플레이 패널을 장착하기 위한 카세트 몸체;
상기 카세트 몸체의 내부에 설치되며, 상기 디스플레이 패널을 하나씩 안착시키는 선반들이 종방향으로 복수개 설치되는 선반몸체;
상기 선반몸체의 선반들과 일대일 대응되어 상기 선반에 안착된 디스플레이 패널을 잡아주기 위한 그리퍼가 종방향으로 복수개 설치되는 그립몸체;
상기 선반몸체를 상하로 이동시키도록 상기 선반몸체와 결합되며, 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제1 이동가이드샤프트가 삽입되는 제1 직선운동 가이드 하우징;
상기 그립몸체를 상하로 이동시키도록 상기 그립몸체와 결합되며, 상기 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제2 이동가이드샤프트가 삽입되는 제2 직선운동 가이드 하우징;
상기 제1 이동가이드샤프트에 개재되어 탄성복원력에 의해 상기 제1 직선운동 가이드 하우징을 밀어주는 제1 탄성체; 및
상기 제2 이동가이드샤프트에 개재되어 탄성복원력에 의해 상기 제2 직선운동 가이드 하우징을 밀어주는 제2 탄성체;
를 포함하는 디스플레이 패널 적재용 카세트.A cassette body for mounting a plurality of display panels;
A shelf body installed inside the cassette body and having a plurality of shelves installed in the longitudinal direction to seat the display panel one by one;
A grip body having a plurality of grippers installed in a longitudinal direction in one-to-one correspondence with shelves of the shelf body to hold a display panel seated on the shelf;
A first linear motion guide housing coupled to the shelf body to move the shelf body up and down and into which a first movement guide shaft is inserted by the driving means;
A second linear motion guide housing coupled to the grip body to move the grip body up and down and into which a second moving guide shaft is moved up and down by the driving means;
A first elastic body interposed in the first moving guide shaft to push the first linear motion guide housing by an elastic restoring force; And
A second elastic body interposed in the second moving guide shaft to push the second linear motion guide housing by an elastic restoring force;
Display panel stacking cassette comprising a. 제1항에 있어서,
상기 선반몸체는 상기 디스플레이 패널의 4개 모서리가 안착되도록 상기 카세트 몸체의 4개의 모서리에 종방향으로 설치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 적재용 카세트.The method of claim 1,
The shelf body is a display panel stacking cassette, characterized in that installed in the longitudinal direction at the four corners of the cassette body so that the four corners of the display panel is seated. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 그립몸체가 선반몸체의 내측에 설치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 적재용 카세트. The method according to claim 1 or 2,
The display panel stacking cassette, characterized in that the grip body is installed inside the shelf body. 제3항에 있어서,
상기 선반은 상기 디스플레이 패널이 안착하기 위한 안착홈이 상면에 형성되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 적재용 카세트. The method of claim 3,
The shelf is a display panel stacking cassette, characterized in that the mounting groove is formed on the upper surface for mounting the display panel. 제1항에 있어서,
상기 구동수단은 상기 카세트 몸체의 하부에 상하로 이동가능하게 설치되는 척인 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 적재용 카세트. The method of claim 1,
The driving means is a display panel stacking cassette, characterized in that the chuck is installed to be movable up and down in the lower portion of the cassette body. 진공챔버에 설치되는 것으로서,
상기 진공챔버 내에 수용되어 복수개의 디스플레이 패널이 안착되어 고정되는 카세트;
상기 진공챔버의 양측에 구비되고, 상기 카세트의 측면 플레이트에 착탈식으로 결합되어 상기 카세트를 회전시키기 위한 클램프수단;
상기 카세트에 상기 디스플레이 패널을 고정 또는 해제시키기 위해 상하로 이동되는 구동수단;
을 포함하는 카세트 회전장치.As installed in the vacuum chamber,
A cassette accommodated in the vacuum chamber, in which a plurality of display panels are mounted and fixed;
Clamp means provided on both sides of the vacuum chamber and detachably coupled to the side plate of the cassette to rotate the cassette;
Driving means moved up and down to fix or release the display panel to the cassette;
Cassette rotating device comprising a. 제6항에 있어서, 상기 카세트는,
복수개의 디스플레이 패널을 장착하기 위한 카세트 몸체;
상기 카세트 몸체의 내부에 설치되며, 상기 디스플레이 패널을 하나씩 안착시키는 선반들이 종방향으로 복수개 설치되는 선반몸체;
상기 선반몸체의 선반들과 일대일 대응되어 상기 선반에 안착된 디스플레이 패널을 잡아주기 위한 그리퍼가 종방향으로 복수개 설치되는 그립몸체;
상기 선반몸체를 상하로 이동시키도록 상기 선반몸체와 결합되며, 상기 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제1 이동가이드샤프트가 삽입되는 제1 직선운동 가이드 하우징;
상기 그립몸체를 상하로 이동시키도록 상기 그립몸체와 결합되며, 상기 구동수단에 의해 상하로 이동되는 제2 이동가이드샤프트가 삽입되는 제2 직선운동 가이드 하우징;
상기 제1 이동가이드샤프트에 개재되어 탄성복원력에 의해 상기 제1 직선운동 가이드 하우징을 밀어주는 제1 탄성체; 및
상기 제2 이동가이드샤프트에 개재되어 탄성복원력에 의해 상기 제2 직선운동 가이드 하우징을 밀어주는 제2 탄성체;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 회전장치.The method of claim 6, wherein the cassette,
A cassette body for mounting a plurality of display panels;
A shelf body installed inside the cassette body and having a plurality of shelves installed in the longitudinal direction to seat the display panel one by one;
A grip body having a plurality of grippers installed in a longitudinal direction in one-to-one correspondence with shelves of the shelf body to hold a display panel seated on the shelf;
A first linear motion guide housing coupled to the shelf body to move the shelf body up and down and into which a first moving guide shaft is inserted by the driving means;
A second linear motion guide housing coupled to the grip body to move the grip body up and down and into which a second moving guide shaft is moved up and down by the driving means;
A first elastic body interposed in the first moving guide shaft to push the first linear motion guide housing by an elastic restoring force; And
A second elastic body interposed in the second moving guide shaft to push the second linear motion guide housing by an elastic restoring force;
Cassette rotating device comprising a. 제6항에 있어서,
상기 클램프수단은 상기 카세트의 일측에 설치된 측면 플레이트에 착탈식으로 결합되어 상기 카세트를 회전시키기 위한 구동력을 발생하는 클램프 어셈블리와,
상기 카세트의 타측에 설치된 측면 플레이트에 착탈식으로 결합되어 상기 클램프 어셈블리와 함께 카세트를 회전시키기 위한 가이드 클램프 어셈블리로 이루어지는 것을 특징으로 하는 카세트 회전장치.The method according to claim 6,
The clamp means is a clamp assembly detachably coupled to the side plate installed on one side of the cassette to generate a driving force for rotating the cassette;
And a guide clamp assembly detachably coupled to a side plate installed on the other side of the cassette, the guide clamp assembly for rotating the cassette together with the clamp assembly. 제8항에 있어서, 상기 클램프 어셈블리는,
상기 측면 플레이트의 회전부에 삽입되어 고정되는 고정핀;
상기 고정핀이 고정되는 핀홀더를 전후이동시키기 위한 샤프트;
상기 샤프트를 회전시키기 위한 구동모터;
상기 구동모터의 회전수를 감속시키는 감속기;
상기 샤프트를 전후이동시키기 위한 에어 실린더;
상기 에어 실린더의 작동에 의해 전후이동되는 전후이동플레이트;
상기 전후이동플레이트의 전방에 설치되며 상기 샤프트에 개재되는 벨로우즈; 및
상기 전후이동플레이트의 이동을 가이드하기 위한 가이드 샤프트;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 회전장치.The method of claim 8, wherein the clamp assembly,
A fixing pin inserted and fixed to the rotating part of the side plate;
A shaft for moving back and forth the pin holder to which the fixing pin is fixed;
A drive motor for rotating the shaft;
A speed reducer for reducing the rotation speed of the drive motor;
An air cylinder for moving the shaft back and forth;
Front and rear movement plate which is moved back and forth by the operation of the air cylinder;
A bellows installed at the front of the front and rear movable plate and interposed in the shaft; And
A guide shaft for guiding the movement of the front and rear movement plates;
Cassette rotating device comprising a. 제9항에 있어서,
상기 구동모터는 정방향 및 역방향의 회전이 가능하여 상기 카세트를 정방향 및 역방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 카세트 회전장치. 10. The method of claim 9,
The drive motor is a cassette rotation apparatus characterized in that the rotation in the forward and reverse direction is possible to rotate the cassette in the forward and reverse directions. 제8항에 있어서, 상기 가이드 클램프 어셈블리는,
상기 측면 플레이트의 회전부에 삽입되어 고정되는 고정핀;
상기 고정핀을 전후이동시키기 위한 샤프트;
상기 샤프트를 전후이동시키기 위한 에어 실린더;
상기 에어 실린더의 작동에 의해 전후이동되는 전후이동플레이트;
상기 전후이동플레이트의 전방에 설치되며 상기 샤프트에 개재되는 벨로우즈; 및
상기 전후이동플레이트의 이동을 가이드하기 위한 가이드 샤프트;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 회전장치.The method of claim 8, wherein the guide clamp assembly,
A fixing pin inserted and fixed to the rotating part of the side plate;
A shaft for moving the fixing pin back and forth;
An air cylinder for moving the shaft back and forth;
Front and rear movement plate which is moved back and forth by the operation of the air cylinder;
A bellows installed at the front of the front and rear movable plate and interposed in the shaft; And
A guide shaft for guiding the movement of the front and rear movement plates;
Cassette rotating device comprising a. 제6항에 있어서,
상기 구동수단은 상기 카세트의 하부에 설치되어 상하로 이동되는 척인 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 카세트 회전장치.The method according to claim 6,
The driving means is a cassette rotating device, characterized in that the chuck installed in the lower portion of the cassette is moved up and down. 카세트 내부에 설치되는 선반몸체의 선반 위에 디스플레이 패널이 하나씩 안착되어 로딩되는 단계;
상기 카세트의 양측에 설치된 클램프 수단이 카세트를 클램프하는 단계;
상기 카세트의 하부에 설치된 척이 아래로 하강하면서 카세트 내부에 설치되는 그립몸체가 하강하여 상기 선반 위에 로딩된 디스플레이 패널을 홀딩하는 단계;
고정된 디스플레이 패널의 하면이 상부로 위치하도록 상기 카세트를 180°회전시키는 단계; 및
상기 척이 상부로 상승하면서 상기 선반몸체가 상부로 상승하여 상기 디스플레이 패널의 홀딩상태를 푸는 단계;
를 포함하여 진행되는 카세트 회전장치의 구동방법.Loading and loading display panels one by one on a shelf of a shelf body installed inside a cassette;
Clamping the cassette by clamp means provided on both sides of the cassette;
Holding the display panel loaded on the shelf by lowering the grip body installed inside the cassette while the chuck installed on the bottom of the cassette descends;
Rotating the cassette 180 ° so that the lower surface of the fixed display panel is positioned upward; And
Releasing the holding state of the display panel by lifting the shelf body upward while the chuck rises upward;
Method of driving a cassette rotating device that includes. 제13항에 있어서,
상기 척이 아래로 내려가면서 상기 선반몸체가 하강하여 상기 디스플레이 패널을 다시 홀딩하는 단계;
상기 카세트를 반대방향으로 180°회전시키는 단계;
상기 척이 상부로 상승하면서 상기 그립몸체가 상승하여 상기 디스플레이 패널의 홀딩상태를 푸는 단계; 및
상기 카세트의 양측에 결합된 클램프 수단을 해제하는 단계;
가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 카세트 회전장치의 구동방법.

The method of claim 13,
Holding the display panel again by lowering the shelf body while the chuck is lowered;
Rotating the cassette 180 ° in the opposite direction;
Ascending the chuck upwards to lift the grip body to release the holding state of the display panel; And
Releasing clamp means coupled to both sides of the cassette;
The driving method of the cassette rotating apparatus further comprises.

KR1020110062756A 2011-06-28 2011-06-28 A cassete for loading display pannels, rotating apparatus having the same and driving method thereof KR101213538B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110062756A KR101213538B1 (en) 2011-06-28 2011-06-28 A cassete for loading display pannels, rotating apparatus having the same and driving method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110062756A KR101213538B1 (en) 2011-06-28 2011-06-28 A cassete for loading display pannels, rotating apparatus having the same and driving method thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101213538B1 true KR101213538B1 (en) 2012-12-24

Family

ID=47907876

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110062756A KR101213538B1 (en) 2011-06-28 2011-06-28 A cassete for loading display pannels, rotating apparatus having the same and driving method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101213538B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101912836B1 (en) * 2016-12-19 2018-10-30 비전세미콘(주) Apparatus for rotating semiconductor wafer carrier
KR102165856B1 (en) * 2019-05-16 2020-10-14 주식회사 아셀 Apparatus for reversing frame
KR20230092853A (en) * 2021-05-31 2023-06-26 손명식 Clamping apparatus for printed circuit board

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080003082A1 (en) 2006-06-29 2008-01-03 Nec Lcd Technologies, Ltd. Holding apparatus for substrate cassette and storage method for the same
JP2008118014A (en) 2006-11-07 2008-05-22 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd Substrate holding cassette
KR100862619B1 (en) 2007-05-25 2008-10-09 주식회사 코윈디에스티 Plural panel the same time inversion device
JP2010109039A (en) 2008-10-29 2010-05-13 Toppan Printing Co Ltd Cassette for substrate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080003082A1 (en) 2006-06-29 2008-01-03 Nec Lcd Technologies, Ltd. Holding apparatus for substrate cassette and storage method for the same
JP2008118014A (en) 2006-11-07 2008-05-22 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd Substrate holding cassette
KR100862619B1 (en) 2007-05-25 2008-10-09 주식회사 코윈디에스티 Plural panel the same time inversion device
JP2010109039A (en) 2008-10-29 2010-05-13 Toppan Printing Co Ltd Cassette for substrate

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101912836B1 (en) * 2016-12-19 2018-10-30 비전세미콘(주) Apparatus for rotating semiconductor wafer carrier
KR102165856B1 (en) * 2019-05-16 2020-10-14 주식회사 아셀 Apparatus for reversing frame
KR20230092853A (en) * 2021-05-31 2023-06-26 손명식 Clamping apparatus for printed circuit board
KR102551142B1 (en) * 2021-05-31 2023-07-03 손명식 Clamping apparatus for printed circuit board

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20190009045A (en) Led module manufacturing device and method of manufacturing led module
KR20030092789A (en) Fixed device for thin film sputter and fixed method using the same
CN1574271A (en) Substrate conveying device and conveying method, and vacuum disposal device
KR101213538B1 (en) A cassete for loading display pannels, rotating apparatus having the same and driving method thereof
CN1905128A (en) Substrate support plate transfer apparatus for fabricating organic light emitting display
CN113388819A (en) Substrate carrier, film forming apparatus, and film forming method
CN1929109A (en) Substrate positioning device and storing unit
KR101322716B1 (en) Substrate transferring apparatus using magnetic substance
KR101167078B1 (en) Apparatus for joining of OLED substrate
KR101688842B1 (en) Substrate processing apparatus
KR20110027012A (en) Es-chuck carrier and vacuum processing apparatus using the same
KR101570073B1 (en) Substrate transferring carrier and substrage transferring apparatus using the same
KR20140084604A (en) Substrate-clamping unit and apparatus for depositing organic material using the same
CN1895858A (en) Manipulator and method for carrying plate therewith
KR101418711B1 (en) Substrate align module and apparatus for deposition having the same
KR101462596B1 (en) Substrate processing apparatus
KR102121236B1 (en) Loading apparatus, substrate treating apparatus including the loading apparatus
KR100730459B1 (en) Glass cell automatic loading device of liquid crystal display
KR102407507B1 (en) Deposition system
KR102089350B1 (en) Apparatus for transferring substrate and Apparatus for processing substrate having the same
KR101234020B1 (en) Vacuum processing apparatus using ES-Chuck carrier
KR102443436B1 (en) Magnetic levitation substrate transportation system and deposition system having the same
CN221327680U (en) Wafer material loading module
KR101479944B1 (en) Centering apparatus of glass and organic material depositing system including the same
KR100966911B1 (en) An apparatus for cutting the stick glass in the water

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151102

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161017

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee