KR101211851B1 - Panel substrate conveyor equipment and display panel module assembly equipment - Google Patents

Panel substrate conveyor equipment and display panel module assembly equipment Download PDF

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KR101211851B1 KR1020100051863A KR20100051863A KR101211851B1 KR 101211851 B1 KR101211851 B1 KR 101211851B1 KR 1020100051863 A KR1020100051863 A KR 1020100051863A KR 20100051863 A KR20100051863 A KR 20100051863A KR 101211851 B1 KR101211851 B1 KR 101211851B1
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유따까 와따나베
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Abstract

표시 패널 모듈 조립 장치는, 표시 패널의 반송과 처리 작업 시의 위치 결정 동작에 필요한 기구가 복잡하고, 처리 작업 시간에 대한 표시 패널의 반송ㆍ위치 결정 등에 소비되는 시간이 길다. 각 처리 작업 시간에 차가 있기 때문에, 일부의 처리 작업 장치의 가동율이 낮아진다. 각 처리 작업 위치에, 처리변 근방을 균일하게 유지하는 처리변 유지 고정 수단을 설치함과 함께, 표시 패널 기판의 비처리변 하면 영역을 상방으로부터 현수 지지하는 비처리 영역 유지 수단을 설치하였다. 또한, 인접하는 각 처리 작업 위치 간에서 직접 표시 패널을 반송함과 함께, 상기 처리변 유지 고정 수단에의 표시 패널 위치 결정이 가능한 표시 패널 반송 위치 결정 수단을 설치하였다. 본 구성에서는, 처리 작업 시간이 긴 처리 장치의 병행 처리화 등에의 대응도 가능하여, 처리 작업 시간의 차에 의한 가동율 저하의 억제도 가능하다.The display panel module assembling apparatus has a complicated mechanism necessary for the conveyance of the display panel and the positioning operation during the processing operation, and takes a long time for conveyance and positioning of the display panel with respect to the processing operation time. Since there is a difference in each processing work time, the operation rate of some processing work devices is lowered. At each processing work position, processing edge holding and fixing means for uniformly maintaining the vicinity of the processing edge was provided, and non-processing area holding means for suspending the non-processing side lower surface area of the display panel substrate from above was provided. Moreover, while conveying a display panel directly between each adjacent process work position, the display panel conveyance positioning means which can position the display panel to the said process side holding | fixing means was provided. In this structure, it is possible to cope with the parallelization of the processing apparatus with a long processing work time, and also the suppression of the operation rate fall by the difference of processing work time is also possible.

Figure R1020100051863
Figure R1020100051863

Description

패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치{PANEL SUBSTRATE CONVEYOR EQUIPMENT AND DISPLAY PANEL MODULE ASSEMBLY EQUIPMENT}PANEL SUBSTRATE CONVEYOR EQUIPMENT AND DISPLAY PANEL MODULE ASSEMBLY EQUIPMENT}

본 발명은, 액정이나 플라즈마 등의 FPD(Flat Panel Display)의 표시 패널 기판(표시 셀 기판)의 주변에 구동 IC의 탑재나 COF(Chip on Film), FPC(Flexible Printed Circuits) 등의 소위 TAB(Tape Automated Bonding) 접속 및 주변 기판(PCB=Printed Circuit Board)을 실장하는 표시 패널 모듈 조립 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 각 처리 작업을 보다 효율적으로 행하는 것이 가능한 표시 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치의 구성 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to the mounting of a driving IC around a display panel substrate (display cell substrate) of a flat panel display (FPD) such as liquid crystal or plasma, or so-called TAB (Chip on Film) or FPC (Flexible Printed Circuits). The present invention relates to a display panel module assembly apparatus for mounting a tape automated bonding (connection) and peripheral board (PCB = printed circuit board). More specifically, it is related with the structure and method of the display panel board | substrate conveying apparatus and the display panel module assembly apparatus which can perform each processing operation | work in a display panel module assembly apparatus more efficiently.

표시 패널 모듈 조립 장치는, 액정이나 플라즈마 등의 FPD의 표시 패널 기판에, 복수의 처리 작업 공정을 순차적으로 행함으로써, 상기 표시 패널 기판의 주변에, 구동 IC, TAB 및 PCB 등을 실장하는 장치이다.A display panel module assembly apparatus is a device which mounts a drive IC, a TAB, a PCB, etc. in the periphery of the said display panel board | substrate by performing a several process operation process sequentially on the display panel board | substrate of FPDs, such as a liquid crystal and a plasma. .

예를 들면, 처리 공정의 일례로서는, (1) 표시 패널 기판 단부의 TAB 접착부를 청소하는 단자 클리닝 공정, (2) 청소 후의 표시 패널 기판 단부에 이방성 도전 필름(ACF=Anisotropic Conductive Film)을 접착하는 ACF 공정, (3) ACF를 접착한 위치에, 표시 패널 기판측의 배선과 위치 결정하여 TAB나 IC를 탑재하는 탑재 공정, (4) 탑재한 TAB를 가열 압착함으로써, ACF 필름에 의해 고정하는 압착 공정, (5) 탑재한 TAB나 IC의 위치나 접속 상태를 검사하는 검사 공정, (6) TAB의 표시 패널 기판측과 반대측에 PCB를 ACF 등으로 접착 탑재하는 PCB 공정(복수의 공정) 등으로 이루어진다. 또한, 처리하는 표시 패널의 변의 수나 처리하는 TAB나 IC의 수 등에서 각 처리 장치의 수나 표시 패널을 회전하는 처리 유닛 등이 필요로 된다.For example, as an example of a process process, (1) the terminal cleaning process of cleaning the TAB adhesion part of a display panel board | substrate edge part, and (2) the anisotropic conductive film (ACF = Anisotropic Conductive Film) is stuck to the display panel board | substrate edge part after cleaning. ACF process, (3) Mounting process for mounting TAB or IC by positioning with wiring on the display panel substrate side at the position where the ACF is bonded, and (4) Crimping to fix by ACF film by heat-pressing the mounted TAB Process, (5) an inspection process for inspecting the position or connection state of the mounted TAB or IC, (6) a PCB process (multiple processes) for adhesively mounting the PCB to the opposite side of the display panel substrate side of the TAB by ACF, etc. Is done. Moreover, the number of each processing apparatus, the processing unit which rotates a display panel, etc. are needed with the number of sides of the display panel to process, the number of TAB, IC, etc. which are processed.

표시 패널 모듈 조립 장치는, 이들 처리 작업 공정을 행하는 처리 작업 장치를 연속하여 배치하고, 그 사이를 패널 기판 반송 수단에 의해 표시 패널 기판을 반송함으로써, 표시 패널 기판의 주변 실장 처리를 행하는 것이다.The display panel module assembling apparatus performs the peripheral mounting process of a display panel board | substrate by arrange | positioning the processing work apparatus which performs these processing work processes continuously, and conveying a display panel board | substrate by panel substrate conveying means between them.

일본 특개 2004-6467호 공보는, 표시 패널 모듈 조립 장치의 구성의 일례를 나타내는 공지예이다. 일본 특개 2004-6467호 공보에서는, 처리 작업 위치에 작업 테이블을 배치함과 함께, 표시 패널 기판을 배면으로부터 흡착함으로써, 각 처리 작업 위치에 배치된 작업 테이블에의 표시 패널 기판의 반입ㆍ반출을 행하는 패널 반송 수단으로 이루어지는 장치 구성이 개시되어 있다. 이 구성에서는, 왕복 동작하는 복수의 반송 수단에 의해, 각 처리를 행하는 처리 작업 테이블 간에서 표시 패널 기판을 반송한다. 일반적으로, 표시 패널 기판이 반입되는 처리 작업 테이블은, 표시 패널 기판을 유지하고, 표시 패널 기판의 폭, 길이 및 수평 회전 방향 등으로 조정 가능하게 되어 있어, 작업 테이블에서 표시 패널 기판의 처리 위치의 위치 결정을 행하여 각 처리 작업이 실시된다.Japanese Patent Laid-Open No. 2004-6467 is a known example showing an example of the configuration of a display panel module assembly apparatus. In Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-6467, a work table is placed at a processing work position and the display panel substrate is sucked from the back to bring the display panel substrate into and out of the work table arranged at each processing work position. The apparatus structure which consists of panel conveyance means is disclosed. In this structure, the display panel board | substrate is conveyed between the process work tables which perform each process by the some conveyance means which reciprocates. In general, a processing work table into which a display panel substrate is carried is held in a display panel substrate and can be adjusted in a width, a length, a horizontal rotational direction, or the like of the display panel substrate, and thus, Positioning is performed and each processing operation is performed.

이 방식에서는, 위로부터 표시 패널 기판을 흡착 유지하는 반송 수단과 아래로부터 표시 패널 기판을 유지하는 작업 테이블 사이에서의 표시 패널의 건네주기가 실시된다.In this system, the display panel is passed between the conveying means which sucks and holds the display panel substrate from above and the work table which holds the display panel substrate from below.

일본 특개평 8-26475호 공보에는, 표시 패널 기판의 반송, 유지나 바꿔 잡기 동작을 표시 패널의 하방으로부터만에서 행하는 방식이 개시되어 있다. U자형의 핸드에 의해, 표시 패널 기판을 하측으로부터 지지하여, 작업 테이블에의 패널 기판 반입이나 반출을 행하는 방식이다.Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 8-26475 discloses a method of carrying out, holding, or replacing the display panel substrate only from below the display panel. The U-shaped hand supports the display panel substrate from the lower side and carries out the panel substrate into and out of the work table.

일본 특개 2007-99466호 공보는, 표시 패널 모듈 조립 장치의 구성의 다른 일례를 나타내는 공지예이다. 일본 특개 2004-6467호 공보 및 일본 특개평 8-26475호 공보는, 처리 작업 위치에서 표시 패널 기판을 유지 위치 결정하는 작업 테이블과 그 작업 테이블 간에서의 표시 패널 기판 반송을 행하는 반송 수단으로 구성되어 있다. 일본 특개 2007-99466호 공보는, 표시 패널 기판을 유지 위치 결정하는 작업 테이블과 패널 기판 반송을 행하는 반송 수단을 일체로 구성한 것이다. 이 방식에서는, 처리 작업 시에 표시 패널 기판을 유지하여 위치 결정 및 처리 작업을 행하는 작업 테이블을 빗형으로 함으로써, 인접하는 작업 테이블 간에서, 직접 표시 패널 기판의 건네주기 반송을 가능하게 하고 있다. 작업 테이블 간의 반송 수단이 불필요하게 되어, 장치 구성이 간단하고 저코스트화하기 쉽다고 하는 메리트를 갖고 있다.Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-99466 is a known example showing another example of the configuration of a display panel module assembly apparatus. Japanese Patent Laid-Open No. 2004-6467 and Japanese Laid-Open Patent Publication No. Hei 8-26475 are composed of a work table for holding a display panel substrate at a processing work position and a conveying means for conveying the display panel board between the work tables. have. Japanese Patent Laid-Open No. 2007-99466 discloses a work table for holding a display panel substrate and a conveying means for conveying the panel substrate. In this system, by carrying out the comb-shaped work table which hold | maintains a display panel board | substrate at the time of a process operation, and performs positioning and a process work, it is possible to convey a display panel board | substrate directly between adjacent work tables. The conveying means between work tables becomes unnecessary, and it has the merit that the apparatus structure is simple and it is easy to reduce cost.

일본 특개 2007-150077호 공보는, 표시 패널 기판을 유지 위치 결정하는 작업 테이블과 패널 기판 반송을 행하는 반송 수단을 일체로 하는 다른 실시예이다. 이 방식에서는, 상류의 처리 작업 위치로부터 하류의 처리 작업 위치로 표시 패널 기판을 반송하는 패널 기판 반송 수단이, 직접 위치 결정을 하여, 처리 작업 위치에 표시 패널 기판을 위치 결정하는 것이다. 이 방식은, 장치 구성이 간략하고 저코스트화하기 쉬움과 함께, 처리 작업 위치 간을 1개의 테이블에 의해 직접 패널 기판 반송을 행하기 때문에, 반송 시간을 단축할 수 있다고 하는 메리트를 갖고 있다.Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2007-150077 is another embodiment in which a work table for holding a display panel substrate and a conveying means for conveying the panel substrate are integrated. In this system, the panel substrate conveying means which conveys a display panel board | substrate from an upstream process work position to a downstream process work position performs direct positioning, and positions a display panel board | substrate at a process work position. This method has a merit that the apparatus configuration is simple and easy to reduce, and the conveyance time can be shortened because the panel substrate is conveyed directly by one table between the processing work positions.

일본 특개 2004-6467호 공보의 구성에서는, 표시 패널 기판의 위로부터의 흡착 유지에 의한 반송을 행하고 있기 때문에, 반송 시의 정전이나 예측할 수 없는 사태 시에, 표시 패널이 흡착 패널로부터 떨어져 낙하할 위험이 있다. 또한, 위로부터의 흡착 반송 방식은, 표시 패널 기판을 구성하는 2매의 글래스 기판간의 갭을 넓히는 힘이 생기기 때문에, 표시 패널 기판에 데미지를 주게 될 우려가 있다. 특히, 대형 패널이나 박형 패널에서는 데미지가 커지기 때문에, 상방으로부터의 흡착에 의한 패널 기판 반송을 행할 수는 없다. 이 때문에, 반송 수단이나 처리 수단 간에서의 바꿔 잡기 동작을, 표시 패널 기판 하방으로부터만에서 행할 필요가 있다.In the configuration of Japanese Patent Laid-Open No. 2004-6467, since conveyance is carried out by adsorption holding from above the display panel substrate, the display panel may fall off from the adsorption panel in case of power failure or unpredictable situation during conveyance. There is this. Moreover, in the adsorption conveyance system from above, since the force which widens the gap between the two glass substrates which comprise a display panel board | substrate arises, there exists a possibility that it may damage a display panel board | substrate. In particular, since a damage is large in a large panel and a thin panel, panel substrate conveyance by adsorption from upper direction cannot be performed. For this reason, it is necessary to perform switching operation between a conveying means and a processing means only from below a display panel board | substrate.

일본 특개평 8-26475호 공보의 구성에서는, U자형의 핸드에 의해, 표시 패널 기판의 반송, 유지나 바꿔 잡기 동작을 표시 패널의 하방으로부터만에서 행하는 방식이다. 표시 패널 기판을 아래로부터 유지함으로써, 반송 시의 정전이나 예측할 수 없는 사태 시에, 패널 기판이 흡착 패널로부터 떨어져 낙하할 위험은 적다.In the structure of Unexamined-Japanese-Patent No. 8-26475, the U-shaped hand carries out the conveyance, holding | maintenance, or replacement operation | movement of a display panel board | substrate only from below of a display panel. By holding the display panel substrate from below, there is little risk that the panel substrate falls off from the adsorption panel in the event of power failure or unpredictable situation during transportation.

그러나, 이 방식에서도 몇 가지의 과제가 있다. 우선, 처리 작업 위치에서 표시 패널의 유지와 위치 결정을 행하는 작업 테이블과 작업 테이블 간에서 표시 패널을 반송하는 패널 기판 반송 수단이 필요하여, 장치 구성이 복잡하고 또한 대형화되기 쉽다. 처리 작업 기구부의 전면에 작업 테이블, 작업 테이블의 바로 앞에 반송 기구라고 하는 구성으로 되기 때문에, 장치 폭이 커지기 쉽다. 특히, 대판의 패널 기판에서는 불리하며, 장치 전면부터 처리 작업 위치까지의 거리가 커지게 되어, 메인터넌스 등의 작업면에서도 과제가 남는다.However, there are some problems in this method as well. First, a panel substrate conveying means for conveying the display panel between the work table for holding and positioning the display panel at the processing work position and the work table is required, and the device configuration is complicated and large in size. The width of the device tends to be large because the work table and the work table are configured in front of the work table in front of the processing work mechanism. In particular, it is disadvantageous in the panel substrate of a large plate, and the distance from the front of an apparatus to a processing work position becomes large, and a subject remains also in the working surface, such as maintenance.

또한, 처리 작업 위치 간에서의 패널 기판의 반송 동작에는, 작업 테이블과 반송 수단 간에서의 패널 기판의 바꿔 잡기 동작이 필요하여, 반송 시간 로스가 생긴다고 하는 과제를 갖는다. 이 방식에서의, 작업 테이블과 반송 수단 간에서의 패널 기판의 바꿔 잡기 동작 위치는, 장치에서 대응하는 최대 사이즈의 패널 기판의 건네주기가 가능한 위치로 할 필요가 있다. 소판 패널 기판의 처리 시에도, 최대 사이즈의 패널 기판의 바꿔 잡기 동작 위치까지, 1번 표시 패널 기판을 이동시킬 필요가 있다. 이 때문에, 대판부터 소판까지의 폭넓은 기판 사이즈에 대응하는 장치에서, 소판의 패널 반송 시에 생기는 반송 시간 로스가, 특히 커진다.Moreover, the conveyance operation | movement of a panel board | substrate between process work positions requires the operation | movement of the panel board | substrate between a worktable and a conveying means, and has a subject that a conveyance time loss arises. In this system, the switching operation position of the panel board | substrate between a work table and a conveying means needs to be made into the position which can be passed to the panel board of the largest size corresponding to the apparatus. Even in the process of processing a platelet panel substrate, it is necessary to move the display panel substrate No. 1 to the replacement operation position of the panel substrate of the largest size. For this reason, in the apparatus corresponding to the wide board | substrate size from a large plate to a platelet, the conveyance time loss which arises at the time of panel conveyance of a platelet becomes especially large.

작업 테이블과 반송 수단의 별체 구조는, 코스트면에서도 불리한 것은 물론이다.Of course, the separate structure of the work table and the conveying means is disadvantageous in terms of cost.

이상과 같이, 일본 특개평 8-26475호 공보의 구성에서는, 구성의 복잡함ㆍ대형화ㆍ코스트면과 함께, 메인터넌스성이나 처리 시간 로스 등의 점에서 과제를 갖는다. 특히, 대판부터 소판까지의 폭넓은 패널 기판 사이즈에의 대응을 생각한 경우, 이 과제는 크다.As mentioned above, the structure of Unexamined-Japanese-Patent No. 8-26475 has a subject from the point of maintenance property, processing time loss, etc. with the complexity of structure, enlargement, and cost surface. In particular, this problem is large when considering the correspondence to the wide panel board | substrate size from a large board to a small board.

일본 특개 2007-99466호 공보의 구성은, 작업 테이블을 빗형으로 함으로써, 인접하는 작업 테이블 간에서, 직접 표시 패널 기판의 건네주기 반송을 가능하게 한 것이다. 이 방식에서는, 작업 테이블 간의 반송 수단이 불필요하게 되어, 장치구성이 간략하고 저코스트화하기 쉽다고 하는 메리트를 갖고 있다.The structure of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-99466 makes it possible to convey a display panel board | substrate directly between adjacent work tables by combing a work table. In this system, the conveying means between work tables becomes unnecessary, and it has the merit that the apparatus structure is simple and it is easy to reduce cost.

그러나, 일본 특개 2007-99466호 공보의 구성에서는, 작업 테이블은, 표시 패널의 처리 작업 후, 하류측으로 이동하여, 처리가 끝난 표시 패널을 하류의 작업 테이블에 건네준 후, 상류측으로 이동하여, 다음에 처리할 표시 패널을 수취한 후, 처리 작업 위치로 되돌아가서, 처리 작업을 행할 필요가 있다. 이 때문에, 처리 작업 전후의 표시 패널의 반입ㆍ반출 작업에 시간이 걸려, 표시 패널 모듈의 조립 효율이 나쁘다고 하는 과제가 있다.However, in the configuration of Japanese Patent Laid-Open No. 2007-99466, the work table moves to the downstream side after the processing operation of the display panel, passes the processed display panel to the downstream work table, and then moves upstream. After receiving the display panel to be processed, it is necessary to return to the processing work position to perform the processing work. For this reason, the import / export operation | movement of the display panel before and behind a process operation takes time, and there exists a subject that the assembly efficiency of a display panel module is bad.

일본 특개 2007-150077호 공보의 구성은, 상류의 처리 작업 위치로부터 하류의 처리 작업에 표시 패널 기판을 반송하는 패널 기판 반송 수단이, 직접 위치 결정을 하여, 처리 작업 위치에 표시 패널 기판을 위치 결정한다. 이 방식은, 장치구성이 간략하고 저코스트화하기 쉬움과 함께, 처리 작업 위치 간을 1개의 테이블에 의해 직접 패널 기판 반송을 행하기 때문에, 반송 시간을 단축할 수 있다고 하는 메리트를 갖고 있다.The structure of Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-150077 has the panel substrate conveying means which conveys a display panel board | substrate from an upstream process work position to a downstream process work directly positioning, and positioning a display panel board | substrate at a process work position. do. This system has a merit that the apparatus configuration is simple and low cost, and the panel substrate is conveyed directly by one table between the processing work positions, so that the conveyance time can be shortened.

그러나, 처리 작업 위치에서의 표시 패널 기판의 유지 수단을, 패널 기판 반송 수단의 가동 범위를 피하여 배치할 필요가 있기 때문에, 처리 작업 시의 표시 패널 기판의 유지가 불안정해지기 쉽다고 하는 과제를 갖는다. 특히, 대형의 패널 기판에서, 짧은 변측을 처리하는 경우, 패널 기판 양단에 설치하는 표시 패널 기판의 유지 수단의 간격이 넓어져, 패널 기판 중앙부가 휘어지게 되어, 표시 패널 기판의 유지가 불안정해진다고 하는 과제를 갖는다. 또한, 각종 패널 기판 사이즈에의 대응을 생각하면, 패널 기판 양단부의 유지 수단의 위치 변경이 필요로 될 뿐만 아니라, 반송 수단의 폭이나 가동 범위도 변경할 필요가 있어, 실질적으로는, 각종 패널 기판 사이즈에의 유연한 대응은, 곤란하다고 하지 않을 수 없다.However, since it is necessary to arrange the holding means of the display panel substrate at the processing work position to avoid the movable range of the panel substrate conveying means, there is a problem that the holding of the display panel substrate at the time of the processing work tends to be unstable. In particular, in a large panel substrate, when the short side is processed, the interval between the holding means of the display panel substrate provided at both ends of the panel substrate becomes wider, the panel substrate center portion is bent, and the holding of the display panel substrate becomes unstable. I have a problem. In addition, considering the correspondence to various panel substrate sizes, not only the position change of the holding means of the both ends of a panel board | substrate is required, but also the width | variety and the movable range of a conveying means need to be changed, and, in fact, various panel board | substrate sizes Flexible correspondence is inevitable.

또한, 표시 패널 모듈 조립 장치는, 복수 종류의 처리 작업 장치를 연결하고, 연속하여 표시 패널에 각종 처리 작업이 행하여진다. 상기, 특허 문헌에 개시된 처리 작업 장치의 구성에서는, 그 처리 작업 내용에 의해, 처리 작업 시간에는 차가 생기게 된다. 이 때문에, 시간이 짧은 공정의 처리 작업 장치는, 시간이 걸리는 공정의 처리 작업 장치의 종료를 대기하게 되고, 표시 패널의 반송 간격은, 시간이 걸리는 공정의 처리 작업 장치에 율속됨과 함께, 시간이 짧은 공정의 처리 작업 장치에서는 작업 정지하고 있는 시간이 발생하게 된다.In addition, the display panel module assembling device connects a plurality of types of processing work devices, and performs various processing work on the display panel continuously. In the structure of the processing work apparatus disclosed in the above-mentioned patent document, the processing work time causes a difference in the processing work time. For this reason, the processing work apparatus of a process with a short time waits for the completion | finish of the processing work apparatus of a time-consuming process, and the conveyance interval of a display panel pertains to the processing work apparatus of a time-consuming process, and time In this short process processing apparatus, the time during which work is stopped occurs.

각 처리 작업 장치를 보다 효율적으로 가동시키기 위해서는, 시간이 걸리는 공정의 처리 작업 장치를, 시간이 짧은 공정의 처리 작업 장치에 대하여, 수를 많이 연결하여, 각 처리 공정의 택트 밸런스를 취하는 것이 생각된다. 그러나, 이 방식에서는 연결되는 처리 작업 장치의 수가 증가하여, 표시 패널 모듈 조립 장치 전체의 길이가 매우 길고 복잡하게 됨과 함께, 코스트가 높아지게 된다고 하는 과제를 갖고 있다.In order to operate each processing work device more efficiently, it is considered that the processing work device of the time-consuming process is connected to a large number of processing work devices of a short time process, and the tact balance of each processing process is taken. . However, this system has a problem that the number of processing work devices to be connected increases, the length of the entire display panel module assembly device becomes very long and complicated, and the cost increases.

본 발명은, 대판의 패널 기판에 대응 가능한 패널 기판 반송 장치 및 그것을 이용한 표시 패널 모듈 조립 장치를 제공한다. 특히, 대판의 패널 기판부터 소판까지 폭넓은 표시 패널의 반송이나 위치 결정 동작이, 간단한 장치 구성으로 고속으로 실현 가능한 패널 기판 반송 수단을 제공한다. 또한, 각 처리 작업 장치의 처리 작업 시간을 비슷하게 하는 것에 의해, 각 처리 작업 장치의 처리 작업 효율을 높임으로써, 각 처리 작업의 가동 효율 향상을 실현 가능한 표시 패널 모듈 조립 장치를 제공한다.This invention provides the panel board | substrate conveying apparatus which can respond to the panel substrate of a large board | substrate, and the display panel module assembly apparatus using the same. In particular, it provides a panel board | substrate conveying means which conveyance and positioning operation | movement of a wide range of display panels from a large panel board to a small board | plate can be realized at high speed with a simple apparatus structure. Furthermore, by making the processing work time of each processing work device similar, the display panel module assembly apparatus which can realize the improvement of the operation efficiency of each processing work by improving the processing work efficiency of each processing work device is provided.

본 발명의 목적은, 장치 전체 길이나 장치 폭 등의 장치 사이즈를 크게 하지 않고, 상기의 과제를 해결한 표시 패널 모듈 조립 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a display panel module assembling apparatus which solves the above problems without increasing the device size such as the overall device length or the device width.

상기 목적을 달성하기 위해서, 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에는, 처리하는 표시 패널 기판을 유지하기 위해서, 표시 패널 기판의 처리변측의 처리변 끝으로부터 균일한 거리 내측을, 처리변에 평행하게 또한 처리변 방향으로 가늘고 길게, 처리변 전역에 걸쳐 유지함과 함께 고정하는 처리변 유지 고정 수단과 상기 처리변 유지 고정 수단에 대하여 표시 패널 기판 처리변의 반대측의 표시 패널 기판 하면 영역을, 상방으로부터 현수 지지하는 적어도 1개 이상의 비처리 영역 유지 수단을 설치한다.In order to achieve the above object, in order to hold the display panel substrate to be processed at each processing apparatus or processing position, a uniform distance inward from the processing edge end on the processing side of the display panel substrate is further parallel to the processing edge. The display panel substrate lower surface region on the opposite side of the display panel substrate processing side is suspended from the upper side with respect to the processing side holding and fixing means and the processing side holding and fixing means which are held and fixed over the entire processing edge in the processing edge direction. At least one non-processing area holding means is provided.

또한, 인접하는 상기 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간을 왕복 이동함과 함께, 상기 처리 작업 장치 혹은 상기 처리 작업 위치에의 표시 패널 기판 위치 결정이나 표시 패널 기판의 회전 동작이 가능한 패널 기판 반송 위치 결정 수단을 복수 배치하였다. 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시에 표시 패널 기판을 유지하기 위한 반송 시 패널 기판 유지 수단은, 상기 처리변 유지 고정 수단에 대하여 표시 패널 기판 처리변의 반대측의 표시 패널 기판 하면 영역을 유지하도록 구성하였다.Moreover, the panel substrate conveyance position which reciprocates between each said processing work apparatus or processing work position, and enables the display panel board positioning to the said processing work apparatus or the said processing work position, and rotation operation of a display panel board | substrate is possible. Multiple determination means were arranged. The conveyance panel substrate holding means for holding the display panel substrate at the time of conveyance by the said panel substrate conveyance positioning means is so that it may hold | maintain the display panel substrate lower surface area | region on the opposite side to a display panel substrate process side with respect to the said process edge holding | fixing means. Configured.

상기 비처리 영역 유지 수단은, 상기 처리변 유지 고정 수단에 의해, 각 처리 작업 시에 고정 유지되는 적어도 1개의 표시 패널 기판 위치에서, 표시 패널 기판의 비처리변의 연변 하면을 패널면보다도 상방으로부터 현수된 아암 형상의 유지 부재로 표시 패널 기판을 유지하는 유지 수단이며, 표시 패널 기판의 비유지 시에, 표시 패널 기판의 상면보다도 상방으로 퇴피 가능하게 구성하였다.The non-processing area holding means suspends the edge of the non-processing edge of the display panel substrate from above the panel surface at at least one display panel substrate position held by the processing edge holding means for each processing operation. It is a holding means which hold | maintains a display panel board | substrate with the arm-shaped holding member, and it was comprised so that it may retract upward above the upper surface of a display panel board | substrate at the time of non-holding of a display panel board | substrate.

또한, 상기 비처리 영역 유지 수단은, 처리하는 패널 기판의 사이즈, 처리변 길이, 처리 위치 등에 따라서, 설치 위치 및 상기 아암 형상의 유지 부재에 의한 표시 패널 기판의 유지 위치를 가변 가능하게 구성하였다.In addition, the non-processing area holding means is configured such that the mounting position and the holding position of the display panel substrate by the arm-shaped holding member can be varied in accordance with the size of the panel substrate to be processed, the length of the processing edge, the processing position, and the like.

또한, 상기 처리변 유지 고정 수단의 표시 패널 기판 처리변측 또한 처리변 유지 고정 수단에 근접한 위치에 패널 기판 자세 검출 수단을 배치하고, 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의해 반송되어 온 표시 패널 기판의 자세를 제어하여, 상기 처리변 유지 고정 수단에, 위치 결정 건네주기가 가능하도록 구성하였다.Moreover, the position of the display panel board | substrate which arrange | positions the panel board | substrate attitude | position detection means in the position which is close to the display panel board | substrate process side of the said process side holding | maintenance holding means, and a process side holding | maintenance holding means, and the attitude | position of the display panel board | substrate conveyed by the said panel substrate conveyance positioning means. Was controlled so that positioning handing was possible to the process side holding and fixing means.

상기 처리변 유지 고정 수단, 상기 비처리 영역 유지 수단, 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단 및 상기 패널 기판 자세 검출 수단 등을 이용한 표시 패널 기판의 반송 및 처리 작업 동작을, 이하의 수순으로 실시하도록 하였다.The conveyance and processing operation | movement operation | movement operation of the display panel board | substrate using the said process side holding | maintenance holding means, the said non-processing area holding means, the said panel substrate conveyance positioning means, the said panel substrate attitude | position detection means, etc. was made to perform the following procedures.

Step1 : 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의해, 표시 패널 기판을 하류의 처리 작업 위치에 반송한다.Step1: The said panel substrate conveyance positioning means conveys a display panel board | substrate to a downstream process work position.

Step2 : 패널 자세를 검출하여, 처리 작업 위치에 표시 패널 기판을 위치 결정한다.Step2: The panel posture is detected and the display panel substrate is positioned at the processing work position.

Step3 : 상기 처리변 유지 고정 수단에 의해, 표시 패널 기판의 처리변측을 고정 유지한 후, 각 처리 작업 동작을 개시한다.Step 3: After the process side holding and fixing means fixes the process side of the display panel substrate, each processing operation operation is started.

Step4 : 상기 비처리 영역 유지 수단이 강하하여, 표시 패널 기판의 비처리변의 연변 하면을 유지한다.Step 4: The non-processed area holding means is dropped to hold the edge of the non-processed edge of the display panel substrate at the edge.

Step5 : 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단이 강하 퇴피하여, 상류측으로 이동한다.Step5: The said panel substrate conveyance positioning means moves away and it moves to an upstream side.

Step6 : 반출용의 패널 기판 반송 위치 결정 수단이, 표시 패널 기판 하면으로부터 진입하여, 표시 패널 기판을 유지 고정한다.Step 6: The panel substrate conveyance positioning means for carrying out enters from the lower surface of a display panel board | substrate, and hold | maintains and fixes a display panel board | substrate.

Step7 : 상기 비처리 영역 유지 수단의 유지 부재가 퇴피함과 함께, 상승한다.Step 7: The holding member of the non-processing area holding means retracts and rises.

Step8 : 처리 작업 동작 종료 후, 상기 처리변 유지 고정 수단에 의한 표시 패널 기판의 고정을 해제한다.Step 8: After completion of the processing work operation, the display panel substrate is released from the process side holding means.

Step1로 되돌아가서 반복한다.Return to Step 1 and repeat.

게다가, 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 적어도 1개 이상의 상기 처리 작업 장치에서, 각 처리 작업을 행하는 기구부를 유닛화함과 함께, 1개의 표시 패널의 1변에, 적어도 2개 이상의 처리 유닛이, 동시에 처리 작업을 행하는 구성으로 하였다.In addition, in at least one or more of said processing work devices in the display panel module assembling device, at least two or more processing units are simultaneously processed on one side of one display panel while uniting a mechanism for performing each processing work. It was set as the structure which works.

또한, 상기 복수의 처리 유닛은, 표시 패널의 처리변과 처리 유닛과의 상대 위치를 보정하는 처리 유닛 위치 보정 수단을 구비함과 함께, 처리를 행하는 표시 패널의 처리변 자세를 검출하는 패널 기판 자세 검출 수단과, 상기 표시 패널 자세 검출 수단의 검출 결과에 의해, 상기 각 처리 유닛의 위치 보정량을 산출하는 처리 유닛 위치 보정량 산출 수단을 설치하는 구성으로 하였다.In addition, the plurality of processing units include processing unit position correction means for correcting a relative position between the processing side of the display panel and the processing unit, and the panel substrate posture for detecting the processing side attitude of the display panel which performs the processing. It was set as the structure which provided the process unit position correction amount calculation means which calculates the position correction amount of each said processing unit by the detection means and the detection result of the said display panel attitude | position detection means.

또한, 상기 복수의 처리 유닛은, 표시 패널의 처리변 방향에 평행한 방향으로 이동 가능한 가동 수단을 설치함과 함께, 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단을 설치함으로써, 복수 처리 유닛에서의 처리 동작과 표시 패널 기판변의 처리 위치 간을 시프트 이동하는 시프트 이동 동작의 동작 타이밍을 제어하는 구성으로 하였다.Further, the plurality of processing units are provided with movable means movable in a direction parallel to the processing side direction of the display panel, and by providing processing unit operation timing control means, thereby processing operations and display panels in the plurality of processing units. It was set as the structure which controls the operation timing of the shift movement operation which shift-shifts between the process positions of a board | substrate side.

본 발명의 하나의 구성에 의하면, 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에는, 처리하는 표시 패널 기판을 유지하기 위해서, 표시 패널 기판의 처리변측의 처리변 끝으로부터 균일한 거리 내측을, 처리변에 평행하게 또한 처리변 방향으로 가늘고 길게, 처리변 전역에 걸쳐 유지함과 함께 고정하는 처리변 유지 고정 수단을 설치함으로써, 표시 패널 기판 처리변에 대하여, 처리변 전역에 걸쳐 확실한 고정 유지가 가능하게 된다.According to one structure of this invention, in order to hold | maintain the display panel board | substrate to process at each processing operation apparatus or a processing work position, the inside of a uniform distance from the processing edge end of the processing side of a display panel board | substrate is parallel to a processing side. In addition, by providing processing edge holding means for holding and fixing over the whole of the processing edge while being thin and long in the direction of the processing edge, it is possible to securely hold and hold the display panel substrate processing edge over the entire processing edge.

또한, 본 발명의 다른 구성에 의하면, 상기 처리변 유지 고정 수단에 대하여 표시 패널 기판 처리변의 반대측의 표시 패널 기판 하면 영역을 유지하는 적어도 1개 이상의 비처리 영역 유지 수단을 설치함과 함께, 처리하는 패널 기판의 사이즈, 처리변 길이, 처리 위치 등에 따라서, 비처리 영역 유지 수단의 설치 위치 및 상기 아암 형상의 유지 부재에 의한 표시 패널 기판의 유지 위치를 가변 가능하게 구성함으로써, 각종 패널 기판의 처리 작업이 가능하게 된다.According to another configuration of the present invention, at least one non-processing area holding means for holding the display panel substrate lower surface area opposite to the display panel substrate processing side is provided to the processing side holding and fixing means. According to the size of the panel substrate, the length of the processing side, the processing position, and the like, the installation position of the non-processing area holding means and the holding position of the display panel substrate by the arm-shaped holding member can be configured to be variable, thereby processing various panel substrates. This becomes possible.

본 발명의 그 밖의 구성에 의하면, 패널 기판 반송 위치 결정 수단만에 의해, 표시 패널 기판의 반송이나 회전 및 처리 작업 위치에의 위치 결정 동작을 행하므로, 구동 기구부의 가동 축수를 비교적 적게 할 수 있어, 구성이 간략해짐과 함께, 소형이며, 메인터넌스성이 좋은 장치 구성이 가능하게 된다.According to the other structure of this invention, since only the panel board | substrate conveyance positioning means carries out the positioning operation | movement of the display panel board | substrate of conveyance, rotation, and a process working position, the number of movable axes of a drive mechanism part can be made relatively small. In addition, the configuration can be simplified, and a compact and maintainable device can be configured.

본 발명의 또 다른 구성에 의하면, 상기 비처리 영역 유지 수단을 처리 작업 시의 표시 패널 기판의 유지를 패널면보다도 상방으로부터 현수된 아암 형상의 유지 부재로 표시 패널 기판을 유지함과 함께, 표시 패널 기판의 비유지 시에는, 유지 부재를 표시 패널 기판의 상면보다도 상방으로 퇴피 가능하게 하고 있다. 이에 의해, 표시 패널 기판을 아래로부터 유지 반송하는 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 가동 범위에 장해물 등이 존재하지 않게 되기 때문에, 각 처리 작업 위치 간의 표시 패널 기판 반송이나 회전 등의 동작을, 기판 사이즈에 맞춘 최단 또는 최적의 반송 경로로의 반송 동작이 가능하게 된다. 이에 의해, 고속의 표시 패널 기판 반송 위치 결정 동작을 실현 가능하게 된다.According to still another aspect of the present invention, the display panel substrate is held by an arm-shaped holding member suspended from above the panel surface by holding the display panel substrate at the time of processing the non-processed area holding means. At the time of non-holding, the holding member can be retracted above the upper surface of the display panel substrate. As a result, obstacles and the like do not exist in the movable range of the panel substrate conveyance positioning means for holding and conveying the display panel substrate from below, so that operations such as display panel substrate conveyance and rotation between the processing operation positions are performed. The conveyance operation to the shortest or optimal conveyance path according to the above becomes possible. Thereby, a high speed display panel board | substrate conveyance positioning operation | movement can be implement | achieved.

본 발명의 또 다른 구성에 의하면, 각 처리 작업 동작 중에, 상기 비처리 영역 유지 수단에 의한 유지 동작을 포함시킨 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 절환 동작을 행하기 때문에, 고효율의 표시 패널 모듈 조립 장치를 제공할 수 있다.According to still another configuration of the present invention, since the switching operation of the panel substrate transfer positioning means including the holding operation by the non-processing area holding means is performed during each processing operation operation, the display panel module assembly device of high efficiency is provided. Can provide.

본 발명의 또 다른 구성에 의하면, 상기 처리변 유지 고정 수단을 설치함으로써, 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 절환 동작에 의한 처리변 근방에의 영향을 배제하는 것이 가능하게 되어, 처리 작업 중에 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 절환 동작을 실시하여도, 안정된 표시 패널 기판의 처리변 근방의 처리 작업을 실시하는 것이 가능하게 된다.According to still another configuration of the present invention, by providing the processing side holding and fixing means, it is possible to eliminate the influence on the vicinity of the processing side due to the switching operation of the panel substrate transfer positioning means, thereby making it possible to remove the panel substrate during the processing operation. Even if the switching operation of the conveyance positioning means is performed, it is possible to perform the processing work near the processing edge of the stable display panel substrate.

또한, 본 발명의 또 다른 구성에 의하면, 상기 처리변 유지 고정 수단의 표시 패널 기판 처리변측 또한 처리변 유지 고정 수단에 근접한 위치에 패널 기판 자세 검출 수단을 배치하고, 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의해 반송되어 온 표시 패널 기판의 자세를 제어함으로써, 고정밀도의 상기 처리변 유지 고정 수단에의 위치 결정 건네주기 동작을 가능하게 하고 있다.Moreover, according to another structure of this invention, the panel substrate attitude | position detection means is arrange | positioned in the position close to the display panel board | substrate process side of the said process side holding | fixing means, and a process side holding | maintenance holding means, By controlling the attitude | position of the display panel board | substrate conveyed by this, the high-precision positioning handing operation to the said process side holding | maintenance fixing means is enabled.

또한, 본 발명의 또 다른 구성에 의하면, 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 각 처리 작업을 행하는 기구부를 유닛화함과 함께, 1개의 표시 패널의 1변에, 적어도 2개 이상의 처리 유닛이, 동시에 처리 작업을 행하는 구성으로 함으로써, 느린 처리 작업 장치의 작업 효율을 향상시키는 것이 가능하게 된다. 게다가, 복수의 처리 유닛이 표시 패널의 처리변과 처리 유닛과의 상대 위치를 보정하는 처리 유닛 위치 보정 수단을 구비함과 함께, 처리를 행하는 표시 패널의 처리변 자세를 검출하는 패널 기판 자세 검출 수단과, 그 표시 패널 자세 검출 수단의 검출 결과에 의해, 그 각 처리 유닛의 위치 보정량을 산출하는 처리 유닛 위치 보정량 산출 수단을 설치하는 구성으로 하고 있으므로, 동일 표시 패널 기판의 1처리변에 대하여, 독립적으로, 위치 결정 처리 가능하게 되어, 상기, 복수 처리 유닛에 의한 동시 처리가 가능하게 된다.Moreover, according to another structure of this invention, while uniting the mechanism part which performs each processing operation in a display panel module assembling apparatus, at least 2 or more processing units are simultaneously processing work on one side of one display panel. In this configuration, it is possible to improve the work efficiency of the slow processing apparatus. In addition, the plurality of processing units are provided with processing unit position correction means for correcting a relative position between the processing side of the display panel and the processing unit, and the panel substrate posture detection means for detecting the processing edge attitude of the display panel which performs the processing. And the processing unit position correction amount calculating means for calculating the position correction amount of each processing unit according to the detection result of the display panel attitude detecting means, and thus independent of one processing side of the same display panel substrate. As a result, the positioning processing is enabled, and the simultaneous processing by the plurality of processing units is possible.

또한, 본 발명의 또 다른 구성에 의하면, 그 복수의 처리 유닛은, 표시 패널 기판의 처리변 방향에 평행한 방향으로 이동 가능한 가동 수단을 설치함과 함께, 복수 처리 유닛에서의 처리 동작과 표시 패널 기판 처리변의 처리 위치 간을 시프트 이동하는 시프트 이동 동작의 동작 타이밍을 제어하는 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단을 설치함으로써, 처리 작업을 행하는 복수 처리 유닛의 충돌 등의 간섭을 방지하는 것이 가능하게 되어, 동일 표시 패널 기판의 1처리변에 대하여, 복수의 처리 유닛에 의한 동시의 처리 작업이 가능하게 된다.According to still another aspect of the present invention, the plurality of processing units are provided with movable means movable in a direction parallel to the processing side direction of the display panel substrate, and the processing operation and the display panel in the plurality of processing units. By providing processing unit operation timing control means for controlling the operation timing of the shift movement operation of shifting between the processing positions of the substrate processing edges, it is possible to prevent interference such as collision of a plurality of processing units performing the processing work, Simultaneous processing operations by a plurality of processing units can be performed on one processing side of the display panel substrate.

이들에 의해, 각 처리 작업 장치 혹은 처리 위치에 배치하는 처리 유닛수를 조정함으로써, 각 처리 작업 장치의 처리 작업 시간을 비슷하게 하는 것이 가능하게 되어, 각 처리 작업의 가동 효율을 향상시킴과 함께, 표시 패널 모듈 조립 장치 전체 길이를 짧게 구성 가능한 표시 패널 모듈 조립 장치로 된다.As a result, by adjusting the number of processing units disposed at each processing work device or processing position, the processing work time of each processing work device can be made similar, thereby improving the operation efficiency of each processing work and displaying the display. The panel module assembly apparatus constitutes a display panel module assembly apparatus which can shorten the entire length.

이상의 결과, 본 발명의 구성에 의하면, 예를 들면, 대판의 패널 기판부터 소판까지 폭넓은 표시 패널의 반송이나 위치 결정 동작이, 간단한 장치 구성으로 고속으로 실현 가능한 패널 기판 반송 수단을 제공할 수 있다. 또한, 각 처리 작업 장치의 처리 작업 시간을 비슷하게 함으로써, 각 처리 작업 장치의 처리 작업 효율을 높이는 것이 가능하게 되어, 각 처리 작업의 가동 효율 향상을 실현 가능한 표시 패널 모듈 조립 장치를 제공할 수 있다. 이와 같이, 본 발명에서는, 장치 전체 길이나 장치 폭 등의 장치 사이즈를 크게 하지 않고, 상기의 각종 특징을 갖는 표시 패널 모듈 조립 장치를 제공하는 것이 가능하다.As a result, according to the structure of this invention, the conveyance and positioning operation | movement of a wide range of display panels from a panel board of a large board to a small plate, for example, can provide the panel board | substrate conveying means which can realize at high speed with a simple apparatus structure. . Moreover, by making the processing work time of each processing work device similar, it becomes possible to raise the processing work efficiency of each processing work device, and can provide the display panel module assembly apparatus which can realize the improvement of the operation efficiency of each processing work. Thus, in this invention, it is possible to provide the display panel module assembly apparatus which has the said various characteristics, without increasing apparatus size, such as apparatus full length and apparatus width | variety.

도 1은 본 발명 실시 형태에서의 패널 기판 반송 장치 및 그것을 이용한 표시 패널 모듈 조립 장치의 기본 구성을 설명하기 위한 도면.
도 2a, 도 2b는 도 1의 측면도로서, 표시 패널 기판의 처리 및 반송 시의 상태를 설명하기 위한 도면.
도 3a, 도 3b는 도 1의 정면도로서, 표시 패널 기판의 처리 및 반송 시의 상태를 설명하기 위한 도면.
도 4a, 도 4b는 본 발명 실시 형태에서의 비처리 영역 유지 수단(5)의 일 실시예(직동형)를 설명하기 위한 도면.
도 5a, 도 5b는 본 발명 실시 형태에서의 비처리 영역 유지 수단(5)의 일 실시예(회전형)를 설명하기 위한 도면.
도 6a, 도 6b, 도 6c는 본 발명의 실시 형태에서의 서로 다른 기판 사이즈에서의 처리변 유지 고정 수단에 의한 유지 영역과 반송 시 표시 패널 유지 수단에 의한 유지 영역을 설명하기 위한 도면.
도 7은 본 발명 실시 형태에서의 표시 패널 기판의 기본적인 반송 동작을 설명하기 위한 도면.
도 8은 본 발명 실시 형태에서의 표시 패널에 설치된 기준 마크의 일례를 도시하는 도면.
도 9는 본 발명 실시 형태에서의 처리변 유지 고정 수단 근방의 상면도로서, 처리변 유지 고정 수단에 표시 패널을 위치 결정하는 방식을 설명하기 위한 도면.
도 10은 본 발명 실시 형태에서의 처리변 유지 고정 수단 근방의 측면도로서, 처리변 유지 고정 수단에 표시 패널을 위치 결정하는 방식을 설명하기 위한 도면.
도 11은 본 발명 실시 형태에서의 처리변 유지 고정 수단에 의한 사이즈가 상이한 표시 패널의 유지 방법에 대하여 설명하기 위한 도면.
도 12는 본 발명 실시 형태에서의 1매의 표시 패널에 대하여 복수의 처리 유닛이 동시에 작업을 행하는 방식을 설명하기 위한 도면.
도 13은 본 발명 실시 형태에서의 초고정밀도 위치 결정 처리가 필요한 처리 작업 장치 구성을 설명하는 도면.
도 14는 본 발명 실시 형태에서의 초고정밀도 위치 결정 처리가 필요한 처리 작업 장치에서의 처리 유닛의 위치 결정 기구부 구성의 일 실시예를 도시하는 도면.
도 15는 본 발명 실시 형태에서의 패널 기판 반송 장치에서의 제어부 구성의 일 실시예를 설명하기 위한 도면.
도 16은 본 발명 실시 형태에서의 패널 기판 반송 장치에서의 기본적인 제어 방식의 일 실시예를 설명하는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The figure for demonstrating the basic structure of the panel substrate conveyance apparatus and display panel module assembly apparatus using the same in embodiment of this invention.
FIG. 2A and FIG. 2B are side views of FIG. 1, illustrating a state during processing and conveyance of a display panel substrate. FIG.
3A and 3B are front views of FIG. 1, illustrating a state during processing and conveyance of a display panel substrate.
4A and 4B are views for explaining one example (direct type) of the non-processing area holding means 5 in the embodiment of the present invention.
5A and 5B are views for explaining one example (rotational type) of the non-processing area holding means 5 in the embodiment of the present invention.
6A, 6B, and 6C are views for explaining a holding area by the processing edge holding means at different substrate sizes in the embodiment of the present invention and a holding area by the display panel holding means during transfer;
7 is a view for explaining a basic conveyance operation of the display panel substrate in the embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a diagram showing an example of reference marks provided on a display panel in the embodiment of the present invention; FIG.
Fig. 9 is a top view of the vicinity of the processing edge holding means according to the embodiment of the present invention, for explaining a method of positioning the display panel on the processing edge holding means.
Fig. 10 is a side view of the vicinity of the processing edge holding means according to the embodiment of the present invention, illustrating a method of positioning the display panel on the processing edge holding means.
FIG. 11 is a view for explaining a display panel holding method having a different size by the process side holding and fixing means in the embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 12 is a view for explaining a method in which a plurality of processing units work simultaneously on one display panel in the embodiment of the present invention; FIG.
It is a figure explaining the structure of the processing work apparatus which requires the ultra high precision positioning process in embodiment of this invention.
It is a figure which shows an example of the structure of the positioning mechanism part of a processing unit in the processing work apparatus which requires the ultra high precision positioning processing in embodiment of this invention.
It is a figure for demonstrating an Example of the control part structure in the panel substrate conveyance apparatus in embodiment of this invention.
It is a figure explaining an example of the basic control system in the panel substrate conveyance apparatus in embodiment of this invention.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도 1 내지 도 16을 이용하여 설명한다. 설명에 이용되는 부호의 의미는 후술하는 부호의 설명에 기재된 대로이지만, 설명의 형편에 의해 생략하여 표현하거나, 변경하여 유사의 표현으로 하거나 하고 있는 경우가 있다. 예를 들면, 문장 중 또는, 도면 중에 도시한 각 부호의 숫자 뒤의 ( ) 내 A~D는 관계되는 처리 작업 장치를 나타내는 기호이다. 반송 장치에 대해서는, 2개의 처리 작업 장치 간에서 반송 동작을 행하기 때문에, 상류측 처리 작업 장치 기호와 하류측 작업 장치 기호를 「(A-B)」와 같은 형식으로 나타냈다. 또한, 각 부호의 숫자 뒤의 영소문자(a~f 등)는, 동일 숫자의 부호의 각 대상을 복수로 분할한 각 구성 부분을 나타낸다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described using FIGS. Although the meaning of the code used for description is as described in description of the code | symbol mentioned later, it may be abbreviate | omitted for the convenience of description, or may be changed and may be made into the expression of the similarity. For example, A-D in () after the numeral of each code | symbol shown in a sentence or in the figure is a symbol which shows the processing apparatus which concerns. Since a conveyance operation | movement is performed between two processing apparatuses about a conveying apparatus, the upstream processing apparatus symbol and the downstream operating apparatus symbol were shown in the form of "(A-B)". In addition, the lowercase letters (a to f, etc.) after the number of each code | symbol show each structural part which divided each target of the code | symbol of the same number into multiple numbers.

도 1 내지 도 3b는 본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 그것을 이용한 표시 패널 모듈 조립 장치의 기본 구성을 설명하기 위한 일 실시예를 도시한 도면이다. 도 1은, 장치의 상방(Z방향), 도 2는 장치의 측방(X방향), 도 3a 및 도 3b는 장치의 반송계를 정면(Y방향)으로부터 본 도면이다.1 to 3B are diagrams illustrating one embodiment for explaining a basic configuration of a panel substrate transfer device of the present invention and a display panel module assembly device using the same. FIG. 1: is upper side (Z direction) of the apparatus, FIG. 2 is the side (X direction) of the apparatus, and FIG. 3A and FIG. 3B are the figures which looked at the conveyance system of the apparatus from the front (Y direction).

도 1은 설명을 위해서 표시 패널 모듈 조립 장치의 연속하는 처리 작업 장치 A~D 중 4대를, 모식적으로 도시한 것이다. 도 1의 장치에서는, 표시 패널 기판(4)을, 도면 중 좌측으로부터 우측을 향하여, 처리 작업 장치 A~D 사이를 순서대로 반송하면서, 표시 패널 기판의 주변부에 각종 처리 작업을 행하여, IC나 TAB 등의 실장 조립 작업을 행하는 장치이다. 도 1 중의 좌측 2개의 처리 작업 장치 A, B는, 표시 패널 기판의 긴 변측(소스측)의 처리 작업을 행하는 장치이고, 우측의 2개의 처리 작업 장치 C, D는, 표시 패널 기판의 짧은 변측(게이트측)의 처리 작업을 행하는 장치이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS For the purpose of illustration, it shows typically four of the continuous processing operation apparatuses A-D of the display panel module assembly apparatus. In the apparatus of FIG. 1, various processing operations are performed on the periphery of the display panel substrate while conveying the display panel substrate 4 in order from the left to the right side in the drawing between the processing operation apparatuses A to D, and performing IC or TAB. It is an apparatus which performs mounting assembly work, such as these. The left two processing apparatuses A and B in FIG. 1 are apparatuses for processing the long side (source side) of the display panel substrate, and the two processing apparatuses C and D on the right side are the short side of the display panel substrate. It is a device that performs processing operations on the (gate side).

도 1 중에서, 표시 패널 기판(4)은, 각 처리 작업 장치의 처리 작업 위치에 유지된 상태를, 2점 쇄선으로 나타냈다. 도 1 중에 도시한 부호의 각 숫자 뒤의 ( ) 내 A~C는 관계되는 처리 작업 장치를 나타내는 기호이다.In FIG. 1, the display panel board | substrate 4 has shown the state hold | maintained at the process working position of each process working apparatus with the dashed-dotted line. A-C in () after each number of the code | symbol shown in FIG. 1 is a symbol which shows the processing operation apparatus concerned.

도 1에서는, 처리 작업 장치 A의 상류측의 처리 작업 장치군과 처리 작업 장치 D의 하류측 장치군에 대해서는, 할애하고 있다. 표시 패널 모듈 조립 장치 전체로서는, (1) 표시 패널 기판 연부의 TAB 접착부를 청소하는 단자 클리닝 공정, (2) 청소 후의 표시 패널 기판 연부에 이방성 도전 필름(ACF)을 접착하는 ACF 공정, (3) ACF를 접착한 위치에, 표시 패널 기판 배선과 위치 결정하여 TAB나 IC를 탑재하는 탑재 공정, (4) 탑재한 TAB나 IC를 가열 압착함으로써, ACF 필름에 의해 고정하는 압착 공정, 또한, (5) TAB의 표시 패널측과 반대측에 PCB를 ACF 등으로 접착하여 탑재하는 PCB 처리 공정(복수의 처리 공정으로 이루어짐)과 함께, 각종 검사 장치 등의 처리 작업 장치가 있고, 처리변수 등에 따라서, 복수의 처리 작업 장치가 늘어놓아진 구성으로 된다. 어떤 처리 작업 장치를 몇대 어떤 순서로 늘어놓을 필요가 있는지는, 조립 작업을 행하는 표시 패널 모듈 구성에 의존하는 것은 물론이다.In FIG. 1, the processing work device group upstream of the processing work device A and the downstream device group of the processing work device D are devoted. As the whole display panel module assembly apparatus, (1) the terminal cleaning process of cleaning the TAB adhesive part of a display panel board edge, (2) the ACF process of bonding an anisotropic conductive film (ACF) to the display panel board edge after cleaning, and (3) Mounting process for positioning TAB or IC by positioning with display panel substrate wiring at the position where ACF is bonded, (4) Crimping process for fixing by ACF film by heat-compressing mounted TAB or IC, (5) ) In addition to the PCB processing process (consisting of a plurality of processing processes) for attaching and mounting the PCB to the display panel side and the opposite side of the TAB by the ACF, there are processing work apparatuses such as various inspection apparatuses. The processing work device is arranged in a row. The order in which the processing work devices need to be arranged in what order depends, of course, on the configuration of the display panel module that performs the assembling work.

본 발명은, 이들 수많이 접속된 각종 처리 장치 사이에서 표시 패널 기판을 고효율로 반송하고, 처리함으로써, 생산성이 높은 패널 기판 반송 장치와 그것을 이용한 표시 패널 모듈 조립 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a highly productive panel substrate transfer device and a display panel module assembling device using the same by transporting and processing a display panel substrate with high efficiency between these many connected processing devices.

본 발명에서의 표시 패널 기판(4)의 반송은, 인접하는 2개의 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간에서의 직접 반송 동작과 함께, 처리 작업 위치에의 표시 패널 기판(4)의 위치 결정을 행하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의해 행해진다. 패널 기판 반송 위치 결정 수단은, 인접하는 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간에서, 표시 패널 기판을 유지하는 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 왕복 동작시킴으로써, 표시 패널 기판(4)을, 상류로부터 하류의 처리 작업 위치를 향하여 순차적으로 반송을 행한다.The conveyance of the display panel board | substrate 4 in this invention performs positioning of the display panel board | substrate 4 to a processing work position with the direct conveyance operation between two adjacent processing work apparatuses or processing work positions. It is performed by the panel substrate conveyance positioning means. The panel substrate conveyance positioning means moves the display panel substrate 4 from upstream by reciprocating the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance holding the display panel substrate between adjacent processing operation apparatuses or processing operation positions. Conveying is performed sequentially toward the downstream processing work position.

패널 기판 반송 위치 결정 수단에 관한 구성 부재나 기구부에 대해서는, 동작 범위의 상류측 처리 작업 장치 기호와 하류측 작업 장치 기호를, 「(A-B)」와 같은 형식으로 각 부호에 부기하였다. 도 1에서는, 처리 작업 장치 (A-B) 간, (B-C) 간, (C-D) 간에서 동작하는 3대의 패널 기판 반송 위치 결정 수단과 함께, 처리 작업 장치 A의 더욱 상류측의 처리 작업 장치로부터 표시 패널 기판의 반입을 행하는 (~A) 및, 처리 작업 장치 D의 더욱 하류측의 처리 작업 장치에 표시 패널 기판의 반출을 행하는 (D~)의 2대의 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 일부가 도시되어 있다.About the structural member and the mechanism part which concern on the panel board | substrate conveyance positioning means, the upstream process working device symbol and the downstream side working device symbol of an operation range were added to each code | symbol in the form similar to "(A-B)". In FIG. 1, a display panel from the processing work device further upstream of processing work device A with three panel board | substrate conveyance positioning means which operate between processing work devices AB, BC, and CD. A part of two panel board | substrate conveyance positioning means of carrying out a board | substrate (-A) and carrying out of a display panel board | substrate to the processing work apparatus further downstream of the processing work apparatus D is shown. .

또한, 도 1 중의 패널 기판 반송 위치 결정에서의 수단 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 하류측의 처리 작업 위치에 있는 상태를 나타내고 있다. 이 때문에, 처리 작업 장치 D의 더욱 하류측의 처리 작업 장치에 표시 패널 기판의 반출을 행하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10(D~)) 등은, 도 1 중에는 기재되지 않는다.In addition, the panel board | substrate holding means 10 at the time of means conveyance in the panel board | substrate conveyance position determination in FIG. 1 has shown the state in the processing operation position of a downstream side. For this reason, the panel substrate holding means 10 (D-) at the time of conveyance of the panel board | substrate conveyance positioning means which carries out a display panel board | substrate to the processing work apparatus further downstream of the processing work apparatus D is described in FIG. It doesn't work.

본 발명에서의 표시 패널 기판(4)의 반송은, 이들 일렬로 늘어놓아진 복수의 패널 기판 반송 위치 결정 수단을, 대략 동시에 반송 및 위치 결정 동작을 시킴으로써, 연속한 처리 작업 장치 간에서 표시 패널 기판을 반송한다.The conveyance of the display panel board | substrate 4 in this invention performs a conveyance and positioning operation | movement of the several panel board | substrate conveyance positioning means arranged in these lines at about the same time, and it is a display panel board | substrate between continuous processing work devices. To return.

본 실시예에서는, 각 처리 작업 장치 또는 처리 작업 위치에, 처리하는 표시 패널을 유지하기 위해서, 처리변 유지 고정 수단(3)과 비처리 영역 유지 수단(5)이 배치되어 있다.In this embodiment, in order to hold the display panel to process in each processing operation apparatus or a process operation position, the process edge holding means 3 and the non-processing area holding means 5 are arrange | positioned.

처리변 유지 고정 수단(3)은, 상정되는 표시 패널 사이즈의 최대 처리변 길이보다도 긴 부재로서, 표시 패널 기판(4)의 처리변측의 처리변 끝으로부터 균일한 거리 내측을, 처리변에 평행하게 또한 처리변 방향으로 가늘고 길게, 처리변 전역에 걸쳐 유지함과 함께 고정함으로써, 처리 영역에서의 표시 패널의 비뚤어짐이나 꾸불꾸불함 등을 보정하는 부재이다. 처리변 유지 고정 수단(3)은, 표시 패널 고정 표면이 강체 평면으로 되어 있고, 고정 평면부 내에 에어 흡인구를 복수 설치하여, 에어 흡착에 의해 표시 패널 기판(4)을 처리변 유지 고정 수단(3)에 흡착 고정하는 구성으로 하였다. 에어 흡착 등에 의해, 표시 패널의 처리변측 근방을, 처리변 유지 고정 수단(3)에 흡착 고정함으로써, 비뚤어짐이나 꾸불꾸불함 등을 갖는 표시 패널 기판(4)에서도, 처리변측의 표시 패널 기판(4)의 평면성을 확보하는 것이 가능하게 된다. 각 처리 장치에서의 처리 작업은, 처리변 유지 고정 수단(3)으로부터 처리 장치측으로 돌출시킨 표시 패널의 처리변부에 대하여 행하여진다.The process side holding and fixing means 3 is a member longer than the maximum process side length of the assumed display panel size, and has a uniform distance inward from the end of the process side on the process side of the display panel substrate 4 in parallel to the process side. Moreover, it is a member which correct | amends the skew | conversion, the squiggle, etc. of the display panel in a process area | region by holding | maintaining and fixing over the whole process side with thin and long in a process side direction. As for the process side holding | maintenance holding means 3, the display panel fixing surface becomes a rigid body plane, and a plurality of air suction openings are provided in the fixed plane part, and the display panel board | substrate 4 is attached to a process side holding | maintenance holding means ( It was set as the structure which adsorbed and fixed to 3). By adsorbing and fixing the vicinity of the processing side of the display panel to the processing side holding and fixing means 3 by air adsorption or the like, the display panel substrate on the processing side of the display panel substrate 4 also has It is possible to secure the flatness of 4). The processing operation in each processing apparatus is performed with respect to the processing edge part of the display panel which protruded from the process side holding | maintenance holding means 3 to the processing apparatus side.

비처리 영역 유지 수단(5)은, 처리변 유지 고정 수단(3)에 대하여 표시 패널 처리변의 반대측의 표시 패널 하면 영역을 유지하는 부재로서, 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이 퇴피하였을 때에 있어서도, 표시 패널 기판(4)을 대략 수평으로 유지하여, 상기 처리변 유지 고정 수단(3)에 의한 표시 패널의 고정 유지를 보조하는 부재이다.The non-processing area holding means 5 is a member for holding the display panel lower surface area opposite to the display panel processing side with respect to the processing side holding means 3, and is a panel substrate holding means at the time of conveyance in the panel substrate conveying positioning means. Even when 10 is retracted, it is a member which holds the display panel board | substrate 4 substantially horizontal, and assists holding of the display panel by the said process side holding means 3.

비처리 영역 유지 수단(5)은, 장치의 상면으로부터 현수된 아암 구조를 갖고 있고, 표시 패널 기판의 비처리변의 연변 하면에 유지 아암을 삽입하여 지지하는 구조를 갖고 있다. 비처리 영역 유지 수단(5)은, 표시 패널 기판의 비유지 시에는, 표시 패널 기판의 처리 높이나 반송 높이보다도 상방으로 퇴피 가능한 가동 기구를 갖고 있다. 도 1 내지 도 3b의 실시예에서는, 3개의 비처리 영역 유지 수단(5a~5c)에 의해, 처리 작업 위치의 표시 패널을 유지하는 구성을 나타내고 있다. 도 2a 및 도 3a는, 비처리 영역 유지 수단(5)에 의해 표시 패널 기판을 유지하고 있는 상태를 도시하고, 도 2b 및 도 3b는, 비처리 영역 유지 수단(5)이 상방으로 퇴피한 상태를 도시하고 있다.The non-processing area holding means 5 has an arm structure suspended from the upper surface of the apparatus, and has a structure in which the holding arm is inserted into and supported on the lower edge of the non-processing side of the display panel substrate. The non-processing area holding means 5 has the movable mechanism which can retract upwards rather than the processing height and conveyance height of a display panel board | substrate at the time of non-holding of a display panel board | substrate. In the embodiment of Figs. 1 to 3B, the configuration of holding the display panel at the processing work position by the three non-processing area holding means 5a to 5c is shown. 2A and 3A show a state in which the display panel substrate is held by the non-processing area holding means 5, and FIGS. 2B and 3B show a state in which the non-processing area holding means 5 retreats upward. It is shown.

도 4a 및 도 4b는 비처리 영역 유지 수단(5)의 일 실시예를 설명하기 위한 도면이다. 도 4a는 표시 패널 기판(4)을 유지하고 있는 상태를 도시하고, 도 4b는 퇴피하고 있는 상태를 도시한다. 도 4a 및 도 4b의 비처리 영역 유지 수단(5)에는, 유지 아암(12)을 수평 방향으로 슬라이드시키는 기구(13)와 아암 전체를 상하 방향으로 이동시키는 것이 가능한 현수 부재(14)로 구성되어 있다. 이들 가동 기구는, 에어 실린더나 모터 등의 일반적인 액튜에이터로 구성하는 것이 가능하다.4A and 4B are diagrams for explaining an embodiment of the non-processing area holding means 5. FIG. 4A shows a state in which the display panel substrate 4 is held, and FIG. 4B shows a state in which the display panel substrate 4 is retracted. The non-processing area holding means 5 of FIGS. 4A and 4B includes a mechanism 13 for sliding the holding arm 12 in the horizontal direction and a suspension member 14 capable of moving the entire arm in the vertical direction. have. These movable mechanisms can be comprised by general actuators, such as an air cylinder and a motor.

패널 기판 반송 수단에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)으로부터 돌출되어 있는 표시 패널 기판의 비처리변의 연변부는, 패널 기판의 자체 중량에 의한 휨 등에 의해, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 표시 패널 유지면으로부터 아래로 드리워진다. 휨에 의한 아래로 드리워진 양은 패널 기판의 두께나 돌출량의 영향을 받는다. 또한, TAB나 PCB 등의 주변에 실장된 표시 패널 기판에서는, 그들의 유지 기구의 유무나 구조에도 의하지만, 이들의 부재 선단부의 아래로 드리워지는 것에 대한 배려가 필요하다.The edge part of the non-processed side of the display panel substrate which protrudes from the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance by the panel substrate conveying means is carried out by the warp of the panel substrate by its own weight, etc. of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance. It is dropped down from the display panel holding surface. The amount draped down by warping is influenced by the thickness of the panel substrate and the amount of protrusion. In addition, in a display panel substrate mounted around a TAB, a PCB, or the like, consideration should be given to dropping below the member tip portion, depending on the presence or absence of their holding mechanism and structure.

이를 위해서, 도 4a 및 도 4b의 비처리 영역 유지 수단(5)에 의해 표시 패널 기판을 유지하는 경우에는, 표시 패널 기판(4)을 유지하고 있는 처리변 유지 고정 수단(3)이나 패널 기판 반송 수단의 기판 유지면보다도, 수㎜ 내지 수㎝ 정도 하측에서 유지 아암(12)을, 표시 패널 기판의 연변 하측으로 밀어 내고, 그 후, 규정의 높이까지 밀어 올릴 필요가 있다.To this end, in the case of holding the display panel substrate by the non-processing area holding means 5 of FIGS. 4A and 4B, the processing edge holding fixing means 3 holding the display panel substrate 4 or the panel substrate is conveyed. It is necessary to push the holding arm 12 below the edge side of the display panel substrate from several mm to several cm below the substrate holding surface of the means, and then push it up to the prescribed height.

도 5a 및 도 5b는, 비처리 영역 유지 수단(5)의 다른 실시예를 설명하기 위한 도면이다. 도 5a는 표시 패널 기판(4)을 유지하고 있는 상태를 도시하고, 도 5b는 퇴피하고 있는 상태를 도시한다. 도 5a 및 도 5b의 비처리 영역 유지 수단(5)은, 유지하는 표시 패널 기판변에 평행한 축을 중심으로 L형 또는 コ형 아암 형상의 유지 부재(12)와 그 회전축을 회전시키는 회전 구동 수단(15)으로 구성되어 있다. 이 구조에서는, 회전 구동 수단(15)에 의해 유지 부재(12)를 회전시키는 것만으로, 표시 패널 기판 연변 하면의 유지와 표시 패널 기판 상방으로의 아암 형상의 유지 부재의 퇴피 동작을 행하는 것이 가능하다. 이 때문에, 현수부(16)에, 도 4a 및 도 4b의 비처리 영역 유지 수단(5)과 같은 상하 방향의 가동 수단을 배치할 필요가 없어진다. 또한, 이 방식에서는, 표시 패널 기판을 아래로부터 위로 밀어 올리도록, 유지 부재(12)가 가동하기 때문에, 상기한 패널 단부의 아래로 드리워지는 것 등에 대한 배려도 필요없다.5A and 5B are views for explaining another embodiment of the non-processing area holding means 5. FIG. 5A shows a state in which the display panel substrate 4 is held, and FIG. 5B shows a state in which it is retracted. The non-processing area holding means 5 of FIGS. 5A and 5B includes an L-shaped or co-shaped arm-shaped holding member 12 and a rotation driving means for rotating the rotational axis about an axis parallel to the display panel substrate side to be held. It consists of 15. In this structure, only by rotating the holding member 12 by the rotation drive means 15, it is possible to perform the holding operation of the lower surface of the display panel substrate and the retraction operation of the arm-shaped holding member above the display panel substrate. . For this reason, it is unnecessary to arrange | position the movable means of the up-down direction like the non-processing area | region holding means 5 of FIG. 4A and 4B in the suspension part 16. FIG. Moreover, in this system, since the holding member 12 moves so that a display panel board | substrate may be pushed up from the bottom, it is not necessary to consider about being drooped below the panel end.

본 실시예의 구성에서는, 비처리 영역 유지 수단(5)의 설치 위치를 가변함으로써, 표시 패널 기판의 유지 위치를 가변하는 것이 가능하다. 일반적으로, 장치의 표시 패널 반송면의 상측에는, 거의 다른 구조물이 없기 때문에, 비처리 영역 유지 수단(5)의 배치 위치에 대한 자유도는 높아, 처리하는 패널 기판의 사이즈, 처리변 길이, 처리 위치 등에 따른 기판 유지 위치 선택이 가능하게 된다.In the structure of this embodiment, it is possible to vary the holding position of the display panel substrate by varying the mounting position of the non-processing area holding means 5. In general, since there are almost no other structures on the upper side of the display panel conveying surface of the apparatus, the degree of freedom with respect to the arrangement position of the non-processing area holding means 5 is high, and thus the size of the panel substrate to be processed, the length of the processing side, and the processing position. It is possible to select a substrate holding position according to the like.

비처리 영역 유지 수단(5)의 상방으로부터의 현수 구조는, 장치 상측에 일반적인 들보 구조체를 설치함으로써 용이하게 실현 가능하다. 이 들보 구조체를 적절하게 배치 구성함으로써, 다양한 표시 패널을 고정밀도 또한 안정적으로 유지하는 것이 가능하게 되어, 처리 작업을 고정밀도 또한 안정적으로 실시할 수 있다.The suspension structure from above the non-processing area holding means 5 can be easily realized by providing a general beam structure above the apparatus. By arranging this beam structure suitably, various display panels can be maintained with high precision and stability, and a processing operation can be performed with high precision and stability.

다음으로, 처리 작업 위치 간에서 표시 패널 기판의 반송이나 회전 및 위치 결정 동작을 행하는 본 발명의 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 대하여 설명한다.Next, the panel substrate conveyance positioning means of this invention which performs conveyance, rotation, and positioning operation | movement of a display panel board | substrate between process operation positions is demonstrated.

도 1~도 3b에서 도시한 본 발명의 실시예에서는, 인접하는 상기 각 처리 작업 장치 또는 처리 작업 위치 간을 왕복 이동함으로써, 표시 패널 기판(4)을 반송함과 함께, 상기 처리 작업 장치의 처리 작업 위치에의 표시 패널 기판 위치 결정이나 표시 패널 기판의 회전 동작이 가능한 패널 기판 반송 위치 결정 수단이 설치되어 있다. 패널 기판 반송 위치 결정 수단은, 처리 작업 장치 간에서 표시 패널을 반송하기 위한 X축 가동 수단(6)과 함께, 표시 패널 반송 방향에 직각한 Y축의 가동 수단(7), 표시 패널의 높이를 가변 가능한 Z축 가동 수단(8), 표시 패널의 회전 위치를 가변 가능한 θ축 가동 수단(9)과 함께, 표시 패널을 유지하기 위한 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)으로 구성되어 있다. 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, θ축 가동 수단부(9)로부터 돌출된 아암(11)으로 지지됨과 함께, 아암 길이를 가변함으로써, 사이즈가 상이한 표시 패널을 안정적으로 유지할 수 있도록 구성되어 있다.In the embodiment of the present invention shown in FIGS. 1 to 3B, the display panel substrate 4 is conveyed by reciprocating between the adjacent processing operation apparatuses or the processing operation positions, and the processing of the processing operation apparatus is performed. A panel substrate conveyance positioning means capable of positioning the display panel substrate to the working position and rotating the display panel substrate is provided. The panel substrate conveyance positioning means varies the height of the Y-axis movable means 7 and the display panel perpendicular to the display panel conveyance direction together with the X-axis movable means 6 for conveying the display panel between the processing work devices. It consists of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance for hold | maintaining a display panel with the [theta] -axis movable means 8 which can change the rotational position of the display panel and the Z-axis movable means 8 which are possible. The panel substrate holding means 10 at the time of conveyance is supported by the arm 11 which protruded from the (theta) axis | shaft movable means part 9, and is comprised so that the display panel of a different size can be stably held by varying an arm length. have.

우선, 본 발명의 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)부에 대하여 설명한다.First, the panel substrate holding means 10 part at the time of conveyance in the panel substrate conveyance positioning means of this invention is demonstrated.

반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 상기 처리변 유지 고정 수단의 유지 위치보다도 내측의 표시 패널 하면 영역을 유지하도록 구성되어 있고, 이 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 유지되어 있지 않은 표시 패널 기판(4)의 연변 영역을 이용하여, 처리 작업 위치에 배치된 상기 처리변 유지 고정 수단(3)에 건네주기 고정을 한다. 도 1에 도시한 실시예에서는, 표시 패널 기판(4)의 4변 모두의 연변 영역을 비운 상태에서, 표시 패널 기판(4)을 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 유지하고 있다. 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 유지 위치를 이와 같이 하면, θ축 가동 수단부(9)에서 표시 패널 기판(4)을 회전시킴으로써, 표시 패널 기판(4)의 4변 모두에 대한 처리 동작이 가능하게 된다. 상류로부터 하류의 처리 작업 장치에의 표시 패널 기판의 반송과 함께, 동일한 처리 작업 장치 내에서의 표시 패널 기판(4)의 처리변 절환 동작을, 표시 패널 기판(4)의 바꿔 잡기 동작 등을 끼워 넣지 않고 간단히 행할 수 있다.The panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance is comprised so that the display panel lower surface area | region inside of the holding position of the said process side holding | maintenance holding means may be hold | maintained, and the display which is not hold | maintained by the panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance. By using the edge region of the panel substrate 4, it is fixed to the processing edge holding fixing means 3 arranged at the processing work position. In the embodiment shown in FIG. 1, the display panel board | substrate 4 is hold | maintained in the panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance in the state in which the edge side area | region of all four sides of the display panel board | substrate 4 was empty. When the holding position of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance is made in this way, the operation | movement operation with respect to all four sides of the display panel board | substrate 4 is made by rotating the display panel board | substrate 4 by the (theta) axis | shaft movable means part 9. This becomes possible. In addition to conveying the display panel substrate from the upstream to the downstream processing apparatus, the process switching operation of the display panel substrate 4 in the same processing apparatus is replaced with the operation of changing the display panel substrate 4. It can be done simply without putting in.

도 1의 실시예에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에서는, 표시 패널 기판의 4변 모두에 대한 처리를 가능하게 하기 위해서, 표시 패널 기판(4)의 중앙 부근을 지지하는 구성으로 되어 있지만, 처리변의 수가 4변 미만인 경우는 이에 한하지 않고, 처리변측을 이외의 부분으로 유지하는 구성도 가능하다.In the conveyance panel board | substrate holding means 10 in the Example of FIG. 1, although it is set as the structure which supports the vicinity of the center of the display panel board | substrate 4 in order to enable the process with respect to all four sides of a display panel board | substrate. In the case where the number of processing edges is less than 4 sides, the configuration is not limited to this, and the side of the processing edges may be kept in other parts.

도 6a, 도 6b, 및 도 6c는, 3종류의 사이즈가 서로 다른 표시 패널 기판(4)에 대하여, 처리변(S1변, S2변, G1변, G2변의 4변)과 처리 시에 표시 패널을 유지 고정하기 위한 처리변 유지 고정 수단(3)에 의한 고정 영역(17)과 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의해 유지 가능한 표시 패널 기판 영역(18)을 모식적으로 도시한 것이다. 도 6a, 도 6b, 및 도 6c에서, 비처리 영역 유지 수단이나 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의한 표시 패널 유지나 건네주기 동작에 이용하는 것이 가능한 표시 패널 기판 영역(18)을 해칭으로 나타내고 있다. 예를 들면, 도면 중 부호 17a-S1은 도 6a의 대형 표시 패널 기판의 S1변측의 유지 고정 영역 폭을 나타낸다. 또한, 참조 부호 17b-G1는 도 6b의 중형 표시 패널 기판의 G1변측의 유지 고정 영역 폭을 나타낸다. 또한, 참조 부호 18a는 도 6a의 대형 표시 패널 기판의 유지 가능한 표시 패널 기판 영역을 나타낸다. 그 밖에도 마찬가지이다.6A, 6B, and 6C show processing panels (four sides of the S1 side, S2 side, G1 side, and G2 side) and the display panel at the time of processing with respect to the display panel substrate 4 having three kinds of different sizes. The display panel substrate region 18 which can be held by the panel region holding means 10 at the time of conveyance and the fixing area | region 17 by the process side holding | maintenance means 3 for holding | maintaining and fixing is shown typically. 6A, 6B, and 6C, hatching shows the display panel substrate region 18 which can be used for display panel holding and handing operation by the non-processing region holding means or panel substrate holding means 10 during conveyance. . For example, in the figure, reference numerals 17a to S1 denote the width of the holding region on the S1 side of the large display panel substrate of FIG. 6A. Further, reference numerals 17b-G1 denote widths of the holding regions on the G1 side of the medium-size display panel substrate of FIG. 6B. Reference numeral 18a denotes a maintainable display panel substrate region of the large display panel substrate of FIG. 6A. The same is true for other things.

본 발명에서 상정되는 처리변 유지 고정 수단(3)에 의한 고정 유지 영역의 폭(17)은, 각 처리 작업의 내용이나 처리하는 표시 패널의 최대 사이즈 등의 장치 사양의 영향을 받는다. 그러나, 일반적인 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 처리 작업을 상정한 경우, 처리변 유지 고정 수단(3)에서, 처리변 끝으로부터 100㎜ 정도의 위치를 고정하면 가능하게 된다. 또한, 극단적인 구성을 고려하였다고 하여도, 처리변 유지 고정 수단(3)에 의한 고정 유지에 필요한 영역은, 처리변 끝으로부터, 수10~200㎜ 이하 정도이었다. 실제로, 본 실시예의 표시 패널 모듈 조립 장치에서, 최대 처리 표시 패널 사이즈를 50~60인치 상당까지 고려하여, 각 처리 작업 장치에서, 처리변 유지 고정 수단(3)에 의한 유지 고정 위치를, 도면 상에서 부재 위치 검토한 결과, 처리변 끝으로부터 최대 100㎜ 정도이면 실장 가능하였다.The width 17 of the fixed holding area by the process side holding and fixing means 3 assumed in the present invention is influenced by device specifications such as the contents of each processing operation and the maximum size of the display panel to be processed. However, in the case of assuming a processing operation in a general display panel module assembling apparatus, it is possible to fix the position about 100 mm from the edge of the processing edge by the processing edge holding fixing means 3. Moreover, even if the extreme structure was considered, the area | region required for the fixed holding by the process side holding-fixing means 3 was about 10-200 mm or less from the edge of a process side. In fact, in the display panel module assembling apparatus of the present embodiment, in consideration of the maximum processing display panel size up to 50 to 60 inches, in each processing working device, the holding fixing position by the processing edge holding fixing means 3 is shown on the drawing. As a result of examining member position, it was possible to mount if it was about 100 mm from the edge of a process edge.

도 6a, 도 6b 및 도 6c는, 처리변 유지 고정 수단(3)에 의한 유지 고정 영역을 처리변 끝으로부터 100㎜로 한 경우의 (a) 대형 표시 패널 기판 : 32인치 와이드 클래스, (b) 중형 패널 사이즈 기판 : 20인치 와이드 클래스, (c) 소형 패널 사이즈 기판 : 13인치 글래스에서, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의해 표시 패널 기판(4)을 유지 가능한 에리어를 작도한 것이다.6A, 6B, and 6C show (a) large display panel substrate in the case where the holding fixing area by the processing side holding means 3 is 100 mm from the end of the processing edge: 32-inch wide class, (b) Medium panel size board | substrate: 20 inch wide class, (c) Small panel size board | substrate: The area which can hold | maintain the display panel board | substrate 4 by the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance was constructed.

도 6a 중의 32인치 와이드 클래스에서는, 표시 패널 기판(4)의 중앙을 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의해 유지함으로써, 소스측, 게이트측의 4변에, 유지 고정용 에리어(15)를 확보 가능하다. 그러나, 표시 패널 사이즈가 작은, 도 6b의 20인치 와이드 클래스, 도 6c의 13인치 클래스에서는, 4변 모두에, 100㎜ 폭의 유지 고정용 에리어를 확보하면 비처리 영역 유지 수단(5)이나 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의한 표시 패널 기판(4)의 유지나 건네주기 동작에 이용하는 표시 패널 기판 영역(16)의 확보가 곤란하게 된다.In the 32-inch wide class in FIG. 6A, by holding the center of the display panel substrate 4 by the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance, the holding fixing area 15 is provided on the four sides of the source side and the gate side. It can be secured. However, in the 20-inch wide class of FIG. 6B and the 13-inch class of FIG. 6C where the display panel size is small, the non-processing area holding means 5 and the conveyance are provided when all four sides have a 100 mm wide holding and fixing area. It is difficult to secure the display panel substrate region 16 used for holding or passing the display panel substrate 4 by the visual panel substrate holding means 10.

이와 같은 작은 표시 패널 기판(4)에서의 반송에서는, 도 6a, 도 6b 및 도 6c에 도시한 바와 같이, 도 6b의 20인치 와이드 클래스에서는, 소스 1변과 게이트 2변으로, 도 6c의 13인치 클래스에서는, 소스 1변과 게이트 1변과 처리변의 장소나 수를 규정하면, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 위치에서의 비처리 영역 유지 수단(5)이나 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의한 표시 패널 기판(4)의 유지나 건네주기 동작에 이용하는 표시 패널 기판 영역(18)의 확보가 가능하게 된다.In the conveyance in such a small display panel substrate 4, as shown in Figs. 6A, 6B, and 6C, in the 20-inch wide class of Fig. 6B, one source and two gates are shown as 13 in Fig. 6C. In the inch class, if the location and the number of the one side of the source, the one side of the gate, and the processing side are defined, the non-processed area holding means 5 at the display panel module assembly position of the present invention or the panel substrate holding means 10 during conveyance are defined. It is possible to secure the display panel substrate region 18 used for holding or passing the display panel substrate 4.

이와 같이, 본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 그것을 이용한 표시 패널 모듈 조립 장치는, 특히 대형이나 박형의 표시 패널에 대하여, 고속 고정밀도 처리 작업을 목적한 것이지만, 처리변의 수에 제한을 가함으로써, 50~60인치 상당까지의 초대형 표시 패널부터 10수인치 클래스의 소형 패널까지 대응 가능 범위를 확장하는 것이 가능하다.Thus, although the panel board | substrate conveyance apparatus of this invention and the display panel module assembly apparatus using the same are aimed at the high speed and high precision processing operation especially with respect to a large sized and thin display panel, it is 50 by adding a restriction to the number of process sides. It is possible to extend the applicable range from ultra-large display panels up to ˜60 inches to small panels of 10 inches class.

비처리 영역 유지 수단(5)이나 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의한 표시 패널 기판(4)의 유지나 건네주기 동작에 이용하는 표시 패널 기판 영역(18)의 필요 면적은, 각종 동작 시에 표시 패널에 부하되는 가속도 등에 의한 외력이나 표시 패널 기판(4)의 흡착 유지력에 의하지만, 대략 표시 패널 기판(4)의 절반 이상의 폭을 흡착 유지할 수 있으면, 안정적으로 표시 패널 유지나 건네주기 동작이 가능하다.The required area of the display panel substrate region 18 used for the holding and passing of the display panel substrate 4 by the non-processing region holding means 5 or the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance is displayed during various operations. The display panel substrate 4 can be stably held or passed as long as it can absorb and hold approximately the width of the display panel substrate 4 by the external force due to the acceleration or the like loaded on the panel or the suction holding force of the display panel substrate 4. .

도 6a의 32인치 와이드 클래스, 도 6b의 20인치 와이드 클래스, 도 6c의 13인치 클래스의 표시 패널 사이즈는, 100㎜ 폭의 유지 고정용 에리어 확보를 상정한 경우에, 표시 패널의 절반의 폭으로 유지 가능한 최소 표시 패널 사이즈 부근이다.The display panel sizes of the 32-inch wide class of FIG. 6A, the 20-inch wide class of FIG. 6B, and the 13-inch class of FIG. 6C are each half the width of the display panel when assuming a 100 mm wide retention fixing area is secured. It is near the minimum display panel size that can be maintained.

즉, 본 실시예의 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 32인치 와이드 클래스 이상의 최대 처리변수를 4변, 32~20인치 와이드 클래스의 최대 처리변수를 3변, 20인치 이하의 표시 패널 사이즈에서의 최대 처리변수를 2변으로 함으로써, 13인치까지의 처리 작업에 대응하는 것이 가능하게 된다. 현실적으로는, 이와 같은 중소형 클래스의 표시 패널 기판에서는, 4변 처리나 3변 처리 등에의 처리 작업은, 거의 필요가 없어, 실용상, 이 처리변수의 제한이 문제로 되는 일은 없다.That is, in the display panel module assembly apparatus of the present embodiment, the maximum processing variable of 32 inches wide class or more is 4 sides, the maximum processing variable of 32 to 20 inch wide class is 3 sides, and the maximum processing variable of the display panel size of 20 inches or less. By making 2 sides, it becomes possible to cope with the processing operation of up to 13 inches. In reality, such a display panel substrate of a small- and medium-sized class requires almost no processing work for four-side processing, three-side processing, or the like, and practically, the limitation of this processing variable does not become a problem.

또한, 전술한 바와 같이, 비처리 영역 유지 수단(5)의 유지 영역은, 표시 패널 기판의 비처리변의 연변 하면부이다. 즉, 도 6a, 도 6b 및 도 6c에서의 처리변과 처리 시에 표시 패널을 유지 고정하기 위한 영역으로서 확보되어 있는 영역(17) 중, 각 처리 작업 시에 처리변 유지 고정 수단(3)에 의해 유지되어 있지 않은 영역으로 된다.In addition, as mentioned above, the holding area of the non-processing area holding means 5 is the edge side of the non-processing side of the display panel substrate. That is, among the areas 17 secured as the area for holding and holding the display panel at the time of processing with the processing edges in FIGS. 6A, 6B, and 6C, the processing edge holding fixing means 3 is provided in each processing operation. It becomes an area which is not hold | maintained by this.

표시 패널 기판의 처리변수가 2변인 경우, 비처리 영역 유지 수단(5)의 유지 영역이 유지 가능한 영역은, 표시 패널 기판의 1변의 일부만으로 된다. 그러나, 현재의 표시 패널 기판에서는 처리 변수가 적은 기판은 일반적으로 패널 사이즈가 작아, 표시 패널 기판의 일부만으로도 충분히, 표시 패널 기판(4)의 수평 유지도 가능하다.When the process variable of the display panel substrate is two sides, the area | region which can hold | maintain the holding area of the non-processing area | region holding means 5 becomes only one part of one side of a display panel board | substrate. However, in current display panel substrates, substrates having few processing variables are generally small in panel size, and only a part of the display panel substrate can sufficiently hold the display panel substrate 4 horizontally.

단, 금후 표시 패널 기판이 더욱 얇아지거나, 글래스 이외의 소재가 사용되는 등, 표시 패널 기판의 강성이 크게 저하된 경우에는, 이에 한하지 않는다. 이와 같은 저강성의 표시 패널 기판(4)에서, 비처리 영역 유지 수단(5)의 유지 영역이 유지 가능한 영역이 적어, 비처리 영역 유지 수단(5)에 의한 기판 유지가 불안정하게 되는 경우에는, 비처리 영역 유지 수단(5)의 유지 아암(12)의 일부가, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의해 유지 가능한 표시 패널 기판 영역(18)에 들어가서, 표시 패널을 지지하는 구성도 생각할 수 있다. 이 경우, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)과 비처리 영역 유지 수단(5)의 유지 아암(12)이 서로의 충돌을 피한 빗 모양 형상 등으로 하는 것이 필요로 된다.However, if the rigidity of the display panel substrate is greatly reduced, such as thinning the display panel substrate in the future or using a material other than glass, the present invention is not limited thereto. In such low rigidity display panel substrate 4, when there are few regions which can hold | maintain the holding area of the non-processing area holding means 5, and the board | substrate holding by the non-processing area holding means 5 becomes unstable, A configuration in which a part of the holding arm 12 of the non-processing area holding means 5 enters the display panel substrate area 18 that can be held by the panel substrate holding means 10 during conveyance and supports the display panel is also conceivable. have. In this case, it is necessary for the holding arm 12 of the panel substrate holding means 10 and the non-processing area holding means 5 to have a comb shape etc. which avoided mutual collision at the time of conveyance.

이상과 같이, 본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 그것을 이용한 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에 배치된 비처리 영역 유지 수단(5)이나 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 표시 패널 기판의 유지 위치를 가변함으로써, 소판부터 대판까지 크게 사이즈가 상이한 표시 패널에의 대응이 가능하다. 상기한 바와 같이, 본 발명의 구성에서는 비처리 영역 유지 수단(5)을 상방으로부터의 현수 구조로 함으로써, 설치 위치의 자유도도 높다.As mentioned above, in the panel substrate conveyance apparatus of this invention and the display panel module assembly apparatus using the same, the non-processing area | region holding means 5 arrange | positioned at each processing operation apparatus or a processing operation position, or the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance. By varying the holding position of the display panel substrate, it is possible to cope with display panels having greatly different sizes from the small plate to the large plate. As mentioned above, in the structure of this invention, when the non-processing area holding means 5 is made the suspension structure from upper direction, the freedom degree of an installation position is also high.

다음으로, 본 발명의 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 가동부 구성에 대하여 설명한다.Next, the structure of the movable part of the panel substrate conveyance positioning means of this invention is demonstrated.

도 2a 및 도 2b와 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 패널 기판 반송 위치 결정 수단은, 인접하는 2개의 처리 작업 장치에 걸쳐 배치되는 X축 가동 수단(6) 위에, 그것에 직교하는 Y축 가동 수단(7)을 배치하고, 그 위에, 상하 방향의 Z축 가동 수단(8), 또한 그 위에 θ축 회전 수단(9)을 배치하고, 또한 그 위에 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 아암(11)으로 유지한다. 상류의 처리 작업 위치로부터의 표시 패널 반입과 하류의 처리 작업 위치로의 표시 패널 반출을 행하기 위해서, 동일한 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에, 2개의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 배치할 필요가 있다. 이 때문에, 도 2a, 도 2b 및 도 3a, 도 3b의 실시예에서는, X축 가동 수단 및 X축 가동 가이드(6)를 지그재그 배치함과 함께, 최하층에 배치하고 있다. Y축 가동 수단(7)에 대해서는, Z축 가동 수단(8)의 상측에 배치하는 것도 원리적으로는 가능하지만, 가동 범위가 X축 다음으로 큰 Y축 가동 수단(7)은, X축 가동 수단의 바로 위에 배치하는 것이 바람직하다. Z축 가동 수단(8)에 대해서는, θ축 회전 수단(9)의 상측에 배치하는 것도 원리적으로는 가능하지만, 회전 시의 관성 중량이 커지게 되어, 회전 동작 후의 진동 정지 시간을 고려하면, θ축 가동 수단(9)은, 보다 상방에 바로 위에 배치하는 것이 바람직하다. 도 1 내지 도 3b에서 도시한 본 발명의 실시예에서는, 그와 같이 패널 기판 반송 위치 결정 수단을 구성하고 있다.As shown in FIG. 2A and FIG. 2B, and FIG. 3A and FIG. 3B, the panel substrate conveyance positioning means is Y-axis orthogonal to it on the X-axis movable means 6 arrange | positioned over two adjacent processing work devices. Arranging the movable means 7, arranging the Z-axis movable means 8 in the up-down direction, and the θ-axis rotating means 9 thereon, and placing the panel substrate holding means 10 upon conveyance thereon. Hold it with the arm (11). In order to carry out the display panel from the upstream processing work position and the display panel to the downstream processing work position, two conveying panel substrate holding means 10 may be disposed at the same processing apparatus or processing working position. There is a need. For this reason, in the Example of FIG. 2A, FIG. 2B and FIG. 3A, FIG. 3B, while arrange | positioning the X-axis movable means and the X-axis movable guide 6, it arrange | positions at the lowest layer. The Y-axis movable means 7 may be disposed above the Z-axis movable means 8 in principle, but the Y-axis movable means 7 having the largest movable range next to the X-axis is X-axis movable. It is preferable to arrange directly above the means. For the Z-axis movable means 8, it is also possible in principle to arrange the upper side of the θ-axis rotation means 9, but the inertia weight at the time of rotation becomes large, and considering the vibration stop time after the rotation operation, It is preferable to arrange | position the (theta) axis | shaft movable means 9 directly above. In the embodiment of the present invention shown in Figs. 1 to 3B, the panel substrate conveyance positioning means is constituted as described above.

도 1 내지 도 3b에서 도시한 실시예에서는, X축 가동 수단 및 X축 가동 가이드(6)를 지그재그 배치로 하고 있지만, 이것은, 각 패널 기판 반송 위치 결정 수단을 독립 구성으로 한 것에 의한다. 즉, 각 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)마다의 가동 범위에서, X축 가동 수단 및 X축 가동 가이드(6)를 분할하여 독립 구성으로 한 것이다.In the embodiment shown in FIGS. 1 to 3B, the X-axis movable means and the X-axis movable guide 6 are arranged in a zigzag arrangement, but this is due to the independent configuration of each panel substrate transfer position determining means. That is, the X-axis movable means and the X-axis movable guide 6 are divided into independent configurations in the movable range for each panel substrate holding means 10 at the time of conveyance in each panel substrate conveyance positioning means.

표시 패널 모듈 조립 장치는, 패널 기판 반송 위치 결정 수단이 X 방향으로 배열된 배치로 되기 때문에, X축 가동 수단 또는 X축 가동 가이드(6)를, 인접하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단 간에서 공유하는 것도 가능하다. 원리적으로는, 표시 패널 모듈 조립 장치 전체 길이에 걸쳐, 1개의 X축 가동 수단 또는 X축 가동 가이드(6)를, 각 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서 공유하는 구성도 생각할 수 있다. 이와 같이 하면, 표시 패널 모듈 조립 장치 전체에서의 반송계의 X축 가동 수단 또는 X축 가동 가이드는 적어도 되기 때문에, 코스트적으로는 유리하다.Since the display panel module assembling apparatus is arranged in the arrangement in which the panel substrate conveyance positioning means is arranged in the X direction, the display panel module assembling device shares the X axis movable means or the X axis movable guide 6 between adjacent panel substrate conveyance positioning means. It is also possible. In principle, a configuration in which one X-axis movable means or X-axis movable guide 6 is shared by each panel substrate transfer position determining means may be considered over the entire length of the display panel module assembly apparatus. In this case, since the X-axis movable means or X-axis movable guide of the conveyance system in the whole display panel module assembly apparatus becomes at least, it is advantageous in terms of cost.

그러나, 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 각 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 가동 범위는 수m 정도나 된다. 이 때문에, 인접하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 X축 가동 수단 또는 X축 가동 가이드(6)를 일체로 구성한 경우, X축 가동 가이드가 매우 길어지게 된다. 물론, X축 가동 가이드를 연결하여, 장척의 X축 가동 가이드를 형성하는 방법도 생각되지만, 이 경우, 반송 정밀도 등의 요구를 만족하도록, 분할 위치나 분할 정밀도의 확보가 중요하다.However, the movable range of the panel board | substrate holding means 10 at the time of each conveyance in a display panel module assembly apparatus is about several meters. For this reason, when the X-axis movable means or X-axis movable guide 6 of adjacent panel board | substrate conveyance positioning means is integrally comprised, the X-axis movable guide will become very long. Of course, a method of connecting the X-axis movable guide to form a long X-axis movable guide is also conceivable. In this case, it is important to secure the divided position and the divided accuracy so as to satisfy the requirements such as the conveying accuracy.

도 1 내지 도 4b의 실시예에서는, 설명의 알기 쉬움도 고려하여, 각 패널 기판 반송 위치 결정 수단마다 독립된 X축 가동 수단 및 X축 가동 가이드(6)를 지그재그 배치한 구성을 개시하고 있다. 실제의 구성으로서는, 상기 코스트면과 함께, X축 가동 가이드의 분할 위치나 접속 시의 정밀도 확보의 용이성을 고려하여, X축 가동 수단 및 X축 가동 가이드(6)의 구성이나 길이를 결정하는 것이 필요하다.In the embodiment of FIGS. 1 to 4B, in consideration of the clarity of explanation, a configuration in which the independent X-axis movable means and the X-axis movable guide 6 are zigzag arranged for each panel substrate transfer positioning means is disclosed. As an actual configuration, the configuration and the length of the X-axis movable means and the X-axis movable guide 6 are determined together with the cost surface in consideration of the divided position of the X-axis movable guide and the ease of securing the accuracy at the time of connection. need.

X축이나 Y축의 가동 수단으로서는, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 직선 가동시키는 수단으로서는, 리니어 모터나 볼 나사 등에 의한 일반적인 슬라이드 스테이지 기구를 적용할 수 있다. Z축의 가동 수단에 대해서는, 리니어 모터나 볼 나사 등에 의한 직접 구동도 가능하지만, 요구 가동 거리가 X축이나 Y축과 비교하여 짧기 때문에, 높이 방향의 기구부 박형화 등을 고려하면, 쐐기 등을 이용한 수평 가동을 승강 운동으로 변환하는 각종 일반적 방법을 이용하는 것이 바람직하다. θ축의 회전 운동에 대해서는, 모터와 감속기 등으로 용이하게 구성할 수 있다. 본 실시예의 패널 기판 반송 위치 결정 수단은, 처리변 유지 고정 수단(3)에 고정밀도로 위치 결정 건네주기를 하는 것이 필요하기 때문에, 서보 모터나 리니어 스케일을 이용함으로써 위치 좌표나 회전 좌표 정밀도를 확보하는 것이 필요한 것은 물론이다.As a means for moving the X-axis or Y-axis, a general slide stage mechanism using a linear motor, a ball screw, or the like can be applied as a means for linearly moving the panel substrate holding means 10 during conveyance. The movable means of the Z axis can also be driven directly by a linear motor, a ball screw, or the like. However, since the required moving distance is shorter than that of the X axis or the Y axis, the use of a wedge or the like is sufficient in consideration of thinning of the mechanical part in the height direction. It is preferable to use various general methods of converting the operation into the lifting motion. The rotational motion of the θ axis can be easily configured by a motor, a reducer, or the like. Since the panel substrate conveyance positioning means of this embodiment needs to give a high precision positioning position to the processing edge holding and fixing means 3, it is possible to secure position coordinates and rotational coordinate accuracy by using a servo motor or a linear scale. Of course it is necessary.

다음으로, 본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 그것을 이용한 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 기본적 동작을 설명한다.Next, the basic operation | movement in the panel substrate conveyance apparatus of this invention and the display panel module assembly apparatus using the same is demonstrated.

도 7은 표시 패널 기판의 기본적인 반송 동작을 설명하는 도면으로서, 도 1의 처리 작업 장치 B와 C 사이의 반송을 정면으로부터 본 모식도이다. 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 기본 동작은, 이하와 같다.FIG. 7: is a figure explaining the basic conveyance operation | movement of a display panel board | substrate, and is a schematic diagram which looked at the conveyance between the process working apparatuses B and C of FIG. The basic operation | movement in the display panel module assembly apparatus of this invention is as follows.

Step1 : 상류측의 처리 작업 장치 B에서 처리 작업이 종료된 표시 패널 기판을, 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 상승에 의해, 처리변 유지 고정 수단(3(B))으로부터 상방으로 들어 올려, 하류의 각 처리 작업 장치 C에 반송한다.Step1: The display panel substrate on which the processing operation is completed in the processing apparatus B on the upstream side is processed by the rising edge of the panel substrate holding means 10 during the conveyance of the panel substrate conveying positioning means. It lifts upward from)) and conveys to each downstream processing work apparatus C.

도 7에서는, 실선 화살표(20a(B-C))로 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 동작이 도시되어 있다. 도 1에서는, 처리 작업 장치 A→B, B→C, C→D 간의 표시 패널 기판(4)의 반송 동작에 상당한다.In FIG. 7, operation of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance by the solid line arrow 20a (B-C) is shown. In FIG. 1, it corresponds to the conveyance operation | movement of the display panel board | substrate 4 between processing work apparatuses A → B, B → C, and C → D.

이 Step1의 동작에 앞서서, 각 처리 작업이 종료되기 전에, 표시 패널 기판(4)을 반출하기 위한 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이, 처리 중인 표시 패널의 비처리 영역을 흡착 고정 유지시킴과 함께, 비처리 영역 유지 수단(5)은, 도 7에 도시한 바와 같이, 이미, 상방으로의 퇴피가 완료시켜져 있다. 이에 의해, 처리 작업이 종료된 표시 패널 기판(4)의 하류 처리 작업 위치로의 반송 동작을, 각 처리 작업의 종료 후, 바로 행하는 것이 가능하게 된다.Prior to the operation of Step1, before each processing operation is completed, the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance for carrying out the display panel substrate 4 causes the non-processed region of the display panel being processed to be fixed and adsorbed. In addition, as shown in FIG. 7, the non-processing area holding means 5 has already completed evacuation upward. Thereby, the conveyance operation | movement to the downstream processing work position of the display panel board | substrate 4 in which the processing work was complete | finished can be performed immediately after completion | finish of each processing work.

도 7의 실시예에서의 상류측의 처리 작업 장치 B는, 긴 변측(소스변측)의 처리 작업이고, 하류측의 처리 작업 장치 C는, 짧은 변측(게이트변측)의 처리 작업이다. 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 처리변의 절환이 필요한 경우, 처리 작업 장치 간의 반송 동작(20a) 사이에 회전 동작(21a)을 행하는 것도 전혀 문제가 없다.The processing work device B on the upstream side in the embodiment of FIG. 7 is the processing work on the long side (source side), and the processing work device C on the downstream side is the processing work on the short side (gate side). In the display panel module assembly apparatus of this invention, when switching of a process side is needed, there is no problem also to perform rotation operation 21a between conveyance operation 20a between processing operation apparatuses.

Step2 : 하류의 처리 작업 위치 C에 반송된 표시 패널 기판은, 처리변 유지 고정 수단(3(C)) 근방에 설치된 패널 기판 자세 검출 수단에 의해 패널 자세가 검출된다. 그 패널 자세 검출 데이터에 기초하여, 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의해 적정한 처리 작업 위치에 표시 패널 기판을 위치 결정한다. 각 처리 작업 위치에 설치된 패널 기판 자세 검출 수단에 의한 표시 패널 기판의 위치 결정 기구 및 동작의 상세에 대해서는, 후기한다.Step 2: As for the display panel board | substrate conveyed to the downstream process work position C, a panel attitude | position is detected by the panel board | substrate attitude | position detection means provided in the vicinity of process side holding | maintenance holding means 3 (C). Based on the panel attitude detection data, the panel substrate conveyance positioning means positions the display panel substrate at an appropriate processing work position. The detail of the positioning mechanism of the display panel board | substrate by the panel board | substrate attitude | position detection means provided in each processing operation position, and operation | movement is mentioned later.

Step3 : 하류의 각 처리 작업 장치 C에 반송되어 위치 결정된 표시 패널 기판(4)은, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이 강하에 의해, 하류측의 처리변 유지 고정 수단(3(C))에 고정 유지된다. 그 후, 각 처리 작업 장치에서의 처리 작업 동작이 개시된다.Step3: As for the display panel board | substrate 4 conveyed and positioned to each downstream processing operation apparatus C, the downstream process side holding | maintenance holding means 3 (C) by the panel substrate holding means 10 descend | falling at the time of conveyance. Is fixed on. Thereafter, the processing operation operation at each processing operation apparatus is started.

Step4 : 표시 패널 기판이, 처리변 유지 고정 수단(3)에 고정 유지되고, 처리 작업이 개시된 후, 비처리 영역 유지 수단(5)이 강하하여, 표시 패널 기판의 비처리변의 연변 하면을 유지한다. 도 7에서는, 처리 작업 장치 C의 비처리 영역 유지 수단(5)이 강하하여, 표시 패널 기판의 비처리변의 연변 하면을 유지하고 있는 상태를 파선으로 나타냈다. 도시하고 있지 않지만, 다른 처리 작업 장치에서의 비처리 영역 유지 수단(5)도 마찬가지이다.Step 4: The display panel substrate is fixedly held by the process side holding means 3, and after the processing operation is started, the non-processing region holding means 5 descends to hold the edge side of the non-processing side of the display panel substrate. . In FIG. 7, the state in which the non-processing area holding means 5 of the processing work device C is lowered and the edge of the non-processing side of the display panel substrate is maintained is indicated by broken lines. Although not shown, the same applies to the non-processing area holding means 5 in the other processing operation apparatus.

Step5 : 비처리 영역 유지 수단(5)이 표시 패널 기판(4)의 연변 하면을 유지한 후에, 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 반송 시 표시 패널 유지 수단(10)은, 패널 흡착 고정을 해제한다. 반송 시 표시 패널 유지 수단(10)은 강하하여, 비처리 영역 유지 수단(5)의 유지 부재의 하측을 통하여 상류측의 처리 작업 장치 B에서의 표시 패널 기판(4)의 수취 위치까지 이동한다.Step 5: After the non-processing area holding means 5 holds the edge lower surface of the display panel substrate 4, the display panel holding means 10 at the time of conveyance of the panel substrate transfer positioning means releases the panel adsorption fixation. The display panel holding means 10 at the time of conveyance descends, and moves to the receiving position of the display panel board | substrate 4 in the upstream processing apparatus B through the lower side of the holding member of the non-processing area holding means 5.

도 7에서는, 실선 화살표(20b(B-C))로 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 복귀 동작이 도시되어 있다. 도 1에서는, 처리 작업 장치 B→A, C→B, D→C 간의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 복귀 이동 동작에 상당한다.In FIG. 7, the return operation | movement of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance by the solid line arrow 20b (B-C) is shown. In FIG. 1, it corresponds to the return movement operation | movement of the panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance between processing work apparatus B → A, C → B, D → C.

도 7의 실시예에서의 상류측의 처리 작업 장치 B는, 긴 변측(소스변측)의 처리 작업이고, 하류측의 처리 작업 장치 C는, 짧은 변측(게이트변측)의 처리 작업이다. 이 때문에, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 복귀 이동 동작(20b(B-C)) 중에 회전 동작(21b(B-C))을 행할 필요가 있다. 본 발명의 장치에서는, 비처리 영역 유지 수단(5)의 유지 부재의 하측까지 강하한 반송 시 표시 패널 유지 수단(10) 주변에는 장해물이 없어, 복귀 이동 동작(20b(B-C)) 중에 회전 동작(21b(B-C))을 행하는 것에 전혀 문제가 없다.The processing work device B on the upstream side in the embodiment of FIG. 7 is the processing work on the long side (source side), and the processing work device C on the downstream side is the processing work on the short side (gate side). For this reason, the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance needs to perform the rotation operation 21b (B-C) during the return movement operation 20b (B-C). In the apparatus of the present invention, there is no obstacle in the periphery of the display panel holding means 10 at the time of conveyance dropped to the lower side of the holding member of the non-processing area holding means 5, so that the rotational operation ( There is no problem in performing 21b (BC).

Step6 : 비처리 영역 유지 수단(5)의 유지 부재의 하측을 통하여 상류측의 처리 작업 장치 B에서의 표시 패널 기판(4)의 수취 위치까지 이동한 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 상승함으로써, 처리 작업 장치 B에서 처리 작업 중인 표시 패널 기판(4)의 하면으로부터, 표시 패널 기판(4)을 유지한 후, 흡착 고정한다.Step6: The panel substrate holding means 10 at the time of conveyance which moved to the receiving position of the display panel board | substrate 4 in the upstream processing apparatus B through the lower side of the holding member of the non-processing area holding means 5 raises. By holding the display panel board | substrate 4 from the lower surface of the display panel board | substrate 4 currently in process operation by the processing work apparatus B, it fixes by suction.

Step7 : 처리 중인 표시 패널 기판(4)을 반출하기 위한 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의해, 표시 패널 기판(4)을 흡착 고정한 후에, 비처리 영역 유지 수단의 유지 부재를, 표시 패널 기판 하면으로부터 퇴피시킴과 함께, 장치 상방으로 상승시킨다.Step7: After holding the display panel substrate 4 by the panel panel holding means 10 for transporting the display panel substrate 4 being processed, the holding member of the non-processing area holding means is placed on the display panel substrate. Evacuate from the lower surface and ascend above the apparatus.

Step8 : 처리 작업이 종료될 때까지, 반출용의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의해 표시 패널 기판(4)을 흡착 고정하고, 비처리 영역 유지 수단의 유지 부재를 장치 상방으로 상승시킴과 함께, 처리 작업이 종료된 후, 처리변 유지 고정 수단에 의한 표시 패널 기판의 고정을 해제한다.Step 8: The display panel substrate 4 is adsorbed and fixed by the panel substrate holding means 10 for carrying out until the processing operation is finished, and the holding member of the non-processing area holding means is raised above the apparatus. In addition, after the processing operation is completed, the display panel substrate is unfixed by the process side holding means.

Step1로 되돌아가서, 상류측의 처리 작업 장치로부터 하류의 각 처리 작업 장치에 반송하는 표시 패널 기판을 반송한다. 도 7에서는, 반송 시 표시 패널 유지 수단(10)의 동작 개략을 실선의 화살표(20)로, 그에 의해 반송되는 표시 패널 기판(4)의 움직임을 파선의 화살표(19)로 나타내고 있다.It returns to Step1 and conveys the display panel board | substrate which conveys to each downstream processing apparatus from the upstream processing apparatus. In FIG. 7, the operation outline of the display panel holding means 10 at the time of conveyance is shown by the arrow 20 of a solid line, and the movement of the display panel board | substrate 4 conveyed by it is shown by the arrow 19 of a broken line.

상기한 바와 같이, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 각 처리 작업 동작 중에, 상기 비처리 영역 유지 수단에 의한 유지 동작을 포함시킨 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 절환 동작을 행한다. 이에 의해, 처리 작업 위치 간의 표시 패널 기판의 반송 동작 시간과 처리 작업 시간만에 의한 고효율의 표시 패널 모듈의 조립 작업을 실현하는 것이 가능하게 된다.As mentioned above, in the display panel module assembly apparatus of this invention, the switching operation of the panel substrate conveyance positioning means which included the holding | maintenance operation by the said non-processing area holding means is performed during each processing operation operation. Thereby, it becomes possible to realize the assembling work of the display panel module of high efficiency by only the conveyance operation time of a display panel board | substrate between processing operation positions, and processing operation time.

또한, 표시 패널 기판(4)의 반송을 행하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 가동 범위에 거의 장해물이 없기 때문에, 각 처리 작업 위치 간의 표시 패널 기판의 반송이나 회전 등의 동작을, 기판 사이즈에 맞춘 최단 또는 최적의 반송 경로로의 고속 반송이 가능하다.Moreover, since there is almost no obstacle in the movable range of the panel substrate conveyance positioning means which conveys the display panel board | substrate 4, operation | movement, such as conveyance and rotation of the display panel board | substrate between each processing operation position, is the shortest which matched the board | substrate size. Or high speed conveyance to an optimal conveyance path is possible.

이상의 점으로부터, 본 발명을 적용함으로써, 최고속의 표시 패널 모듈 조립 장치를 실현하는 것이 가능하다.In view of the above, by applying the present invention, it is possible to realize the fastest display panel module assembly apparatus.

다음으로, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치의 높은 생산성을 최대한으로 이끌어 내어, 운용하기 위한 과제와 대응책에 대하여 설명한다.Next, the problem and countermeasure for bringing out the high productivity of the display panel module assembly apparatus of this invention to the maximum, and operating it are demonstrated.

본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서, 고효율로 표시 패널 기판의 조립 작업을 실시하기 위해서는, 각 처리 작업 위치에서 처리 작업이 종료된 표시 패널 기판을, 동시에 하류측의 처리 작업 위치에 반송하는 것이 필요하다. 표시 패널 기판(4)의 반송 타이밍이 동시가 아니면, 일부의 처리 작업 위치에 처리할 표시 패널 기판(4)이 존재하지 않는 상태가 발생하게 되어, 작업 효율의 저하를 야기하게 된다.In the display panel module assembling apparatus of the present invention, in order to assemble the display panel substrate with high efficiency, it is necessary to convey the display panel substrate, which has been completed at each processing work position, to the downstream processing work position at the same time. Do. If the conveyance timing of the display panel board | substrate 4 is not simultaneous, the state in which the display panel board | substrate 4 to process does not exist in some process working position will arise, and will cause the fall of work efficiency.

그러나, 표시 패널 모듈 조립 장치는, 다수의 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치로 구성되어 있고, 그 사이에서 표시 패널 기판을 반송하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단도 다수 필요로 된다. 다수의 패널 기판 반송 위치 결정 수단을 완전히 동시에 가동하고자 한 경우, 가동 수단의 가감속 동작 시의 필요 전류가 매우 커지게 된다고 하는 과제가 발생한다. 이에 대응하기 위해서, 개개의 반송계의 구동 회로에 컨덴서 등을 이용하여 순간 최대 전류를 확보하는 방법이 유효하다.However, the display panel module assembly apparatus is comprised with many process operation apparatuses or process operation positions, and many panel substrate conveyance positioning means which conveys a display panel board | substrate is also needed between them. When many panel board | substrate conveyance positioning means are going to operate completely simultaneously, the subject that the required electric current at the time of the acceleration / deceleration operation of a movable means becomes very large arises. In order to cope with this, a method of securing an instantaneous maximum current by using a capacitor or the like in the drive circuit of each carrier system is effective.

이 과제에 대한 다른 방책으로서는, 인접하는 유닛 간에서의 반송 수단 동작 타이밍을, 하류측으로부터 상류측을 향하여, 미소 시간 지연시키는 방법도 유효하다. 순간 최대 전류를 필요로 하는 반송 수단의 가속ㆍ감속 시간은, 반송 수단의 동작 거리나 시간에 대하여 짧으므로, 이것이 겹치지 않을 정도의 지연을 부여함으로써, 장치 전체로서의 필요 최대 전류를 작게 억제하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 상기한 반송계의 구동 회로에 대용량의 컨덴서 등을 배치할 필요가 없어진다.As another solution to this problem, a method of delaying the conveying means operation timing between adjacent units from the downstream side to the upstream side is also effective. Since the acceleration / deceleration time of the conveying means requiring the instantaneous maximum current is short with respect to the operating distance and the time of the conveying means, it is possible to suppress the required maximum current as a whole device small by giving a delay such that it does not overlap. Done. This eliminates the need to arrange a large capacity capacitor or the like in the drive circuit of the carrier system.

패널 기판 반송 위치 결정 수단의 가속 시간이, 수10~수100msec 정도인 것으로부터, 실제의 인접하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 가동 타이밍의 지연 시간으로서는, 수10~수100msec 정도가 적당하고, 반송계의 가감속의 시간과 동시동작 대수 및 그 때의 필요 최대 전류를 감안하여 결정한다. 이 정도의 타이밍의 지연은, 표시 패널 모듈 조립 장치의 가동 효율에 대한 영향은 거의 없다.Since the acceleration time of the panel substrate conveyance positioning means is about several tens to several 100 msec, as a delay time of the operation timing of an actual adjacent panel substrate conveyance positioning means, several ten to several 100 msec are suitable, and conveyance It is decided in consideration of the time of acceleration and deceleration of the system, the number of simultaneous operation and the required maximum current at that time. This delay in timing has little effect on the operation efficiency of the display panel module assembly apparatus.

다음으로, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치의 높은 범용성을 살린 운용 방법에 대하여 설명한다.Next, the operation method utilizing the high versatility of the display panel module assembly apparatus of this invention is demonstrated.

본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 패널 기판 반송 위치 결정 수단은, X, Y, Z축의 가동 수단과 θ축의 회전 수단을 갖고 있음과 함께, 가동 범위에 거의 장해물이 없어 자유로운 패널 반송 위치 결정 동작이 가능하다. 그 때문에, 하나의 처리 작업 위치에서, 긴 변측(소스측)과 짧은 변측(게이트측)의 처리 작업등 복수 변의 처리를 순차적으로 행하는 것도 충분히 가능하다.The panel substrate conveyance positioning means in the display panel module assembling apparatus of the present invention has movable means on the X, Y, and Z axes and rotation means on the θ axis, and there is almost no obstacle in the movable range, and the panel conveyance positioning operation is free. This is possible. Therefore, it is also possible to perform the processing of multiple sides sequentially, such as the processing work of a long side (source side) and a short side (gate side), in one processing work position.

실제의 동작으로서는, 처리 작업 위치에서의 최후의 처리 작업이 행하여질 때까지는, 처리 작업 위치에 표시 패널 기판(4)을 반입해 온 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의해, 표시 패널 기판을 계속해서 유지한 상태에서 처리를 행할 필요가 있다. 비처리 영역 유지 수단(5)은, 최후의 처리 작업 위치, 즉, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이 퇴피하는 위치에만 설치하면 된다.As an actual operation, the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance by the panel substrate conveyance positioning means which carried in the display panel substrate 4 to the process operation position until the last process operation at the process operation position is performed. ), It is necessary to perform the processing in the state of continuously holding the display panel substrate. The non-processing area holding means 5 may be provided only at the last processing work position, that is, at the position where the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance retracts.

이와 같이, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 표시 패널 기판 4변에 대한 하나의 처리 작업을, 1대의 처리 작업 장치만에서 행하는 것도 가능하다. 물론, 이 경우 4회의 처리 작업분의 처리 시간과 3회의 표시 패널의 회전이나 재배치 동작이 필요로 되기 때문에, 처리 작업 시간은 길어진다. 이와 같은 장치 운용은, 고속으로 대량의 생산을 행하는 양산 패널의 조립 작업으로서는 바람직하지 않지만, 시작 패널 생산이나 소량 로트의 생산 등, 표시 패널 모듈 조립 장치의 처리 작업 장치의 조합 구성을 변화시키지 않고 행할 수 있는 점에서 유효하다.Thus, in the display panel module assembly apparatus of this invention, it is also possible to perform one processing operation with respect to four display panel board | substrates only by one processing operation apparatus. Of course, in this case, since the processing time for four processing operations and the rotation or repositioning operation of three display panels are required, processing processing time becomes long. Such apparatus operation is not preferable for the assembly operation of the mass production panel which produces a large quantity at high speed, but it can be performed without changing the combination structure of the processing operation apparatus of the display panel module assembly apparatus, such as starting panel production or production of a small quantity lot. It is available in that point.

다음으로, 본 발명의 실시예 구성에서의 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 충돌 방지책에 대하여 설명한다.Next, the collision prevention measures of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance by the panel substrate conveyance positioning means in the Example structure of this invention are demonstrated.

본 실시예의 구성에서는, 동일한 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에, 2개의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이 배치되어 있기 때문에, 인접하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이, 충돌을 일으킬 위험이 존재한다. 본 발명의 장치에서는, 충돌을 방지하기 위해서, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 상류 처리 작업 위치와 하류측의 작업 위치 간에서의 이동을, 기본적으로 대략 동일 타이밍에서 행하도록 제어하고 있다.In the structure of this embodiment, since two conveying panel board | substrate holding means 10 are arrange | positioned in the same process working apparatus or a process work position, the panel board holding means at the time of conveyance in the adjacent panel board | substrate conveyance positioning means ( 10) There is a risk of causing a collision. In the apparatus of this invention, in order to prevent a collision, the panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance is controlled to perform the movement between an upstream process working position and a downstream working position at substantially the same timing. .

그러나, 고속 이동을 하는 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 충돌은, 장치에의 데미지도 커서, 한층 더한 충돌의 방지책이 필요하다. 따라서, 본 실시예의 장치에서는, 패널 기판 반송 위치 결정 수단을 제어하기 위한 구동 신호에 대한 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 위치 좌표 등을 모니터하고, 구동 신호와 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 위치 좌표에 규정 이상의 차이가 생기면, 이상으로서 장치 전체를 정지시키는 기능을 탑재하였다. 이에 의해, 만일, 각 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 이동 타이밍이 어긋나도, 미연에 충돌을 방지할 수 있다.However, the collision of the panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance which carries out a high speed movement is also large in the damage to an apparatus, and the further prevention of collision is needed. Therefore, in the apparatus of this embodiment, the position coordinates of the panel substrate holding means 10 during conveyance with respect to the drive signal for controlling the panel substrate conveyance positioning means are monitored, and the drive signal and the panel substrate holding means 10 during conveyance are monitored. If a difference of more than the prescribed position occurs in the position coordinates), the function of stopping the whole apparatus is mounted as an error. Thereby, even if the movement timing of the panel substrate holding means 10 at the time of each conveyance shifts, a collision can be prevented beforehand.

다음으로, 본 발명의 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 대기 위치에 대하여 설명한다.Next, the standby position of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance in the panel substrate conveyance positioning means of this invention is demonstrated.

본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치의 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 기본적으로 상류측이나 하류측의 처리 작업 위치에서 정지하게 된다. 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 거의 처리 작업 위치의 수 존재하기 때문에, 항상, 처리 작업 위치에, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이 존재하게 된다. 처리 작업 위치에, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이 있으면, 장치 정면측으로부터의 각 처리 작업 장치부에의 액세스의 방해로 되어, 장치 트러블 등이 생겼을 때의 메인터넌스성이 나빠진다.The panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance in the panel board | substrate conveyance positioning means of the display panel module assembly apparatus of this invention stops by the processing operation position of an upstream or downstream side basically. Since the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance almost exists in the number of processing work positions, the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance will always exist in a process working position. If the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance exists in a process working position, it will interfere with access to each process working apparatus part from an apparatus front side, and the maintenance property at the time of an apparatus trouble etc. will worsen.

따라서, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 정지 위치로서, 상류측이나 하류측의 처리 작업 위치 외에, 그 중간 위치에 정지시키는 것이 가능하도록 구성하였다. 이 위치에, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 정지시킴으로써, 장치 트러블 등이 생겼을 때의 메인터넌스성이 크게 개선된다.Therefore, in the display panel module assembly apparatus of this invention, it was comprised so that it might be stopped in the intermediate position besides the upstream and downstream processing work positions as a stop position of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance. By stopping the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance in this position, the maintenance property at the time of an apparatus trouble etc. is improved significantly.

또한, 상류측 처리 작업 장치 B와 하류측 처리 작업 장치 C의 처리 작업 위치의 중간 위치는, 인접하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단 간의 비간섭 영역(23)이기도 하다. 이 위치에, 반송 시 패널 기판 유지 수단(9)을 대기시킴으로써, 상류측이나 하류측의 반송 시 패널 기판 유지 수단(9)과의 충돌을 방지할 수 있으므로, 각 반송 시 패널 기판 유지 수단(9)의 동작 자유도가 증가한다.In addition, the intermediate position of the processing work position of an upstream processing apparatus B and the downstream processing apparatus C is also the non-interference area | region 23 between adjacent panel board | substrate conveyance positioning means. By waiting the panel substrate holding means 9 at the time of conveyance at this position, since the collision with the panel substrate holding means 9 at the time of conveyance of an upstream or downstream side can be prevented, the panel substrate holding means 9 at the time of each conveyance ) Increase the degree of freedom of movement.

예를 들면, 장치의 기동 조정 시 등에, 중간 정지 위치를 활용함으로써, 처리 작업 장치나 패널 기판 반송 위치 결정 수단을 개개로 동작시키는 것이 가능하게 되어, 작업 효율이 크게 개선된다.For example, by utilizing the intermediate stop position at the time of starting adjustment of the apparatus, it becomes possible to operate the processing apparatus and the panel substrate conveyance positioning means individually, thereby greatly improving the work efficiency.

또한, 표시 패널 모듈 조립 장치는, 서로 다른 복수의 처리 작업을 행하는 장치를 연결하고, 연속하여 표시 패널에 각종 처리 작업이 행하여진다. 당연히, 각 처리 작업 공정의 처리 시간에는 차가 있다. 시간이 짧은 공정의 처리 작업 장치는, 시간이 걸리는 공정의 처리 작업 장치의 종료를 대기하게 된다. 특히, 전술한 바와 같은 하나의 처리 작업 장치에서 복수 변의 처리 작업을 행하게 한 경우 등은, 각 처리 작업 공정의 처리 시간에는 차가 크다.In addition, the display panel module assembling apparatus connects apparatuses which perform a plurality of different processing operations, and successively performs various processing operations on the display panel. Naturally, there is a difference in the treatment time of each treatment work process. The processing work apparatus of the short time process waits for the completion of the processing work apparatus of the time-consuming process. In particular, the case where the processing work of a plurality of sides is performed by one processing work device as described above is large in the processing time of each processing work process.

이 때문에, 표시 패널 기판의 반송을 위한 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 동작을 동일 타이밍에서 행하였다고 하여도, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 복귀 동작 타이밍은, 동일하게 되지 않는다. 이와 같은 경우, 하류의 처리 작업 위치에서의 하류의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 작업이 끝날 때까지의 대기 위치로서도 활용하는 것도 가능하다.For this reason, even if the operation | movement of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance for conveyance of a display panel board | substrate is performed at the same timing, the return operation timing of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance will not become the same. In such a case, it is also possible to utilize as a standby position until the operation | movement of the panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance downstream from the downstream process operation position is complete | finished.

다음으로, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)에 의해, 처리변 유지 고정 수단(3)에 표시 패널 기판(4)을 위치 결정하는 방식에 대하여 설명한다.Next, the method of positioning the display panel board | substrate 4 to the process side holding | maintenance holding means 3 by the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance is demonstrated.

일반적으로, 표시 패널 기판(4)의 처리변 및 처리 개소에는, 기준 마크가 설치되어 있다. 도 8은 표시 패널 기판(4)에 설치된 기준 마크의 일례를 도시하는 도면이다. 기준 마크로서는, 표시 패널 단부의 기준 위치를 나타내는 단부 마크(24)와 함께, TAB나 IC 등의 탑재 위치를 나타내는 탑재 위치 마크(25) 등이 형성되어 있다. 기준 마크의 형태는, 다양하며, 도 8에 도시되어 있는 「+」나 「ㆍ」 이외에, 「■」, 「T」, 「――」, 「V」 등 다양한 형태가 있을 수 있다.Generally, the reference mark is provided in the process side and process location of the display panel substrate 4. 8 is a diagram illustrating an example of a reference mark provided on the display panel substrate 4. As the reference mark, a mounting position mark 25 indicating a mounting position such as TAB, IC, or the like is formed along with the end mark 24 indicating the reference position of the display panel end portion. The form of the reference mark is various, and in addition to "+" and "." Shown in FIG. 8, there may be various forms such as "■", "T", "-", "V", and the like.

본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간에서, 표시 패널을 반송하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단이, X, Y, Z, θ축의 가동 수단을 갖고 있다. 표시 패널 기판(4)을 상류로부터 하류의 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에 반송하였을 때에, 표시 패널의 기준 마크(24, 25)를 CCD 카메라 등에 의해 검출함으로써, 표시 패널 기판(4)의 자세를 산출하고, 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의해 위치 보정을 행한 후에, 표시 패널 기판(4)의 처리변을 유지ㆍ고정하는 처리변 유지 고정 수단(3)에 건네줌으로써, 표시 패널 기판(4)의 처리 작업 위치에의 고정밀도의 위치 결정 고정이 가능하게 된다.In the panel board | substrate conveyance apparatus and the display panel module assembly apparatus of this invention, the panel board | substrate conveyance positioning means which conveys a display panel between each processing work apparatus or processing work position uses the movable means of X, Y, Z, (theta) axis. Have When conveying the display panel board | substrate 4 to each processing operation apparatus or processing operation position downstream from an upstream, the attitude | position of the display panel substrate 4 is detected by detecting the reference marks 24 and 25 of a display panel with a CCD camera etc. , After performing position correction by the panel substrate conveyance positioning means, the display panel substrate 4 is passed to the processing edge holding means 3 for holding and fixing the processing edge of the display panel substrate 4. High-precision positioning fixing to the processing work position becomes possible.

도 9 및 도 10은, 본 발명에서의 처리변 유지 고정 수단(3)에 표시 패널 기판(4)을 위치 결정하는 방식을 설명하기 위해서, 처리변 유지 고정 수단(3) 근방의 구성의 일 실시예를 도시하는 도면이다. 도 9는 상면도이고, 도 10은 측면도이다.9 and 10 illustrate one configuration of the vicinity of the processing edge holding means 3 in order to explain a method of positioning the display panel substrate 4 on the processing edge holding means 3 according to the present invention. It is a figure which shows an example. 9 is a top view and FIG. 10 is a side view.

고정밀도로, 표시 패널 기판(4)을 처리변 유지 고정 수단(3)에 건네주기 고정을 하기 위해서는, 가능한 한 처리변 유지 고정 수단(3) 근방에서 표시 패널 기판(4)에 설치된 처리변측의 기준 마크(24, 25)를 검출하는 것이 바람직하다. 본 실시예의 장치에서는, 각 처리 작업 장치의 처리 작업 기구부와 그 전면에 설치된 처리변 유지 고정 수단(3) 사이에, 광원 및 CCD 카메라로 이루어지는 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)을 설치하고, 표시 패널 기판 양단에 배치된 단부 마크(24)를 검출하도록 구성하고 있다. 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)에 의해 검출된 화상으로부터 기준 마크를 패턴 매칭으로 추출하고, 그 좌표 위치를 연산에 의해, 표시 패널의 좌표 위치와 자세를 산출할 수 있다.In order to fix the display panel substrate 4 to the process side holding means 3 with high accuracy, the reference of the side of the process side provided on the display panel substrate 4 in the vicinity of the process side holding means 3 as much as possible. It is preferable to detect the marks 24 and 25. In the apparatus of this embodiment, the display panel reference mark detection means 26 which consists of a light source and a CCD camera is provided between the processing work mechanism part of each processing work device, and the process side holding | maintenance holding means 3 provided in the front surface, and displays It is comprised so that the end mark 24 arrange | positioned at the both ends of a panel board | substrate may be detected. Coordinate positions and postures of the display panel can be calculated by extracting the reference marks from the image detected by the display panel reference mark detecting means 26 by pattern matching and calculating the coordinate positions thereof.

각종 표시 패널 사이즈에 대응하여, 표시 패널 처리변측의 기준 마크(24, 25)를 검출하기 위해서는, 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)이 처리변 방향(X방향)으로 이동할 필요가 있다. 본 실시예에서도, 표시 패널 기판(4)의 양단의 단부 마크(24)를 검출하기 위한 2조의 검출 수단에 X방향의 가동 수단(28)을 설치하였다. 도 9의 (a)에서는, 표시 패널의 좌우에 배치된 단부 마크(24)를 검출하기 위해서, 좌우에 배치된 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26L/R)이, 처리변 폭이 좁은 표시 패널 기판(4N)과 처리변 폭이 넓은 표시 패널 기판(4W)에서 위치를 변경하는 상황을 모식적으로 도시하였다.In response to various display panel sizes, in order to detect the reference marks 24 and 25 on the display panel processing side, the display panel reference mark detecting means 26 needs to move in the processing side direction (X direction). Also in this embodiment, the movable means 28 in the X direction was provided in two sets of detection means for detecting the end marks 24 at both ends of the display panel substrate 4. In FIG. 9A, in order to detect the end marks 24 disposed on the left and right sides of the display panel, the display panel reference mark detecting means 26L / R disposed on the left and right sides has a narrow display panel substrate. The situation where the position is changed in 4N and the display panel board | substrate 4W with a wide process width | variety is shown typically.

패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의해 운반된 표시 패널의 단부 마크(24)를, 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)에 의해 검출하여, 표시 패널 자세를 보정하고, 처리 작업 장치의 처리 작업 위치에 고정밀도로 위치 결정하는 공정의 일 실시예를 설명한다.The display panel reference mark detection means 26 detects the end mark 24 of the display panel carried by the panel substrate transfer position determining means, corrects the display panel attitude, and is highly accurate to the processing work position of the processing work device. An embodiment of a road positioning process is described.

우선 미리, 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26L/R)을, 처리하는 표시 패널의 좌우에 있는 단부 마크(24)의 위치나 폭에 대응한 장소에 대기시켜 둔다. 그리고, 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의해, 처리변 유지 고정 수단(3)에 근접하여 설치된 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)에 의해 단부 마크(24)를 검출 가능한 위치까지, 표시 패널 기판(4)을 반송함과 함께, 처리변 유지 고정 수단(3) 상에 표시 패널을 임시 설치한다. 그 후, 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)에 의해, 표시 패널 기판(4)의 양단부에 설치된 단부 마크(24) 위치를 검출하여, 표시 패널 기판(4)의 정확한 좌표 위치와 자세를 산출한다. 그 산출 결과에 기초하여, 표시 패널의 위치나 자세를 보정함과 함께, 처리 작업 장치의 소정의 처리 작업 위치로, 표시 패널을 이동한다. 마지막으로, 처리변 유지 고정 수단(3)의 표면에 설치된 표시 패널 고정용 흡착 흡인구(29)에 의해, 표시 패널 기판(4)을 흡착하고, 처리 작업 장치에 의한 처리 작업을 개시한다.First, the display panel reference mark detection means 26L / R is allowed to stand in the place corresponding to the position and width of the end mark 24 on the left and right of the display panel to be processed. And the display panel board | substrate 4 by the panel board | substrate conveyance positioning means to the position which can detect the end mark 24 by the display panel reference mark detection means 26 provided in proximity to the process side holding | maintenance fixing means 3. ) And a display panel is temporarily provided on the process side holding means 3. Thereafter, the display panel reference mark detection means 26 detects the position of the end mark 24 provided at both ends of the display panel substrate 4, and calculates the exact coordinate position and attitude of the display panel substrate 4. . Based on the calculation result, the display panel is moved to a predetermined processing work position of the processing work device while correcting the position and attitude of the display panel. Finally, the display panel board | substrate 4 is adsorb | sucked by the display panel fixing suction suction port 29 provided in the surface of the process side holding | maintenance holding means 3, and a processing operation by a processing apparatus is started.

표시 패널 기판(4)에 설치된 단부 마크(24)는, 도 8에 도시한 바와 같이, 표시 패널 처리변의 외연부에 존재한다. 이 때문에, 도 9나 도 10에 도시한 바와 같이, 기준 마크를 검출하기 위한 표시 패널의 배치 위치와 소정의 처리 작업을 행하기 위한 표시 패널 기판 배치 위치는 서로 다른 위치로 할 필요가 있다. 그러나, 단부 마크(24)의 검출 위치와 처리 작업을 행하는 표시 패널 기판 위치는 가까운 쪽이, 표시 패널 기판(4)의 위치 결정 정밀도상은 유리한 것은 물론이다.The end mark 24 provided in the display panel board | substrate 4 exists in the outer edge part of a display panel process edge, as shown in FIG. For this reason, as shown in FIG. 9 and FIG. 10, it is necessary to make the arrangement position of the display panel for detecting a reference mark, and the arrangement position of the display panel substrate for performing a predetermined | prescribed processing operation different from each other. However, it is a matter of course that the closer the detection position of the end mark 24 and the position of the display panel which performs the processing work are, the advantageous the positioning accuracy of the display panel substrate 4 is.

따라서, 본 발명에서는, 처리 작업 장치의 처리 작업 기구부와 처리변 유지 고정 수단(3) 사이에, 근접 또한 끼워 넣어, 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)을 설치하는 구성으로 하고 있다. 이에 의해, 기준 마크를 검출한 후의 표시 패널 기판(4)을, Y축 방향으로의 최소한의 이동 거리로 정확하게 처리 작업 위치에 위치 결정하는 것이 가능하게 된다. 실제의 이동 거리는, 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)의 실장 사이즈에 의하지만, 실재하는 CCD 카메라 등의 치수를 고려하면, 수10㎜ 정도로 충분하다.Therefore, in this invention, the display panel reference mark detection means 26 is provided between the process work mechanism part of a processing work apparatus, and the process edge holding | maintenance holding means 3 also in close proximity. This makes it possible to accurately position the display panel substrate 4 after detecting the reference mark at the processing work position at the minimum moving distance in the Y-axis direction. Although the actual moving distance is based on the mounting size of the display panel reference mark detection means 26, considering the dimensions of a real CCD camera or the like, it is sufficient to be about 10 mm.

또한, IC나 TAB의 탑재 처리 등 처리 작업의 종류에 따라서는, 표시 패널 처리변의 일부에만 처리 작업을 행하는 경우도 있다. 이와 같은 처리변의 일부만에의 처리 작업의 경우에는, 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)을, 처리 작업 기구부 내에 내장하는 것이 가능하게 되는 경우도 있다. 이 경우에는, 표시 패널 기판(4)의 기준 마크(24, 25)를 검출한 후의 표시 패널 기판(4)의 이동을 보정 동작만으로 할 수 있기 때문에, 더욱 고정밀도의 처리 작업 위치에의 표시 패널 위치 결정 고정이 가능하게 된다.Further, depending on the type of processing operation such as the IC or TAB mounting processing, the processing operation may be performed only on a part of the display panel processing edge. In the case of the processing work on only a part of such processing sides, the display panel reference mark detecting means 26 may be incorporated in the processing work mechanism. In this case, since the movement of the display panel board | substrate 4 after detecting the reference marks 24 and 25 of the display panel board | substrate 4 can only be a correction operation | movement, the display panel to a more precise processing work position Positioning fixing becomes possible.

본 실시예의 구성에서 고정밀도로 각 처리 작업을 행하기 위해서는, 처리 작업 장치의 처리 작업 위치와 표시 패널 기판(4)을 고정하는 처리변 유지 고정 수단(3)과의 상대적 위치 관계가 중요하다. 따라서, 본 실시예의 장치에서는, 처리변 유지 고정 수단(3)을 처리 작업 장치의 처리 작업 기구부와 일체로 구성하였다.In order to perform each processing operation with high precision in the structure of this embodiment, the relative positional relationship of the processing operation position of a processing operation apparatus with the process side holding | maintenance fixing means 3 which fixes the display panel board | substrate 4 is important. Therefore, in the apparatus of this embodiment, the processing edge holding means 3 is integrally formed with the processing work mechanism of the processing work device.

또한, 본 실시예의 장치에서는, 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)을, 처리변 유지 고정 수단(3)을 기준으로 하여 교정을 하도록 하였다. 적용한 방법은, 처리변 유지 고정 수단(3)의 양단부에 기준 마크부(31)를 설치하고, 그 기준 마크부(31)를 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)에 의해 검출함으로써, 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)의 검출 위치 좌표를 교정하는 방법을 적용하고 있다. 처리변 유지 고정 수단(3)을 기준으로 한 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)의 검출 위치 좌표를 교정하는 수단으로서는, 교정 지그 등을 이용하는 방법 등 다양한 방법이 생각된다.In the apparatus of this embodiment, the display panel reference mark detection means 26 is to be calibrated on the basis of the processing edge holding and fixing means 3. The applied method is provided with reference mark portions 31 at both ends of the process side holding and fixing means 3, and the reference mark portion 31 is detected by the display panel reference mark detecting means 26, thereby displaying the display panel reference. The method of correct | amending the detection position coordinate of the mark detection means 26 is applied. As a means for calibrating the detection position coordinates of the display panel reference mark detecting means 26 on the basis of the process side holding and fixing means 3, various methods such as a method using a calibration jig or the like can be considered.

이와 같이, 처리변 유지 고정 수단(3)을 처리 작업 장치의 처리 작업 위치의 절대 기준으로 함으로써, 표시 패널 기판(4)을 고정밀도로 처리 작업 위치에 위치 결정 고정이 가능하게 되고, 이에 수반하여, 고정밀도의 처리 작업 동작을 실현할 수 있는 것이다.In this way, by using the processing edge holding means 3 as an absolute reference for the processing work position of the processing work device, the positioning of the display panel substrate 4 at the processing work position with high accuracy becomes possible, and with this, High precision processing operation can be realized.

또한, 본 발명에서의 처리변 유지 고정 수단(3)에는, 표시 패널 기판(4)을, 처리 작업 위치에 고정밀도로 위치 결정 고정하는 것 이외의 효과도 기대할 수 있다.Moreover, the effect other than positioning and fixing the display panel board | substrate 4 to a process working position with high precision can be anticipated by the process edge holding means 3 in this invention.

본 발명의 처리변 유지 고정 수단(3)은, 비처리변 영역의 표시 패널 기판면에 생기는 변동이나 오차 등에 의한 처리변에의 영향을 차단하는 효과도 갖는다. 변동으로서는, 처리 작업 중에 행하여지는 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)과 비처리 영역 유지 수단(5)의 바꿔 잡기 동작 등에 의한 표시 패널 기판에 생기는 기계적 힘이나 진동 등이 상정되고, 오차로서는, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이나 비처리 영역 유지 수단(5)의 높이 방향 등의 위치 정밀도 오차가 생각된다.The process side holding and fixing means 3 of the present invention also has the effect of blocking the influence on the process side due to fluctuations or errors occurring on the display panel substrate surface of the non-processing side region. As the fluctuations, mechanical forces, vibrations, etc. generated in the display panel substrate due to the switching operation of the panel substrate holding means 10 and the non-processing area holding means 5 during the conveyance performed during the processing operation are assumed. Positional accuracy errors, such as the height direction of the visual panel board | substrate holding means 10 and the unprocessed area holding means 5, are considered.

본 발명의 처리변 유지 고정 수단(3)은, 표시 패널 기판의 처리변측의 처리변 끝으로부터 균일한 거리 내측을, 처리변에 평행하게 또한 처리변 방향으로 가늘고 길게, 처리변 전역에 걸쳐 고정 유지하고 있다. 이 때문에, 처리변에 대하여 처리변 유지 고정 수단(3)의 반대측에서 행하여지는 바꿔 잡기 동작 등에 의한 표시 패널 기판에 생기는 기계적 힘이나 진동 등이, 처리 작업 중인 처리변에 미치는 영향을 차단하는 것이 가능하다.The process side holding and fixing means 3 of the present invention is fixed and held throughout the entire process side of the display panel substrate, the inside of the uniform distance from the end of the side of the side of the process side being thin and long in parallel with the side of the side of the process side and in the direction of the side of the process side. Doing. For this reason, the influence which the mechanical force, the vibration, etc. which generate | occur | produce on the display panel board | substrate by the switching operation etc. which are performed on the opposite side to the process side holding | maintenance means 3 with respect to a process side can be interrupted | blocked. Do.

또한, 처리변 영역에서의 표시 패널 기판의 높이 위치도, 처리변 근방을 고정하고 있는 본 발명의 처리변 유지 고정 수단(3)에 의해 정해진다. 이 때문에, 반송 시 표시 패널 유지 수단(10)이나 비처리 영역 유지 수단(5)의 높이 방향 정밀도 등을, 여유도를 갖고 구성하는 것이 가능하게 된다. 표시 패널 기판(4) 자체의 탄성이나 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이나 비처리 영역 유지 수단(5)의 유지부가 갖는 탄성 변형의 허용 범위 내이면 높이 방향 등의 위치 정밀도는 허용된다. 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 에어 흡인 등의 방법에 의해, 표시 패널 기판(4)을 흡착 유지할 필요가 있지만, 흡착부에 고무 패드 등의 탄성체를 이용함으로써, 비교적 용이하게 표시 패널 기판(4)의 탄성 유지가 가능하게 된다.In addition, the height position of the display panel substrate in the process side area | region is also determined by the process side holding | maintenance fixing means 3 of this invention which fixes the vicinity of a process side. For this reason, the height direction precision of the display panel holding means 10 and the non-processing area holding means 5, etc. at the time of conveyance can be comprised with a margin. When the display panel substrate 4 itself is within the allowable range of elastic deformation of the holding portion of the panel substrate holding means 10 or the non-processing area holding means 5 or the elasticity of the display panel substrate 4, positional accuracy in the height direction or the like is permitted. The panel substrate holding means 10 at the time of conveyance needs to adsorb | suck and hold | maintain the display panel board | substrate 4 by methods, such as air suction, However, by using elastic bodies, such as a rubber pad, in a adsorption | suction part, a display panel board | substrate is comparatively easy. It is possible to maintain the elasticity of (4).

표시 패널 모듈 조립 장치는 큰 장치이므로, 각종 기구부를 유닛화하고 그 조합으로 장치를 구성할 필요가 있다. 그러나, 상대적 정밀도 확보가 필요한 부위간에서의 유닛 분할은, 조립 작업 시의 상대 위치 정밀도 확보를 위한 조정이 어려운 등의 과제가 생긴다. 본 발명을 적용하면, 처리변 유지 고정 수단(3)을 경계로 하여, 처리 작업 장치측과 반송 장치측 및 반처리변 유지측의 상대 위치 정밀도에 여유도를 확보하는 것이 가능하게 되기 때문에, 처리 작업 장치측과 반송 장치측 및 반처리변 유지측을 별도 유닛으로서 구성하여도, 조합 시의 위치 정렬 조정 작업 등이 비교적 용이하게 된다고 하는 이점도 생성된다. 물론, 처리변 유지 고정 수단(3)과 처리 장치측을 일체 구성으로 함으로써, 간단한 구성이면서, 각 처리 작업의 필요한 표시 패널 처리변측의 꾸불꾸불함 등을 보정하여, 평면성을 확보한 후에 고정밀도의 처리 작업이 가능하게 되는 것은, 상기한 바와 같다.Since the display panel module assembling apparatus is a large apparatus, it is necessary to unitize various mechanism parts and constitute the apparatus by the combination thereof. However, the unit division between the parts which need to secure relative precision poses a problem such as difficulty in adjusting for securing relative position accuracy during assembly work. Application of the present invention makes it possible to ensure a margin in the relative positional accuracy of the processing work device side, the conveying device side, and the semi-processing side holding side with the processing side holding and fixing means 3 as a boundary, Even if the working device side, the conveying device side, and the half-processing edge holding side are configured as separate units, the advantage that the alignment operation at the time of combination, etc., becomes relatively easy is also generated. Of course, by combining the processing edge holding means 3 and the processing apparatus side into a single configuration, it is a simple configuration and corrects the necessary inconsistency on the display panel processing edge side of each processing operation to secure flatness after ensuring flatness. Processing can be performed as described above.

다음으로, 처리변 유지 고정 수단(3)에 의한 표시 패널 기판(4)의 고정 유지 방식에 대하여 설명한다.Next, the fixed holding system of the display panel substrate 4 by the process side holding and fixing means 3 will be described.

도 11은, 본 발명의 처리변 유지 고정 수단(3)에 의한 표시 패널 기판(4)의 고정 유지 방식의 일 실시예에 대하여 설명하기 위한 도면이다. 처리변 유지 고정 수단(3)은, 규정 범위 내의 각종 사이즈의 표시 패널 기판(4)을 고정 유지할 필요가 있다. 도 11 중의 일점쇄선은 최대 사이즈의 표시 패널 기판(4W)의 긴 변측이 처리변인 경우, 파선은 최소 사이즈의 표시 패널 기판(4N)의 짧은 변측이 처리변으로 되는 경우의 배치를 나타내고 있다. 처리변 유지 고정 수단(3)은, 고정되는 표시 패널 기판(4)의 처리변 전역을 평활하게 유지하기 위해서도, 반송하는 표시 패널 기판의 처리변의 최대 길이보다 길게 구성할 필요가 있다.11 is a view for explaining an embodiment of the fixed holding method of the display panel substrate 4 by the process side holding and fixing means 3 of the present invention. The process side holding means 3 needs to hold and hold the display panel substrate 4 of various sizes within a prescribed range. The dashed-dotted line in FIG. 11 shows the arrangement | positioning when the long side of the display panel board | substrate 4W of the largest size is a process side, and the broken line shows the arrangement | positioning when the short side of the display panel board | substrate 4N of a minimum size turns into a process side. The process side holding means 3 needs to be configured to be longer than the maximum length of the process side of the display panel substrate to be conveyed in order to smoothly hold the entire process side of the display panel substrate 4 to be fixed.

처리변 유지 고정 수단(3)의 표면에는, 처리 작업 시에 기판을 흡착하기 위한 흡착 구멍(29)이 형성되어 있다. 처리변 유지 고정 수단(3)의 흡착부는, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10) 등의 흡착부와는 달리, 표시 패널 기판(4)의 꾸불꾸불함 등을 제거하여 처리변을 평활화할 필요성이 있다. 이 때문에, 처리변 유지 고정 수단(3)은, 평활하게 가공한 금속 표면 등의 강체에, 흡착 구멍(23)이나 홈 등을 직접 가공하여 구성하였다.An adsorption hole 29 for adsorbing the substrate at the time of the processing operation is formed on the surface of the process side holding and fixing means 3. Unlike the adsorption part of the panel board | substrate holding means 10 etc. at the time of conveyance, the adsorption part of the process side holding | maintenance holding means 3 does not need to smooth the process side by eliminating the squiggle etc. of the display panel board | substrate 4, and so on. have. For this reason, the process holding | maintenance holding means 3 was comprised by directly processing the adsorption hole 23, the groove | channel, etc. in the rigid body, such as the metal surface processed smoothly.

소형의 표시 패널 기판(4N)의 경우, 처리변 유지 고정 수단(3)에 형성된 흡착 구멍(29)의 일부에 밖에 표시 패널 기판(4N)은 접촉하지 않는다. 이 경우, 표시 패널 기판(4N)이 흡착하지 않은 흡착 구멍(29)으로부터, 공기가 대량으로 유입되어, 표시 패널 기판(4N)이 흡착하고 있는 흡착 구멍(29)의 흡착력이 저하된다고 하는 문제가 발생한다. 따라서, 본 실시예에서는, 도 11에 도시한 바와 같이, 처리변 유지 고정 수단(3)에 형성되는 흡착 구멍(29)의 아래의 흡인 챔버(32)를 복수로 분할하는 구성으로 하였다. 흡인 펌프 등으로부터 공급되는 부압계(34)는 개폐 밸브(33)를 통하여, 분할된 흡인 챔버(32a~c)와 접속되어 있다. 그리고, 처리 작업을 행하는 표시 패널 사이즈에 따라서, 개폐 밸브(33)를 제어하고, 부압을 발생시키는 흡착 챔버(32)를 선택하고, 표시 패널 기판(4N)이 존재하는 영역의 흡인 구멍(29)만 흡인시키도록 구성하였다. 이에 의해, 표시 패널 사이즈에 맞춘 영역만에서의 흡착이 가능하게 되므로, 안정된 표시 패널 기판(4)의 유지력이 얻어진다. 도 12에서, 개폐 밸브(33)는 흡착 구멍(29) 바로 아래의 흡인 챔버(32)에 설치되어 있지만, 개폐 밸브(33)는, 가능한 한 흡착 구멍(29)에 가까운 흡인 챔버(32) 등에 설치하는 것이 바람직하다. 배관 등을 통하여, 흡착 구멍(29)이나 흡인 챔버(32)로부터 떨어진 위치에 개폐 밸브(33)를 설치한 경우, 밸브 절환 후의 흡착 동작에 시간 지연이 생김과 함께, 배관에서의 압력 손실 등 때문에, 흡인 압력이 불안정하게 되기 쉬운 등의 문제가 생기기 쉽다.In the case of the small display panel substrate 4N, the display panel substrate 4N is not in contact with only a part of the suction holes 29 formed in the process side holding and fixing means 3. In this case, there is a problem that a large amount of air flows in from the adsorption hole 29 to which the display panel substrate 4N is not adsorbed, and the adsorption force of the adsorption hole 29 adsorbed by the display panel substrate 4N is lowered. Occurs. Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 11, the suction chamber 32 below the suction hole 29 formed in the process holding | maintenance holding means 3 was set as the structure which divides into several. The negative pressure gauge 34 supplied from the suction pump or the like is connected to the divided suction chambers 32a to c via the on / off valve 33. Then, according to the size of the display panel which performs the processing operation, the opening / closing valve 33 is controlled to select the adsorption chamber 32 that generates negative pressure, and the suction hole 29 in the region where the display panel substrate 4N is present. It was configured to suck only. As a result, adsorption in only the region matched with the display panel size is possible, so that the holding force of the stable display panel substrate 4 is obtained. In FIG. 12, the opening / closing valve 33 is provided in the suction chamber 32 directly under the suction hole 29, but the opening / closing valve 33 is similar to the suction chamber 32 as close to the suction hole 29 as possible. It is preferable to install. When the on-off valve 33 is provided at a position away from the suction hole 29 or the suction chamber 32 through the piping or the like, a time delay occurs in the suction operation after the valve switching and a pressure loss in the piping, etc. Problems such as the suction pressure tend to become unstable.

상기까지 설명한 처리변 유지 고정 수단(3)은, 본 발명에서의 처리변 유지 고정 수단(3)의 일 형태를 설명하는 것이며, 처리 작업 프로세스에서는, 프로세스에 필요한 다른 부재로 대용하는 것도 가능하다. 예를 들면, 본 압착 프로세스에서는, 표시 패널 기판(4)의 처리변 전체를 상하로부터 아랫날과 윗날 사이에 끼워 넣고, 가열ㆍ가압한다. 이와 같은 표시 패널 기판(4)의 처리변을 하면으로부터 전역 지지하는 고정 부재를 갖는 프로세스에서는, 아랫날을 본 발명에서의 처리변 유지 고정 수단(3)으로서 대용하는 것도 가능하다. 이 경우, 아랫날과는 별도로, 상기 흡착 등의 수단에 의해 표시 패널 기판(4)을 고정하는 것이 필요하다. 단, 윗날 사이에 기판을 끼울 때까지, 반송이 유지되는 것이면, 표시 패널 기판의 고정 수단을 배치할 필요 조차 없어지는 경우가 있다.The process side holding means 3 described above demonstrates one form of the process side holding means 3 in the present invention, and in the processing work process, it is also possible to substitute the other member required for the process. For example, in this crimping | compression-bonding process, the whole process edge of the display panel board | substrate 4 is pinched | interposed into a lower blade and an upper blade from top and bottom, and is heated and pressed. In the process which has the fixing member which supports the process side of the display panel board | substrate 4 from the lower surface all over, it is also possible to substitute the lower blade as the process side holding | maintenance fixing means 3 in this invention. In this case, apart from the lower blade, it is necessary to fix the display panel substrate 4 by means of the adsorption or the like. However, even if conveyance is maintained until the board | substrate is sandwiched between upper edges, it may become unnecessary to arrange | position the fixing means of a display panel board | substrate.

다음으로, 본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치를 응용한 처리 작업의 고효율화나 처리 택트의 한층 더한 고속화에 대하여 설명한다. 표시 패널 모듈 조립 장치는, 복수의 처리 작업을 행하는 장치를 연결하고, 연속하여 표시 패널에 각종 처리 작업이 행하여진다. 당연히, 각 처리 작업 공정의 처리 시간에는 차가 있다. 시간이 짧은 공정의 처리 작업 장치는, 시간이 걸리는 공정의 처리 작업 장치의 종료를 대기하게 된다. 표시 패널의 반송 간격은, 시간이 걸리는 공정의 처리 작업 장치에 율속되기 때문에, 시간이 짧은 공정의 처리 작업 장치에서는 작업 정지하고 있는 시간이 발생하게 된다.Next, the high efficiency of the processing operation and the further high speed of the processing tact which apply the panel board | substrate conveyance apparatus and display panel module assembly apparatus of this invention are demonstrated. The display panel module assembling device connects devices for performing a plurality of processing operations, and successively performs various processing operations on the display panel. Naturally, there is a difference in the treatment time of each treatment work process. The processing work apparatus of the short time process waits for the completion of the processing work apparatus of the time-consuming process. Since the conveyance interval of a display panel is controlled by the processing work apparatus of a time-consuming process, the time which work is stopped in the processing work apparatus of a short time process will generate | occur | produce.

각 처리 작업 장치를 보다 효율적으로 가동시키기 위해서는, 시간이 걸리는 공정의 처리 작업 장치를, 시간이 짧은 공정의 처리 작업 장치에 대하여, 수를 많이 연결하여, 각 처리 공정의 택트 밸런스를 취하는 것이 생각된다. 그러나, 이 방식에서는 연결되는 처리 작업 장치의 수가 증가하여, 표시 패널 모듈 조립 장치 전체의 길이가 매우 길어지게 된다고 하는 문제점이 생기게 된다.In order to operate each processing work device more efficiently, it is considered that the processing work device of the time-consuming process is connected to a large number of processing work devices of a short time process, and the tact balance of each processing process is taken. . However, in this system, there is a problem that the number of processing work devices to be connected increases, so that the entire length of the display panel module assembling device becomes very long.

표시 패널 모듈 조립 장치에서의 처리 작업은, 「1개의 처리변에 복수회의 처리가 필요한 처리 작업 공정」과 「1개의 처리변에 대하여 일괄 처리가 가능한 처리 작업 공정」으로 대별된다. 「1개의 처리변에 복수회의 처리가 필요한 처리 작업 공정」은, TAB나 IC의 탑재 위치마다 개별의 처리 작업을 하는 공정이며, ACF의 작은 변 접착이나 TAB나 IC의 탑재 공정 등이 그것에 상당한다. 한편, 「1개의 처리변에 대하여 일괄 처리가 가능한 처리 작업 공정」으로서는, 접착 영역에 일괄로 붙이는 ACF 공정이나 탑재 후의 장척의 압착날에 의한 TAB나 IC의 일괄 가열 압착 공정 등이다.The processing work in the display panel module assembling apparatus is roughly classified into "processing work process in which a plurality of processes are required for one processing side" and "processing work process in which collective processing is possible for one processing side". "Processing process which requires a plurality of processes on one processing edge" is a process which performs a separate processing operation for every TAB or IC mounting position, and a small side adhesion of an ACF, a mounting process of a TAB or IC, etc. correspond to it. . On the other hand, "the processing work process which can process collectively with respect to one processing edge" is an ACF process which sticks together to an adhesion | attachment area | region, a TAB by the long press blade after mounting, and the batch heat-compression process of IC.

이 중, 처리 작업 시간이 길어지는 공정은, 기본적으로 1개의 처리변에 복수회의 처리가 필요한 처리 작업 공정이다. 이 때문에, 처리 작업 시간이 긴 처리 작업 장치를, 고속화하는 방법으로서는, 1개의 처리 작업 장치 내 또는 처리 작업 위치에, 복수의 처리 유닛 기구를 배치하고, 그들에 의한 표시 패널 처리변의 동시처리가, 간단하고 또한 유효하다.Among these, the process by which a process work time becomes long is a process work process which requires several times process to one process side basically. For this reason, as a method of speeding up a processing work device having a long processing work time, a plurality of processing unit mechanisms are arranged in one processing work device or at a processing work position, and simultaneous processing of display panel processing edges by them is performed. Simple and also available.

도 1에서의 처리 작업 장치 A는, 1개의 처리 유닛 기구(1(A))를 이동하여 복수회의 처리를 하는 처리 작업 장치를 나타내고 있다. 이에 대하여, 처리 작업 장치 B는, 2개의 처리 유닛 기구(1a(B), 1b(B))를 배치하고, 동시에 2개소의 작업 처리가 가능한 처리 작업 장치를 모식적으로 나타낸 것이다. 처리 작업 장치 A의 처리 유닛(1(A))에 대하여, 처리 작업 장치 B의 각 처리 유닛 기구(1a(B), 1b(B))의 처리 작업 시간이 2배인 경우, 이와 같은 구성으로 함으로써, 표시 패널 모듈 조립 장치 전체의 작업 효율을 향상시키는 것이 가능하게 된다.The processing work device A in FIG. 1 shows a processing work device that moves one processing unit mechanism 1 (A) to perform a plurality of processes. On the other hand, the processing work apparatus B arrange | positions two processing unit mechanisms 1a (B) and 1b (B), and shows typically the processing work apparatus which can process two places simultaneously. When the processing work time of each processing unit mechanism 1a (B), 1b (B) of the processing work device B is twice with respect to the processing unit 1 (A) of the processing work device A, it is set as such a structure. Therefore, it becomes possible to improve the work efficiency of the whole display panel module assembly apparatus.

본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 이와 같은 1개의 처리 작업 장치 내 또는 처리 작업 위치에 복수의 처리 유닛을 배치한 동시 처리 작업을, 비교적 용이하게 실현할 수 있다. 도 12는, 복수의 처리 유닛 기구(1)를 배치한 처리 작업 장치의 일 실시예를 설명하는 도면이다. 각 처리 유닛 기구(1)는, X축 방향으로의 가동 수단(2)만을 갖는 구성으로 되어 있다. 도 12에서의 실시예에서는, X축 방향의 가동 수단 또는 X축 가동 가이드(2)를 2개의 처리 유닛 기구(1)에서 동일하게 하고 있다. 물론, 각 가동 수단 또는 X축 가동 가이드(2)를, Y방향으로 어긋나게 하여 배치함으로써, 각 처리 유닛 기구마다의 독립된 가동 수단 또는 X축 가동 가이드(2)를 적용하는 것도 가능하지만, 이 방법은 코스트면에서 불리하게 된다.In the panel board | substrate conveyance apparatus and display panel module assembly apparatus of this invention, the simultaneous processing operation which arrange | positioned several processing unit in such one processing operation apparatus or a processing operation position can be implement | achieved comparatively easily. FIG. 12: is a figure explaining one Example of the processing operation | work apparatus which arrange | positioned the some processing unit mechanism 1. As shown in FIG. Each processing unit mechanism 1 is configured to have only the movable means 2 in the X-axis direction. In the embodiment in FIG. 12, the movable means or the X-axis movable guide 2 in the X-axis direction are the same in the two processing unit mechanisms 1. Of course, it is also possible to apply the independent movable means or the X-axis movable guide 2 for each processing unit mechanism by arranging each movable means or the X-axis movable guide 2 to shift in the Y direction, It is disadvantageous in terms of cost.

상기한 바와 같이, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 각 처리 작업 기구 앞에, 표시 패널 기판(4)을 위치 결정 고정하는 처리변 유지 고정 수단(3)이 배치되어 있다. 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에 의해 반송되어 온 표시 패널은, 규정의 정밀도로 처리변 유지 고정 수단(3)에 고정 유지된다.As mentioned above, in the display panel module assembly apparatus of this invention, the process side holding | maintenance holding means 3 which positions-fixes the display panel board | substrate 4 is arrange | positioned in front of each processing work mechanism. The display panel conveyed by the panel board | substrate conveyance positioning means 35 is fixedly hold | maintained by the process edge holding fixing means 3 with prescribed precision.

이 때문에, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 각 처리 유닛 기구(1)와 처리변 유지 고정 수단(3)의 상대적 위치 관계를 미리 조정만 해 두면, 표시 패널 기판(4)과 각 처리 유닛의 위치 관계를 검출 제어할 필요는 없다. 즉, 각 처리 작업마다 및 각 처리 유닛마다, 표시 패널과의 상대 위치 검출의 필요는 없다. 이와 같이, 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치는, 1개의 처리 작업 장치 내 또는 처리 작업 위치에서의 복수의 처리 유닛에 의한 동시 처리 작업을, 비교적 간단히 실현할 수 있는 것이다.For this reason, in the display panel module assembly apparatus of this invention, when the relative positional relationship of each processing unit mechanism 1 and the process side holding means 3 is only adjusted beforehand, the display panel board | substrate 4 and each processing unit will be adjusted. It is not necessary to detect and control the positional relationship of In other words, it is not necessary to detect the relative position with the display panel for each processing job and for each processing unit. In this way, the panel substrate conveying apparatus and the display panel module assembling apparatus can realize the simultaneous processing work by a plurality of processing units in one processing work device or at a processing work position relatively simply.

다음으로, 본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치에서, 한층 더한 고정밀도 처리를 실시하는 방법에 대하여 설명한다.Next, the method of further performing high precision processing by the panel substrate conveyance apparatus and display panel module assembly apparatus of this invention is demonstrated.

앞의 도 8에서 설명한 바와 같이, 일반적으로 표시 패널 기판(4)에는, 표시 패널 단부를 나타내는 단부 마크(24)와 함께, TAB나 IC 등의 탑재 위치를 나타내는 탑재 위치 마크(25)가 형성되어 있다. 상기한 본 발명의 실시예에서, 탑재 위치 마크(25)가 아니라 단부 마크(24)를 검출하여, 표시 패널 기판(4)의 처리변 유지 고정 수단(3)에의 위치 결정을 실시하였다. 이것에는, 이하의 이유가 있다.As described above with reference to FIG. 8, in general, the display panel substrate 4 is provided with a mounting position mark 25 indicating a mounting position such as a TAB or an IC together with an end mark 24 indicating an end of the display panel. have. In the above-described embodiment of the present invention, the end mark 24 is detected instead of the mounting position mark 25, and the positioning of the display panel substrate 4 to the processing edge holding means 3 is performed. This has the following reasons.

일반적으로, 단부 마크(24)에 대하여, 탑재 위치 마크(25)는, 작은 마크가 이용된다. 이것은, TAB나 IC 등의 탑재 위치를 고정밀도로 위치 결정하기 위해서이다. 그러나, 작은 마크를 검출하기 위해서는, 화상 검출 장치의 분해능을 높게 할 필요가 있다. 한편, 표시 패널 기판(4)은, 수100㎛~수㎜ 정도의 위치 오차를 갖고 반송되어 온다. 이 때문에, 처리변 유지 고정 수단(3)에 표시 패널 기판(4)을 위치 결정 고정할 때의 표시 패널 처리변 끝의 마크 위치는, 이 범위에서 변동한다. 작은 마크를 검출하기 위한 고분해능의 화상 검출 장치에서 넓은 범위의 화상 검출을 행하면 검출 수단의 필요 화소수가 많아져, 검출 수단의 코스트가 높아지게 된다. 또한, 검출한 화상 처리에서의 패턴 매칭 처리나 좌표 변환 처리 등의 연산 시간에 많은 시간을 요하게 된다. 이와 같이, 코스트면이나 화상 검출ㆍ좌표 변환의 속도 등을 고려하면 처리변 양단의 단부 마크(24)를 검출하는 쪽이, 탑재 위치 마크(25)보다도 바람직한 경우가 많다. 따라서, 상기한 본 실시예에서는, 처리변 양단의 단부 마크(24)를 검출하도록 구성하였다.Generally, the small mark is used for the mounting position mark 25 with respect to the end mark 24. As shown in FIG. This is to accurately position the mounting positions of the TAB, IC, and the like. However, in order to detect small marks, it is necessary to increase the resolution of the image detection apparatus. On the other hand, the display panel board | substrate 4 is conveyed with the position error of several 100 micrometers-about several mm. For this reason, the mark position of the edge of a display panel process edge at the time of positioning and fixing the display panel board | substrate 4 to the process side hold | maintenance fixing means 3 changes in this range. When a wide range of image detection is performed in a high resolution image detection device for detecting small marks, the required number of pixels of the detection means increases, and the cost of the detection means increases. In addition, a large amount of time is required for calculation time such as pattern matching processing or coordinate transformation processing in the detected image processing. Thus, in consideration of the cost surface, the speed of image detection and coordinate conversion, etc., it is often preferable to detect the end mark 24 at both ends of the processing edge than the mounting position mark 25. Therefore, in the present embodiment described above, the end mark 24 at both ends of the processing edge is detected.

물론, 처리변 양단의 탑재 위치 마크(25)를 이용하여, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(29)에 의해 표시 패널 위치를 보정하여, 처리변 유지 고정 수단(3)에 건네주기 위치 결정 고정하는 것은 가능이다. 그러나, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)의 반송 시 패널 기판 유지 수단으로부터 처리변 유지 고정 수단(3)으로의 표시 패널 건네주기 동작에서도, 다소의 건네주기 오차가 생긴다. 이 오차 이상의 고정밀도 검출은, 실질적으로는 의미가 없게 되므로, 기구측의 반송 정밀도나 건네주기 정밀도 및 요구 위치 결정 정밀도 등을 감안하여 검출하는 마크의 해상도를 결정하는 것이 바람직하다.Of course, the display panel position is corrected by the panel substrate conveyance positioning means 29 by using the mounting position marks 25 at both ends of the processing edge, and the positioning fixation to the processing edge holding fixing means 3 is fixed. It is possible. However, even in the display panel handing operation from the panel substrate holding means to the processing edge holding fixing means 3 at the time of conveyance of the panel substrate conveying positioning means 35, some handing error occurs. Since the high precision detection beyond this error becomes practically meaningless, it is preferable to determine the resolution of the mark to detect in consideration of conveyance accuracy, handing cycle accuracy, required positioning accuracy, etc. on the mechanism side.

앞의 실시예의 패널 기판 반송 장치 및 그것을 이용한 표시 패널 모듈 조립 장치에서, 표시 패널 처리변 양단의 단부 마크(24)를 검출 제어하여, 표시 패널 기판(4)을 처리변 유지 고정 수단(3)에 위치 결정 고정 가능한 정밀도는, 100㎛ 전후~수10㎛ 정도이다.In the panel substrate conveying apparatus of the previous embodiment and the display panel module assembling apparatus using the same, the end mark 24 at both ends of the display panel processing side is detected and controlled, and the display panel substrate 4 is attached to the processing side holding and fixing means 3. The positioning fixable precision is about 100 micrometers-about 10 micrometers.

그러나, 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 일부의 처리 작업(TAB나 IC 등의 고정밀도 탑재 처리 작업 등)에서는, 10㎛ 전후~수㎛ 이하의 매우 높은 위치 결정 정밀도가 요구되는 경우가 있다. 이하에, 본 발명에서, 이와 같은 매우 높은 위치정밀도에서의 처리 작업을 실현하는 방법을 이하에 설명한다.However, in some processing operations (such as high precision mounting processing operations such as TAB and IC) in the display panel module assembly apparatus, very high positioning accuracy of 10 µm to several µm or less may be required. In the present invention, a method of realizing such a processing operation at a very high position accuracy will be described below.

도 13은, 10㎛ 전후~수㎛ 이하의 초고정밀도 위치 결정 처리가 필요한 처리 작업 장치의 일 실시예를 설명하는 도면이다. 도 13의 실시예에서는, 도 12와 마찬가지로, 처리 유닛 기구(1)가 2대 배치된 구성을 나타내고 있다. 표시 패널 모듈 조립 장치에서, 일반적으로 가장 높은 정밀도가 요구되는 TAB나 IC 등을 탑재하는 처리 작업에서는, 다수의 처리 개소에의 처리를 필요로 하기 때문에 처리 작업 시간이 긴 경우가 많다. 따라서, 도 13의 실시예에서는, 처리 유닛 기구(1)가 2대 배치된 구성으로 하였다. 물론, 상기한 바와 같이, 초고정밀도 위치 결정을 필요로 하는 처리 작업 장치에서도, 처리 유닛 기구의 수는 각 처리 작업 시간의 밸런스를 고려하여 결정하면 된다.It is a figure explaining one Example of the processing work apparatus which needs the ultra-high precision positioning process of 10 micrometers front-several micrometers or less. In the Example of FIG. 13, similarly to FIG. 12, the structure which two processing unit mechanism 1 was arrange | positioned is shown. In a display panel module assembling apparatus, in general, the processing work for mounting a TAB, IC, or the like, which requires the highest precision, requires processing to a large number of processing points, so that processing time is often long. Therefore, in the Example of FIG. 13, two processing unit mechanisms 1 were arranged. Of course, as mentioned above, also in the processing work apparatus which requires ultra-high precision positioning, the number of processing unit mechanisms may be determined in consideration of the balance of each processing work time.

본 실시예의 처리 작업 장치에서는, 초고정밀도 위치 결정을 달성하기 위해서, 처리 작업 장치 내의 각 처리 유닛 기구(1)가, 각각 독립하여, 표시 패널의 탑재 위치 마크(25)를 검출하고, 각 처리 유닛 기구(1)마다의 처리할 탑재 위치를 고정밀도로 인식하여, 위치 결정하는 기능을 설치하고 있다.In the processing operation apparatus of this embodiment, in order to achieve ultra-high precision positioning, each processing unit mechanism 1 in the processing operation apparatus independently detects the mounting position mark 25 of the display panel, and each processing unit A mounting position to be processed for each mechanism 1 is recognized with high accuracy and a function for positioning is provided.

도 14는 이와 같은 기능을 실현하기 위한 처리 유닛 기구의 일 실시예를 설명하는 도면이다. 처리 유닛(1)은, 표시 패널 상의 기준 마크를 검출하는 광원이나 CCD 카메라 등으로 이루어지는 기준 마크 검출 수단(36)과 XYZ 및 θ방향으로 처리 유닛 전체를 이동시키는 XYZθ 가동 수단(37)을 구비하고 있다. 처리 유닛은, CCD 카메라로부터 검출된 기준 마크 위치 정보로부터, 처리 위치 보정 수단(38)에 의해, 처리 유닛의 보정량을 산출하고, XYZθ 가동 수단(37)에 의해, 처리 위치를 보정함으로써, 표시 패널 처리변 상의 규정의 위치에, ACF의 접착이나 TAB의 탑재 등의 처리 동작을 행한다.14 is a view for explaining an embodiment of a processing unit mechanism for realizing such a function. The processing unit 1 includes a reference mark detection means 36 made of a light source for detecting a reference mark on a display panel, a CCD camera, or the like, and an XYZθ moving means 37 for moving the entire processing unit in the XYZ and θ directions. have. The processing unit calculates the correction amount of the processing unit by the processing position correcting means 38 from the reference mark position information detected by the CCD camera, and corrects the processing position by the XYZθ movable means 37. At the prescribed position on the processing edge, processing operations such as adhesion of the ACF and mounting of the TAB are performed.

본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에 의해, 표시 패널 기판(4)은 처리변 유지 고정 수단(3)에 100㎛ 전후~수10㎛ 정도의 정밀도로 위치 결정 고정되어 있다. 그 때문에, 고정밀도 위치 결정을 하는 처리 유닛 기구에 탑재되는 기준 마크 검출 수단(36)의 화상 검출 범위를, 그다지 크게 할 필요는 없게 된다. 즉, 고정밀도 위치 결정을 실현하기 위해서, 고해상도로 표시 패널의 기준 마크를 검출하는 경우에 있어서도, 필요 화소수를 극단적으로 많게 할 필요가 없게 된다. 이것은, 검출 수단의 코스트면에서 유리해짐과 함께, 화상 처리의 연산 시간을 짧게 하는 효과도 있어, 고속 처리의 점에서도 유리하게 된다.In the panel substrate conveyance apparatus and the display panel module assembly apparatus of this invention, by the panel substrate conveyance positioning means 35, the display panel board | substrate 4 is 100 micrometers around-several 10 micrometers to the process side holding | maintenance holding means 3 Positioning is fixed with accuracy. Therefore, it is not necessary to enlarge the image detection range of the reference mark detection means 36 mounted in the processing unit mechanism which performs high precision positioning. That is, in order to realize high-precision positioning, even when detecting the reference mark of the display panel at high resolution, it is not necessary to make the required pixel count extremely large. This is advantageous in terms of cost of the detection means, and also has an effect of shortening the computation time of image processing, which is advantageous in terms of high speed processing.

이와 같이, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)이나 처리변 유지 고정 수단(3)을 이용한 본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 표시 패널 모듈 조립 장치는, 처리 작업 장치(30)의 복수 처리 유닛(1)화나 초고정밀도 위치 결정화에의 대응에서도 많은 이점을 갖는 것이다.Thus, the panel substrate conveyance apparatus and display panel module assembly apparatus of this invention using the panel substrate conveyance positioning means 35 and the process side holding | maintenance fixing means 3 are the multiple processing units 1 of the processing operation apparatus 30. It also has many advantages in response to superimposition and ultra-high precision positioning.

도 13 및 도 14를 이용하여 설명한 기준 마크 검출 수단(36)과 처리 위치 보정 수단(38) 및 XYZθ 가동 수단(37)을 구비하여 이루어지는 처리 유닛(1)을 갖는 처리 작업 장치(30)에서는, 기본적으로는, 처리 작업 장치 내의 처리 유닛(1)만으로, 표시 패널 기판(4)의 탑재 위치 마크(25)를 검출하고, 위치 보정하여 처리할 수 있다. 이 때문에, 도 9, 도 10 등을 이용하여 설명한 표시 패널 기판(4)의 단부 마크(18)를 검출하여, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(29)에 의해 처리변 유지 고정 수단(3)에, 표시 패널 기판(4)을 위치 결정하는 구성을, 생략하는 것도 가능하다.In the processing work device 30 having the processing unit 1 including the reference mark detecting means 36, the processing position correcting means 38, and the XYZθ movable means 37 described with reference to FIGS. 13 and 14, Basically, the mounting position mark 25 of the display panel board | substrate 4 can be detected, position-corrected, and processed only by the processing unit 1 in a processing work apparatus. For this reason, the end mark 18 of the display panel board | substrate 4 demonstrated using FIG. 9, FIG. 10, etc. is detected, and the panel board | substrate conveyance positioning means 29 is attached to the process side holding | maintenance fixing means 3, It is also possible to omit the structure which positions the display panel substrate 4.

그러나, 이 경우, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에 의해 처리변 유지 고정 수단(3)에 반송되는 표시 패널 기판 자세, 즉 처리 위치에서의 표시 패널 기판 자세는, 변동되게 된다. 이에 의해, 처리 유닛측에 탑재되는 탑재 마크 검출용의 기준 마크 검출 수단(36)에 요구되는 화상 검출 범위는 넓어진다. 표시 패널 기판(4)의 단부 마크(24)에 비해, 작은 탑재 마크(25)를 검출하는 처리 유닛의 기준 마크 검출 수단(36)에서는, 필요로 되는 화소수가 극단적으로 많아질 가능성도 있다. 이것은, 처리 유닛측에 탑재되는 기준 마크 검출 수단(36)의 코스트나 화상 처리의 연산 시간 등에 악영향을 준다.However, in this case, the display panel substrate attitude | position conveyed to the process side holding | maintenance fixing means 3 by the panel substrate conveyance positioning means 35, ie, the display panel substrate attitude | position in a process position, will change. Thereby, the image detection range required for the reference mark detection means 36 for mounting mark detection mounted on the processing unit side is widened. Compared with the end mark 24 of the display panel board | substrate 4, in the reference mark detection means 36 of the processing unit which detects the small mounting mark 25, the number of pixels required may become extremely large. This adversely affects the cost of the reference mark detection means 36 mounted on the processing unit side, the calculation time of the image processing, and the like.

표시 패널 기판(4)의 단부 마크(24)를 검출하여, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에 의해 처리변 유지 고정 수단(3)에, 표시 패널 기판(4)을 위치 결정하는 구성을 생략할지의 여부는, 코스트면이나 처리 속도 등을 종합적으로 평가 판단할 필요가 있다.The structure which detects the end mark 24 of the display panel board | substrate 4, and positions the display panel board | substrate 4 to the process side holding | maintenance holding means 3 by the panel board | substrate conveyance positioning means 35 is abbreviate | omitted. Whether or not it is necessary to comprehensively evaluate and judge the cost and processing speed.

다음으로, 도 12 및 도 13, 도 14에서 설명한 1개의 처리 작업 장치 내 또는 처리 작업 위치에, 복수의 처리 유닛 기구를 배치한 표시 패널 처리변의 동시 처리 방식에 대하여, X축의 구성이나 제어 방식 등에 대하여, 더욱 상세하게 설명한다.Next, with respect to the simultaneous processing method of the display panel processing side in which a plurality of processing unit mechanisms are arranged in one processing work device or processing work position described with reference to FIGS. 12, 13, and 14, the X axis configuration, the control method, and the like. This will be described in more detail.

도 14의 실시예에서는, X축 가동 수단을 가장 아래에 배치하고 있다. 이것은, X축이 표시 패널 기판의 처리변과 병행한 방향의 가동 수단이기 때문에, 이동 거리가 가장 길어지기 때문이다. 또한, 이와 같은 구성으로 함으로써, X축 가이드 레일(2)은, 처리 작업 장치 내에 구비되는 복수의 처리 유닛 기구(1)에서 공통화하는 것이 가능하게 된다.In the embodiment of Fig. 14, the X-axis movable means is disposed at the bottom. This is because the X-axis is the movable means in the direction parallel to the processing side of the display panel substrate, so that the moving distance is the longest. Moreover, by setting it as such a structure, the X-axis guide rail 2 can be commonized by the some processing unit mechanism 1 provided in the processing apparatus.

도 14의 실시예에서는, X축 가동 수단(2)은, 처리 유닛 기구(1)를 표시 패널의 처리변의 각 처리 위치 간을 이동시킬 목적과 각 처리 위치에서의 위치 결정을 할 목적의 양방에 사용된다. 고속 이동이 요구되는 처리 위치 간의 이동과 고정밀도 이동이 요구되는 처리 위치에의 위치 결정을 양립하기 위해서, 처리 유닛 기구(1)를 표시 패널 처리변의 처리 위치 간에서 이동시키기 위한 가동 거리가 큰 X축 상에, 고정밀도의 처리 위치에의 위치 결정을 위한 미세 조절용 X축 가동 수단을, 다른 축의 가동 수단과 함께 설치하는 방법도 생각된다. 현실적으로는, X축의 가동 수단이 복수 필요로 되므로, 코스트면과 필요 정밀도나 필요 이동 속도 등을 감안하여 구성을 선택할 필요가 있다.In the embodiment of FIG. 14, the X-axis movable means 2 has both the purpose of moving the processing unit mechanism 1 between the respective processing positions of the processing sides of the display panel and for the purpose of positioning at each processing position. Used. A large movable distance for moving the processing unit mechanism 1 between the processing positions of the display panel processing edges in order to achieve both the movement between the processing positions requiring high speed movement and the positioning to the processing positions requiring high precision movement. On the axis, there is also conceived a method of providing the X-axis moving means for fine adjustment for positioning to a high-precision processing position together with the moving means of the other axis. In reality, since a plurality of movable means on the X axis is required, it is necessary to select a configuration in consideration of the cost surface, the required precision, the required moving speed, and the like.

다음으로, 복수 처리 유닛의 제어 방법에 대하여 설명한다.Next, the control method of multiple processing units is demonstrated.

1개의 표시 패널 기판(4)에 대하여 복수의 처리 유닛(1)이 동시에 처리 작업을 행하는 방식에서는, 처리 유닛을 가까운 거리에서 동작시키는 것이 필요로 된다. 특히, 작은 표시 패널이나 처리변의 길이가 짧은 표시 패널의 처리 작업 시에는, 처리 유닛을 가능한 한 근접시킨 상태에서 동작시키는 것이 필요로 된다. 이 때문에, 처리 동작 중에 처리 유닛 간의 간섭이나 충돌 등의 문제점이 발생할 가능성이 있다. 따라서, 본 실시예의 장치에서는, 처리 유닛끼리의 충돌을 피하기 위해서, 동일한 표시 패널의 처리변에 처리 작업을 행하는 복수의 처리 유닛의 동작 타이밍을 동기 제어하여 구동하도록, 복수의 처리 유닛 기구의 동작 타이밍을 통괄하여 제어하는 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단을 설치하였다. 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단에 의한 각 처리 유닛에의 기본적 제어 수순의 일 실시예는 이하와 같다.In a system in which a plurality of processing units 1 simultaneously perform processing operations on one display panel substrate 4, it is necessary to operate the processing units at a close distance. In particular, during the processing operation of a small display panel or a display panel having a short length of the processing side, it is necessary to operate the processing unit in a state in which the processing unit is as close as possible. For this reason, there is a possibility that problems such as interference or collision between processing units occur during the processing operation. Therefore, in the apparatus of this embodiment, the operation timing of the plurality of processing unit mechanisms is synchronously controlled to drive the operation timings of a plurality of processing units that perform processing operations on the processing sides of the same display panel in order to avoid collisions between the processing units. The processing unit operation timing control means which collectively controls is provided. One embodiment of the basic control procedure to each processing unit by the processing unit operation timing control means is as follows.

Step1 : 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단으로부터, 각 처리 유닛에 처리 위치 정보와 이동 명령을 송신. Step2 : 각 처리 유닛은, 이동이 완료되면, 이동 완료를 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단에 보고. Step3 : 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단은, 각 처리 유닛에 처리 작업 개시를 명령. Step4 : 각 처리 유닛은, 규정의 처리 작업을 종료하면, 작업 종료를 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단에 보고. Step5 : 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단은, 각 처리 유닛에 다음 처리 위치로의 이동을 명령. 각 처리 작업이나 이동 동작 중에, 이상이 발생한 경우에는, 그 취지를 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단에 보고함으로써, 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단은, 다음 작업이나 이동 처리를 정지하고, 각 처리 유닛의 충돌 등을 방지할 수 있다.Step 1: Sending processing position information and a moving command from processing unit operation timing control means to each processing unit. Step 2: Each processing unit reports the completion of the movement to the processing unit operation timing control means when the movement is completed. Step 3: The processing unit operation timing control means instructs each processing unit to start processing work. Step 4: Each processing unit reports the end of the operation to the processing unit operation timing control means when the processing operation of the prescribed procedure is completed. Step 5: Processing unit operation timing control means instructs each processing unit to move to the next processing position. If an abnormality occurs during each processing operation or movement operation, the processing unit operation timing control means stops the next operation or movement processing by reporting the fact to the processing unit operation timing control means. Can be prevented.

상기한 바와 같이, 각 처리 유닛에 기판 마크 검출 및 처리 위치 보정 수단과 함께, 각 처리 유닛의 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단을 구비함으로써, 비로소, 처리 작업 장치 내에 복수의 처리 유닛을 배치하고, 1개의 표시 패널 기판(4)의 처리 효율을 향상시키는 것이 가능하게 된다.As described above, by providing the processing unit operation timing control means of each processing unit together with the substrate mark detection and the processing position correcting means in each processing unit, a plurality of processing units are finally arranged in the processing work device, It is possible to improve the processing efficiency of the display panel substrate 4.

도 15 및 도 16은 본 발명의 패널 기판 반송 장치 및 그것을 이용한 표시 패널 모듈 조립 장치의 제어 방식의 일 실시예를 설명하기 위한 도면이다.15 and 16 are views for explaining an embodiment of a control method of a panel substrate transfer device of the present invention and a display panel module assembly device using the same.

도 15에서, A-1~A-4는 각 처리 작업 장치(52)를 나타내고 있고, B-1~B-4는, 각 처리 작업 장치(52) 앞에 유지된 표시 패널을 반송하는 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 나타내고 있다. 파선으로 나타낸 B-1~B-4는, 표시 패널 반송 후의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 위치를 나타내고 있다. 상기한 바와 같이, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 처리 작업 장치(52) 앞을 대략 직선적으로 이동하지만, 도시의 형편상, 파선으로 나타낸 반송 후의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 위치는, 반송 전의 반송 시 패널 기판 유지 부재(10) 위치의 하측에 도시하였다. 실제로는, 반송 전후의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 중심에 그어진 일점쇄선은 일치한다.In FIG. 15, A-1 to A-4 represent each processing working device 52, and B-1 to B-4 are conveying panels for conveying the display panel held in front of each processing working device 52. In FIG. The substrate holding means 10 is shown. B-1-B-4 shown with the broken line have shown the position of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance after display panel conveyance. As mentioned above, the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance moves substantially linearly in front of the processing work apparatus 52, but on the occasion of illustration, the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance after conveyance shown by the broken line is shown. The position was shown below the position of the panel substrate holding member 10 at the time of conveyance before conveyance. In practice, the dashed-dotted line drawn at the center of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance before and after conveyance coincides.

각 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에서의 각 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)은, 독립된 구동 장치(50)(M-1~M-5)에 의해 구동된다. 구동 장치로서는, 리니어 모터나 볼 나사 방식 등의 일반적인 직선 구동 수단을 이용할 수 있다. 도 15 중의 S-1~S-5는, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)(B-1~B-5)의 좌표 위치 등을 검출하는 센서(51)이다.The panel substrate holding means 10 at the time of each conveyance in each panel substrate conveyance positioning means 35 is driven by independent drive apparatus 50 (M-1-M-5). As a drive device, general linear drive means, such as a linear motor and a ball screw system, can be used. S-1 to S-5 in FIG. 15 are the sensors 51 which detect the coordinate position of the panel board | substrate holding means 10 (B-1 to B-5), etc. at the time of conveyance.

본 실시예의 제어 장치는, 최상위에 장치 시스템 전체의 기본 동작 타이밍을 제어하기 위한 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)을 배치하고 있다. 그 하위에, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1) 및 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-4)을 배치하였다.In the control apparatus of this embodiment, the system operation timing control means 43 (MC) for controlling the basic operation timing of the entire apparatus system is arranged at the uppermost level. Below that, display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) and each processing work device control means 40 (AC-1 to AC-4) were disposed.

다음으로, 본 제어 시스템에서의 표시 패널 반송 동작 제어 방식에 대하여 설명한다. 표시 패널 기판의 반송 및 처리 작업의 기본적 동작은, 이하의 수순으로 된다.Next, the display panel conveyance operation control method in this control system is demonstrated. The basic operation of the conveyance and processing operation of the display panel substrate is as follows.

우선, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)이, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)에, 반송 동작 개시 신호(46a)를 송신한다. 반송 동작 개시 신호(46a)를 받아, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)은, 이하의 일련의 동작 제어를 실시한다. (1) 각 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에서의 각 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 구동하여, 상류측 처리 작업 위치에 있던 표시 패널을 하류측의 처리 작업 위치까지 반송한다. (2) 표시 패널 기준 마크 검출 수단(26)에 의해 표시 패널의 단부 마크(24)를 검출하여, 표시 패널 자세를 보정한다. (3) 처리변 유지 고정 수단(3)에 표시 패널 기판을 흡착 고정한다. 이상의 일련의 동작이 종료된 후에, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)은, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)에 표시 패널 반송 종료 신호(44a)를 송신한다.First, system operation timing control means 43 (MC) transmits conveyance operation start signal 46a to display panel conveyance operation control means 47 (BC-1). In response to the conveyance operation start signal 46a, the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) performs the following series of operation control. (1) The panel substrate holding means 10 at the time of each conveyance by each panel substrate conveyance positioning means 35 is driven, and the display panel which was in the upstream process working position is conveyed to the downstream process working position. (2) The display panel reference mark detecting means 26 detects the end mark 24 of the display panel and corrects the display panel attitude. (3) The display panel substrate is adsorbed and fixed to the process side holding and fixing means 3. After the above series of operations are completed, the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) transmits the display panel conveyance end signal 44a to the system operation timing control means 43 (MC).

다음으로, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)은, 표시 패널 반송 종료 신호(44a)를 받아, 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-4)에, 각 처리 작업 개시 신호(42)를 동시에 송신한다. 각 처리 작업 개시 신호(42)를 수신한 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-4)은, 규정의 각 처리 작업 동작의 제어를 개시한다.Next, the system operation timing control means 43 (MC) receives the display panel conveyance end signal 44a, and sends each processing work to each processing work device control means 40 (AC-1 to AC-4). The start signal 42 is transmitted simultaneously. Each processing work device control means 40 (AC-1 to AC-4) that has received each processing work start signal 42 starts control of each processing work operation of the regulation.

또한, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)은, 표시 패널 반송 종료 신호(44a)를 받아, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)에, 반송계 복귀 동작 개시 신호(46b)를 송신한다. 반송계 복귀 동작 개시 신호(46b)를 수신한 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)은, 이하의 일련의 동작 제어를 실시한다. (1) 상기 비처리 영역 유지 수단을 강하시켜, 표시 패널 기판의 비처리변의 연변 하면을 유지한다. (2) 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의한 표시 패널 기판의 흡착을 해제하고, 패널 기판 반송 위치 결정 수단을 강하 퇴피한 후, 상류측의 처리 작업 위치에 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 되돌린다. (3) 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을, 처리 중인 표시 패널 기판 하면으로부터 진입시켜, 표시 패널 기판을 유지 고정한다. (4) 비처리 영역 유지 수단의 유지 부재를 퇴피 상승시킨다. 이상의 일련의 동작이 종료된 후에, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)은, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)에 반송계 복귀 동작 종료 신호(44b)를 송신한다.Moreover, system operation timing control means 43 (MC) receives display panel conveyance end signal 44a, and conveys system return operation start signal 46b to display panel conveyance operation control means 47 (BC-1). ). The display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) which received the conveyance system return operation start signal 46b performs the following series of operation control. (1) The said unprocessed area holding means is lowered, and the soft edge lower surface of the unprocessed side of a display panel substrate is hold | maintained. (2) After the suction of the display panel substrate by the panel substrate conveyance positioning means is released, and the panel substrate conveyance positioning means is dropped and retracted, the panel substrate holding means 10 is returned to the processing work position on the upstream side. Turn. (3) The panel substrate holding means 10 at the time of conveyance enters from the lower surface of the display panel substrate in process, and hold | maintains and fixes a display panel substrate. (4) The holding member of the non-treatment area holding means is lifted up. After the above series of operations are completed, the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) transmits the conveyance return operation end signal 44b to the system operation timing control means 43 (MC).

또한, 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-4)도, 기정의 각 처리 작업이 종료된 후에, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)에 각 처리 작업 종료 신호(41)를 순차적으로 송신한다.In addition, each processing work device control means 40 (AC-1 to AC-4) also sends a processing signal to the system operation timing control means 43 (MC) after each predetermined processing work is completed. 41) sequentially transmitted.

표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)으로부터의 반송계 복귀 동작 종료 신호(44b)와 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-4)으로부터의 각 처리 작업 종료 신호(41)를 수신한, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)은, 다음의 반송 동작 개시 신호(46a)를 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)에 송신한다. 이것을 반복함으로써, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에 의한 표시 패널 기판(4)의 반송과 각 처리 작업 장치에서의 처리 작업 동작을 연속적으로 실시 제어할 수 있다.End of the conveyance return operation end signal 44b from the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) and the end of each processing operation from the respective processing operation device control means 40 (AC-1 to AC-4). The system operation timing control means 43 (MC) which received the signal 41 transmits the following conveyance operation start signal 46a to the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1). By repeating this, conveyance of the display panel board | substrate 4 by the panel board | substrate conveyance positioning means 35, and the processing operation operation | movement in each processing operation apparatus can be implemented and controlled continuously.

본 실시예의 표시 패널 모듈 조립 장치의 제어 수단에서는, 상기 이외에, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)이나 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-4)은, 반송 작업 중이나 처리 작업 중에서의 다양한 스테이터스 신호나 이상발생 시의 에러 정보 등을, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)에 송신하도록 구성하였다.In the control means of the display panel module assembling apparatus of the present embodiment, in addition to the above, the display panel conveying operation control means 47 (BC-1) and the respective processing work device control means 40 (AC-1 to AC-4) And various status signals during the conveyance operation and the processing operation, error information at the time of abnormality occurrence, and the like, are transmitted to the system operation timing control means 43 (MC).

표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)의 스테이터스 신호로서는, 하류측 처리변 유지 고정 수단(3)으로부터의 표시 패널 기판(4)의 수취 완료, 표시 패널 반송 중, 표시 패널 위치 결정 중, 상류측 처리변 유지 고정 수단(3)에의 표시 패널 고정 완료, 비처리 영역 유지 수단에 의한 기판의 유지 동작 중, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 복귀 이동 중, 비처리 영역 유지 수단의 상방으로의 퇴피 완료 등이다.As the status signal of the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1), the display panel positioning is performed during the reception of the display panel substrate 4 from the downstream processing edge holding means 3 and the display panel conveyance. The non-processing area holding means during the return movement of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance during the display panel fixing completion to the upstream process side holding means 3, and the holding operation of the board | substrate by the non-processing area holding means. The evacuation to the upper part is completed.

또한, 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-4)의 스테이터스 신호는, 처리 작업 종료 신호(41) 이외에, 각 처리 작업의 내용에 맞춘 다양한 스테이터스 신호를, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)에 송신하도록 구성하였다.In addition, the status signal of each of the processing operation device control means 40 (AC-1 to AC-4), in addition to the processing operation end signal 41, controls various status signals in accordance with the contents of each processing operation. It is configured to transmit to the means 43 (MC).

표시 패널 모듈 조립 장치는, 많은 각종 작업 처리 장치나 많은 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에 의해 구성되어 있다. 표시 패널 모듈 조립 장치를 안전하게 또한 고효율로 운용하기 위해서는, 이들 많은 처리 작업 장치(52)나 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)의 동작 타이밍 등을, 리얼타임으로 종합적으로 감시ㆍ관리하는 것이 필요하다.The display panel module assembly apparatus is comprised by many various processing apparatuses and many panel board | substrate conveyance positioning means 35. As shown in FIG. In order to operate the display panel module assembly apparatus safely and with high efficiency, it is necessary to comprehensively monitor and manage the operation timings of these processing apparatuses 52 and panel substrate conveyance positioning means 35 in real time. .

본 실시예의 구성에서는, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)이나 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-4)으로부터의 다양한 스테이터스 신호나 에러 정보를, 일괄 관리하여 시스템 전체의 동작을 감시 제어하는 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)을 배치함으로써, 안전하게 또한 고효율의 표시 패널 모듈 조립 장치의 운전 동작을 실현하고 있다.In the structure of this embodiment, various status signals and error information from the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) and each processing work device control means 40 (AC-1 to AC-4) are collectively collected. By arranging the system operation timing control means 43 (MC) which manages and monitors and controls the operation of the whole system, the operation operation | movement of the display panel module assembly apparatus is realized safely and highly efficient.

또한, 상기한 각 반송 수단 간의 가감속 타이밍을 어긋나게 하는 처리는, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)에 의한 타이밍 제어에 의해, 용이하게 실시하는 것이 가능하게 된다. 그 밖의 각종 동작 상황에서의 통신 신호의 상세는, 각 처리 작업 장치의 기능이나 동작 모드에 의존함과 함께, 번잡하게 되므로 할애하지만, 필요 기능이나 동작 모드를 잘 음미하여, 결정하는 것이 중요한 것은 물론이다.In addition, the process which shifts the acceleration / deceleration timing between each said conveyance means can be performed easily by timing control by the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1). The details of the communication signals in various other operating situations depend on the functions and operation modes of each processing working device and are complicated, but it is important to determine the necessary functions and operation modes well and determine them. to be.

도 15에서, 처리 작업 장치(52)의 A-2 내에는, UC-1~UC-3의 블록이 기재되어 있다. 도 15의 처리 작업 장치(52)의 A-2는, 도 12 내지 도 14 등을 이용하여 설명한 처리 작업 장치 내에 복수의 처리 유닛 기구를 가진 구성을 나타내고 있다. UC-1~UC-3의 블록은, 이들 처리 유닛 기구의 제어 수단(45)을 나타내고 있다. 본 실시예의 도 15는, 처리 작업 장치 A-2는 내부에 3대의 처리 유닛 기구를 배치한 구성을 상정한 것이다.In FIG. 15, blocks of UC-1 to UC-3 are described in A-2 of the processing operation apparatus 52. A-2 of the processing operation apparatus 52 of FIG. 15 has shown the structure which has several processing unit mechanism in the processing operation apparatus demonstrated using FIGS. Blocks UC-1 to UC-3 represent control means 45 of these processing unit mechanisms. 15 of the present embodiment assumes a configuration in which three processing unit mechanisms are disposed in the processing work device A-2.

이와 같이, 처리 작업 장치(52) 내에 복수의 처리 유닛 기구(1)를 가진 구성에서는, 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-2)의 하위에, 각 처리 유닛 기구 제어 수단(45)(UC―1~UC-3)이 배치되고, 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-2)에 의해, 동작 타이밍 등의 제어가 실시된다.Thus, in the structure which has several processing unit mechanism 1 in the processing work apparatus 52, each processing unit mechanism control means 45 is below the each processing work apparatus control means 40 (AC-2). (UC-1 to UC-3) are disposed, and control such as operation timing is performed by each processing operation device control means 40 (AC-2).

도 16은, 상기한 도 15의 실시예에서의 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC), 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1), 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-3…) 사이의 기본적인 제어 신호의 주고 받음에 관한 일 실시예를 설명하는 도면이다.FIG. 16 shows the system operation timing control means 43 (MC), the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1), and the respective processing operation device control means 40 (in the embodiment of FIG. 15 described above). It is a figure explaining one Embodiment regarding the exchange of the basic control signal between AC-1-AC-3 ...).

우선, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)의 반송ㆍ위치 결정 동작 제어 신호(53a)의 상승을 받아, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)은, 반송ㆍ위치 결정 동작 신호(55)를 상승시켜, 표시 패널 기판(4)의 반송ㆍ위치 결정 동작을 개시한다. 표시 패널의 반송ㆍ위치 결정 동작 종료 후, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)은, 반송ㆍ위치 결정 동작 신호(55)를 하강시킨다. 그 후, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)은, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 대기 위치까지 이동시킨다.First, the conveyance and positioning operation control signal 53a of the system operation timing control means 43 is raised, and the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) receives the conveyance and positioning operation signal 55. ) Is raised to start the conveyance and positioning operation of the display panel substrate 4. After completion of the conveyance and positioning operation of the display panel, the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) lowers the conveyance and positioning operation signal 55. Thereafter, the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) moves the panel substrate holding means 10 to the standby position at the time of conveyance.

시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)은, 반송ㆍ위치 결정 동작 신호(55)의 하강을 받아, 반송ㆍ위치 결정 동작 제어 신호(53b)를 하강시킴과 함께, 각 처리 작업 장치 제어 신호(54)를 상승시킨다.The system operation timing control means 43 receives the lowering of the conveyance and positioning operation signal 55, lowers the conveyance and positioning operation control signal 53b, and sends each processing operation device control signal 54 to each other. Raise.

각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-3…)은, 각 처리 작업 장치 제어 신호(54)의 상승을 받아, 처리 작업 중 신호(56)(AC-1~AC-3…)를 상승시켜, 각 처리 작업 동작을 개시한다.Each processing work device control means 40 (AC-1 to AC-3 ...) receives the rise of each processing work device control signal 54, and the processing work signal 56 (AC-1 to AC-3). ...) is raised to start each processing operation operation.

또한, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)은, 각 처리 작업 장치 제어 신호(54)를 상승시킴과 함께, 반송계 복귀 동작 제어 신호(53b)를 상승시킨다. 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)은, 반송계 복귀 동작 제어 신호(53b)의 상승을 받아, 반송계 복귀 동작 신호(55b)를 상승시켜, 반송계 복귀 동작을 개시한다.Moreover, the system operation timing control means 43 raises each processing operation apparatus control signal 54, and raises the carrier system return operation control signal 53b. The display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) receives the rise of the conveyance return operation control signal 53b, raises the conveyance return operation signal 55b, and starts the conveyance return operation.

각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-3…)은, 기정의 각 처리 작업 종료 후, 처리 작업 중 신호(56)(AC-1~AC-3…)를 하강시킨다. 또한, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)은, 반송계 복귀 동작 종료 후, 반송계 복귀 동작 신호(55b)를 하강시킨다.Each processing work device control means 40 (AC-1 to AC-3 ...) lowers the signal 56 (AC-1 to AC-3 ...) during the processing work after completion of each predetermined processing work. In addition, the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) causes the conveyance return operation signal 55b to drop after the conveyance return operation is completed.

시스템 동작 타이밍 제어 수단(37)은, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)의 반송계 복귀 동작 신호(55b)의 하강과 함께, 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-3…)의 처리 작업 중 신호(56)(AC-1~AC-3…)의 하강을 확인한 후, 반송ㆍ위치 결정 동작 제어 신호(53a)를 상승시켜, 다음의 표시 패널 기판(4)의 반송ㆍ위치 결정 동작을 개시시킨다. 이것을 반복함으로써, 일련의 반송과 각 처리 동작을 연속적으로 제어한다.The system operation timing control means 37 falls with the conveyance system return operation signal 55b of the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1), and each processing operation device control means 40 (AC-). After confirming the falling of the signal 56 (AC-1 to AC-3 ...) during the processing operation of 1 to AC-3…, the conveyance and positioning operation control signal 53a is raised to the next display panel substrate. The conveyance and positioning operation of (4) is started. By repeating this, a series of conveyance and each processing operation are controlled continuously.

상기, 반송계 복귀 동작의 개시 타이밍은, 처리변 유지 고정 수단(3)에, 표시 패널 기판(4)이 고정된 후이면 언제나 된다. 그러나, 상기 설명한 제어 수순으로부터도 명백해지는 바와 같이, 반송계 복귀 동작은, 모든 처리 작업 장치의 처리 작업이 완료되기 전에 종료되지 않으면, 다음의 표시 패널 기판 반송까지의 동안, 처리 작업 장치에 대기 동작이 생기게 된다.The start timing of the carrier system return operation may be any time after the display panel substrate 4 is fixed to the process side holding and fixing means 3. However, as will be apparent from the above-described control procedure, if the conveyance return operation is not finished before all the processing work devices are completed, the waiting operation is waited for the processing work device until the next display panel substrate is conveyed. Will be produced.

불필요한 처리 작업 장치의 대기 동작을 초래하지 않기 위해서는, 반송계 복귀 동작이, 가장 느린 처리 작업 장치의 처리 작업 완료보다도 전에 종료되도록, 반송계 복귀 동작 개시 타이밍을 제어할 필요가 있다.In order not to cause unnecessary waiting operation of the processing work apparatus, it is necessary to control the transport system return operation start timing so that the conveying system return operation is terminated before the slowest processing work apparatus is completed.

그를 위해서는, 가장 느린 처리 작업 장치의 처리 작업 시간보다도, 반송계 복귀 동작의 시간이 짧을 필요가 있다. 처리 작업 장치의 처리 작업 시간은, 그 처리 작업 내용에 따라서 차가 있지만, 기본적으로 상기한 반송계 복귀 동작보다도 길어진다.For that purpose, it is necessary that the time of the return system return operation is shorter than that of the slowest processing work device. The processing work time of the processing work device differs depending on the processing work content, but it is basically longer than the above-mentioned return system operation.

각 처리 작업 장치의 대기 시간을 보다 적게 동작 제어하기 위해서는, 상기 복수 유닛에 의한 동시 처리 등의 방법을 이용하여, 각 처리 작업 장치의 처리 시간을 비슷하게 함과 함께, 각 처리 작업 장치의 처리 시간보다도 짧은 시간에, 반송계 복귀 동작을 완료시키도록, 동작 제어 계획을 하는 것이 중요하다.In order to control operation of the waiting time of each processing working device less, the processing time of each processing working device is made similar by using a method such as simultaneous processing by the plurality of units, and the processing time of each processing working device In a short time, it is important to have an operation control plan to complete the carrier return operation.

패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)(반송 시 패널 기판 유지 수단(10))이나 각 처리 작업 장치(52)에 동작 불량이 발생한 경우에 대해서는, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)에, 에러 발생 정보(41e)를 송신한다. 또한, 시스템 동작 타이밍 제어 수단(43)(MC)은, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)으로부터의 반송 위치 결정 종료 신호(44a)나 반송계 복귀 동작 종료 신호(44b), 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)(AC-1~AC-3…)으로부터의 각 처리 작업 종료 신호(41)가 규정 시간 내에 송신되지 않은 경우에는, 시스템 에러로 판정하는 등의 방법도 생각된다.When operation failure occurs in the panel substrate conveyance positioning means 35 (the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance) or each processing operation device 52, the system operation timing control means 43 shows error occurrence information. (41e) is transmitted. In addition, the system operation timing control means 43 (MC) includes the conveyance positioning end signal 44a, the conveyance return operation end signal 44b from the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1), When each processing work end signal 41 from each processing work device control means 40 (AC-1 to AC-3 ...) is not transmitted within the prescribed time, a method such as judging by a system error is also conceivable. .

도 15, 도 16에서 설명한 본 발명의 일 실시예 이외에, 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)이, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35) 각각의 구동 제어를 독립적으로 행하는 방법도 생각된다. 이 경우, 복수의 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)을 복수의 각 처리 작업 장치 제어 수단(40)이 제어하기 때문에, 각 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35) 간의 이동 타이밍을 정확하게 맞추는 것이 어렵다. 이 때문에, 인접하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10) 간에서의 충돌을 방지하는 방책이 필요로 된다.In addition to one embodiment of the present invention described with reference to FIGS. 15 and 16, a method in which each processing work device control means 40 independently performs drive control of each of the panel substrate transfer position determining means 35 is also conceivable. In this case, since the plurality of processing substrate control means 40 controls the plurality of panel substrate conveyance positioning means 35, it is difficult to accurately match the movement timing between the panel substrate conveyance positioning means 35. For this reason, the measure which prevents the collision between the panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance by the adjacent panel board | substrate conveyance positioning means 35 is needed.

각 처리 작업 장치 제어 수단(40)이, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35) 각각의 구동 제어를 독립적으로 행하는 경우에 있어서, 인접하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10) 간의 충돌 방지를 간단히 실현할 수 있는 제어 방법의 일 실시예에 대하여, 이하에 설명한다.When each processing work device control means 40 independently performs drive control of each of the panel substrate conveyance positioning means 35, the panel substrate is held at the time of conveyance by the adjacent panel substrate conveyance positioning means 35. An embodiment of a control method which can easily realize the collision avoidance between the means 10 will be described below.

패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)의 동작 시에 있어서, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 하류측으로 이동시키는 경우에는, 최하류측의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)으로부터, 상류측으로 이동시키는 경우에는, 최상류측의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)으로부터, 순차적으로 이동시킴으로써, 간편하게 또한 확실하게 인접하는 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)끼리의 충돌을 방지할 수 있다. 즉, 하류측으로 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 이동시키는 경우에는, 우선, 최하류측의 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)을 제어하는 처리 작업 장치 제어 수단(40)이, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 하류측으로 이동시키고, 그 이동 정보를, 인접하는 상류측의 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)을 제어하는 처리 작업 장치 제어 수단(40')에 송신하고, 순차적으로, 하류측을 향하여 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 이동을 하는 방식이다. 상류측으로 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 이동시키는 경우도 마찬가지로, 최상류측의 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)을 제어하는 처리 작업 장치 제어 수단(40')으로부터, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)을 상류측으로 이동시키고, 그 이동 정보를, 인접하는 하류측의 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)을 제어하는 처리 작업 장치 제어 수단(40')에 송신하고, 순차적으로, 상류측을 향하여 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 이동을 하는 방식이다.At the time of operation of the panel substrate conveyance positioning means 35, in the case of moving the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance to the downstream side, it moves upstream from the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance at the most downstream side. In order to make it move, it can prevent the collision of adjacent panel board holding means 10 easily and reliably by advancing sequentially from the panel board holding means 10 at the time of conveyance on the uppermost side. That is, when moving the panel board | substrate holding means 10 at the time of conveyance to a downstream side, first, the processing operation apparatus control means 40 which controls the panel substrate conveyance positioning means 35 of the most downstream side is a panel at the time of conveyance. The board | substrate holding means 10 is moved downstream, and the movement information is transmitted to the processing work device control means 40 'which controls the adjacent panel board | substrate conveyance positioning means 35 adjacent, and sequentially, It is a system which moves the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance toward a downstream side. Similarly, in the case of moving the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance to the upstream side, the panel substrate holding means at the time of conveyance from the processing work device control means 40 'that controls the panel substrate conveyance positioning means 35 on the most upstream side. (10) is moved to an upstream side, and the movement information is transmitted to the processing work device control means 40 'which controls the panel substrate conveyance positioning means 35 of the adjacent downstream side, and sequentially the upstream side The panel substrate holding means 10 is moved during conveyance.

처리 작업 장치 제어 수단(40')이 송신하는 이동 정보는, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 이동 완료 정보이어도 되지만, 이 경우, 표시 패널 모듈 전체에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 이동 동작에 시간이 걸리게 된다. 표시 패널 모듈 전체에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 이동 동작을 보다 고속으로 실현하기 위해서는, 처리 작업 장치 제어 수단(40')이 송신하는 이동 정보를, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 이동 개시 정보로 하는 쪽이 좋다. 이에 의해, 처리 작업 장치 제어 수단(40')은, 인접하는 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)과의 충돌의 위험이 없는 범위에서, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 이동을 개시할 수 있기 때문에, 표시 패널 모듈 전체에서의 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 이동 동작 시간을 짧게 억제하는 것이 가능하게 된다.The movement information transmitted by the processing work device control means 40 'may be movement completion information of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance. In this case, the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance in the entire display panel module. It takes time for the movement operation of. In order to realize the movement operation of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance in the whole display panel module at high speed, the movement information transmitted by the processing work device control means 40 'is transmitted to the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance. It is better to set it as movement start information. Thereby, the processing work device control means 40 'can start the movement of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance within a range in which there is no danger of collision with the adjacent panel substrate holding means 10 at the time of conveyance. Therefore, the movement operation time of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance in the whole display panel module can be suppressed short.

이 방식에서는, 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)이, 동시에 움직이는 일이 없기 때문에, 상기한 반송 시 패널 기판 유지 수단(10)의 가감속 시의 필요 최대 전류가 극단적으로 커질 우려는 없다. 또한, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)도 불필요하게 된다.In this system, since the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance does not move simultaneously, there is no possibility that the required maximum current at the time of the acceleration / deceleration of the panel substrate holding means 10 at the time of conveyance will become extremely large. In addition, the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1) is also unnecessary.

그러나, 이 방식은, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)을 이용하는 방식에 비해, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)의 동작 대기 시간이 불확정하게 되어, 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)의 동작 지연 시간도 길어지는 경향이 있다. 다수의 처리 작업 장치로 이루어지는 표시 패널 모듈 조립 장치나 패널 기판 반송 위치 결정 수단(35)을 보다, 짧은 시간에서의 왕복 동작시킬 필요가 있는 경우, 또한, 표시 패널의 반송 시간을 보장할 필요가 있는 경우 등은, 본 방식은, 표시 패널 반송 동작 제어 수단(47)(BC-1)을 이용하는 방식과 비교하여 불리하게 된다.However, compared with the method using the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1), in this system, the operation waiting time of the panel substrate conveyance positioning means 35 becomes indeterminate, and the panel substrate conveyance positioning means The operation delay time of 35 also tends to be long. When it is necessary to reciprocate the display panel module assembling apparatus and panel substrate conveyance positioning means 35 which consist of many processing operation apparatuses in a shorter time, it is also necessary to ensure the conveyance time of a display panel. In this case, this system is disadvantageous compared with the system using the display panel conveyance operation control means 47 (BC-1).

이상, 본 발명에 따르면, 표시 패널 모듈 조립 장치에서의 표시 패널의 반송이나 위치 결정 동작을, 간단한 장치 구성으로 고속으로 실현할 수 있다. 또한, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 대판부터 소판까지 폭넓은 표시 패널 사이즈에의 대응도 비교적 용이하다. 또한, 본 발명의 표시 패널 모듈 조립 장치에서는, 각 처리 작업 장치의 처리 유닛 기구의 복수화나 고정밀도화에의 확장성도 높다.As mentioned above, according to this invention, conveyance and positioning operation | movement of a display panel in a display panel module assembly apparatus can be implement | achieved at high speed with a simple apparatus structure. Moreover, in the display panel module assembly apparatus of this invention, correspondence with the wide display panel size from a large plate to a small plate is also comparatively easy. Moreover, in the display panel module assembly apparatus of this invention, scalability to multiplexing and high precision of the processing unit mechanism of each processing operation apparatus is also high.

본 발명은, 각종 패널에의 적응성이 높고, 고속으로, 고정밀도 처리가 가능한 표시 패널 모듈 조립 장치를 제공하는 것이다.The present invention provides a display panel module assembly apparatus having high adaptability to various panels and capable of high-precision processing at high speed.

Claims (28)

표시 패널 기판을, 연속한 복수의 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간을, 순차적으로 반송하여, 표시 패널 기판의 연변에 각종 처리 작업을 순차적으로 행함으로써 전자 부품을 실장하는 표시 패널 모듈 조립 장치로서,
각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에는, 처리하는 표시 패널 기판을 유지하기 위해서, 표시 패널 기판의 처리변측의 처리변 끝으로부터 균일한 거리 내측을, 처리변에 평행하게 또한 처리변 방향으로 가늘고 길게, 처리변 전역에 걸쳐 유지함과 함께 고정하는 처리변 유지 고정 수단과 상기 처리변 유지 고정 수단에 대하여 표시 패널 기판 처리변의 반대측의 표시 패널 기판 하면 영역을, 상방으로부터 현수 지지하는 적어도 1개 이상의 비처리 영역 유지 수단을 구비함과 함께, 인접하는 상기 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간을 왕복 이동함과 함께, 상기 처리 작업 장치 혹은 상기 처리 작업 위치에의 표시 패널 기판 위치 결정이 가능한 패널 기판 반송 위치 결정 수단을 복수 구비함과 함께, 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단은, 상기 처리변 유지 고정 수단에 대하여 표시 패널 기판 처리변의 반대측의 표시 패널 기판 하면 영역을 유지하는 반송 시 패널 기판 유지 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.A display panel module assembly apparatus for mounting an electronic component by sequentially conveying a display panel substrate between a plurality of continuous processing operation apparatuses or processing operation positions, and sequentially performing various processing operations on the edges of the display panel substrate.
In order to hold the display panel board | substrate to process at each processing operation apparatus or a processing work position, the inside of a uniform distance from the edge of the process side of the process side of a display panel board | substrate is thin and long in parallel with a process side, and a process side direction, At least one non-processing area for suspending and supporting the lower surface area of the display panel substrate opposite to the display panel substrate processing edge with respect to the processing edge holding means for holding and fixing over the entire processing edge; In addition to the holding means, the substrate substrate conveying position is capable of positioning the display panel substrate to the processing apparatus or the processing working position while reciprocating between the adjacent processing apparatuses or the processing working positions. The panel substrate conveyance positioning means is provided with a plurality of means, and And a panel substrate holding means for conveyance for holding the display panel substrate lower surface region opposite to the display panel substrate processing edge with respect to the lid side holding and fixing means. 제1항에 있어서,
상기 비처리 영역 유지 수단은, 상기 처리변 유지 고정 수단에 의해, 각 처리 작업 시에 고정 유지되는 적어도 하나의 표시 패널 기판 위치에서, 표시 패널 기판의 비처리변의 연변 하면을 패널면보다도 상방으로부터 현수된 아암 형상의 유지 부재로 표시 패널 기판을 유지하는 유지 수단인 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The non-processing area holding means suspends the edge of the non-processed edge of the display panel substrate from above the panel surface at at least one display panel substrate position held by the processing edge holding means for each processing operation. And a holding means for holding the display panel substrate with the arm-shaped holding member. 제2항에 있어서,
상기 비처리 영역 유지 수단에서의 아암 형상의 유지 부재는, 표시 패널 기판의 비유지 시에, 표시 패널 기판의 상면보다도 상방으로 퇴피 가능한 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 2,
The arm-shaped holding member in the said non-processing area holding means can be retracted upwards rather than the upper surface of a display panel board | substrate at the time of non-holding of a display panel board | substrate. 제3항에 있어서,
상기 비처리 영역 유지 수단은, 상기 아암 형상의 유지 부재를 표시 패널 기판의 연변 하면 영역에 진입 및 퇴피시키기 위한 가동 수단과 함께, 상기 비처리 영역 유지 수단을 표시 패널 기판의 상방으로 퇴피시키기 위한 상하 방향으로의 가동 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 3,
The non-processing area holding means is provided with a movable means for entering and evacuating the arm-shaped holding member into the lower edge region of the display panel substrate, and up and down for retracting the non-processing area holding means above the display panel substrate. Display panel module assembly apparatus comprising a movable means in the direction. 제3항에 있어서,
상기 비처리 영역 유지 수단은, 유지하는 패널변에 평행한 축을 중심으로 아암 형상의 유지 부재의 회전 수단을 갖고 있고, 이 회전 수단에 의해, 상기 아암 형상의 유지 부재에 의한 표시 패널 기판 연변 하면의 유지와 표시 패널 기판 상방으로의 아암 형상의 유지 부재의 퇴피 동작을 행하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 3,
The non-processing area holding means has a rotating means of the arm-shaped holding member about an axis parallel to the panel side to be held, and by this rotating means, the lower surface of the display panel substrate edges of the display panel substrate by the arm-shaped holding member. A display panel module assembly apparatus comprising: holding and retracting an arm-shaped holding member above the display panel substrate. 제1항에 있어서,
상기 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에 설치된 상기 비처리 영역 유지 수단은, 처리하는 패널 기판의 사이즈, 처리변 길이, 처리 위치 등에 따라서, 설치 위치 및 아암 형상의 유지 부재에 의한 표시 패널 기판의 유지 위치를 가변 가능한 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The non-processing area holding means provided at each of the processing work devices or the processing work positions holds the display panel substrate by the mounting position and the arm-shaped holding member according to the size of the panel substrate to be processed, the length of the processing edge, the processing position, and the like. Display panel module assembly apparatus, characterized in that the position is variable. 제1항에 있어서,
상기 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간에서, 표시 패널 기판의 반송 및 상기 처리 작업 장치 혹은 상기 처리 작업 위치에의 표시 패널 기판 위치 결정을 행하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시에, 표시 패널 기판 하면을 유지하는 상기 반송 시 패널 기판 유지 수단은, 처리하는 패널 기판의 사이즈나 처리하는 변의 위치에 따라서, 표시 패널 기판의 유지 위치를 가변 가능한 가변 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
Display panel at the time of conveyance of a display panel board | substrate between said each processing work apparatus or a processing work position, and conveyance by the panel board | substrate conveyance positioning means which performs display panel board positioning to the said processing work apparatus or the said processing work position. The said panel substrate holding means at the time of conveyance which hold | maintains a lower surface of a board | substrate is equipped with the display panel module assembly characterized by the variable mechanism which can change the holding position of a display panel board | substrate according to the size of the panel substrate to process and the position of the side to process. Device. 제1항에 있어서,
상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 상기 반송 시 패널 기판 유지 수단은, 표시 패널 기판의 유지 시는 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에 구비된 상기 처리변 유지 고정 수단의 표시 패널 기판 유지면 상방으로부터 각 처리 작업 장치의 표시 패널 기판 처리 위치에 진입 및 퇴피함과 함께, 표시 패널 기판의 비유지 시는 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에 구비된 상기 처리변 유지 고정 수단의 표시 패널 기판 유지면 하방으로부터 각 처리 작업 장치의 표시 패널 기판 처리 위치에 진입 및 퇴피하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The said panel substrate holding means at the time of conveyance in the said panel board | substrate conveyance positioning means is a display panel board | substrate holding surface upper side of the said process side holding | maintenance holding means provided in each processing operation apparatus or a processing operation position at the time of holding of a display panel board | substrate. Entering and evacuating the display panel substrate processing position of each processing apparatus, and when the display panel substrate is not held, the display panel substrate holding surface of the processing side holding means is provided below the display panel substrate holding surface. A display panel module assembling apparatus, which enters into and exits from a display panel substrate processing position of each processing work device from the above. 제1항에 있어서,
상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 상기 반송 시 패널 기판 유지 수단은, 상기 비처리 영역 유지 수단에서의 아암 형상의 유지 부재와의, 표시 패널 기판 건네주기 시의 접촉을 방지하는 퇴피 영역이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The said panel substrate holding means at the time of conveyance by the said panel substrate conveyance positioning means is provided with the retraction area | region which prevents the contact at the time of the display panel board | substrate handing with the arm-shaped holding member in the said non-processing area holding means, Display panel module assembly device characterized in that there is. 제1항에 있어서,
상기 비처리 영역 유지 수단은, 상기 처리변 유지 고정 수단에 표시 패널 기판이 위치 결정 고정된 후에, 표시 패널 기판의 유지 부재를 표시 패널 기판의 연변 하면 영역에 진입시켜 표시 패널 기판을 유지함과 함께, 상기 처리변 유지 고정 수단에의 표시 패널 기판의 위치 결정 고정이 해제되기 전에, 표시 패널 기판의 유지 부재를 표시 패널 기판의 연변 하면 영역으로부터 퇴피시키도록 제어하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The non-processing area holding means holds the display panel substrate by entering the holding member of the display panel substrate into the marginal lower surface area of the display panel substrate after the display panel substrate is fixed to the processing edge holding means. And a holding member of the display panel substrate to be retracted from the soft bottom surface region of the display panel substrate before the positioning fixing of the display panel substrate to the processing edge holding means is released. 제1항에 있어서,
상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 상기 반송 시 패널 기판 유지 수단은, 상기 비처리 영역 유지 수단에 의한 표시 패널 기판의 유지 중에, 반송되어 온 표시 패널 기판으로부터의 이격 동작과 다음에 반송하는 표시 패널 기판의 유지 동작을 행하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The said panel substrate holding means at the time of conveyance in the said panel board | substrate conveyance positioning means performs the separation operation | movement from the display panel board | substrate conveyed, and the display panel conveyed next during the holding | maintenance of the display panel board | substrate by the said non-processing area holding means. A display panel module assembling apparatus, characterized by controlling to perform holding operation of a substrate. 제1항에 있어서,
각 처리 작업 장치에서의 처리 동작과 함께, 상기 비처리 영역 유지 수단에 의한 표시 패널 기판의 유지 및 퇴피 동작 및 상기 반송 시 패널 기판 유지 수단에 의한 표시 패널 기판 유지 및 퇴피 동작은, 상기 처리변 유지 고정 수단에 의해 표시 패널 기판이 고정된 상태에서만 행하여지도록 제어하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The holding and retracting operation of the display panel substrate by the non-processing area holding means and the holding and retracting operation of the display panel substrate by the panel substrate holding means at the time of conveyance, together with the processing operation in each processing operation apparatus, hold the processing edge. A display panel module assembling apparatus, characterized in that it is controlled so as to be performed only in a state where the display panel substrate is fixed by fixing means. 제1항에 있어서,
상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단의 상기 반송 시 패널 기판 유지 수단은, 표시 패널의 반송을 행하는 처리 작업 위치 외에, 상기 처리 작업 위치 중 연속하는 두 개 사이의 중간 위치에서의 정지ㆍ대기가 가능하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The said panel substrate holding means at the time of conveyance of the said panel substrate conveyance positioning means is comprised so that stopping and waiting at the intermediate position between two consecutive of the said process operation positions besides the process operation position which conveys a display panel is possible. Display panel module assembly apparatus, characterized in that. 제1항에 있어서,
상기 처리변 유지 고정 수단의 표시 패널 기판 처리변측에, 상기 처리변 유지 고정 수단에 근접하여, 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단에 의해 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에 반송되어 온 표시 패널 기판의 자세를 검출하는 패널 기판 자세 검출 수단을 구비함과 함께, 상기 패널 기판 자세 검출 수단에 의한 표시 패널 기판 자세의 검출 결과에 의해, 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단은, 표시 패널 기판 자세를 제어하여 상기 처리변 유지 고정 수단에 표시 패널 기판을 위치 결정 건네주기하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The attitude | position of the display panel board | substrate conveyed by the said panel board | substrate conveyance positioning means to a process working apparatus or a process work position to the display panel board | substrate process side of the process side holding | maintenance holding means close to the process side holding | maintenance fixing means. The panel substrate conveyance positioning means controls the display panel substrate attitude by the detection result of the display panel substrate attitude by the panel substrate attitude detection means, while the panel substrate attitude detection means is provided. And positioning the display panel substrate to the holding fixing means. 제1항에 있어서,
각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치의 상기 처리변 유지 고정 수단은, 복수의 패널 기판 반송 위치 결정 수단과의 사이에서, 표시 패널 기판의 건네주기가 가능하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The processing side holding and fixing means of each processing working device or processing working position is configured to be capable of passing the display panel substrate between the plurality of panel substrate conveying positioning means. Device. 제1항에 있어서,
상기 처리변 유지 고정 수단은, 표시 패널 기판의 처리변측의 처리변 끝으로부터 균일한 거리 내측을, 처리변에 평행하게 또한 처리변 방향으로 가늘고 길게, 처리변 전역에 걸쳐 유지함과 함께, 표시 패널 기판을 진공 흡착하는 흡착구를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The processing side holding and fixing means maintains a uniform distance inward from the processing edge end of the processing side of the display panel substrate over the entire processing edge in parallel with the processing side and in the processing side direction. And an adsorption port for vacuum adsorption. 제1항에 있어서,
상기 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간에서, 표시 패널 기판의 반송 및 상기 처리 작업 장치 혹은 상기 처리 작업 위치에의 표시 패널 기판 위치 결정을 행하는 패널 기판 반송 위치 결정 수단에서의 반송 시에 표시 패널 기판 하면을 유지하는 상기 반송 시 패널 기판 유지 수단은, 표시 패널 기판의 유지면에 표시 패널 기판을 진공 흡착하는 흡착구를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
Display panel board | substrate at the time of conveyance of a display panel board | substrate and the panel board conveyance positioning means which performs display panel board positioning to the said processing work apparatus or the said processing work position between each said processing work apparatus or processing work positions. The said panel substrate holding means at the time of conveyance which hold | maintains a lower surface is equipped with the adsorption opening which vacuum-adsorbs a display panel substrate in the holding surface of a display panel substrate, The display panel module assembly apparatus characterized by the above-mentioned. 제1항에 있어서,
상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단은, 복수의 상기 처리 작업 장치 혹은 복수의 상기 처리 작업 위치 간에 걸치는 방향의 긴 반송 수단 상에, 그것에 직교 방향, 수직 방향 및 회전 방향의 구동 수단이 적층 구성인 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The said panel board | substrate conveyance positioning means is a laminated structure in which the drive means of a perpendicular | vertical direction, a vertical direction, and a rotational direction is laminated | stacked on the long conveying means of the direction which runs between some said processing operation apparatus or some said processing operation position. Display panel module assembly apparatus. 제1항에 있어서,
적어도 1개 이상의 상기 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에서, 상기 처리변 유지 고정 수단에 고정된 표시 패널 기판의 처리변에, 동시에 처리 작업을 행하는 처리 유닛이 복수 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
A display panel module, wherein at least one or more of the processing work devices or the processing work positions are provided with a plurality of processing units that simultaneously perform the processing work on the processing sides of the display panel substrate fixed to the processing edge holding means. Assembly device. 제1항에 있어서,
적어도 1개 이상의 상기 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에서, 상기 처리변 유지 고정 수단에 고정된 표시 패널 기판의 처리변에 처리 작업을 행하는 처리 유닛이 구비되어 있음과 함께, 상기 처리 유닛은, 표시 패널 기판의 처리변과 처리 유닛과의 상대 위치를 보정하는 처리 유닛 위치 보정 수단을 구비함과 함께, 처리를 행하는 표시 패널 기판의 처리변 자세를 검출하는 패널 기판 자세 검출 수단과, 상기 패널 기판 자세 검출 수단의 검출 결과에 의해, 상기 각 처리 유닛의 위치 보정량을 산출하는 처리 유닛 위치 보정량 산출 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.The method of claim 1,
The processing unit is provided with a processing unit for performing a processing operation on the processing side of the display panel substrate fixed to the processing side holding means by at least one or more of the processing operation apparatuses or processing operation positions. A panel substrate posture detection means for detecting a posture of a processing edge of a display panel substrate to be subjected to processing, further comprising a processing unit position correction means for correcting a relative position between the processing edge of the substrate and the processing unit; And a processing unit position correction amount calculating means for calculating the position correction amount of each processing unit by the detection result of the means. 제19항 또는 제20항에 있어서,
표시 패널 기판의 처리변에 처리 작업을 행하는 상기 처리 유닛은, 표시 패널 기판의 처리변 방향에 평행한 방향으로 이동 가능한 가동 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.21. The method according to claim 19 or 20,
The said processing unit which performs a process operation | work to the process side of a display panel board | substrate has movable means which can move to the direction parallel to the process side direction of a display panel board | substrate, The display panel module assembly apparatus characterized by the above-mentioned. 제19항에 있어서,
1개의 표시 패널 기판의 1변에 동시에 처리 작업을 행하는 복수의 처리 유닛은, 상기 처리 유닛의 배치 방향에 평행한 방향으로 이동 가능한 가동 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.20. The method of claim 19,
A plurality of processing units that simultaneously perform processing operations on one side of one display panel substrate have movable means movable in a direction parallel to the arrangement direction of the processing unit. 제19항에 있어서,
1개의 표시 패널 기판의 1변을 동시 처리 작업하는 상기 복수 처리 유닛에서의 처리 동작과 기판변의 처리 위치 간을 시프트 이동하는 시프트 이동 동작의 작업 타이밍을 제어하는 처리 유닛 동작 타이밍 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.20. The method of claim 19,
And a processing unit operation timing control means for controlling the operation timing of the shift movement operation shifting between the processing operation in the plurality of processing units that simultaneously process one side of one display panel substrate and the processing position of the substrate side. Display panel module assembly device characterized in that. 제19항 또는 제20항에 있어서,
상기 처리 유닛은, 표시 패널 기판의 폭 방향, 두께 방향, 길이 방향 및 각 축의 회전 방향 중 적어도 1개 이상의 방향에서의 각 처리 유닛 위치의 보정 수단을 가짐과 함께, 상기 위치 보정 수단을 갖는 상기 처리 유닛이, 표시 패널 기판의 처리변 방향으로 이동 가능한 가동 수단 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 장치.21. The method according to claim 19 or 20,
The processing unit has correction means for each processing unit position in at least one or more of a width direction, a thickness direction, a longitudinal direction, and a rotation direction of each axis, and the processing unit having the position correction means. The unit is arrange | positioned on the movable means which can move to the process side direction of a display panel board | substrate, The display panel module assembly apparatus characterized by the above-mentioned. 표시 패널 기판을 복수의 소정 작업 위치로 순차적으로 반송하는 패널 기판 반송 장치로서,
상기 소정 작업 위치에는, 상기 표시 패널 기판을 유지하기 위해서, 표시 패널 기판의 소정 변측의 변 끝으로부터 균일한 거리 내측을, 소정 변에 평행하게 또한 소정 변 방향으로 가늘고 길게, 소정 변 전역에 걸쳐 유지함과 함께 고정하는 소정 변 유지 고정 수단과, 상기 소정 변 유지 고정 수단에 대하여 표시 패널 기판 소정 변의 반대측의 표시 패널 기판 하면 영역을, 상방으로부터 현수 지지하는 적어도 1개 이상의 비처리 영역 유지 수단을 구비함과 함께, 인접하는 상기 소정 작업 위치 간을 왕복 이동함과 함께, 상기 소정 작업 위치에의 표시 패널 기판 위치 결정이 가능한 패널 기판 반송 위치 결정 수단을 복수 구비함과 함께, 상기 패널 기판 반송 위치 결정 수단은, 상기 소정 변 유지 고정 수단에 대하여 표시 패널 기판 소정 변의 반대측의 표시 패널 기판 하면 영역을 유지하는 반송 시 패널 기판 유지 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 패널 기판 반송 장치.As a panel substrate conveyance apparatus which conveys a display panel board | substrate to several predetermined work positions sequentially,
In order to hold the said display panel board | substrate in the said predetermined | prescribed working position, the inside of a uniform distance from the edge side of the predetermined side of a display panel board | substrate is maintained over the predetermined | prescribed side in a narrow elongate parallel to a predetermined side and a predetermined side direction. And at least one non-processing area holding means for suspending a lower surface area of the display panel substrate opposite to the predetermined side of the display panel substrate with respect to the predetermined side holding and fixing means. And a plurality of panel substrate conveyance positioning means capable of reciprocating between the adjacent predetermined work positions and enabling display panel substrate positioning to the predetermined work position, and the panel substrate conveyance positioning means. The display on the opposite side of the display panel substrate predetermined side with respect to the predetermined side holding and fixing means A panel substrate conveying apparatus comprising: a panel substrate holding means during conveyance for holding a panel substrate lower surface region. 제25항에 있어서,
상기 비처리 영역 유지 수단은, 상기 소정 변 유지 고정 수단에 의해, 각 처리 작업 시에 고정 유지되는 적어도 1개의 표시 패널 기판 위치에서, 표시 패널 기판의 비처리변의 연변 하면을 패널면보다도 상방으로부터 현수된 아암 형상의 유지 부재로 표시 패널 기판을 유지하는 유지 수단인 것을 특징으로 하는 패널 기판 반송 장치.26. The method of claim 25,
The non-processing area holding means suspends the edge of the non-processed side of the display panel substrate from above the panel surface at at least one display panel substrate position held by the predetermined edge holding means. It is a holding means which hold | maintains a display panel board | substrate with the arm-shaped holding member characterized by the above-mentioned. 제26항에 있어서,
상기 비처리 영역 유지 수단에서의 아암 형상의 유지 부재는, 표시 패널 기판의 비유지 시에 표시 패널 기판의 상면보다도 상방으로 퇴피 가능한 것을 특징으로 하는 패널 기판 반송 장치.The method of claim 26,
The arm-shaped holding member in the said non-processing area holding means can be retracted upwards rather than the upper surface of a display panel board | substrate at the time of non-holding of a display panel board | substrate. 표시 패널 기판을, 연속한 복수의 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간을 순차적으로 반송하여, 표시 패널 기판의 연변에 각종 처리 작업을 순차적으로 행함으로써 전자 부품을 실장하는 표시 패널 모듈 조립 방법으로서,
각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치에서의 처리 시에는, 처리하는 표시 패널 기판을 유지하기 위해서, 표시 패널 기판의 처리변측의 처리변 끝으로부터 균일한 거리 내측을, 처리변에 평행하게 또한 처리변 방향으로 가늘고 길게, 처리변 전역에 걸쳐 유지함과 함께 고정하고, 상기 처리변 유지 고정 위치에 대하여 표시 패널 기판 처리변의 반대측의 표시 패널 기판 연변 하면 영역을, 상방으로부터 현수 지지하는 적어도 1개 이상의 유지 부재로 표시 패널 기판을 유지함과 함께, 인접하는 상기 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간에서의 표시 패널 기판 반송 시에서는, 상기 표시 패널 기판의 하면 영역을 유지하고 인접하는 상기 각 처리 작업 장치 혹은 처리 작업 위치 간을 왕복 반송 이동하는 반송 수단에 의해 표시 패널 기판의 반송 및 상기 처리 작업 장치 혹은 상기 처리 작업 위치에의 위치 결정하는 것을 특징으로 하는 표시 패널 모듈 조립 방법.A display panel module assembling method for mounting an electronic component by sequentially conveying a display panel substrate between a plurality of continuous processing operation apparatuses or processing operation positions, and sequentially performing various processing operations on the edge of the display panel substrate.
At the time of processing at each processing work device or processing work position, in order to hold the display panel substrate to be processed, a uniform distance inward from the edge of the processing side on the processing side of the display panel substrate is parallel to the processing side and the processing side direction. At least one holding member that is held and held throughout the entire processing edge and is fixed to the surface of the lower edge of the display panel substrate opposite to the display panel substrate processing edge with respect to the processing edge holding position. While holding the display panel substrate, and at the time of conveying the display panel substrate between the adjacent processing apparatuses or the processing work positions, the lower surface area of the display panel substrate is maintained and the processing apparatuses or the processing work positions adjacent to each other. The conveyance and image of a display panel board | substrate by the conveyance means which reciprocally conveys the space | interval. Processing apparatus or the display panel module, method for assembling characterized in that the positions of the processing locations.
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