KR101204255B1 - Double-arm type two step cassette lifting robot - Google Patents

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KR101204255B1
KR101204255B1 KR1020110066540A KR20110066540A KR101204255B1 KR 101204255 B1 KR101204255 B1 KR 101204255B1 KR 1020110066540 A KR1020110066540 A KR 1020110066540A KR 20110066540 A KR20110066540 A KR 20110066540A KR 101204255 B1 KR101204255 B1 KR 101204255B1
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slider
frame
cassette
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최종갑
박용균
윤남일
박재상
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주식회사 에스엠이씨
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Abstract

PURPOSE: A double arm-type two-stage cassette lifting robot is provided to increase extra space for peripherals and to reduce the area where a robot occupies because a lifting distance from a lifting device on the ceiling to a cassette is utilized at maximum. CONSTITUTION: A double arm-type two-stage cassette lifting robot comprises a mount frame(20), a sub-frame(30), and a cassette hand(60). The mount frame is inserted into or projected from a middle part of the sub-frame. The width and length of the mount frame and the sub-frame are set to receive all the cassettes(600) in the mount frame at the uppermost position of the ascending cassette hands. A space where the robot occupies is equal no matter how the robot moves in a state where the cassettes are loaded or unloaded.

Description

더블암식 이단 카세트 이송 로봇{Double-arm type two step cassette lifting robot}Double-arm type two step cassette lifting robot

본 발명은 중심부에는 천장에 설치된 주행 대차에 결합되는 제1 회전축이 형성되며 하단부에는 상기 제1 회전축을 회전 제어시키는 주회전 모터가 형성된 마운트 플레이트와; 상기 마운트 플레이트의 양단에 하방으로 대칭 결합되는 직선 마운트 프레임과; 2개의 수직 프레임의 가운데 부분에 상기 마운트 프레임을 위치시킨 것을 대칭 형성시킨 것으로서, 상방에는 전체 4개의 수직 프레임을 연결, 고정시키는 제1 지지 프레임이 형성되고, 하방에는 상기 마운트 프레임을 양측 2개의 수직 프레임을 연결시켜 지지하는 제2 지지 프레임이 대칭 형성된 서브 프레임과; 양단에 대칭적으로, 상기 서브 프레임의 각 수직 프레임에 형성되는 것으로서, 상기 마운트 프레임의 대향면 반대측에 형성되는 제1 슬라이딩 레일과; 양단에 대칭적으로, 상기 서브 프레임의 각 수직 프레임에 형성되는 것으로서, 상기 마운트 프레임의 대향면측에 형성되는 제2 슬라이딩 레일과; 양단에 대칭적으로, 상기 마운트 프레임의 하단 외측에 고정되며, 상기 제1 슬라이딩 레일과 제1 슬라이딩 가이드로 체결되는 제1 슬라이더와; 양단에 대칭적으로, 상기 마운트 플레이트와 양측 수직 프레임 사이에 형성되며, 상기 제1 지지프레임과 제2 지지프레임에 회동 자재되도록 결합되는 제1, 제2 볼스크류와; 양단에 대칭적으로, 상기 제1 슬라이더에 고정 결합되고 상기 제1 볼스크류의 스크류 너트와 결합되는 제1 슬라이더 승강부와; 양단에 대칭적으로, 상기 서브 프레임의 제1 지지 프레임에 고정 결합되며 동력전달 수단에 의해 상기 제1, 제2 볼스크류와 연결되어 상기 제1, 제2 볼스크류들을 회전시키는 승강제어모터와; 양단에 대칭적으로, 상기 제2 슬라이딩 레일과 제2 슬라이딩 가이드로 체결되는 제2 슬라이더와; 양단에 대칭적으로, 상기 제2 슬라이더의 외측에 고정 결합되고 상기 제2 볼스크류의 스크류 너트와 결합되는 제2 슬라이더 승강부와; 상기 제2 슬라이더 하단부에 양단이 결합된 판으로서, 중심부에 제2 회전축과 상기 제2 회전축을 구동시키는 핸드 회전 모터가 형성된 핸드 플레이트와; 상기 제2 회전축에 결합되는 카세트 핸드로 구성되는 것을 특징으로 하는 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇에 관한 것이다.The present invention includes a mount plate having a first rotating shaft coupled to a running bogie mounted on a ceiling at a central portion thereof, and having a main rotating motor configured to control the rotation of the first rotating shaft at a lower end thereof. A straight mount frame symmetrically coupled downwardly at both ends of the mount plate; The mounting frame is positioned symmetrically in the center of two vertical frames, and a first support frame is formed thereon to connect and fix all four vertical frames, and the mount frame is vertically mounted on both sides. A subframe having a symmetrical second support frame supporting the frames; First sliding rails which are formed on each of the vertical frames of the sub-frame symmetrically at both ends and formed on opposite sides of the opposite surface of the mount frame; A second sliding rail formed on each of the vertical frames of the sub-frame symmetrically at both ends, the second sliding rail being formed on an opposite surface side of the mount frame; A first slider symmetrically opposite at both ends and fixed to an outer side of a lower end of the mount frame and fastened to the first sliding rail and the first sliding guide; First and second ball screws symmetrically at both ends and formed between the mount plate and both vertical frames, the first and second ball screws being pivotally coupled to the first and second support frames; A first slider lifter symmetrically opposite at both ends, the first slider lifter being fixedly coupled to the first slider and engaged with the screw nut of the first ball screw; A lift control motor symmetrically opposite at both ends, the lift control motor being fixedly coupled to the first support frame of the sub-frame and connected to the first and second ball screws by a power transmission means to rotate the first and second ball screws; A second slider symmetrically at both ends, the second slider being fastened by the second sliding rail and the second sliding guide; A second slider lifting portion symmetrically opposite at both ends and fixedly coupled to an outer side of the second slider and engaged with a screw nut of the second ball screw; A plate having both ends coupled to a lower end of the second slider, wherein a hand plate having a second rotary shaft and a hand rotary motor for driving the second rotary shaft in a central portion thereof; It relates to a two-stage double arm type two-stage cassette transfer robot, characterized in that consisting of a cassette hand coupled to the second rotary shaft.

본 발명은 물체 이송용 싱글암 카세트 리프트 로봇에 관한 것으로서, 특히 반도체 웨이퍼나 액정표시소자 글래스(LCD glass), 솔라셀의 제조공정 라인과 같이 고청정도를 요하는 환경에서 사용되는 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a single arm cassette lift robot for object transfer, and more particularly, to a robot used in an environment requiring high cleanliness, such as a semiconductor wafer, a liquid crystal display device glass, or a manufacturing line for a solar cell.

반도체 제조 과정에서는, 반도체 웨이퍼를 카세트에 적재하거나 또는 한 공정에서 다음 공정으로 이송하기 위하여, 제조라인에서 웨이퍼를 적재한 카세트를 자동으로 반송하는 다관절 로보트가 사용된다. In the semiconductor manufacturing process, in order to load a semiconductor wafer into a cassette or to transfer it from one process to the next, a multi-joint robot which automatically conveys a cassette loaded with a wafer in a manufacturing line is used.

상기 다관절 로보트는 전동식 핸드를 이용하여 웨이퍼 카세트를 고청정의 환경하에서 다른 로보트 및 설비 사이에 신속, 정확히 전달하는 기능을 수행한다.The articulated robot performs a function of quickly and accurately transferring a wafer cassette between other robots and facilities under a high clean environment by using an electric hand.

이와 같이 종래의 로봇은, 본체의 상단에 회전가능하게 설치된 로봇아암과, 로봇아암의 선단에 설치된 핸드를 구비하여서, 반도체 웨이퍼를 클램핑한 후, 상기 로봇아암의 승강 및 회전운동을 이용하여 이송시키도록 구성되어 있다.  As described above, the conventional robot includes a robot arm rotatably installed at the upper end of the main body and a hand provided at the tip of the robot arm, and clamps the semiconductor wafer to transfer the robot arm by lifting and rotating the robot arm. It is configured to.

그런데, 종래의 로봇은 다관절의 복잡한 구성으로 인하여, 로봇암 자체의 크기가 크고, 다관절의 구동을 위한 회전반경과 작동공간 여유가 크며, 천장에 설치된 이송장치로부터 카세트 까지의 승강거리를 고려하여야 하므로 주변장치 여유공간와 공정 활용공간을 크게 설계해야 하는 문제점이 있다.However, the conventional robot has a large size of the robot arm itself due to the complex configuration of the articulated joint, a large radius of rotation and a large working space for driving the articulated joint, and the lifting distance from the ceiling-mounted conveying device to the cassette is considered. Therefore, there is a problem in that the peripheral space and the process utilization space should be largely designed.

본 발명은 반도체 웨이퍼나 액정표시소자 글래스(LCD glass), 솔라셀의 제조공정 라인에 사용되는 다관절 로봇의 자체의 크기를 최소화시키면서, 다관절의 구동을 위한 회전반경과 작동공간 여유를 최소화시키고, 천장에 설치된 이송장치로부터 카세트 까지의 승강거리를 여유를 최대한 활용할 수 있게하여, 주변장치 여유공간와 공정 활용공간을 크게 축소시키는 더블암식 이단 카세트 이송 로봇을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention minimizes the size of the articulated robot used in the manufacturing process line of semiconductor wafer, liquid crystal display (LCD) glass, and solar cell, and minimizes the rotation radius and operating space for driving the articulated joint. It is an object of the present invention to provide a double-armed two-stage cassette transfer robot that greatly reduces the free space and process utilization space of the peripheral device by making the most of the lifting distance from the transfer device installed on the ceiling to the cassette.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 중심부에는 천장에 설치된 주행 대차에 결합되는 제1 회전축이 형성되며 하단부에는 상기 제1 회전축을 회전 제어시키는 주회전 모터가 형성된 마운트 플레이트와; 상기 마운트 플레이트의 양단에 하방으로 대칭 결합되는 직선 마운트 프레임과; 2개의 수직 프레임의 가운데 부분에 상기 마운트 프레임을 위치시킨 것을 대칭 형성시킨 것으로서, 상방에는 전체 4개의 수직 프레임을 연결, 고정시키는 제1 지지 프레임이 형성되고, 하방에는 상기 마운트 프레임을 양측 2개의 수직 프레임을 연결시켜 지지하는 제2 지지 프레임이 대칭 형성된 서브 프레임과; 양단에 대칭적으로, 상기 서브 프레임의 각 수직 프레임에 형성되는 것으로서, 상기 마운트 프레임의 대향면 반대측에 형성되는 제1 슬라이딩 레일과; 양단에 대칭적으로, 상기 서브 프레임의 각 수직 프레임에 형성되는 것으로서, 상기 마운트 프레임의 대향면측에 형성되는 제2 슬라이딩 레일과; 양단에 대칭적으로, 상기 마운트 프레임의 하단 외측에 고정되며, 상기 제1 슬라이딩 레일과 제1 슬라이딩 가이드로 체결되는 제1 슬라이더와; 양단에 대칭적으로, 상기 마운트 플레이트와 양측 수직 프레임 사이에 형성되며, 상기 제1 지지프레임과 제2 지지프레임에 회동 자재되도록 결합되는 제1, 제2 볼스크류와; 양단에 대칭적으로, 상기 제1 슬라이더에 고정 결합되고 상기 제1 볼스크류의 스크류 너트와 결합되는 제1 슬라이더 승강부와; 양단에 대칭적으로, 상기 서브 프레임의 제1 지지 프레임에 고정 결합되며 동력전달 수단에 의해 상기 제1, 제2 볼스크류와 연결되어 상기 제1, 제2 볼스크류들을 회전시키는 승강제어모터와; 양단에 대칭적으로, 상기 제2 슬라이딩 레일과 제2 슬라이딩 가이드로 체결되는 제2 슬라이더와; 양단에 대칭적으로, 상기 제2 슬라이더의 외측에 고정 결합되고 상기 제2 볼스크류의 스크류 너트와 결합되는 제2 슬라이더 승강부와; 상기 제2 슬라이더 하단부에 양단이 결합된 판으로서, 중심부에 제2 회전축과 상기 제2 회전축을 구동시키는 핸드 회전 모터가 형성된 핸드 플레이트와; 상기 제2 회전축에 결합되는 카세트 핸드로 구성되는 것을 특징으로 하는 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇을 기술적 요지로 한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a mount plate having a main rotating motor coupled to a traveling bogie mounted on a ceiling at a central portion thereof, and a main rotating motor formed at a lower end thereof to rotationally control the first rotating shaft; A straight mount frame symmetrically coupled downwardly at both ends of the mount plate; The mounting frame is positioned symmetrically in the center of two vertical frames, and a first support frame is formed thereon to connect and fix all four vertical frames, and the mount frame is vertically mounted on both sides. A subframe having a symmetrical second support frame supporting the frames; First sliding rails which are formed on each of the vertical frames of the sub-frame symmetrically at both ends and formed on opposite sides of the opposite surface of the mount frame; A second sliding rail formed on each of the vertical frames of the sub-frame symmetrically at both ends, the second sliding rail being formed on an opposite surface side of the mount frame; A first slider symmetrically opposite at both ends and fixed to an outer side of a lower end of the mount frame and fastened to the first sliding rail and the first sliding guide; First and second ball screws symmetrically at both ends and formed between the mount plate and both vertical frames, the first and second ball screws being pivotally coupled to the first and second support frames; A first slider lifter symmetrically opposite at both ends, the first slider lifter being fixedly coupled to the first slider and engaged with the screw nut of the first ball screw; A lift control motor symmetrically opposite at both ends, the lift control motor being fixedly coupled to the first support frame of the sub-frame and connected to the first and second ball screws by a power transmission means to rotate the first and second ball screws; A second slider symmetrically at both ends, the second slider being fastened by the second sliding rail and the second sliding guide; A second slider lifting portion symmetrically opposite at both ends and fixedly coupled to an outer side of the second slider and engaged with a screw nut of the second ball screw; A plate having both ends coupled to a lower end of the second slider, wherein a hand plate having a second rotary shaft and a hand rotary motor for driving the second rotary shaft in a central portion thereof; Two-stage double-armed two-stage cassette transfer robot characterized in that it consists of a cassette hand coupled to the second rotating shaft is a technical gist.

여기서 상기 동력전달수단은 상기 제1 슬라이더와 제2 슬라이더가 동일 승강 방향을 형성하도록 상기 제1. 제2 볼스크류를 회전시키는 밸트 또는 나사 결합체인 것을 특징으로 하는 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇으로 되는 것이 바람직하다.Wherein the power transmission means is configured such that the first slider and the second slider form the same lifting direction. It is preferable to be a two-stage double-armed two-stage cassette transfer robot, characterized in that it is a belt or screw assembly for rotating the second ball screw.

또한, 상기 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇은 상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 마운트 프레임 내부에 상기 카세트 핸드에 결합된 카세트가 전부 수용되도록 상기 마운트 프레임과 서브 프레임의 폭과 길이를 정하는 것을 특징으로 하는 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇으로 되는 것이 바람직하다.In addition, the two-stage double-arm two-stage cassette transfer robot determines the width and length of the mount frame and the sub-frame so that the cassette coupled to the cassette hand is completely accommodated inside the mount frame at the uppermost position of the cassette hand. It is preferable to become a two-stage double-arm type two-stage cassette transfer robot.

또한, 상기 제2 슬라이더는 상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 핸드 회전 모터와 주회전 모터, 승강 제어모터의 수용 공간이 형성되도록 하방으로 연장된 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇으로 되는 것이 바람직하다.In addition, the second slider has a two-stage double-arm two-stage cassette transfer robot, characterized in that it has a length extending downward so that the receiving space of the hand rotating motor, the main rotating motor, the elevating control motor is formed at the uppermost position of the cassette hand. It is preferable to become.

상기한 본 발명에 의하여 반도체 웨이퍼나 액정표시소자 글래스(LCD glass), 솔라셀의 제조공정 라인에 사용되는 다관절 로봇의 자체의 크기를 최소화시키면서, 다관절의 구동을 위한 회전반경과 작동공간 여유를 최소화시키고, 천장에 설치된 이송장치로부터 카세트 까지의 승강거리를 여유를 최대한 활용할 수 있게하여, 주변장치 여유공간와 공정 활용공간을 크게 축소시키는 더블암식 이단 카세트 이송 로봇이 제공되는 이점이 있다.According to the present invention described above, while minimizing the size of the articulated robot used in the manufacturing process line of the semiconductor wafer, the liquid crystal display device glass, and the solar cell, the rotation radius and the operating space for driving the articulated joints Minimize the space, and make it possible to make maximum use of the lifting distance from the ceiling-mounted transfer device to the cassette, thereby providing a double-armed two-stage cassette transfer robot that greatly reduces the peripheral space and the process utilization space.

도 1은 본 발명의 카세트 핸드 최상단 위치에서의 사시도
도 2는 본 발명의 카세트 핸드 최하단 위치에서의 사시도
도 3은 도 1의 상태에서 정면도
도 4는 도 3의 상태에서 정면도
도 5는 본 발명의 평면도
도 6은 도 1의 상태에서 본 발명의 측면도
도 7은 도 2의 상태에서 본 발명의 측면도
도 8 내지 도 11은 본 발명의 동력전달장치 예시도
도 12는 카세트를 핸들링한 도 1의 상태 사시도1 is a perspective view of the cassette hand top position of the present invention;
Figure 2 is a perspective view of the cassette hand lowest position of the present invention
3 is a front view in the state of FIG.
4 is a front view in the state of FIG.
5 is a plan view of the present invention
Figure 6 is a side view of the present invention in the state of Figure 1
Figure 7 is a side view of the present invention in the state of Figure 2
8 to 11 is an exemplary view of a power transmission device of the present invention
12 is a perspective view of the state of FIG. 1 with a cassette handled;

이하 도면을 참조하여 본 발명에 관하여 살펴보기로 하며, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of related arts or configurations will be omitted when it is determined that the gist of the present invention may be unnecessarily obscured will be.

그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있으므로 그 정의는 본 발명을 설명하는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to be exemplary, self-explanatory, allowing for equivalent explanations of the present invention.

이하의 도 1은 본 발명의 카세트 핸드 최상단 위치에서의 사시도이며, 도 2는 본 발명의 카세트 핸드 최하단 위치에서의 사시도이며, 도 3은 도 1의 상태에서 정면도이며, 도 4는 도 3의 상태에서 정면도이며, 도 5는 본 발명의 평면도이며, 도 6은 도 1의 상태에서 본 발명의 측면도이며, 도 7은 도 2의 상태에서 본 발명의 측면도이며, 도 8 내지 도 11은 본 발명의 동력전달수단 예시도며, 도 12는 카세트를 핸들링한 도 1의 상태 사시도이다.
1 is a perspective view of the cassette hand uppermost position of the present invention, Figure 2 is a perspective view of the cassette hand lowermost position of the present invention, Figure 3 is a front view in the state of Figure 1, Figure 4 is a state of Figure 3 5 is a plan view of the present invention, Figure 6 is a side view of the present invention in the state of Figure 1, Figure 7 is a side view of the present invention in the state of Figure 2, Figures 8 to 11 of the present invention Exemplary power transmission means, Figure 12 is a perspective view of the state of Figure 1 handling the cassette.

도면에 도시된 바와 같이 본 발명은 반도체 웨이퍼나 액정표시소자 글래스(LCD glass), 솔라셀의 제조공정 라인 등에 사용되는 로봇에 관한 것으로서, 크게 제1 회전축(100)과 주회전 모터(미도시)와 마운트 플레이트(10)와 마운트 프레임(20)과 제1 지지 프레임(31)과 제2 지지 프레임(32)과 서브 프레임(30)과 제1 슬라이딩 레일(300)과 제2 슬라이딩 레일(410)과 제1 슬라이더(200)와 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)와 제1 볼스크류의 스크류 너트(24)와 제1 슬라이더 승강부(220)와 동력전달수단(미도시)과 승강제어모터(41)와 제2 슬라이더(400)와 제2 볼스크류의 스크류 너트(23)와 제2 슬라이더 승강부(420)와 제2 회전축(50)과 핸드 회전 모터(51)와 핸드 플레이트(40)와 카세트 핸드(60)로 구성된다.
As shown in the drawings, the present invention relates to a robot used in a semiconductor wafer, a liquid crystal display device glass (LCD glass), a solar cell manufacturing process line, and the like, and mainly includes a first rotating shaft 100 and a main rotating motor (not shown). And the mount plate 10, the mount frame 20, the first support frame 31, the second support frame 32, the subframe 30, the first sliding rail 300, and the second sliding rail 410. And the first slider 200, the first ball screw 21, the second ball screw 22, the screw nut 24 of the first ball screw, the first slider lifting unit 220 and the power transmission means (not shown). ), The elevating control motor 41, the second slider 400, the screw nut 23 of the second ball screw, the second slider elevating unit 420, the second rotating shaft 50, the hand rotating motor 51, It consists of a hand plate 40 and a cassette hand 60.

본 발명은 1개의 고정 프레임에 2개의 슬라이더가 장치의 대칭 중심선을 향하여 순차 대칭 형성되어진 카세트 이송 로봇용 승강장치가 된다.The present invention provides a hoisting apparatus for a cassette transfer robot, in which two sliders are sequentially formed symmetrically toward a symmetric centerline of a device on one fixed frame.

상기 고정 프레임은 제1 회전축(100)에 의하여 천장에 부착된 주행 대차에 결합되는 지지부로서, 본 발명의 마운트 플레이트(10)에 의해 구성된다.The fixed frame is a support part coupled to the traveling cart attached to the ceiling by the first rotating shaft 100 and is constituted by the mount plate 10 of the present invention.

본 발명의 마운트 플레이트(10)는 도 1과 도 2에 돗된 바와 같이 중심부에는 천장에 설치된 주행 대차에 결합되는 제1 회전축(100)이 형성되며 하단부에는 상기 제1 회전축(100)을 회전 제어시키는 주회전 모터(미도시)가 형성된 지지판이다.As shown in FIGS. 1 and 2, the mount plate 10 of the present invention has a first rotary shaft 100 coupled to a traveling bogie installed on a ceiling at a central portion thereof, and a lower portion of the mount plate 10 controls rotation of the first rotary shaft 100. It is a support plate on which a main rotating motor (not shown) is formed.

상기 마운트 플레이트(10)의 제1 회전축(100) 하부에 본 발명의 장치가 설치되어 장체 전체의 주행 및 회전을 담당하게 된다.The device of the present invention is installed below the first rotating shaft 100 of the mount plate 10 to be in charge of driving and rotating the entire body.

본 발명의 마운트 프레임(20)은 상기 마운트 플레이트(10)의 양단에 하방으로 대칭 결합되는 직선 프레임이다.Mount frame 20 of the present invention is a straight frame that is symmetrically coupled to both ends of the mounting plate 10 downward.

본 발명의 서브 프레임(30)은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 마운트 프레임(20)에 대칭적으로 양측면에 세워지는 두개의 수직 프레임이다.As shown in FIG. 2, the sub-frame 30 of the present invention is two vertical frames erected on both sides symmetrically to the mount frame 20.

상기 수직 프레임의 상방에는 양단을 합친 전체 4개의 수직 프레임을 연결, 고정시키는 사각 격자형 제1 지지 프레임(31)이 형성되어 지지되고, 상기 마운트 프레임(20)의 양측에 대칭적으로 형성된 2개의 수직 프레임은 하부가 제2 지지 프레임(32)에 의해 연결된다.Above the vertical frame, a square lattice first support frame 31 is formed and supported to connect and fix all four vertical frames in which both ends are combined, and two symmetrically formed on both sides of the mount frame 20. The vertical frame is connected at the bottom by the second support frame 32.

따라서, 상기 서브 프레임(30)은 전체적으로 아래가 개방된 ∩자형 격자 프레임이 된다.Thus, the subframe 30 becomes a U-shaped lattice frame with the bottom open as a whole.

본 발명에서 상기 마운트 프레임(20)의 양측면에 형성되어진 2개의 수직 프레임의 가운데 부분은 상기 마운트 프레임(20)의 승강이동 공간으로 사용된다.In the present invention, the middle portions of the two vertical frames formed on both sides of the mount frame 20 are used as the lifting space of the mount frame 20.

상기 마운트 프레임(20)과 서브 프레임(30)은 제1 슬라이더(200)에 의하여 연결되어 슬라이딩 결합된다.The mount frame 20 and the sub frame 30 are connected by the first slider 200 and are slidably coupled.

자세하게는 상기 서브 프레임(30)은 대칭 형성되므로 서로 마주보는 대향면과 그 반대면이 형성되는데, 상기 대향면과 대향면의 반대면에 각각 슬라이딩 레일이 형성된다.In detail, since the subframe 30 is symmetrically formed, opposite surfaces facing each other and opposite surfaces thereof are formed, and sliding rails are formed on opposite surfaces of the opposite and opposite surfaces, respectively.

상기 서브 프레임(30)의 대향면에 형성되는 것을 제2 슬라이딩 레일(410)이라 하고, 상기 서브 프레임(30)의 대향면 반대측에 형성되는 것을 제1 슬라이딩 레일(300)이라 한다.The second sliding rail 410 is formed on the opposite surface of the sub frame 30, and the second sliding rail 300 is formed on the opposite side of the sub frame 30.

상기 서브 프레임(30)의 대향면은 장치의 중심선을 향하는 내측이 되고, 상기 서브 프레임(30)의 대향면 반대측은 장치의 중심선 반대측을 향하는 외측면이 된다.
The opposing face of the subframe 30 is the inner side facing the center line of the apparatus, and the opposing face of the subframe 30 is the outer side facing the centerline opposite side of the apparatus.

상기 마운트 프레임(20)과 서브 프레임(30)은 서로 평행하는 프레임 구조이므로 상기 마운트 프레임(20)과 서브 프레임(30) 사이에도 2개의 공간이 발생되는데, 본 발명의 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 마운트 프레임(20)과 서브 프레임(30) 사이 공간에 형성된다.Since the mount frame 20 and the subframe 30 have a parallel frame structure, two spaces are also generated between the mount frame 20 and the subframe 30. The first ball screw 21 of the present invention is provided. And the second ball screw 22 are formed in the space between the mount frame 20 and the sub-frame 30 as shown in FIG.

상기 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)가 형성되는 공간의 상하에는 제1 지지 프레임(31)과 제2 지지 프레임(32)이 형성되므로 상기 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)의 상측은 제1 지지 프레임(31)에 하측은 제2 지지 프레임(32)에 회동 자재되도록 결합된다.
Since the first support frame 31 and the second support frame 32 are formed above and below the space where the first ball screw 21 and the second ball screw 22 are formed, the first ball screw 21 and The upper side of the second ball screw 22 is coupled to the first support frame 31 so that the lower side is rotated to the second support frame 32.

상기 마운트 프레임(20)의 하단 외측에는 도 1 또는 도 3에 도시된 바와 같이 대칭적으로 상기 제1 슬라이딩 레일(300)과 제1 슬라이딩 가이드(210)로 체결되는 제1 슬라이더(200)가 고정 결합되고, 상기 제1 슬라이더(200)의 내측에는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제1 볼스크류의 스크류 너트(24)와 결합되는 제1 슬라이더 승강부(220)가 형성된다.As shown in FIG. 1 or 3, the first slider 200 fastened to the first sliding rail 300 and the first sliding guide 210 is fixed to the outside of the lower end of the mount frame 20. The first slider lifting part 220 coupled to the screw nut 24 of the first ball screw is formed inside the first slider 200 as shown in FIG. 3.

상기 제1 슬라이더 승강부(220)는 상기 제1 슬라이더(200)에 고정되므로 상기 제1 볼스크류(21)의 회전에 따라 상기 제1 슬라이더(200)을 승강시킨다. Since the first slider lifting unit 220 is fixed to the first slider 200, the first slider 200 moves up and down according to the rotation of the first ball screw 21.

따라서, 상기 제1 슬라이더(200)가 마운트 프레임(20)의 하방에 고정되므로, 상기 제1 슬라이딩 레일(300)에 슬라이딩 결합된 상기 서브 프레임(30)은 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 제1 볼스크류(21)에 의해 상기 마운트 프레임(20)의 길이를 따라 승강된다.
Therefore, since the first slider 200 is fixed below the mount frame 20, the subframe 30 slidingly coupled to the first sliding rail 300 is as shown in FIGS. 1 and 2. The first ball screw 21 is lifted along the length of the mount frame 20.

본 발명의 제2 슬라이더(400)는 상기 제2 슬라이딩 레일(410)에 대칭적으로 슬라이딩 결합되는 판이다.The second slider 400 of the present invention is a plate symmetrically coupled to the second sliding rail 410.

즉, 상기 제2 슬라이더(400)는 서브 프레임(30)의 내측에 슬라이딩 결합된다.That is, the second slider 400 is slidingly coupled to the inside of the subframe 30.

상기 제2 슬라이더(400)의 외측에는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 제2 볼스크류의 스크류 너트(23)와 결합되는 제2 슬라이더 승강부(420)가 고정 결합된다.As shown in FIG. 3, the second slider lifting unit 420 fixedly coupled to the screw nut 23 of the second ball screw is fixed to the outside of the second slider 400.

본 발명의 핸드 플레이트(40)는 상기 제2 슬라이더(400) 하단부에 양단이 결합된 판으로서, 중심부에 제2 회전축(50)과 상기 제2 회전축(50)을 구동시키는 핸드 회전 모터(51)가 형성되며, 상기 제2 회전축(50)에는 카세트 핸드(60)가 결합된다.The hand plate 40 of the present invention is a plate having both ends coupled to a lower end of the second slider 400, and a hand rotating motor 51 driving a second rotating shaft 50 and the second rotating shaft 50 at a central portion thereof. Is formed, and the cassette hand 60 is coupled to the second rotation shaft 50.

따라서, 상기 제2 슬라이더(400)에 결합된 카세트 핸드(60)는 제2 볼스크류(22)의 회전력에 의하여 제2 슬라이딩 레일(410)을 따라 승강된다.
Accordingly, the cassette hand 60 coupled to the second slider 400 is lifted along the second sliding rail 410 by the rotational force of the second ball screw 22.

상기한 바와 같이 제1 슬라이더(200)와 제2 슬라이더(400)는 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)의 회전력에 의하여 도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 승강되는데, 상기 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)는 승강제어모터(41)에 의하여 회전된다.As described above, the first slider 200 and the second slider 400 are elevated as shown in FIGS. 1 and 2 by the rotational force of the first ball screw 21 and the second ball screw 22. The first ball screw 21 and the second ball screw 22 are rotated by the lift control motor 41.

상기 승강제어모터(41)는 상기 서브 프레임(30)의 상단에서 제1 지지 프레임(31)에 고정 결합되며 동력전달 수단(미도시)에 의해 상기 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)와 연결된다.The elevating control motor 41 is fixedly coupled to the first support frame 31 at the upper end of the sub-frame 30 and by the power transmission means (not shown) the first ball screw 21 and the second ball screw. It is connected with (22).

여기서 상기 동력전달수단(미도시)은 상기 제1 슬라이더(200)와 제2 슬라이더(400)가 동일 승강 방향을 형성하도록 상기 제1. 제2 볼스크류(22)를 회전시키는 밸트 또는 나사 결합체로 형성한다.
Wherein the power transmission means (not shown) is the first slider 200 and the second slider 400 so that the same lifting direction to the first. It is formed of a belt or screw assembly for rotating the second ball screw (22).

상기 동력전달수단(미도시)은 상기 서브 프레임(30)의 상단에서 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)의 상단에 상기 승강제어모터(41) 회전축을 연결시키며 형성될 수 있는데, 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)의 회전 나사의 방향이 같을 경우에는 도 8의 기어 결합체나 도 10의 밸트로 형성시킬 수 있으며, 제1 볼스크류(21)와 제2 볼스크류(22)의 회전 나사방향이 다를 경우에는 도 9의 기어 결합체나 도 11의 밸트로 형성시킬 수 있다.
The power transmission means (not shown) may be formed by connecting the lifting control motor 41 rotating shaft to an upper end of the first ball screw 21 and the second ball screw 22 at the upper end of the sub-frame 30. However, when the direction of the rotation screw of the first ball screw 21 and the second ball screw 22 is the same, it can be formed by the gear assembly of Figure 8 or the belt of Figure 10, and the first ball screw 21 and When the rotational screw direction of the second ball screw 22 is different, it may be formed by the gear assembly of FIG. 9 or the belt of FIG.

한편, 본 발명은 상기한 바와 같이 마운트 프레임(20)은 상기 서브 프레임(30)의 중간 부분에 도 6과 도 7에 도시된 바와 같이 마치 피스톤처럼 삽출된다.On the other hand, the present invention, as described above, the mount frame 20 is inserted in the middle portion of the sub-frame 30 as shown in Figure 6 and 7 as a piston.

따라서, 상기 카세트 핸드(60) 최상단 상승 위치에서 도 12에 도시된 바와 같이 상기 마운트 프레임(20) 내부에 상기 카세트 핸드(60)에 결합된 카세트(600)가 전부 수용되도록 상기 마운트 프레임(20)과 서브 프레임(30)의 폭과 길이를 정한다.Accordingly, as shown in FIG. 12, the mount frame 20 is accommodated in the mount frame 20 such that the cassette 600 coupled to the cassette hand 60 is completely accommodated. And the width and length of the subframe 30.

본 발명의 이러한 구성은 카세트(600)를 적재하지 않은 상태에서 이동시 차지하는 공간과 카세트(600)를 적재한 이후에 이동시 차지하는 공간을 동일하게 하여 공장 설비내에서 최소 공간으로 최대 효율을 형성시킨다.This configuration of the present invention equals the space occupied when moving in a state in which the cassette 600 is not loaded and the space occupied when moving after the cassette 600 is made to form the maximum efficiency in the minimum space in the factory facility.

또한, 상기 제2 슬라이더(400)는 상기 카세트 핸드(60) 최상단 상승 위치에서 상기 핸드 회전 모터(51)와 주회전 모터(미도시), 승강제어모터(41)의 수용 공간이 형성되도록 하방으로 필요 공간이 확보되는 길이를 가지게 한다.
In addition, the second slider 400 is downward so that the receiving space of the hand rotating motor 51, the main rotating motor (not shown), and the lifting control motor 41 is formed at the uppermost rising position of the cassette hand 60. Make sure you have the length of space needed.

이상 설명한 본 발명에 의하면, 반도체 웨이퍼나 액정표시소자 글래스(LCD glass), 솔라셀의 제조공정 라인 등에서 천장에 설치된 주행대차에 의하여 카세트(600) 위치로 이송되며, 주회전 모터(미도시)로 카세트(600)의 위치를 맞추며, 하강하여 카세트(600)를 결합시키고. 승강시 핸드 회전모터(51)로 카세트(600)의 승강 방향을 정하며, 카세트(600)를 결합한 상태로 승강한 후에는 승강 전 장치가 차지한 공간과 동일 공간을 차지하는 더블암식 이단 카세트 이송 로봇이 제공된다
According to the present invention described above, it is transferred to the cassette 600 position by a traveling cart mounted on the ceiling in a semiconductor wafer, a liquid crystal display device glass (LCD glass), a solar cell manufacturing process line, or the like, and a main rotating motor (not shown). Align the cassette 600 and descend to engage the cassette 600. When lifting, the lifting direction of the cassette 600 is determined by the hand rotating motor 51, and after lifting up with the cassette 600 coupled, a double arm type two-stage cassette transfer robot is provided which occupies the same space as the space occupied by the device before lifting. do

이상 본 발명의 설명을 위하여 도시된 도면은 본 발명이 구체화되는 하나의 실시예로서 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 요지가 실현되기 위하여 다양한 형태의 조합이 가능함을 알 수 있다.It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

따라서 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다. Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims. It will be said that the technical spirit of this invention is to the extent possible.

10 : 마운트 플레이트 20 : 마운트 프레임
21 : 제1 볼스크류 22 : 제2 볼스크류
23 : 제2 볼스크류의 스크류 너트 24 : 제1 볼스크류의 스크류 너트
30 : 서브 프레임 31 : 제1 지지 프레임
32 : 제2 지지 프레임 40 : 핸드 플레이트
41 : 승강제어모터 50 : 제2 회전축
51 : 핸드 회전 모터 60 : 카세트 핸드
100 : 제1 회전축 200 : 제1 슬라이더
210 : 제1 슬라이딩 가이드 220 : 제1 슬라이더 승강부
300 : 제1 슬라이딩 레일 400 : 제2 슬라이더
410 : 제2 슬라이딩 레일 420 : 제2 슬라이딩 가이드
420 : 제2 슬라이더 승강부10: mount plate 20: mount frame
21: first ball screw 22: second ball screw
23: screw nut of the second ball screw 24: screw nut of the first ball screw
30: subframe 31: first support frame
32: second support frame 40: hand plate
41: lift control motor 50: second rotation axis
51: hand rotating motor 60: cassette hand
100: first rotation axis 200: first slider
210: first sliding guide 220: first slider lifting unit
300: first sliding rail 400: second slider
410: second sliding rail 420: second sliding guide
420: second slider lifting unit

Claims (4)

중심부에는 천장에 설치된 주행 대차에 결합되는 제1 회전축이 형성되며 하단부에는 상기 제1 회전축을 회전 제어시키는 주회전 모터가 형성된 마운트 플레이트와;
상기 마운트 플레이트의 양단에 하방으로 대칭 결합되는 직선 마운트 프레임과;
2개의 수직 프레임의 가운데 부분에 상기 마운트 프레임을 위치시킨 것을 대칭 형성시킨 것으로서, 상방에는 전체 4개의 수직 프레임을 연결, 고정시키는 제1 지지 프레임이 형성되고, 하방에는 상기 마운트 프레임을 양측 2개의 수직 프레임을 연결시켜 지지하는 제2 지지 프레임이 대칭 형성된 서브 프레임과;
양단에 대칭적으로, 상기 서브 프레임의 각 수직 프레임에 형성되는 것으로서, 상기 마운트 프레임의 대향면 반대측에 형성되는 제1 슬라이딩 레일과;
양단에 대칭적으로, 상기 서브 프레임의 각 수직 프레임에 형성되는 것으로서, 상기 마운트 프레임의 대향면측에 형성되는 제2 슬라이딩 레일과;
양단에 대칭적으로, 상기 마운트 프레임의 하단 외측에 고정되며, 상기 제1 슬라이딩 레일과 제1 슬라이딩 가이드로 체결되는 제1 슬라이더와;
양단에 대칭적으로, 상기 마운트 플레이트와 양측 수직 프레임 사이에 형성되며, 상기 제1 지지프레임과 제2 지지프레임에 회동 자재되도록 결합되는 제1, 제2 볼스크류와;
양단에 대칭적으로, 상기 제1 슬라이더에 고정 결합되고 상기 제1 볼스크류의 스크류 너트와 결합되는 제1 슬라이더 승강부와;
양단에 대칭적으로, 상기 서브 프레임의 제1 지지 프레임에 고정 결합되며 동력전달 수단에 의해 상기 제1, 제2 볼스크류와 연결되어 상기 제1, 제2 볼스크류들을 회전시키는 승강제어모터와;
양단에 대칭적으로, 상기 제2 슬라이딩 레일과 제2 슬라이딩 가이드로 체결되는 제2 슬라이더와;
양단에 대칭적으로, 상기 제2 슬라이더의 외측에 고정 결합되고 상기 제2 볼스크류의 스크류 너트와 결합되는 제2 슬라이더 승강부와;
상기 제2 슬라이더 하단부에 양단이 결합된 판으로서, 중심부에 제2 회전축과 상기 제2 회전축을 구동시키는 핸드 회전 모터가 형성된 핸드 플레이트와;
상기 제2 회전축에 결합되는 카세트 핸드로
구성되는 것을 특징으로 하는 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇.A mount plate formed at a central portion thereof with a first rotating shaft coupled to a running bogie installed on the ceiling, and a lower end portion having a main rotating motor configured to control the rotation of the first rotating shaft;
A straight mount frame symmetrically coupled downwardly at both ends of the mount plate;
The mounting frame is positioned symmetrically in the center of two vertical frames, and a first support frame is formed thereon to connect and fix all four vertical frames. A subframe having a symmetrical second support frame supporting the frames;
First sliding rails which are formed on each of the vertical frames of the sub-frame symmetrically at both ends and formed on opposite sides of the opposite surface of the mount frame;
A second sliding rail formed on each of the vertical frames of the sub-frame symmetrically at both ends, the second sliding rail being formed on an opposite surface side of the mount frame;
A first slider symmetrically opposite at both ends and fixed to an outer side of a lower end of the mount frame and fastened to the first sliding rail and the first sliding guide;
First and second ball screws symmetrically at both ends and formed between the mount plate and both vertical frames, the first and second ball screws being pivotally coupled to the first and second support frames;
A first slider lifter symmetrically opposite at both ends, the first slider lifter being fixedly coupled to the first slider and engaged with the screw nut of the first ball screw;
A lift control motor symmetrically opposite at both ends, the lift control motor being fixedly coupled to the first support frame of the sub-frame and connected to the first and second ball screws by a power transmission means to rotate the first and second ball screws;
A second slider symmetrically at both ends, the second slider being fastened by the second sliding rail and the second sliding guide;
A second slider lifting portion symmetrically opposite at both ends and fixedly coupled to an outer side of the second slider and engaged with a screw nut of the second ball screw;
A plate having both ends coupled to a lower end of the second slider, wherein a hand plate having a second rotary shaft and a hand rotary motor for driving the second rotary shaft in a central portion thereof;
With a cassette hand coupled to the second axis of rotation
Two-stage double-armed two-stage cassette transfer robot, characterized in that the configuration. 제1항에 있어서 상기 동력전달수단은
상기 제1 슬라이더와 제2 슬라이더가 동일 승강 방향을 형성하도록 상기 제1. 제2 볼스크류를 회전시키는 밸트 또는 나사 결합체인 것을 특징으로 하는 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇.The method of claim 1 wherein the power transmission means
The first slider such that the first slider and the second slider to form the same lifting direction. Two-stage double-armed two-stage cassette transfer robot, characterized in that the belt or screw assembly for rotating the second ball screw. 제1항에 있어서 상기 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇은
상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 마운트 프레임 내부에 상기 카세트 핸드에 결합된 카세트가 전부 수용되도록 상기 마운트 프레임과 서브 프레임의 폭과 길이를 정하는 것을 특징으로 하는 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇.According to claim 1, wherein the two-stage double-armed two-stage cassette transfer robot
And a width and a length of the mount frame and the sub-frame so as to accommodate all the cassettes coupled to the cassette hand inside the mount frame at the uppermost position of the cassette hand. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서
상기 제2 슬라이더는
상기 카세트 핸드 최상단 상승 위치에서 상기 핸드 회전 모터와 주회전 모터, 승강 제어모터의 수용 공간이 형성되도록 하방으로 연장된 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 이단 더블암식 이단 카세트 이송 로봇.The method according to any one of claims 1 to 3
The second slider
The two-stage, double-arm, two-stage cassette transfer robot having a length extending downward so that the receiving space of the hand rotating motor, the main rotating motor, and the lifting control motor is formed at the uppermost position of the cassette hand.
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