KR101184133B1 - Induction heating unit - Google Patents

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KR101184133B1
KR101184133B1 KR1020127006263A KR20127006263A KR101184133B1 KR 101184133 B1 KR101184133 B1 KR 101184133B1 KR 1020127006263 A KR1020127006263 A KR 1020127006263A KR 20127006263 A KR20127006263 A KR 20127006263A KR 101184133 B1 KR101184133 B1 KR 101184133B1
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induction heating
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KR1020127006263A
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나오키 우치다
요시히로 오카자키
카즈히로 오자키
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미쯔이 죠센 가부시키가이샤
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    • C23C16/46—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for heating the substrate

Abstract

챔버 외부에 자극을 배치한 경우에도 격벽에 형성한 개구부의 가장자리부로부터의 발열을 억제할 수 있는 유도가열 장치를 제공한다.
프로세스실을 구성하는 챔버(12), 챔버(12)의 외주이면서 챔버(12)를 구성하는 도전성의 격벽 부재인 하우징(26)에 형성된 개구부(42)를 차폐하는 자기투과성 차폐판(46)에 근접 배치된 자극, 상기 자극에 감겨진 유도가열 코일을 가지는 유도가열 장치(10)에 있어서, 1개의 상기 개구부(42)에 대해 적어도 2개의 자극(32, 34)을 형성하고 2개의 자극(32, 34)의 극성을 반대극성으로 한 것을 특징으로 한다.Provided is an induction heating apparatus capable of suppressing heat generation from an edge of an opening formed in a partition even when magnetic poles are arranged outside the chamber.
The magnetic permeable shield plate 46 which shields the opening 42 formed in the housing 12 which is the outer periphery of the chamber 12 which comprises a process chamber, and the conductive partition wall member which comprises the chamber 12 which comprises the chamber 12 is comprised. In the induction heating apparatus 10 having a closely arranged magnetic pole and an induction heating coil wound around the magnetic pole, at least two magnetic poles 32 and 34 are formed for one opening 42 and two magnetic poles 32 , 34), the polarity of which is reversed.

Description

유도가열 장치{INDUCTION HEATING UNIT}Induction Heating Unit {INDUCTION HEATING UNIT}

본 발명은 유도가열 장치에 관한 것으로, 특히 직경이 큰 반도체 기판을 열처리하는 경우에 피가열물의 온도 제어에 적합한 유도가열 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an induction heating apparatus, and more particularly, to an induction heating apparatus suitable for temperature control of a heated object when heat-treating a large diameter semiconductor substrate.

직경이 큰 반도체 기판을 배치(batch) 처리할 때 기판 표면에 금속막 등이 형성되어 있는 경우에도 그 금속막이 직접 가열되어서 기판면 내의 온도 분포에 불균형이 발생하는 것을 억제할 수 있는 유도가열 장치가 알려져 있다(예를 들어 특허문헌 1 참조).Even when a metal film or the like is formed on the surface of a substrate when batch processing a large diameter semiconductor substrate, an induction heating apparatus capable of suppressing unevenness in the temperature distribution in the substrate surface due to the metal film being directly heated It is known (for example, refer patent document 1).

특허문헌 1에 개시되어 있는 기술은 프로세스실을 구성하는 챔버와 자극을 구성하는 코어에 감겨진 유도가열 코일을 구비하고 있다. 이러한 구성의 유도가열 장치에 의하면, 자극을 통해 발생하는 자속이 챔버 내에 배치된 피가열물인 반도체 기판의 재치 방향과 평행하게 발생하게 된다. 따라서 반도체 기판의 표면에 금속막 등이 형성되어 있는 경우에도 이 금속막과 교차하는 방향으로 자속이 투입되는 일이 없어 유도가열에 의해 기판이 직접 가열될 우려가 없다. 이 때문에 기판면 내의 온도 분포에 불균형을 일으키는 일이 없다.The technique disclosed in Patent Literature 1 includes a chamber constituting the process chamber and an induction heating coil wound around a core constituting the magnetic pole. According to the induction heating apparatus having such a configuration, the magnetic flux generated through the magnetic poles is generated in parallel with the mounting direction of the semiconductor substrate, which is the heated object disposed in the chamber. Therefore, even when a metal film or the like is formed on the surface of the semiconductor substrate, magnetic flux is not introduced in the direction intersecting with the metal film, and there is no fear that the substrate is directly heated by induction heating. For this reason, there is no imbalance in the temperature distribution in the substrate surface.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2010-59490호Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-59490

특허문헌 1에 개시되어 있는 구성의 유도가열 장치에 의하면, 확실히 기판 표면에 금속막이 피복된 반도체 기판 등이라 해도 유도가열에 의해 금속막이 직접 가열되어 버릴 우려가 없어진다.According to the induction heating apparatus of the structure disclosed by patent document 1, even if it is a semiconductor substrate etc. with which the metal film was coat | covered certainly on the board | substrate, there exists a possibility that a metal film may be directly heated by induction heating.

그러나 상기와 같은 구성의 유도가열 장치에서는 챔버를 구성하는 격벽을 알루미늄 등의 내열성 금속으로 구성하기 때문에, 자극으로부터 발생하는 자속을 피유도가열 부재인 서셉터에 도달시키기 위해서는 챔버의 일부에 개구부(적어도 자속을 투과시키는 자기적 개구부)를 형성할 필요가 있다. 그러나 챔버에 개구부를 형성한 경우에는 챔버 내부를 진공상태로 할 수 없게 된다. 또 챔버를 밀폐하기 위해 개구부를 자극으로 밀봉한 경우에는 챔버 내에 오염이 발생할 우려가 있다.However, in the induction heating apparatus having the above-described configuration, since the partition wall constituting the chamber is made of a heat-resistant metal such as aluminum, an opening (at least in part of the chamber in order to reach the susceptor, the induction heating member, the magnetic flux generated from the magnetic poles). Magnetic openings through which the magnetic flux permeates. However, when the opening is formed in the chamber, the inside of the chamber cannot be vacuumed. In addition, when the opening is sealed with a magnetic pole to seal the chamber, there is a fear that contamination occurs in the chamber.

따라서 챔버에 형성한 개구부에는 보통 진공내력, 자속투과성, 내열성이 있고 열팽창률이 낮고 열전도율이 낮고 열충격에 강하다고 하는 특성이 있으며 오염될 우려가 없는 석영이 배치되게 되어 있었다.Therefore, the openings formed in the chamber have the characteristics that the vacuum strength, magnetic flux permeability, heat resistance, low thermal expansion coefficient, low thermal conductivity, and high thermal shock resistance are normally arranged, and there is no fear of contamination.

이러한 구성으로 한 경우, 도전성 부재로 구성된 격벽에서의 개구부 가장자리부에도 자극으로부터 생긴 자속이 적지않게 투입되게 된다. 개구부의 가장자리부에 투입된 자속은 야기 전류를 일으켜서 열을 발생시키게 되어 챔버가 가열된다고 하는 문제가 있다.In such a configuration, the magnetic flux generated from the magnetic poles is also introduced into the edge portion of the opening part of the partition wall made of the conductive member. The magnetic flux applied to the edge of the opening generates a induced current to generate heat, thereby causing a problem that the chamber is heated.

그래서 본 발명에서는 챔버 외부에 자극을 배치한 경우에도 격벽에 형성한 개구부 가장자리부로부터의 발열을 억제할 수 있는 유도가열 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, an object of the present invention is to provide an induction heating apparatus capable of suppressing heat generation from an edge portion of an opening formed in a partition even when a magnetic pole is disposed outside the chamber.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 관련된 유도가열 장치는, 프로세스실을 구성하는 금속재료를 주요 부재로 한 챔버와, 상기 챔버의 외주에 배치되며 상기 챔버에 형성된 자속을 투과시키는 자기적 개구부를 통해 상기 챔버 내에 배치된 피유도가열 부재를 가열하는 유도가열 코일을 가지는 유도가열 장치로서, 1개의 상기 자기적 개구부에 대하여 상기 자기적 개구부 가장자리부에 투입되는 자속의 총합이 제로 또는 제로에 가까워지도록 상기 유도가열 코일을 복수 형성한 것을 특징으로 한다.The induction heating apparatus according to the present invention for achieving the above object is through a chamber including a metal material constituting the process chamber as a main member, and a magnetic opening disposed on the outer periphery of the chamber and transmitting magnetic flux formed in the chamber. An induction heating apparatus having an induction heating coil for heating a to-be-heated member disposed in the chamber, wherein the total amount of magnetic flux applied to an edge portion of the magnetic opening with respect to the magnetic opening is zero or close to zero. A plurality of induction heating coils are formed.

또한 상기와 같은 특징을 가지는 유도가열 장치에서 상기 유도가열 코일은 상기 피유도가열 부재의 측단면을 향하는 교류 자속을 발생시키는 배치 형태로 하는 것이 좋다. 이러한 구성으로 함으로써 피유도가열 부재의 피가열물 재치면과 평행한 방향으로 교류 자속을 발생시킬 수 있다. 따라서 피가열물의 주면에 금속막 등의 피유도가열 부재가 피복되어 있었다고 해도 피가열물이 직접 가열되어 버릴 우려가 없어 온도 분포의 균등화를 꾀하기 쉽다.In addition, in the induction heating apparatus having the above characteristics, the induction heating coil may be configured to generate an alternating magnetic flux toward the side cross section of the induction heating member. With such a configuration, alternating magnetic flux can be generated in a direction parallel to the surface of the heated object placed on the member to be heated. Therefore, even if the main surface of the to-be-heated object is coated with a to-be-heated member such as a metal film, there is no fear that the to-be-heated material will be directly heated, so that it is easy to equalize the temperature distribution.

또, 상기와 같은 특징을 가지는 유도가열 장치에서는 상기 자기적 개구부를 복수 형성하고, 인접하는 상기 자기적 개구부 사이에는 자속을 투과시키는 자기적 슬릿을 형성하는 것이 좋다. 이러한 구성으로 한 경우에도 실질적으로 단일 자기적 개구부에 대해 자기적 개구부의 가장자리부에 투입되는 자속의 총합이 제로 또는 제로에 가까워지도록 복수의 유도가열 코일을 배치하게 된다. 따라서 자기적 개구부의 가장자리부에 생기는 야기 전류를 상쇄 또는 일부 상쇄할 수 있어 자기적 개구부의 가장자리부로부터의 발열을 억제할 수 있다.In addition, in the induction heating apparatus having the above characteristics, it is preferable to form a plurality of magnetic openings, and to form magnetic slits that transmit magnetic flux between adjacent magnetic openings. Even in this configuration, a plurality of induction heating coils are arranged so that the total of magnetic fluxes applied to the edge portions of the magnetic openings is substantially zero or close to zero with respect to a single magnetic opening. Therefore, the induced current generated at the edge portion of the magnetic opening portion can be canceled or partially canceled, and heat generation from the edge portion of the magnetic opening portion can be suppressed.

또한 상기와 같은 특징을 가지는 유도가열 장치에서는 상기 유도가열 코일을 감는 자극을 구비하도록 하는 것이 좋다. 이러한 구성으로 함으로써 발생 자속을 수렴시킬 수 있어 가열효율을 향상시키기 쉽다.In addition, in the induction heating device having the above characteristics, it is preferable to have a magnetic pole for winding the induction heating coil. By such a configuration, the generated magnetic flux can be converged and the heating efficiency is easily improved.

또한 상기와 같은 특징을 가지는 유도가열 장치에서는 상기 유도가열 코일이 감겨진 적어도 2개의 자극을 연결하는 요크를 구비하도록 하는 것이 좋다. 이러한 구성으로 함으로써 챔버를 쇄교하는 자속이 저감되어 챔버의 가열을 억제할 수 있다.In addition, in the induction heating apparatus having the above characteristics, it is preferable to have a yoke connecting the at least two magnetic poles in which the induction heating coil is wound. By such a structure, the magnetic flux which bridges a chamber is reduced and heating of a chamber can be suppressed.

또한 상기와 같은 특징을 가지는 유도가열 장치에서는 상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성하도록 하는 것이 좋다. 이러한 구성으로 하면 비록 자기적 개구부의 가장자리부에 생기는 야기 전류의 상쇄가 일부 상쇄에 그쳤다 해도 개구부의 가장자리부로부터의 발열을 억제할 수 있다.In addition, in the induction heating apparatus having the above characteristics, it is preferable to form an insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening. With such a configuration, even if the offset of the induced current generated at the edge of the magnetic opening is only partially offset, the heat generation from the edge of the opening can be suppressed.

또 상기와 같은 특징을 가지는 유도가열 장치에서는 복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 구성하는 것이 좋다. 이러한 구성으로 함으로써 각 자극으로부터 발생하는 자속이 동일해지고 자기적 개구부의 가장자리부에 투입되는 자속도 근사 혹은 동일해진다. 이 때문에 가장자리부에 생기는 야기 전류의 상쇄 정밀도를 향상시킬 수 있다.In addition, in the induction heating apparatus having the above characteristics, it is preferable to configure the number of wounds and the shape of the wound cross section by pairing two coils having different polarities among the plurality of induction heating coils. With such a configuration, the magnetic flux generated from each magnetic pole becomes the same, and the magnetic flux approximation or the same applied to the edge portion of the magnetic opening becomes equal. For this reason, the offsetting precision of the induced current which arises in an edge part can be improved.

또한 상기와 같은 특징을 가지는 유도가열 장치에서는 상기 자극의 단면 형상 및 치수를 동일하게 하는 것이 좋다. 이러한 구성으로 한 경우에도 가장자리부에 생기는 야기 전류의 상쇄 정밀도를 향상시킬 수 있기 때문이다.In addition, in the induction heating apparatus having the above characteristics, it is preferable to make the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles the same. This is because even with this configuration, the offsetting accuracy of the induced current generated at the edge portion can be improved.

또한 상기와 같은 특징을 가지는 유도가열 장치에서는 상기 유도가열 코일에 흘려 보내는 전류치를 동일하게 할 수 있는 전원부를 구비하도록 한다.In addition, the induction heating device having the above characteristics is to have a power supply unit capable of equalizing the current value flowing to the induction heating coil.

상기와 같은 특징을 가지는 유도가열 장치에 의하면 자기적 개구부의 가장자리부에는 복수의 유도가열 코일로부터 발생하는 자속이 투입되게 되어 그 총합이 제로 또는 단일 유도가열 코일을 이용한 경우에 비해 제로에 가까워지게 된다. 이 때문에 자기적 개구부의 가장자리부에 발생하는 야기 전류 중 적어도 일부가 상쇄되게 되어 챔버에 형성한 자기적 개구부의 가장자리부로부터의 발열을 억제하는 것이 가능해진다.According to the induction heating apparatus having the above characteristics, the magnetic flux generated from the plurality of induction heating coils is input to the edge portion of the magnetic opening, and the sum thereof becomes closer to zero than when using the zero or single induction heating coil. . For this reason, at least a part of the induced current generated in the edge portion of the magnetic opening portion is canceled, and it is possible to suppress heat generation from the edge portion of the magnetic opening portion formed in the chamber.

도 1은 제1 실시형태에 관련된 유도가열 장치의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1에서의 A-A 단면의 구성을 나타내는 도이다.
도 3은 자극 2개의 각도와 개구부의 관계를 나타내는 평면도이다.
도 4는 하우징에 형성한 개구부의 정면 형태를 나타내는 도이다.
도 5는 개구부에 형성된 자기투과성 차폐 부재와 냉각판의 장착 형태를 상세하게 나타내는 도이다.
도 6은 제2 실시형태에 관련된 유도가열 장치에서의 하우징에 형성된 개구부의 형태를 설명하기 위한 평면도이다.
도 7은 제2 실시형태에 관련된 유도가열 장치에서의 하우징에 형성된 개구부의 정면 형태를 나타내는 도면이다.1 is a plan view showing the configuration of an induction heating apparatus according to a first embodiment.
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of an AA cross section in FIG. 1.
3 is a plan view showing the relationship between the angles of the two magnetic poles and the opening.
It is a figure which shows the front form of the opening part formed in the housing.
FIG. 5 is a diagram showing in detail a mounting form of a magnetically permeable shield member and a cooling plate formed in the opening. FIG.
It is a top view for demonstrating the form of the opening part formed in the housing in the induction heating apparatus which concerns on 2nd Embodiment.
It is a figure which shows the front form of the opening part formed in the housing in the induction heating apparatus which concerns on 2nd Embodiment.

이하 본 발명의 유도가열 장치에 관련된 실시의 형태에 대해 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 먼저 도 1, 도 2를 참조하여 제1 실시형태에 관련된 유도가열 장치의 개요 구성에 대해 설명한다. 도 1은 유도가열 장치의 평면 구성을 나타내는 부분 단면 블록도이고, 도 2는 도 1에서의 A-A 단면을 나타내는 블록도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment which concerns on the induction heating apparatus of this invention is described in detail, referring drawings. First, with reference to FIG. 1, FIG. 2, the outline structure of the induction heating apparatus which concerns on 1st Embodiment is demonstrated. 1 is a partial cross-sectional block diagram showing a planar configuration of an induction heating apparatus, Figure 2 is a block diagram showing an A-A cross section in FIG.

본 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)는 피가열물로서의 웨이퍼(60)와 피유도가열 부재(발열체)로서의 서셉터(16)를 다단으로 겹쳐 열처리하는 배치식인 것이다.The induction heating apparatus 10 which concerns on this embodiment is a batch type which heat-processes the wafer 60 as a to-be-heated material, and the susceptor 16 as a to-be-heated member (heating body) in multiple stages.

유도가열 장치(10)는 챔버(12), 챔버(12)의 외부에 배치된 여자부(28) 및 전원부(40)를 기본으로 하여 구성된다.Induction heating device 10 is configured based on the chamber 12, the excitation portion 28 and the power supply portion 40 disposed outside the chamber 12.

챔버(12)는 보트(14), 회전 테이블(18) 및 하우징(26)을 기본으로 하여 구성되는 프로세스실이다. 보트(14)는 피가열물인 웨이퍼(60)를 올려 놓는 서셉터(16)를 복수 개 수직 방향으로 적층배치하여 구성된다. 각 서셉터(16) 사이에는 도시하지 않은 지지 부재가 배치되며 웨이퍼(60)를 배치하기 위한 소정의 간격을 유지하도록 구성된다. 도시하지 않은 지지 부재는 자속의 영향을 받는 일이 없고 내열성이 높으며 또한 열팽창률이 낮은 부재에 의해 구성하면 되고, 구체적으로는 석영 등을 이용하여 구성하면 된다.The chamber 12 is a process chamber configured based on the boat 14, the turntable 18, and the housing 26. The boat 14 is constructed by stacking a plurality of susceptors 16 on which the wafers 60 to be heated are placed in a vertical direction. A supporting member (not shown) is disposed between each susceptor 16 and is configured to maintain a predetermined interval for disposing the wafer 60. The support member which is not shown in figure may be comprised by the member which is not influenced by a magnetic flux, is high in heat resistance, and low in thermal expansion rate, Specifically, it is good to comprise using quartz etc.

서셉터(16)는 도전성 부재로 구성되면 되고, 예를 들어 그라파이트, SiC, SiC 코팅 그라파이트 및 내열 금속 등에 의해 구성하면 된다.The susceptor 16 should just be comprised by an electroconductive member, for example, what is necessary is just to consist of graphite, SiC, SiC coated graphite, a heat resistant metal, etc.

회전 테이블(18)은 테이블(20), 회전축(22) 및 베이스(24)를 기본으로 하여 구성된다. 테이블(20)은 적층배치된 복수의 서셉터(16)로 이루어지는 보트(14)를 지지하기 위한 대이며, 도시하지 않은 지지부가 형성된다. 회전축(22)은 테이블(20)의 회전 중심에 고정된 축이며, 도시하지 않은 구동원으로부터 구동력을 받아 회전하여 테이블(20)을 회전시키고 다시 그 테이블(20)에 재치된 복수의 서셉터(16)를 회전시킨다. 베이스(24)는 회전축(22)을 회전시키기 위한 모터 등의 구동원을 가지는 토대이며 테이블(20)의 안정 상태를 확보한다. 회전 테이블(18)에 의해 보트(14)를 회전시킴으로써 가열원인 여자부(28)를 유도가열 장치(10)에 대해 한 쪽으로 치우치게 배치한 경우에도 서셉터(16)의 균일 가열이 가능해진다. 또한 여자부(28)를 한 쪽으로 치우치게 배치하게 되면 유도가열 장치(10)를 보트(14; 챔버(12))의 외주에 균등배치하는 경우에 비해 장치의 소형화를 꾀하는 것이 가능해진다.The rotating table 18 is comprised based on the table 20, the rotating shaft 22, and the base 24. As shown in FIG. The table 20 is a stand for supporting the boat 14 which consists of the several susceptor 16 laminated | stacked, and the support part which is not shown in figure is formed. The rotating shaft 22 is an axis fixed to the center of rotation of the table 20, and rotates by receiving a driving force from a driving source (not shown) to rotate the table 20 and to place the plurality of susceptors 16 placed on the table 20 again. Rotate). The base 24 is a foundation having a drive source such as a motor for rotating the rotary shaft 22 and secures a stable state of the table 20. By rotating the boat 14 by the turntable 18, even when the excitation part 28 which is a heating source is arrange | positioned to one side with respect to the induction heating apparatus 10, uniform heating of the susceptor 16 is attained. In addition, when the excitation part 28 is disposed to one side, the induction heating device 10 can be miniaturized as compared with the case where the induction heating device 10 is evenly arranged on the outer circumference of the boat 14 (chamber 12).

하우징(26)은 챔버(12) 내부를 진공상태로 유지하기 위한 격벽이다. 실시형태에서의 하우징(26)은 평면 형태를 다각형(도 1에 도시하는 예에서는 육각형)으로 하여 형상형성의 용이화를 꾀할 수 있다. 하우징(26)의 구성 부재는 프로세스적인 측면에서 알루미늄 또는 스테인리스가 이용된다. 여기서 알루미늄은 형상형성이나 형상형성을 위한 용접 면에서 불리하며 스테인리스에 비해 내열성도 낮다. 이 때문에 하우징(26)의 구성 부재로는 스테인리스가 이용되는 경우가 많다. 하우징(26)의 적어도 일부에는 도 3 내지 도 5에 나타내는 바와 같이 개구부(자속을 투과시키는 자기적 개구부; 42)가 형성되고, 개구부(42)에는 자기투과성 차폐판(46)과 자기투과성 냉각판(48)이 밀접하게 또는 근접하도록 적층배치되어 있다. 자기투과성 차폐판(46)은 챔버(12)의 내부 영역과 외부 영역을 격리하기 위한 부재이며, 진공내력, 자속투과성, 내열성, 저열팽창성, 저열전도성 및 내열충격성을 가지는 부재로 하면 되고, 예를 들어 석영 등을 들 수 있다. 한편 냉각판(48)은 상세한 것은 후술하는 냉각관(50)으로부터 전달되는 냉매의 온도를 전도시킴으로써 자기투과성 차폐판(46)을 냉각하여 자기투과성 차폐판(46)의 가열에 수반되는 자극(32, 34; 32a～32c, 34a～34c)의 과가열을 방지하는 역할을 한다. 냉각판(48)의 구성 부재로는 예를 들어 질화 알루미늄이나 SiC, 알루미나 등의 세라믹 부재를 들 수 있다.The housing 26 is a partition wall for maintaining the inside of the chamber 12 in a vacuum state. The housing 26 in embodiment can make shape formation easy by making a planar shape polygonal (hexagon in the example shown in FIG. 1). The constituent members of the housing 26 are aluminum or stainless in terms of process. Here, aluminum is disadvantageous in terms of forming or welding for forming and has lower heat resistance than stainless steel. For this reason, stainless steel is often used as a structural member of the housing 26. 3 to 5, an opening (magnetic opening for transmitting magnetic flux; 42) is formed in at least a portion of the housing 26, and the magnetic permeable shield plate 46 and the magnetic permeable cooling plate are formed in the opening 42. The 48 is stacked so as to be in close or close proximity. The magnetic permeable shielding plate 46 is a member for isolating the inner region and the outer region of the chamber 12, and may be a member having vacuum strength, magnetic flux permeability, heat resistance, low thermal expansion, low thermal conductivity, and thermal shock resistance. Examples thereof include quartz. On the other hand, the cooling plate 48 cools the magnetic permeable shield plate 46 by conducting the temperature of the refrigerant delivered from the cooling tube 50 which will be described in detail later, and the magnetic poles 32 accompanying the heating of the magnetic permeable shield plate 46. , 34; 32a-32c, 34a-34c) to prevent overheating. As a structural member of the cooling plate 48, ceramic members, such as aluminum nitride, SiC, and alumina, are mentioned, for example.

실시형태에 관련된 하우징(26)에서는 평면형상 육각형의 몸체를 이루는 2변에 개구부(42)가 형성되어 있다. 또한 실시형태에 관련된 예의 경우 육각형의 꼭지점 부분에 각편(26)을 형성하고 이 각편(26)의 일부를 노치하여 2개의 개구부(42)가 연통되는 슬릿(자속을 투과시키는 자기적 슬릿; 44)이 형성되어 있다. 이로써 2변에 형성된 개구부(42)는 인접하는 두 변에 걸쳐 슬릿(44)을 통해 연통된 단일 개구부의 형태를 이루게 된다.In the housing 26 which concerns on embodiment, the opening part 42 is formed in the two sides which comprise the plane hexagonal body. Furthermore, in the case of the example concerning embodiment, the slit which forms the square piece 26 in the vertex part of a hexagon, notches a part of this square piece 26, and the two opening parts 42 communicate (magnetic magnetic slit which permeate | transmits a magnetic flux; 44) Is formed. As a result, the openings 42 formed on two sides form a single opening communicating through the slit 44 over two adjacent sides.

실시형태에 관련된 자기투과성 차폐판(46)은 알루미늄 등에 의해 구성된 하우징(26)의 개구부(42)의 바깥 가장자리에 형성된 단차부(26b)에 눌려 유지된다. 자기투과성 차폐판(46)의 외측(자기투과성 차폐판(46)과 자극(32, 34) 사이)에는 냉각판(48)이 밀접 배치되고 냉각판(48)의 바깥 가장자리부에는 냉매를 삽입통과시킬 수 있는 냉각관(50)이 밀접 배치된다. 이러한 배치 구성으로 함으로써 냉각관(50)에 삽입통과된 냉매와 냉각판(48) 사이에서 열교환이 이루어져 냉각판(48)이 냉각된다. 냉각판(48)은 자기투과성 차폐판(46)에 비해 열전도율이 높기 때문에 자기투과성 차폐판(46)과 냉각판(48) 사이에서의 열교환(열전달)이 이루어지기 전에 냉각판(48) 전체가 냉각되게 된다. 그 후 냉각된 냉각판(48)과 자기투과성 차폐판(46) 사이에서의 열교환이 이루어져 자기투과성 차폐판(46)이 냉각된다. 이로써 복사열의 영향에 의해 자극이 과가열되는 것을 피할 수 있다.The magnetically permeable shield plate 46 according to the embodiment is pressed and held by the step portion 26b formed at the outer edge of the opening portion 42 of the housing 26 made of aluminum or the like. The cooling plate 48 is disposed closely outside the magnetically permeable shield plate 46 (between the magnetically permeable shield plate 46 and the magnetic poles 32 and 34), and a coolant is inserted through the outer edge of the cooling plate 48. The cooling tube 50 which can be made is closely arrange | positioned. By such an arrangement, heat exchange is performed between the refrigerant inserted into the cooling tube 50 and the cooling plate 48 to cool the cooling plate 48. Since the cooling plate 48 has a higher thermal conductivity than the magnetically permeable shield plate 46, the entire cooling plate 48 is closed before heat exchange (heat transfer) is performed between the magnetic permeable shield plate 46 and the cooling plate 48. To cool. Thereafter, heat exchange is performed between the cooled cooling plate 48 and the magnetic permeable shield plate 46 to cool the magnetic permeable shield plate 46. This avoids overheating the stimulus under the influence of radiant heat.

또한 실시형태에 관련된 하우징(26)에서 개구부(42)의 근방에 냉각수 등의 냉매를 삽입통과시키기 위한 삽입통과로(26c)가 형성되어 있다. 이러한 구성으로 함으로써 서셉터(16)로부터의 복사열이나 잔류하는 야기 전류에 의한 가열 등에 의해 하우징(26)이 가열되는 것을 억제할 수 있다.In the housing 26 according to the embodiment, an insertion passage 26c for inserting a refrigerant such as cooling water into the vicinity of the opening portion 42 is formed. By such a configuration, it is possible to suppress the heating of the housing 26 by the radiant heat from the susceptor 16, the heating by the remaining induced current, and the like.

이러한 개구부(42)에 대해 자기투과성 차폐판(46)은 도 5에 나타내는 바와 같이 O링(52)을 통해 단차부(26b)에 눌린다. 그리고 냉각판(48), 냉각관(50) 및 절연부재(54)를 통해 고정 블록(56)에 의해 고정된다. 또한 각편(26a) 사이에 형성된 슬릿(44)은 O링(52)에 의해 막힌다. 이러한 구성으로 함으로써 챔버(12)의 내부 영역과 외부 영역을 격리할 수 있어 챔버(12) 내를 진공상태로 하는 것이 가능해진다.The magnetically transparent shielding plate 46 is pressed against the step portion 26b via the O-ring 52 as shown in FIG. 5. And it is fixed by the fixing block 56 through the cooling plate 48, the cooling tube 50 and the insulating member 54. In addition, the slit 44 formed between each piece 26a is blocked by the O-ring 52. By such a configuration, the inner region and the outer region of the chamber 12 can be isolated, and the chamber 12 can be vacuumed.

여자부(28)는 코어(30; 30a～30c)와 유도가열 코일(36, 38; 36a～36c, 38a～38c)로 이루어진다. 코어(30)는 가래 모양으로 형성된 철심이다. 코어(30)는 그 양단에 상세한 것은 후술하는 유도가열 코일(36, 38)을 감아서 구성되는 자극(32, 34; 32a～32c, 34a～34c)을 가짐과 동시에 양자극 사이를 접속하는 요크(35; 35a～35c)를 가진다. 자극(32, 34)의 끝면은 원형 서셉터(16)의 접선과 평행, 즉 서셉터(16)의 반경방향 연장선에 대해 직교하는 면을 구비하도록 구성한다. 이러한 구성으로 함으로써 자극(32, 34)의 끝면 가까이에 유도가열 코일(36, 38)을 감을 수 있어 자극 선단 이외로부터 자속이 누설되는 것을 억제할 수 있다. 따라서 서셉터(16)에 쓸데없이 투입되는 자속이 없어 가열 효율을 향상시킬 수 있다. 코어(30)는 페라이트 등에 의해 구성하는 것이 좋다. 이러한 구성에 의하면 점토형 원료를 형상형성한 다음 고온에서 소성하는 것에 의해 원하는 형상의 자극(32, 34) 및 요크(35)를 얻을 수 있다. 이 때문에 자유롭게 형상형성하는 것이 가능해진다. 또 본 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)에서는 자극(32, 34)의 단면 형상(끝면의 형상) 및 치수를 동일하게 구성하고 있다. 이러한 구성으로 함으로써 감은 수나 코일 직경, 감은 형상 및 전류치 등의 조건이 동일한 유도가열 코일을 통해 자극(32, 34)의 끝면에서 발생하는 자속량이 동일해진다.The excitation portion 28 is composed of a core 30 (30a to 30c) and induction heating coils 36 and 38 (36a to 36c and 38a to 38c). The core 30 is an iron core formed in a sputum shape. The core 30 has a magnetic pole 32, 34; 32a-32c, 34a-34c, which is formed by winding induction heating coils 36, 38, which will be described later in detail, on both ends thereof and a yoke for connecting the quantum poles. (35; 35a-35c). The end faces of the poles 32, 34 are configured to have a plane parallel to the tangent of the circular susceptor 16, ie perpendicular to the radial extension of the susceptor 16. With such a configuration, the induction heating coils 36, 38 can be wound near the end faces of the magnetic poles 32, 34, and the leakage of magnetic flux from the magnetic poles other than the tip thereof can be suppressed. Therefore, there is no magnetic flux that is unnecessarily added to the susceptor 16, thereby improving heating efficiency. The core 30 is preferably composed of ferrite or the like. According to this structure, the magnetic poles 32 and 34 and the yoke 35 of a desired shape can be obtained by shape-forming a clay raw material and baking at high temperature. For this reason, it becomes possible to shape freely. Moreover, in the induction heating apparatus 10 which concerns on this embodiment, the cross-sectional shape (shape of the end surface) and the dimensions of the magnetic poles 32 and 34 are comprised similarly. With such a configuration, the amount of magnetic flux generated at the end faces of the magnetic poles 32 and 34 through the induction heating coil having the same number of windings, coil diameter, winding shape and current value is the same.

유도가열 코일(36, 38)은 자극(32, 34)을 구성하는 코어(30)의 양단부에 감기는 도전선이다. 유도가열 코일(36, 38)에 전류를 투입하면 코일의 감은 방향과 교차하는 방향에 위치하는 자극 선단으로부터 자속이 발생하게 된다. 본 실시형태에서는 자극 끝면(자극 선단)이 서셉터(16)에서의 웨이퍼 재치면과 직교하는 방향을 향하고 있기 때문에 자극 끝면으로부터는 서셉터(16)의 웨이퍼 재치면에 평행한 방향으로 교류 자속이 발생하게 된다. 실시형태에 관련된 유도가열 코일(36, 38)은 냉매를 삽입통과 가능한 관형 부재(예를 들어 냉매로서 물을 사용하는 경우에는 구리관 등)에 의해 유도가열 코일(36, 38)이 과가열되는 것을 방지하는 구조로 하고 있지만, 관형 부재와 리츠선을 조합함으로써 구성하도록 해도 된다. 관형 부재와 리츠선을 조합하여 유도가열 코일(36, 38)을 구성하는 경우의 구체적인 구성은, 자극 선단부나 자극 선단에 가까운 부분에는 관형 부재를 이용하고 그것보다 후단측에는 리츠선을 이용한다고 하는 구성이다. 또한 실시형태에 관련된 유도가열 코일(36, 38)은 상세한 것은 후술하는 바와 같이 자극(32, 34)에 발생하는 자속의 극성이 반대가 되도록 전류의 투입 방향 혹은 감은 방향이 정해진다. 이러한 구성이 되는 2개의 코일은 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상이 동일해지도록 형성된다. 이러한 구성으로 함으로써 양자의 발생 자속이 동일해지고 개구부(42)의 가장자리부에 투입되는 자속 및 발생하는 야기 전류가 동일해져 야기 전류의 상쇄 정밀도를 향상시킬 수 있다.The induction heating coils 36 and 38 are conductive wires wound around both ends of the core 30 constituting the magnetic poles 32 and 34. When a current is applied to the induction heating coils 36 and 38, magnetic flux is generated from the tip of the magnetic pole located in the direction crossing the winding direction of the coil. In this embodiment, since the magnetic pole tip surface (stimulation tip) faces a direction perpendicular to the wafer mounting surface in the susceptor 16, the alternating magnetic flux in the direction parallel to the wafer mounting surface of the susceptor 16 from the magnetic pole tip surface. Will occur. The induction heating coils 36 and 38 according to the embodiment are those in which the induction heating coils 36 and 38 are overheated by a tubular member (for example, a copper pipe in the case of using water as the refrigerant). Although it is set as the structure which prevents it, you may comprise by combining a tubular member and a litz wire. In the case where the induction heating coils 36 and 38 are formed by combining the tubular member and the litz wire, the specific configuration is that the tubular member is used for the magnetic pole tip portion or the portion close to the magnetic pole tip, and the litz wire is used for the rear end side thereof. to be. In the induction heating coils 36 and 38 according to the embodiment, as described later, the input direction or the winding direction of the current is determined so that the polarity of the magnetic flux generated in the magnetic poles 32 and 34 is reversed. The two coils having such a configuration are formed so that the number of turns and the shape of the wound cross section are the same. With such a configuration, the generated magnetic fluxes of both are the same, and the magnetic flux introduced into the edge portion of the opening portion 42 and the generated induced currents are the same, so that the offsetting accuracy of the induced currents can be improved.

서셉터(16)의 웨이퍼 재치면에 대해 수평인 방향으로 자속을 발생시키는 가열 방법에서는 유도가열 코일(36, 38)에 투입되는 전류의 주파수는 수 십 kHz이다. 관형 부재로 구리를 사용한 경우, 두께를 1mm 정도로 하는 구리 관은 유도가열되게 되어 서셉터(16)의 가열효율이 저하됨과 동시에 전력 손실이 커져 버린다. 한편 0.18φ 정도의 소선을 사용하고 있는 리츠선이라면 자속은 투과한다고 생각되지만, 자극(32, 34)의 선단 부분에는 쇄교 자속이 많기 때문에 유도가열되어 버린다. 냉각 작용이 없는 리츠선은 유도가열에 의해 발열한 경우에는 온도가 상승하여 사용 온도 한계를 넘어 버리는 경우가 있다. 이 때문에 자극 선단측에 냉각 작용을 가지는 관형 부재, 후단측에 리츠선을 배치함으로써 전력 손실을 억제하고 코일의 과가열도 방지하는 것이 가능해진다.In the heating method in which the magnetic flux is generated in a direction horizontal to the wafer placing surface of the susceptor 16, the frequency of the current applied to the induction heating coils 36 and 38 is several tens of kHz. When copper is used as the tubular member, the copper tube having a thickness of about 1 mm is subjected to induction heating, which lowers the heating efficiency of the susceptor 16 and increases the power loss. On the other hand, in the case of a litz wire that uses an element wire of about 0.18 φ, the magnetic flux is considered to be transmitted. However, the inductive heating is caused because there are many interlinking magnetic fluxes at the tip portions of the magnetic poles 32 and 34. In the case of heating by induction heating, the Litz wire without cooling action may rise in temperature and exceed the use temperature limit. For this reason, by disposing a tubular member having a cooling action on the tip end side and a Litz wire on the rear end side, it becomes possible to suppress power loss and to prevent overheating of the coil.

여자부(28)는 상기와 같은 구성의 코어(30)와 유도가열 코일(36, 38)을 서셉터(16)의 적층방향을 따라 복수(도 2에 나타내는 예에서는 3개) 배치하는 것에 의해 구성되어 있다.The excitation part 28 is comprised by arranging the core 30 and the induction heating coils 36 and 38 of the above structure along the lamination direction of the susceptor 16 (three in the example shown in FIG. 2). It is.

또한 상기와 같은 여자부(28)에 있어서 실시형태의 코어(30)는 도 3에 나타내는 바와 같이 서셉터(16)의 중심점(O)으로부터 각 자극 끝면의 중심을 향해 연장된 선이 이루는 각(θ)이 소정 각도(하우징(26)이 이루는 각에 의존)가 되도록 구성되어 있다. 자극(32, 34) 사이에 각도를 준 다음 한 쪽 자극(32)과 다른 쪽 자극(34)의 극성을 반대로 하면 발생 자속이 자극(32, 34) 사이를 왔다갔다 하게 된다. 이것에 의해 단일 자극(32; 34)에 의해 발생하는 자속보다 서셉터(16)의 중심측을 통과하는 자속을 발생시키는 것이 가능해진다.In the excitation part 28 as described above, the core 30 of the embodiment is formed by an angle θ formed by a line extending from the center point O of the susceptor 16 toward the center of each end face of the magnetic pole as shown in FIG. 3. ) Is configured to be a predetermined angle (depending on the angle formed by the housing 26). When the angle between the magnetic poles 32 and 34 is reversed and the polarity of one magnetic pole 32 and the other magnetic pole 34 is reversed, the generated magnetic flux moves back and forth between the magnetic poles 32 and 34. This makes it possible to generate the magnetic flux passing through the center side of the susceptor 16 rather than the magnetic flux generated by the single magnetic poles 32;

상기한 바와 같이 본 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)에서는 슬릿(44)을 형성한 각편(26a)에 의해 2개의 개구부(42)를 단일 개구부로서 구성하고, 각 개구부(42)에는 자기투과성 차폐판(46)과 냉각판(48)을 배치하고, 냉각판(48)의 외측에 극성이 다른 자극(32, 34)을 형성하는 구성으로 하고 있다.As described above, in the induction heating apparatus 10 according to the present embodiment, the two openings 42 are formed as a single opening by each piece 26a having the slit 44 formed therein, and each opening 42 has a magnetic permeability. The shielding plate 46 and the cooling plate 48 are disposed, and the magnetic poles 32 and 34 having different polarities are formed outside the cooling plate 48.

실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)에서는 하우징(26)을 금속부재에 의해 구성하고 있다. 이 때문에 각 자극(32, 34)의 근방에 위치하는 개구부(42)의 가장자리부에는 자극(32, 34)으로부터 발생하는 자속에 기인한 야기 전류가 발생한다(도 4 참조). 개구부(42)의 가장자리부에 야기 전류가 발생하면 이 야기 전류에 의해 열(유도가열)이 발생하기 때문에 하우징이 가열되어 버릴 우려가 있다. 이 야기 전류는 자속의 투과방향에 따른 방향의 와전류를 발생시켜 개구부(42)의 가장자리부 형상을 따라 흐르게 된다. 이 때문에 본 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)와 같이 실질적으로 하나의 개구부(42)에 극성이 다른 2개의 자극(32, 34)을 배치함으로써 개구부(42)의 가장자리부에는 각각 반대방향의 야기 전류가 흐르게 된다. 그리고 개구부(42)의 가장자리부에 흐름 방향(극성)이 다른 2개의 야기 전류가 생겼을 경우 야기 전류는 서로 상쇄되게 되어 발열을 억제할 수 있다.In the induction heating apparatus 10 which concerns on embodiment, the housing 26 is comprised by the metal member. For this reason, the induced electric current resulting from the magnetic flux which generate | occur | produces from the magnetic poles 32 and 34 generate | occur | produces in the edge part of the opening part 42 located in the vicinity of each magnetic pole 32 and 34 (refer FIG. 4). If a induced current occurs at the edge of the opening 42, heat (induction heating) is generated by the induced current, which may cause the housing to heat up. This induced current generates an eddy current in the direction along the transmission direction of the magnetic flux, and flows along the edge shape of the opening 42. For this reason, like the induction heating apparatus 10 which concerns on this embodiment, the two poles 32 and 34 which differ substantially in polarity are arrange | positioned at one opening part 42, and the edge part of the opening part 42 has a reverse direction, respectively. Yagi current flows. When two induced currents having different flow directions (polarities) are generated at the edges of the openings 42, the induced currents cancel each other, thereby suppressing heat generation.

이것은 자극(32, 34)에 대한 투입 전류(암페어)와 유도가열 코일(36, 38)의 감은 수(턴)의 곱에 따라 발생하는 유도 기전력이 다음과 같이 나타나는 것으로부터도 알 수 있다. 자극(32)의 암페어턴(100A×7턴)+자극(34)의 암페어턴(-100A×7턴)=0암페어턴.This can be seen from the fact that the induced electromotive force generated by the product of the input current (amperes) to the magnetic poles 32 and 34 and the number of turns (turns) of the induction heating coils 36 and 38 is expressed as follows. Amperton (100A x 7 turns) of magnetic pole 32 + Amperton (-100A x 7 turns) of stimulus 34 = 0 amperes.

또 이러한 작용을 보다 높은 정밀도로 실시하기 위해서는 자극(32)과 자극(34)의 단면 형상 및 크기를 동일하게 하면 된다. 이러한 구성으로 함으로써 자극(32, 34)에 감는 유도가열 코일(36, 38)의 길이가 동일해지고 자극(32, 34)으로부터 발생하는 자속량이 동일해지기 때문이다.In order to perform such an operation with higher precision, the cross-sectional shape and size of the magnetic pole 32 and the magnetic pole 34 may be the same. This is because the length of the induction heating coils 36, 38 wound around the magnetic poles 32, 34 becomes the same, and the amount of magnetic flux generated from the magnetic poles 32, 34 becomes the same.

전원부(40)에는 코어(30) 단위로 각 코어(30)의 자극(32, 34)에 감겨진 유도가열 코일(36, 38)에 대응한 인버터(도시생략)와 도시하지 않은 교류 전원 및 도시하지 않은 전력 제어부 등이 형성되어 있으며, 각 코어(30)에 형성된 유도가열 코일(36, 38) 단위로, 공급하는 전류나 전압 및 주파수 등을 조정할 수 있게 구성되어 있다. 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)에서는 단일 코어(30)에 감겨진 유도가열 코일(36, 38; 예를 들어 자극(32a)에 감겨지는 유도가열 코일(36a)과 자극(34a)에 감겨지는 유도가열 코일(38a))은 회로상 병렬 혹은 직렬인 관계로 하여 감은 방향을 동일하게 한 다음 전류의 투입 방향을 반대로 한다. 이것에 의해 각 코어(30)에서의 2개의 자극(예를 들어 자극(32a)과 자극(34a))의 극성을 반대방향으로 할 수 있다. 여기서 인버터로서 공진형인 것을 채용하는 경우에는 주파수를 간단하게 전환할 수 있도록 각 제어 주파수에 맞춘 공진 콘덴서를 병렬 접속하고, 이것을 전력 제어부로부터의 신호에 따라 전환할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.The power supply unit 40 includes an inverter (not shown) corresponding to the induction heating coils 36 and 38 wound around the magnetic poles 32 and 34 of each core 30 in units of the core 30, and an AC power supply and an illustration not shown. An uncontrolled power control unit and the like are formed, and are configured to adjust current, voltage, frequency, etc. to be supplied in units of induction heating coils 36 and 38 formed in each core 30. In the induction heating apparatus 10 according to the embodiment, the induction heating coils 36 and 38 wound on the single core 30 (for example, the induction heating coils 36a and 34a wound on the magnetic poles 32a). The losing induction heating coil 38a is made in parallel or in series in the circuit so that the winding direction is the same and then the direction of inputting current is reversed. Thereby, the polarity of two magnetic poles (for example, magnetic pole 32a and magnetic pole 34a) in each core 30 can be made into the opposite direction. In this case, when employing a resonant type inverter, it is preferable that the resonant capacitors according to the control frequencies are connected in parallel so that the frequency can be easily switched, and the switching capacitor can be switched in accordance with a signal from the power control unit.

실시형태에 관련된 전력 제어부는 도시하지 않은 존 컨트롤 수단을 가진다. 존 컨트롤 수단은 인접 배치된 코어(30)에 감겨진 유도가열 코일(36, 38) 사이에 발생하는 상호유도의 영향을 피하면서 각 유도가열 코일(36, 38)에 대한 투입 전력을 제어하는 역할을 한다.The power control unit according to the embodiment has zone control means (not shown). Zone control means controls the input power to each induction heating coil (36, 38) while avoiding the influence of mutual induction generated between the induction heating coils (36, 38) wound around the adjacent core (30) Do it.

상기와 같이 근접하여 적층배치되는 코어(30)에 감겨진 유도가열 코일(36, 38)은 각각이 개별 유도가열 코일로서 가동되기 때문에 상하에 인접하는 유도가열 코일간(예를 들어 유도가열 코일(38a)과 유도가열 코일(38b))에서 상호유도가 생겨 개별의 전력 제어에 악영향을 주는 경우가 있다. 이 때문에 존 컨트롤 수단은 검출된 전류의 주파수나 파형(전류 파형)에 기초하여 인접 배치된 유도가열 코일에 투입하는 전류의 주파수를 일치시키고 전류 파형의 위상을 동기(위상차를 O 또는 위상차를 0에 근사시키는 일) 혹은 소정의 위상차를 유지하도록 제어함으로써, 인접 배치한 유도가열 코일 간에서의 상호유도의 영향을 피한 전력 제어(존 컨트롤 제어)를 가능하게 하고 있다.Since the induction heating coils 36 and 38 wound around the cores 30 stacked in close proximity to each other are operated as individual induction heating coils, the induction heating coils adjacent to the upper and lower sides (for example, the induction heating coils ( There is a case in which mutual induction occurs in 38a) and induction heating coil 38b), which adversely affects individual power control. For this reason, the zone control means matches the frequency of the current input to adjacently arranged induction heating coils based on the detected frequency or waveform (current waveform) and synchronizes the phase of the current waveform (phase difference is 0 or phase difference is 0). Approximation) or control to maintain a predetermined phase difference enables power control (zone control control) that avoids the influence of mutual induction between adjacently arranged induction heating coils.

이러한 제어는 각 유도가열 코일(36, 38)에 투입되고 있는 전류치나 전류의 주파수 및 전압치 등을 검출하여 이것을 존 컨트롤 수단에 입력한다. 존 컨트롤 수단에서는 예를 들어 코어(30a)에 감겨진 유도가열 코일(36a, 38a)과 코어(30b)에 감겨진 유도가열 코일(36b, 38b) 간의 전류 파형의 위상을 각각 검출하여 이것을 동기 혹은 소정의 위상차를 유지하도록 제어한다. 이러한 제어는 전력 제어부에 대해 각 유도가열 코일에 투입하는 전류의 주파수를 순간적으로 변화시키는 신호를 출력하는 것으로 이루어진다.This control detects a current value, a frequency and a voltage value of the current and the like input to each of the induction heating coils 36 and 38 and inputs it to the zone control means. In the zone control means, for example, the phases of the current waveforms between the induction heating coils 36a and 38a wound on the core 30a and the induction heating coils 36b and 38b wound on the core 30b are respectively detected and synchronized with each other. Control to maintain a predetermined phase difference. This control consists of outputting a signal to the power control unit that instantaneously changes the frequency of the current applied to each induction heating coil.

본 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)와 같은 구성의 경우, 전력 제어에 관해서는 전력 제어부에 형성된 도시하지 않은 기억 수단(메모리)에 기억된 제어 맵(수직 온도 분포 제어 맵)에 기초하여 열처리 개시부터 경과시간 단위로 변화시키는 투입 전력을 출력하기 위한 신호를 출력하면 된다. 제어 맵은 열처리 개시부터 열처리 종료에 이를 때까지의 적층배치된 서셉터 간의 온도 변화를 보정하여 임의의 온도 분포(예를 들어 균일한 온도 분포)를 얻기 위해 각 유도가열 코일에 부여하는 전력치를 열처리 개시부터의 경과시간과 함께 기록한 것이면 된다. 또한 서셉터(16)의 온도를 계측하는 계측수단(도시생략)을 구비하고 있는 경우에는 각 존에서의 서셉터 온도를 피드백하여 온도 제어(전력 제어)하도록 하면 된다.In the case of the same configuration as the induction heating apparatus 10 according to the present embodiment, the power control is performed based on a control map (vertical temperature distribution control map) stored in a storage unit (memory) (not shown) formed in the power control unit. What is necessary is just to output the signal for outputting the input electric power which changes in time-lapse unit from the start. The control map corrects the temperature change between the stacked susceptors from the start of the heat treatment to the end of the heat treatment to heat the power value applied to each induction heating coil to obtain an arbitrary temperature distribution (for example, a uniform temperature distribution). It may be recorded with the elapsed time from the start. In addition, when the measuring means (not shown) which measures the temperature of the susceptor 16 is provided, what is necessary is to feedback the susceptor temperature in each zone, and to perform temperature control (power control).

이러한 구성의 전원부(40)에서는 전력 제어부로부터의 신호에 기초하여 각 유도가열 코일(36, 38)에 투입하는 전류의 주파수를 순간적으로 조정하고 전류 파형의 위상을 제어함과 동시에 각 유도가열 코일(36, 38) 단위로 전력 제어함으로써 보트(14) 내에서의 수직 방향의 온도 분포를 제어할 수 있다.The power supply unit 40 having such a configuration instantaneously adjusts the frequency of the current applied to each of the induction heating coils 36 and 38 based on a signal from the power control unit, controls the phase of the current waveform, and simultaneously controls each induction heating coil ( By controlling power in units of 36 and 38, the temperature distribution in the vertical direction in the boat 14 can be controlled.

또 이러한 구성의 유도가열 장치(10)에 의하면, 자속이 웨이퍼(60)에 대해 수평으로 작용하기 때문에 웨이퍼(60)의 표면에 금속막 등의 도전성 부재가 형성되어 있는 경우에도 웨이퍼(60)의 온도 분포가 흐트러질 우려가 없다.In addition, according to the induction heating apparatus 10 having such a configuration, even when a conductive member such as a metal film is formed on the surface of the wafer 60 because the magnetic flux acts horizontally with respect to the wafer 60, There is no fear of disturbing the temperature distribution.

이러한 구성의 유도가열 장치에 의하면 챔버(12)의 외부에 배치한 자극(32, 34)의 가열 방지를 실현하면서 피유도가열 부재인 서셉터(16)를 효율적으로 가열하는 것이 가능해진다.According to the induction heating apparatus having such a configuration, it is possible to efficiently heat the susceptor 16 serving as the induction heating member while realizing prevention of heating of the magnetic poles 32 and 34 arranged outside the chamber 12.

다음으로 본 발명의 유도가열 장치에 관련된 제2 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 본 실시형태에 관련된 유도가열 장치의 대부분의 구성은 상기 서술한 제1 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)와 동일하다. 따라서 본 실시형태에서는 상기 제1 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)와 구성을 다르게 하는 주요부만 도시하여 설명하는 것으로 하고, 그 구성이 동일한 곳에는 도면에 동일한 부호를 붙이고 상세한 설명은 생략한다. 그리고 제1 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)와의 차이점으로는 하우징(26)에 형성한 개구부(142)의 형태이다. 구체적으로는 제1 실시형태에 관련된 유도가열 장치에서는 2개의 개구부(42)를 각변(26a)에 형성한 슬릿(44)에 의해 연통하여 단일 개구부로 한 다음, 각 개구부(42) 각각에 자기투과성 차폐판(46)과 냉각판(48)을 개별적으로 배치하는 구성으로 하고 있었다. 이에 반해 본 실시형태에 관련된 유도가열 장치에서는 도 6, 도 7에 나타내는 바와 같이 개구부(142)에 각편을 형성하지 않고 단일 자기투과성 차폐판(46)과 단일 냉각판(48)으로 개구부(42)를 차폐하는 구성으로 하고 있다.Next, the 2nd Embodiment which concerns on the induction heating apparatus of this invention is described in detail, referring drawings. Most configurations of the induction heating apparatus according to the present embodiment are the same as those of the induction heating apparatus 10 according to the first embodiment described above. Therefore, in this embodiment, only the main part which differs in structure from the induction heating apparatus 10 which concerns on said 1st embodiment is shown and demonstrated, The same code | symbol is attached | subjected to the place where the structure is the same, and detailed description is abbreviate | omitted. The difference from the induction heating device 10 according to the first embodiment is the form of the opening 142 formed in the housing 26. Specifically, in the induction heating apparatus according to the first embodiment, the two openings 42 are connected to each other by the slit 44 formed on each side 26a to form a single opening, and then each of the openings 42 is magnetically permeable. The shielding plate 46 and the cooling plate 48 were arranged separately. In contrast, in the induction heating apparatus according to the present embodiment, as shown in FIGS. 6 and 7, the opening 42 is formed by a single magnetically transparent shielding plate 46 and a single cooling plate 48 without forming each piece in the opening 142. It is configured to shield.

이러한 구성으로 한 경우에도 자극(32, 34)의 극성을 다르게 하도록 함으로써 하우징(26)에서 개구부(142)의 가장자리부에 발생하는 야기 전류를 상쇄하는 것이 가능해진다. 또한 그 외의 구성, 작용, 효과에 대해서는 상기 서술한 제1 실시형태에 관련된 유도가열 장치(10)와 동일하다.Even in this configuration, the polarities of the magnetic poles 32 and 34 are made different so that the induced current generated in the edge portion of the opening 142 in the housing 26 can be offset. In addition, the other structure, effect | action, and effect are the same as that of the induction heating apparatus 10 which concerns on 1st Embodiment mentioned above.

10: 유도가열 장치 12: 챔버
14: 보트 16: 서셉터
18: 회전 테이블 20: 테이블
22: 회전축 24: 베이스
26: 하우징 28: 여자부
30(30a～30c): 코어 32(32a～32c): 자극
34(34a～34c): 자극 35(35a～35c): 요크
36(36a～36c): 유도가열 코일 38(38a～38c): 유도가열 코일
40: 전원부 42: 개구부
46: 자기투과성 차폐판 48: 냉각판
50: 냉각관 60: 웨이퍼10: induction heating device 12: chamber
14: Boat 16: Susceptor
18: rotary table 20: table
22: axis of rotation 24: base
26: housing 28: female part
30 (30a-30c): core 32 (32a-32c): magnetic pole
34 (34a-34c): Stimulation 35 (35a-35c): York
36 (36a-36c): induction heating coil 38 (38a-38c): induction heating coil
40: power supply section 42: opening
46: magnetic permeable shield plate 48: cooling plate
50: cooling tube 60: wafer

Claims (73)

프로세스실을 구성하는 금속재료를 포함하는 챔버와, 상기 챔버의 외주에 배치되며 상기 챔버에 형성된 자속을 투과시키는 자기적 개구부를 통해 상기 챔버 내에 배치된 피유도가열 부재를 가열하는 유도가열 코일을 가지는 유도가열 장치로서,
1개의 상기 자기적 개구부에 대하여 상기 자기적 개구부의 가장자리부에 투입되는 자속의 총합이 제로가 되도록 상기 유도가열 코일을 복수 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.A chamber including a metal material constituting the process chamber, and an induction heating coil configured to heat the induction heating member disposed in the chamber through a magnetic opening disposed at an outer circumference of the chamber and transmitting magnetic flux formed in the chamber. Induction heating device,
And an induction heating coil having a plurality of induction heating coils formed so as to have a total sum of magnetic fluxes applied to an edge portion of the magnetic opening with respect to one magnetic opening. 제1항에 있어서,
상기 유도가열 코일은 상기 피유도가열 부재의 끝면을 향하는 교류 자속을 발생시키는 배치 형태로 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 1,
The induction heating coil is in an induction heating device, characterized in that the arrangement to generate an alternating magnetic flux toward the end surface of the induction heating member. 제1항에 있어서,
상기 자기적 개구부를 복수 형성하고,
인접하는 상기 자기적 개구부 사이에는 자속을 투과시키는 자기적 슬릿을 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 1,
Forming a plurality of magnetic openings,
Induction heating apparatus, characterized in that the magnetic slit for transmitting the magnetic flux is formed between the adjacent magnetic opening. 제2항에 있어서,
상기 자기적 개구부를 복수 형성하고,
인접하는 상기 자기적 개구부 사이에는 자속을 투과시키는 자기적 슬릿을 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 2,
Forming a plurality of magnetic openings,
Induction heating apparatus, characterized in that the magnetic slit for transmitting the magnetic flux is formed between the adjacent magnetic opening. 제1항에 있어서,
상기 유도가열 코일을 감는 자극을 구비한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 1,
Induction heating apparatus characterized in that it comprises a magnetic pole for winding the induction heating coil. 제2항에 있어서,
상기 유도가열 코일을 감는 자극을 구비한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 2,
Induction heating apparatus characterized in that it comprises a magnetic pole for winding the induction heating coil. 제3항에 있어서,
상기 유도가열 코일을 감는 자극을 구비한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 3,
Induction heating apparatus characterized in that it comprises a magnetic pole for winding the induction heating coil. 제4항에 있어서,
상기 유도가열 코일을 감는 자극을 구비한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 4, wherein
Induction heating apparatus characterized in that it comprises a magnetic pole for winding the induction heating coil. 제5항에 있어서,
상기 유도가열 코일이 감긴 적어도 2개의 자극을 연결하는 요크를 구비한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 5,
And a yoke for connecting at least two magnetic poles wound around the induction heating coil. 제6항에 있어서,
상기 유도가열 코일이 감긴 적어도 2개의 자극을 연결하는 요크를 구비한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 6,
And a yoke for connecting at least two magnetic poles wound around the induction heating coil. 제7항에 있어서,
상기 유도가열 코일이 감긴 적어도 2개의 자극을 연결하는 요크를 구비한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 7, wherein
And a yoke for connecting at least two magnetic poles wound around the induction heating coil. 제8항에 있어서,
상기 유도가열 코일이 감긴 적어도 2개의 자극을 연결하는 요크를 구비한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 8,
And a yoke for connecting at least two magnetic poles wound around the induction heating coil. 제1항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 1,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제2항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 2,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제3항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 3,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제4항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 4, wherein
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제5항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 5,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제6항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 6,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제7항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 7, wherein
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제8항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 8,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제9항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.10. The method of claim 9,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제10항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 10,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제11항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 11,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제12항에 있어서,
상기 자기적 개구부의 바깥 가장자리에 냉매를 삽입통과시키는 삽입통과로를 형성한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 12,
Induction heating apparatus, characterized in that the insertion passage for inserting the refrigerant through the outer edge of the magnetic opening formed. 제1항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 1,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제2항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 2,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제3항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 3,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제4항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 4, wherein
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제5항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 5,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제6항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 6,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제7항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 7, wherein
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제8항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 8,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제9항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.10. The method of claim 9,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제10항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 10,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제11항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 11,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제12항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 12,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제13항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 13,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제14항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.15. The method of claim 14,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제15항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.16. The method of claim 15,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제16항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 16,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제17항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.18. The method of claim 17,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제18항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.19. The method of claim 18,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제19항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.20. The method of claim 19,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제20항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.21. The method of claim 20,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제21항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 21,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제22항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 22,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제23항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.24. The method of claim 23,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제24항에 있어서,
복수의 상기 유도가열 코일 중 극성이 다른 2개의 코일을 쌍으로 하여 감은 수 및 감은 단면의 형상을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.25. The method of claim 24,
Induction heating apparatus, characterized in that the shape of the number of wound and the wound cross-section in the pair of two coils of different polarity among the plurality of induction heating coils to be the same. 제29항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.30. The method of claim 29,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제30항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.31. The method of claim 30,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제31항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.32. The method of claim 31,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제32항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.33. The method of claim 32,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제33항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.34. The method of claim 33,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제34항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.35. The method of claim 34,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제35항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.36. The method of claim 35,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제36항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.37. The method of claim 36,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제41항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.42. The method of claim 41,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제42항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.43. The method of claim 42,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제43항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.44. The method of claim 43,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제44항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 44,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제45항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method of claim 45,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제46항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.47. The method of claim 46,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제47항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.49. The method of claim 47,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제48항에 있어서,
상기 자극의 단면 형상, 및 치수를 동일하게 한 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.49. The method of claim 48,
Induction heating apparatus, characterized in that the cross-sectional shape and dimensions of the magnetic poles are the same. 제25항 내지 제64항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 유도가열 코일에 흘려 보내는 전류치를 동일하게 할 수 있는 전원부를 구비하는 것을 특징으로 하는 유도가열 장치.The method according to any one of claims 25 to 64,
And a power supply unit capable of equalizing a current value flowing through the induction heating coil. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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