KR101173120B1 - 천정 주행차 시스템 - Google Patents

천정 주행차 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR101173120B1
KR101173120B1 KR1020090113446A KR20090113446A KR101173120B1 KR 101173120 B1 KR101173120 B1 KR 101173120B1 KR 1020090113446 A KR1020090113446 A KR 1020090113446A KR 20090113446 A KR20090113446 A KR 20090113446A KR 101173120 B1 KR101173120 B1 KR 101173120B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
double
timing belt
guide rail
traveling
sided toothed
Prior art date
Application number
KR1020090113446A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110056933A (ko
Inventor
백철준
송사헌
이준배
윤종보
장보순
Original Assignee
주식회사 신성에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 신성에프에이 filed Critical 주식회사 신성에프에이
Priority to KR1020090113446A priority Critical patent/KR101173120B1/ko
Publication of KR20110056933A publication Critical patent/KR20110056933A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101173120B1 publication Critical patent/KR101173120B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733Overhead conveying
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0457Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66CCRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
    • B66C17/00Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769Storage means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 천정 주행차 시스템에 관한 것으로서, 주행 레일의 하측에 천정 주행차의 본체 베이스가 배열되고, 상기 횡방향 이동수단은, 상기 승강대를 하부에 구비한 본체 베이스(18)의 내측에서 무한궤도 운행가능하게 좌우방향으로 상호 이격되어, 상기 본체 베이스(18)의 내측면에 회전 가능하게 지지된 제1 및 제2 타이밍풀리에 걸어감김 결합된 제1 양면톱니-붙이-타이밍벨트와, 상기 제1 양면톱니-붙이-타이밍벨트의 하측 톱니와 기어맞물림 결합되는 제1 랙기어부가 상측에 결합된 지지대가 상부에 형성되고, 상기 본체 베이스 하부 내측에 횡배열된 제1 가이드 레일과, 이 제1 가이드 레일로부터 설정거리 하부로 이격배열된 제2 가이드레일 내에서 좌우방향으로 진퇴이동 가능하게 설치된, 제1 이동블록과, 상기 제1 이동블록의 지지대의 내측면에 회전가능하게 좌우방향으로 상호 이격된 제3 및 제4 타이밍풀리에 걸어감김 결합되고, 상기 제1 가이드 레일의 제1 랙기어부와 기어맞물림 결합된 제2 양면톱니-붙이-타이밍벨트와, 상기 제1 양면톱니-붙이-타이밍벨트의 하측 톱니와 상부가 기어맞물림 결합되어 상기 제2 양면톱니-붙이 타이밍벨트의 무한궤도 운행에 연동하여 좌우방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 이동블록의 하측에 결합된 제3 가이드레일에 하부가 미끄럼 이동 가능하게 지지된 제2 이동블록을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

천정 주행차 시스템{OVERHEAD TRAVELING VEHICLE SYSTEM}
본 발명은 반도체장치 제조용의 각종 기판 등을 반송하는 반송차를 구비한 천정 주행차 시스템에 관련한 것으로서, 사이드 버퍼나 쉘프 내의 버퍼링 공간 내로 물품을 진입하는 측의 천정 주행차 시스템의 횡방향 이동수단의 상하간 높이를 저감시켜 보다 많은 쉘프 또는 사이드 버퍼의 버퍼링 공간수를 확보할 수 있도록 함으로써, 이송 상의 공간 효율화를 이용함과 동시에, 쉘프 및 사이드 버퍼 간의 교차 이송이 가능케 되는 등, 보다 신속하고도 대량의 물품 이송에 따른 버퍼링(buffering) 효율을 증대시키는 것을 비롯한 천정 주행차 시스템의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있도록 한 천정 주행차 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 천정 주행차 시스템은, 크린 룸 내의 천정 공간를 이용해서 배치되고, 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP 등의 물품(28)을 처리 장치나 검사 장치 등의 로드 포트 간에서 반송하며, 본 명세서에서 검사 장치는 처리 장치의 일종으로 간주된다. 반송 물품의 종류는 임의적이다.
주행 레일(10)은 지주(11) 등에 의해 크린 룸의 천정 등으로부터 지지되고, 주행 레일 본체(12)와 급전 레일(13)로 이루어진다. 천정 주행차(4)에는 주행 구동부(14)를 설치하여 주행 레일 본체(12)내를 주행하고, 수전부(16)에 의해 급전 레일(13)로부터 수전(受電)됨과 아울러, 도시되지 않은 시스템 컨트롤러 사이에서 통신한다.
주행 레일(10)의 하측에 천정 주행차(4)의 본체 베이스(18)가 있고, 횡방향 이동수단의 예로서의 스칼라 암(20)을 설치하여 선회부(22), 승강 구동부(24), 승강대(26) 및 물품(28)을 주행 레일(10)의 진행 방향과 거의 직각으로 좌우 방향으로 횡 이동시킨다. 천정 주행차(4)의 전후에 물품(28)을 전후로부터 끼우도록 한 쌍의 낙하 방지 커버(29)를 설치하며, 도 1,도 2에서는 전방측의 낙하 방지 커버를 제외하고 도시한다.
스칼라 암(20)은 상하 한 쌍의 암(20a, 20b)을 구비하여 주행 중에는 암(20a, 20b)을 주행 레일(10)과 평행한 방향으로 상하로 중첩시키고, 이에 따라 선회부(22)는 본체 베이스(18)의 바로 아래에 있다. 물품(28)을 횡 이동시킬 때에는 도 1의 1점 쇄선과 같이, 암(20a, 20b)을 연장시키면 물품(28)은 사이드 버퍼(6)의 상부로 횡 이동한다. 이것에 대해서 도 1의 2점 쇄선과 같이 스칼라 암(20)을 연장시키면 물품(28)은 사이드 버퍼(8)의 상부로 이동한다. 선회부(22)의 선회 각도를 예를들면, 5도 이내 등의 작은 범위라도 좋지만, 바람직하게는 선회부(22)에서 예를 들면, 90도 회전할 수 있도록 하여, 물품(28)의 방향을 처리 장치에 적합한 방향으로 변경할 수 있게 한다. 승강 구동부(24)는 선회부(22)에 지지되어 승강대(26)를 벨트나 와이어, 로프 등의 매달기 재료에 의해 승강시키며, 승강대(26)는 물품(28)의 상부 플랜지를 핸드(hand)에 의해 척킹(chucking)/해방 가능하게 한다. 상기한 스칼라 암(20) ~ 승강대(26)에 의해 천정 주행차(4)는 물품(28)을 그 바로 아래의 위치와 주행 레일(10)의 좌우 양측의 위치에서 로드 포트나 버퍼(6, 8) 등과 주고 받을 수 있다. 또한, 필요에 따라 물품(28)의 방향을 변경할 수도 있다. 또한, 도 1의 30은 사이드 버퍼(6, 8)의 지주이다. 횡방향 이동수단은 물품(28)을 주행 레일(10)의 좌우 양측으로 횡 이동시킬 수 있는 것이라면 좋다. 도 2의 천정 주행차(34)는 상하 2단의 배속 벨트 기구(36, 38)를 구비하여 물품(28)을 횡 이동시킨다. 연결부(40)는 상측의 배속 벨트 기구(36)의 벨트를 본체 베이스(18)에 고정한다. 또한, 상측의 배속 벨트 기구(36)는 볼 나사(46) 등의 구동 기구에 의해 본체 베이스(18)에 대해 소정의 스트로크로 좌우 이동한다. 연결부(42)는 상하의 배속 벨트 기구(36, 38)의 벨트를 연결하고, 하측의 배속 벨트 기구(38)는 볼 나사(48) 등의 구동 기구에 의해 상측의 배속 벨트 기구(36)에 대해 좌우 이동한다. 여기에서 예를 들면, 상하의 배속 벨트 기구(36, 38)를 볼 나사(46, 48)에 의해 동일한 스트로크 만큼 도 2의 좌측으로 이동시켰다고 한다. 배속 벨트 기구(36)의 벨트는 연결부(40)에 의해 본체 베이스(18)에 고정되어 있으므로, 연결부(42)는 그 2배의 스트로크로 좌측으로 이동한다. 이어서, 연결부(44)는 연결부(42)에 대해 볼 나사(48)의 스트로크의 2배 만큼 좌측으로 이동한다. 이와 같이 해서, 도 2의 1점쇄선과 같이, 물품(28)은 주행 레일의 좌측(처리 장치의 반대측)으로 이동한다. 볼 나사(46, 48)를 역방향으로 구동시키면, 도 2의 2점쇄선과 같이, 물품(28)은 주행 레일(10)의 우측(처리 장치측)으로 이동한다.
그러나, 이와 같은 측방향 이송을 위한 상하의 배속 벨트 기구(36, 38), 스칼라 암(20a, 20b), 선회부(22), 승강 구동부(24), 승강대(26) 및 볼나사(46, 48)을 포함하는 횡방향 이동수단에 의해 물품(28)을 주행 레일(10)의 진행 방향과 직교하는 좌우 방향으로 횡이동 시, 이 같은 횡방향 이동수단이 배치되는 공간 등의 상하 높이 단차로 인해, 사이드 버퍼(6, 8)에 이 단차만큼의 사공간을 더 높이 버퍼링 공간을 마련해야만 하는 설계상의 제약이 뒤따르는 단점을 내포하고 있었다.
이와 같은 사공간으로 인해, 불필요하게 사이드 버퍼의 크기가 커지는 등의 저효율적인 문제점이 파생되게 되었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 사이드 버퍼나 쉘프 내의 버퍼링 공간 내로 물품을 진입하는 측의 천정 주행차 시스템의 횡방향 이동수단의 상하간 높이를 저감시켜 보다 많은 쉘프 또는 사이드 버퍼의 버퍼링 공간수를 확보할 수 있도록 함으로써, 이송 상의 공간 효율화를 이용함과 동시에, 쉘프 및 사이드 버퍼 간의 교차 이송이 가능케 되는 등, 보다 신속하고도 대량의 물품 이송에 따른 버퍼링(buffering) 효율을 증대시키는 것을 비롯한 천정 주행차 시스템의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있도록 한 천정 주행차 시스템을 제공함에 주된 기술적 해결과제가 있는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 천정 주행차의 주행 레일을 따라 이동하도록 하기 위한 주행 구동부와, 이 주행 구동부를 따라 주행하면서, 상기 주행 레일의 좌우측에 설비된 사이드 버퍼에 대한 물품의 지지와 주고받음을 수행하도록 승강구동하기 위한 승강대를 구비한 천정 주행차에 대하여 주행 레일의 좌우로 이동시키는 횡방향 이동수단을 천정 주행차에 설치한 천정 주행차 시스템에 있어서,
상기 주행 레일의 하측에 천정 주행차의 본체 베이스가 배열되고,
상기 횡방향 이동수단은,
상기 승강대를 하부에 구비한 본체 베이스의 내측에서 무한궤도 운행가능하게 좌우방향으로 상호 이격되어, 상기 본체 베이스의 내측면에 회전 가능하게 지지된 제1 및 제2 타이밍풀리에 그의 양단이 걸어감김 결합된 제1 양면톱니-붙이-타이밍벨트와,
상기 제1 양면톱니-붙이-타이밍벨트의 외면 하측 톱니와 기어맞물림 결합되는 제1 랙기어부가 상측에 결합된 지지대가 상부에 형성되고, 상기 본체 베이스 하부 내측에 횡배열된 제1 가이드 레일과, 이 제1 가이드 레일로부터 설정거리 상부로 이격배열된 제2 가이드레일 내에서 제2 양면톱니-붙이-타이밍벨트(102)의 좌우이동에 연동하는 상기 제1 랙기어부를 매개로 좌우방향으로 진퇴이동 가능하게 설치된, 제1 이동블록과,
상기 제1 이동블록의 지지대의 내측면에 회전가능하게 좌우방향으로 상호 이격된 제3 및 제4 타이밍풀리에 그의 양단이 걸어감김 결합됨과 아울러 상기 제2 가이드 레일의 제2 랙기어부와 기어맞물림 결합된 제2 양면톱니를 외부면에 갖는 구성의 제2 양면톱니-붙이-타이밍벨트와,
상기 제2 양면톱니-붙이-타이밍벨트의 하측 톱니와 상부가 기어맞물림 결합되도록 상면에 제3 랙기어부를 가지며 상기 제2 양면톱니-붙이 타이밍벨트의 무한궤도 운행에 연동하여 좌우방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 이동블록의 하측에 결합된 제3 가이드레일(123)에 하부가 미끄럼 이동 가능하게 지지된 제2 이동블록을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 양면톱니-붙이 타이밍벨트는, 상기 제1 타이밍 풀리의 측방에 상기 제1 타이밍 풀리와 설정거리 이격되어, 상기 본체 베이스의 내측면에 상기 제1 타이밍 풀리와 함께 회전 가능하게 지지된 제5 타이밍풀리에 걸림 결합 후 상방향으로 연장하여, 상측의 구동모터의 회전력을 전달받아 회전되도록 횡 지지된 회전구동축에 걸어감김 결합된 구동 타이밍벨트에 연동 가능하게 구성됨이 바람직하다.
또, 상기 제1 내지 제3 가이드레일은 리니어가이드를 채용하는 구성으로 됨이 바람직하다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 물품의 측방에서 바로 물품을 좌우 이동시키도록 함에 있어 보다 낮은 키높이의 간단 구성으로도, 물품을 이동시키는데 걸리는 시간 등을 단축시킴과 동시에 이송 상의 신뢰성을 상승시켜, 보다 효율적인 물품 버퍼링이 가능케 되는 등의 장점이 있다.
이하, 본 발명에 구성을 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 3은 본 발명의 일 실시예를 적용한 천정 주행차 시스템과 다수의 카세트가 수납되는 쉘프를 나타낸 사시 구조도이고, 도 4는 도 3의 천정 주행차 시스템과 다수의 카세트가 수납되는 쉘프 및 사이드 버퍼의 측면 구조도이며, 도 5는 도 4에서 천정 주행차 시스템만을 따로 떼어내어 도시한 측면 구조도이고, 도 6는 도 3의 천정 주행차 시스템의 사시구조도이며, 도 7은 도 3에서 주행 레일과 이에 현가결합되는 천정 주행차 시스템의 결합관계를 명료히 나타내기 사시 구조도이고, 도 8은 도 7의 천정 주행차 시스템에서의 횡방향 이동수단의 구성을 개략적으로 예시한 사시구조도이며, 도 9는 도 8의 천정 주행차 시스템에서의 횡방향 이동수단의 구성을 상세히 분해하여 예시한 분해 사시구조도이다.
본 발명은, 다수의 카세트가 수납되는 쉘프; 상기 쉘프의 반송 구간 측방에 배치되고, 상기 반송 구간을 따라 이송되면서 상기 쉘프에 카세트를 입출고시키는 천정 주행차 시스템의 일환으로서 도출되었다. 종래와 동일한 구성요소는 동일한 부호를 부여하여 설명한다.
본 발명의 일실시예에 따른 천정 주행차 시스템은, 천정 주행차의 주행 레일을 따라 이동하도록 하기 위한 주행 구동부(14)와, 이 주행 구동부(14)를 따라 주행하면서, 상기 주행 레일(10)의 측면에 설비된 스토커(60)의 각 쉘프(61) 및 사이드 버퍼(6)에 대하여 물품(28)의 지지와 주고받음을 수행하도록 승강구동하기 위한 승강대(26)를 구비한 천정 주행차(4))에 대하여 주행 레일(10)의 좌우로 이동시키는 횡방향 이동수단을 천정 주행차(4)에 설치한 구성으로 되어 있다.
또, 상기 주행 레일(10)의 하측에는 천정 주행차(4)의 본체 베이스(18)가 배열되어 있다.
상기 횡방향 이동수단(100)은, 상기 승강대(26)를 하부에 구비한 본체 베이스(18)의 내측에서 무한궤도 운행가능하게 좌우방향으로 상호 이격되어, 상기 본체 베이스(18)의 내측면에 회전 가능하게 이격되어 지지된 제1 및 제2 타이밍풀리(P1, P2)에 양단이 걸어감김 결합된 제1 양면톱니-붙이-타이밍벨트(101)와, 상기 제1 양면톱니-붙이-타이밍벨트(101)의 하측 톱니와 기어 맞물림 결합되는 제1 랙기어부(111b)가 상측에 결합된 지지대(111a)가 상부에 형성되고, 상기 본체 베이스(18) 하부 내측에 횡배열된 제1 가이드 레일(121)과, 이 제1 가이드 레일(121)로부터 설정거리 상부로 이격배열되고 제2 랙기어부(122a)를 하면에 갖는 제2 가이드레일(122) 내에서 좌우방향으로 진퇴이동 가능하게 설치된 제1 이동블록(111)과, 상기 제1 이동블록(111)의 지지대(111a)의 내측면에 회전가능하게 좌우방향으로 상호 이격된 제3 및 제4 타이밍풀리(P3, P4)에 그의 양단이 걸어감김 결합됨과 아울러 상기 제2 가이드 레일(122)의 제2 랙기어부(122a)와 기어맞물림 결합된 제2 양면톱니를 외부면에 갖는 구성의 제2 양면톱니-붙이-타이밍벨트(102)와, 상기 제2 양면톱니-붙이-타이밍벨트(102)의 하측 톱니와 상부가 기어맞물림 결합되도록 상면에 제3 랙기어부(112a)를 가지며 상기 제2 양면톱니-붙이 타이밍벨트의 무한궤도 운행에 연동하여 좌우방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 이동블록(111)의 하측에 결합된 제3 가이드레일(123)에 하부가 미끄럼 이동 가능하게 지지된 제2 이동블록(112)을 포함하는 구성으로 되어 있다.
또, 상기 제1 양면톱니-붙이 타이밍벨트(101)는, 상기 제1 타이밍 풀리(P1)의 측방에 상기 제1 타이밍 풀리(P1)와 설정거리 이격되어, 상기 본체 베이스(18)의 내측면에 상기 제1 타이밍 풀리(P1)과 함께 회전 가능하게 지지된 제5 타이밍풀리(P5)에 걸림 결합 후 상방향으로 연장하여, 상측의 구동모터(M)의 회전력을 전달받아 회전되도록 횡 지지된 회전구동축(M1)에 걸어감김 결합된 구동 타이밍벨트(103)에 연동 가능하게 구성되어 있다. 물론, 상기 구동모터(M)의 회전구동축(M1)은 상기 양쪽에 대향하여 배열된 횡방향 이동수단(100)의 제1 타이밍 풀리(P1, P1)들에 직접적으로 고정결합되어 직접 회전구동방식으로 구성되어도 좋다.
한편, 미설명 부호(26)는 승강대로서, 상기 주행레일 본체에 대하여 벨트나 와이어, 로프 등의 매달기 자재에 의해 승강시키며, 물품(28)의 상부 플랜지를 핸드(hand)에 의해 척킹(chucking)/해방 가능하게 구성되어 있다. 또한, 미설명 부호(80)는 카세트 등의 물품(28)의 이송 시, 상기 스토커(60)의 쉘프(61)나 버퍼(6 또는 8) 등에 대하여 반입 및 반출 작동을 조력하도록 물품(28)의 바닥을 양측단에서 재치하도록 지지하는 파워척기구이다.
또한, 상술한 구성에 의해, 상기 제1 및 제2 타이밍 풀리(P1, P2)에 그의 양단이 걸어감김된 제1 양면톱니-붙이 타이밍벨트(101)는, 상기 구동 타이밍벨트(1030)에 의해, 구동모터(M)의 구동피니언(M1)의 회전구동력을 매개로 무한궤도 운동하게 되면, 상기 제1 양면톱니-붙이 타이밍벨트(101)의 외면에 돌출 형성된 외측 톱니와 기어맞물림 결합된 상기 제1 랙기어부(111b)가 상측에 결합된 상기 지지대(111a)를 궤도 운행시켜, 이 지지대(111a)가 결합고정된 상기 제1 이송블록(111)을 연동하여 궤도 운행시키게 된다.
다음에, 상기 지지대(111a)에 회전 가능하게 지지된 제3 및 제4 타이밍풀리(P1, P2)의 상측은 상기 제2 가이드레일(122)의 하면에 형성된 제2 랙기어부(122a)에 맞물리 지지된 상태에서, 상기 제2 이동블록(112)의 제3 랙기어부(112a)를 상대적으로 횡방향으로 밀어내면서, 상기 제2 이동블록(112)이 신축운동되게 되는 것이다.
이때, 상기 제2 이동블록(112)와 제1 이동블록(111)이 상기 본체 베이스(18)로부터 돌출되는 방향으로 운동하도록 상기 구동모터(M)가 정구동되게 되면, 신장운동이 되고, 여기에서 반대방향으로 역구동하게 되면, 축소운동되게 된다.
또한, 여기에서 더 역구동하게 되면, 재차 상기 본체 베이스(18)의 반대방향으로 돌출되면서 반대방향으로의 신장운동이 발생하게 되는 것이다.
이로써, 상기 제1 및 제2 이동블록(111, 112)의 신축운동에 따라, 상기한 물품의 주고받음 작동이 가능케 되는 것이다.
상기한 신축운동 즉, 횡방향 이동을 위한 횡방향 이동수단(100)의 예로서의 리니어 가이드 형식과, 이중 톱니부를 갖는 제1 및 제2 양면톱니-붙이 타이밍 벨트(101, 102)를 선택적으로 무한궤도 이동시켜, 상기 물품(28)이 주행 레일(10)의 진행 방향과 거의 직각으로 좌우 방향으로 횡 이동시키면서 수수 작동을 구현하게 되는 것이다.
다시 말해서, 상기한 횡방향 이동은, 상기 구동모터(M)의 구동력을 구동축(M1)을 매개로 전동받는 제1 양면톱니-붙이 타이밍벨트(101)가 무한궤도로 회전이동되고, 이 무한궤도 이동력에 의해 상기 제1 이동블록(111)이 연동하여 전동 이동되고, 이 제1 이동블록(111)의 전동 이동력을 상기 제2 양면톱니-붙이 타이밍벨트(102)를 매개로 상기 제2 이동블록(112)의 제3 랙기어부(112a)가 궤도 이송력을 전달받아 신축이동하게 되면서, 상기한 파워척기구(80)를 진퇴이동시켜, 이에 지지되어 이동하는 물품(28)을 스토커(60)의 쉘프(61)나 버퍼(6 or 8)에 반송시키는 것이 가능케 되는 것이다.
이로써, 상기 횡방향 이동수단(100)은 주행 레일의 좌우 양측으로 횡 이동가능하고, 주행 레일의 좌우 양측의 각 공간으로 물품을 일시 보관하기 위한 버퍼링 작업을 보다 신뢰성 있고도 용이하게 수행할 수 있게 되는 것이다.
또한, 본 발명은, 반도체장치 제조용의 각종 기판 등을 반송하는 반송차를 구비한 천정 주행차 시스템에 있어, 사이드 버퍼 내의 버퍼링 공간 내로 물품을 진입하는 측의 천정 주행차 시스템의 횡방향 이동수단의 상하간 높이를 저감시켜 보다 많은 사이드 버퍼의 버퍼링 공간수를 확보할 수 있도록 함으로써, 사이드 버퍼의 공간 효율화를 이용해서 보다 많은 물품을 버퍼링(buffering)하여 천정 주행차 시스템의 반송 효율을 더욱 향상시킬 수 있는 등의 매우 뛰어난 효과가 있는 것이다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위 가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1 및 도 2는 전방측의 낙하 방지 커버를 제외하고 도시한 종래예에 따른 천정 주행차 시스템의 측면 구조도,
도 3은 본 발명의 일 실시예를 적용한 천정 주행차 시스템과 다수의 카세트가 수납되는 쉘프를 나타낸 사시 구조도,
도 4는 도 3의 천정 주행차 시스템과 다수의 카세트가 수납되는 쉘프의 측면 구조도,
도 5는 도 4에서 천정 주행차 시스템만을 따로 떼어내어 도시한 측면 구조도,
도 6는 도 3의 천정 주행차 시스템의 사시구조도,
도 7은 도 3에서 주행 레일과 이에 현가결합되는 천정 주행차 시스템의 결합관계를 명료히 나타내기 위한 분해 조립사시도,
도 8은 도 7의 천정 주행차 시스템에서의 횡방향 이동수단의 구성을 개략적으로 예시한 사시구조도, 및
도 9는 도 8의 천정 주행차 시스템에서의 횡방향 이동수단의 구성을 상세히 분해하여 예시한 분해 사시구조도.

Claims (3)

  1. 천정 주행차의 주행 레일을 따라 이동하도록 하기 위한 주행 구동부(14)와, 이 주행 구동부(14)를 따라 주행하면서, 상기 주행 레일(10)의 측면에 설비된 스토커(60)의 쉘프(61)에 대하여 물품(28)의 지지와 주고받음을 수행하도록 승강구동하기 위한 승강대(26)를 구비한 천정 주행차(4)에 대하여 주행 레일(10)의 좌우로 이동시키는 횡방향 이동수단을 천정 주행차(4)에 설치한 천정 주행차 시스템에 있어서,
    상기 주행 레일(10)의 하측에는 천정 주행차(4)의 본체 베이스(18)가 배열되고,
    상기 횡방향 이동수단(100)은,
    상기 승강대를 하부에 구비한 본체 베이스(18)의 내측에서 무한궤도 운행가능하게 좌우방향으로 상호 이격되어, 상기 본체 베이스(18)의 내측면에 회전 가능하게 지지된 제1 및 제2 타이밍풀리(P1, P2)에 걸어감김 결합된 제1 양면톱니-붙이-타이밍벨트(101)와,
    상기 제1 양면톱니-붙이-타이밍벨트(101)의 하측 톱니와 기어맞물림 결합되는 제1 랙기어부(111b)가 상측에 결합된 지지대(111a)가 상부에 형성되고, 상기 본체 베이스(18) 하부 내측에 횡배열된 제1 가이드 레일(121)과, 이 제1 가이드 레일(121)로부터 설정거리 상부로 이격배열되고 제2 랙기어부(122a)를 하면에 갖는 제2 가이드레일(122) 내에서 좌우방향으로 진퇴이동 가능하게 설치된, 제1 이동블록(111)과,
    상기 제1 이동블록(111)의 지지대(111a)의 내측면에 회전가능하게 좌우방향으로 상호 이격된 제3 및 제4 타이밍풀리(P3, P4)에 걸어감김 결합되고, 상기 제2 가이드 레일(122)의 제2 랙기어부(122a)와 기어맞물림 결합된 제2 양면톱니-붙이-타이밍벨트(102)와, 상기 제2 양면톱니-붙이-타이밍벨트(102)의 하측 톱니와 상부가 기어맞물림 결합되도록 상면에 제3 랙기어부(112a)를 가지며 상기 제2 양면톱니-붙이 타이밍벨트의 무한궤도 운행에 연동하여 좌우방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 이동블록(111)의 하측에 결합된 제3 가이드레일(123)에 하부가 미끄럼 이동 가능하게 지지된 제2 이동블록(112)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 양면톱니-붙이 타이밍벨트(101)는, 상기 제1 타이밍 풀리(P1)의 측방에 상기 제1 타이밍 풀리(P1)와 설정거리 이격되어, 상기 본체 베이스(18)의 내측면에 상기 제1 타이밍 풀리(P1)와 함께 회전 가능하게 지지된 제5 타이밍풀리(P5)에 걸림 결합 후 상방향으로 연장하여, 상측의 구동모터(M)의 회전력을 전달받아 회전되도록 횡 지지된 회전구동축(M1)에 걸어감김 결합된 제3 타이밍벨트(103)에 연동 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 가이드레일은 리니어가이드인 것을 특징으로 하는 천정 주행차 시스템.
KR1020090113446A 2009-11-23 2009-11-23 천정 주행차 시스템 KR101173120B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090113446A KR101173120B1 (ko) 2009-11-23 2009-11-23 천정 주행차 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090113446A KR101173120B1 (ko) 2009-11-23 2009-11-23 천정 주행차 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110056933A KR20110056933A (ko) 2011-05-31
KR101173120B1 true KR101173120B1 (ko) 2012-08-14

Family

ID=44365224

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090113446A KR101173120B1 (ko) 2009-11-23 2009-11-23 천정 주행차 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101173120B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101609338B1 (ko) * 2015-03-16 2016-04-05 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 캐리어를 천정에 보관하고 처리하는 장치

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130117143A (ko) 2012-04-17 2013-10-25 삼성전자주식회사 호이스트 장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006043867A (ja) 2004-07-05 2006-02-16 Yachiyotekku:Kk 多段伸縮位置決め移動装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006043867A (ja) 2004-07-05 2006-02-16 Yachiyotekku:Kk 多段伸縮位置決め移動装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101609338B1 (ko) * 2015-03-16 2016-04-05 크린팩토메이션 주식회사 웨이퍼 캐리어를 천정에 보관하고 처리하는 장치
US10141213B2 (en) 2015-03-16 2018-11-27 Daifuku Co., Ltd. Apparatus for storing and handling article at ceiling
US10453724B2 (en) 2015-03-16 2019-10-22 Daifuku Co., Ltd. Apparatus for storing and handling article at ceiling

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110056933A (ko) 2011-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5316907B2 (ja) 物品搬送設備
JP4967318B2 (ja) ストッカ
US7578240B2 (en) Overhead traveling vehicle system and article storage method in the overhead traveling vehicle system
JP4277287B2 (ja) 天井走行車
CN1118428C (zh) 一体式的隔舱内部输送、存放及运送装置
JP7324422B2 (ja) 天井吊下棚及び搬送システム
KR101488649B1 (ko) 기판 반송 로봇 및 시스템
KR100743194B1 (ko) 이송시스템
KR101495574B1 (ko) 반송 장치, 반송 시스템 및 신장 기구
US8967403B2 (en) Hoist apparatus and hoist transporting system
JP4615015B2 (ja) コンテナ搬送システム
KR20080050358A (ko) 컨베이어와 반도체 처리 도구 로드포트 간의 인터페이스
JP2005350147A (ja) フリーフロー搬送システム
KR101690970B1 (ko) 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법
CN104986686A (zh) 物料转移机
KR101504146B1 (ko) 반송시스템
JP4702693B2 (ja) 搬送台車及び搬送装置
TW201934442A (zh) 搬送車
KR101173120B1 (ko) 천정 주행차 시스템
WO2010106659A1 (ja) 昇降移載装置及び搬送処理システム
JP3832745B2 (ja) 天井走行車システム
JP6814412B2 (ja) 搬送システム
CN112930312B (zh) 桥式输送车
JPH10315178A (ja) ロボット
KR101576543B1 (ko) 이송대차 시스템 및 이송대차를 이용한 대상물 이적재방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150803

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160803

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170804

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180726

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190805

Year of fee payment: 8