KR101162032B1 - 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트 - Google Patents

슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트 Download PDF

Info

Publication number
KR101162032B1
KR101162032B1 KR1020110146181A KR20110146181A KR101162032B1 KR 101162032 B1 KR101162032 B1 KR 101162032B1 KR 1020110146181 A KR1020110146181 A KR 1020110146181A KR 20110146181 A KR20110146181 A KR 20110146181A KR 101162032 B1 KR101162032 B1 KR 101162032B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bar
rails
bars
slot
glass substrate
Prior art date
Application number
KR1020110146181A
Other languages
English (en)
Inventor
조병일
유재원
Original Assignee
(주)상아프론테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)상아프론테크 filed Critical (주)상아프론테크
Priority to KR1020110146181A priority Critical patent/KR101162032B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101162032B1 publication Critical patent/KR101162032B1/ko
Priority to CN201210545369.1A priority patent/CN103183182B/zh

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Lock And Its Accessories (AREA)

Abstract

슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트가 개시되어 있다.
개시된 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트는, 유리기판의 크기에 따라 슬롯바의 사이간격을 조절하기 위한 간격조절장치를 갖는 유리기판 적재 카세트로서, 상기 간격조절장치는, 일정간격을 두고 나란하게 배치되는 제1, 2 레일; 상기 제1, 2레일의 길이방향을 따라 이동 가능하게 설치되며, 상기 슬롯바가 장착된 제1, 2이동부재; 상기 각 이동부재에 결합된 채, 각 이동부재가 레일궤도를 이탈하지 않도록 안내해 주는 역할을 하는 복수의 가이드 블록; 상기 제1, 2레일 사이에 회전 가능하게 설치되며, 일측 외주면에는 왼나사부가 형성되어 이에 상기 제1, 2이동부재 중 어느 하나의 이동부재가 결합되고, 타측 외주면에는 오른나사부가 형성되어 이에 상기 제1, 2이동부재 중 다른 하나의 이동부재가 결합되는 스크류 샤프트; 및 상기 스크류 샤프트를 회전시키기 위한 회전부재를 포함하되,
상기 제1 이동부재는, 상기 제1, 2 레일의 일측 길이방향을 따라 이동될 수 있도록 상기 제1, 2 레일의 상면과 구름 접촉되는 구름롤러가 구비된 각각의 제1 이동바; 상기 제1 이동바 간을 상호 연결하며, 적어도 2개 이상의 슬롯바가 안착되는 제1 연결바; 상기 제1 연결바의 직상방에 배치되어 상기 슬롯바의 상부를 지지하는 제1 상부바; 상기 각 제1 연결바와 제1 상부바를 연결하는 각각의 제1 수직바로 구성되며;
상기 제2 이동부재는, 상기 제1, 2 레일의 타측 길이방향을 따라 이동될 수 있도록 상기 제1, 2 레일의 상면과 구름 접촉되는 구름롤러가 구비된 각각의 제2 이동바; 상기 제1, 2 레일의 제2 이동바 간을 상호 연결하며, 적어도 2개 이상의 슬롯바가 안착되는 제2 연결바; 상기 제2 연결바의 직상방에 배치되어 상기 슬롯바의 상부를 지지하는 제2 상부바; 상기 각 제2 연결바와 제2 상부바를 연결하는 각각의 제2 수직바로 구성된 것을 더 포함하는 것이다.

Description

슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트{The spacing between bars in the slot with adjustable glass substrate cassette loaded}
본 발명은 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트에 관한 것이다.
특히, 하나의 카세트에서 다양한 크기의 유리기판을 호환적으로 적재할 수 있다는 점, 슬롯바의 이동수단을 비 윤활방식으로 개선함으로써 볼부싱 등의 윤활방식과 비교할 때 윤활유 누출로 인한 오염을 방지할 수 있다는 점에 특징을 갖는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트에 관한 것이다.
LCD 등의 평면 디스플레이 기판(이하 "유리기판"이라 약칭함)은 유리로 구성되어 취성이 강하기 때문에 취급상 주의가 요구된다. 특히, 크기가 큰 대형 유리기판의 경우에는 더욱 그러하다. 따라서, 유리기판은 파손방지를 위해 카세트(cassette) 내에 수납되어 보호된 채 일련의 디스플레이 제조공정이 진행된다.
도 1은 일반적인 유리기판 적재 카세트의 정면도이다.
도 1에 도시된 카세트(1)는, 하부프레임(2), 상기 하부프레임(2) 상에 일정간격으로 이격되게 배치되는 상부프레임(3), 상기 하부프레임(2) 및 상부프레임(3)의 측면을 연결하는 측면프레임(4), 상기 상부프레임(3) 및 하부프레임(2)의 후면에 수직으로 배치되는 배면프레임(5), 상기 배면프레임(5)에 그 길이방향을 따라 일정간격으로 이격되게 결합되는 다수의 서포트 바(6), 상기 측면프레임(4)의 내측면에 상기 각 서포트 바(6)와 일직선상에 놓이도록 결합되는 다수의 기판받침대(7)로 구성되며, 유리기판(P)은 상기 각 서포트 바(6) 및 각 기판받침대(7) 상에 수납된다.
그러나, 상기한 유리기판 적재 카세트는, 본 발명의 슬롯바에 해당되는 기판받침대(7)가 고정형 구조이므로 횡길이가 일정한 유리기판(P)만을 적재할 수 있다. 따라서, 크기가 다른, 즉 기판받침대(7) 사이 간격에 비해 길거나 작은 유리기판을 적재하기 위해서는 기판받침대(7)의 사이간격이 유리기판(P)의 횡길이에 맞게 세팅된 적재 카세트를 따로 준비해야 하므로 유리기판(P)의 횡길이에 따른 다양한 적재 카세트가 준비되어야 하는 관계로 제조비용이 증가하게 되는 문제점이 있었다.
이러한 문제를 해소하기 위해, 국내특허공개 제10-2006-106544호(이하 "선행문헌"이라 함)에서는 도 2에서 보듯이 상판(10)과 하판(20)에 좌우방향으로 장공(11,21)을 각각 형성하고, 각 장공(11,21)에는 계단형의 슬롯(35)을 갖는 수직상의 사이드 바(30)를 체결하여, 필요에 따라 사이드 바(30)를 장공(11,21)의 길이범위 내에서 움직여서 사이드 바(30) 간 간격을 조절할 수 있도록 한 기술이 개시된 바 있다.
그러나, 위의 선행문헌은 사이드 바(30)의 상단 및 하단이 나사(31) 및 조임너트(33)에 의해 장공(11,21)에 고정되므로 사이드 바(30)의 위치변위 및 고정을 위해서는 조임너트(33)를 풀거나 조여야 하는 번거로운 절차가 필요하다.
또한, 위의 선행문헌은 사이드 바(30)의 상, 하부 고정위치가 각기 다를 경우 비스듬한 상태로 설치될 수 있어서 정확한 설치에 어려움이 있고, 이로 인해 유리기판(P)을 적층하지 못하게 되는 결과를 가져올 수 있다.
또한, 위의 선행문헌은 장공(11,21)의 길이가 그다지 길지 않기 때문에 사이드 바(30)의 가변 범위가 제한적이다.
[선행문헌] 국내특허공개 제10-2006-106544호
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 감안하여 안출한 것으로서, 본 발명의 주요 목적은 하나의 카세트로 다양한 크기의 유리기판을 적재할 수 있는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트를 제공함에 있다.
또한, 본 발명은 슬롯바의 사이간격 조절의 범위가 크기 때문에 다양한 크기의 유리기판을 적재할 수 있는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트를 제공함에 있다.
또한, 본 발명은 슬롯바의 간격을 조절하기 위한 간격조절장치의 이동수단을 비 윤활방식인 롤러방식으로 개선함으로써 윤활유 누출로 인한 오염을 방지할 수 있는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트를 제공함에 있다.
상기 목적을 구현하기 위한 본 발명은, 유리기판의 크기에 따라 슬롯바의 사이간격을 조절하기 위한 간격조절장치를 갖는 유리기판 적재 카세트로서, 상기 간격조절장치는, 일정간격을 두고 나란하게 배치되는 제1, 2 레일; 상기 제1, 2레일의 길이방향을 따라 이동 가능하게 설치되며, 상기 슬롯바가 장착된 제1, 2이동부재; 상기 각 이동부재에 결합된 채, 각 이동부재가 레일궤도를 이탈하지 않도록 안내해 주는 역할을 하는 복수의 가이드 블록; 상기 제1, 2레일 사이에 회전 가능하게 설치되며, 일측 외주면에는 왼나사부가 형성되어 이에 상기 제1, 2이동부재 중 어느 하나의 이동부재가 결합되고, 타측 외주면에는 오른나사부가 형성되어 이에 상기 제1, 2이동부재 중 다른 하나의 이동부재가 결합되는 스크류 샤프트; 및 상기 스크류 샤프트를 회전시키기 위한 회전부재를 포함하되,
상기 제1 이동부재는, 상기 제1, 2 레일의 일측 길이방향을 따라 이동될 수 있도록 상기 제1, 2 레일의 상면과 구름 접촉되는 구름롤러가 구비된 각각의 제1 이동바; 상기 제1 이동바 간을 상호 연결하며, 적어도 2개 이상의 슬롯바가 안착되는 제1 연결바; 상기 제1 연결바의 직상방에 배치되어 상기 슬롯바의 상부를 지지하는 제1 상부바; 상기 각 제1 연결바와 제1 상부바를 연결하는 각각의 제1 수직바로 구성되며;
삭제
상기 제2 이동부재는, 상기 제1, 2 레일의 타측 길이방향을 따라 이동될 수 있도록 상기 제1, 2 레일의 상면과 구름 접촉되는 구름롤러가 구비된 각각의 제2 이동바; 상기 제1, 2 레일의 제2 이동바 간을 상호 연결하며, 적어도 2개 이상의 슬롯바가 안착되는 제2 연결바; 상기 제2 연결바의 직상방에 배치되어 상기 슬롯바의 상부를 지지하는 제2 상부바; 상기 각 제2 연결바와 제2 상부바를 연결하는 각각의 제2 수직바로 구성된 것을 더 포함하는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트이다.
또한, 본 발명의 상기 스크류 샤프트의 왼나사부에는 상기 제1, 2 연결바 중 어느 하나의 연결바가 부싱을 매개로 결합되며, 상기 스크류 샤프트의 오른나사부에는 나머지 하나의 연결바와 부싱을 매개로 결합되어, 스크류 샤프트의 회전에 따라 제1, 2 연결바가 서로 반대방향으로 이동되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 각 가이드 블록은, 상기 제1, 2 이동바의 외측면에 결합되는 결합부; 상기 결합부의 하단에 일체로 형성되며, 상기 제1, 2 레일의 상측 가장자리를 비 접촉상태로 감싸도록 상면, 측면, 하면을 갖는 홀더부; 상기 홀더부의 측면에 설치되어 상기 제1, 2 레일의 상측 가장자리 단부와 구름 접촉되는 측부 구름롤러; 및 상기 홀더부의 하면에 설치되어 상기 제1, 2 레일의 상측 가장자리 하면과 구름 접촉되는 하부 구름롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 회전부재는 상기 스크류 샤프트의 일단부에 결합되는 수동핸들 또는 전동모터인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 전동모터는 리모컨 또는 컴퓨터에 의해 온/오프가 자동으로 제어되도록 한 것을 특징으로 한다.
이상의 본 발명은 하나의 카세트로 다양한 크기의 유리기판을 적재할 수 있어서 유리기판의 크기별로 카세트를 별도로 제작하지 않아도 되므로 제조비용을 절감할 수 있다.
또한, 본 발명은 슬롯바의 사이간격 조절의 범위가 크기 때문에 보다 다양한 크기의 유리기판을 적재할 수 있다.
또한, 본 발명은 간격조절장치의 이동수단을 비 윤활방식인 롤러방식으로 개선함으로써 윤활유 누출로 인한 오염을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 슬롯바의 사이간격 조작을 자동화함으로써 사용의 편리성을 증대시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 간격조절장치의 이동구간에 눈금자를 마련함으로써 간격조절의 정확도 향상 및 간격조절 작업을 신속하게 진행할 수 있다.
도 1은 종래 유리기판 적재 카세트의 일 예시도이다.
도 2는 종래 유리기판 적재 카세트의 다른 예시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 유리기판 적재 카세트의 전체 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 유리기판 적재 카세트의 간격조절장치 사시도이다.
도 5는 도 4의 요부 분해 사시도이다.
도 6은 도 4의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도이다.
도 7a는 도 4의 평면도로서, 간격조절장치의 간격을 좁힌 상태도이다.
도 7b는 도 4의 평면도로서, 간격조절장치의 간격을 넓힌 상태도이다.
도 8은 도 7b의 B부를 화살표 방향에서 바라본 도면이다.
이하에서는 본 발명의 실시예가 개시된다.
개시되는 실시예들은 본 발명의 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 한정되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 다른 형태로 변형될 수 있다. 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다. 본 명세서에서 다른 구성요소 '상에' 위치한다는 것은 일 구성요소 상에 다른 구성요소가 직접 위치한다는 의미는 물론, 상기 일 구성요소 상에 제 3의 구성요소가 더 위치할 수 있다는 의미도 포함한다. 본 명세서 각 구성요소 또는 부분 등을 제1, 제2 등의 표현을 사용하여 지칭하였으나, 이는 명확한 설명을 위해 사용된 표현으로 이에 의해 한정되지 않는다. 도면에 표현된 구성요소들의 두께 및 상대적인 두께는 본 발명의 실시예들을 명확하게 표현하기 위해 과장된 것일 수 있다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.
첨부된 도 3은 본 발명에 따른 유리기판 적재 카세트의 전체 사시도이고 도 4는 본 발명에 따른 유리기판 적재 카세트의 간격조절장치 사시도이며, 도 5는 도 4의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도이고, 도 6은 도 4의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트(C)는, 유리기판(P)의 크기에 따라 슬롯바(slot bar:sb)의 사이간격을 조절하기 위한 간격조절장치(100)를 갖는다. 여기서, 슬롯바(sb)는 유리기판(P)의 양단을 거치하기 위한 구성물이다.
`
상기 간격조절장치(100)는, 제1, 2 레일(210,220), 제1, 2 이동부재(310,320), 가이드 블록(400), 스크류 샤프트(500) 및 회전부재(600)를 포함한다.
간격조절장치(100)의 일 구성인 제1, 2 레일(210,220)은 일정간격을 두고 나란하게 배치된다.
상기 각 레일(210,220)은 평활한 레일판(211,221), 상기 레일판(211,221)의 하면에 결합되는 중앙판(213,223) 및 상기 중앙판(213,223)의 하면에 결합되는 하판(215,225)으로 구성된다. 이때, 상기 레일판(211,221)의 양 측단은 중앙판(213,223)의 양 측단으로부터 소정길이만큼 돌출되어 있어서 이에 상기 가이드 블록(400)의 홀더부(후술됨)가 지지된다. 또한, 상기 각 레일(210,220)은 간격 유지를 위해 그 하부에 간격유지패널(230)이 결합될 수 있다.
간격조절장치(100)의 일 구성인 제1, 2 이동부재(310,320)는 상기 제1, 2 레일(210,220)의 길이방향을 따라 이동가능하게 설치되어 이에 장착되는 슬롯바(sb)의 간격을 조절해 주는 역할을 한다.
여기서, 상기 제1 이동부재(310)는, 제1 이동바(311), 제1 연결바(313), 제1 상부바(315) 및 제1 수직바(317)를 포함한다.
상기 제1 이동바(311)는 적정 길이의 사각바 형태를 이루고 있다. 또한, 상기 제1 이동바(311)는 상기 제1 레일(210)과 제2 레일(220)의 상면인 레일판(211,221)의 일 구간을 따라 이동될 수 있도록 그 내부에 롤러 설치홈(311a)을 형성하고 이 롤러 설치홈(311a) 내에 각 레일판(211,221)의 표면과 구름 접촉되는 구름롤러(311b)가 내장된다.
상기 제1 연결바(313)는 상기 제1 이동바(311)가 연동될 수 있도록 한 쌍의 제1 연결바 간을 가로질러 상호 연결하고 있다. 또한, 제1 연결바(313) 상에는 상기 슬롯바(sb)의 하부가 적어도 2개 이상 안착될 수 있다.
상기 제1 상부바(315)는 상기 제1 연결바(313)의 직상방에 배치되어 상기 제1 연결바(313) 상에 안착된 슬롯바(sb)의 상부를 지지하는 역할을 한다.
상기 제1 수직바(317)는 상기 각 제1 연결바(311)에 수직으로 조립되어 제1 연결바와 제1 상부바(315) 간을 연결하는 역할을 한다. 이때, 상기 제1 상부바(315)는 조립의 견고성을 위해 제1 보강리브(319)가 설치되는 것이 바람직하며, 아울러 상기 제1 보강리브(319)는 경량화 및 재료 절감을 위해 복수의 천공부(319a)가 형성되는 것이 또한 바람직하다.
한편, 상기 제2 이동부재(320)는 제2 이동바(321), 제2 연결바(323), 제2 상부바(325) 및 제2 수직바(327)를 포함한다.
상기 제2 이동바(321)는 적정 길이의 사각바 형태를 이루고 있다. 또한, 상기 제2 이동바(321)는 상기 제1 레일(210)과 제2 레일(220)의 상면인 레일판(211,221)의 다른 일 구간을 따라 이동될 수 있도록 그 내부에 롤러 설치홈(321a)을 형성하고 이 롤러 설치홈(321a) 내에 각 레일판(211,221)의 표면과 구름 접촉되는 구름롤러(321b)가 내장된다.
상기 제2 연결바(323)는 상기 제2 이동바(321)가 연동될 수 있도록 한 쌍의 제2 연결바 간을 가로질러 상호 연결하고 있다. 또한, 제2 연결바(323) 상에는 상기 슬롯바(sb)의 하부가 적어도 2개 이상 안착될 수 있다.
상기 제2 상부바(325)는 상기 제2 연결바(323)의 직상방에 배치되어 상기 제2 연결바(323) 상에 안착된 슬롯바(sb)의 상부를 지지하는 역할을 한다.
상기 제2 수직바(327)는 상기 각 제2 연결바(321)에 수직으로 조립되어 제2 연결바와 제2 상부바(325) 간을 연결하는 역할을 한다. 이때, 상기 제2 상부바(325)는 조립의 견고성을 위해 제2 보강리브(329)가 설치되는 것이 바람직하며, 아울러 상기 제2 보강리브(329)는 경량화 및 재료 절감을 위해 복수의 천공부(329a)가 형성되는 것이 또한 바람직하다.
상기 간격조절장치(100)의 일 구성인 가이드 블록(400)은 상기 제1, 2 이동부재(310,320)에 결합된 채, 각 이동부재가 레일궤도를 이탈하지 않도록 안내해 주는 역할을 하는 것으로서, 상기 제1, 2 이동바(311,321)의 외측면에 결합되는 결합부(410)와; 상기 결합부(410)의 하단에 일체로 형성되며 상기 제1, 2 레일(210,220)의 상측 가장자리를 비 접촉 상태로 감싸도록 상면(421), 측면(423), 하면(425)을 갖는 홀더부(420)로 구성된다.
이에 더하여, 상기 가이드 블록(400)은 제1, 2 레일(210,220)을 따라 원활하게 이동되도록 하기 위해 상기 홀더부(420)의 측면(423)에, 상기 제1, 2 레일(210,220)의 상측 가장자리 단부와 구름 접촉되는 측부 구름롤러(430)를 포함하며, 상기 홀더(420)의 하면(425)에 설치되어 상기 제1, 2 레일(210,220)의 상측 가장자리 하면과 구름 접촉되는 하부 구름롤러(440)를 더 포함한다.
상기 간격조절장치(100)의 일 구성인 스크류 샤프트(500)는, 상기 제1, 2레일(210,220) 사이에 회전 가능하게 설치되며, 일측 외주면에는 왼나사부(501)가 형성되고, 타측 외주면에는 오른나사부(502)가 형성된다. 상기 왼나사부(501)에는 상기 제1, 2 이동부재(310,320) 중 어느 하나의 이동부재가 결합되고, 오른나사부(502)에는 다른 하나의 이동부재가 결합된다.
부연하면, 상기 왼나사부(501)에는 상기 제1, 2 연결바(313,323) 중 어느 하나의 연결바가 암나사가 형성된 부싱(510)을 매개로 결합되며, 오른나사부(502)에는 나머지 하나의 연결바가 암나사가 형성된 부싱(510)을 매개로 결합된다.
따라서, 도 7a 및 도 7b에서와 같이, 스크류 샤프트(500)의 정방향 또는 역방향 회전에 의해 제1, 2 연결바(313,323)은 왼나사부 및 오른나사부에 의해 서로 반대방향으로 직선 이동되므로 결과적으로 제1, 2 연결바(313,323)에 장착된 슬롯바(sb)의 사이간격을 좁히거나 또는 넓힐 수 있게 된다.
상기 간격조절장치(100)의 일 구성인 회전부재(600)는 스크류 샤프트(500)를 회전시키기 위한 것으로서, 수동핸들 또는 전동모터 등을 적용할 수 있다. 수동핸들의 경우는 작업자가 직접 스크류 샤프트(500)를 회전시켜야 하는 관계로 작업이 번거로울 수 있으므로 전동모터에 의해 회전되도록 하는 것이 바람직하다.
이때, 전동모터는 스크류 샤프트에 직결될 수 있고, 체인, 기어 등의 동력전달요소를 매개로 간접적으로 연결될 수도 있다.
또한, 상기 전동모터는 리모컨이나 컴퓨터에 의해 온/오프가 자동으로 제어되도록 하는 것도 적용할 수 있다.
그리고, 상기 슬롯바(sb)의 사이간격이 얼마나 되는지를 가시적으로 보여질 수 있도록 도 8에서와 같이 상기 제1, 2 레일(210,220)의 외측면에 눈금자(240)를 형성할 수 있다.
C : 카세트 P : 유리기판
sb : 슬롯바 100 : 간격조절장치
210 : 제1 레일 220 : 제2 레일
211,221 : 레일판 213,223 : 중앙판
215,225 : 하판 230 : 간격유지패널
240 : 눈금자 310 : 제1 이동부재
311 : 제1 이동바 313 : 제1 연결바
315 : 제1 상부바 317 : 제1 수직바
319 : 제1 보강리브 320 : 제2 이동부재
321 : 제2 이동바 323 : 제2 연결바
325 : 제2 상부바 327 : 제2 수직바
329 : 제2 보강리브 400 : 가이드 블록
410 : 결합부 420 : 홀더부
430 : 측부 구름롤러 440 : 하부 구름롤러
500 : 스크류 샤프트 501 : 왼나사부
502 : 오른나사부 510 : 부싱
600 : 회전부재

Claims (6)

  1. 유리기판(P)의 크기에 따라 슬롯바(sb)의 사이간격을 조절하기 위한 간격조절장치(100)를 갖는 유리기판 적재 카세트(C)로서,
    상기 간격조절장치(100)는,
    일정간격을 두고 나란하게 배치되는 제1, 2 레일(210,220);
    상기 제1, 2레일(210,220)의 길이방향을 따라 이동 가능하게 설치되며, 상기 슬롯바(sb)가 장착된 제1, 2이동부재(310,320);
    상기 각 이동부재(310,320)에 결합된 채, 각 이동부재(310,320)가 레일궤도를 이탈하지 않도록 안내해 주는 역할을 하는 복수의 가이드 블록(400);
    상기 제1, 2레일(210,220) 사이에 회전 가능하게 설치되며, 일측 외주면에는 왼나사부(501)가 형성되어 이에 상기 제1, 2이동부재(310,320) 중 어느 하나의 이동부재가 결합되고, 타측 외주면에는 오른나사부(502)가 형성되어 이에 상기 제1, 2이동부재(310,320) 중 다른 하나의 이동부재가 결합되는 스크류 샤프트(500); 및
    상기 스크류 샤프트(500)를 회전시키기 위한 회전부재(600)를 포함하되,
    상기 제1 이동부재(310)는, 상기 제1, 2 레일(210,220)의 일측 길이방향을 따라 이동될 수 있도록 상기 제1, 2 레일의 상면과 구름 접촉되는 구름롤러(311a)가 구비된 각각의 제1 이동바(311); 상기 제1 이동바(311) 간을 상호 연결하며, 적어도 2개 이상의 슬롯바(sb)가 안착되는 제1 연결바(313); 상기 제1 연결바(313)의 직상방에 배치되어 상기 슬롯바(sb)의 상부를 지지하는 제1 상부바(315); 상기 각 제1 연결바(313)와 제1 상부바(315)를 연결하는 각각의 제1 수직바(317)로 구성되며;
    상기 제2 이동부재(320)는, 상기 제1, 2 레일(210,220)의 타측 길이방향을 따라 이동될 수 있도록 상기 제1, 2 레일의 상면과 구름 접촉되는 구름롤러(321a)가 구비된 각각의 제2 이동바(321); 상기 제1, 2 레일(210,220)의 제2 이동바(321) 간을 상호 연결하며, 적어도 2개 이상의 슬롯바(sb)가 안착되는 제2 연결바(323); 상기 제2 연결바(323)의 직상방에 배치되어 상기 슬롯바(sb)의 상부를 지지하는 제2 상부바(325); 상기 각 제2 연결바(323)와 제2 상부바(325)를 연결하는 각각의 제2 수직바(327)로 구성된 것을 더 포함하는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 스크류 샤프트(500)의 왼나사부(501)에는 상기 제1, 2 연결바(313,323) 중 어느 하나의 연결바가 부싱(510)을 매개로 결합되며, 상기 스크류 샤프트(500)의 오른나사부(503)에는 나머지 하나의 연결바가 부싱(510)을 매개로 결합되어, 스크류 샤프트(500)의 회전에 따라 제1, 2 연결바(313,323)가 서로 반대방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 각 가이드 블록(400)은,
    상기 제1, 2 이동바(311,321)의 외측면에 결합되는 결합부(410);
    상기 결합부(410)의 하단에 일체로 형성되며, 상기 제1, 2 레일(210,220)의 상측 가장자리를 비 접촉상태로 감싸도록 상면(421), 측면(423), 하면(425)을 갖는 홀더부(420);
    상기 홀더부(420)의 측면에 설치되어 상기 제1, 2 레일(210,220)의 상측 가장자리 단부와 구름 접촉되는 측부 구름롤러(430); 및
    상기 홀더부(420)의 하면에 설치되어 상기 제1, 2 레일(210,220)의 상측 가장자리 하면과 구름 접촉되는 하부 구름롤러(440);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 회전부재(600)는 상기 스크류 샤프트(500)의 일단부에 결합되는 수동핸들 또는 전동모터인 것을 특징으로 하는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 전동모터는 리모컨 또는 컴퓨터에 의해 온/오프가 자동으로 제어되도록 한 것을 특징으로 하는 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트.
KR1020110146181A 2011-12-29 2011-12-29 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트 KR101162032B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110146181A KR101162032B1 (ko) 2011-12-29 2011-12-29 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트
CN201210545369.1A CN103183182B (zh) 2011-12-29 2012-12-14 可调节槽杆之间间距的玻璃基板装载卡匣

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110146181A KR101162032B1 (ko) 2011-12-29 2011-12-29 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101162032B1 true KR101162032B1 (ko) 2012-07-03

Family

ID=46716180

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110146181A KR101162032B1 (ko) 2011-12-29 2011-12-29 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101162032B1 (ko)
CN (1) CN103183182B (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102826303A (zh) * 2012-08-28 2012-12-19 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板卡匣
KR101467523B1 (ko) * 2014-02-07 2014-12-01 (주)버금시스템 기판 트랜스퍼 장치
KR101862754B1 (ko) * 2018-04-25 2018-05-30 (주)상아프론테크 가변식 카세트
US11798829B2 (en) 2020-06-05 2023-10-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Open-ended type substrate receiving cassette and system thereof
CN118039537A (zh) * 2024-04-15 2024-05-14 福建福碳新材料科技有限公司 一种槽间距可调的三代半导体用等静压石墨槽舟

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104332437A (zh) * 2013-07-22 2015-02-04 西安永电电气有限责任公司 基于塑封式ipm引线框架的料盒结构
CN104157597B (zh) * 2014-08-18 2017-03-01 成都尚明工业有限公司 一种自动切筋***可调节送料装置
CN104443846B (zh) * 2014-09-29 2016-08-17 合肥鑫晟光电科技有限公司 搬运治具和存放槽
CN104309946B (zh) 2014-11-17 2017-01-18 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种显示面板存储装置
CN104714317B (zh) 2015-04-07 2017-06-23 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种卡匣及基板转移装置
CN106395134B (zh) * 2015-07-27 2019-03-15 盟立自动化股份有限公司 用以承载平板构件的卡匣结构
CN106783701A (zh) * 2015-11-19 2017-05-31 亿力鑫***科技股份有限公司 晶圆承载装置
CN106115049B (zh) * 2016-08-15 2017-11-24 骆云蓉 一种光伏太阳能硅板储板箱
CN106773366A (zh) * 2016-12-28 2017-05-31 武汉华星光电技术有限公司 液晶盒周边密封用卡夹装置及对液晶盒周边进行密封的方法
CN107290878A (zh) * 2017-08-04 2017-10-24 惠晶显示科技（苏州）有限公司 一种液晶面板承载箱中的侧定位装置
CN107527718A (zh) * 2017-09-27 2017-12-29 洛阳市星合特种变压器有限公司 一种便于调节的变压器
CN108001843A (zh) * 2017-12-06 2018-05-08 宣城杰爱新材料科技有限公司 一种复合砂浆保温板用安放架
CN108423406B (zh) 2018-03-12 2020-08-07 惠科股份有限公司 一种基板承载装置的底框、基板承载装置及基板输送机构
CN108298192B (zh) * 2018-03-21 2019-04-02 浙江本优机械有限公司 一种新能源氢气瓶运输储存装置
CN108910377A (zh) * 2018-07-16 2018-11-30 湖州维欧瑞自动化机械设备有限公司 一种可调式插件仓储搬运车
CN110498142B (zh) * 2019-08-28 2024-04-05 甘肃赛陆达物流技术服务有限公司 一种集装箱玻璃运输装置
AT17410U1 (de) * 2020-06-30 2022-03-15 Hubert Haselsteiner Transportbehälter für plattenförmige gegenstände
CN114275367B (zh) * 2022-03-03 2022-06-07 常州欧爱欧履带有限公司 一种用于履带生产的支撑装置
CN116141379A (zh) * 2023-02-09 2023-05-23 上海广川科技有限公司 一种晶圆搬运机器人的测试***

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4618191A (en) 1985-01-25 1986-10-21 Spacesaver Corporation Anti-tip device
JPH1017071A (ja) 1996-07-03 1998-01-20 Nec Eng Ltd 基板用カセット

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61206740A (ja) * 1985-03-08 1986-09-13 Nec Corp 自動マガジン幅調整装置
JPS6380892U (ko) * 1986-11-17 1988-05-27
JPH0166391U (ko) * 1987-10-22 1989-04-27
JP3857738B2 (ja) * 1995-10-17 2006-12-13 Ｔｈｋ株式会社 有限転がり案内装置
JP2761480B2 (ja) * 1996-08-05 1998-06-04 ニチデン機械株式会社 ワ−ク収納幅切換装置及びマガジンへのワ−ク収納方法
KR100669050B1 (ko) * 2006-02-16 2007-01-16 태영강업주식회사 파이프 인발기
CN102182760B (zh) * 2011-05-09 2013-05-08 李社远 一种可调式矩形导轨副装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4618191A (en) 1985-01-25 1986-10-21 Spacesaver Corporation Anti-tip device
JPH1017071A (ja) 1996-07-03 1998-01-20 Nec Eng Ltd 基板用カセット

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102826303A (zh) * 2012-08-28 2012-12-19 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板卡匣
WO2014032279A1 (zh) * 2012-08-28 2014-03-06 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板卡匣
KR101467523B1 (ko) * 2014-02-07 2014-12-01 (주)버금시스템 기판 트랜스퍼 장치
KR101862754B1 (ko) * 2018-04-25 2018-05-30 (주)상아프론테크 가변식 카세트
US11798829B2 (en) 2020-06-05 2023-10-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Open-ended type substrate receiving cassette and system thereof
CN118039537A (zh) * 2024-04-15 2024-05-14 福建福碳新材料科技有限公司 一种槽间距可调的三代半导体用等静压石墨槽舟

Also Published As

Publication number Publication date
CN103183182B (zh) 2016-05-25
CN103183182A (zh) 2013-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101162032B1 (ko) 슬롯바의 사이간격 조절이 가능한 유리기판 적재 카세트
US9676563B2 (en) Transfer apparatus
US7237654B2 (en) Lifter device
TWI665145B (zh) Pallet conveying device
KR101271816B1 (ko) 레벨링 장치
JP7092469B2 (ja) 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット
US10589472B2 (en) Assembling device
CN209736674U (zh) 一种滚筒轴加工用卧式镗孔装置
KR101479871B1 (ko) 벤딩기
CN111025700A (zh) 一种靠位机构
KR20220033121A (ko) 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지
US11512764B2 (en) Tool changing system with rigidity improved belt moving mechanism
TW202109719A (zh) 葉片間隔調整裝置
KR101200257B1 (ko) 오일리스 가이더를 갖는 유리기판 적재 카세트
CN111017522A (zh) 一种用于流水线的可调导向装置
JP2004148941A (ja) プラットホーム用ステップ装置
CN215665703U (zh) 一种槽楔用多功能定位机构
KR100952711B1 (ko) 판유리용 게이트 컨베이어
KR102128265B1 (ko) 상하롤 오토 갭 조정장치
CN211680321U (zh) 一种板材加工用切割装置
US20130048927A1 (en) System and method for lifting and lowering objects
US20090185889A1 (en) Method of adjusting the deviations of plate material of a rectangular shape and the equipment therefor
KR102459066B1 (ko) 필름가이드롤러 표면 가공기
KR101275604B1 (ko) 기판용 지지유닛 및 이를 이용한 기판처리장치
CN216228195U (zh) 一种带钢宽度切割导向装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150526

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160523

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170518

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180529

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190617

Year of fee payment: 8