KR101137447B1 - 기판 이동 장치 및 이를 이용한 기판 이동 방법 - Google Patents

기판 이동 장치 및 이를 이용한 기판 이동 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치는 기판을 이동시키는 복수 개의 롤러 및 제1 지지대를 포함하는 롤러부, 기판을 정렬하는 정렬부, 그리고 롤러부 및 정렬부를 수직 이동시키는 수직 이동부를 포함하고, 수직 이동부는 제2 지지대, 제2 지지대 위에 위치하며 기판을 진공 흡착하는 복수 개의 흡착 패드, 제2 지지대 아래에 위치하고, 기판의 이동 방향으로 테이퍼져 있는 하부 이동부재, 제2 지지대 및 하부 이동부재 사이에 위치하고, 기판의 이동 방향으로 역 테이펴져 있는 상부 이동부재, 그리고 수직 이동부의 전면 및 후면에 각각 위치하며, 수직 이동부의 높이 변화를 감지하는 센서를 포함한다.

Description

기판 이동 장치 및 이를 이용한 기판 이동 방법{APPARTUS FOR MOVING SUBSTRATE AND METHOD FOR MOVING SUBSTRATE USING THE SAME}
본 발명은 기판 이동 장치 및 이를 이용한 기판 이동 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치 또는 유기 발광 표시 장치 등의 평판 표시 장치를 제조하는 공정에서, 평판 표시 장치를 이루는 기판에 패턴이나 층을 형성하기 위한 여러 가지 공정이 진행된다. 또한, 기판의 결함의 유무를 확인하는 기판 검사 공정이 진행된다.
기판 검사 공정 시, 기판을 정확한 위치에 위치시키고, 검사 장비로 일정한 속도로 이동 시키는 것이 중요하다.
기판을 이동시킬 때에는 기판 이동 장치를 사용하여 기판을 이동시키는데, 일반적으로 진공 흡착만으로 기판을 고정하고, 단순한 Up/Down 작업으로 기판을 이동한다.
이 경우, Up/Down 의 정밀도가 떨어져 기판의 파손이 일어날 수 있고, 기판의 고속 이동 시 기판이 이탈될 수 있다. 또한, 기판 이동 장치의 Up/Down 작업을 하는 구동부가 기판 이동 방향에 대해 가로 테이퍼져 있기 때문에 장시간 사용 시 정밀도가 떨어진다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판 이동 시 기판을 정확한 위치에 안착시키고, 일정한 속도로 이동하는 것이다.
또한, 기판의 고속 이동 시에도 기판의 이탈을 방지하는 것이다.
또한, 기판 이동 장치의 내구성을 향상 시키는 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치는 기판을 이동시키는 복수 개의 롤러 및 제1 지지대를 포함하는 롤러부, 기판을 정렬하는 정렬부, 그리고 롤러부 및 정렬부를 수직 이동시키는 수직 이동부를 포함하고, 수직 이동부는 제2 지지대, 제2 지지대 위에 위치하며 기판을 진공 흡착하는 복수 개의 흡착 패드, 제2 지지대 아래에 위치하고, 기판의 이동 방향으로 테이퍼져 있는 하부 이동부재, 제2 지지대 및 하부 이동부재 사이에 위치하고, 기판의 이동 방향으로 역 테이펴져 있는 상부 이동부재, 그리고 수직 이동부의 전면 및 후면에 각각 위치하며, 수직 이동부의 높이 변화를 감지하는 센서를 포함한다.
정렬부는 기판의 전면과 접촉하는 전면 정렬부재, 기판의 측면을 밀어서 정렬하는 측면 정렬부재, 기판의 후면을 밀어서 정렬하는 후면 정렬부재를 포함할 수 있다.
롤러부는 롤러부를 수직 이동시키는 이동부재를 더 포함하고, 제1 지지대는 제2 지지대 및 상부 이동부재 사이에 위치할 수 있다.
흡착 패드는 일정한 간격으로 배치되어 있고, 롤러는 흡착 패드 사이에 위치할 수 있다.
하부 이동부재의 테이퍼 각은 5도 내지 7도일 수 있다.
수직 이동부는 제2 지지대 아래의 양쪽에 각각 위치하는 가이드를 더 포함하고, 하부 이동부재 및 상부 이동부재는 가이드 사이에 위치할 수 있다.
수직 이동부 위에 위치하며, 기판을 고정시키는 고정부를 더 포함하고, 고정부는 기판의 표면을 누르는 복수 개의 상면 고정부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 방법은 기판을 이동시키는 롤러부, 롤러부 위에 위치하며 기판을 정렬하는 정렬부, 그리고 롤러부 아래에 위치하며, 롤러부 및 정렬부를 수직 이동시키는 수직 이동부를 포함하는 기판 이동 장치를 사용하고, 기판을 롤러부를 사용하여 기판 이동 장치 내로 이동시키는 단계, 기판 이동 장치 내로 이동한 기판을 정렬부를 사용하여 정확한 위치에 정렬시키는 단계, 기판을 수직 이동부를 사용하여 고정시키는 단계, 그리고 기판이 고정된 기판 이동 장치를 이동시키는 단계를 포함한다.
롤러부는 복수 개의 롤러 및 롤러부를 수직 이동시키는 이동부재를 포함하고, 기판을 기판 이동 장치 내로 이동시키는 단계는 이동부재가 상승하는 동시에 롤러에 의해 기판이 기판 이동 장치 내로 이동할 수 있다.
정렬부는 전면 정렬부재, 측면 정렬부재, 후면 정렬부재를 포함하고, 기판을 정렬시키는 단계는 전면 정렬부재에 의해 기판을 멈추는 단계, 이동부재가 하강하는 단계, 측면 정렬부재를 사용하여 기판의 측면을 미는 단계, 후면 정렬부재를 사용하여 기판의 후면을 미는 단계를 포함할 수 있다.
수직 이동부는 복수 개의 흡착 패드를 포함하고, 기판을 고정시키는 단계는 흡착 패드로 기판을 고정시킬 수 있다.
기판 이동 장치는 롤러부 위에 위치하고, 복수 개의 상면 고정부재를 포함하는 고정부를 더 포함하고, 기판을 고정시키는 단계는 상면 고정부재를 사용하여 기판의 표면을 누르는 단계를 더 포함할 수 있다.
수직 이동부는 기판의 이동 방향으로 테이퍼져 있는 하부 이동부재, 하부 이동부재 위에 위치하고, 기판의 이동 방향으로 역 테이펴져 있는 상부 이동부재, 그리고 수직 이동부의 전면 및 후면에 각각 위치하는 센서를 더 포함하고, 기판이 고정된 기판 이동 장치를 이동시키는 단계는 센서를 이용하여 기판 이동 장치의 높이 변화를 감지하고, 피드백하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 기판을 정확한 위치에 안착시키고, 일정한 속도로 이동할 수 있다.
또한, 기판의 고속 이동 시에도 기판의 이탈을 방지할 수 있다.
또한, 기판 이송 장치의 내구성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치를 사용한 기판 검사 장치를 간략하게 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치를 각 부분별로 나눈 사시도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치의 수직 이동부의 단면을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치의 수직 이동부를 나타낸 도면이다.
그러면 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치를 사용한 기판 검사 장치를 간략하게 도시한 도면이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 기판 검사 장치는 이동대(100), 이동대(100)의 양쪽에 배치되어 있는 기판 이동 장치(200), 각 기판 이동 장치(200)를 직선으로 움직이도록 가이드하는 이동 가이드(300), 기판(10)을 검사하는 검사 장치(400)로 이루어져 있다.
이동대(100)에 도착한 기판(10)은 이동대(100)에 배치된 에어홀(110)에서 분사되는 에어(air)에 의해 플로팅(floating)되고, 기판(10)의 양측 가장자리가 기판 이동 장치(200)에 안착된다. 기판(10)이 안착된 기판 이동 장치(200)는 이동 가이드(300)를 따라 검사 장치(400)까지 이동하게 되고, 검사 장치(400)는 기판(10)을 검사한다.
이 때, 기판 이동 장치(200)는 기판(10)을 정확한 위치에 안착시키고, 일정한 속도로 기판(10)을 이동한다.
그러면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치에 대해 도 2 내지 도 6을 참고하여, 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치를 각 부분별로 나눈 사시도이고, 도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치를 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치의 수직 이동부의 단면을 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치의 수직 이동부를 나타낸 도면이다.
도 2 내지 도 6을 참고하면, 본 실시예에 따른 기판 이동 장치(200)는 정렬부(210), 고정부(220), 롤러부(230), 수직 이동부(240) 및 덮개(250)를 포함한다.
정렬부(210)는 기판(10)을 정확한 위치에 위치하도록 하기 위한 것으로, 후면 정렬부재(211), 측면 정렬부재(212), 전면 정렬부재(213)를 포함한다.
기판(10)이 기판 이동 장치(200)로 진입하면, 전면 정렬부재(213)에 의해 기판(10)이 멈추게 된다. 전면 정렬부재(213)는 고정되어 있으며, 기판(10)의 전면이 전면 정렬부재(213)이 접촉하여 기판(10)이 멈추게 된다. 측면 정렬부재(212)는 기판(10)의 측면을 밀어서 기판(10)의 위치를 정확하게 한다. 후면 정렬부재(211)는 기판(10)의 후면을 밀어서 기판(10)의 위치를 정확하게 한다.
고정부(220)는 기판(10)이 들뜨는 것을 방지하기 위한 것으로, 복수 개의 상면 고정부재(221)를 포함한다. 상면 고정부재(221)는 기판(10)의 상부면을 눌러 준다. 이는 기판(10)의 고속 이동 시, 기판(10)이 들뜨는 것을 방지한다.
롤러부(230)는 기판(10)을 기판 이동 장치(200) 내로 이동시키기 위한 것으로, 복수 개의 롤러(231), 제1 지지대(232), 이동 부재(234) 및 제1 가이드(235)를 포함한다. 롤러(231)는 기판(10)을 기판 이동 장치(200) 내로 이동시키는 역할을 하는데, 기판(10)의 양측 가장자리부가 복수 개의 롤러(231)에 의해 이동함으로써, 기판(10)은 기판 이동 장치(200) 내로 이동한다. 제1 지지대(232)는 롤러(231)를 지지하고, 제1 지지대(232)의 아래 양쪽에는 제1 가이드(235)가 부착되어 있다. 제1 지지대(232)에는 복수 개의 개구부(233)가 형성되어 있다. 이동 부재(234)는 제1 지지대(232)의 아래에 제1 가이드(235) 사이에 위치하고, 수직 이동하여 롤러부(230)를 상승 및 하강 시킨다.
수직 이동부(240)는 기판 이동 장치(200)의 높이를 조절하기 위한 것으로, 제2 가이드(241), 제2 지지대(242), 흡착 패드(243), 바닥판(244), 센서(245), 하부 이동부재(246) 및 상부 이동부재(247)를 포함한다.
제2 지지대(242) 위에 복수 개의 흡착 패드(243)가 배치되어 있고, 제2 지지대(242) 아래에는 제2 가이드(241)가 수직 이동부(240)의 양쪽에 배치되어 있고, 센서(245)는 수직 이동부(240)의 전면 및 후면에 각각 배치되어 있다. 센서(245), 하부 이동부재(246) 및 상부 이동부재(247)는 양쪽에 배치된 제2 가이드(241) 사이에 위치하고 있다. 하부 이동부재(246) 및 상부 이동부재(247)는 바닥판(244) 위에 위치하고 있다.
흡착 패드(243)는 일정한 간격을 두고 배치되어 있으며, 기판(10)을 진공으로 흡착하여 기판(10)을 기판 이동 장치(200) 내에 안착하게 한다.
하부 이동부재(246)는 기판(10)의 이동 방향으로 테이퍼져 있고, 테이퍼 각도는 5도 내지 7도가 바람직하다. 상부 이동부재(247)는 하부 이동부재(246) 위에 위치하며, 기판(10)의 이동 방향으로 역 테이퍼져 있다. 하부 이동부재(246) 및 상부 이동부재(247)는 각각 기판(10)의 이동 방향으로 테이퍼져 있거나, 역 테이퍼져 있기 때문에 기판 이동 장치(200)를 장시간 사용하여도 그 높이의 변화가 작다. 즉, 기판 이동 장치(200)의 내구성이 향상된다.
정렬부(210) 및 고정부(220)는 제2 지지대(242) 위에 위치한다. 후면 정렬부재(211), 측면 정렬부재(212) 및 전면 정렬부재(213)는 소정의 간격을 두고 배치되어 있는데, 상면 고정부재(221)는 후면 정렬부재(211), 측면 정렬부재(212) 및 전면 정렬부재(213) 사이에 각각 배치되어 있다.
덮개(250)는 수직 이동부(240) 위에 위치하며, 후면 정렬부재(211), 측면 정렬부재(212), 전면 정렬부재(213) 및 흡착 패드(243)를 덮고 있다.
제1 지지대(232)는 제2 지지대(242)의 아래에 위치하고, 롤러(231)는 수직 이동부(240) 위에 위치한다. 이 때, 롤러(231)는 흡착 패드(243) 사이에 위치한다. 제1 지지대(232)에 형성된 개구부(233)를 통하여 제2 가이드(241)는 제2 지지대(242)와 연결되어 있다. 제2 가이드(241)는 제1 가이드(235) 사이에 배치된다.
제1 가이드(235)의 안쪽에는 제1 수직 이동 가이드(236)가 부착되어 있고, 제2 가이드(241)의 안쪽에는 제2 수직 이동 가이드(248)가 부착되어 있다.
하부 이동부재(246)는 직선으로 이동하고, 상부 이동부재(247)는 수직으로 이동한다. 하부 이동부재(246)는 직선으로 이동할 때, 제2 수직 이동 가이드(248)에 의해 상부 이동부재(247)가 수직으로 이동하게 된다. 이 때, 센서(245)는 기판 이동 장치(200)의 높이 변화를 계속 감지하여 그 변화 값을 피드백(feedback)하여 기판(10)이 정확한 위치에 위치하도록 한다.
롤러부(230)는 단독으로 이동 부재(234)에 의해 상승 및 강하할 수 있는데, 이는 제1 지지대(232)에 형성된 개구부(233)를 통하여 제2 가이드(241)는 제2 지지대(242)와 연결되어 있기 때문에 가능하다.
제2 가이드(241) 사이에는 제1 지지대(232)에 연결되는 가이드(도시하지 않음)가 위치하는데, 수직 이동부(240)가 수직 이동할 때, 제2 가이드(241) 사이에 위치한 가이드(도시하지 않음)에 의해 제1 지지대(232)가 수직 이동하게 되므로, 롤러부(230)도 같이 수직 이동한다. 또한, 수직 이동부(240)가 수직 이동하면, 수직 이동부(240) 위에 위치하는 정렬부(210), 고정부(220) 및 덮개(250)가 같이 수직 이동하므로, 결국 기판 이동 장치(200)가 수직 이동하게 된다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치로 인하여 기판을 정확한 위치에 안착시키고, 일정한 속도로 이동할 수 있다. 또한, 기판의 고속 이동 시에도 기판의 이탈을 방지할 수 있다. 또한, 기판 이동 장치의 내구성을 향상시킬 수 있다.
그러면, 이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이동 장치를 사용한 기판 이동 방법에 대하여 설명한다.
먼저, 이전 공정을 마친 기판(10)이 기판 이동 장치(200) 내로 이동할 때, 롤러부(230)의 이동 부재(234)가 위로 이동하고, 기판(10)은 롤러(231)에 의해 기판 이동 장치(200) 내로 이동한다.
이어서, 기판 이동 장치(200) 내로 이동한 기판(10)은 정렬부(210)의 전면 정렬부재(213)와 접촉하여 멈추게 되고, 롤러부(230)의 이동 부재(234)는 아래로 이동한다.
이어서, 정렬부(210)의 측면 정렬부재(212)와 후면 정렬부재(211)가 각각 기판(10)의 측면 및 후면을 밀어서 기판(10)을 정확한 위치에 정렬시킨다.
이어서, 수직 이동부(240)의 흡착 패드(243)를 사용하여 기판(10)을 진공 흡착하고, 고정부(220)의 상면 고정부재(221)를 사용하여 기판(10)의 상면을 눌러줌으로써, 기판(10)을 기판 이동 장치(200) 내에 완전히 고정시킨다.
이 후, 기판(10)이 고정된 기판 이동 장치(200)는 이동 가이드(300)를 따라 기판(10)을 이동한다.
이 때, 수직 이동부(240)의 센서(245)는 기판 이동 장치(200)의 높이 변화를 감지하고, 그 변화 값을 피드백하여 기판 이동 장치(200)의 높이 변화를 제어한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100: 기판 200: 기판 이동 장치
210: 정렬부 220: 고정부
230: 롤러부 231: 롤러
234: 이동 부재 235: 제1 가이드
240: 수직 이동부 241: 제2 가이드
243: 흡착 패드 245: 센서
246: 하부 이동부재 247: 상부 이동부재

Claims (13)

  1. 기판을 이동시키는 복수 개의 롤러 및 상기 롤러를 지지하는 제1 지지대를 포함하는 롤러부,
    상기 기판을 정렬하는 정렬부, 그리고
    상기 롤러부 및 상기 정렬부를 수직 이동시키는 수직 이동부를 포함하고,
    상기 수직 이동부는
    제2 지지대,
    상기 제2 지지대 위에 위치하며 상기 기판을 진공 흡착하는 복수 개의 흡착 패드,
    상기 제2 지지대 아래에 위치하고, 상기 기판의 이동 방향으로 테이퍼져 있는 하부 이동부재,
    상기 제2 지지대 및 상기 하부 이동부재 사이에 위치하고, 상기 기판의 이동 방향으로 역 테이펴져 있는 상부 이동부재, 그리고
    상기 수직 이동부의 전면 및 후면에 각각 위치하며, 상기 수직 이동부의 높이 변화를 감지하는 센서를 포함하고,
    상기 하부 이동부재의 테이퍼와 상기 상부 이동부재의 역 테이퍼는 서로 대응하고,
    상기 제1 지지대는 상기 제2 지지대 및 상기 상부 이동부재 사이에 위치하는 기판 이동 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 정렬부는
    상기 기판의 전면과 접촉하는 전면 정렬부재,
    상기 기판의 측면을 밀어서 정렬하는 측면 정렬부재,
    상기 기판의 후면을 밀어서 정렬하는 후면 정렬부재를 포함하는 기판 이동 장치.
  3. 제1항에서,
    상기 롤러부는 상기 제1 지지대 아래에 위치하며, 상기 롤러부를 수직 이동시키는 이동부재를 더 포함하는 기판 이동 장치.
  4. 제1항에서,
    상기 흡착 패드는 일정한 간격으로 배치되어 있고,
    상기 롤러는 상기 흡착 패드 사이에 위치하는 기판 이동 장치.
  5. 제1항에서,
    상기 하부 이동부재의 테이퍼 각은 5도 내지 7도 인 기판 이동 장치.
  6. 제5항에서,
    상기 수직 이동부는 상기 제2 지지대 아래의 양쪽에 각각 위치하는 가이드를 더 포함하고,
    상기 하부 이동부재 및 상기 상부 이동부재는 상기 가이드 사이에 위치하는 기판 이동 장치.
  7. 제1항에서,
    상기 수직 이동부 위에 위치하며, 상기 기판을 고정시키는 고정부를 더 포함하고,
    상기 고정부는 상기 기판의 표면을 누르는 복수 개의 상면 고정부재를 포함하는 기판 이동 장치.
  8. 기판을 이동시키는 롤러부, 상기 롤러부 위에 위치하며 기판을 정렬하는 정렬부, 그리고 상기 롤러부 아래에 위치하며, 상기 롤러부 및 상기 정렬부를 수직 이동시키는 수직 이동부를 포함하는 기판 이동 장치를 사용하여 기판 이동 방법에 있어서,
    상기 기판을 롤러부를 사용하여 상기 기판 이동 장치 내로 이동시키는 단계,
    상기 기판 이동 장치 내로 이동한 상기 기판을 상기 정렬부를 사용하여 정확한 위치에 정렬시키는 단계,
    상기 기판을 상기 수직 이동부를 사용하여 고정시키는 단계, 그리고
    상기 기판이 고정된 상기 기판 이동 장치를 이동시키는 단계를 포함하고,
    상기 수직 이동부는 복수 개의 흡착 패드를 포함하고,
    상기 기판을 고정시키는 단계는
    상기 흡착 패드로 상기 기판을 고정시키는 기판 이동 방법.
  9. 제8항에서,
    상기 롤러부는 복수 개의 롤러, 상기 롤러를 지지하는 제1 지지대 및 상기 제1 지지대의 아래에 위치하며, 상기 롤러부를 수직 이동시키는 이동부재를 포함하고,
    상기 기판을 상기 기판 이동 장치 내로 이동시키는 단계는
    상기 이동부재가 상승하는 동시에 상기 롤러에 의해 상기 기판이 상기 기판 이동 장치 내로 이동하는 기판 이동 방법.
  10. 제9항에서,
    상기 정렬부는 전면 정렬부재, 측면 정렬부재, 후면 정렬부재를 포함하고,
    상기 기판을 정렬시키는 단계는
    상기 전면 정렬부재에 의해 상기 기판을 멈추는 단계,
    상기 이동부재가 하강하는 단계,
    상기 측면 정렬부재를 사용하여 상기 기판의 측면을 미는 단계,
    상기 후면 정렬부재를 사용하여 상기 기판의 후면을 미는 단계를 포함하는 기판 이동 방법.
  11. 삭제
  12. 제10항에서,
    상기 기판 이동 장치는 상기 롤러부 위에 위치하고, 복수 개의 상면 고정부재를 포함하는 고정부를 더 포함하고,
    상기 기판을 고정시키는 단계는
    상기 상면 고정부재를 사용하여 상기 기판의 표면을 누르는 단계를 더 포함하는 기판 이동 방법.
  13. 제12항에서,
    상기 수직 이동부는 상기 기판의 이동 방향으로 테이퍼져 있는 하부 이동부재, 상기 하부 이동부재 위에 위치하고, 상기 기판의 이동 방향으로 역 테이펴져 있는 상부 이동부재, 그리고 상기 수직 이동부의 전면 및 후면에 각각 위치하는 센서를 더 포함하고,
    상기 기판이 고정된 상기 기판 이동 장치를 이동시키는 단계는
    상기 센서를 이용하여 상기 기판 이동 장치의 높이 변화를 감지하고, 피드백하는 단계를 더 포함하는 기판 이동 방법.
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