KR101132787B1 - 기판 검사 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사방법을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 측정 데이터를 획득하는 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 검사방법을 나타낸 흐름도이다.
도 5는 다중패널 기판을 나타낸 평면도이다.
112 : 광원 114 : 격자 소자
120 : 제2 조명부 130 : 카메라
140 : 스테이지 150 : 기판
152 : 패널 영역 154 : 대표 시리얼 번호
156 : 바코드 158 : 배드 마크
Claims (13)
- 검사 장치로 로딩된 기판을 측정하여 상기 기판의 밴더를 구별하는 단계;
구별된 밴더에 대한 밴더별 기판 정보를 데이터 베이스로부터 불러들여 밴더별 검사조건을 설정하는 단계; 및
상기 밴더별 검사조건에 따라 상기 기판을 검사하는 단계를 포함하며,
상기 기판의 밴더를 구별하는 단계는,
상기 기판 상의 밴더구별 영역을 측정하여 상기 기판의 밴더 정보를 획득하는 단계, 및
획득된 상기 기판의 밴더 정보와 상기 데이터 베이스에 저장되어 있는 밴더 정보들을 비교하여 상기 기판의 밴더를 구별하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 데이터 베이스에 저장된 상기 밴더별 기판 정보는 거버 데이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 제1항에 있어서,
상기 데이터 베이스에 저장된 상기 밴더별 기판 정보는 베어 보드의 측정을 통해 획득된 측정 데이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 제4항에 있어서, 상기 측정 데이터를 획득하기 위하여,
상기 베어 보드 상의 밴더구별 영역을 측정하여 상기 베어 보드의 밴더 정보를 획득하는 단계;
상기 베어 보드를 측정하여 상기 측정 데이터를 획득하는 단계; 및
상기 베어 보드의 밴더 정보 및 상기 측정 데이터를 상기 데이터 베이스에 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 제1항에 있어서,
상기 밴더별 기판 정보는 패드의 높이, 크기 및 위치 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 제1항에 있어서,
상기 검사방법은 다수의 밴더들에 의해 공급된 여러 종류의 서브 기판들을 포함하는 검사대상물의 검사에 적용되는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 다수의 패널 영역들을 포함하는 다중패널 기판의 대표 시리얼 번호를 측정하여 서버로 전송하는 단계;
상기 서버로부터 상기 대표 시리얼 번호에 대응되는 패널별 정보를 수신하는 단계; 및
상기 패널별 정보를 이용하여 상기 다중패널 기판의 검사를 수행하는 단계를 포함하는 기판 검사방법. - 제8항에 있어서,
상기 패널별 정보는 상기 패널 영역들 각각에 대한 바코드 정보 및 배드마크 정보 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 제8항에 있어서,
상기 패널별 정보는 상기 다중패널 기판의 제조사로부터 정보를 인수받아 상기 서버에 저장된 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 제8항에 있어서,
상기 패널별 정보는 상기 다중패널 기판의 앞면을 검사할 때 획득되고, 상기 다중패널 기판의 후면을 검사할 때 이용되는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법. - 제9항에 있어서, 상기 다중패널 기판의 검사를 수행하는 단계에서는,
상기 배드마크 정보를 통해 제1 불량 패널 영역을 판별한 후, 상기 제1 불량 패널 영역을 제외한 나머지 패널 영역을 검사하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
- 제12항에 있어서,
상기 다중패널 기판의 검사를 통해 추가적으로 판별된 제2 불량 패널 영역에 대한 정보를 상기 서버로 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사방법.
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003042970A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 実装基板の外観検査装置および外観検査方法 |
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2010
- 2010-02-05 KR KR1020100010762A patent/KR101132787B1/ko active IP Right Grant
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