KR101125740B1 - Apparatus for polishing wafer - Google Patents

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    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
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Abstract

본 발명은 웨이퍼의 평탄도를 향상시키기 위하여 웨이퍼의 양면을 함께 연마하는 웨이퍼 연마 장치에 관한 것이다. 상기 웨이퍼 연마 장치는, 웨이퍼를 지지하기 위한 상정반 및 하정반; 상기 상정반과 상기 하정반의 사이에 위치되어, 그 위에 웨이퍼를 장착하기 위한 웨이퍼 캐리어; 상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 상면과 상기 상정반의 하면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 상부 슬러리 공급 장치; 상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 하면과 상기 하정반의 상면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 하부 슬러리 공급 장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 따르면, 하부 슬러리 공급 장치에 의해 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 하면과 하정반의 상면 사이의 공간으로 충분한 양으로 균일하게 슬러리를 공급될 수 있어, 웨이퍼의 연마 품질을 향상시킬 수 있다. The present invention relates to a wafer polishing apparatus for polishing both sides of a wafer together to improve the flatness of the wafer. The wafer polishing apparatus includes: an upper plate and a lower plate for supporting a wafer; A wafer carrier positioned between the top plate and the bottom plate to mount a wafer thereon; An upper slurry supply device for supplying a slurry to a space between an upper surface of a wafer mounted on the wafer carrier and a lower surface of the upper surface plate; A lower slurry supply device for supplying a slurry to a space between a lower surface of the wafer mounted on the wafer carrier and an upper surface of the lower plate; Characterized in that it comprises a.
According to this configuration, the slurry can be uniformly supplied in a sufficient amount into the space between the lower surface of the wafer mounted on the wafer carrier and the upper surface of the lower plate by the lower slurry supply device, thereby improving the polishing quality of the wafer.

Description

웨이퍼 연마 장치 {Apparatus for polishing wafer}Wafer polishing apparatus {Apparatus for polishing wafer}

본 발명은 웨이퍼의 평탄도를 향상시키기 위하여 웨이퍼의 양면을 함께 연마하는 웨이퍼 연마 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a wafer polishing apparatus for polishing both sides of a wafer together to improve the flatness of the wafer.

반도체 등의 전자부품을 생산하기 위한 소재로 사용되는 실리콘 웨이퍼(wafer)는, 단결정 실리콘 잉곳(ingot)을 웨이퍼 형태로 얇게 절단하는 슬라이싱 공정, 원하는 웨이퍼의 두께로 연마하면서 평탄도를 개선하는 래핑 공정(lapping), 웨이퍼 내부의 손상(damage)층 제거를 위한 식각 공정(etching), 표면 경면화 및 평탄도를 향상시키기 위한 폴리싱 공정(polishing), 웨이퍼 표면의 오염물질을 제거하기 위한 세정 공정(cleaning) 등의 단계를 거쳐 웨이퍼로 생산된다.A silicon wafer used as a material for producing electronic components such as semiconductors is a slicing process for thinly cutting single crystal silicon ingots in the form of a wafer, and a lapping process for improving flatness while polishing to a desired wafer thickness. lapping, etching to remove the damage layer inside the wafer, polishing to improve surface hardening and flatness, and cleaning to remove contaminants from the wafer surface Produced as a wafer through the steps such as).

도 1은 종래의 웨이퍼용 래핑 공정을 설명하는 단면도이다. 도 2는 종래의 웨이퍼 연마 장치를 도시하는 평면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating a conventional lapping process for a wafer. 2 is a plan view showing a conventional wafer polishing apparatus.

도 1을 참조하면, 래핑 공정을 위해 먼저, 상정반(1)과 하정반(2) 사이에 웨이퍼 캐리어(3)를 배치하고, 웨이퍼 캐리어(3) 위에는 웨이퍼(W)를 장착한다. 이후, 연마용 입자와, 분산제와, 희석제(물) 등이 혼합된 슬러리(slurry)(S)를 상정반(1)을 통해 지속적으로 공급하면서 상정반(1) 또는 하정반(2)을 회전시키면, 슬러리(S)에 포함된 연마용 입자에 의해 웨이퍼(W)의 표면이 연마된다.Referring to FIG. 1, for the lapping process, a wafer carrier 3 is first disposed between an upper plate 1 and a lower plate 2, and a wafer W is mounted on the wafer carrier 3. Thereafter, the top plate 1 or the bottom plate 2 is rotated while continuously supplying the slurry S mixed with the abrasive particles, the dispersant, the diluent (water), and the like through the top plate 1. If so, the surface of the wafer W is polished by the abrasive grains contained in the slurry S.

이때, 웨이퍼(W)를 실질적으로 연마하는 슬러리(S)의 적절한 공급은 웨이퍼(W)의 평탄도에 중대한 영향을 미치게 된다. 따라서, 상정반(1) 및 하정반(2)의 표면에는 슬러리(S)의 원활한 공급 및 배출을 위한 격자형의 홈(groove; G)이 형성되어 있으며, 이 홈(G)을 통하여 슬러리(S)가 공급 및 배출된다. At this time, proper supply of the slurry S for substantially polishing the wafer W has a significant influence on the flatness of the wafer W. Accordingly, the grooves G of the grid for smooth supply and discharge of the slurry S are formed on the surfaces of the upper plate 1 and the lower plate 2, and the slurry (G) is formed through the grooves G. S) is supplied and discharged.

도 2를 참조하면, 하정반(2) 위에 배치된 웨이퍼 캐리어(3)는 태양기어(4) 및 내주기어(5)에 형성된 기어 이와 맞물리면서 태양기어(4)를 중심으로 공전을 하면서 자전도 같이 하게 된다. 또한, 상정반 또는 하정반(2)도 회전하게 된다. 이러한 과정에서, 웨이퍼(W)는 상정반으로부터 공급된 슬러리(S)에 의해 표면이 연마된다. Referring to FIG. 2, the wafer carrier 3 disposed on the lower plate 2 is engaged with the gears formed on the sun gear 4 and the inner cycle gear 5 and revolves around the sun gear 4 while rotating like a rotation. Done. In addition, the upper surface plate or the lower surface plate 2 also rotates. In this process, the surface of the wafer W is polished by the slurry S supplied from the top plate.

종래의 웨이퍼 연마 장치는 웨이퍼(W)의 양면을 함께 연마하도록 구성된 것으로서, 상정반(1)으로 이송된 슬러리가 상정반(1)에 형성된 홈(G)을 통해 웨이퍼(W)의 상면으로 공급되는 방식을 취하고 있다. 상정반(1)을 통해 공급된 슬러리는 공간을 통해 하정반(2)의 상면으로 이동되고, 이러한 슬러리는 하정반(2) 및 웨이퍼 캐리어(3)가 회전하는 과정에서 웨이퍼(W)의 하면과 하정반(2)의 상면 사이의 공간으로 이동되어, 이러한 연마용 입자에 의해 웨이퍼(W)의 하면이 연마된다. Conventional wafer polishing apparatus is configured to polish both sides of the wafer (W), the slurry transferred to the upper surface plate 1 is supplied to the upper surface of the wafer (W) through the groove (G) formed in the upper surface plate (1) It is taking a way to be. The slurry supplied through the upper plate 1 is moved to the upper surface of the lower plate 2 through the space, and the slurry is lowered of the wafer W during the rotation of the lower plate 2 and the wafer carrier 3. The lower surface of the wafer W is polished by moving to a space between the upper surface of the lower plate 2 and the polishing particles.

그러나, 종래의 웨이퍼 연마 장치에서 웨이퍼(W)의 상면은 상정반(1)을 통해 직접 공급된 슬러리(S)에 의해 비교적 균일하게 연마되지만, 웨이퍼(W)의 하면은 상정반(1)을 통해 공급된 슬러리(S)가 이동되는 방식을 취하고 있어, 불균일 또는 불충분한 슬러리(S) 공급으로 인해 하정반(2) 홈(G)의 에지에 의한 스크래치 등에 의해 웨이퍼(W) 상면에 비해 열위한 품질을 나타내는 문제점이 있었다. However, in the conventional wafer polishing apparatus, the upper surface of the wafer W is relatively uniformly polished by the slurry S supplied directly through the upper surface plate 1, but the lower surface of the wafer W has the upper surface 1. Since the slurry (S) supplied through is moved, it is heat compared with the upper surface of the wafer (W) by scratching by the edge of the lower plate (2) groove (G) due to uneven or insufficient supply of the slurry (S). There was a problem indicating quality.

따라서, 본 발명은 상기 사정을 감안하여 발명한 것으로, 웨이퍼 연마 장치의 상정반 및 하정반과 웨이퍼 표면 사이에 균일하게 슬러리가 유입되도록 함으로써, 웨이퍼의 연마 품질을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 연마 장치를 제공하고자 함에 목적이 있다. Accordingly, the present invention has been invented in view of the above circumstances, and is intended to provide a wafer polishing apparatus capable of improving the polishing quality of a wafer by allowing slurry to flow uniformly between the upper and lower surfaces of the wafer polishing apparatus and the wafer surface. The purpose is to.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 의하면, 웨이퍼를 연마하기 위한 웨이퍼 연마 장치는, 웨이퍼를 지지하기 위한 상정반 및 하정반; 상기 상정반과 상기 하정반의 사이에 위치되어, 그 위에 웨이퍼를 장착하기 위한 웨이퍼 캐리어; 상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 상면과 상기 상정반의 하면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 상부 슬러리 공급 장치; 상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 하면과 상기 하정반의 상면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 하부 슬러리 공급 장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a wafer polishing apparatus for polishing a wafer, the top plate and the bottom plate for supporting the wafer; A wafer carrier positioned between the top plate and the bottom plate to mount a wafer thereon; An upper slurry supply device for supplying a slurry to a space between an upper surface of a wafer mounted on the wafer carrier and a lower surface of the upper surface plate; A lower slurry supply device for supplying a slurry to a space between a lower surface of the wafer mounted on the wafer carrier and an upper surface of the lower plate; Characterized in that it comprises a.

또한, 상기 하부 슬러리 공급 장치는 상기 하정반의 상면과 평행한 방향으로 상기 하정반의 내측에서 외측으로 슬러리를 분사하도록 구성된 것을 특징으로 한다. In addition, the lower slurry supply device is characterized in that it is configured to inject a slurry from the inside of the lower plate in the direction parallel to the upper surface of the lower plate.

또한, 상기 상정반과 상기 하정반의 사이에 위치되어 회전하는 태양기어; 내주에 기어 이가 형성되어, 상기 태양기어와 동심으로 회전하는 내주기어; 를 더 포함하고, 상기 웨이퍼 캐리어는 상기 태양기어와 상기 내주기어 사이에서 기어 접촉되어 상기 태양 기어를 중심으로 공전하는 것을 특징으로 한다. In addition, the sun gear is located between the upper plate and the lower plate rotates; An inner cycle gear formed at an inner circumference thereof to rotate concentrically with the sun gear; The wafer carrier further comprises a gear contact between the sun gear and the inner cycle gear to revolve around the sun gear.

또한, 상기 하부 슬러리 공급 장치는 상기 태양기어와 상기 하정반 사이의 공간에 설치되는 노즐인 것을 특징으로 한다. In addition, the lower slurry supply device is characterized in that the nozzle installed in the space between the sun gear and the lower plate.

또한, 상기 노즐은 상기 태양기어의 주위를 따라 이격되어 3개소 이상 설치되는 것을 특징으로 한다. In addition, the nozzle is characterized in that three or more spaced apart along the periphery of the sun gear.

또한, 상기 하정반은 구동수단에 의해 회전구동하도록 구성된 것을 특징으로 한다. In addition, the lower plate is characterized in that configured to rotate by the drive means.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 의하면, 웨이퍼를 연마하기 위한 웨이퍼 연마 장치는, 웨이퍼를 지지하고, 그 표면에는 슬러리의 유동을 위한 다수의 홈이 형성된 상정반 및 하정반; 상기 상정반과 상기 하정반의 사이에 위치되어, 그 위에 웨이퍼를 장착하기 위한 웨이퍼 캐리어; 상기 상정반의 하면에 형성된 상기 홈을 통해 상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 상면과 상기 상정반의 하면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 상부 슬러리 공급 장치; 상기 하정반의 상면에 형성된 상기 홈을 향해 상기 하정반의 내측에서 외측으로 슬러리를 분사함으로써, 상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 하면과 상기 하정반의 상면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 하부 슬러리 공급 장치; 를 포함하고, 상기 하정반은 구동수단에 의해 회전구동하도록 구성된 것을 특징으로 한다. According to another aspect of the present invention for achieving the above object, a wafer polishing apparatus for polishing a wafer, the upper surface and lower surface plate for supporting the wafer, a plurality of grooves for the flow of the slurry is formed on the surface; A wafer carrier positioned between the top plate and the bottom plate to mount a wafer thereon; An upper slurry supply device for supplying a slurry to a space between an upper surface of a wafer mounted on the wafer carrier and a lower surface of the upper surface plate through the groove formed on the lower surface of the upper surface plate; A lower slurry supply device for supplying a slurry to a space between a lower surface of a wafer mounted on the wafer carrier and an upper surface of the lower surface plate by spraying the slurry from the inside of the lower surface to the groove formed on the upper surface of the lower surface plate; It includes, the lower plate is characterized in that configured to rotate by the drive means.

또한, 상기 상정반과 상기 하정반의 사이에 위치되어 회전하는 태양기어; 내주에 기어 이가 형성되어, 상기 태양기어와 동심으로 회전하는 내주기어; 를 더 포함하고, 상기 웨이퍼 캐리어는 상기 태양기어와 상기 내주기어 사이에서 기어 접촉되어 상기 태양 기어를 중심으로 공전하는 것을 특징으로 한다. In addition, the sun gear is located between the upper plate and the lower plate rotates; An inner cycle gear formed at an inner circumference thereof to rotate concentrically with the sun gear; The wafer carrier further comprises a gear contact between the sun gear and the inner cycle gear to revolve around the sun gear.

또한, 상기 하부 슬러리 공급 장치는 상기 태양기어와 상기 하정반 사이의 공간에 설치되는 노즐인 것을 특징으로 한다. In addition, the lower slurry supply device is characterized in that the nozzle installed in the space between the sun gear and the lower plate.

또한, 상기 노즐은 상기 태양기어의 주위를 따라 이격되어 3개소 이상 설치되는 것을 특징으로 한다. In addition, the nozzle is characterized in that three or more spaced apart along the periphery of the sun gear.

본 발명에 따르면, 웨이퍼 연마 장치는 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 상면과 상정반의 하면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 상부 슬러리 공급 장치와, 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 하면과 하정반의 상면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 하부 슬러리 공급 장치를 포함하므로, 이러한 하부 슬러리 공급 장치에 의해 웨이퍼의 하면으로 충분한 양으로 균일하게 슬러리가 공급될 수 있어, 웨이퍼의 연마 품질을 향상시킬 수 있다. According to the present invention, a wafer polishing apparatus includes an upper slurry supply device for supplying a slurry to a space between an upper surface of a wafer mounted on a wafer carrier and a lower surface of an upper surface plate, and an upper surface of a lower surface of a wafer mounted on a wafer carrier and an upper surface of a lower surface plate. Since the lower slurry supply apparatus for supplying the slurry to the space is included, the slurry can be uniformly supplied to the lower surface of the wafer in a sufficient amount by the lower slurry supply apparatus, thereby improving the polishing quality of the wafer.

또한, 하부 슬러리 공급 장치는 태양기어와 하정반 사이의 공간에 노즐 형태로 설치될 수 있고, 노즐을 통해 하정반의 홈을 향해 하정반의 내측에서 외측 방향으로 분사된 슬러리는 하정반이 회전함에 따라 웨이퍼의 하면에 균일하게 공급될 수 있어, 간단한 구성으로 웨이퍼의 하면으로 충분한 양으로 균일하게 슬러리를 공급하여, 웨이퍼의 연마 품질을 향상시킬 수 있다. In addition, the lower slurry supply apparatus may be installed in the form of a nozzle in the space between the sun gear and the lower plate, the slurry injected from the inside of the lower plate toward the groove of the lower plate through the nozzle as the lower plate rotates the wafer Can be uniformly supplied to the lower surface of the wafer, and the slurry can be uniformly supplied to the lower surface of the wafer with a simple configuration in a sufficient amount, thereby improving the polishing quality of the wafer.

도 1은 종래의 웨이퍼용 래핑 공정을 설명하는 단면도이다.
도 2는 종래의 웨이퍼 연마 장치를 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 연마 장치의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 연마 장치의 하부 슬러리 공급 장치의 구성을 도시하는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating a conventional lapping process for a wafer.
2 is a plan view showing a conventional wafer polishing apparatus.
3 is a perspective view showing the configuration of a wafer polishing apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view showing a configuration of a lower slurry supply apparatus of the wafer polishing apparatus according to one embodiment of the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, like reference numerals refer to like elements throughout. The same reference numerals in the drawings denote like elements throughout the drawings.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 연마 장치의 구성을 도시하는 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 연마 장치의 하부 슬러리 공급 장치의 구성을 도시하는 단면도이다. 3 is a perspective view showing the configuration of a wafer polishing apparatus according to an embodiment of the present invention. 4 is a cross-sectional view showing a configuration of a lower slurry supply apparatus of the wafer polishing apparatus according to one embodiment of the present invention.

본 발명의 웨이퍼 연마 장치(100)는 반도체 등의 전자부품을 생산하기 위한 소재로 사용되는 웨이퍼(wafer) 생산 공정에서, 웨이퍼를 원하는 두께로 연마하면서 평탄도를 개선하는 래핑 공정(lapping)과, 식각된 웨이퍼의 표면을 경면화하고 평탄도를 더욱 향상시키기 위한 폴리싱 공정(polishing)에서 주로 사용되는 장비이다. 바람직하게는, 본 발명의 웨이퍼 연마 장치(100)는 웨이퍼 래핑 공정에서 사용된다. The wafer polishing apparatus 100 of the present invention includes a lapping process for improving flatness while polishing a wafer to a desired thickness in a wafer production process used as a material for producing an electronic component such as a semiconductor, It is a device mainly used in a polishing process for mirroring the surface of an etched wafer and further improving flatness. Preferably, the wafer polishing apparatus 100 of the present invention is used in a wafer wrapping process.

도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시예의 웨이퍼 연마 장치(100)는 상정반(110), 하정반(120), 태양기어(130), 내주기어(140), 웨이퍼 캐리어(150), 상부 슬러리 공급장치(160), 하부 슬러리 공급장치(170)를 포함한다. 3 and 4, the wafer polishing apparatus 100 of the present embodiment includes an upper plate 110, a lower plate 120, a sun gear 130, an inner cycle gear 140, a wafer carrier 150, and an upper portion. Slurry feeder 160, the lower slurry feeder 170 is included.

상정반(110)과 하정반(120)은 각각 원형의 판형상으로 이루어지며, 서로 마주하도록 배치되어 있다. 상정반(110)의 하면과 하정반(120)의 상면에는 슬러리(S)의 원활한 공급 및 배출을 위한 격자형의 홈(G)이 형성되어 있어, 이 홈(G)을 통해 슬러리(S)가 공급 및 배출된다. 하정반(120)은 위치가 고정되고, 상정반(110)은 하정반(120)에 대해 접근 및 이격되는 방향으로 승강 가능하게 설치될 수 있다. 상정반(110)을 승강시키는 승강수단은 유압액츄에이트 또는 모터 등을 포함하도록 구성될 수 있다. 상정반(110) 또는 하정반(120)은 모터 등과 같은 구동수단에 의해 회전하며, 연마 과정에서 서로 반대방향으로 회전되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는, 상정반(110)은 고정되고, 하정반(120)이 회전하도록 구성된다. The upper plate 110 and the lower plate 120 are each formed in a circular plate shape and are disposed to face each other. On the lower surface of the upper surface plate 110 and the upper surface of the lower surface plate 120 is formed a grid-shaped groove (G) for smooth supply and discharge of the slurry (S), the slurry (S) through the groove (G) Is supplied and discharged. The lower platen 120 is fixed in position, and the upper platen 110 may be installed to be elevated in a direction approaching and spaced apart from the lower platen 120. The lifting means for elevating the upper plate 110 may be configured to include a hydraulic actuator or a motor. The upper plate 110 or the lower plate 120 is rotated by a driving means such as a motor, and is preferably rotated in opposite directions in the polishing process. In the present embodiment, the upper plate 110 is fixed, the lower plate 120 is configured to rotate.

태양기어(130)는 전체적으로 환형으로 이루어지며 하정반(120)의 상측 중심부에 배치된다. 태양기어(130)는 상정반(110)에 삽입되는 중심축(131)에 회전 가능하게 결합되며 모터 등의 구동수단에 의해 회전된다. 태양기어(130)는 상정반(110)과 동축으로 배치되어 있다. 태양기어(130)의 외주면에는 기어 이가 형성되어 있다.The sun gear 130 has an annular shape as a whole and is disposed at the upper center of the lower plate 120. The sun gear 130 is rotatably coupled to the central axis 131 inserted into the upper plate 110 and is rotated by a driving means such as a motor. The sun gear 130 is disposed coaxially with the top plate 110. Gear teeth are formed on the outer circumferential surface of the sun gear 130.

내주기어(140)는 전체적으로 환형으로 이루어져 하정반(120)의 둘레를 감싸도록 배치된다. 내주기어(140)의 내주면에는 기어 이가 형성되어 있다. 내주기어(140)도 모터 등의 구동수단에 의해 태양기어(130)와 동심으로 태양기어(130)에 대해 상대회전 가능하다.The inner main gear 140 is formed in an annular shape to surround the lower platen 120. Gear teeth are formed on the inner circumferential surface of the inner cycle gear 140. The inner cycle gear 140 may also be rotated relative to the sun gear 130 concentrically with the sun gear 130 by a driving means such as a motor.

웨이퍼 캐리어(150)는 웨이퍼(W)의 연마공정시 웨이퍼(W)를 장착하여 지지하기 위한 것으로서, 대략 원반 형상이고 가공하고자 하는 웨이퍼(W)의 두께보다 작은 두께로 형성된다. 대체로, 웨이퍼 캐리어(150)의 두께는 연마가공이 종료된 후의 웨이퍼(W)의 두께와 비슷한 두께로 형성된다. The wafer carrier 150 is for mounting and supporting the wafer W during the polishing process of the wafer W. The wafer carrier 150 is formed in a substantially disk shape and has a thickness smaller than the thickness of the wafer W to be processed. In general, the thickness of the wafer carrier 150 is formed to be similar to the thickness of the wafer W after polishing is completed.

웨이퍼 캐리어(150)는 태양기어(130)와 내주기어(140) 사이에 위치되어, 그 외주면에 형성된 기어 이에 의해 태양기어(130) 및 내주기어(140)와 기어 접촉된다. 따라서, 태양기어(130)와 내주기어(140)의 상대회전에 따라, 웨이퍼 캐리어(150)는 스스로 자전하면서, 태양기어(130)를 중심으로 공전하게 된다. 도시된 실시예에서는, 웨이퍼 캐리어(150)는 하정반(120) 위에 5개가 놓여지고, 하나의 웨이퍼 캐리어(150)에는 4개의 웨이퍼(W)가 지지되어 연마작업이 진행된다. The wafer carrier 150 is positioned between the sun gear 130 and the inner cycle gear 140, and is in gear contact with the sun gear 130 and the inner cycle gear 140 by a gear formed on the outer circumferential surface thereof. Therefore, as the sun gear 130 and the inner gear 140 rotate relative to each other, the wafer carrier 150 rotates by itself and revolves around the sun gear 130. In the illustrated embodiment, five wafer carriers 150 are placed on the lower plate 120, and four wafers W are supported on one wafer carrier 150 to perform polishing.

도 4를 참조하면, 태양기어(130)와 내주기어(140)의 상대회전에 의해 웨이퍼 캐리어(150)에 지지된 웨이퍼(W)가 회전하는 동안, 상부 슬러리 공급장치(160)에 의해 슬러리(S)가 상정반(110)의 홈(G)을 통해 지속적으로 공급된다. 상부 슬러리 공급장치(160)에 의해 공급된 슬러리(S)는 여러 개의 라인으로 분기되어, 상정반(110)의 홈(G)을 통해 떨어진다. 웨이퍼(W)는 빠른 속도로 자전 및 공전을 하므로, 이러한 슬러리(S)는 상정반(110)의 하면과 웨이퍼(W)의 상면 사이의 공간으로 공급되어 전체적으로 퍼지면서, 슬러리(S)에 포함된 연마용 입자에 의해 웨이퍼(W)의 표면이 연마된다.Referring to FIG. 4, while the wafer W supported on the wafer carrier 150 is rotated by the relative rotation of the sun gear 130 and the inner cycle gear 140, the slurry (the slurry) is formed by the upper slurry supply device 160. S) is continuously supplied through the groove G of the upper plate 110. The slurry S supplied by the upper slurry supply device 160 is branched into several lines and falls through the groove G of the upper plate 110. Since the wafer W rotates and revolves at a high speed, such a slurry S is supplied to the space between the lower surface of the upper surface plate 110 and the upper surface of the wafer W, and spread in the slurry S. The surface of the wafer W is polished by the polished particles.

본 발명에서는 웨이퍼 캐리어(150)에 장착된 웨이퍼(W)의 하면과 하정반(120)의 상면 사이의 공간으로 슬러리(S)를 공급하기 위한 하부 슬러리 공급 장치(170)를 더 포함한다. 예를 들어, 이러한 하부 슬러리 공급 장치(170)는 태양기어(130)와 하정반(120) 사이의 공간에 설치되는 노즐일 수 있다. 이러한 노즐은 태양기어(130)의 주위를 따라 2개소 이상 설치될 수 있다. 예를 들어, 노즐은 태양기어(130)의 주위를 따라 120°간격으로 이격되어 3개소에 설치될 수 있다. The present invention further includes a lower slurry supply device 170 for supplying the slurry S to a space between the lower surface of the wafer W mounted on the wafer carrier 150 and the upper surface of the lower plate 120. For example, the lower slurry supply device 170 may be a nozzle installed in a space between the sun gear 130 and the lower plate 120. Two or more such nozzles may be installed along the circumference of the sun gear 130. For example, the nozzles may be installed at three locations spaced apart by 120 ° along the circumference of the sun gear 130.

하부 슬러리 공급 장치(170)는 하정반(120)의 상면과 평행한 방향으로 하정반(120)에 형성된 홈(G)을 향해 하정반(120)의 내측에서 외측으로 슬러리(S)를 분사하도록 구성되는 것이 바람직하다. 하정반(120)은 구동수단에 의해 회전되므로, 하정반(120)의 홈(G)을 향해 분사된 슬러리(S)는 원심력에 의해 홈(G)을 따라 하정반(120)의 내측에서 외측으로 빠르게 전파되면서 하정반(120)의 표면에 전체적으로 퍼지게 된다. 따라서, 웨이퍼(W)의 상면 및 하면에 균일하게 분포되는 슬러리(S)에 포함된 연마용 입자에 의해 웨이퍼(W)의 표면이 전체적으로 균일하게 연마될 수 있다.The lower slurry supply device 170 to spray the slurry S from the inside of the lower plate 120 to the groove G formed in the lower plate 120 in a direction parallel to the upper surface of the lower plate 120. It is preferred to be configured. Since the lower platen 120 is rotated by the driving means, the slurry S injected toward the grooves G of the lower platen 120 is outside the lower platen 120 along the grooves G by the centrifugal force. As it rapidly propagates to the entire surface of the lower plate 120. Therefore, the surface of the wafer W may be uniformly polished as a whole by the abrasive particles contained in the slurry S uniformly distributed on the upper and lower surfaces of the wafer W.

상술한 바와 같이, 종래에는, 슬러리(S)가 상정반(110)의 홈(G)을 통해 웨이퍼(W)의 상면으로만 공급되고, 웨이퍼(W) 및 하정반(120)의 회전에 따라 웨이퍼(W)의 상면으로 공급된 슬러리(S)의 유동에 의해 웨이퍼(W)의 하면으로도 슬러리(S)가 공급될 수 있도록 하였다. 그러나, 유동에 의한 슬러리(S)의 공급으로는 웨이퍼(W)의 하면에 상대적으로 적은 슬러리(S)가 불균일하게 도포되게 한다. 이와 같이, 슬러리(S) 양이 적은 상태에서 연마작업을 진행하게 되면, 하정반(120) 홈(G)의 에지에 의한 스크래치(scratch)가 생겨 웨이퍼(W)가 품질적으로 열위한 연마면을 갖게 된다. 그러나, 본 발명에서는 하부 슬러리 공급 장치(170)에 의해 웨이퍼(W)의 하면으로 직접 슬러리(S)를 공급하므로, 웨이퍼(W)의 하면으로도 충분한 양으로 균일하게 슬러리(S)가 공급될 수 있어, 웨이퍼의 연마 품질을 향상시킬 수 있다. As described above, conventionally, the slurry S is supplied only to the upper surface of the wafer W through the groove G of the upper plate 110, and according to the rotation of the wafer W and the lower plate 120. By the flow of the slurry S supplied to the upper surface of the wafer W, the slurry S can be supplied to the lower surface of the wafer W as well. However, the supply of the slurry S by the flow causes the slurry S to be relatively unevenly applied to the lower surface of the wafer W. As such, when the polishing operation is performed in a state where the amount of slurry (S) is small, scratches are generated due to the edge of the groove G of the lower plate 120 so that the wafer W is heat-qualityly polished. Will have However, in the present invention, since the slurry S is directly supplied to the lower surface of the wafer W by the lower slurry supply device 170, the slurry S may be uniformly supplied evenly to the lower surface of the wafer W. It is possible to improve the polishing quality of the wafer.

또한, 하부 슬러리 공급 장치(170)는 태양기어(130)와 하정반(120) 사이의 공간에 노즐 형태로 설치될 수 있고, 노즐을 통해 하정반(120)의 홈(G)을 향해 하정반(120)의 내측에서 외측 방향으로 분사된 슬러리(S)는 하정반(120)이 회전함에 따라 웨이퍼(W)의 하면에 균일하게 공급될 수 있다. 따라서, 간단한 구성으로 웨이퍼(W)의 하면으로도 충분한 양으로 균일하게 슬러리(S)를 도포할 수 있어, 웨이퍼의 연마 품질을 향상시킬 수 있다. In addition, the lower slurry supply device 170 may be installed in the form of a nozzle in the space between the sun gear 130 and the lower plate 120, the lower plate toward the groove (G) of the lower plate 120 through the nozzle. The slurry S injected in the outward direction from the inside of the 120 may be uniformly supplied to the bottom surface of the wafer W as the lower plate 120 rotates. Therefore, the slurry S can be uniformly applied in sufficient quantity even on the lower surface of the wafer W with a simple structure, and the polishing quality of a wafer can be improved.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정 또는 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention will be.

100 : 웨이퍼 연마 장치
110 : 상정반
120 : 하정반
130 : 태양기어
131 : 중심축
140 : 내주기어
150 : 웨이퍼 캐리어
160 : 상부 슬러리 공급장치
170 : 하부 슬러리 공급장치
G : 홈
S : 슬러리
W : 웨이퍼100: wafer polishing apparatus
110: the upper class
120: bottom plate
130: sun gear
131: central axis
140: my main gear
150: wafer carrier
160: upper slurry feeder
170: lower slurry feeder
G: home
S: slurry
W: Wafer

Claims (10)

삭제delete 웨이퍼를 지지하기 위한 상정반 및 하정반;
상기 상정반과 하정반 사이에 위치되어, 그 위에 웨이퍼를 장착하기 위한 웨이퍼 캐리어;
상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 상면과 상기 상정반의 하면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 상부 슬러리 공급 장치; 및
상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 하면과 상기 하정반의 상면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 하부 슬러리 공급 장치를 포함하여 이루어지고,
상기 하부 슬러리 공급 장치는 상기 하정반의 상면과 평행한 방향으로 상기 하정반의 내측에서 외측으로 슬러리를 분사하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치.An upper plate and a lower plate for supporting a wafer;
A wafer carrier positioned between the upper and lower plates for mounting a wafer thereon;
An upper slurry supply device for supplying a slurry to a space between an upper surface of a wafer mounted on the wafer carrier and a lower surface of the upper surface plate; And
A lower slurry supply device for supplying a slurry to a space between a lower surface of the wafer mounted on the wafer carrier and an upper surface of the lower plate,
And the lower slurry supply device is configured to spray slurry from the inside of the lower plate to the outside in a direction parallel to the upper surface of the lower plate. 제2항에 있어서,
상기 상정반과 상기 하정반의 사이에 위치되어 회전하는 태양기어;
내주에 기어 이가 형성되어, 상기 태양기어와 동심으로 회전하는 내주기어;
를 더 포함하고,
상기 웨이퍼 캐리어는 상기 태양기어와 상기 내주기어 사이에서 기어 접촉되어 상기 태양 기어를 중심으로 공전하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치.The method of claim 2,
A sun gear rotating between the upper and lower plates;
An inner cycle gear formed at an inner circumference thereof to rotate concentrically with the sun gear;
Further comprising:
And the wafer carrier is in gear contact between the sun gear and the inner cycle gear to revolve around the sun gear. 제3항에 있어서,
상기 하부 슬러리 공급 장치는 상기 태양기어와 상기 하정반 사이의 공간에 설치되는 노즐인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치.The method of claim 3,
The lower slurry supply apparatus is a wafer polishing apparatus, characterized in that the nozzle is installed in the space between the sun gear and the lower plate. 제4항에 있어서,
상기 노즐은 상기 태양기어의 주위를 따라 이격되어 2개소 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치.The method of claim 4, wherein
And at least two nozzles are spaced apart along the circumference of the sun gear. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 하정반은 구동수단에 의해 회전구동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치.The method according to any one of claims 2 to 5,
And said lower plate is configured to rotate by a drive means. 웨이퍼를 연마하기 위한 웨이퍼 연마 장치에 있어서,
웨이퍼를 지지하고, 그 표면에는 슬러리의 유동을 위한 다수의 홈이 형성된 상정반 및 하정반;
상기 상정반과 상기 하정반의 사이에 위치되어, 그 위에 웨이퍼를 장착하기 위한 웨이퍼 캐리어;
상기 상정반의 하면에 형성된 상기 홈을 통해 상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 상면과 상기 상정반의 하면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 상부 슬러리 공급 장치;
상기 하정반의 상면에 형성된 상기 홈을 향해 상기 하정반의 상면과 평행한 방향으로 상기 하정반의 내측에서 외측으로 슬러리를 분사함으로써, 상기 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼의 하면과 상기 하정반의 상면 사이의 공간으로 슬러리를 공급하기 위한 하부 슬러리 공급 장치;
를 포함하고,
상기 하정반은 구동수단에 의해 회전구동하도록 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치.In a wafer polishing apparatus for polishing a wafer,
An upper plate and a lower plate for supporting a wafer, the surface having a plurality of grooves formed therein for flow of slurry;
A wafer carrier positioned between the top plate and the bottom plate to mount a wafer thereon;
An upper slurry supply device for supplying a slurry to a space between an upper surface of a wafer mounted on the wafer carrier and a lower surface of the upper surface plate through the groove formed on the lower surface of the upper surface plate;
By injecting a slurry from the inside of the lower plate to the outside in a direction parallel to the upper surface of the lower plate toward the groove formed on the upper surface of the lower plate, the slurry is injected into the space between the lower surface of the wafer mounted on the wafer carrier and the upper surface of the lower plate. A lower slurry supply device for supplying a gas;
Including,
And said lower plate is configured to rotate by a drive means. 제7항에 있어서,
상기 상정반과 상기 하정반의 사이에 위치되어 회전하는 태양기어;
내주에 기어 이가 형성되어, 상기 태양기어와 동심으로 회전하는 내주기어;
를 더 포함하고,
상기 웨이퍼 캐리어는 상기 태양기어와 상기 내주기어 사이에서 기어 접촉되어 상기 태양 기어를 중심으로 공전하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치.The method of claim 7, wherein
A sun gear rotating between the upper and lower plates;
An inner cycle gear formed at an inner circumference thereof to rotate concentrically with the sun gear;
Further comprising:
And the wafer carrier is in gear contact between the sun gear and the inner cycle gear to revolve around the sun gear. 제8항에 있어서,
상기 하부 슬러리 공급 장치는 상기 태양기어와 상기 하정반 사이의 공간에 설치되는 노즐인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치.The method of claim 8,
The lower slurry supply apparatus is a wafer polishing apparatus, characterized in that the nozzle is installed in the space between the sun gear and the lower plate. 제9항에 있어서,
상기 노즐은 상기 태양기어의 주위를 따라 이격되어 2개소 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치.10. The method of claim 9,
And at least two nozzles are spaced apart along the circumference of the sun gear.
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