KR101117068B1 - 에칭용액 여과장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유리 에칭용액에 포함된 유리 슬러리를 여과하기 위한 에칭용액 여과장치에 관한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 에칭용액 여과장치는 내부에 서로 연락 가능한 상태로 제1 여과실과 제2 여과실이 형성되도록 분할벽이 구비되는 여과장치 본체와; 상기 에칭용액 공급부로부터 에칭용액을 제1 여과실로 유입시킬 수 있도록 제1 여과실에 연결되는 유입관과; 상기 유입관으로 부터 유입된 에칭용액의 여과를 위해 분할벽에 구비되는 제1 여과부와; 제1 여과부에 의해 여과된 에칭용액의 2차 여과를 위하여 회전 가능한 드럼 형태로 상기 제2 여과실에 장착되는 제2 여과부와; 상기 제2 여과부에 의해 여과된 에칭용액을 배출 가능하도록 일 단부가 상기 제2 여과부에 연결되게 장착되는 배출관을 포함하여 구성될 수도 있다.
상기와 같은 구성에 의해 본 발명은 에칭용액에 포함된 유리 슬러리를 효율적으로 포집할 수 있고, 필터 케이크의 형성 등으로 인해 여과부의 효율 저하가 발생하는 경우에도 오버플로우에 의한 보조적인 여과가 이루어질 수 있으며, 여과부재의 교체가 보다 용이하면서 신속하게 교체될 수 있다.
에칭용액, 유리 슬러리, 여과, 오버플로우, 미세입자

Description

에칭용액 여과장치{APPARATUS FOR FILTERING ETCHING LIQUID}
본 발명은 유리 에칭용액에 포함된 유리 슬러리를 여과하기 위한 에칭용액 여과장치에 관한 것이다.
일반적으로, 에칭장치는 화학적 에칭 또는 물리적 에칭 방식으로 가공 대상물에 대한 형상 또는 모양을 형성시키고 있다. 이 중 에칭용액을 이용하는 에칭장치는 에칭용액을 이용하여 화학적 또는 물리적인 방식으로 피 가공대상물에 대한 에칭작업을 수행하고 있다.
이와 같이 에칭장치에 이용되는 에칭용액은 다시 사용될 수 있도록, 에칭용액이 여과되어 다시 재순환될 수 있는 방식으로 에칭 시스템이 구성되고 있다. 즉, 이와 같은 에칭 시스템은 에칭장치로부터 회수되는 에칭용액을 여과시켜 다시 에칭장치로 공급할 수 있도록 구성된다.
종래에는 여과를 위한 장치로 흡입 원통여과 형태의 구성이 알려져 있으나, 이는 원통에 처음부터 여과재를 말아놓은 상태에서 장비가 작동되고, 회전하는 원통방향으로 여과재가 롤을 타고 밖으로 배출되는 방식으로 구성된다.
다른 한편, 원통형 여과장치에 대한 내용으로 주로 금속가공에서 나오는 오 일과 연삭시 발생하는 금속파편분말의 액체와 고체의 여과분리형태로 원통에 여과재를 볼트, 너트로 측면에 고정시키고 , 회전하면서 컨베이어로 타고 오는 고액분리물을 통과시켜서 거르는 형태로 이루어지는 장치 등이 알려져 있다.
이러한 장치를 이용하는 경우, 에칭용액에 포함된 슬러리의 포집이 비교적 안정적으로 이루어지고, 포집된 슬러리의 여과가 비교적 용이하게 이루어질 수는 있으나, 유리 슬러리와 같이 에칭작업에 의해 발생하는 미세 입자와 큰입자가 산재된 슬러리의 여과가 효율적으로 이루어질 수는 없다. 또한, 종래의 여과장치의 경우, 여과재의 손실이 상대적으로 증가하게 되어 생산비를 증가시키는 요인이 되고 있다.
그리고, 종래의 원통형 여과장치는 일반적으로 폐수처리용으로 이루어진 것이 보편적이기 때문에 유리 슬러리의 여과에 적용하기가 어려울 뿐만 아니라 적용한다고 하더라도 효율적인 여과가 이루어질 수 없다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 에칭용액 여과장치에서 발생하는 요구 또는 문제들 중 적어도 어느 하나를 인식하여 이루어진 것이다.
본 발명의 일 목적은 에칭용액으로부터 유리 슬러지의 포집(여과)이 보다 효율적으로 이루어질 수 있도록 하는 것이다.
본 발명의 다른 일 목적은 에칭 작업 시간을 보다 안정적으로 유지될 수 있도록 하는 것이다.
본 발명의 또 다른 일 목적은 포집된 유리 슬러지의 여과 및 여과부재의 교체가 보다 용이하면서 신속하게 교체될 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 목적은 필터 케이크의 형성 등으로 인해 여과부의 효율이 저하되는 경우에도 오버플로우에 의한 보조적인 여과가 이루어질 수 있도록 하여 에칭 공정이 마무리 될 때 까지 에칭 작업이 중단되지 않도록 하는 것이다.
본 발명의 또 다른 일 목적은 여과부재에 대한 내산성이 확보될 수 있도록 하여 사용주기의 증가를 가능하도록 하는 것이다.
상기 과제들 중 적어도 하나의 과제를 실현하기 위한 일 실시 형태와 관련된 에칭용액 여과장치는 다음과 같은 특징을 포함할 수 있다.
본 발명은 기본적으로 글라스(유리) 에칭시 에칭용액으로부터 유리 슬러지의 포집(여과)이 보다 효율적으로 이루어질 수 있도록 구성되는 것을 기초로 한다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 에칭용액 여과장치는 내부에 서로 연락 가능한 상태로 제1 여과실과 제2 여과실이 형성되도록 분할벽이 구비되는 여과장치 본체와; 에칭용액 공급부로부터 에칭용액을 제1 여과실로 유입시킬 수 있도록 제1 여과실에 연결되는 유입관과; 유입관으로부터 유입된 에칭용액의 여과를 위해 분할벽에 구비되는 제1 여과부와; 제1 여과부에 의해 여과된 에칭용액의 2차 여과를 위하여 회전 가능한 드럼 형태로 제2 여과실에 장착되는 제2 여과부와; 제2 여과부에 의해 여과된 에칭용액을 배출 가능하도록 일 단부가 제2 여과부에 연결되게 장착되는 배출관;을 포함하여 구성될 수도 있다.
이 경우, 유입관은 복수의 분사구가 배치될 수 있고, 분사구는 제1 여과부의 전체 영역에 대하여 에칭용액의 분사가 가능하도록 배치될 수도 있다.
그리고, 여과장치 본체는 제1 여과실의 어느 일 영역에 여과된 분체의 배출을 위한 배출포트가 더 구비될 수도 있다.
한편, 제2 여과부는 여과부 본체가 내부에 공간이 형성되는 드럼 구조로 이루어질 수도 있고, 이 경우, 여과부 본체는 둘레를 따라 여과영역이 형성될 수도 있다. 그리고, 여과부 본체는 한 쌍의 회전축이 각각 양 단부에 결합되어 여과부 본체가 여과장치 본체에 회전 가능하게 장착될 수도 있다.
다른 한편, 제2 여과부는 회전 가능하게 구성되는 여과부 본체의 둘레에 여과막이 감싸지도록 구성될 수도 있다. 이 경우, 여과막의 고정을 위해 링 구조의 고정부재가 여과부 본체에 결합될 수도 있다.
또한, 배출관은 흡입부가 제2 여과부의 내부로 연장되어 설치될 수도 있다. 이 경우, 내부로 연장된 배출관의 흡입부가 하방으로 편향되어 배치될 수도 있다. 그리고, 흡입부는 배출관의 길이 방향을 따라 복수의 흡입구가 형성될 수도 있다.
또 다른 한편, 여과부 본체의 어느 일 위치에는 오버플로우 배출구가 더 구비되어 오버플로우 배출구와 연결되는 보조 여과부가 더 구비될 수도 있다.
이 경우, 보조 여과부는 오버플로우 배출구와 연결되는 보조 여과실이 내부에 형성되고, 오버 플로우 배출구의 맞은편 위치에 배출구가 형성되는 보조 여과부 본체와; 오버플로우 배출구와 배출구 사이에 배치되어 오버플로우된 에칭용액을 2차 여과하도록 구비되는 여과막;을 포함하여 구성될 수도 있다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 에칭용액으로부터 유리 슬러지의 포집(여과)이 보다 효율적으로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 에칭 작업 시간을 보다 안정적으로 유지될 수 있다.
그리고 또한, 본 발명에 따르면, 포집된 유리 슬러지의 여과 및 여과부재의 교체가 보다 용이하면서 신속하게 교체될 수 있다.
그리고 또한, 본 발명에 따르면, 필터 케이크의 형성 등으로 인해 여과부의 효율이 저하되는 경우에도 오버플로우에 의한 보조적인 여과가 이루어질 수 있게 되어 에칭 공정이 마무리 될 때 까지 에칭 작업이 안정적으로 유지될 수 있다.
그리고 또한, 본 발명에 따르면, 여과부재에 대한 내산성이 확보될 수 있도록 하여 사용주기의 증가가 가능하게 되고, 이로 인해 생산비를 절감할 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 특징들에 대한 이해를 돕기 위하여, 이하 본 발명의 실시예와 관련된 에칭용액 여과장치에 대하여 보다 상세하게 설명하도록 하겠다.
이하, 설명되는 실시예들은 본 발명의 기술적인 특징을 이해시키기에 가장 적합한 실시예들을 기초로 하여 설명될 것이며, 설명되는 실시예들에 의해 본 발명의 기술적인 특징이 제한되는 것이 아니라, 이하, 설명되는 실시예들과 같이 본 발명이 구현될 수 있다는 것을 예시하는 것이다.
따라서, 본 발명은 아래 설명된 실시예들을 통해 본 발명의 기술 범위 내에서 다양한 변형 실시가 가능하며, 이러한 변형 실시예는 본 발명의 기술 범위 내에 속한다 할 것이다. 그리고, 이하, 설명되는 실시예의 이해를 돕기 위하여 첨부된 도면에 기재된 부호에 있어서, 각 실시예에서 동일한 작용을 하게 되는 구성요소 중 관련된 구성요소는 동일 또는 연장 선상의 숫자로 표기하였다.
본 발명과 관련된 실시예들은 글라스(유리) 에칭시 에칭용액으로부터 유리 슬러지의 포집(여과)이 보다 효율적으로 이루어질 수 있도록 구성되는 것을 기초로 한다.
도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 에칭용액 여과장치를 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 일 실시예에 따른 에칭용액 여과장치(100)는 에칭장치(30)로부터 회수된 에칭용액을 에칭용액 공급부(20)로부터 유입되게 한 후, 에칭용액에 포함된 유리 슬러리를 여과하여 다시 에칭용액 공급부(20)로 공급 가능하도록 구성될 수 있다.
이 경우, 펌프(21)를 이용하여 에칭용액 공급부(200로부터 여과장치(100)로 유입되는 에칭용액은 펌프(21)에 의해 일정한 압력으로 공급되고, 에칭용액 여과장치(100)를 통해 여과된 에칭용액은 다른 펌프(22)에 의해 일정한 압력으로 에칭용액 공급부로 다시 회수되도록 구성할 수 있다. 그리고, 에칭용액을 에칭용액 공급부(20)로 다시 공급하기 위한 배출관(140)에는 압력계(23)가 구비되어 여과상태를 확인하도록 구성할 수도 있다. 상기 압력계(23)는 에칭용액을 에칭용액 여과장치로 공급하기 위한 유입관(21)에 구비될 수도 있다.
도 2에 도시된 일 실시예를 기초로 상기 에칭장치(30)의 구성에 관한 일 예를 설명하면 다음과 같다. 에칭용액 여과장치(100)는 내부에 분할벽(111)이 구비되어 제1 여과실(112a)과 제2 여과실(112b)이 구비된다. 상기 분할벽(111)은 제1 여과실(112a)과 제2 여과실(112b)이 서로 연락 가능한 상태가 될 수 있도록 유로가 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 분할벽(111)의 유로에는 제1 여과부(113)로 이루어지도록 구성할 수 있다. 즉, 제1 여과실(112a)로부터 유리 슬러지가 제2 여과실(112b)로 이동하면서 상기 제1 여과부(113)에 의해 유리입자가 여과될 수 있다.
이러한 구성을 위하여, 상기 제1 여과실(112a)에는 상기 에칭용액 공급부(20)로부터 에칭용액이 공급될 수 있도록 유입관(120)이 연결될 수 있다. 상기 유입관(120)을 통해 에칭용액 공급부(20)로부터 에칭용액이 제1 여과실(112a)로 유입된 후 상기 분할벽(111)에 구비된 제1 여과부(113)를 통해 유리 입자가 여과되면서 제2 여과실(112b)로 에칭용액이 이동할 수 있게 된다.
이 경우, 상기 제1 여과부(113)에 의해 여과되는 유리입자는 상대적으로 큰 입도분포를 갖는 입자가 포집될 수 있다. 즉, 제1 여과부(113)에 의해 여과된 유리입자는 자중에 의해 낙하되어 제1 여과부(113)의 여과효율이 최대한 지속될 수 있도록 구성할 수 있다.
한편, 상기 여과장치 본체(110)는 제1 여과실(112a)의 하부에 배출포트(115)가 더 구비될 수도 있다. 이와 같은 구성을 통해 상기 제1 여과부(113)에 의해 여과되어 낙하하는 유리입자의 여과가 가능하도록 할 수 있다. 여과된 유리입자의 배출이 보다 용이하게 이루어질 수 있도록 하기 위하여, 상기 여과장치 본체(110)의 하부 영역에는 하향 경사진 영역이 구비되고, 상기 배출포트(115)는 하향 경사진 영역의 하부 영역에 형성될 수도 있다. 그리고, 상기 배출포트(115)에는 밸브(115a)가 구비되어 필요에 따라 여과된 유리입자의 배출이 이루어지도록 구성할 수도 있다. 이와 같은 구성에 의해 제1 여과부(113)에 의해 포집되는 유리입자는 케이크 상태로 남게 되는 것을 최대한 억제할 수 있다.
다른 한편, 상기 유입관(120)에는 복수의 분사구(121)가 형성되어 에칭용액이 제1 여과실(112a)로 유입되도록 구성할 수도 있다. 이 경우, 상기 분사구(121)는 최대한 상기 제1 여과부(113)의 전체 영역으로 에칭용액이 분사되도록 구성할 수도 있다. 이러한 구성에 의해, 국부적인 영역으로 에칭용액의 통과량이 증가하여 여과효율이 저하되는 것을 최대한 억제할 수 있다.
그리고, 상기 제2 여과실(112b)에는 제2 여과부(130)가 더 구비될 수 있다. 상기 제2 여과부(130)는 제1 여과부(113)에 의해 여과되지 아니한 보다 미세한 입 도분포를 갖는 유리입자의 여과가 가능하도록 구성할 수 있다.
이러한 구성을 위하여, 상기 제2 여과부(130)는 회전 가능한 드럼 형태의 구조로 이루어질 수 있다. 예를 들어 상기 제2 여과부(130)는 여과부 본체(131)가 드럼 형태로 이루어지고, 상기 여과부 본체(131)의 양 단부에는 여과부 본체(131)가 제2 여과실(112b)의 내부 장착되어 회전 가능하도록 회전축(132)이 구비될 수 있다.
도 3에 도시된 것과 같이, 상기 회전축(132)은 여과장치 본체(110)에 각 단부가 회전 가능하게 장착될 수 있다. 이러한 구성을 위하여 여과장치 본체(110)에는 베어링(114)이 구비되고, 상기 회전축(132)이 상기 베어링(114)에 끼워져 회전 가능하도록 구성할 수도 있다.
한편, 상기 드럼 형태의 구조로 이루어지는 여과부 본체(131)는 그 둘레를 따라 여과영역(131a)이 형성될 수 있다. 상기 여과영역(131a)은 도시된 것과 같이 복수의 구멍으로 이루어질 수도 있고, 이와 달리 메쉬 형태의 구조로 이루어질 수도 있다. 이 경우, 상기 여과영역(131a)은 그 자체가 미세 입도의 유리입자의 여과가 가능한 구조로 이루어질 수도 있다.
이와 달리, 도 4에 도시된 것과 같이, 상기 상기 제2 여과부(130)는 미세 입도의 유리입자를 여과시킬 수 있도록 드럼 형태의 여과부 본체(131)에 여과막(133)이 감싸지도록 구성할 수도 있다. 즉, 여과부 본체(131)의 여과영역(131a)에 여과막(133)이 씌워지도록 구성할 수도 있다. 이 경우, 상기 여과막(133)의 고정을 위하여 링 구조의 고정부재(134)가 더 구비될 수도 있다. 상기 여과막(133)은 상기 고정부재(134)에 의해 양단부 또는 양단부와 중앙부가 고정되면서 상기 여과영역(131)에 밀착되어 미세입도의 유리입자의 여과상태가 안정적으로 이루어지게 구성될 수 있다.
이와 같이, 상기 제2 여과부(130)에 의해 메세 입도의 유리입자가 여과된 에칭용액은 여과부 본체(131)의 내부로 유입되어 배출관(140)을 통해 다시 에칭용액 공급부(20)로 회수되도록 구성할 수도 있다. 상기 제2 여과부(130)는 분당 7 내지 8회 정도의 저속으로 회전하면서 미세 유리입자를 여과하도록 작동할 수도 있다.
이러한 구성을 위하여 상기 배출관(140)은 일 단부가 상기 여과부 본체(131)의 내부와 연결 가능하도록 구성될 수 있다. 이러한 구성의 일 예로 도 3에 도시된 것과 같이, 상기 배출관(140)은 그 일 단부가 상기 제2 여과부(130)의 회전축(132)을 관통하여 여과부 본체(131)의 내부에 위치하도록 연장되어 형성될 수도 있다.
그리고, 상기 여과부 본체(131)의 내부에 위치하게 되는 배출관(140)의 일 단부에는 흡입부(141)가 형성되어 여과부 본체(131)로 유입된 에칭용액을 배출 가능하게 구성될 수 있다. 상기 흡입부(141)는 제2 여과실(112b) 내부의 에칭용액의 수위(L)가 낮아지는 경우에도 지속적인 에칭용액의 배출이 가능하도록 상기 여과부 본체(131)의 하부위치에 배치되도록 하방으로 편향되어 배치될 수도 있다.
이 경우, 상기 배출관(140)은 회전축(132)을 관통하는 상태로 장착되어 제2 여과부(130)가 회전하는 경우에도 흡입부(141)의 위치가 고정되도록 구성할 수도 있다. 즉, 배출관(140)은 회전이 이루어지지 않는 상태로 장착될 수 있다. 이 경우, 회전축(132)과 배출관(140) 사이의 틈새로 에칭용액이 누설되지 않도록 밀봉수 단이 더 구비될 수 있고, 상기 밀봉수단은 일반적으로 알려진 구성에 의해 가능하기 때문에 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
그리고, 상기 흡입부(141)는 복수의 흡입구(141a)가 형성되어 여과된 에칭용액을 여과부 본체(131)의 내부로부터 흡입 가능하도록 구성할 수도 있다. 이 경우, 상기 흡입구(141a)는 배출관(140)의 길이 방향을 따라 형성될 수도 있다. 그리고, 상기 흡입구(141a)는 여과부 본체(131)의 길이 방향을 따라 최대한 전체 영역에 대향하도록 배치될 수 있도록 구성될 수도 있다.
이와 같은 구성에 의해, 유입관(120)을 통해 에칭용액 공급부(20)로부터 상기 제1 여과실(112a)로 유입된 에칭용액은 제1 여과부(113)를 통과하면서 상대적으로 큰 입도의 유리입자가 여과되어 제2 여과실(112b)로 유입된다. 상기 제2 여과실(112b)로 유입된 에칭용액은 다시 제2 여과부(130)의 내부로 유입되면서 미세 입도의 유리입자가 여과될 수 있다. 이와 같이, 유리입자가 여과된 에칭용액은 배출관(140)을 통해 다시 에칭용액 공급부(20)로 회수될 수 있다.
다른 한편, 제2 여과부(130)의 여과 효율이 저하되거나 또는 다른 이상에 의해 에칭용액의 수위(L)가 증가하게 되는 경우, 에칭용액의 유입량에 비하여 배출량이 감소하게 되어 여과장치 본체(110)의 수용량을 초과하게 되는 문제가 발생할 수도 있다.
이 경우, 도 5에 도시된 것과 같이, 상기 여과장치 본체(110)의 어느 일 측에 보조 여과부(160)가 더 구비되도록 구성할 수도 있다.
예를 들어, 상기 보조 여과부(160)는 상기 여과장치 본체(110)의 어느 일 측 에 보조 여과부 본체(161)가 장착되어, 제2 여과실(112b)과 연결되게 구성될 수 있다. 이 경우, 오보플로우 배출구(110a)가 더 형성되어 초과된 제2 여과실(112b) 내부의 에칭용액이 보조 여과부(160)로 흘러들어갈 수 있도록 구성할 수 있다.
상기 보조 여과부 본체(161)는 내부에 초과되어 흘러들어오는 에칭용액이 수용 가능한 보조 여과실(161a)이 형성될 수 있고, 상기 보조 여과실(161a)의 내부에는 여과막(162)이 더 구비될 수 있다. 그리고, 상기 보조 여과부 본체(161)는 상기 오버플로우 배출구(110a)의 맞은편 어느 일 위치에 에칭용액 공급부(20) 또는 상기 배출관(140)과 연결되는 배출구(163)가 형성될 수 있다.
이와 같은 구성에 의해 제2 여과실(112b)로부터 오버플로우 배출구(110a)를 통해 보조 여과실(161a) 내부로 넘쳐 흘러들어오게 되는 에칭용액은 상기 여과막(162)에 의해 미세 입도의 유리입자가 여과되어 배출구(163)를 통해 에칭용액 공급부(20)로 다시 회수될 수 있다.
한편, 상기 제1 여과부(113) 제2 여과부(130) 및 보조 여과부(160)의 여과막(162)은 내화학성의 재질로 이루어질 수도 있다. 이 경우, 내화학성 재질로는 폴리프로필렌이 이용될 수도 있다.
그리고, 제2 여과부(130)에 포집되는 슬러지(유리입자)가 케이크 형태로 형성되면, 펌프(22)의 작동압에 변화가 발생하게 된다. 이 경우, 배출관(140)에 장착되는 압력계(23)를 통해 제2 여과부(130)의 여과효율이 저하되는 것을 확인 할 수 있게 되고, 제2 여과부(130) 또는 여과막(133)의 교체시기를 결정할 수 있게 된다.
폴리프로필렌 재질의 내화학성 특성을 갖는 제1 여과부(113) 제2 여과 부(130) 및 여과막(162)으로 에칭용액 여과장치(100)를 구성한 경우 슬러지 여과(포집) 효율을 측정하였다.
우선 습식 에칭장비(30)에 유리재품을 투입한 후 에칭이 진행되면서 에칭용액은 다시 에칭용액 공급부(20)로 회수되어 에칭용액 여과장치(100)를 통해 여과포집이 진행되도록 하였다. 에칭 진행 중에 발생하는 슬러지입도를 입도측정기로 측정하였으며, 발생한 슬러지의 포집효율을 측정전의 여과지 무게와 측정 후의 여과지 무게차에 의해 측정하였다.
도 6의 (a)는 유리입자의 입도분포를 나타내고, 도 6의 (b)는 여과후, 유리입자의 분포상태를 나타낸다. 그리고, 도 7의 (a)는 폴리프로필렌 재질의 여과막을 이용한 경우 포집효율을 나타내는 그래프이고, 도 7의 (b)는 일반적으로 사용되는 셀로로스 재질의 부직포로 구성된 여과막을 이용한 경우의 포집효율을 나타내는 그래프이다.
분포도를 통해 알 수 있는 바와 같이, 상대적으로 큰 입도의 유리입자는 완전히 여과되는 것을 알 수 있고, 비교적 미세한 입도의 유리입자 또한 상당히 감소한 것을 알 수 있다. 즉, 여과효율이 증가한 것을 알 수 있다.
한편, 일반적인 부직포로 구성되는 여과막에 비하여 폴리프로필렌 재질의 여과막을 이용하는 경우, 여과효율이 장시간 안정적으로 유지되는 것을 알 수 있다.
상기와 같이 설명된 에칭용액 여과장치는 상기 설명된 실시예의 구성이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 여과장치가 구비되는 에칭 시스템을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 에칭용액 여과장치의 내부 구조를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 여과부 본체와 배출구의 장착 구조에 관한 일 구성예를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 4는 도 2에 도시된 여과부 본체의 구조에 관한 일 구성예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 보조 여과부가 구비된 에칭용액 여과장치의 내부 구조를 개략적으로 나타내는 부분 단면도이다.
도 6의 (a)는 유리입자의 입도분포를 나타내는 그래프이고, 도 6의 (b)는 여과후, 유리입자의 분포상태를 나타내는 그래프이다.
도 7의 (a)는 폴리프로필렌 재질의 여과막을 이용한 경우 포집효율을 나타내는 그래프이고, 도 7의 (b)는 일반적으로 사용되는 셀로로스 재질의 부직포로 구성된 여과막을 이용한 경우의 포집효율을 나타내는 그래프이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
1 ... 에칭 시스템 20 ... 에칭용액 공급부
30 ... 에칭장치 100 ... 에칭용액 여과장치
110 ... 여과장치 본체 110a ... 오버플로우 배출구
111 ... 분할벽 112a,b ... 제1, 제2 여과실
113 ... 제1 여과부 114 ... 베어링
115 ... 배출포트 115a ... 밸브
120 ... 유입관 121 ... 분사구
130 ... 제2 여과부 131 ... 여과부 본체
131a ... 여과영역 132 ... 회전축
133,162 ... 여과막 134 ... 고정부재
140 ... 배출관 141 ... 흡입부
141a ... 흡입구 150 ... 구동부
151 ... 동력 전달부 160 ... 보조 여과부
161 ... 보조 여과부 본체 161a ... 보조 여과실
163 ... 배출구

Claims (9)

  1. 내부에 서로 연락 가능한 상태로 제1 여과실과 제2 여과실이 형성되도록 분할벽이 구비되는 여과장치 본체와;
    에칭용액 공급부로부터 에칭용액을 제1 여과실로 유입시킬 수 있도록 제1 여과실에 연결되는 유입관과;
    상기 유입관으로부터 유입된 에칭용액의 여과를 위해 분할벽에 구비되는 제1 여과부와;
    제1 여과부에 의해 여과된 에칭용액의 2차 여과를 위하여 회전 가능한 드럼 형태로 상기 제2 여과실에 장착되는 제2 여과부와;
    상기 제2 여과부에 의해 여과된 에칭용액을 배출 가능하도록 일 단부가 상기 제2 여과부에 연결되게 장착되는 배출관;을 포함하여 구성되되,
    여과부 본체의 어느 일 위치에는 오버플로우 배출구가 더 구비되고, 상기 오버플로우 배출구와 연결되는 보조 여과부가 구비되는 것을 특징으로 하는 에칭용액 여과장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유입관은 복수의 분사구가 배치되며, 상기 분사구는 제1 여과부의 전체 영역에 대하여 에칭용액의 분사가 가능하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 에칭용액 여과장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 여과장치 본체는 제1 여과실의 어느 일 영역에 여과된 분체의 배출을 위한 배출포트가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 에칭용액 여과장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제2 여과부는 여과부 본체가 내부에 공간이 형성되는 드럼 구조로 이루어지며, 둘레를 따라 여과영역이 형성되고, 한 쌍의 회전축이 각각 상기 여과부 본체의 양 단부에 결합되어 여과부 본체가 여과장치 본체에 회전 가능하게 장착되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 에칭용액 여과장치.
  5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 제2 여과부는 회전 가능하게 구성되는 여과부 본체의 둘레에 여과막이 감싸지도록 구성되고, 상기 여과막의 고정을 위해 링 구조의 고정부재가 상기 여과부 본체에 결합되는 것을 특징으로 하는 에칭용액 여과장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 배출관은 흡입부가 제2 여과부의 내부로 연장되어 설치되며, 내부로 연장된 배출관의 흡입부가 하방으로 편향되어 배치되는 것을 특징으로 하는 에칭용액 여과장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 흡입부는 배출관의 길이 방향을 따라 복수의 흡입구가 형성되는 것을 특징으로 하는 에칭용액 여과장치.
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 보조 여과부는
    상기 오버플로우 배출구와 연결되는 보조 여과실이 내부에 형성되고, 상기 오버 플로우 배출구의 맞은편 위치에 배출구가 형성되는 보조 여과부 본체와;
    상기 오버플로우 배출구와 배출구 사이에 배치되어 오버플로우된 에칭용액을 2차 여과하도록 구비되는 여과막;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 에칭용액 여과장치.
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