KR101115850B1 - Wafer carrier with detachable tag holder - Google Patents

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KR101115850B1
KR101115850B1 KR1020110038572A KR20110038572A KR101115850B1 KR 101115850 B1 KR101115850 B1 KR 101115850B1 KR 1020110038572 A KR1020110038572 A KR 1020110038572A KR 20110038572 A KR20110038572 A KR 20110038572A KR 101115850 B1 KR101115850 B1 KR 101115850B1
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wafer carrier
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storage box
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KR1020110038572A
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이강성
임이택
우병찬
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(주)상아프론테크
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Abstract

PURPOSE: A wafer carrier including a detachable tag holder is provided to prevent an electronic tag from being separated due to an impact applied to a receiving box by firmly gripping the electronic tag. CONSTITUTION: A pair of hanging units(110) are formed in the rear bottom of a receiving box with a tunnel type. A tag receiving unit has a receiving chamber with an upper open side which receives an electronic tag. A pair of elastic pieces are integrated with both sides of the tag receiving unit and are elastically displaced near or far away from the tag receiving unit. A tag holder(400) is bent toward each hanging unit from the end of each elastic piece and is comprised of a pair of side hook bars with a first hooking protrusion.

Description

탈착식 태그홀더를 갖는 웨이퍼 캐리어{wafer carrier with detachable tag holder}Wafer carrier with detachable tag holder

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로서, 더 상세하게는 수납박스와 바텀 플레이트 사이의 데드공간을 효율적으로 활용하여 태그홀더의 설치공간을 확보한 점, 칩홀더의 탈착방향을 개선하여 탈착시 간섭없는 원활한 탈착동작이 가능한 점에 특징을 갖는 탈착식 태그홀더를 갖는 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.The present invention relates to a wafer carrier, and more particularly, to effectively utilize the dead space between the storage box and the bottom plate to secure the installation space of the tag holder, and to improve the desorption direction of the chip holder. The present invention relates to a wafer carrier having a removable tag holder characterized by a removable operation.

반도체 웨이퍼가 최종 전자 부품으로 처리되기 위해서는 많은 처리 단계가 요구된다. 웨이퍼는 매우 고가이며, 매우 섬세하여 물리적인 충격 및 전기적 충격에 의해 쉽게 손상된다. 또한, 성공적인 처리를 위해 극도의 청결함이 요구되며 미립자들 및 다른 오염물로부터 자유로워야 한다. 그 결과, 웨이퍼의 처리, 취급 및 이송 중 사용하기 위한 특화된 용기 또는 캐리어가 웨이퍼의 처리, 취급 및 운송 중 사용을 위해 개발되어 왔다. 이러한 캐리어는 그 내부에 수납되는 웨이퍼를 물리적 및 전기적 위험으로부터 보호하고, 오염물질로부터 밀봉 가능한 구조로 구성되어 있다. Many processing steps are required for semiconductor wafers to be processed into final electronic components. Wafers are very expensive and very delicate and easily damaged by physical and electrical shocks. In addition, extreme cleanliness is required for successful processing and free from particulates and other contaminants. As a result, specialized containers or carriers for use in the processing, handling and transportation of wafers have been developed for use during processing, handling and transportation of wafers. Such carriers are structured to protect the wafers stored therein from physical and electrical hazards and to be sealed from contaminants.

종래의 웨이퍼 캐리어는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수 매의 웨이퍼를 수납하는 포드케이스(1) 및 이 포드케이스(1)의 정면개구를 개폐하기 위한 개폐도어(12)로 구성된다.The conventional wafer carrier is composed of a pod case 1 for receiving a plurality of wafers and an opening / closing door 12 for opening and closing the front opening of the pod case 1, as shown in Figs. .

포드케이스(1)는 그 정면이 개구된 상자구조로 되고, 정면의 내주면 상하에는 복수의 걸이홈(6)이 각각 형성되어 있다. 이 포드케이스(1)의 내부 양측에는 슬롯(8)이 상하방향으로 각각 배치되어 있어서 이들에 의해 웨이퍼(w)들이 상하방향으로 수납 정렬된다.The pod case 1 has a box structure in which its front face is opened, and a plurality of hook grooves 6 are formed above and below the inner circumferential surface of the front face, respectively. Slots 8 are arranged on both sides of the pod case 1 in the up and down direction, respectively, so that the wafers w are stored and aligned in the up and down direction.

개폐도어(12)에는 디스크(19)의 회전 조작에 의해 복수의 래치 플레이트(21)를 상하로 진동시키는 개폐 잠금기구(15)가 내장되어 있다. 이 개폐 잠금기구(15)의 각 래치 플레이트(21)에는 개폐도어(12)의 관통공(12a)으로부터 출몰하는 걸고리(22)가 설치되고, 각 걸고리(22)가 각 걸이홈(6)에 끼워 맞춤됨으로써 포드케이스(1)의 정면으로 개폐도어(12)가 견고하게 장착된다.The opening / closing door 12 includes an opening / closing locking mechanism 15 for vibrating the plurality of latch plates 21 up and down by rotating the disk 19. Each latch plate 21 of the opening / closing locking mechanism 15 is provided with hooks 22 which emerge from the through-hole 12a of the opening / closing door 12, and each hook 22 is attached to each hook groove 6. By opening and closing, the opening and closing door 12 is firmly mounted to the front of the pod case 1.

이러한 구성에 있어서, 웨이퍼(w)를 수납하는 경우에는, 포드케이스(1)에 복수 매의 웨이퍼(w)가 정렬 수납되고, 포드케이스(1)의 정면 개구로 개폐도어(12)가 끼워 맞춤됨과 동시에, 개폐 잠금기구(15)가 도시하지 않은 열쇠에 의해 시정 조작되는 것으로, 캐리어 내에 복수 매의 웨이퍼(w)가 기밀 상태로 수납된다.In such a configuration, when storing the wafer w, a plurality of wafers w are aligned and stored in the pod case 1, and the opening / closing door 12 is fitted into the front opening of the pod case 1. At the same time, the opening / closing locking mechanism 15 is operated by a key not shown in the figure, so that a plurality of wafers w are stored in the airtight state in the carrier.

또, 웨이퍼(w)를 처리하고자 할 때는, 예를 들어, 미도시된 핸들링 장치의 스테이지에 캐리어가 미도시 된 오픈 카세트와 함께 위치 결정 세팅된다. 그 후, 개폐도어(12)의 개폐 잠금기구(15)가 열쇠에 의해 해정조작되고, 포드케이스(1)의 정면 개구에서 개폐도어(12)가 떼어내진다. 그리고, 복수 매의 웨이퍼(w)는 그 수납상태 등이 확인된 후, 핸들링장치의 이동기구에 의해 하부로부터 차례로 꺼내져 다른 스테이지의 오픈 카세트에 하부로부터 이동된다.Moreover, when it is going to process the wafer w, the carrier is set with the open cassette which is not shown in the stage of the handling apparatus not shown, for example. Thereafter, the open / close lock mechanism 15 of the open / close door 12 is unlocked by a key, and the open / close door 12 is detached from the front opening of the pod case 1. After the storage state or the like of the plurality of wafers W is confirmed, the plurality of wafers w are sequentially taken out from the bottom by the moving mechanism of the handling apparatus and moved from the bottom to the open cassette of another stage.

웨이퍼(w)의 처리,가공 시에는 웨이퍼(w)의 종류 등이나 캐리어에 관한 정보를 정확하게 식별 인식할 필요가 있다. 이러한 식별을 실현하기 위해, 종래에 있어서는, 포드케이스(1)의 배후에 식별 바코드 시트(37)를 접착하는 제1방법(도 3참조)과, 포드케이스(1)의 배후에 태그홀더로서 포켓(38)을 일체로 성형하고, 이 포켓(38)에 식별 바코드 플레이트(29)를 수납하는 제2방법(도 4참조)이 채용되고 있다.In processing and processing the wafer w, it is necessary to accurately identify and recognize the type of the wafer w and the information about the carrier. In order to realize such identification, conventionally, a first method (see Fig. 3) for adhering the identification barcode sheet 37 to the rear of the pod case 1 and a pocket as a tag holder behind the pod case 1 A second method (see Fig. 4) is formed in which the 38 is integrally molded and the identification bar code plate 29 is stored in the pocket 38.

종래의 캐리어는, 상기 방법들에 의해 웨이퍼(w)나 캐리어를 식별하고 있지만 어느 방법을 채용하더라도 이하의 여러 문제에 봉착된다.Conventional carriers identify wafers (w) and carriers by the above methods, but any of these methods may encounter the following problems.

즉, 제1방법에서는 캐리어의 세정이나 린스 때, 접착제의 영향으로 웨이퍼(w)가 품질 열화될 수 있다. 그 대책으로는, 세정 시간을 길게 하거나 불량품을 리체크 하는 방법이 있다. 그러나, 이 방법으로는 생산성이 저하되는 또 다른 문제점을 야기하게 된다. 또한, 캐리어를 회수해 세정하여 재사용하려고 하면 접착제를 이용하여 식별 바코드 시트(37)를 새로 접착시키는 공정이 발생하게 되고, 세정 시간도 길어지는 경향이 있었다.That is, in the first method, the quality of the wafer w may be degraded by the influence of the adhesive when cleaning or rinsing the carrier. As a countermeasure, there is a method of lengthening the washing time or rechecking defective products. However, this method causes another problem that the productivity is lowered. In addition, when the carrier is collected, cleaned and reused, a process of newly adhering the identification barcode sheet 37 using an adhesive occurs, and the cleaning time tends to be long.

제2방법에서는 포드케이스(1)와 포켓(38)을 일체로 성형하므로, 금형의 구조가 매우 복잡하게 되고, 코스트의 현상유지가 어렵게 되는 문제가 있었다. 또, 캐리어를 사출성형하는 경우, 포드케이스(1)의 배후는 사출금형의 게이트가 배치되기 때문에 이 부분에 포켓(38)을 성형하면, 게이트의 위치 제한이나 게이트 수의 감소를 불러, 성형조건이 매우 나빠지게 된다.In the second method, since the pod case 1 and the pocket 38 are integrally formed, there is a problem that the structure of the mold becomes very complicated and the development of cost is difficult. In the case of injection molding the carrier, since the gate of the injection mold is disposed behind the pod case 1, forming the pocket 38 in this portion causes a restriction on the position of the gate and a reduction in the number of gates, thereby forming conditions. This becomes very bad.

또한, 포켓(38)의 성형시에는 금형을 별도의 부품으로 하는 상자 구조로 구성해야 하기 때문에 냉각의 불안정화나 불량이 발생 등이 다른 문제점을 유발하게 된다. In addition, when forming the pocket 38, the mold must be formed in a box structure having a separate component, which causes other problems such as instability of cooling and occurrence of defects.

게다가, 포켓(38)의 플레이트 보관 유지부를 성형하려고 하면, 금형으로부터 성형품이 이형될 때 저항이 되므로, 원하는 크기와 형상을 갖는 포켓(38)을 만들 수가 없었다.In addition, when attempting to mold the plate holding portion of the pocket 38 becomes a resistance when the molded article is released from the mold, a pocket 38 having a desired size and shape could not be made.

본 발명은 상기된 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 주요 목적은, 수납박스의 배후 하측에 걸고리를 마련하고, 이에 전자태그가 내장된 태그홀더에 상기 걸고리에 걸림되는 후크바를 마련하여 수납박스의 전후방향으로 탈착 가능하게 설치함에 따라, 수납박스와 바텀 플레이트 사이의 데드죤을 효과적으로 활용함과 동시에 태그홀더의 탈착방향 전후방향으로 전환함으로써 탈착의 용이성을 확보할 수 있는 탈착식 태그홀더를 갖는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above-described problems, the main object of the present invention, to provide a hook on the rear side of the storage box, to provide a hook bar that is hooked to the hook in the tag holder with an electronic tag therein storage box Detachable in the front and rear direction of the wafer, the wafer having a removable tag holder that can effectively utilize the dead zone between the storage box and the bottom plate, and at the same time in the front and rear direction of the tag holder to ensure the ease of detachment To provide a carrier.

또한, 본 발명은 태그홀더를 수납박스와 바텀 플레이트 사이에 매립식으로 설치하여 외란에 의해 파손되는 것을 예방할 수 있는 탈착식 태그홀더를 갖는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 것이다.In addition, the present invention is to provide a wafer carrier having a removable tag holder that can be installed buried between the storage box and the bottom plate to prevent damage due to disturbance.

또한, 본 발명은 전자태크를 견고하게 파지(지지)하기 위한 구조를 가져서 수납박스에 충격이 가해지더라도 전자태그의 이탈을 방지할 수 있도록 한 탈착식 태그홀더를 갖는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 것이다.In addition, the present invention provides a wafer carrier having a removable tag holder having a structure for firmly holding (supporting) an electronic tag so as to prevent separation of the electronic tag even when an impact is applied to the storage box.

또한, 본 발명은 태크홀더의 수용부 바닥면에 세척액이 배수될 수 있도록 배수공을 형성하여 잔수에 의한 태그홀더의 오류를 방지할 수 있는 탈착식 태그홀더를 갖는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 것이다.In addition, the present invention is to provide a wafer carrier having a removable tag holder to form a drain hole so that the cleaning liquid can be drained to the bottom surface of the receiving portion of the tag holder to prevent the error of the tag holder due to residual water.

상기한 주요 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 개시된 탈착식 태그홀더는, 복수 매의 웨이퍼를 정렬 수납하는 수납박스, 상기 수납박스의 정면 개구를 개폐하기 위한 개폐도어 및 상기 수납박스의 하부에 결합된 바텀 플레이트를 포함하는 웨이퍼 캐리어로서,
상기 수납박스의 배후 저면에 터널 형태로 된 한 쌍의 걸이부가 형성되되, 상기 한 쌍의 걸이부 사이가 수평방향으로 일정거리 이격되게 형성됨을 포함하며;
전자태그가 수납되는 상부 개구형의 수납챔버를 갖는 태그수납부와, 상기 태그수납부의 양쪽에 각각 일체로 형성되어 상기 태그수납부에 대해 근접 또는 원접하는 방향으로 탄성 변위되는 한 쌍의 탄성편과, 상기 각 탄성편의 말단으로부터 상기 각 걸이부를 향해 절곡형성되며 상기 각 걸이부의 안쪽 단부에 걸림 결합되도록 좌우 외면에 제1 걸림턱을 갖는 한 쌍의 사이드 후크바로 이루어진 태그홀더를 더 포함하며;
상기 태그수납부의 바닥면에는 상기 전자태그의 하부를 지지하는 적어도 2개 이상의 돌출형 시트부가 형성되고, 상기 돌출형 시트부의 외측에는 상기 태그수납부의 바닥면에 일체로 기립 형성되는 한 쌍의 탄성 고정편이 형성되되, 상기 각 탄성 고정편의 마주하는 면에는 상기 전자태그의 양단 상면이 걸림되는 제2 걸림턱이 형성된 것을 더 포함하는 웨이퍼 캐리어이다.The present invention for achieving the above-mentioned main object, the tag tag holder disclosed is a storage box for aligning and accommodating a plurality of wafers, the opening and closing door for opening and closing the front opening of the storage box and coupled to the lower portion of the storage box A wafer carrier comprising a bottom plate,
A pair of hook portions formed in a tunnel shape is formed on a rear surface of the storage box, and the pair of hook portions are formed to be spaced apart by a predetermined distance in a horizontal direction;
A tag storage portion having an upper opening type storage chamber in which an electronic tag is stored, and a pair of elastic pieces formed integrally on both sides of the tag storage portion and elastically displaced in a direction near or in contact with the tag storage portion. And a tag holder formed of a pair of side hook bars which are bent from the ends of the elastic pieces toward the respective hook portions and have a first locking jaw on the left and right outer surfaces so as to be engaged with the inner ends of the respective hook portions;
At least two or more protruding sheet portions supporting the lower part of the electronic tag are formed on the bottom surface of the tag storing portion, and a pair of standing uprights are formed integrally with the bottom surface of the tag storing portion on the outside of the protruding sheet portion. An elastic fixing piece is formed, and the opposite surface of each of the elastic fixing pieces is a wafer carrier further comprising a second locking jaw formed at both ends of the electronic tag.

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본 발명은, 웨이퍼 캐리어의 데드공간을 효율적으로 활용하여 태그홀더를 수납 가능하게 함으로써, 태크홀더를 설치하기 위해 수납박스 또는 바텀 플레이트의 과도한 설계변경을 요하지 아니하므로 기존 대비 코스트를 낮출 수 있다.The present invention, by effectively utilizing the dead space of the wafer carrier to accommodate the tag holder, it is possible to lower the cost compared to the existing because it does not require an excessive design change of the storage box or the bottom plate to install the tag holder.

본 발명은, 태그홀더를 전후방향으로 탈착할 수 있어서 간섭 없는 용이한 탈착동작이 가능하며, 이에 따라 전자태그가 손상되었을 경우 교체가 용이하다.According to the present invention, the tag holder can be detached in the front and rear direction so that an easy detachment operation can be performed without interference, and thus, the electronic tag can be easily replaced when the tag is damaged.

본 발명은, 태그홀더가 외부로 노출되지 않고 매립식으로 설치됨으로써 외란에 의해 파괴될 우려가 없다.According to the present invention, there is no fear that the tag holder is destroyed by disturbance because it is provided in a buried manner without being exposed to the outside.

본 발명은, 태그홀더의 바닥면에 배수공이 형성되어 웨이퍼 캐리어의 세척시 세척액이 고이지 않고 배수되므로 전자태그의 오작동을 방지할 수 있다.According to the present invention, since a drain hole is formed in the bottom surface of the tag holder and the cleaning liquid is drained without accumulation when the wafer carrier is washed, the malfunction of the electronic tag can be prevented.

도 1은 종래 웨이퍼 캐리어의 분해사시도이다.
도 2는 도 1의 측단면도이다.
도 3은 종래 웨이퍼 캐리어의 후방 사시도이다.
도 4는 종래 다른 웨이퍼 캐리어의 배면 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 정면 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 배면 사시도이다.
도 7은 도 6의 A부 확대도이다.
도 8은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어에 있어서, 태그홀더의 결합상태 평단면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 태그홀더의 요부 종단면도이다.1 is an exploded perspective view of a conventional wafer carrier.
2 is a side cross-sectional view of FIG. 1.
3 is a rear perspective view of a conventional wafer carrier.
4 is a rear perspective view of another conventional wafer carrier.
5 is a front perspective view of the wafer carrier according to the present invention.
6 is a rear perspective view of the wafer carrier according to the present invention.
7 is an enlarged view of a portion A of FIG. 6.
8 is a cross-sectional view of the coupled state of the tag holder in the wafer carrier according to the present invention.
9 is a longitudinal sectional view of main parts of the tag holder according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 배면 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 배면 사시도이다.5 is a rear perspective view of the wafer carrier according to the present invention, and FIG. 6 is a rear perspective view of the wafer carrier according to the present invention.

도 5 및 도 6에서와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어는 다수의 웨이퍼가 수납되는 박스형의 수납박스(100), 상기 수납박스(100)의 정면 개구부(101)를 밀폐하기 위한 밀폐도어(200) 및 상기 수납박스(100)의 하부에 결합되는 바텀 플레이트(300)를 포함한다. 이러한 구성은 기존과 동일하다. 이에 더하여, 본 발명은 도 6에서 보듯이, 상기 수납박스(100)와 바텀 플레이트(300)의 후방 사이공간에 태그홀더(400)를 설치할 수 있도록 한 것에 특징을 두고 있으며, 상기 태그홀더(400)의 세세한 구성 및 탈착 구성은 도 7을 통해 명확히 설명된다.
5 and 6, the wafer carrier according to the present invention is a box-shaped storage box 100, a plurality of wafers are accommodated, a closed door 200 for sealing the front opening 101 of the storage box 100 And bottom plate 300 is coupled to the lower portion of the storage box 100. This configuration is the same as before. In addition, the present invention is characterized in that the tag holder 400 can be installed in the space between the rear of the storage box 100 and the bottom plate 300, as shown in Figure 6, the tag holder 400 The detailed configuration and detachment configuration of) is clearly described through FIG.

도 7은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어에 있어서, 태그홀더를 분해한 상태의 사시도이다.7 is a perspective view of the tag holder in the disassembled state in the wafer carrier according to the present invention.

도 7에서와 같이, 본 발명의 웨이퍼 캐리어는, 수납박스(100)의 배후 저면에 터널형태로 된 한 쌍의 걸이부(110)가 일체로 마련된다. 이들 걸이부(110)는 수평방향으로 일정 거리만큼 이격되게 마련된다.
As shown in FIG. 7, the wafer carrier of the present invention includes a pair of hook portions 110 formed in a tunnel form on the bottom surface of the storage box 100. These hook portions 110 are provided to be spaced apart by a predetermined distance in the horizontal direction.

플라스틱 사출물인 태그홀더(400)는 태그수납부(410), 탄성편(420) 및 후크바(430)로 구성된다.The tag holder 400, which is a plastic injection molding, is composed of a tag storage unit 410, an elastic piece 420, and a hook bar 430.

태그수납부(410)는 전자태그(t)가 수납될 수 있도록 박스 형태로 되며, 상부 개구형의 수납챔버(411)를 갖는다.The tag storing unit 410 has a box shape to accommodate the electronic tag t, and has an upper opening receiving chamber 411.

여기서, 상기 태그수납부(410)의 내부 바닥면(412)에는 태그수납부에 수납되는 전자태그(t)의 하부를 지지하는 적어도 2개 이상의 돌출형 시트부(413)가 형성될 수 있다. 이 돌출형 시트부(413)는 상기 바닥면(412)에 세척수 등의 수분이 전자태그(t)에 묻지 않도록 바닥면(412)으로부터 들뜨게 하는 역할을 함과 동시에 전자태그(t)를 안정적으로 지지해주는 역할을 하게 된다. 상기 돌출형 시트부(413)는 바닥면(412)에 돌출된 살을 형성하여 형성할 수도 있으나, 이와는 다르게 도 9에 도시되어 있듯이, 사출성형시 바닥면(412)의 일부분을 위로 밀어올려서 바닥면의 상부는 융기되게 하고, 융기의 이면은 함몰되게 하는 성형방법도 추천된다. 이 성형방법은 전자의 방법과 비교할 때 재료 절감의 효과를 볼 수 있다.Here, at least two protruding sheet portions 413 supporting lower portions of the electronic tag t accommodated in the tag storage portion may be formed on the inner bottom surface 412 of the tag storage portion 410. The protruding seat 413 serves to lift the electronic tag t stably at the same time as it lifts the bottom surface 412 from the bottom surface 412 so that moisture such as washing water does not adhere to the electronic tag t. It will support you. The protruding sheet portion 413 may be formed by forming a protruding flesh on the bottom surface 412. Alternatively, as shown in FIG. 9, a part of the bottom surface 412 is pushed up to the bottom during injection molding. A molding method is also recommended in which the top of the face is raised and the back of the bump is recessed. This molding method has the effect of material saving compared with the former method.

그리고, 상기 태그수납부(410)의 내부에는 상기 돌출형 시트부(413) 외측으로 태그수납부(410)의 바닥면(412)에 일체로 기립 형성되는 한 쌍의 탄성 고정편(414)이 형성된다. 여기서, 상기 각 탄성 고정편(414)의 마주하는 면에는 도 9에서와 같이, 상기 전자태그(t)의 양단 상면이 걸림되는 제2 걸림턱(414a)이 형성된다.In addition, a pair of elastic fixing pieces 414 are integrally formed on the bottom surface 412 of the tag storing portion 410 to the outside of the protruding sheet portion 413 inside the tag storing portion 410. Is formed. Here, as shown in FIG. 9, a second locking step 414a is formed on the opposite surface of each of the elastic fixing pieces 414 to engage the upper surfaces of both ends of the electronic tag t.

그리고, 상기 태그수납부(410)의 바닥면(412)에는 웨이퍼 캐리어를 세척하기 위한 세척수가 태그수납부(410)에 유입될 경우, 이를 배수하기 위한 배수공(415)이 형성된다. 상기 배수공(415)은 상기 돌출형 시트부(413) 사이에 형성되고, 아울러, 상기 각 돌출형 시트부(413)와 상기 각 탄성 고정편(414) 사이에 형성된다.In addition, when the wash water for washing the wafer carrier flows into the tag storage unit 410, the bottom surface 412 of the tag storage unit 410 is provided with a drain hole 415 for draining it. The drain hole 415 is formed between the protruding sheet portions 413, and is also formed between the protruding sheet portions 413 and the elastic fixing pieces 414.

이와 관련하여, 상기 바텀 플레이트(300)의 상기 배수공(415)과 마주하는 부위에는 배수공(415)으로부터 배수되는 세척수가 원활하게 배출되도록 블랭크부(blank portion)(310)가 형성되는 것이 바람직하다.
In this regard, it is preferable that a blank portion 310 is formed at a portion of the bottom plate 300 facing the drain hole 415 so as to smoothly discharge the washing water drained from the drain hole 415.

상기 탄성편(420)는 상기 태그수납부(410)의 양쪽에 각각 일체로 형성되어 외력에 의해 상기 태그수납부(410)에 대해 근접 또는 원접하는 방향으로 탄성 변위되면서 상기 사이드 후크바(420)의 탄성변위를 돕는다.The elastic piece 420 is integrally formed on both sides of the tag housing 410 and is elastically displaced in a direction that is close to or close to the tag housing 410 by an external force, and the side hook bar 420. Helps elastic displacement of

여기서, 상기 각 탄성편(420)는 상기 태그수납부(410)의 각 양측면과 연이어져 있으며, 각 탄성편(420)와 각 양측면의 경계부위는 라운드(r)처리 되어 탄성편(420)의 탄성변위시 부하를 적게 받을 수 있도록 하였다.
Here, each of the elastic pieces 420 are connected to both sides of the tag receiving portion 410, the boundary portion between each of the elastic pieces 420 and each of the both sides is round (r) treatment of the elastic piece 420 In order to reduce the load on elastic displacement.

상기 사이드 후크바(430)는 상기 각 탄성편(420)의 말단으로부터 상기 각 걸이부(110)를 향해 절곡형성되며 상기 각 걸이부(110)의 안쪽 단부에 걸림 결합되도록 각 외면(外面)에 제1 걸림턱(431)이 형성되어 있다.The side hook bar 430 is bent from the end of each of the elastic pieces 420 toward each hook portion 110 and to each outer surface (interface) to be engaged to the inner end of the hook portion (110) The first locking jaw 431 is formed.

여기서, 상기 각 사이드 후크바(430)의 상기 탄성편(420)와 가까운 표면에는 상기 걸이부(110)에 대한 태그홀더(400)의 과잉 진입을 제한하기 위한 스토퍼 역할을 하는 외향 볼록부(432)가 형성된다.Here, the outward convex portion 432 on the surface close to the elastic piece 420 of each side hook bar 430 serves as a stopper for limiting excessive entry of the tag holder 400 to the hook portion 110. ) Is formed.

상기 볼록부(432)는 사이드 후크바(430)의 보강살 역할을 하면서도 사이드 후크바(430)를 걸이부(110)에 진입시킬 때, 걸이부(110)의 후단에 걸리면서 더 이상의 진입을 제한하는 스토퍼의 역할을 병행한다.The convex portion 432 acts as a reinforcement bar of the side hook bar 430, but when entering the side hook bar 430 into the hook portion 110, it is caught on the rear end of the hook portion 110 to restrict further entry. It plays a role of a stopper.

이상의 본 발명은, 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시 예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be implemented in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described herein to various extents which can be modified.

100 : 수납박스 110 : 걸이부
300 : 바텀 플레이트 310 : 블랭크부
400 : 태그홀더 410 : 태그수납부
411 : 수납챔버 412 : 바닥면
413 : 돌출형 시트부 414 : 탄성 고정편
415 : 배수공 420 : 탄성부
430 : 사이드 후크바 431 : 제1 걸림턱
432 : 외향 볼록 t : 전자태그100: storage box 110: hanger
300: bottom plate 310: blank part
400: tag holder 410: tag storage
411: storage chamber 412: bottom surface
413: protruding sheet portion 414: elastic fixing piece
415: drain hole 420: elastic portion
430: side hook bar 431: first locking jaw
432: outward convex t: electronic tag

Claims (4)

복수 매의 웨이퍼(w)를 정렬 수납하는 수납박스(100), 상기 수납박스의 정면 개구(101)를 개폐하기 위한 개폐도어(200) 및 상기 수납박스(100)의 하부에 결합된 바텀 플레이트(300)를 포함하는 웨이퍼 캐리어로서,
상기 수납박스(100)의 배후 저면에 터널 형태로 된 한 쌍의 걸이부(110)가 형성되되, 상기 한 쌍의 걸이부(110) 사이가 수평방향으로 일정거리 이격되게 형성됨을 포함하며;
전자태그(t)가 수납되는 상부 개구형의 수납챔버(411)를 갖는 태그수납부(410)와, 상기 태그수납부(410)의 양쪽에 각각 일체로 형성되어 상기 태그수납부(410)에 대해 근접 또는 원접하는 방향으로 탄성 변위되는 한 쌍의 탄성편(420)과, 상기 각 탄성편(420)의 말단으로부터 상기 각 걸이부(110)를 향해 절곡형성되며 상기 각 걸이부의 안쪽 단부에 걸림 결합되도록 좌우 외면에 제1 걸림턱(431)을 갖는 한 쌍의 사이드 후크바(430)로 이루어진 태그홀더(400)를 더 포함하며;
상기 태그수납부(410)의 바닥면에는 상기 전자태그(t)의 하부를 지지하는 적어도 2개 이상의 돌출형 시트부(413)가 형성되고, 상기 돌출형 시트부(413)의 외측에는 상기 태그수납부(410)의 바닥면에 일체로 기립 형성되는 한 쌍의 탄성 고정편(414)이 형성되되, 상기 각 탄성 고정편(414)의 마주하는 면에는 상기 전자태그(t)의 양단 상면이 걸림되는 제2 걸림턱(414a)이 형성된 것을 더 포함하는 탈착식 태그홀더를 갖는 웨이퍼 캐리어.A storage box 100 for aligning and storing a plurality of wafers w, an opening / closing door 200 for opening and closing the front opening 101 of the storage box, and a bottom plate coupled to a lower portion of the storage box 100 ( A wafer carrier comprising 300)
A pair of hook parts 110 having a tunnel shape is formed on a rear surface of the storage box 100, and the pair of hook parts 110 are spaced apart from each other by a predetermined distance in a horizontal direction;
The tag storing unit 410 having an upper opening type receiving chamber 411 for storing the electronic tag t and the tag storing unit 410 are integrally formed on both the tag storing unit 410 and the tag storing unit 410. A pair of elastic pieces 420 elastically displaced in a direction proximate or distant with respect to each other, and are bent from the end of each elastic piece 420 toward each of the hook portions 110 and are caught by the inner ends of the hook portions. It further comprises a tag holder 400 consisting of a pair of side hook bar 430 having a first locking step 431 on the left and right outer surface to be coupled;
At least two or more protruding sheet portions 413 supporting lower portions of the electronic tag t are formed on the bottom surface of the tag storing portion 410, and the tags are disposed outside the protruding sheet portions 413. A pair of elastic fixing pieces 414 are formed integrally standing on the bottom surface of the accommodating part 410, the upper surface of both ends of the electronic tag (t) on the opposite surface of each of the elastic fixing pieces 414 A wafer carrier having a removable tag holder further comprising a second engaging jaw (414a) is formed. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 태그수납부(410)의 바닥면(412) 중,
상기 돌출형 시트부(413)들 사이, 상기 각 돌출형 시트부(413)와 상기 각 탄성 고정편(414) 사이에 세척수를 배수하기 위한 배수공(415)이 각각 형성되며,
상기 바텀 플레이트(300)에는, 상기 배수공(415)과 마주하는 부위에, 배수공으로부터 배수되는 세척수가 원활히 배출되도록 블랭크부(blank portion)(310)가 형성된 것을 특징으로 하는 탈착식 태그홀더를 갖는 웨이퍼 캐리어.The method of claim 1,
Of the bottom surface 412 of the tag housing 410,
Drain holes 415 for draining the washing water are formed between the protruding sheet portions 413 and between the protruding sheet portions 413 and the elastic fixing pieces 414, respectively.
In the bottom plate 300, a blank portion 310 is formed at a portion facing the drain hole 415 so that the washing water drained from the drain hole is smoothly discharged. . 제1항에 있어서,
상기 한 쌍의 사이드 후크바(430)의 상기 탄성편(420)과 인접하는 표면에, 상기 한 쌍의 걸이부(110)에 대한 태그홀더(400)의 과 진입을 제한하기 위한 스토퍼 역할을 하는 외향 볼록부(432)가 형성된 것을 특징으로 하는 탈착식 태그홀더를 갖는 웨이퍼 캐리어.The method of claim 1,
On the surface adjacent to the elastic piece 420 of the pair of side hook bar 430, serves as a stopper for limiting the excessive entry of the tag holder 400 to the pair of hook portion (110) A wafer carrier having a detachable tag holder, wherein an outwardly convex portion 432 is formed.
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