KR101114014B1 - LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist - Google Patents
LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist Download PDFInfo
- Publication number
- KR101114014B1 KR101114014B1 KR1020100050903A KR20100050903A KR101114014B1 KR 101114014 B1 KR101114014 B1 KR 101114014B1 KR 1020100050903 A KR1020100050903 A KR 1020100050903A KR 20100050903 A KR20100050903 A KR 20100050903A KR 101114014 B1 KR101114014 B1 KR 101114014B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- elevating
- lifting
- guide
- state
- belt rollers
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67751—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a single workpiece
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
본 발명은 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강조립체에 관한 것으로, 승하강부가 승, 하강하게 될 때 발생하는 분진이 승강축부 내에서 외부로 유출되지 않도록 차단하고, 그와 함께 승하강부에 구비되는 구동원에 대하여 기내 배선의 경로를 충분히 확보할 수 있도록 개선한 것이다.The present invention relates to an LCD carrier robot lifting assembly equipped with a dust leakage blocking function, to prevent the dust generated when the lifting unit is lifted, lowered so as not to leak to the outside in the lifting shaft portion, and with the lifting unit The drive source provided is improved to sufficiently secure the path of the in-flight wiring.
Description
본 발명은 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체에 관한 것이다. 더욱 구체적으로는 승하강부가 승, 하강하게 될 때 승강축부 내에서 발생하는 분진이 외부로 유출되지 않도록 차단한다. 그와 더불어 승하강부에 구비되는 구동원의 배선 경로를 충분히 확보할 수 있도록 한다.
The present invention relates to an LCD carrier robot lifting assembly equipped with a dust leakage blocking function. More specifically, when the lifting unit is lifted and lowered, the dust generated in the lifting shaft unit is blocked to prevent leakage to the outside. In addition, it is possible to sufficiently secure the wiring path of the drive source provided in the elevating portion.
청정 룸(Clean Room)에는 도 1에 도시된 바와 같은 LCD 반송 로봇 승강 조립체(10)가 설치된다. 이러한 승강조립체(10)는 승, 하강을 안내하는 승강축부(12)와, 이 승강축부(12)의 일 측면에 배치되며 승강축부(12)를 따라 승, 하강하는 승하강부(14)와, 상기 승하강부(14)와 연동하도록 연결되며 승강축부(12)의 내에 구비되는 가이드레일을 따라 이동하는 승하강 가이드부(도시되지 않음)로 구성된다.In the clean room, an LCD carrier
특히, 상기 승하강부(14)의 내에는 구동원이 구비되는데, 이러한 구동원의 구동축에는 피니온이 결합 되고, 상기 승강축부(12)의 내부에는 랙이, 일 측면에는 승하강 가이드홈(18)이 각각 길이방향으로 형성된다.In particular, a driving source is provided in the elevating
이에 따라 승하강부(14)의 구동축 구비된 랙이 승하강 가이드홈(18)을 통해 승강축부(12)의 내부로 진입하여 피니온에 맞물려지고, 구동원의 구동에 의해 랙이 피니온을 따라 이동하게 됨으로써 승하강부(14)가 승하강축부(12)를 따라 승, 하강하게 되는 구조를 취하고 있다.
Accordingly, the rack provided with the driving shaft of the elevating
그런데, 위의 배경기술에서 승하강부(14)의 승하강시, 랙과 피니온 간 습동(摺動) 및, 승하강 가이드부와 가이드레일 간 습동(摺動)에 의한 분진(예를 들면 티클, 오일성 이물)이 승강축부(12) 내에서 발생하게 된다. 이러한 분진은 도 1에 도시된 바와 같이 구동축이 통과하게 되는 승강축부(12)의 승하강 가이드홈(18)을 통해 외부로 유출되어 반송(搬送)하는 LCD 부품을 오염시키게 된다.However, in the above background, when the
이에 따라 본 발명에서는 승하강부(14)가 승, 하강하게 될 때 승강축부(12)의 내부에 발생하는 분진이 외부로 유출되지 않도록 승하강 가이드홈(18)을 따라 확실하게 차단하고, 다른 목적으로는 구동원에 대한 기내배선의 경로를 충분히 확보할 수 있도록 한 것이다.
Accordingly, in the present invention, when the
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 승강축부의 외면에 근접 배치되는 상태로 승강축부의 승하강 가이드홈을 따라 승, 하강을 하는 승하강부와, 상기 승하강부와 연결되며 승하강 가이드홈을 통해 승강축부의 내부에 배치되는 승하강 가이드부와, 상기 승하강 가이드부의 일면에 간격 가지고 각각 구비되며 승강축부의 가이드레일을 따라 이동하도록 가이드 블럭을 포함하는 LCD 반송 로봇 승강 조립체에 있어서, 상기 승하강 가이드부의 상하단 부분에 한 쌍이 한 조를 이루며 서로 마주하는 프레임 사이에 회전 가능하게 설치되는 1 ~ 4 실 벨트 롤러와; 상기 제1 ~ 4 실 벨트 롤러의 중심선을 기준으로 할 때 제1 및 제4 실 벨트 롤러에서는 외측 지점에 접촉되고, 제2 및 제3 실 벨트 롤러에서는 내측 지점에 접촉하는 상태로 승하강 가이드홈을 가로막는 상태로 지나가도록 설치되는 실 벨트; 로 이루어진 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체가 제공된다.In order to achieve the above object, the present invention, the elevating portion to move up and down along the elevating guide groove of the elevating shaft portion in a state disposed close to the outer surface of the elevating shaft portion, the elevating guide groove is connected to the elevating portion In the LCD conveyance robot lifting assembly comprising a lifting guide portion disposed inside the lifting shaft portion through the lifting guide portion, and the guide block so as to move along the guide rail of the lifting shaft portion, each provided at intervals on the lifting guide portion, 1 to 4 thread belt rollers which are rotatably installed between the frames facing each other in a pair in a pair of upper and lower guide portions; The lifting guide groove in a state in which the first and fourth thread belt rollers are in contact with the outer point and the second and third thread belt rollers are in contact with the inner point when the center line of the first to fourth thread belt rollers is referred to. Seal belt is installed so as to pass in a state blocking the; An LCD carrier robot lifting assembly provided with a dust leakage blocking function is provided.
또한, 상기 승하강 가이드부의 상하면에 내부를 막는 상태로 각각 설치되는 커버부재와; 상기 가이드 블럭 사이의 노출 영역에 설치되는 커버부재와; 상기 가이드 블럭이 배치되는 면과 대응하는 면에 배치되며 제1 ~ 4 실 벨트 롤러의 노출 영역에 각각 설치되는 커버부재; 로 이루어지는 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체가 제공된다.In addition, the cover member is installed on the upper and lower sides of the elevating guide portion in a state of blocking the inside; A cover member installed in the exposed area between the guide blocks; A cover member disposed on a surface corresponding to the surface on which the guide block is disposed and installed in an exposed area of the first to fourth thread belt rollers; Provided is an LCD carrier robot elevating assembly provided with an outflow blocking function.
또한, 상기 승하강 가이드부의 일 측면과 승하강부가 연결되는 대응 면에 서로 연결되는 상태로 케이블 공이 형성되어 있고, 이 케이블 공은 "┌ "형상의 경로 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체.
In addition, a cable ball is formed in a state that is connected to each other on one side of the elevating guide portion and the corresponding surface to which the elevating portion is connected, this cable ball is formed in a "┌" shaped path structure characterized in that the leakage blocking function LCD transfer robot lifting assembly provided.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 승하강부가 승, 하강하게 될 때 발생하는 분진이 승강축부로부터 외부로 유출되지 않도록 차단함으로써, LCD 반송 로봇에 의해 반송되는 제품의 오염을 방지할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, by blocking the dust generated when the elevating portion is raised and lowered to prevent leakage from the elevating shaft portion to the outside, it is possible to prevent contamination of the product conveyed by the LCD carrier robot. .
그와 함께, 새로운 타입의 기내배선 경로가 충분히 확보되어 구동원과의 전기적 케이블 연결이 수월하게 연결될 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
At the same time, a new type of in-flight wiring path can be secured sufficiently, so that the electrical cable connection with the driving source can be easily connected.
도 1은 일반적인 LCD 반송 로봇 승강 조립체를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체를 나타낸 요부 단면도이다.
도 3은 도 2의 승하강부와 승하강 가이드부를 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 A에서 바라본 승하강 가이드부를 나타낸 평면도이다.
도 5는 도 3의 승하강 가이드부 측면을 나타낸 부분단면도이다.1 is a perspective view schematically showing a general LCD carrier robot lifting assembly.
Figure 2 is a cross-sectional view of the main part showing the LCD carrier robot lifting assembly with a dust outflow prevention function according to the present invention.
3 is a perspective view illustrating a lifting unit and a lifting guide unit of FIG. 2.
4 is a plan view illustrating the elevating guide unit viewed from A of FIG. 3.
5 is a partial cross-sectional view showing the side of the elevating guide portion of FIG.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체를 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a description will be given of the LCD carrier robot lifting assembly with a dust outflow blocking function according to the present invention.
도 2에서는 본 발명에 따른 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체를 나타낸 요부 단면도가 도시되어 있고, 도 3에서는 도 2의 승하강부와 승하강 가이드부를 나타낸 사시도가 도시되어 있으며, 도 4에서는 도 3의 A에서 바라본 승하강 가이드부를 나타낸 평면도가 도시되어 있다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating main parts of the LCD carrier robot lifting and lowering assembly having a dust discharge blocking function according to the present invention, and FIG. 3 is a perspective view showing the lifting unit and the lifting guide unit of FIG. 2, and FIG. 4. Figure 3 is a plan view showing the elevating guide portion seen in FIG.
도면에서 보듯이, 승강 조립체(10)는 종래와 마찬가지로 승, 하강을 안내하는 승강축부(12)와, 이 승강축부(12)의 일 측면에 근접 배치되는 상태로 승강축부(12)를 따라 승, 하강을 하게 되는 승하강부(14)와, 상기 승하강부(14)와 연결되며 승강축부(12)의 내부에 구비된 가이드레일(20)을 따라 이동할 수 있도록 가이드 블럭(22)이 구비되는 승하강 가이드부(16)로 이루어져 있다.As shown in the figure, the
구체적으로, 승하강 가이드부(16)의 상단 및 하단 부분에는 한 쌍이 한 조를 이루고 있는 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)가 위아래로 각각 배치되어 있으며, 이러한 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)는 서로 마주하는 프레임(L) 사이에 설치된 각각의 축(38, 40, 42, 44)을 중심으로 하여 회전 가능하게 설치된다.Specifically, the first and fourth
또한, 상기 승하강 가이드부(16)에는 실 벨트(46)가 길이방향으로 지나가도록 설치되는데, 이때 제1 및 제4 실 벨트 롤러(30, 36)에서는 바깥으로, 제2 및 제3 실 벨트 롤러(32, 34)에서는 안쪽을 지나가게 된다. 즉, 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 중심선(S)을 기준으로 할 때 제1 및 제4 실 벨트 롤러(30, 36)에서는 실 벨트(46)가 외측 지점(P1)에 접촉되는 상태로 지나가고 제2 및 제3 실 벨트 롤러(32, 34)에서는 실 벨트(46)가 내측 지점(P2)에 접촉되는 상태로 지나가게 된다. (도 5 참조)In addition, the raising and lowering
그와 더불어 상기 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)를 지나가는 실 벨트는 승강축부(12)를 따라 승하강 가이드홈(18)을 가로막는 배치 상태로 승강축부(12) 내에 설치된다.
In addition, the thread belt passing through the first to fourth
한편, 상기 승하강 가이드부(16)의 상면 및 하면 노출 영역(S1)에는 커버부재(48, 50)가 각각 설치되어 있다. 그리고 상기 가이드 블럭(22)이 배치되는 면과 대응하는 면에서 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 노출 영역(S2)에도 커버부재(52, 54)가 각각 설치된다. 이때 실 벨트(46)와 커버부재(52, 54) 간 간섭이 발생하지 않도록 설치되는 것이 바람직하다.On the other hand,
아울러, 앞서 언급하였듯이 승하강 가이드부(16)에는 승강축부(12)의 가이드레일(20)을 따라 이동하는 가이드 블럭(22)이 상하부에 각각 구비되어 있는데, 이때 가이드 블럭(22)이 사이의 노출 영역(S3)에도 커버부재(56)가 설치되는 구조를 취하고 있다. (도 4 참조)In addition, as mentioned above, the
위와 같이 승하강 가이드부(16)에 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)를 이용한 실 벨트(46)가 설치되고, 그와 더불어 승하강 가이드부(16)의 각 노출 영역(S1, S2, S3)에 커버부재(48, 50, 52, 54, 56)가 각각 설치되게 되면, 승하강부(14)의 승,하강시, 랙과 피니온(도시되지 않음) 간 습동, 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 구동, 승하강 가이드부(16)와 가이드레일(22) 간 습동에 의해 각각 발생하는 분진이 커버부재(48, 50, 52, 54, 56) 및 실 벨트(46)에 의해 차단된다. 특히, 실 벨트(46)가 승강축부(12)의 승하강 가이드홈(18)을 가로막는 상태로 지나가는 배치 구조를 통해 승강축부(12) 내에서 발생한 분진이 승하강 가이드홈(18)을 통해 외부로 유출되는 것이 방지된다.As described above, the
즉, 상기 승강축부(12)의 내부 공간은 물론, 승하강 가이드부(16) 내에서 발생하는 분진이 모두 차단되어 반송(搬送)하는 LCD 부품의 오염이 방지된다.That is, not only the internal space of the elevating
한편, 첨부된 예시도면 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 승하강 가이드부(16)는 구동원(M)이 내장되는 승하강부(14)와 연동하도록 일체로 연결되는데, 이러한 승하강 가이드부(16)의 일 측면과 승하강부(14)가 연결되는 대응 면에는 서로 연결되는 상태로 케이블 공(58)이 형성되어 있다. 즉, 이러한 케이블 공(58)은 " ┌"형상의 굴곡 경로구조로 형성되어 있다. 그에 따라 승하강부(14)의 내부에 구비되는 구동원(M)과 케이블의 연결에 따른 경로 확보를 통해 용이한 연결이 이루어질 수 있게 된다.Meanwhile, as shown in FIGS. 2 and 3, the
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재된 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.
As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical spirit of the present invention and the following will be understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of the appended claims.
10 : 승강조립체 12 : 승강축부
14 : 승하강부 16 : 승하강 가이드부
18 : 승하강 가이드홈 20 : 가이드레일
22 : 가이드 블럭 30 : 제1 실 벨트 롤러
32 : 제2 실 벨트 롤러 34 : 제3 실 벨트 롤러
36 : 제4 실 벨트 롤러 38, 40, 42, 44 : 축
46 : 실 벨트 48, 50, 52, 54, 56 : 커버부재
58 : 케이블 공10: lifting assembly 12: lifting shaft
14: the elevating unit 16: elevating guide unit
18: elevating guide groove 20: guide rail
22: guide block 30: first thread belt roller
32: second thread belt roller 34: third thread belt roller
36: 4th
46:
58: cable ball
Claims (3)
상기 승하강 가이드부(16)의 상하단 부분에 한 쌍이 한 조를 이루며 서로 마주하는 프레임(L) 사이에 회전 가능하게 설치되는 1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)와;
상기 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 중심선(S)을 기준으로 할 때 제1 및 제4 실 벨트 롤러(30, 36)에서는 외측 지점(P1)에 접촉되고, 제2 및 제3 실 벨트 롤러(32, 34)에서는 내측 지점(P2)에 접촉하는 상태로 승하강 가이드홈(18)을 가로막는 상태로 지나가도록 설치되는 실 벨트(46);로 이루어진 것을 특징으로 하는 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체.
Lifting and lowering unit 14, which is moved up and down along the lifting guide groove 18 of the lifting shaft unit 12 in a state disposed close to the outer surface of the lifting shaft unit 12, and is connected to the lifting unit 14 The elevating guide portion 16 disposed inside the elevating shaft portion 12 through the elevating guide groove 18 and provided on one surface of the elevating guide portion 16 at intervals, respectively, to guide the elevating shaft portion 12. In the LCD carrier robot lifting assembly comprising a guide block 22 to move along the rail 20,
1 to 4 thread belt rollers (30, 32, 34, 36) rotatably installed in a pair of upper and lower ends of the elevating guide portion (16) and between frames (L) facing each other;
On the basis of the center line S of the first to fourth thread belt rollers 30, 32, 34 and 36, the first and fourth thread belt rollers 30 and 36 are in contact with the outer point P1, The second and third seal belt rollers (32, 34) in the state in contact with the inner point (P2) seal belt 46 which is installed to pass in a state blocking the elevating guide groove 18; LCD carrier robot lifting assembly equipped with a dust leakage blocking function.
상기 승하강 가이드부(16)의 상하면에 내부를 막는 상태로 각각 설치되는 커버부재(48, 50)와; 상기 가이드 블럭(22) 사이의 노출 영역(S3)에 설치되는 커버부재(56)와; 상기 가이드 블럭(22)이 배치되는 면과 대응하는 면에 배치되며 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 노출 영역(S2)에 각각 설치되는 커버부재(52, 54);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체.
The method of claim 1,
Cover members (48, 50) respectively installed on the upper and lower surfaces of the elevating guide portion (16) in a state of blocking the inside thereof; A cover member 56 installed in the exposed area S3 between the guide blocks 22; Cover members 52 and 54 disposed on the surface corresponding to the surface on which the guide block 22 is disposed and installed in the exposed areas S2 of the first to fourth thread belt rollers 30, 32, 34, and 36, respectively. LCD carrier robot lifting assembly equipped with a spill blocking function, characterized in that consisting of.
상기 승하강 가이드부(16)의 일 측면과 승하강부(14)가 연결되는 대응 면에 서로 연결되는 상태로 케이블 공(58)이 형성되어 있고, 이 케이블 공(58)은 "┌ "형상의 경로 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체.3. The method according to claim 1 or 2,
A cable hole 58 is formed in a state in which one side of the elevating guide portion 16 and the elevating portion 14 are connected to each other in a state of being connected to each other. LCD carrier robot lifting assembly with a spill blocking function, characterized in that formed in the path structure.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100050903A KR101114014B1 (en) | 2010-05-31 | 2010-05-31 | LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100050903A KR101114014B1 (en) | 2010-05-31 | 2010-05-31 | LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110131456A KR20110131456A (en) | 2011-12-07 |
KR101114014B1 true KR101114014B1 (en) | 2012-02-22 |
Family
ID=45499820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100050903A KR101114014B1 (en) | 2010-05-31 | 2010-05-31 | LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101114014B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101576544B1 (en) | 2014-02-24 | 2015-12-10 | 주식회사 에스에프에이 | Stocker apparatus |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10223586A (en) * | 1998-03-17 | 1998-08-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Substrate-treating device |
JP2001223197A (en) | 1999-12-01 | 2001-08-17 | Ses Co Ltd | Substrate carry-in/carry-out device and substrate washing system |
JP2004090186A (en) | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Aitec Corp | Clean transfer robot |
KR20070090419A (en) * | 2006-03-02 | 2007-09-06 | 삼성전자주식회사 | Substrate transfer robot |
-
2010
- 2010-05-31 KR KR1020100050903A patent/KR101114014B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10223586A (en) * | 1998-03-17 | 1998-08-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Substrate-treating device |
JP2001223197A (en) | 1999-12-01 | 2001-08-17 | Ses Co Ltd | Substrate carry-in/carry-out device and substrate washing system |
JP2004090186A (en) | 2002-09-02 | 2004-03-25 | Aitec Corp | Clean transfer robot |
KR20070090419A (en) * | 2006-03-02 | 2007-09-06 | 삼성전자주식회사 | Substrate transfer robot |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101576544B1 (en) | 2014-02-24 | 2015-12-10 | 주식회사 에스에프에이 | Stocker apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110131456A (en) | 2011-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102418305B1 (en) | Article transport facility | |
CA2477188C (en) | Carriage type conveyor | |
EP2514557A2 (en) | Set-up station door apparatus for machine tool | |
KR101114014B1 (en) | LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist | |
US8596868B2 (en) | Motion guide device | |
KR101857056B1 (en) | Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating | |
JP5370082B2 (en) | Linear motion guide device | |
JP2015074517A (en) | Slat conveyer | |
JPH11334869A (en) | Conveying device | |
JP5129859B2 (en) | Elevator system having guide shaft aligned with traction member | |
JP2008114969A (en) | Mast inside cleaning device of stacker crane | |
KR102540507B1 (en) | Guiding device of double roller for transfer of massage module | |
JP3802938B2 (en) | Rolling guide device and sealing device for rolling guide device | |
CN101934918A (en) | Elevator apparatus | |
JP5014614B2 (en) | Laser processing machine optical path system sealing device | |
JP2005138922A (en) | Door device for elevator | |
JPH09328270A (en) | Elevator device | |
JP2010067700A (en) | Substrate cassette carrying device and substrate cassette carrying in/out device | |
KR200413170Y1 (en) | door shoe cover of clean room elevator | |
CN215281959U (en) | Inspection robot for mine belt conveyor | |
JP2013018624A (en) | Passenger conveyer | |
KR200385489Y1 (en) | Cleaner device for carriage wheel | |
JP2007118057A (en) | Dust-proof device for optical path system of laser beam machine | |
JP2014152035A (en) | Conveyor device for passenger | |
CN114156213A (en) | Semiconductor cleaning equipment |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150203 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160121 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190128 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200128 Year of fee payment: 9 |