KR101114014B1 - LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist - Google Patents

LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist Download PDF

Info

Publication number
KR101114014B1
KR101114014B1 KR1020100050903A KR20100050903A KR101114014B1 KR 101114014 B1 KR101114014 B1 KR 101114014B1 KR 1020100050903 A KR1020100050903 A KR 1020100050903A KR 20100050903 A KR20100050903 A KR 20100050903A KR 101114014 B1 KR101114014 B1 KR 101114014B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
elevating
lifting
guide
state
belt rollers
Prior art date
Application number
KR1020100050903A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20110131456A (en
Inventor
윤대규
Original Assignee
현대중공업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 현대중공업 주식회사 filed Critical 현대중공업 주식회사
Priority to KR1020100050903A priority Critical patent/KR101114014B1/en
Publication of KR20110131456A publication Critical patent/KR20110131456A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101114014B1 publication Critical patent/KR101114014B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67751—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a single workpiece

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강조립체에 관한 것으로, 승하강부가 승, 하강하게 될 때 발생하는 분진이 승강축부 내에서 외부로 유출되지 않도록 차단하고, 그와 함께 승하강부에 구비되는 구동원에 대하여 기내 배선의 경로를 충분히 확보할 수 있도록 개선한 것이다.The present invention relates to an LCD carrier robot lifting assembly equipped with a dust leakage blocking function, to prevent the dust generated when the lifting unit is lifted, lowered so as not to leak to the outside in the lifting shaft portion, and with the lifting unit The drive source provided is improved to sufficiently secure the path of the in-flight wiring.

Description

분진 유출 차단 기능이 구비된 ＬＣＤ 반송 로봇 승강 조립체{LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist} LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist

본 발명은 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체에 관한 것이다. 더욱 구체적으로는 승하강부가 승, 하강하게 될 때 승강축부 내에서 발생하는 분진이 외부로 유출되지 않도록 차단한다. 그와 더불어 승하강부에 구비되는 구동원의 배선 경로를 충분히 확보할 수 있도록 한다.
The present invention relates to an LCD carrier robot lifting assembly equipped with a dust leakage blocking function. More specifically, when the lifting unit is lifted and lowered, the dust generated in the lifting shaft unit is blocked to prevent leakage to the outside. In addition, it is possible to sufficiently secure the wiring path of the drive source provided in the elevating portion.

청정 룸(Clean Room)에는 도 1에 도시된 바와 같은 LCD 반송 로봇 승강 조립체(10)가 설치된다. 이러한 승강조립체(10)는 승, 하강을 안내하는 승강축부(12)와, 이 승강축부(12)의 일 측면에 배치되며 승강축부(12)를 따라 승, 하강하는 승하강부(14)와, 상기 승하강부(14)와 연동하도록 연결되며 승강축부(12)의 내에 구비되는 가이드레일을 따라 이동하는 승하강 가이드부(도시되지 않음)로 구성된다.In the clean room, an LCD carrier robot elevating assembly 10 as shown in FIG. 1 is installed. The lifting assembly 10 has a lifting shaft portion 12 for guiding the lifting and lowering, and the lifting shaft portion 14 which is disposed on one side of the lifting shaft portion 12 and moves up and down along the lifting shaft portion 12; It is configured to be connected to the lifting unit 14 and the lifting guide portion (not shown) to move along the guide rail provided in the lifting shaft portion 12.

특히, 상기 승하강부(14)의 내에는 구동원이 구비되는데, 이러한 구동원의 구동축에는 피니온이 결합 되고, 상기 승강축부(12)의 내부에는 랙이, 일 측면에는 승하강 가이드홈(18)이 각각 길이방향으로 형성된다.In particular, a driving source is provided in the elevating unit 14, and a pinion is coupled to the driving shaft of the driving source, a rack is provided inside the elevating shaft unit 12, and an elevating guide groove 18 is provided at one side thereof. Each is formed in the longitudinal direction.

이에 따라 승하강부(14)의 구동축 구비된 랙이 승하강 가이드홈(18)을 통해 승강축부(12)의 내부로 진입하여 피니온에 맞물려지고, 구동원의 구동에 의해 랙이 피니온을 따라 이동하게 됨으로써 승하강부(14)가 승하강축부(12)를 따라 승, 하강하게 되는 구조를 취하고 있다.
Accordingly, the rack provided with the driving shaft of the elevating portion 14 enters the elevating shaft portion 12 through the elevating guide groove 18 to be engaged with the pinion, and the rack moves along the pinion by the driving source. As a result, the lifting and lowering unit 14 moves up and down along the lifting and lowering shaft unit 12.

그런데, 위의 배경기술에서 승하강부(14)의 승하강시, 랙과 피니온 간 습동(摺動) 및, 승하강 가이드부와 가이드레일 간 습동(摺動)에 의한 분진(예를 들면 티클, 오일성 이물)이 승강축부(12) 내에서 발생하게 된다. 이러한 분진은 도 1에 도시된 바와 같이 구동축이 통과하게 되는 승강축부(12)의 승하강 가이드홈(18)을 통해 외부로 유출되어 반송(搬送)하는 LCD 부품을 오염시키게 된다.However, in the above background, when the elevating portion 14 is raised and lowered, dust caused by sliding between the rack and the pinion and sliding between the elevating guide portion and the guide rail (for example, a tickle, Oily foreign matter) is generated in the lifting shaft portion 12. As shown in FIG. 1, the dust is contaminated with the LCD parts that are discharged to the outside through the elevating guide grooves 18 of the elevating shaft portion 12 through which the driving shaft passes.

이에 따라 본 발명에서는 승하강부(14)가 승, 하강하게 될 때 승강축부(12)의 내부에 발생하는 분진이 외부로 유출되지 않도록 승하강 가이드홈(18)을 따라 확실하게 차단하고, 다른 목적으로는 구동원에 대한 기내배선의 경로를 충분히 확보할 수 있도록 한 것이다.
Accordingly, in the present invention, when the elevating portion 14 is raised and lowered, the dust generated inside the elevating shaft portion 12 is reliably shut off along the elevating guide groove 18 so that dust does not leak to the outside, and the other purpose. In order to ensure a sufficient route of in-flight wiring to the drive source.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 승강축부의 외면에 근접 배치되는 상태로 승강축부의 승하강 가이드홈을 따라 승, 하강을 하는 승하강부와, 상기 승하강부와 연결되며 승하강 가이드홈을 통해 승강축부의 내부에 배치되는 승하강 가이드부와, 상기 승하강 가이드부의 일면에 간격 가지고 각각 구비되며 승강축부의 가이드레일을 따라 이동하도록 가이드 블럭을 포함하는 LCD 반송 로봇 승강 조립체에 있어서, 상기 승하강 가이드부의 상하단 부분에 한 쌍이 한 조를 이루며 서로 마주하는 프레임 사이에 회전 가능하게 설치되는 1 ~ 4 실 벨트 롤러와; 상기 제1 ~ 4 실 벨트 롤러의 중심선을 기준으로 할 때 제1 및 제4 실 벨트 롤러에서는 외측 지점에 접촉되고, 제2 및 제3 실 벨트 롤러에서는 내측 지점에 접촉하는 상태로 승하강 가이드홈을 가로막는 상태로 지나가도록 설치되는 실 벨트; 로 이루어진 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체가 제공된다.In order to achieve the above object, the present invention, the elevating portion to move up and down along the elevating guide groove of the elevating shaft portion in a state disposed close to the outer surface of the elevating shaft portion, the elevating guide groove is connected to the elevating portion In the LCD conveyance robot lifting assembly comprising a lifting guide portion disposed inside the lifting shaft portion through the lifting guide portion, and the guide block so as to move along the guide rail of the lifting shaft portion, each provided at intervals on the lifting guide portion, 1 to 4 thread belt rollers which are rotatably installed between the frames facing each other in a pair in a pair of upper and lower guide portions; The lifting guide groove in a state in which the first and fourth thread belt rollers are in contact with the outer point and the second and third thread belt rollers are in contact with the inner point when the center line of the first to fourth thread belt rollers is referred to. Seal belt is installed so as to pass in a state blocking the; An LCD carrier robot lifting assembly provided with a dust leakage blocking function is provided.

또한, 상기 승하강 가이드부의 상하면에 내부를 막는 상태로 각각 설치되는 커버부재와; 상기 가이드 블럭 사이의 노출 영역에 설치되는 커버부재와; 상기 가이드 블럭이 배치되는 면과 대응하는 면에 배치되며 제1 ~ 4 실 벨트 롤러의 노출 영역에 각각 설치되는 커버부재; 로 이루어지는 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체가 제공된다.In addition, the cover member is installed on the upper and lower sides of the elevating guide portion in a state of blocking the inside; A cover member installed in the exposed area between the guide blocks; A cover member disposed on a surface corresponding to the surface on which the guide block is disposed and installed in an exposed area of the first to fourth thread belt rollers; Provided is an LCD carrier robot elevating assembly provided with an outflow blocking function.

또한, 상기 승하강 가이드부의 일 측면과 승하강부가 연결되는 대응 면에 서로 연결되는 상태로 케이블 공이 형성되어 있고, 이 케이블 공은 "┌ "형상의 경로 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체.
In addition, a cable ball is formed in a state that is connected to each other on one side of the elevating guide portion and the corresponding surface to which the elevating portion is connected, this cable ball is formed in a "┌" shaped path structure characterized in that the leakage blocking function LCD transfer robot lifting assembly provided.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 승하강부가 승, 하강하게 될 때 발생하는 분진이 승강축부로부터 외부로 유출되지 않도록 차단함으로써, LCD 반송 로봇에 의해 반송되는 제품의 오염을 방지할 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, by blocking the dust generated when the elevating portion is raised and lowered to prevent leakage from the elevating shaft portion to the outside, it is possible to prevent contamination of the product conveyed by the LCD carrier robot. .

그와 함께, 새로운 타입의 기내배선 경로가 충분히 확보되어 구동원과의 전기적 케이블 연결이 수월하게 연결될 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
At the same time, a new type of in-flight wiring path can be secured sufficiently, so that the electrical cable connection with the driving source can be easily connected.

도 1은 일반적인 LCD 반송 로봇 승강 조립체를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체를 나타낸 요부 단면도이다.
도 3은 도 2의 승하강부와 승하강 가이드부를 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 A에서 바라본 승하강 가이드부를 나타낸 평면도이다.
도 5는 도 3의 승하강 가이드부 측면을 나타낸 부분단면도이다.1 is a perspective view schematically showing a general LCD carrier robot lifting assembly.
Figure 2 is a cross-sectional view of the main part showing the LCD carrier robot lifting assembly with a dust outflow prevention function according to the present invention.
3 is a perspective view illustrating a lifting unit and a lifting guide unit of FIG. 2.
4 is a plan view illustrating the elevating guide unit viewed from A of FIG. 3.
5 is a partial cross-sectional view showing the side of the elevating guide portion of FIG.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체를 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a description will be given of the LCD carrier robot lifting assembly with a dust outflow blocking function according to the present invention.

도 2에서는 본 발명에 따른 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체를 나타낸 요부 단면도가 도시되어 있고, 도 3에서는 도 2의 승하강부와 승하강 가이드부를 나타낸 사시도가 도시되어 있으며, 도 4에서는 도 3의 A에서 바라본 승하강 가이드부를 나타낸 평면도가 도시되어 있다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating main parts of the LCD carrier robot lifting and lowering assembly having a dust discharge blocking function according to the present invention, and FIG. 3 is a perspective view showing the lifting unit and the lifting guide unit of FIG. 2, and FIG. 4. Figure 3 is a plan view showing the elevating guide portion seen in FIG.

도면에서 보듯이, 승강 조립체(10)는 종래와 마찬가지로 승, 하강을 안내하는 승강축부(12)와, 이 승강축부(12)의 일 측면에 근접 배치되는 상태로 승강축부(12)를 따라 승, 하강을 하게 되는 승하강부(14)와, 상기 승하강부(14)와 연결되며 승강축부(12)의 내부에 구비된 가이드레일(20)을 따라 이동할 수 있도록 가이드 블럭(22)이 구비되는 승하강 가이드부(16)로 이루어져 있다.As shown in the figure, the elevating assembly 10 is moved along the elevating shaft portion 12 in a state in which the elevating shaft portion 12 for guiding the elevating and descending as in the prior art and in a state disposed close to one side of the elevating shaft portion 12. The lifting unit 14 which is to be lowered and the lifting block 14 is connected to the lifting unit 14 and is provided with a guide block 22 to move along the guide rail 20 provided in the lifting shaft unit 12. It consists of a lowering guide part (16).

구체적으로, 승하강 가이드부(16)의 상단 및 하단 부분에는 한 쌍이 한 조를 이루고 있는 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)가 위아래로 각각 배치되어 있으며, 이러한 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)는 서로 마주하는 프레임(L) 사이에 설치된 각각의 축(38, 40, 42, 44)을 중심으로 하여 회전 가능하게 설치된다.Specifically, the first and fourth thread belt rollers 30, 32, 34, and 36, which form a pair, are disposed on the upper and lower portions of the elevating guide part 16, respectively, up and down, respectively. The four-thread belt rollers 30, 32, 34, 36 are rotatably installed about the respective axes 38, 40, 42, 44 provided between the frames L facing each other.

또한, 상기 승하강 가이드부(16)에는 실 벨트(46)가 길이방향으로 지나가도록 설치되는데, 이때 제1 및 제4 실 벨트 롤러(30, 36)에서는 바깥으로, 제2 및 제3 실 벨트 롤러(32, 34)에서는 안쪽을 지나가게 된다. 즉, 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 중심선(S)을 기준으로 할 때 제1 및 제4 실 벨트 롤러(30, 36)에서는 실 벨트(46)가 외측 지점(P1)에 접촉되는 상태로 지나가고 제2 및 제3 실 벨트 롤러(32, 34)에서는 실 벨트(46)가 내측 지점(P2)에 접촉되는 상태로 지나가게 된다. (도 5 참조)In addition, the raising and lowering guide portion 16 is installed so that the seal belt 46 passes in the longitudinal direction, in which the first and fourth seal belt rollers (30, 36) to the outside, the second and third seal belt The rollers 32 and 34 pass inward. That is, when the center line S of the first to fourth thread belt rollers 30, 32, 34 and 36 is referred to, the seal belt 46 is located at the outer point in the first and fourth thread belt rollers 30 and 36. It passes in the state which contacts P1, and in the 2nd and 3rd thread belt rollers 32 and 34, the thread belt 46 passes in the state which contacts the inner point P2. (See Fig. 5)

그와 더불어 상기 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)를 지나가는 실 벨트는 승강축부(12)를 따라 승하강 가이드홈(18)을 가로막는 배치 상태로 승강축부(12) 내에 설치된다.
In addition, the thread belt passing through the first to fourth thread belt rollers 30, 32, 34, and 36 is disposed in the elevator shaft part 12 in an arrangement state that obstructs the elevator guide groove 18 along the elevator shaft part 12. Is installed.

한편, 상기 승하강 가이드부(16)의 상면 및 하면 노출 영역(S1)에는 커버부재(48, 50)가 각각 설치되어 있다. 그리고 상기 가이드 블럭(22)이 배치되는 면과 대응하는 면에서 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 노출 영역(S2)에도 커버부재(52, 54)가 각각 설치된다. 이때 실 벨트(46)와 커버부재(52, 54) 간 간섭이 발생하지 않도록 설치되는 것이 바람직하다.On the other hand, cover members 48 and 50 are provided on the upper and lower surface exposed regions S1 of the elevating guide portion 16, respectively. The cover members 52 and 54 are also provided in the exposed areas S2 of the first to fourth thread belt rollers 30, 32, 34, and 36 on the surfaces corresponding to the surfaces on which the guide block 22 is disposed. . At this time, it is preferable that the interference between the seal belt 46 and the cover members 52 and 54 does not occur.

아울러, 앞서 언급하였듯이 승하강 가이드부(16)에는 승강축부(12)의 가이드레일(20)을 따라 이동하는 가이드 블럭(22)이 상하부에 각각 구비되어 있는데, 이때 가이드 블럭(22)이 사이의 노출 영역(S3)에도 커버부재(56)가 설치되는 구조를 취하고 있다. (도 4 참조)In addition, as mentioned above, the elevating guide part 16 is provided with upper and lower guide blocks 22 moving along the guide rails 20 of the elevating shaft part 12, wherein the guide block 22 is disposed therebetween. The cover member 56 is also provided in the exposed area S3. (See Figure 4)

위와 같이 승하강 가이드부(16)에 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)를 이용한 실 벨트(46)가 설치되고, 그와 더불어 승하강 가이드부(16)의 각 노출 영역(S1, S2, S3)에 커버부재(48, 50, 52, 54, 56)가 각각 설치되게 되면, 승하강부(14)의 승,하강시, 랙과 피니온(도시되지 않음) 간 습동, 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 구동, 승하강 가이드부(16)와 가이드레일(22) 간 습동에 의해 각각 발생하는 분진이 커버부재(48, 50, 52, 54, 56) 및 실 벨트(46)에 의해 차단된다. 특히, 실 벨트(46)가 승강축부(12)의 승하강 가이드홈(18)을 가로막는 상태로 지나가는 배치 구조를 통해 승강축부(12) 내에서 발생한 분진이 승하강 가이드홈(18)을 통해 외부로 유출되는 것이 방지된다.As described above, the thread belt 46 using the first to fourth thread belt rollers 30, 32, 34, and 36 is installed at the elevating guide part 16, and the respective exposures of the elevating guide part 16 are also provided. When the cover members 48, 50, 52, 54, and 56 are installed in the regions S1, S2, and S3, respectively, sliding between the rack and the pinion (not shown) when the elevating portion 14 is raised or lowered is performed. , Dust generated by driving of the first to fourth thread belt rollers 30, 32, 34, 36, and sliding between the elevating guide 16 and the guide rail 22, respectively, is covered by the cover members 48, 50, 52. 54, 56 and the seal belt 46. In particular, the dust generated in the elevating shaft portion 12 through the arrangement structure in which the seal belt 46 passes through the elevating guide groove 18 of the elevating shaft portion 12 is external through the elevating guide groove 18. Outflow is prevented.

즉, 상기 승강축부(12)의 내부 공간은 물론, 승하강 가이드부(16) 내에서 발생하는 분진이 모두 차단되어 반송(搬送)하는 LCD 부품의 오염이 방지된다.That is, not only the internal space of the elevating shaft portion 12 but also all of the dust generated in the elevating guide portion 16 are blocked to prevent contamination of the LCD parts to be conveyed.

한편, 첨부된 예시도면 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 승하강 가이드부(16)는 구동원(M)이 내장되는 승하강부(14)와 연동하도록 일체로 연결되는데, 이러한 승하강 가이드부(16)의 일 측면과 승하강부(14)가 연결되는 대응 면에는 서로 연결되는 상태로 케이블 공(58)이 형성되어 있다. 즉, 이러한 케이블 공(58)은 " ┌"형상의 굴곡 경로구조로 형성되어 있다. 그에 따라 승하강부(14)의 내부에 구비되는 구동원(M)과 케이블의 연결에 따른 경로 확보를 통해 용이한 연결이 이루어질 수 있게 된다.Meanwhile, as shown in FIGS. 2 and 3, the elevating guide part 16 is integrally connected to interlock with the elevating part 14 in which the driving source M is built, and the elevating guide part ( One side of the 16 and the corresponding surface to which the lifting unit 14 is connected is formed with a cable hole 58 in a state connected to each other. That is, this cable hole 58 is formed in a curved path structure of the "┌" shape. Accordingly, the connection can be made easily by securing a path according to the connection of the drive source M and the cable provided in the elevating unit 14.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재된 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.
As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical spirit of the present invention and the following will be understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of the appended claims.

10 : 승강조립체 12 : 승강축부
14 : 승하강부 16 : 승하강 가이드부
18 : 승하강 가이드홈 20 : 가이드레일
22 : 가이드 블럭 30 : 제1 실 벨트 롤러
32 : 제2 실 벨트 롤러 34 : 제3 실 벨트 롤러
36 : 제4 실 벨트 롤러 38, 40, 42, 44 : 축
46 : 실 벨트 48, 50, 52, 54, 56 : 커버부재
58 : 케이블 공10: lifting assembly 12: lifting shaft
14: the elevating unit 16: elevating guide unit
18: elevating guide groove 20: guide rail
22: guide block 30: first thread belt roller
32: second thread belt roller 34: third thread belt roller
36: 4th thread belt roller 38, 40, 42, 44: shaft
46: seal belt 48, 50, 52, 54, 56: cover member
58: cable ball

Claims (3)

승강축부(12)의 외면에 근접 배치되는 상태로 승강축부(12)의 승하강 가이드홈(18)을 따라 승, 하강을 하는 승하강부(14)와, 상기 승하강부(14)와 연결되며 승하강 가이드홈(18)을 통해 승강축부(12)의 내부에 배치되는 승하강 가이드부(16)와, 상기 승하강 가이드부(16)의 일면에 간격 가지고 각각 구비되며 승강축부(12)의 가이드레일(20)을 따라 이동하도록 가이드 블럭(22)을 포함하는 LCD 반송 로봇 승강 조립체에 있어서,
상기 승하강 가이드부(16)의 상하단 부분에 한 쌍이 한 조를 이루며 서로 마주하는 프레임(L) 사이에 회전 가능하게 설치되는 1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)와;
상기 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 중심선(S)을 기준으로 할 때 제1 및 제4 실 벨트 롤러(30, 36)에서는 외측 지점(P1)에 접촉되고, 제2 및 제3 실 벨트 롤러(32, 34)에서는 내측 지점(P2)에 접촉하는 상태로 승하강 가이드홈(18)을 가로막는 상태로 지나가도록 설치되는 실 벨트(46);로 이루어진 것을 특징으로 하는 분진 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체.
Lifting and lowering unit 14, which is moved up and down along the lifting guide groove 18 of the lifting shaft unit 12 in a state disposed close to the outer surface of the lifting shaft unit 12, and is connected to the lifting unit 14 The elevating guide portion 16 disposed inside the elevating shaft portion 12 through the elevating guide groove 18 and provided on one surface of the elevating guide portion 16 at intervals, respectively, to guide the elevating shaft portion 12. In the LCD carrier robot lifting assembly comprising a guide block 22 to move along the rail 20,
1 to 4 thread belt rollers (30, 32, 34, 36) rotatably installed in a pair of upper and lower ends of the elevating guide portion (16) and between frames (L) facing each other;
On the basis of the center line S of the first to fourth thread belt rollers 30, 32, 34 and 36, the first and fourth thread belt rollers 30 and 36 are in contact with the outer point P1, The second and third seal belt rollers (32, 34) in the state in contact with the inner point (P2) seal belt 46 which is installed to pass in a state blocking the elevating guide groove 18; LCD carrier robot lifting assembly equipped with a dust leakage blocking function.
제 1항에 있어서,
상기 승하강 가이드부(16)의 상하면에 내부를 막는 상태로 각각 설치되는 커버부재(48, 50)와; 상기 가이드 블럭(22) 사이의 노출 영역(S3)에 설치되는 커버부재(56)와; 상기 가이드 블럭(22)이 배치되는 면과 대응하는 면에 배치되며 제1 ~ 4 실 벨트 롤러(30, 32, 34, 36)의 노출 영역(S2)에 각각 설치되는 커버부재(52, 54);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체.
The method of claim 1,
Cover members (48, 50) respectively installed on the upper and lower surfaces of the elevating guide portion (16) in a state of blocking the inside thereof; A cover member 56 installed in the exposed area S3 between the guide blocks 22; Cover members 52 and 54 disposed on the surface corresponding to the surface on which the guide block 22 is disposed and installed in the exposed areas S2 of the first to fourth thread belt rollers 30, 32, 34, and 36, respectively. LCD carrier robot lifting assembly equipped with a spill blocking function, characterized in that consisting of.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 승하강 가이드부(16)의 일 측면과 승하강부(14)가 연결되는 대응 면에 서로 연결되는 상태로 케이블 공(58)이 형성되어 있고, 이 케이블 공(58)은 "┌ "형상의 경로 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 유출 차단 기능이 구비된 LCD 반송 로봇 승강 조립체.3. The method according to claim 1 or 2,
A cable hole 58 is formed in a state in which one side of the elevating guide portion 16 and the elevating portion 14 are connected to each other in a state of being connected to each other. LCD carrier robot lifting assembly with a spill blocking function, characterized in that formed in the path structure.
KR1020100050903A 2010-05-31 2010-05-31 LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist KR101114014B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100050903A KR101114014B1 (en) 2010-05-31 2010-05-31 LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100050903A KR101114014B1 (en) 2010-05-31 2010-05-31 LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110131456A KR20110131456A (en) 2011-12-07
KR101114014B1 true KR101114014B1 (en) 2012-02-22

Family

ID=45499820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100050903A KR101114014B1 (en) 2010-05-31 2010-05-31 LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101114014B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101576544B1 (en) 2014-02-24 2015-12-10 주식회사 에스에프에이 Stocker apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10223586A (en) * 1998-03-17 1998-08-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate-treating device
JP2001223197A (en) 1999-12-01 2001-08-17 Ses Co Ltd Substrate carry-in/carry-out device and substrate washing system
JP2004090186A (en) 2002-09-02 2004-03-25 Aitec Corp Clean transfer robot
KR20070090419A (en) * 2006-03-02 2007-09-06 삼성전자주식회사 Substrate transfer robot

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10223586A (en) * 1998-03-17 1998-08-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate-treating device
JP2001223197A (en) 1999-12-01 2001-08-17 Ses Co Ltd Substrate carry-in/carry-out device and substrate washing system
JP2004090186A (en) 2002-09-02 2004-03-25 Aitec Corp Clean transfer robot
KR20070090419A (en) * 2006-03-02 2007-09-06 삼성전자주식회사 Substrate transfer robot

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101576544B1 (en) 2014-02-24 2015-12-10 주식회사 에스에프에이 Stocker apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110131456A (en) 2011-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102418305B1 (en) Article transport facility
CA2477188C (en) Carriage type conveyor
EP2514557A2 (en) Set-up station door apparatus for machine tool
KR101114014B1 (en) LCD Transfer Robot Elevating Assembly for Preventing the Outflow of the Mist
US8596868B2 (en) Motion guide device
KR101857056B1 (en) Apparatus for transferring using the integrated circuit device fabricating
JP5370082B2 (en) Linear motion guide device
JP2015074517A (en) Slat conveyer
JPH11334869A (en) Conveying device
JP5129859B2 (en) Elevator system having guide shaft aligned with traction member
JP2008114969A (en) Mast inside cleaning device of stacker crane
KR102540507B1 (en) Guiding device of double roller for transfer of massage module
JP3802938B2 (en) Rolling guide device and sealing device for rolling guide device
CN101934918A (en) Elevator apparatus
JP5014614B2 (en) Laser processing machine optical path system sealing device
JP2005138922A (en) Door device for elevator
JPH09328270A (en) Elevator device
JP2010067700A (en) Substrate cassette carrying device and substrate cassette carrying in/out device
KR200413170Y1 (en) door shoe cover of clean room elevator
CN215281959U (en) Inspection robot for mine belt conveyor
JP2013018624A (en) Passenger conveyer
KR200385489Y1 (en) Cleaner device for carriage wheel
JP2007118057A (en) Dust-proof device for optical path system of laser beam machine
JP2014152035A (en) Conveyor device for passenger
CN114156213A (en) Semiconductor cleaning equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150203

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160121

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190128

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200128

Year of fee payment: 9