JP2008114969A - Mast inside cleaning device of stacker crane - Google Patents

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Satoru Matsuda
哲 松田
Tomohiro Endo
智尋 遠藤
Shoichi Miyamoto
昌一 宮本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mast inside cleaning device of a stacker crane capable of removing fine dust generated when a lift is vertically moved along a mast. <P>SOLUTION: The mast 3 of the stacker crane C is formed in a divided structure. The air can flow from the cage side to the counterweight side by utilizing the gap 34 formed at a split joined part of the mast 3. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、スタッカクレーンのマスト内浄化装置に関し、特に、クリーンルーム内で稼働するスタッカクレーンにおいて、マストに沿って昇降台が昇降する際、発生する微粉塵の排出をも含めてマスト内の清浄を図るようにしたスタッカクレーンのマスト内浄化装置に関するものである。   The present invention relates to a stacker crane purifier for a stacker crane. The present invention relates to an in-must purification device for a stacker crane.

従来、半導体や液晶製造工場等においては、清浄空気を常に流下させた（ダウンフロー）クリーンルーム内をスタッカクレーンが走行するようにして部材等を収納したカセットを所定位置に保管或いは搬送するようにしている。
しかし、スタッカクレーンが走行レールに沿って走行するとき、走行車輪と走行レールとの摺動摩擦により、またスタッカクレーンのマストに沿って移載機を搭載した昇降台の昇降時、マストのレールとの接触による摺動摩擦やスプロケットとチェーンの接触により微粉塵が発生する。この発生微粉塵は前記ダウンフローにて流下させ、床面より吸引して高性能フィルタにてろ過、除去するようにし、これによりクリーンルーム内全体のクリーン度を、設定クリーン度を名目上保持するようになっている。 Conventionally, in a semiconductor or liquid crystal manufacturing factory or the like, a cassette containing members and the like is stored or transported at a predetermined position so that a stacker crane runs in a clean room in which clean air is constantly flowing down (down flow). Yes.
However, when the stacker crane travels along the traveling rail, the sliding friction between the traveling wheel and the traveling rail, and when the lifting platform mounted with the transfer machine along the mast of the stacker crane is raised or lowered, Fine dust is generated due to sliding friction caused by contact and contact between the sprocket and the chain. The generated fine dust is caused to flow down in the down flow, sucked from the floor, filtered and removed with a high-performance filter, so that the cleanliness of the entire cleanroom is nominally maintained at the set cleanness. It has become.

ところで、クリーンルーム内で発生した微粉塵は、クリーンルーム内のダウンフローにて、発生微粉塵を床面に向かって流下させる場合、発生微粉塵が移載機を搭載した昇降台に堆積し、また、部材等を収納したカセットよりも下部位置で発生したものは適正に排出、除去することができても、カセット位置よりも上部位置で発生した微粉塵は、このダウンフローに乗って流下する際、下方のカセット及びカセット内に収納した部材等にも付着し、汚染するという問題があった。   By the way, when the fine dust generated in the clean room is caused to flow down toward the floor in the down flow in the clean room, the generated fine dust accumulates on the lifting platform on which the transfer machine is mounted. Even if the material generated at the lower position than the cassette containing the members can be properly discharged and removed, the fine dust generated at the upper position than the cassette position will flow down on this downflow. There was a problem that the lower cassette and the members housed in the cassette were attached and contaminated.

また、スタッカクレーンのマストは、マストに沿って、かつ部材等を収納したカセットを搭載した移載機を搭載した昇降台を昇降支持できるように、断面Ｈ字形をしており、この断面Ｈ字形マストの窪み部分に、昇降台支持用の昇降用レールを配設している。
したがって、この昇降用レールを配設したマストの窪み部分はダウンフローも弱く、昇降台の昇降時マスト側のレールとの接触による摺動摩擦により発生する微粉塵が滞留し、排出が困難であるという問題があった。 In addition, the mast of the stacker crane has an H-shaped section so that it can support the lifting platform mounted with a transfer machine loaded with a cassette containing members and the like along the mast. An elevating rail for supporting the elevating platform is disposed in the recessed portion of the mast.
Therefore, the depression portion of the mast provided with the lifting rail has a weak down flow, and fine dust generated by sliding friction due to contact with the mast side rail during lifting of the lifting platform is retained and is difficult to discharge. There was a problem.

本発明は、スタッカクレーンにおけるマストの有する問題点に鑑み、マストに沿って昇降台が昇降動作する際に発生する微粉塵を除去することができるようにしたスタッカクレーンのマスト内浄化装置を提供することを目的とする。   In view of the problems of a mast in a stacker crane, the present invention provides a purifier in a mast of a stacker crane that can remove fine dust generated when a lifting platform moves up and down along the mast. For the purpose.

上記目的を達成するため、本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置は、スタッカクレーンのマストを分割構造とし、かつ該マストの分割接合部に形成した隙間を利用して、空気をケージ側よりカウンタウエイト側へ流通可能に構成したことを特徴とする。   In order to achieve the above object, a stacker crane mast purification apparatus according to the present invention has a structure in which the mast of the stacker crane is divided and a gap formed in the divided joint of the mast is used to counter air from the cage side. It is characterized in that it can be distributed to the weight side.

この場合において、マストを三分割としてＨ字形に形成し、その接合部にシムを所定間隔毎に挟んで空気を流通させる隙間を形成するようにすることができる。   In this case, the mast can be divided into three parts and formed into an H-shape, and a gap through which air flows can be formed at the joints with shims sandwiched at predetermined intervals.

また、マストのカウンタウエイト側にマストの全長に沿ってカバーとシールベルトを配設して、ケージ側よりカウンタウエイト側へ流通する空気の空気溜め室を密閉状に形成することができる。   Further, a cover and a seal belt can be provided along the entire length of the mast on the counterweight side of the mast, so that an air reservoir chamber for air flowing from the cage side to the counterweight side can be formed in a sealed manner.

また、空気溜め室に高性能フィルタを備えた排気手段を備えることができる。   In addition, an exhaust unit having a high performance filter can be provided in the air reservoir.

また、マストのケージ側に、昇降台の昇降に支障を与えることなくケージ側を閉塞するカバーを配設することができる。   In addition, a cover for closing the cage side can be disposed on the cage side of the mast without hindering the raising and lowering of the lifting platform.

本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置によれば、スタッカクレーンのマストを分割構造とし、かつ該マストの分割接合部に形成した隙間を利用して、空気をケージ側よりカウンタウエイト側へ流通可能に構成することにより、従来排出困難とされたマスト内のケージ側内部の発生微粉塵も、簡易な装置で、かつ確実に排出することができる。   According to the stacker crane mast purification device of the present invention, the stacker crane mast has a split structure, and air can be circulated from the cage side to the counterweight side using the gap formed in the split joint of the mast. With this configuration, the fine dust generated inside the cage in the mast, which has been difficult to be discharged in the past, can be reliably discharged with a simple device.

また、マストを三分割としてＨ字形に形成し、その接合部にシムを所定間隔毎に挟んで空気を流通させる隙間を形成することにより、マストを確固に組み立てることができるとともに、該組立時に同時に隙間を簡易に形成することができる。   In addition, the mast is divided into three parts and formed into an H-shape, and a gap is formed at the joint between the shims at predetermined intervals to allow air to flow. A gap can be easily formed.

また、マストのカウンタウエイト側にマストの全長に沿ってカバーを配設して、ケージ側よりカウンタウエイト側へ流通する空気の空気溜め室を密閉状に形成することにより、マスト内のケージ側で発生した微粉塵も空気溜め室内を経て排出することができるので他のクリーンルームへの漏出を確実に防止することができる。   In addition, a cover is provided along the entire length of the mast on the counterweight side of the mast, and an air reservoir chamber for air flowing from the cage side to the counterweight side is formed in a sealed manner, so that the cage side in the mast Since the generated fine dust can also be discharged through the air reservoir, leakage to other clean rooms can be reliably prevented.

また、空気溜め室に高性能フィルタを備えた排気手段を備えるようにすることにより、空気溜め室内に空気と共に流入した微粉塵を、該高性能フィルタにて除去した後、排気手段にて連続的に排気することができる。   Further, by providing exhaust means with a high performance filter in the air reservoir chamber, fine dust that has flowed into the air reservoir chamber together with air is removed by the high performance filter and then continuously exhausted by the exhaust means. Can be exhausted.

また、マスト内のケージ側に、昇降台の昇降に支障を与えることなくケージ側を閉塞するカバー及びシールベルトを配設することにより、昇降台の昇降に際してマストのケージ側内部で発生する微粉塵を、他のクリーンルーム側へ漏出させることなく確実に排出除去することができる。   In addition, by installing a cover and a sealing belt on the cage side in the mast that close the cage side without hindering the raising and lowering of the lifting platform, fine dust generated inside the cage side of the mast when lifting the lifting platform Can be surely discharged and removed without leaking to the other clean room side.

以下、本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a stacker crane purifying apparatus for a mast according to the present invention will be described with reference to the drawings.

図１〜図５に、本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置の一実施例を示す。
図１〜図２は、半導体や液晶製造工場等におけるクリーンルーム内を走行するようにしたスタッカクレーンの概観正面図と側面図を示す。
このスタッカクレーンＣは走行レールＲに沿って走行車輪１にて自走するようにした走行台車２と、該走行台車２上に樹立したマスト３と、該マストに沿って昇降する昇降台４とより構成する。 1 to 5 show an embodiment of a purification apparatus for a mast of a stacker crane according to the present invention.
1 to 2 are a front view and a side view of an overview of a stacker crane configured to run in a clean room in a semiconductor or liquid crystal manufacturing factory or the like.
The stacker crane C includes a traveling carriage 2 that is self-propelled along the traveling rail R by traveling wheels 1, a mast 3 established on the traveling carriage 2, and a lifting platform 4 that moves up and down along the mast. Consists of.

この昇降台４は、特に限定されるものではないが、例えば、モータＭを駆動することによって、減速機Ｒｅ、カップリングＣ、駆動スプロケット４１ａ及び従動スプロケット４１ｂ並びにチェーン４２を介して昇降されるように構成し、駆動スプロケット４１ａ及び従動スプロケット４１ｂに掛け渡されたチェーン４２の昇降台４を固定した位置の相対側にカウンタウエイト４３を固定するようにする。昇降台４には、必要に応じて、移載機（図示省略）を搭載するようにする。   The elevator 4 is not particularly limited. For example, when the motor M is driven, the elevator 4 is raised and lowered via the speed reducer Re, the coupling C, the drive sprocket 41a and the driven sprocket 41b, and the chain 42. The counterweight 43 is fixed to the relative side of the position where the lifting platform 4 of the chain 42 spanned between the drive sprocket 41a and the driven sprocket 41b is fixed. A transfer machine (not shown) is mounted on the lift 4 as necessary.

スタッカクレーンＣのマスト３は、図３の断面図に示すように、断面Ｈ字形に形成するが、これを２枚のマスト側板３１、３１と、１枚のマスト本体３２との三分割構造とし、マスト本体３２の両側にそれぞれマスト側板３１をあてがい、ボルト等の締結具（図示省略）を持って固定し、Ｈ字形に簡易に形成することができる。
この場合、マスト側板３１とマスト本体３２との接合部には、薄板状に形成したシム３３を挟むようにして、実質的にはマスト側板３１とマスト本体３２との間に隙間３４を形成するようにする。このシム３３は、マスト３の長手方向、すなわち、マストの高さ方向に沿って予め定めた間隔或いは任意間隔毎に配して、このシム３３の無い部分を隙間３４となるようにする。
なお、このシム３３を配設する間隔及び／又は厚さは、マスト内のケージ側よりカウンタウエイト側へ空気が流通できるようにして定めるものとする。この隙間３４を経てマスト内のケージ側よりカウンタウエイト側へ流通する空気の流通量は、マスト内のケージ側で発生する微粉塵をカウンタウエイト側へ流通させるのに必要な量及び流速となるように隙間を設定する。 The mast 3 of the stacker crane C is formed in an H-shaped cross section as shown in the cross-sectional view of FIG. 3, and this is a three-part structure of two mast side plates 31, 31 and one mast main body 32. The mast side plates 31 are respectively attached to both sides of the mast main body 32, and are fastened with fasteners (not shown) such as bolts, and can be easily formed into an H shape.
In this case, a gap 34 is substantially formed between the mast side plate 31 and the mast body 32 so as to sandwich a shim 33 formed in a thin plate shape at the joint between the mast side plate 31 and the mast body 32. To do. The shims 33 are arranged at predetermined intervals or at arbitrary intervals along the longitudinal direction of the mast 3, that is, the height direction of the mast, so that the portions without the shims 33 become gaps 34.
The interval and / or thickness at which the shim 33 is disposed is determined so that air can flow from the cage side to the counterweight side in the mast. The amount of air flowing through the gap 34 from the cage side to the counterweight side in the mast is the amount and flow rate necessary to distribute fine dust generated on the cage side in the mast to the counterweight side. Set a gap in.

また、マスト３のカウンタウエイト側には、図３に示すように、対向して配設するマスト側板３１、３１間を接続するようにしてカバー３５を配設し、このカバー３５と２枚のマスト側板３１、３１にて囲まれる部分を空気溜め室３５Ｒとし、ここに隙間３４を経て流入する微粉塵を含んだ空気を導入するようにする。
このカバー３５は、マスト３の全長に亘って配設し、内部に空気溜め室３５Ｒを形成するが、このカバー３５の外側には、所定間隔毎に高性能フィルタ３６と排気扇３７とを備えた排気手段３８を配設する。 Further, as shown in FIG. 3, a cover 35 is disposed on the counterweight side of the mast 3 so as to connect the mast side plates 31 and 31 disposed opposite to each other. A portion surrounded by the mast side plates 31 and 31 is an air reservoir chamber 35R, and air containing fine dust flowing in through the gap 34 is introduced therein.
The cover 35 is disposed over the entire length of the mast 3 and forms an air reservoir 35R inside. The high-performance filter 36 and the exhaust fan 37 are provided outside the cover 35 at predetermined intervals. An exhaust means 38 is provided.

マスト内のケージ側には、図３に示すように、昇降台４が昇降可能にしてマスト内のケージ側室内を封鎖できるようにカバー３９ａ及びカバー３９ａの隙間を閉鎖する可撓性のシールベルト３９ｂを配設する。
このカバー３９ａは、通常は、図３（ｂ）に示すように、シールベルト３９ｂによって、その開口部分が閉鎖されているが、昇降台４がマスト本体３２に沿って昇降移動する際、その昇降移動する昇降台４の部分のみ、図３（ａ）及び図４に示すように、昇降台４の昇降移動に合わせて開口するようにする。
したがって、このカバー３９ａの開口部分は、昇降台４の昇降移動に合わせて連続的に移動することとなる。 On the cage side in the mast, as shown in FIG. 3, a flexible seal belt that closes the gap between the cover 39a and the cover 39a so that the elevator 4 can be raised and lowered to seal the cage side chamber in the mast. 39b is disposed.
As shown in FIG. 3B, the cover 39a is normally closed at its opening by a seal belt 39b. However, when the elevator 4 moves up and down along the mast body 32, the cover 39a moves up and down. As shown in FIGS. 3A and 4, only the portion of the lifting platform 4 that moves is opened in accordance with the lifting and lowering movement of the lifting platform 4.
Therefore, the opening portion of the cover 39a continuously moves in accordance with the lifting and lowering movement of the lifting platform 4.

さらに、このカバー３９ａで囲んだマスト３のケージ側室内で、かつマスト本体３２に昇降台４を昇降可能に支持するための支持装置５を配設する。
この支持装置５としては、特に限定されるものではないが、例えば、図３に示すように、ガイドレール５１とブロック５２とよりなる直動ベアリング（ＬＭガイド）を採用することができる。 Furthermore, a support device 5 is provided in the cage-side chamber of the mast 3 surrounded by the cover 39a and for supporting the elevating platform 4 to the mast body 32 so that the elevating platform 4 can be moved up and down.
The support device 5 is not particularly limited. For example, as shown in FIG. 3, a linear motion bearing (LM guide) including a guide rail 51 and a block 52 can be employed.

次に、このスタッカクレーンのマスト内浄化装置の作用について説明する。
昇降台４がマスト３に沿って昇降移動する際、排気扇３７の駆動にて空気溜め室３５Ｒ内に負圧が発生する。このため、クリーンルーム内の空気がカバー３９ａの開口部分よりマスト内ケージ側に吸引され、さらにマスト側板３１とマスト本体３２との接合部に形成される隙間３４を経てマスト３のカウンタウエイト側の空気溜め室３５Ｒ内に流入する。
このとき、支持装置５の摺動摩擦により発生する微粉塵は、隙間３４を経る気流と共に空気溜め室３５Ｒ内に流入した後、さらに、空気溜め室３５Ｒ内より排気手段３８を経ることによって、高性能フィルタ３６にて除去され、外部或いはクリーンルーム内への排出が規制される。これにより、従来排出困難だったマスト内のケージ側に滞留する微粉塵の排出を確実に行うことができるとともに、カセット及びカセット内に収納する部材やクリーンルームの汚染を防止することができる。 Next, the operation of the in-mast purification device of this stacker crane will be described.
When the elevator 4 moves up and down along the mast 3, a negative pressure is generated in the air reservoir 35R by driving the exhaust fan 37. For this reason, the air in the clean room is sucked from the opening portion of the cover 39a toward the cage in the mast, and further, the air on the counterweight side of the mast 3 through the gap 34 formed at the joint between the mast side plate 31 and the mast body 32. It flows into the reservoir chamber 35R.
At this time, the fine dust generated by the sliding friction of the support device 5 flows into the air reservoir chamber 35R together with the airflow passing through the gap 34, and then passes through the exhaust means 38 from the air reservoir chamber 35R, thereby achieving high performance. It is removed by the filter 36, and discharge to the outside or a clean room is regulated. Thereby, while being able to discharge | emit the fine dust which stays in the cage side in the mast which was difficult to discharge conventionally, it is possible to prevent contamination of the cassette and the members housed in the cassette and the clean room.

以上、本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。   As mentioned above, although the purification apparatus in the mast of the stacker crane of the present invention has been described based on the embodiments, the present invention is not limited to the configurations described in the above embodiments, and appropriately within the scope not departing from the gist thereof. The configuration can be changed.

本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置は、スタッカクレーンのマストを分割構造とし、かつ該マスト内を、レールを取り付けたケージ側よりカウンタウエイト側へ空気が流通するようにして、マストに沿って昇降台が昇降動作する際に発生する微粉塵を除去することができることから、クリーンルーム内を走行するスタッカクレーンの用途に好適に用いることができる。   The stacker crane mast purification device according to the present invention has a split structure of the stacker crane mast, and air flows along the mast from the cage side to which the rail is attached to the counterweight side. Since the fine dust generated when the lifting platform moves up and down can be removed, it can be suitably used for a stacker crane traveling in a clean room.

本発明のスタッカクレーンのマスト内浄化装置の一実施例を示す正面図である。It is a front view which shows one Example of the purification apparatus in a mast of the stacker crane of this invention. 同側面図である。It is the same side view. 同拡大横断面図で、（ａ）は昇降台が存在する箇所を、（ｂ）は昇降台が存在しない箇所を、それぞれ示す。In the same enlarged cross-sectional view, (a) shows a place where a lifting platform exists, and (b) shows a place where no lifting platform exists. 同拡大縦断面図である。It is the same expanded longitudinal cross-sectional view. 同要部の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the principal part.

符号の説明Explanation of symbols

Ｃ スタッカクレーン
Ｒ 走行レール
１ 走行車輪
２ 走行台車
３ マスト
３１ マスト側板
３２ マスト本体
３３ シム
３４ 隙間
３５ カバー
３５Ｒ 空気溜め室
３６ 高性能フィルタ
３７ 排気扇
３８ 排気手段
３９ａ カバー
３９ｂ シールベルト
４ 昇降台
５ 昇降台の支持装置 C Stacker crane R Traveling rail 1 Traveling wheel 2 Traveling carriage 3 Mast 31 Mast side plate 32 Mast body 33 Shim 34 Clearance 35 Cover 35R Air reservoir 36 High performance filter 37 Exhaust fan 38 Exhaust means 39a Cover 39b Seal belt 4 Lift platform 5 Lift Stand support device

Claims (5)

スタッカクレーンのマストを分割構造とし、かつ該マストの分割接合部に形成した隙間を利用して、空気をケージ側よりカウンタウエイト側へ流通可能に構成したことを特徴とするスタッカクレーンのマスト内浄化装置。   The stacker crane mast purification is characterized in that the stacker crane mast has a split structure and the gap formed in the split joint of the mast is used to allow air to flow from the cage side to the counterweight side. apparatus. マストを三分割としてＨ字形に形成し、その接合部にシムを所定間隔毎に挟んで空気を流通させる隙間を形成するようにしたことを特徴とする請求項１記載のスタッカクレーンのマスト内浄化装置。   2. The purification in a mast of a stacker crane according to claim 1, wherein the mast is divided into three parts and is formed in an H-shape, and a gap is formed at the joint between the shims at predetermined intervals to allow air to flow. apparatus. マストのカウンタウエイト側にマストの全長に沿ってカバーを配設して、ケージ側よりカウンタウエイト側へ流通する空気の空気溜め室を密閉状に形成するようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載のスタッカクレーンのマスト内浄化装置。   2. A cover is provided along the entire length of the mast on the counterweight side of the mast, and an air reservoir chamber for air flowing from the cage side to the counterweight side is formed in a sealed manner. Or the purification apparatus in the mast of the stacker crane of 2 description. 空気溜め室に高性能フィルタを備えた排気手段を備えるようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３記載のスタッカクレーンのマスト内浄化装置。   The stacker crane in-mast purification device according to claim 1, 2, or 3, wherein the air reservoir chamber is provided with exhaust means having a high performance filter. マストのケージ側に、昇降台の昇降に支障を与えることなくケージ側を閉塞するカバー及びシールベルトを配設したことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のスタッカクレーンのマスト内浄化装置。   5. A mast of a stacker crane according to claim 1, wherein a cover and a seal belt for closing the cage side without hindering the raising and lowering of the lifting platform are disposed on the cage side of the mast. Purification equipment.
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