KR101094308B1 - 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전극을 형성하는 방법을 개선한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 서로 다른 색이 발광되는 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소가 정의된 기판을 준비하는 단계와, 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소 상에 각기 서로 다른 두께를 가지는 제1 전극을 형성하는 단계와, 제1 전극 상에, 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소에 각기 대응하여 제1 발광층, 제2 발광층 및 제3 발광층을 형성하는 단계와, 제1 발광층, 제2 발광층 및 제3 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 이때, 제1 전극을 형성하는 단계는, 기판 상에 제1 전극 물질층을 형성하는 단계와, 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소에서 서로 다른 두께를 가지는 감광막 패턴을 형성하는 단계와, 감광막 패턴과 함께 제1 전극 물질층을 식각하는 단계를 포함한다.
Description
본 발명은 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 전극을 형성하는 방법을 개선한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display)는 자발광 특성을 가져 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 소형화 및 경량화에 유리하다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 고품위 특성을 지니므로 휴대용 전자 기기의 차세대 표시 장치로 주목받고 있다.
유기 발광 표시 장치는, 양극, 유기 발광층, 음극을 구비한 유기 발광 소자(organic light emitting diode)와, 이 유기 발광 소자를 구동하는 박막 트랜지스터를 구비한다. 양극으로부터 주입된 정공과 음극으로부터 주입된 전자가 유기 발광층 내에서 결합하여 생성된 여기자(exciton)가 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발생하는 에너지에 의해 발광이 이루어진다. 이 발광을 이용하여 유기 발광 표시 장치에서 표시가 이루어진다.
유기 발광층은 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask, FMM)를 이용한 증착 공정 등으로 형성된다. 표시 장치의 해상도를 향상하기 위하여 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층의 증착 공정을 각기 복수로 수행하는 방법이 사용되고 있다. 이 경우 복수의 증착 공정에 의해 암점 불량, 얼룩 등의 불량 발생이 증가할 수 있고, 이에 의해 유기 발광 표시 장치의 수율을 저하시킬 수 있다. 또한 동일한 유기 발광층을 복수의 증착 공정에 의해 형성하므로 유기 발광층을 구성하는 발광 재료의 재료비 또한 증가된다.
더욱이, 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층을 구성하는 발광 재료의 발광 효율이 각기 다르기 때문에 이 발광 효율을 동등하게 하기 위하여 고가의 발광 보조층을 효율이 낮은 유기 발광층에 형성할 수 있다. 이러한 발광 보조층 또한 미세 금속 마스크를 사용하여 증착하여야 하므로 불량의 발생 가능성 및 재료비를 더욱 증가시킬 수 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 유기 발광층의 증착 공정의 횟수를 줄이면서 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층의 발광 효율을 균일하게 할 수 있는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 서로 다른 색이 발광되는 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소가 정의된 기판을 준비하는 단계와, 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소 상에 각기 서로 다른 두께를 가지는 제1 전극을 형성하는 단계와, 제1 전극 상에, 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소에 각기 대응하여 제1 발광층, 제2 발광층 및 제3 발광층을 형성하는 단계와, 제1 발광층, 제2 발광층 및 제3 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함한다. 이때, 제1 전극을 형성하는 단계는, 기판 상에 제1 전극 물질층을 형성하는 단계와, 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소에서 서로 다른 두께를 가지는 감광막 패턴을 형성하는 단계와, 감광막 패턴과 함께 제1 전극 물질층을 식각하는 단계를 포함한다.
제1 화소의 화소 전극이 제2 화소의 화소 전극보다 두껍고, 제2 화소의 화소 전극이 제3 화소의 화소 전극보다 두꺼울 수 있다.
제1 화소에서 감광막 패턴이 제1 두께를 가지고, 제2 화소에서 감광막 패턴이 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 가지고, 제3 화소에서 감광막 패턴이 제2 두께보다 얇은 제3 두께를 가질 수 있다.
감광막 패턴은, 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소에서 노광량이 서로 다른 마스크에 의해 형성될 수 있다.
이 마스크는, 제1 화소의 감광막 패턴에서의 노광량이 제2 화소의 감광막 패턴에서의 노광량보다 더 적고, 제2 화소의 감광막 패턴에서의 노광량이 제3 화소의 감광막 패턴에서의 노광량보다 더 적을 수 있다.
즉, 마스크는, 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소에 대응하여 광차단 패턴을 구비하는데, 제1 화소의 광차단 패턴의 두께보다 제2 화소의 광차단 패턴의 두께가 더 얇고, 제2 화소의 광차단 패턴의 두께보다 제3 화소의 광차단 패턴의 두께가 더 얇을 수 있따. 광차단 패턴은 크롬을 포함할 수 있다.
제1 전극 물질층을 식각하는 단계에서는, 건식 식각이 수행될 수 있다.
제1 화소가 적색 화소이고, 제2 화소가 녹색 화소이고, 제3 화소가 청색 화소일 수 있다.
본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 적색, 녹색 및 청색 화소에서 화소 전극(제1 전극)을 서로 다른 두께로 형성하는 공정을 단순화하여 유기 발광 표시 장치의 불량 발생을 줄이면서 생산성을 향상할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 배치도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선에 따른 단면도이다.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ 선에 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에서 적색, 녹색 및 청색 화소 전극을 형성하는 단계의 각 공정을 도시한 단면도들이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선에 따른 단면도이다.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ 선에 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에서 적색, 녹색 및 청색 화소 전극을 형성하는 단계의 각 공정을 도시한 단면도들이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세하게 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
본 발명의 실시예를 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계 없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용한다.
또한, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 각 구성의 크기 및 두께를 임의로 나타냈으므로, 본 발명이 이에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다.
층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 사이에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
이하, 도 1 내지 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 배치도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선에 따른 단면도이다. 도 1 및 도 2에서는, 각 화소에 두 개의 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)(10, 20)와 하나의 축전 소자(capacitor)(80)를 구비하는 2Tr-1Cap 구조의 능동 구동(active matrix, AM)형 유기 발광 표시 장치(101)를 도시하고 있으나, 본 발명 및 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 따라서 유기 발광 표시 장치(101)는 하나의 화소에 셋 이상의 트랜지스터와 둘 이상의 축전 소자를 구비할 수 있으며, 별도의 배선이 더 형성되어 다양한 구조를 가질 수 있다. 여기서, 화소는 화상을 표시하는 최소 단위를 말하며, 유기 발광 표시 장치(101)는 복수의 화소들을 통해 화상을 표시한다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(101)는, 기판(111)에 정의된 복수의 화소 각각에 형성된, 스위칭 박막 트랜지스터(10), 구동 박막 트랜지스터(20), 축전 소자(80), 그리고 유기 발광 소자(organic light emitting diode, OLED)(70)를 포함한다. 그리고, 유기 발광 표시 장치(101)는, 일 방향을 따라 배치되는 게이트 라인(151)과, 이 게이트 라인(151)과 절연 교차되는 데이터 라인(171), 및 공통 전원 라인(172)을 더 포함한다.
여기서, 각 화소는 게이트 라인(151), 데이터 라인(171) 및 공통 전원 라인(172)을 경계로 정의될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고 기판 본체(111)와 스위칭 박막 트랜지스터(10) 및 유기 발광 소자(70) 등의 사이에는 버퍼층(120)이 더 형성될 수 있다. 버퍼층(120)은 불순 원소 또는 수분과 같이 불필요한 성분의 침투를 방지하면서 동시에 표면을 평탄화하는 역할을 한다. 하지만, 버퍼층(120)은 반드시 필요한 구성은 아니며, 기판 본체(111)의 종류 및 공정 조건에 따라 생략될 수도 있다.
유기 발광 소자(70)는, 제1 전극(이하 "화소 전극")(710)과, 이 화소 전극(710) 상에 형성된 유기 발광층(720)과, 이 유기 발광층(720) 상에 형성된 제2 전극(이하 "공통 전극")(730)을 포함한다. 여기서, 화소 전극(710)은 각 화소마다 하나 이상씩 형성되므로 유기 발광 표시 장치(101)는 서로 이격된 복수의 화소 전극들(710)을 가진다.
여기서 화소 전극(710)이 정공 주입 전극인 양극이며, 공통 전극(730)이 전자 주입 전극인 음극이 된다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 유기 발광 표시 장치(101)의 구동 방법에 따라 화소 전극(710)이 음극이 되고, 공통 전극(730)이 양극이 될 수도 있다.
유기 발광층(720)에 주입된 정공과 전자가 결합하여 생성된 엑시톤(exciton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발광이 이루어진다.
축전 소자(80)는 층간 절연막(160)을 사이에 두고 배치된 한 쌍의 축전판(158, 178)을 포함한다. 여기서, 층간 절연막(160)은 유전체가 된다. 축전 소자(80)에 축적된 전하와 한 쌍의 축전판(158, 178) 사이의 전압에 의해 축전 용량이 결정된다.
스위칭 박막 트랜지스터(10)는, 스위칭 반도체층(131), 스위칭 게이트 전극(152), 스위칭 소스 전극(173), 및 스위칭 드레인 전극(174)을 포함한다. 구동 박막 트랜지스터(20)는 구동 반도체층(132), 구동 게이트 전극(155), 구동 소스 전극(176), 및 구동 드레인 전극(177)을 포함한다. 본 실시예에서는 스위칭 및 구동 반도체층(131, 132)과 스위칭 및 구동 게이트 전극(152, 155)이 게이트 절연막(140)을 사이에 두고 형성되고, 스위칭 및 구동 반도체층(131, 132)과 스위칭 및 구동 소스 전극(173, 176) 및 스위칭 및 구동 드레인 전극(174, 177)이 게이트 절연막(140) 및 층간 절연막(160)에 형성된 컨택 홀에 의해 연결된 구성이 개시되어 있으나, 본 발명이 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다.
스위칭 박막 트랜지스터(10)는 발광시키고자 하는 화소를 선택하는 스위칭 소자로 사용된다. 스위칭 게이트 전극(152)은 게이트 라인(151)에 연결되고, 스위칭 소스 전극(173)은 데이터 라인(171)에 연결된다. 스위칭 드레인 전극(174)는 스위칭 소스 전극(173)으로부터 이격 배치되며 어느 한 축전판(158)과 연결된다.
구동 박막 트랜지스터(20)는 선택된 화소 내의 유기 발광 소자(70)의 유기 발광층(720)을 발광시키기 위한 구동 전원을 화소 전극(710)에 인가한다. 구동 게이트 전극(155)은 스위칭 드레인 전극(174)과 연결된 축전판(158)에 연결된다. 구동 소스 전극(176) 및 다른 한 축전판(178)은 각각 공통 전원 라인(172)에 연결된다. 구동 드레인 전극(177)이 평탄화막(180)의 컨택 홀(contact hole)을 통해 유기 발광 소자(70)의 화소 전극(710)에 연결된다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 평탄화막(180)이 형성되지 않고 구동 드레인 전극(177)과 화소 전극(710)이 동일한 층에 형성되는 것도 가능하다. 화소 전극(710)은 평탄화막(180) 상에 형성된 화소 정의막(190)에 의해 서로 절연된 상태를 유지한다.
이와 같은 구조에 의하여, 스위칭 박막 트랜지스터(10)는 게이트 라인(151)에 인가되는 게이트 전압에 의해 작동하여 데이터 라인(171)에 인가되는 데이터 전압을 구동 박막 트랜지스터(20)로 전달하는 역할을 한다. 공통 전원 라인(172)으로부터 구동 박막 트랜지스터(20)에 인가되는 공통 전압과 스윙칭 박막 트랜지스터(10)로부터 전달된 데이터 전압의 차에 해당하는 전압이 축전 소자(80)에 저장되고, 축전 소자(80)에 저장된 전압에 대응하는 전류가 구동 박막 트랜지스터(20)를 통해 유기 발광 소자(70)로 흘러 유기 발광 소자(70)가 발광한다.
유기 발광 소자(70)의 구조를 좀더 상세하게 설명하면, 화소 전극(710)을 덮으면서 화소 전극(710)을 드러내는 개구부(199)를 구비하여 이 개구부(199) 이외의 영역을 덮는다. 화소 정의막(190)의 개구부(199) 내에서 화소 전극(710) 위로 유기 발광층(720)이 형성되고, 화소 정의막(190)과 유기 발광층(720) 상에 공통 전극(730)이 형성된다.
유기 발광층(720)은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물로 이루어진다. 이러한 유기 발광층(720)은 발광층과, 정공 주입층(hole injection layer, HIL), 정공 수송층(hole transporting layer, HTL), 전자 수송층(electron transporting layer, ETL) 및 전자 주입층(electron injection layer, EIL) 중 어느 하나 이상을 포함하는 다중막으로 형성될 수 있다. 일례로 이들 모두를 포함하고, 정공 주입층이 양극인 화소 전극(710) 상에 배치되고, 그 위로 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층이 차례로 적층된다.
유기발광층(720)으로는 저분자 물질 또는 고분자 물질이 모두 가능하다. 저분자 물질로는 알루니 키로늄 복합체(Alq3), 안트라센(anthracene), 시클로펜타디엔(cyclo pentadiene), BeBq2, Almq, ZnPBO, Balq, DPVBi, BSA-2 및 2PSP 등을 들 수 있다. 고분자 물질로는 폴리페닐렌(polyphenylene, PPP) 및 그 유도체, 폴리(p-페닐렌비닐렌)(poly(p-phenylenevinylene), PPV) 및 그 유도체 및 폴리티오펜(polythiophene, PT) 및 그 유도체 등을 들 수 있다. 이 외에도 다양한 물질로 형성될 수 있음은 물론이다.
본 실시예에서는 적색 화소(30R), 녹색 화소(30G) 및 청색 화소(30B)가 하나의 화소를 이룬다. 이 적색, 녹색 및 화소(30R, 30G, 30B)에 각기 형성되는 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층은 서로 발광 효율이 다르기 때문에 이를 보상할 수 있도록 화소 전극(710)의 두께를 조절하는데 이에 대해서 도 3을 참조하여 설명한다.
도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ 선에 따른 단면도이다. 도 3을 참조하면, 본 실시예에서는 적색, 녹색 및 청색 화소(30R, 30G, 30B)에 각기 형성된 적색, 녹색 및 청색 화소 전극(710R, 710G, 710B)은, 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층(720R, 720G, 720B)의 발광 효율에 차이가 있음을 고려하여, 서로 다른 두께로 형성된다.
즉, 본 실시예에서는 발광 효율이 적색 유기 발광층(720G), 녹색 유기 발광층(720G), 청색 유기 발광층(720B) 순으로 커짐을 고려하여, 적색 화소 전극(710R), 녹색 화소 전극(710G) 및 청색 화소 전극(710B) 순으로 전극 두께가 얇아진다. 즉, 적색 화소 전극(710R)의 두께(t1)가 녹색 화소 전극(710G)의 두께(t2)보다 두껍고, 녹색 화소 전극(710G)의 두께(t2)가 청색 화소 전극(710B)의 두께(t3)보다 두껍다.
이와 같이 발광 효율이 적은 재료로 구성된 유기 발광층에 대응하는 화소 전극을 두껍게 형성하면, 해당 유기 발광층의 낮은 발광 효율을 보상할 수 있게 된다.
본 실시예에서는, 발광 효율이 적색 유기 발광층(720R), 녹색 유기 발광층(720G), 청색 유기 발광층(720B) 순으로 커지는 것을 예시로 하였다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 적색, 녹색 및 청색 유기 발광층(720R, 720G, 720B)의 발광 효율의 순위가 달라질 수도 있다. 따라서, 적색, 녹색 및 청색 화소(30R, 30G, 30B)에서 발광 효율이 낮은 화소에서의 화소 전극(710)의 두께를 두껍게 하는 것이라면, 본 발명의 범위에 속한다.
이와 같이 적색, 녹색 및 청색 화소 전극(710R, 710G, 710B)의 두께를 서로 달리한 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(101)의 제조 방법을 도 4, 및 도 5a 내지 도 5d를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 개략적으로 나타낸 흐름도이다.
도 4에 도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 제조 방법은, 기판을 준비하는 단계(ST10), 화소 전극(제1 전극)을 형성하는 단계(ST20), 화소 정의막을 형성하는 단계(ST30), 발광층을 형성하는 단계(ST40) 및 공통 전극(제2 전극)을 형성하는 단계(ST50)을 포함한다.
기판을 준비하는 단계(ST10)에서는, 서로 다른 색이 발광되는 적색 화소(제1 화소)(도 1 및 도 3의 참조부호 30R, 이하 동일), 녹색 화소(제2 화소)(도 1 및 도 3의 참조부호 30G, 이하 동일) 및 청색 화소(제3 화소)(도 1 및 도 3의 참조부호 30B, 이하 동일)가 정의된 기판을 준비한다. 좀더 구체적으로는 화소 전극(도 1 내지 3의 참조부호 710)이 형성되기 전 상태, 즉 컨택 홀을 가진 평탄화막(도 2의 참조부호 180)까지 형성된 상태의 기판을 준비한다.
화소 전극을 형성하는 단계(ST20)에서는, 적색 화소(30R), 녹색 화소(30G) 및 청색 화소(30B) 상에 서로 다른 두께를 가지는 적색, 녹색 및 청색 화소 전극(도 3의 참조부호 710R, 710G, 710B, 이하 동일)을 형성한다.
화소 정의막을 형성하는 단계(ST30)에서는, 적색, 녹색 및 청색 화소 전극(710R, 710G, 710B)을 노출하는 개구부(도 2 및 3의 참조부호 199, 이하 동일)를 가지도록 화소 정의막(도 1 내지 3의 참조부호 190, 이하 동일)을 형성한다.
발광층을 형성하는 단계(ST40)에서는, 화소 정의막(190)의 개구부(199) 내에서 각기 적색, 녹색 및 청색 화소(30R, 30G, 30B)에 대응하도록 적색, 녹색 및 청색 발광층(720R, 720G, 720B)을 형성한다.
공통 전극을 형성하는 단계(ST50)에서는, 화소 정의막(190)과 적색, 녹색 및 청색 발광층(720R, 720G, 720B) 상에 공통 전극(730)을 형성한다.
본 발명에서 기판을 준비하는 단계(ST10), 화소 정의막을 형성하는 단계(ST30), 발광층을 형성하는 단계(ST40) 및 공통 전극을 형성하는 단계(ST50)는, 공지된 다양한 방법에 의해 수행될 수 있으므로 이에 대해서는 상세한 설명을 생략한다. 이하에서는, 각기 서로 다른 두께를 가지는 녹색 및 청색 화소 전극(710R, 710G, 710B)을 형성하는, 화소 전극을 형성하는 단계(ST20)를 좀더 상세하게 설명한다.
본 실시예에서 화소 전극을 형성하는 단계(ST20)는, 화소 전극 물질층(제1 전극 물질층)을 형성하는 단계(ST21), 감광 물질층을 형성하는 단계(ST23), 감광막 패턴을 형성하는 단계(ST25) 및 감광막 패턴과 화소 전극 물질층을 식각하는 단계(ST27)을 포함한다. 상술한 각 단계들을 도 5a 내지 도 5d를 참조하여 좀더 상세하게 설명한다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에서 적색, 녹색 및 청색 화소 전극(710R, 710G, 710B)을 형성하는 단계의 각 공정을 도시한 단면도들이다.
도 5a에 도시한 바와 같이, 화소 전극 물질층을 형성하는 단계(ST21)에서는, 평탄화막(180) 위에 화소 전극(710)을 형성하기 위한 화소 전극 물질층(710a)을 형성한다.
이어서, 도 5b에 도시한 바와 같이, 감광 물질층을 형성하는 단계(ST23)에서는, 화소 전극 물질층(710a) 위에 감광 물질층(740a)를 형성한다. 본 실시예에서는 일례로 광을 받은 부분이 현상 공정에서 제거되는 포지티브(positive)형 감광 물질층(740a)을 사용한다.
이어서, 도 5c에 도시한 바와 같이, 감광막 패턴을 형성하는 단계(ST25)에서는, 마스크(750)를 이용하여 감광 물질층(도 5b의 참조부호 740a, 이하 동일)를 노광하여 적색, 녹색 및 청색 화소(30R, 30G, 30B)에서 서로 다른 두께를 가지는 감광막 패턴(740R, 740G, 740B)를 형성한다.
이러한 감광막 패턴(740R, 740G, 740B)를 형성하기 위하여, 적색, 녹색 및 청색 화소(30R, 30G, 30B)에서 노광량의 차이를 가지는 마스크(750)를 사용한다. 즉, 마스크(750)는 적색, 녹색 및 청색 화소(30R, 30G, 30B)에 대응하여 서로 다른 두께의 광차단 패턴(752R, 752G, 752B)을 구비한다. 적색 화소(30R)의 광차단 패턴(752R)의 두께(L1)보다 녹색 화소(30G)의 광차단 패턴(752G)의 두께(L2)가 더 두껍고, 녹색 화소(30G)의 광차단 패턴(752G)의 두께(L2)보다 청색 화소(30B)의 광차단 패턴(752B)의 두께(L3)가 더 두껍게 형성된다. 이러한 광차단 패턴(752R, 752G, 752B)은 광을 효과적으로 차단할 수 있는 크롬을 포함할 수 있다.
이에 따라, 적색 화소(30R)의 광차단 패턴(752R)에서의 노광량이 녹색 화소(30G)의 광차단 패턴(752G)에서의 노광량보다 더 적고, 녹색 화소(30G)의 광차단 패턴(752G)에서의 노광량이 청색 화소(30B)의 광차단 패턴(752B)에서의 노광량보다 더 적다. 본 실시예에서 감광 물질막(740a)이 포지티브 감광 물질로 이루어지므로, 노광량이 많을수록 현상 후에 많은 양이 제거된다.
이에 따라 적색 화소(30R)의 감광막 패턴(740R)이 제1 두께(D1)를 가지고, 녹색 화소(30G)의 감광막 패턴(740G)이 제1 두께(D1)보다 얇은 제2 두께(D2)를 가지고, 청색 화소(30B)의 감광막 패턴(740B)이 제2 두께(D2)보다 얇은 제3 두께(D3)를 가지게 된다. 그리고 광차단 패턴(752R, 752G, 752B)이 형성되지 않은 부분에 대응하는 부분에서는 노광량이 가장 많으므로 감광 물질층(740a) 전체가 제거된다.
이어서, 도 5d에 도시한 바와 같이, 건식 식각에 의해 감광막 패턴(740R, 740G, 740B)과 화소 전극 물질층(도 5c의 참조부호 740a)을 식각한다. 본 실시예에서는 건식 식각의 일례로 플라즈마 식각 방법 등이 수행될 수 있다.
건식 식각으로 식각하면, 적색 화소(30R)의 감광막 패턴(740R)이 가장 두꺼운 제1 두께(D1)를 가지기 때문에 식각 후에 남은 적색 화소 전극(710R)이 가장 두꺼운 두께(t1)를 가지게 된다. 그리고 녹색 화소(30G)의 감광막 패턴(740G)이 제1 두께(D1)보다 얇은 제2 두께(D2)를 가지기 때문에 식각 후에 남은 녹색 화소 전극(710G)도 적색 화소 전극(710R)보다 얇은 두께로 형성된다. 그리고 청색 화소(30B)의 감광막 패턴(740B)이 가장 얇은 제3 두께(D3)를 가지기 때문에 식각 후에 남은 청색 화소 전극(710B)이 가장 얇은 두께(t3)를 가지게 된다. 그리고 감광막 패턴(740R, 740G, 740B)이 형성되지 않은 부분에서는 화소 전극 물질층(710a) 전체가 식각된다.
본 실시예에서는 이와 같이 서로 다른 두께를 가지는 감광막 패턴(740R, 740G, 740B)을 이용하여 서로 다른 두께를 가지는 적색, 녹색 및 청색 화소 전극(710R, 710G, 710B)을 한번에 형성하므로, 증착 공정, 노광, 식각 공정의 횟수를 1회로 줄일 수 있다. 이에 따라 복수의 증착 공정 등에 의한 불량 발생을 줄일 수 있고 재료비를 절감할 수 있다.
즉, 종래에는 균일한 발광 효율을 고려하여 다른 두께의 전극을 형성하기 위하여 적색 유기 발광층은 3층, 녹색 유기 발광층은 2층, 청색 유기 발광층은 1층으로 형성하는 방법을 사용하였는데, 이러한 방법에 따르면 적색 유기 발광층 및 녹색 유기 발광층의 2층 또는 3층을 형성할 때 청색 유기 발광층 위에 적층된 부분이 제거되어야 하는데, 이 과정에서 청색 유기 발광층 부분이 손상되거나 청색 유기 발광층 위에 적층된 부분이 미식각되는 불량이 발생될 수 있다. 또한, 추가의 증착 공정 및 패터닝 공정에 의해 제조 공정이 복잡해지므로 생산성이 낮아지는 문제가 있다.
반면에, 본 실시예에 따르면 균일한 발광 효율을 고려한 다른 두께의 전극을 한번에 형성할 수 있으므로 제조 공정을 단순화하고 재료비를 현저하게 저감할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
30: 화소
30R: 적색 화소
30G: 녹색 화소
30B: 청색 화소
70: 유기 발광 소자
710: 화소 전극
720: 유기 발광층
730: 공통 전극
710R: 녹색 화소 전극
710G: 적색 화소 전극
710B: 청색 화소 전극
720R: 녹색 유기 발광층
720G: 적색 유기 발광층
720B: 청색 유기 발광층
740R, 740G, 740B: 감광막 패턴
750: 마스크
752R, 752G, 752B: 광차단 패턴
30R: 적색 화소
30G: 녹색 화소
30B: 청색 화소
70: 유기 발광 소자
710: 화소 전극
720: 유기 발광층
730: 공통 전극
710R: 녹색 화소 전극
710G: 적색 화소 전극
710B: 청색 화소 전극
720R: 녹색 유기 발광층
720G: 적색 유기 발광층
720B: 청색 유기 발광층
740R, 740G, 740B: 감광막 패턴
750: 마스크
752R, 752G, 752B: 광차단 패턴
Claims (9)
- 서로 다른 색이 발광되는 제1 화소, 제2 화소 및 제3 화소가 정의된 기판을 준비하는 단계;
상기 제1 화소, 상기 제2 화소 및 상기 제3 화소 상에 각기 서로 다른 두께를 가지는 제1 전극을 형성하는 단계;
상기 제1 전극 상에, 상기 제1 화소, 상기 제2 화소 및 상기 제3 화소에 각기 대응하여 제1 발광층, 제2 발광층 및 제3 발광층을 형성하는 단계; 및
상기 제1 발광층, 상기 제2 발광층 및 상기 제3 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계
를 포함하며,
상기 제1 전극을 형성하는 단계는,
상기 기판 상에 제1 전극 물질층을 형성하는 단계;
상기 제1 화소, 상기 제2 화소 및 상기 제3 화소에서 서로 다른 두께를 가지는 감광막 패턴을 형성하는 단계; 및
상기 감광막 패턴과 함께 상기 제1 전극 물질층을 식각하는 단계
를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제1 화소의 화소 전극이 상기 제2 화소의 화소 전극보다 두껍고, 상기 제2 화소의 화소 전극이 상기 제3 화소의 화소 전극보다 두꺼운 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제1 화소에서 상기 감광막 패턴이 제1 두께를 가지고,
상기 제2 화소에서 상기 감광막 패턴이 상기 제1 두께보다 얇은 제2 두께를 가지고,
상기 제3 화소에서 상기 감광막 패턴이 상기 제2 두께보다 얇은 제3 두께를 가지는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제3항에 있어서,
상기 감광막 패턴은, 상기 제1 화소, 상기 제2 화소 및 상기 제3 화소에서 노광량이 서로 다른 마스크에 의해 형성되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제4항에 있어서,
상기 마스크는, 상기 제1 화소의 감광막 패턴에서의 노광량이 상기 제2 화소의 감광막 패턴에서의 노광량보다 더 적고, 상기 제2 화소의 감광막 패턴에서의 노광량이 상기 제3 화소의 감광막 패턴에서의 노광량보다 더 적은 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제5항에 있어서,
상기 마스크는, 상기 제1 화소, 상기 제2 화소 및 상기 제3 화소에 대응하여 광차단 패턴을 구비하고,
상기 제1 화소의 광차단 패턴의 두께보다 상기 제2 화소의 광차단 패턴의 두께가 더 얇고, 상기 제2 화소의 광차단 패턴의 두께보다 상기 제3 화소의 광차단 패턴의 두께가 더 얇은 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제6항에 있어서,
상기 광차단 패턴이 크롬을 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제1항에 있어서,
상기 제1 전극 물질층을 식각하는 단계에서는, 건식 식각이 수행되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법. - 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 화소가 적색 화소이고, 상기 제2 화소가 녹색 화소이고, 상기 제3 화소가 청색 화소인 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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