KR101084966B1 - The sensing method of wire disconnection for the wire saw device - Google Patents

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KR101084966B1
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voltage
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KR1020110009200A
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장석준
박태인
조창석
조상식
김해연
곽범석
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오성엘에스티(주)
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Abstract

PURPOSE: A method of detecting the wire disconnection of a wire saw device for cutting ingot is provided to enhance the accuracy of the disconnection of a wire by detecting the disconnection of the wire through preset reference voltage. CONSTITUTION: A method of detecting the wire disconnection of a wire saw device for cutting ingot comprises next steps. Preset Voltage is applied to spool(40) and bobbin(50) through a power supply unit. The voltage is applied to a wire(30) wound on the spool and bobbin. The voltage applied to the wire is detected through a controller(72). The voltage detected through the controller and a preset reference voltage are compared. If the detected voltage is 0V, then it is determined that the wire is disconnected and makes contact with a part of a wire saw device. If the detected voltage is between 0 and reference voltage, then it is determined that the wire is inserted into between ingots(10) in a state the wire is disconnected.

Description

잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법{THE SENSING METHOD OF WIRE DISCONNECTION FOR THE WIRE SAW DEVICE}Disconnection detection method of wire saw device for cutting ingots {THE SENSING METHOD OF WIRE DISCONNECTION FOR THE WIRE SAW DEVICE}

본 발명은 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 와이어 단선시 와이어쏘 장치의 기구 및 절단되는 웨이퍼의 파손을 최소화하도록 신속한 감지가 가능한 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법에 관한 것이다.The present invention relates to a disconnection detection method of a wire saw device for cutting ingots, and more particularly, to disconnection of a wire saw device for cutting ingots, which can be quickly detected to minimize breakage of the mechanism of the wire saw device and the wafer being cut when the wire is broken. It relates to a detection method.

일반적으로 잉곳의 성장(growth) 공정이 완료된 후 웨이퍼로 제조하기 위해 잉곳을 낱장 단위로 절단하는 슬라이싱 공정이 진행된다.Generally, after the growth process of the ingot is completed, a slicing process of cutting the ingot into sheets to manufacture a wafer is performed.

이러한 슬라이싱 공정은 여러 가지 방식이 있는데, 그 대표적인 것은 챔버 내에서 피아노 와이어 또는 고장력 와이어를 빠른 속도로 왕복 주행시키면서 그 위에 슬러리(slurry) 용액을 분사시켜 와이어에 묻은 슬러리와 단결정 잉곳의 마찰에 의해 절단하는 와이어 쏘(Wire Saw) 방식이다.This slicing process has a number of ways, the typical one of which is to reciprocate the piano wire or high tension wire in the chamber at high speed while spraying a slurry solution thereon, which is cut by friction between the slurry and the single crystal ingot attached to the wire. It is a wire saw method.

와이어 쏘 방식은 잉곳을 동시에 여러 개의 웨이퍼로 절단할 수 있어 단위 시간당 생산수율을 향상시킬 수 있기 때문에 현재 널리 쓰이고 있다.Wire saws are now widely used because they can cut ingots into multiple wafers at the same time, improving yield per unit time.

한국등록특허 제887494호에는 와이어 쏘에 의한 잉곳의 절단장치가 개시되어 있다. 여기서, 챔버의 내측 두 롤러에 300~400회 권취된 와이어의 상향에 설치된 잉곳을 고정하는 유닛으로서 하부면에 잉곳이 부착되는 빔과, 상기 빔이 하부면에 부착되고 측면에 끼워맞춤 형상을 갖는 워크플레이트와, 워크플레이트의 끼워맞춤 형상과 정합되는 요홈이 구비되어 워크플레이트의 끼워맞춤 형상이 장착되는 잉곳 피드 테이블이 개시되어 있다.Korean Patent No. 887494 discloses an apparatus for cutting an ingot by a wire saw. Here, as a unit for fixing the ingot installed upstream of the wire wound 300 to 400 times to the inner two rollers of the chamber, a beam having an ingot attached to the lower surface, the beam is attached to the lower surface and has a fitting shape on the side A ingot feed table is provided which is provided with a work plate and grooves matching with the fit shape of the work plate, to which the fit shape of the work plate is mounted.

상기와 같은 잉곳 절단장치를 이용하여 잉곳을 매우 얇은 두께의 웨이퍼로 절단하며, 이때 권취된 와이어의 단선유무를 감지하기 위해 소정의 전압을 인가하고 인가된 전압을 검출하는 전압검지수단을 구비한다.The ingot is cut into a very thin wafer using an ingot cutting device as described above, and at this time, a voltage detecting means is provided for applying a predetermined voltage and detecting the applied voltage to detect the disconnection of the wound wire.

즉, 상기 전압검지수단을 통해 와이어에 소정의 전압을 인가하고 인가된 전압이 0(V)일 때를 와이어가 단선되었다고 판단하는 것이다.That is, it is determined that the wire is disconnected when a predetermined voltage is applied to the wire through the voltage detection means and the applied voltage is 0 (V).

그런데, 와이어가 단선되지 않은 상태에서 와이어에 가해지는 장력이 일시적으로 작아지면서 와이어가 챔버 내측 또는 다른 기구들과 접촉되는 경우 등 오검지율이 높은 문제점이 있었다.However, there is a problem in that the false detection rate is high, such as when the tension applied to the wire is temporarily reduced while the wire is not disconnected, and the wire is in contact with the inside of the chamber or other devices.

이에 따라, 와이어 단선 외의 경우에도 작업자는 와이어쏘 장치 전체의 구동을 멈춘 상태에서 어느 부분에서 오검지되었는지를 개별적으로 직접 확인해야 하는 문제점이 있었다.Accordingly, even in the case of disconnection of the wire, the worker had to directly check whether or not a portion of the wire saw device was detected in a state where the driving of the entire wire saw device was stopped.

본 발명의 과제는 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 사전에 설정된 기준 전압을 통해 와이어의 단선을 감지함으로써 와이어의 단선감지의 정확도를 향상시킬 수 있는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to solve the conventional problems as described above, disconnection of the wire saw device for cutting ingots that can improve the accuracy of detecting the disconnection of the wire by detecting the disconnection of the wire through a predetermined reference voltage It is an object to provide a detection method.

그리고, 와이어 단선감지 정확도가 향상됨에 따라 작업자에 의해 불필요한 와이어쏘 장치의 점검 등이 불필요하게 생산성 개선 및 작업효율이 향상될 수 있는 단선감지유닛을 구비한 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, as the wire disconnection detection accuracy is improved, the disconnection detection method of the wire saw device for cutting the ingot is provided with a disconnection detection unit that can improve productivity and improve work efficiency without unnecessary inspection of an unnecessary wire saw device by an operator. It aims to provide.

또한, 스풀 및 보빈과 이를 회전시키는 각 구동모터를 상호 절연되도록 하는 절연부재가 설치되어 와이어에 인가되는 전압이 각 구동모터의 구동상태에 영향을 미치지 않을 수 있는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an insulation member is installed to mutually insulate the spool and the bobbin and the respective driving motors rotating the same, so that disconnection detection of the wire saw device for cutting the ingot may not affect the driving state of each driving motor. It is an object to provide a method.

상기 과제는, 본 발명의 일 실시예에 따라, 잉곳을 절단하도록 배치되는 적어도 두 개의 메인롤러와 상기 메인롤러에 와이어를 공급하는 스풀 및 상기 메인롤러로부터 와이어를 회수하는 보빈의 사이를 경유하는 와이어를 포함하는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법에 있어서, 상기 스풀과 상기 보빈에 감겨진 상기 와이어에 설정된 설정 전압을 인가되도록 전원부를 통해 상기 스풀과 상기 보빈에 상기 설정 전압을 인가하는 단계; 상기 와이어에 인가된 상기 설정 전압을 컨트롤러를 통해 검출하는 단계; 상기 컨트롤러를 통해 검출된 검출 전압과 설정된 기준 전압을 비교하는 단계; 상기 검출 전압과 상기 기준 전압을 비교하여, 상기 검출 전압이 0(Ⅴ)인 경우 상기 와이어가 단선되어 상기 와이어쏘 장치의 일정 부분에 접촉된 것으로 판단하고, 상기 검출 전압이 0(Ⅴ) 초과 상기 기준 전압 미만이면 상기 와이어가 단선된 것으로 판단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법에 의해 달성될 수 있다.The object is, according to an embodiment of the present invention, a wire between the at least two main rollers arranged to cut the ingot, the spool for supplying the wire to the main roller and the bobbin for recovering the wire from the main roller. A disconnection detection method of a wire saw device for cutting an ingot, comprising: applying the set voltage to the spool and the bobbin through a power supply unit to apply a set voltage set to the wire wound on the spool and the bobbin; Detecting the set voltage applied to the wire through a controller; Comparing the detected voltage detected by the controller with a set reference voltage; By comparing the detected voltage with the reference voltage, when the detected voltage is 0 (V), it is determined that the wire is disconnected and in contact with a portion of the wire saw device, and the detected voltage is greater than 0 (V). Determining that the wire is disconnected if the reference voltage is less than the reference voltage can be achieved by the disconnection detection method of the wire saw device for cutting ingots.

또한, 상기 스풀과 상기 보빈을 회전시키도록 연결된 각 구동모터는, 상기 스풀과의 사이 및 상기 보빈의 사이에 설치된 절연부재에 의해 상기 설정 전압이 각 구동모터로 인가되지 않도록 할 수 있다.In addition, each driving motor connected to rotate the spool and the bobbin may prevent the set voltage from being applied to each driving motor by an insulating member provided between the spool and the bobbin.

여기서, 상기 설정 전압은 상기 스풀과 상기 보빈의 각각에 설치된 전도부재를 통해 상기 스풀 및 상기 보빈을 거쳐 상기 와이어로 전달되도록 할 수 있다.Here, the set voltage may be transmitted to the wire through the spool and the bobbin through a conductive member installed on each of the spool and the bobbin.

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본 발명에 따르면, 사전에 설정된 기준 전압을 통해 와이어의 단선을 감지함으로써 와이어의 단선감지의 정확도를 향상시킬 수 있는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법이 제공된다.According to the present invention, there is provided a disconnection detection method of a wire saw device for cutting an ingot, which can improve the accuracy of disconnection detection of a wire by detecting a disconnection of a wire through a preset reference voltage.

그리고, 와이어 단선감지 정확도가 향상됨에 따라 작업자에 의해 불필요한 와이어쏘 장치의 점검 등이 불필요하게 생산성 개선 및 작업효율이 향상될 수 있는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법이 제공된다.In addition, as the wire disconnection detection accuracy is improved, a disconnection detection method of the wire saw device for cutting an ingot may be provided in which productivity and work efficiency may be unnecessarily checked by an operator without unnecessary inspection of the wire saw device.

또한, 스풀 및 보빈과 이를 회전시키는 각 구동모터를 상호 절연되도록 하는 절연부재가 설치되어 와이어에 인가되는 전압이 각 구동모터의 구동상태에 영향을 미치지 않을 수 있는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법이 제공된다.In addition, an insulation member is installed to mutually insulate the spool and the bobbin and the respective driving motors rotating the same, so that disconnection detection of the wire saw device for cutting the ingot may not affect the driving state of each driving motor. A method is provided.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 단선감지유닛을 구비한 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 개략도,
도 2는 도 1의 전원부의 상세도,
도 3은 도 1의 컨트롤러의 상세도,
도 4는 도 1의 커플링부의 상세도,
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 잉곳 절단용 와이어쏘 장치를 이용한 단선감지방법의 순서도이다.1 is a schematic diagram of an ingot cutting wire saw device having a disconnection detecting unit according to a first embodiment of the present invention;
2 is a detailed view of the power supply unit of FIG. 1;
3 is a detailed view of the controller of FIG. 1;
4 is a detailed view of the coupling part of FIG. 1;
5 is a flowchart of a disconnection detection method using an ingot cutting wire saw device according to a first embodiment of the present invention.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to the description, in the various embodiments, components having the same configuration will be representatively described in the first embodiment using the same reference numerals, and in other embodiments, different configurations from the first embodiment will be described. do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 단선감지유닛을 구비한 잉곳 절단용 와이어쏘 장치에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail with respect to the ingot cutting wire saw device having a disconnection detection unit according to a first embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 단선감지유닛을 구비한 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 개략도이다.1 is a schematic diagram of an ingot cutting wire saw device having a disconnection detecting unit according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 단선감지유닛을 구비한 잉곳 절단용 와이어쏘 장치(1)는 상부로부터 하향으로 이동하도록 배치되는 잉곳(10), 잉곳(10)의 하부에 배치되며 외측면에 와이어(30)가 권취되어 잉곳(10)을 절단하는 적어도 두 개의 메인롤러(20), 두 메인롤러(20)에 와이어(30)를 공급 및 회수하도록 설치되는 스풀(40)과 보빈(50), 각 부분을 경유하는 와이어(30)의 단선유무를 감지하는 단선감지유닛(70)을 포함하여 구성될 수 있다.Referring to FIG. 1, the ingot cutting wire saw device 1 including the disconnection detecting unit 1 according to the first embodiment of the present invention has an ingot 10 and a lower portion of the ingot 10 arranged to move downwardly from an upper portion thereof. At least two main rollers 20 disposed on the outer surface and wound on the outer surface to cut the ingot 10, and a spool 40 installed to supply and retrieve the wires 30 to the two main rollers 20. ) And the bobbin 50, it may be configured to include a disconnection detecting unit 70 for detecting the disconnection of the wire 30 via each part.

상기 와이어(30)는 스풀(40)로부터 일 방향으로 풀리도록 배치되어 다수의 롤러배치구조(미도시) 등을 경유하여 메인롤러(20)의 외측에 감겨지고 다수의 롤러배치구조(미도시)를 경유하여 보빈(50)에 감겨지도록 설치된다.The wire 30 is disposed so as to be released in one direction from the spool 40 and wound around the outer side of the main roller 20 via a plurality of roller arrangement structures (not shown) and the like, and a plurality of roller arrangement structures (not shown). It is installed to be wound on the bobbin 50 via the.

여기서, 상기 스풀(40)과 상기 보빈(50)은 각각 동축으로 연결되는 구동모터(80)에 의해 일 방향으로 회전되도록 설치되고, 각 구동모터(60)는 후술할 컨트롤러(72) 또는 별도로 마련된 제어부를 통해 제어될 수 있다.Here, the spool 40 and the bobbin 50 are installed to be rotated in one direction by the drive motor 80 is coaxially connected, respectively, each drive motor 60 is provided with a controller 72 to be described later or separately It can be controlled through the control unit.

상기 메인롤러(20)는 소정의 구동모터 등에 의해 회전하도록 설치되어 외측에 감겨진 와이어(30)에 의해 하향으로 이동되는 잉곳(10)을 절단할 수 있다.The main roller 20 may be installed to rotate by a predetermined driving motor or the like to cut the ingot 10 moved downward by the wire 30 wound on the outside.

그리고, 메인롤러(20)의 상부에는 잉곳(10) 절단시 슬러리(slurry)를 분사하도록 노즐(90)이 설치될 수 있다.In addition, the nozzle 90 may be installed at the upper portion of the main roller 20 to spray a slurry when cutting the ingot 10.

상기 단선감지유닛(70)은 본 발명의 핵심으로서, 스풀(40)과 보빈(50) 사이에 전원부(71), 컨트롤러(72), 커플링부(73)을 포함하여 사전에 설정된 설정 전압을 인가하고, 인가한 전압을 검출하여 와이어의 단선을 감지하도록 설치된다.The disconnection detecting unit 70 is a core of the present invention, and includes a power supply 71, a controller 72, and a coupling 73 between a spool 40 and a bobbin 50 to apply a preset voltage. And it is installed to detect the disconnection of the wire by detecting the applied voltage.

도 2는 도 1의 전원부의 상세도이다. 도 2를 참조하면, 상기 전원부(71)는 스풀(40)과 보빈(50)의 사이에 배치되는 전원인가부재(711)와 상기 전원인가부재(711)의 양측에 연결되는 제1저항부재(712), 제2저항부재(713)을 포함하여, 와이어(30)에 사전에 설정된 설정 전압을 인가할 수 있다.FIG. 2 is a detailed view of the power supply unit of FIG. 1. Referring to FIG. 2, the power supply unit 71 may include a power applying member 711 disposed between the spool 40 and the bobbin 50 and a first resistance member connected to both sides of the power applying member 711. 712 and the second resistance member 713 may apply a preset voltage to the wire 30.

상기 전원부(70)를 통해 발생된 전압이 와이어쏘 장치에 인가되도록 스풀(40)과 보빈(50)의 일 측에는 전도부재(a)가 설치되어 상기 전원부(70)와 전기적으로 연결되어, 상기 전도부재(a)를 통해 전원부(71)로부터 전압이 스풀(40) 및 보빈(50)을 거쳐 와이어(30)로 전달될 수 있다.One side of the spool 40 and the bobbin 50 is installed on the side of the spool 40 and the bobbin 50 so that the voltage generated through the power supply 70 is applied to the wire saw device, and is electrically connected to the power supply 70. Voltage may be transmitted from the power supply unit 71 via the member a to the wire 30 via the spool 40 and the bobbin 50.

상기 전원인가부재(711)는 소정의 전압을 발생시키도록 마련되며, 상기 제1, 제2저항부재(712,713)는 상기 전원인가부재(711)로부터 발생된 전압이 와이어(30)에 과도하게 인가되는 것을 방지하기 위한 수단이다.The power applying member 711 is provided to generate a predetermined voltage, and the first and second resistance members 712 and 713 excessively apply the voltage generated from the power applying member 711 to the wire 30. It is a means to prevent that.

도 3은 도 1의 컨트롤러의 상세도이다. 도 3을 참조하면, 상기 컨트롤러(72)는 전압검출부(721)와 비교판단부(713)을 포함하여, 스풀(40), 보빈(50) 및 메인롤러(20) 등을 제어하는 메인제어부(미도시)에 와이어(30)가 단선되었음을 전송하도록 설치될 수 있다.3 is a detailed view of the controller of FIG. 1. Referring to FIG. 3, the controller 72 includes a voltage detector 721 and a comparison determination unit 713 to control the spool 40, the bobbin 50, the main roller 20, and the like. It may be installed to transmit that the wire 30 is disconnected.

이때, 메인제어부로 단선유무에 대해 전송하면서 또는 전송하지 않고, 직접 소정의 알람 또는 경광등을 별도로 설치하여 작업자에게 와이어(30)의 단선을 알리도록 설치할 수도 있다.At this time, the main controller may be installed so as to notify the worker of disconnection of the wire 30 by separately installing a predetermined alarm or warning light while transmitting or not transmitting the disconnection to the main controller.

또한, 컨트롤러(20)는 상술한 전원부(71)를 통해 인가된 전압은 스풀(40), 메인롤러(20), 보빈(50)을 거쳐 컨트롤러(20)에서 검출하도록 설치할 수 있다.In addition, the controller 20 may be installed to detect the voltage applied through the power supply unit 71 described above through the spool 40, the main roller 20, and the bobbin 50.

구체적으로, 상기 전압검출부(721)는 와이어쏘 장치의 최초 세팅시 또는 구동시에 상기 전원부(71)를 통해 와이어(30)에 인가된 전압을 검출하도록 마련된다.Specifically, the voltage detector 721 is provided to detect the voltage applied to the wire 30 through the power supply 71 at the time of initial setting or driving of the wire saw device.

상기 비교판단부(722)는 사전에 기준 전압이 설정되며, 상기 전압검출부(721)로부터 검출된 와이어(30)의 검출 전압과 기준 전압을 비교하여 와이어(30)의 단선유무를 판단하도록 마련된다. 여기서, 기준 전압은 전원부(70)에서 설정되는 설정 전압 미만인 것이 바람직하다.The comparison determination unit 722 is previously set to a reference voltage, and is provided to determine the disconnection of the wire 30 by comparing the detected voltage of the wire 30 detected by the voltage detector 721 and the reference voltage. . Here, the reference voltage is preferably less than the set voltage set in the power supply unit 70.

상기와 같이 마련된 상태에서 검출 전압이 기준 전압보다 낮은 경우에는 와이어(30)가 단선된 것으로 판단하여 메인제어부로 와이어(30)가 단선되었음을 전송할 수 있다.When the detection voltage is lower than the reference voltage in the state provided as described above, it is determined that the wire 30 is disconnected, and thus, the wire 30 is disconnected to the main controller.

구체적으로, 전압검출부(721)를 통해 검출된 검출 전압이 0(V)를 초과하고 기준 전압 미만인 경우에는 와이어(30)의 단선으로 감지하고, 이를 메인제어부로 전송한다.Specifically, when the detected voltage detected by the voltage detector 721 is greater than 0 (V) and less than the reference voltage, it is sensed as disconnection of the wire 30, and transmitted to the main controller.

그리고, 전압검출부(721)를 통해 검출된 검출 전압이 0(V)인 경우에는 와이어(30)가 단선되어 롤러배치구조 등으로부터 이탈하여 다른 기구 장치와 접촉된 상태로 감지하고, 이를 메인제어부로 전송한다.When the detected voltage detected by the voltage detector 721 is 0 (V), the wire 30 is disconnected, separated from the roller arrangement structure, and detected as being in contact with another mechanism device. send.

메인제어부를 통해 인지된 단선정보는 작업자에게 디스플레이 또는 알람 등으로 통보되도록 하거나 소정의 프로그램 등을 통해 자동적으로 장치 전체를 멈추게 할 수 있다.  The disconnection information recognized through the main control unit may be notified to the operator by a display or an alarm, or may automatically stop the entire apparatus through a predetermined program.

도 4는 도 1의 커플링부의 상세도이다. 도 4를 참조하면, 커플링부(73)는 제1, 제2커플러(731,732), 제1,제2절연부재(734,735), 휨디스크(733)를 포함하여 구성될 수 있다.4 is a detailed view of the coupling part of FIG. 1. Referring to FIG. 4, the coupling part 73 may include first and second couplers 731 and 732, first and second insulating members 734 and 735, and a bending disc 733.

상기 제1, 제2커플러(731,732)는 대략 원통형으로 형성되며, 내부에는 스풀(40) 또는 보빈(50)과 결합되는 결합축 또는 구동모터(60)의 구동축이 내입되어 결합되는 결합홀(731a, 732a)가 각각 형성되어, 스풀(40), 보빈(50) 또는 구동모터(60)의 회전과 연동하여 회전할 수 있다.The first and second couplers 731 and 732 are formed in a substantially cylindrical shape, and coupling holes 731a into which a coupling shaft coupled to the spool 40 or the bobbin 50 or a driving shaft of the driving motor 60 are inserted. , 732a may be formed to rotate in conjunction with rotation of the spool 40, the bobbin 50, or the driving motor 60.

또한, 가장자리에는 다수 개의 끼움홀이 형성되어 후술할 제1,제2절연부재(734,735)가 끼움맞춤 등의 방법으로 결합될 수 있다.In addition, a plurality of fitting holes may be formed at the edges, such that the first and second insulating members 734 and 735 to be described later may be coupled by a fitting method.

상기 제1, 제2절연부재(734,735)는 소정의 절연재질로 마련되며, 상기 끼움홀에 끼워맞춤 등의 방법으로 결합되도록 형성되며, 내부는 볼트 등의 체결수단이 삽입될 수 있는 체결홀이 형성될 수 있다.The first and second insulating members 734 and 735 are formed of a predetermined insulating material, and are formed to be coupled to the fitting hole by a fitting method, and the like, and a fastening hole into which a fastening means such as a bolt can be inserted. Can be formed.

상기 휨디스크(733)는 원형, 다각형 등으로 마련된 얇은 판형부재로서, 제1커플러(731)와 제2커플러(732)에 결합된 각 축이 연동하여 회전시 축중심이 일치되지 않아 동심을 유지하지 못하면서 어긋난 상태로 회전하는 경우 이를 보상할 수 있다.The bending disk 733 is a thin plate-shaped member provided in a circle, polygon, etc., each axis coupled to the first coupler 731 and the second coupler 732 is interlocked to maintain the concentric because the axis of the center does not match when rotating. If you do not rotate the rotation can be compensated for this.

이를 위해 휨디스크(733)는 제1커플러(731)와 제2커플러(732)의 사이에 위치하도록 하는 것이 바람직하며, 상술한 끼움홀 및 체결홀에 대응되는 영역에 결합홀이 형성되어 볼트(736)와 너트(737)를 통해 체결될 수 있다.To this end, the bending disk 733 is preferably positioned between the first coupler 731 and the second coupler 732, and a coupling hole is formed in an area corresponding to the fitting hole and the fastening hole. 736 and nut 737 may be fastened.

상기 제1, 제2절연부재(734,735)를 통해 구동모터(60)의 구동축과 스풀(40) 또는 보빈(50)과 결합되는 결합축이 상호 절연됨으로써 스풀(40) 또는 보빈(50)에 인가되는 전압이 구동모터(60) 측으로 인가되지 않을 수 있다.
The driving shaft of the driving motor 60 and the coupling shaft coupled to the spool 40 or the bobbin 50 are mutually insulated through the first and second insulating members 734 and 735 to be applied to the spool 40 or the bobbin 50. The voltage may not be applied to the driving motor 60.

지금부터는 상술한 단선감지유닛을 구비한 잉곳 절단용 와이어쏘 장치를 이용한 단선감지방법에 대해 설명한다.The disconnection detection method using the wire saw device for cutting ingots provided with the disconnection detection unit described above will now be described.

도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 단선감지유닛을 구비한 잉곳 절단용 와이어쏘 장치를 이용한 단선감지방법의 순서도이다.5 is a flowchart of a disconnection detection method using a wire saw device for cutting an ingot having a disconnection detection unit according to a first embodiment of the present invention.

먼저, 전원부(71)를 통해 외이어(30)에 사전에 설정된 설정 전압을 인가한다(S10).First, the preset voltage is applied to the outer wire 30 through the power supply unit 71 (S10).

그리고, 와이어(30)에 인가된 전압을 컨트롤러(72)의 전압검출부(721)를 통해 검출한다(S20). 이어, 비교판단부(722)를 통해 검출된 검출 전압을 사전에 설정된 기준 전압과 비교하여 검출 전압이 기준 전압보다 낮으면 와이어(30)가 단선된 것으로 판단하고(S31). 검출 전압이 기준 전압보다 높거나 같으면 단선이 아니라고 판단한다(S32).Then, the voltage applied to the wire 30 is detected through the voltage detector 721 of the controller 72 (S20). Subsequently, the detection voltage detected through the comparison determination unit 722 is compared with a preset reference voltage, and when the detection voltage is lower than the reference voltage, it is determined that the wire 30 is disconnected (S31). If the detected voltage is higher than or equal to the reference voltage, it is determined that there is no disconnection (S32).

만약, 검출 전압이 기준 전압보다 낮고, 0(V)이면 단선된 와이어(30)가 다른 기구의 소정 부분에 접촉해 있다고 판단한다.If the detected voltage is lower than the reference voltage and is 0 (V), it is determined that the disconnected wire 30 is in contact with a predetermined part of another mechanism.

상기와 같이 판단된 상태에서 단선감지유닛에 별도로 구비되는 디스플레이, 알람, 스피커 등을 통해 와이어의 단선 또는 접촉을 알림으로써 작업자는 용이하게 단순하게 단선인지 아니면 단선된 상태에서 다른 기구와 접촉된 상태인지를 쉽게 식별할 수 있다.In the state determined as described above, by notifying the disconnection or contact of the wire through a display, an alarm, a speaker, etc., which are separately provided in the disconnection detection unit, whether the worker is simply disconnected or is in contact with another apparatus in the disconnected state. Can be easily identified.

한편, 컨트롤러(20)는 와이어(30)가 단선이라고 판단되는 경우에는 단선정보를 메인제어부로 전송하고, 단선된 와이어(30)가 다른 설비에 접촉되었다고 판단되는 경우에는 접촉정보를 메인제어부로 전송하도록 프로그래밍되어 있을 수도 있다.On the other hand, the controller 20 transmits the disconnection information to the main control unit when it is determined that the wire 30 is disconnected, and transmits the contact information to the main control unit when it is determined that the disconnected wire 30 is in contact with other equipment. It may be programmed to do so.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 잉곳 절단용 와이어쏘 장치를 이용한 단선감지방법을 통해 와이어(30)의 단선과, 와이어(30)가 단선된 후 단선된 와이어(30)가 다른 기구들에 접촉된 상태의 전압변화가 서로 다르게 구분되어 있어 이를 구분하여 감지할 수 있다.As described above, the disconnection of the wire 30 and the disconnected wire 30 after the disconnection of the wire 30 through the disconnection detection method using the wire saw device for cutting the ingot according to the present invention contacts other mechanisms. The voltage changes in the closed state are distinguished from each other and can be detected by distinguishing them.

여기서, 와이어가 단선된 상태와 단선되서 접촉된 상태를 구분하여야 하는 이유에 대해 설명한다.Here, the reason why the wire is disconnected from the disconnected state and the contacted state will be described.

일반적인 와이어쏘 장치에서 단선이 발생하는 부분은 롤러배치구조 또는 스풀 또는 보빈 등에서 발생하는 경우와 잉곳을 절단하는 부분에서 발생하는 경우가 대표적이다.In the general wire saw device, disconnection occurs in a roller arrangement or spool or bobbin, and the ingot is cut.

이때, 롤러배치구조에서 발생하는 경우에는 와이어(30)의 단선이 외부에서도 식별이 용이할 수 있다.At this time, in the case of the roller arrangement structure, the disconnection of the wire 30 may be easily identified from the outside.

그런데, 잉곳을 절단하는 부분에서의 와이어는 대략 300~400회 메인롤러(20)에 권취된 상태에서 잉곳(10)을 얇은 두께의 웨이퍼로 절단하게 되는데, 이때 절단되는 웨이퍼 사이 사이에 와이어(30)가 끼인 상태에서 단선이 발생할 수 있다.By the way, the wire in the cutting part of the ingot is cut to the ingot 10 to a thin thickness of the wafer in the state wound around the main roller 20 300 to 400 times, the wire 30 between the wafer to be cut at this time Disconnection may occur when) is pinched.

이런 경우에는 와이어(30)가 단선되더라도 웨이퍼를 통해 통전되어 일정 전압이 발생한다.In this case, even though the wire 30 is disconnected, it is energized through the wafer to generate a constant voltage.

즉, 종래 단선감지는 와이어의 전압이 0(V)일 경우에만 단선으로 감지하므로 이를 정확하게 식별해 낼 수 없었고, 이에 따라 와이어쏘 장치를 계속 구동함으로써 생산되는 웨이퍼의 생산효율이 낮았었다.That is, the conventional disconnection detection can not be accurately identified because the detection of the disconnection only when the voltage of the wire is 0 (V), and thus the production efficiency of the wafer produced by continuing to drive the wire saw device was low.

그런데, 본 발명에 따른 잉곳 절단용 와이어쏘 장치를 이용하면, 0(V)를 초과하는 기준 전압을 설정하여 단선유무를 감지함으로써, 단선된 와이어가 웨이퍼를 통해 통전되더라도 이를 감지해 낼 수 있어 종래보다 와이어의 단선유무 감지 정확도가 현저하게 향상된다.However, by using the wire saw device for cutting ingots according to the present invention, by setting a reference voltage exceeding 0 (V) to detect the presence of disconnection, even if the disconnected wire is energized through the wafer it can be detected In addition, the detection accuracy of wire breaks is significantly improved.

또한, 0(V)일 경우에는 단선된 와이어가 롤러배치구조 등으로부터 이탈되어 다른 기구에 접촉된 상태를 나타내므로, 작업자의 육안 뿐만 아니라 검출 전압을 통해서 와이어의 단선유무를 감지해 낼 수 있다.In addition, in the case of 0 (V), since the disconnected wire is separated from the roller arrangement structure and the like and is in contact with another mechanism, the presence or absence of disconnection of the wire can be detected through the detection voltage as well as the human eye.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※
10 : 잉곳 20 : 메인롤러 30 : 와이어
40 : 스풀 50 : 보빈 60 : 구동모터
70 : 단선감지유닛 71 : 전원부 711 : 전원인가부재
712 : 제1저항부재 713 : 제2저항부재 72 : 컨트롤러
721 : 전압검출부 722 : 비교판단부 73 : 커플링부
731 : 제1커플러 732 : 제2커플러 733 : 휨디스크
734 : 제1절연부재 735 : 제2절연부재 736 : 볼트
737 : 너트 ※ Explanation of code for main part of drawing ※
10: ingot 20: main roller 30: wire
40: spool 50: bobbin 60: drive motor
70: disconnection detection unit 71: power supply unit 711: power supply member
712: first resistance member 713: second resistance member 72: controller
721: voltage detection unit 722: comparison determination unit 73: coupling unit
731: first coupler 732: second coupler 733: bending disc
734: first insulating member 735: second insulating member 736: bolt
737: Nut

Claims (10)

잉곳을 절단하도록 배치되는 적어도 두 개의 메인롤러와 상기 메인롤러에 와이어를 공급하는 스풀 및 상기 메인롤러로부터 와이어를 회수하는 보빈의 사이를 경유하는 와이어를 포함하는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법에 있어서,
전원부를 통해 상기 스풀과 상기 보빈에 설정된 설정전압을 인가하여 상기 스풀과 상기 보빈에 감겨진 와이어에 상기 설정 전압이 인가되도록 하는 단계;
상기 와이어에 인가된 상기 설정 전압을 컨트롤러를 통해 검출하는 단계;
상기 컨트롤러를 통해 검출된 검출 전압과 설정된 기준 전압을 비교하는 단계;
상기 검출 전압과 상기 기준 전압을 비교하여,
상기 검출 전압이 0(Ⅴ)이면 상기 와이어가 단선되어 상기 와이어쏘 장치의 일정 부분에 접촉된 것으로 판단하고,
상기 검출 전압이 0(Ⅴ) 초과 상기 기준 전압 미만이면 상기 와이어가 단선된 상태에서 절단되는 잉곳의 사이에 끼인 것으로 판단하고,
상기 검출전압이 상기 기준전압 이상이면, 상기 와이어가 단선이 아님으로 판단하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법.A disconnection detecting method of a wire saw device for cutting an ingot including at least two main rollers arranged to cut an ingot, a spool for supplying a wire to the main roller, and a wire passing through a bobbin for recovering the wire from the main roller. To
Applying a set voltage set to the spool and the bobbin through a power supply unit so that the set voltage is applied to the wire wound around the spool and the bobbin;
Detecting the set voltage applied to the wire through a controller;
Comparing the detected voltage detected by the controller with a set reference voltage;
By comparing the detected voltage and the reference voltage,
If the detection voltage is 0 (V), it is determined that the wire is disconnected and in contact with a portion of the wire saw device,
If the detection voltage is greater than 0 (V) and less than the reference voltage, it is determined that the wire is caught between the ingots cut in the disconnected state,
And determining that the wire is not disconnected when the detected voltage is equal to or greater than the reference voltage. The disconnection detecting method of the wire saw device for cutting an ingot, comprising: a. 제 1항에 있어서,
상기 스풀과 상기 보빈을 회전시키도록 연결된 각 구동모터는, 상기 스풀과의 사이 및 상기 보빈의 사이에 설치된 절연부재에 의해 상기 설정 전압이 각 구동모터로 인가되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법.The method of claim 1,
Each driving motor connected to rotate the spool and the bobbin is configured to prevent the set voltage from being applied to each driving motor by an insulating member provided between the spool and the bobbin. Disconnection detection method of wire saw device. 제 1항에 있어서,
상기 설정 전압은 상기 스풀과 상기 보빈의 각각에 설치된 전도부재를 통해 상기 스풀 및 상기 보빈을 거쳐 상기 와이어로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법.The method of claim 1,
And the set voltage is transferred to the wire through the spool and the bobbin through a conductive member installed on each of the spool and the bobbin. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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