KR101074633B1 - 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프에 관한 것으로, 한쌍의 주동축 및 종동축 상에 1,2단 스크류가 각각 나사리드길이를 달리하여 가공되어 일체형으로 장착되는 주,종동 스크류 로터와; 냉각수 주입구와 가스의 누설방지를 위한 오일실과 싱글베어링과, 세이프티 축과 플랜지 이음으로 체결되는 타이밍기어를 포함하는 전단 커버체와; 토출구의 워터재킷과 가스의 누설방지를 위한 미캐니컬실과 더블베어링으로 구성되는 전단 프레임과; 몸체 상부에 흡입구와 냉각수배출구가 양측면에 냉각수순환공간이 각기 형성되고 좌측부에는 상기 주,종축의 동작시나 설치시에 흔들림을 방지하도록 가이드플레이트가 장착되고 상기 주,종축이 체결되는 우측 끝단에는 오일실과 립실과 롤러베어링이 장착되는 본체와; 상기 본체의 우측단에 장착되어 상기 본체의 내부밀폐를 위한 그리스 커버체를 포함하여 구성된다.
따라서, 본 발명은 펌프의 효율과 스크류 로터의 길이,무게를 고려하여 상기 구성의 2단 스크류 로터를 적용해 고속회전이 가능하고 같은 동력하에서 더욱 고진공이 가능하며 동시에 동력을 절감할 수 있는 효과와, 상기 구성의 냉각수 흐름으로 실이나 베어링의 열화를 방지하고 온도차이에 의한 구성품의 변형을 방지하여 제품의 내구성을 높이는 효과가 있다.

Description

2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프{The water cooling dry vacuum pump which has two phase screw type}
본 발명은 건식진공펌프에 관한 것으로, 더욱 세부적으로는 스크류 날개의 형태와 갯수를 최적화하고 축과 일체화하여 고진공의 고효율과 토출구를 수냉식으로 냉각하여 제품의 내구성을 위한 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프에 관한 것이다.
일반적으로 진공펌프는 기밀용기 내의 기체분자를 제거하는 장치로 대기압 이하의 저압에서 기체를 흡입,압축해 대기 중에 방출하여 용기 속의 진공도를 높인다. 이러한 진공펌프는 크게 건식과 습식으로 각각 대변되는 기계적 진공펌프와 확산·이온펌프로 분류된다. 확산·이온펌프가 고진공을 실현하기 위해 기름 또는 수은을 사용하는 습식형인 것과 달리 기계적 진공펌프는 상대적으로 진공도가 낮기는 하지만 기름을 사용하지 않는 건식형이므로 상대적으로 구조가 간단하고 내구성이 좋고, 또한 안정된 진공도를 보여주므로 사용자가 손쉽게 운전할 수 있고 유지하는데 드는 비용이 적게 들어가는 장점이 있어 여러 산업분야에서 널리 쓰이고 있다.
본 발명의 배경이 되는 기술은 대한민국 등록특허공보 제10-0152174호(1998.06.25)에 개시되어 있다.
도 4는 상기 대한민국 등록특허공보 제10-0152174호(1998.06.25)의 스크류 진공펌프를 도시한 것으로서, 한 쌍의 주동축 및 종동축 상에 복수단의 스크류를 직렬로 배치하는 다단형 스크류를 가공함에 있어 복수단의 스크류 나사 리드길이가 다르도록 별개체로 가공된 후 상기 주동축과 종동축상에 그의 단부면들이 접촉하도록 기워맞춤하여 고정시키되 상기 복수단의 스크류는 나사 리드길이가 펌프 흡입측으로부터 토출측으로 갈수록 줄어드는 순서대로 조립되는 것을 특징으로 하는 구조로 되어있다.
또한, 펌프 본체의 양측으로 커버체가 결합되고, 일측의 커버체와 본체의 사이에는 토출구(54)가 위치하는 구조로 되어있다. 상기 펌프의 본체 내부에는 상기 토출구(54)가 위치한 곳으로 연통되는 통공이 형성되고, 상기 통공을 통과한 가스는 통공의 후단에 연결형성되고 상기 토출구(54)의 하단에 위치한 배출공간을 통과하여 토출구(54)를 통해 외부로 배출된다.
그러나, 상기 종래 기술의 스크류 진공펌프는 복수단의 스크류 로터를 구성함에 있어서 주,종동 회전축(43),(44)과 복수단의 제 1,2,3단 스크류(45,46),(47,48),(49,50)를 따로 가공한 후 상기 복수단의 스크류들을 키나 핀부재 등의 고정수단(55)에 의해 회전축(43),(44)에 고정하는 구조이므로 주,조동스크류로터(41),(42)의 고속회전시 필연적으로 내구성의 문제로 인하여 일정속도 이상 높일 수 없는 문제가 있다.
또한, 제 1,2,3단 스크류들은 각기 3종류의 길이를 가지며 각단은 2개씩의 스크류 나사산들로 구성되어 총 6개의 스크류 나사산으로 이루어지는 구조임을 알수 있는데, 이는 흡입되는 공기를 연속 압축하여 배출함으로써 펌프의 효율을 높이는 효과는 있으나 이로 인하여 스크류 로터 길이의 증가와 무게의 증가로 인해 가스의 이동경로 증가와 사용동력 증가가 발생하는 문제점이 있다.
그리고, 일반적으로 스크류 진공펌프는 고온의 가스가 배출되는데 토출구의 배출 가스의 온도가 가장 높고 배출구로 갈수로 온도가 떨어지는 형태의 온도차가 있으며 이로 인해 진공펌프의 전체 케이싱의 변형과 내부 구성부품의 변형이 일어나며 이러한 변형은 펌프의 내구성 약화의 주요한 원인이라는 문제점이 있다.
KR 10-0152174 1998. 06. 25. 도면2
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에서는 기본적인 1단 펌프 구성에 스크류 리드의 변화를 주는 스크류형 건식진공펌프구조를 채택함에 있어 2단의 스크류를 가지고 각단의 스크류는 등변의 스크류 리드길이를 가지며 각단은 2개의 스크류와 3개의 스크류로 이루어지도록 구성함으로써 최적의 조합으로 길이와 무게를 단축하여 동력을 절감하면서도 높은 압축력과 고진공을 실현할 수 있고 상기 각단의 스크류들은 회전축과 일체형으로 가공되어 내구성을 향상시킴으로써 고속의 회전에서도 견디도록 하는 것과
토출구에 격벽을 설치하여 워터재킷을 장착하고 본체에도 냉각수 순환공간을 형성한 후 순차적으로 냉각수가 흐르도록 구성함으로써 토출구로부터 시작되는 온도차에의한 제품의 변형을 방지하여 제품의 내구성이 향상된 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프를 제공하는데 목적이 있다.
목적을 달성하기 위한 구성으로는, 한쌍의 주동축 및 종동축 상에 1,2단 스크류가 각각 나사리드길이를 달리하여 일체형으로 가공되어 형성되는 주,종동 스크류 로터; 펌프를 냉각하기 위한 냉각수 주입구가 하단부에 2개가 장착되고 세이프티 축이 통과하여 체결되는 부위에는 가스의 누설방지를 위한 오일실과 싱글베어링이 장착되며, 상기 주,종동축의 좌측 끝단 부위에는 파워록핀으로 고정된 후 체결되어 플랜지 이음으로 세이프티 축과 체결되는 타이밍기어가 위치하여 구성되는 전단 커버체와; 배출되는 공기가 빠져나오는 토출구의 내벽면 상에 워터재킷을 형성할 수 있도록 장착되는 토출구 격벽과, 상기 주,종동축이 삽입 체결되는 부위에 장착되어 가스의 누설방지를 위한 미캐니컬실과 더블베어링으로 구성되는 전단 프레임과; 공기를 흡입하는 흡입구가 상부상에 장착되고 냉각수가 순환되는 공간인 냉각수순환공간과 냉각수배출구가 형성되어 있고 상기 주,종동축이 삽입되어 체결되는 좌측부에는 상기 주,종동축의 동작시나 설치시에 흔들림을 방지하도록 가이드플레이트가 장착되고 상기 주,종동축이 체결되는 우측 끝단에는 가스의 누설방지를 위한 오일실과 립실이 장착되며 또한 상기 주,종동축의 원활한 회전을 위한 롤러베어링이 장착되는 본체와; 상기 본체의 우측단에 장착되어 상기 본체의 내부밀폐를 위한 그리스 커버체를 포함하여 구성된다.
상기한 바와 같이, 본 발명은 흡입부로부터 유입되는 공기를 압축하고 이동시킬 수 있도록 하되 성능과 소비전력의 변수가 되는 스크류 로터 날개의 갯수와 이에 따르는 길이와 무게를 진공효율과 고려하여, 각각 등변의 나사리드길이를 가지는 2개의 날개로 이루어지는 1단 스크류와 3개의 날개를로 이루어지는 2단 스크류가 스크류 로터의 회전축 상에서 1단과 2단의 나사리드길이는 서로 달리하며 흡입부 쪽에는 상대적으로 긴 나사리드길이를 가지는 1단 스크류가, 토출부 쪽에는 그보다 긴 나사리드길이를 가지는 2단 스크류가 위치하도록 일체형으로 가공된 후 장착됨으로써, 같은 소비전력에서 상대적으로 더높은 진공효율이 실현되는 최적화된 스크류 날개 조합과 가스 이동경로의 감소와 스크류와 축이 일체형이므로 스크류 로터의 내구성이 향상에 따른 고속회전의 실현으로 진공펌프에서 고진공의 고효율과 사용 동력 절감의 효과와, 토출부에 격벽을 설치하여 워터자켓을 장착하고 순차적으로 몸체를 따라 냉각수가 흐르도록 함으로써 고온의 가스에 의한 베어링과 실의 열화 방지뿐 아니라, 토출부와 흡입부의 온도차로 인한 제품 구성품들의 변형을 방지하여 내구성을 높이는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프의 횡단면도.
도 2는 도 1에 따른 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프의 종단면도.
도 3은 도 1에 따른 본 발명의 2단 스크류를 구비한 스크류 로터의 측면도.
도 4는 종래기술에 따른 건식진공펌프의 횡단면도.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프의 횡단면도이고, 도 2는 도 1에 따른 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프의 종단면도이며, 도 3은 일체형 스크류 로터의 측면도이고, 도 4는 종래기술에 따른 건식진공펌프의 횡단면도이다.
이하, 도면을 참고로 구성요소를 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 실시 예에 따른 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프는, 도 1에서 도시한 바와 같이, 주,종동 스크류로터(10),(20)가 내설되어있는 본체(50)와 전단커버체(30)의 사이에 워터재킷(43)이 설치되는 전단 프레임(40)과 본체(50)의 후단부를 밀폐하는 그리스 커버체(60)로 크게 구성된다.
여기서 먼저, 상기 주,종동 스크류 로터(10),(20)는, 도 1과 도 3에서 도시한 바와 같이, 주,종동축(11),(21)과 제 1단 스크류(12),(22),제 2단 스크류(13),(23) 및 주동축(21)과 구동모터를 연결하는 세이프티축(15)으로 구성된다. 상기 주,종동축(11),(21)과 상기 스크류들은 일체형으로 가공된다. 상기 제 1,2단 스크류(12,13),(22,23)들은 각기 나사리드길이가 다르게 가공되며 그들의 외경(D)과 골지름(d)은 각 단 모두 동일하다. 그리고 상기 제 1단 스크류(12),(22)의 나사산수는 2개 이고 제 2단 스크류(13),(23)의 나사산수는 3개이다. 각기 나사리드길이 L1과 L2는 다르게 가공된 제 1,2단 스크류(12,22),(13,23)는 나사리드길이가 L1으로 큰 쪽이 펌프 흡입구(51)쪽에, L2로 작은 쪽이 펌프 토출구(41)쪽에 위치하도록 형성된 후, 주,종동 스크류 로터(10),(20)의 치형을 계합시켜 펌프 본체(50)의 일체형 케이싱내에 긴밀하게 수용된다.
상기 전단 커버체(30)는, 도 1과 도 2에서 도시한 바와 같이, 배출되는 공기와 그로 인한 펌프를 냉각하기 위하여 냉각수 주입구(31)가 상기 전단 커버체(30)의 하단부의 외면상에 각각 2개가 장착되는데 가장 하부에 하나가 장착되고 다른 하나는 상기 타이밍기어(34)가 위치한 곳의 하부에 장착된다. 외면상에 형성된 상기 냉각수 주입구(31)는 나사탭과 연결되어 냉각수 관과 연결되도록 한다. 또한, 상기 주동 스크류 로터(10)의 주동축(11)과 구동 모터를 연결하는 세이프티 축(15)이 통과하여 체결되는데 상기 주동축(11)의 일측단에 파워록핀(35)으로 고정되어 체결되는 상기 타이밍기어(34)와 상기 세이프티 축(15)의 일측단과 플랜지(16) 연결로 체결된다. 그리고 상기 종동 스크류 로터의 종동축(21)이 통과하여 체결되는 일측단에는 상기 주동축(11)과 같은 방식으로 타이밍기어(34)가 체결되어 상기 주동축(11)에 체결된 타이밍기어(34)와 맞물리도록 설치된다. 그리고 상기 세이프티 축(15)이 구동 모터가 위치한 쪽으로 통과하는 상기 전단 커버체(30) 부위에는 가스의 누설을 방지하고 상기 축들의 원활한 회전작동을 위한 오일실(32)과 싱글베어링(33)이 체결된다.
상기 전단 프레임(40)은, 도 1과 도 2에서 도시한 바와 같이, 가스가 배출되는 통로가 되는 토출구(41)가 도 1에서와 같이 펌프의 우측면에 형성되는데 토출구(41) 내벽면에는 고온의 배출가스로 인한 펌프의 열화를 방지하기 위해 내벽면에 토출구격벽(42)으로 구획된 워터재킷(43)이 형성된다. 상기 워터재킷(43)은 상기 냉각수 주입구(31)에서 주입되는 냉각수가 흐르도록 연결되어 있다. 또한, 상기 주,종동축(11),(21)이 통과하여 체결되는 상기 전단프레임(40) 부위에는 상기 축들의 원활한 회전작동을 위해 더블베어링(45)이 베어링고정핀(44)으로 고정되어 체결되고 가스의 누설을 방지하기위해 미캐니컬실(46)이 체결된다.
상기 본체(50)는, 도 1과 도 2에서 도시한 바와 같이, 상기 냉각수 주입구(31)로부터 시작되는 냉각수가 흐르도록 냉각수 순환공간(52a),(52b),(52c)이 상기 전단 프레임(40) 쪽에서부터 차례로 도 1에서 도시하는 바와같이 펌프의 양측면에 형성되어 있으며 상기 마지막 냉각수 순환공간(52c)의 일측 하나에는 펌프 상부면상을 통과하는 냉각수배출구(53)가 형성되어 있다. 또한 도 2에서 도시되는 바와 같이 상기 본체(50)의 우측 끝단 부위의 상부 중앙에는 가스가 흡입되는 흡입구(51)가 형성된다. 그리고 상기 본체(50) 내부에 수용되어 장착되는 상기 주,종동 스크류 로터(10),(20)의 설치와 작동시 안착을 도와주는 가이드 플레이트(54)가 각각 상기 전단 프레임(40)과 연결되는 부위쪽으로 상기 주,종동축 양측에 장착되며 상기 주,종동축(11),(21)이 삽입되어 고정되는 상기 몸체(50)의 타측 끝단부위에는 원활한 회전 작동을 위한 롤러베어링(57)과 가스의 누설을 막기 위해 오일실(55)과 립실(56)이 장착된다.
그리고, 도 1과 도 2에서 도시하는 바와 같이, 상기 본체(50)의 우측끝단의 외부면상에는 그리스 커버체(60)가 밀폐를 위한 덮개로써 장착된다.
이하에서는 상기 설명과 같이 구성된 본 발명의 작용을 도면을 참고로 설명한다.
먼저 모터가 구동되면 상기 주동축(11)이 회전하게 되며 각각의 타이밍기어(34)에 의하여 서로 맞물린 종동축(21)이 함께 회전하게 되어 한쌍의 주,종동 스크류 로터(10),(20)가 회전하게 된다. 상기 스크류 로터(10),(20)가 맞물려 돌아가면 펌프 흡입구(51)를 통해 가스가 흡입되어 2개의 등변피치를 가지는 제 1단 스크류(12),(22)에 의해 밀려나며 압축되어 이동하고 더욱 용적이 작아지는 3개의 등변피치를 가지는 제 2단 스크류(13),(23)를 통과하면서 더욱 압축된 후 토출구(41)를 통해 배출되어진다. 이때 가스가 압축되는 효율면에서 본다면 상기 스크류 로터(10),(20)의 스크류 날개가 많을수록 유리하지만 그렇게 된다면 상기 스크류 로터의 무게가 늘어나게 되어 사용되는 전력이 증가하고 펌프로 흡입되는 가스의 이동경로가 늘어나게 되어 가스에 함유된 이물질들이 펌프내부에 침잠될 가능성이 높아지게 되는 문제가 발생하므로 압축효율 대비 스크류 날개의 조합을 고려하여 상술한 바와 같이 등변피치를 갖는 2개의 스크류 날개와 또 다른 등변피치를 갖는 3개의 스크류 날개를 갖는 스크류 로터를 가공하여 구성함으로써 같은 사용 전력의 조건하에서 보다 높은 고압축, 고진공이 실현되도록 하였다.
한편, 상기 설명과 같이 압축된 후 배출되어지는 가스는, 도 1에서 도시하는 바와같이 먼저 상기 가이드 플레이트(54)를 관통하여 상기 전단 프레임(40)의 종동 스크류로터(20)의 측면쪽의 공간으로 나아가고 다시 상기 공간에서 토출구(41)로 나아간다. 이때 상기 스크류 로터들의 회전작동에 의해 고온고압이 되어진 공기는 상기 토출구(41) 내벽면에 토출구격벽(42)에 의해 형성된 워터재킷(43)에 의해 냉각된다.
상기와 같이 배출되는 고온 고압의 배기가스는 펌프의 각각의 부위에 따라서 온도의 차이에 따라서 펌프의 각 구성품들은 열화되는 정도가 차이가 난다. 더욱 상세하게는, 배출되는 가스는 상기 본체(50)의 흡입구(51)에 흡입될 때가 가장 온도가 낮으며 상기 주,종동 스크류 로터(10),(20)를 통과하면서 압축과 회전이동으로 인하여 점점 고온 고압이 되어가며 마지막 전단 프레임(50)을 통과해 토출구(41)로 배출될때가 가장 온도가 높게 된다. 이러한 고온 고압의 가스가 이동할때 접촉되는 상기 펌프의 구성품들은 가스이동부위별로 차별적으로 열화되어 이점으로 인해 쉽게 변형이 일어나고 종국에는 상기 펌프의 내구성에 가장 큰 장애요인으로 작용한다.
즉, 본 발명에서는 냉각수가 상기 전단 커버체(30)의 냉각수 주입구(31)로 부터 주입되어 가장 먼저 상기 전단 프레임(40)의 토출구(41)의 워터재킷을 거쳐서 상기 본체(50)의 양측면에 형성된 냉각수 순환공간(52a),(52b),(52c)들을 차례로 흐르도록 한 후, 상기 냉각수 순환공간(52c) 일측 상부에 형성된 냉각수배출구(53)로 빠져나가도록 하여 상기 냉각수의 온도가 가장 낮을때 상기 펌프의 가장 고온 부위를 통과하도록 하고 그 다음의 온도의 부위를 순차적으로 흐르도록 하여 고온 고압의 가스에 의한 상기 펌프의 불균형적인 온도차에 의한 열화를 바로 잡게 되는 것이다.
본 발명은 특정의 실시 예와 관련하여 도시 및 설명하였지만, 첨부된 특허청구범위에 의해 나타난 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 개조 및 변화가 가능하다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.
10 : 주동 스크류 로터 11 : 주동축
12 : 1단 스크류 13 : 2단 스크류
14 : 플랭크 15 : 세이프티축
16 : 플랜지 20 : 종동 스크류 로터
21 : 종동축 22 : 1단 스크류
23 : 2단 스크류 24 : 플랭크
30 : 전단 커버체 31 : 냉각수주입구
32 : 오일실 33 : 싱글베어링
34 : 타이밍기어 35 : 파워록핀
40 : 전단 프레임 41 : 토출구
42 : 토출구격벽 43 : 워터재킷
44 : 베어링고정핀 45 : 더블베어링
46 : 미캐니컬실 50 : 본 체
51 : 흡입구 52a,52b,52c : 냉각수순환공간
53 : 냉각수배출구 54 : 가이드플레이트
55 ; 오일실 56 : 립실
57 : 롤러베어링 60 : 그리스 커버체
D : 바깥지름 d : 골지름
L1,L2 : 나사리드길이

Claims (6)

  1. 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프에 있어서,
    주동축(11) 상에 1,2단 스크류(12),(13)가 각각 나사리드길이를 달리하여 일체형으로 가공되어 형성되는 주동 스크류 로터(10);
    종동축(21) 상에 1,2단 스크류(22),(23)가 각각 나사리드길이를 달리하여 일체형으로 가공되어 형성되는 종동 스크류 로터(20);
    펌프를 냉각하기 위한 냉각수 주입구(31)가 하단부에 2개가 장착되고 세이프티 축(15)이 통과하여 체결되는 부위에는 가스의 누설방지를 위한 오일실(32)과 싱글베어링(33)이 장착되며, 상기 주,종동축(11),(21)의 좌측 끝단에는 파워록핀(35)으로 고정된 후 플랜지(16)이음으로 세이프티 축(15)과 체결되는 타이밍기어(34)가 위치하는 구성으로 이루어지는 전단 커버체(30);
    배출되는 공기가 빠져나오는 토출구(41)의 내벽면 상에 워터재킷(43)을 형성할 수 있도록 장착되는 토출구 격벽(42)과, 상기 주,종동축(11),(21)이 삽입 체결되는 부위에 장착되어 가스의 누설방지를 위한 미캐니컬실(46)과 더블베어링(44)으로 구성되는 전단 프레임(40);
    공기를 흡입하는 흡입구(51)가 상부상에 장착되고 냉각수가 순환되는 공간인 냉각수순환공간(52a),(52b),(52c)과 냉각수배출구(53)가 형성되어 있고 상기 주,종동축(11),(21)이 삽입되어 장착되는 좌측부에는 상기 주,종동축(11),(21)의 동작시나 설치시에 흔들림을 방지하도록 가이드플레이트가(54)가 장착되고 상기 주,종축(11),(21)이 체결되는 우측 끝단에는 가스의 누설방지를 위한 오일실(55)과 립실(56)이 장착되며 또한 상기 주,종동축(11),(21)의 원활한 회전을 위한 롤러베어링(51)이 장착되는 본체(50); 및
    상기 본체(50)의 우측단에 장착되어 상기 본체(50)의 내부밀폐를 위한 그리스 커버체(60)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 주동 스크류 로터(10))는
    상기 주동축(11)상에 각각의 나사리드길이가 같은 2개의 날개를 지니는 상기 1단 스크류(12)와 각각의 나사리드길이가 같은 3개의 날개를 지니는 상기 2단 스크류(13)가 상기 각단간의 나사리드 길이는 다르게 일체형으로 가공되고, 상대적으로 긴 나사리드 길이를 갖는 상기 1단 스크류(12)는 가스 흡입부측에 형성되고 상대적으로 짧은 나사리드 길이를 갖는 상기 2단 스크류(13)는 토출부측에 형성되어 상기 제 주,종동 스크류 로터에 형성된 상기 각 스크류들의 플랭크(14),(24)가 접촉하도록 끼워맞춤하여 고정되는 주동 스크류 로터(10)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 종동 스크류 로터(20))는
    상기 종동축(21)상에 각각의 나사리드길이가 같은 2개의 날개를 지니는 상기 1단 스크류(22)와 각각의 나사리드길이가 같은 3개의 날개를 지니는 상기 2단 스크류(23)가 상기 각단간의 나사리드 길이는 다르게 일체형으로 가공되고, 상대적으로 긴 나사리드 길이를 갖는 상기 1단 스크류(22)는 가스 흡입부측에 형성되고 상대적으로 짧은 나사리드 길이를 갖는 상기 2단 스크류(23)는 토출부측에 형성되어 상기 제 주,종동 스크류 로터에 형성된 상기 각 스크류들의 플랭크가 접촉하도록 끼워맞춤하여 고정되는 종동 스크류 로터(20)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 전단 커버체(30)는
    상기 전단 커버체(30)의 하부에는 냉각수가 주입되는 냉각수 주입구(31)가 상기 타이밍 기어(34)가 장착된 하부와 그 아래 위치의 외벽상에 각각 형성되며 외부 냉각수관과 연결되도록 상기 냉각수 주입구(31)의 표면에는 나사탭이 장착되고 상기 세이프티 축(15)이 외부의 모터와 연결되도록 통과하여 체결되는 좌측단 부위에는 가스의 누설방지를 위한 오일실(32)이 외벽면측에 장착되고 세이프티 축(15)이 원활이 움직이도록 상기 전단 커버체(30) 통과부위와 맞닿는 부위에는 싱글베어링(33)이 장착되며 상기 주동축(11)의 끝단에 파워록핀(35)으로 고정된후 타이밍기어(34)가 체결되며 상기 세이프티축(15) 우측에 형성된 플랜지(16)는 상기 타이밍기어(34)와 플랜지연결로 체결되는 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 전단 프레임(40)은
    상기 전단커버체(30)에서 상기 냉각수주입구(31)로 부터 유입되는 외부 냉각수의 이동경로는 상기 전단 프레임(40)의 토출구(41) 내벽측에 형성되고 토출구격벽(42)에 의해 격리된 워터재킷(43)의 내부로 연결되며 상기 본체(50)로 이어지고, 상기 주,종동축(11),(21)이 삽입되어 체결되는 각각의 부위의 좌측단에는 가스의 누설방지를 위하여 미캐니컬실(46)이 체결되고 우측단에는 상기 전단커버체(30) 외벽상에 베어링고정핀(44)으로 고정되어 체결되는 더블베어링(45)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 본체(50)는
    상기 전단프레임(40)에서 유입되는 냉각수의 이동경로는 상기 본체(50)의 양측에 위치한 상기 냉각수 순환공간(52a),(52b)과 차례로 연결되고 마지막으로 상기 본체(50)의 가장 우측단에 위치한 냉각수 순환공간(52c)으로 이어지고 상기 냉각수순환공간(52c)의 상부 본체(50) 외벽상에는 냉각수가 빠져나가도록 냉각수 배출구(53)가 형성되고, 상기 한쌍의 주,종동 스크류 로터(10),(20)는 각각의 스크류 플랭크(14),(24)가 접촉하도록 끼워맞춤되어 본체(50) 내부 공간에 빈틈없이 고정되며 상기 주,종동 스크류 로터(10),(20)가 삽입되어 고정되는 본체(50) 좌측단에는 가이드 플레이트(54)가 장착되고 우측단에는 가스의 누설 방지를 위하도록 오일실(55)과 립실(56)이 차례로 상기 주,종동축(11,21)과 본체(50)가 맞닿는 위치에 체결되며 상기 주,종동축(11,21)의 원활한 회전을 위한 롤러베어링(51)이 상기 립실(56)의 옆 위치에 장착되어 구성되는 것을 특징으로 하는 2단 스크류를 구비한 수냉식 건식진공펌프.
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