KR101073054B1 - 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치 - Google Patents

테스트 핸들러의 픽커부 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 테스트 핸들러에 적용되는 픽앤플레이스장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전자부품을 적재하거나 정렬하는 서로 다른 요소들 사이에서 전자부품을 이송할 때, 전자부품을 픽킹하기 위한 다수의 픽커로 구성된 픽커부의 이송장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치는 구동모터에 연결된 폴리에 의해 구동되어 픽커를 X축(수평) 이동시키는 볼 스크류 및; 구동모터에 의해 구동되어 상기 픽커를 Y축(수직) 이동시키는 랙기어 및 피니언기어를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 스크류와 랙 및 피니언 기어를 이용한 픽커부 이송장치는 종래의 벨트 이송장치에 비해, 진동발생이 극히 저하되며, 벨트쳐짐 또는 벨트마모에 의한 빈번한 벨트교체를 필요로 하지 않으며, 벨트 백레쉬에 의한 위치 정밀도를 높일 수 있다.
테스트 핸들러, 픽앤플레이스장치, 픽커부, 벨트 백레쉬, 랙 및 피니언기어

Description

테스트 핸들러의 픽커부 이송장치{TRANSFER SYSTEM FOR PICKER PORTION OF TEST HANDLER}
본 발명은 테스트 핸들러에 적용되는 픽앤플레이스장치(pick and place apparatus)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 집적회로(IC)나 반도체 칩 등과 같은 전자부품을 적재하거나 정렬하는 서로 다른 요소들 사이에서 전자부품을 이송할 때, 전자부품을 픽킹(picking)하기 위한 다수의 픽커(picker)로 구성된 픽커부의 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리나 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스와, 상기 디바이스들을 하나의 기판 상에 적절히 구성한 모듈을 포함하는 전자부품(이하, "전자부품"이라 총칭한다)은 생산 후 여러 가지 테스트를 거친 후에 출하된다. 이러한 테스트는 테스트 핸들러에 의하여 행해지고 있다.
테스트 핸들러는 테스트할 전자부품을 로딩부측 고객 트레이로부터 교환부의 테스트 트레이로 장착하고, 교환부에서 전자부품을 장착한 테스트 트레이를 테스트 부로 급송하여 전자부품을 테스트한다. 그리고, 핸들러는 테스트부를 거쳐 테스트 완료된 전자부품을 장착한 테스트 트레이를 교환부로 환송한 후, 전자부품을 테스트한 결과에 따라 그 등급에 맞게 분류하여 언로딩부측 고객 트레이로 반출한다. 상기 핸들러에는 로딩부와 교환부 사이와, 언로딩부와 교환부 사이에 전자부품을 잠시 대기시키기 위해 버퍼부가 마련된 예도 있다.
상기와 같이 서로 다른 요소들(고객 트레이, 테스트 트레이, 얼라이너, 버퍼부) 중 어느 두개의 요소들 사이에서 전자부품들을 이송하기 위해, 일 측의 요소로부터 전자부품을 픽킹한 후 타 측의 요소로 전자부품를 안착시키는 장치를 픽앤플레이스장치라 명명한다. 이러한 픽앤플레이스장치가 로딩부에 구성된 경우에는 로더 또는 로딩 핸드라고 칭하기도 하며, 언로딩부에 구성된 경우에는 언로더 또는 언로딩 핸드라고 칭하기도 한다.
위와 같은 픽앤플레이스장치는 전자부품을 파지하거나 파지해제 할 수 있는 복수의 픽커를 M×N(M 및 N은 자연수) 행렬 행태를 구비한다. 이러한 복수의 픽커로 구성되는 픽커부에서 이들 픽커를 이송하기 위해서는, 종래에는 벨트 또는 링크(이하, 벨트라 함)방식을 사용하였다.
도 1은 종래의 전자부품 픽커의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 전자부품 픽커부(100)는 픽커 베이스(110)와, 노즐 유닛(120), 및 탐지 유닛(130)을 포함하여 구성된다.
픽커 베이스(110)는 노즐 유닛(120)과 탐지 유닛(130)을 지지한다.
노즐 유닛(120)은 언로딩측 버퍼부로부터 테스트 완료된 전자부품들을 한 행 씩 픽업하여 언로딩부측 고객 트레이(C2)에 다수의 행과 열로 배열되어 마련된 전자부품 수납공간(S)들에 수납하는 기능을 한다. 이를 위해, 상기 노즐 유닛(120)은 전자부품을 각각 흡착하거나 탈착하는 다수의 노즐 어셈블리(121)들을 구비한다. 여기서, 노즐 어셈블리(121)들은 본 실시예에 따르면, 적어도 1행 다수 열로 배열되어 픽커 베이스(110)에 장착된다. 노즐 어셈블리(121)들이 다수 행으로 배열된 경우, 이에 상응하여 후술할 탐지 유닛(130)도 노즐 어셈블리(121)의 후방에서 다수 행으로 배열될 수 있다.
상기 노즐 어셈블리(121)들은 노즐(123)을 각각 포함하여 구성된다. 노즐(123)은 노즐 어셈블리 본체(122)의 하측에 배치되어 전자부품을 흡착 및 탈착하는 기능을 한다. 이를 위해, 노즐(123)은 공압 공급수단에 의해 부압을 공급받아서 전자부품을 흡착하고, 공압 공급수단에 의해 정압을 공급받아서 전자부품을 탈착할 수 있게 구성될 수 있다. 그리고, 노즐(123)은 전자부품을 픽업하고 수납하는 것이 용이할 수 있도록, 승강 수단에 의해 노즐 어셈블리 본체(122)에 대해 승강하게 구성될 수 있다. 승강 수단은 노즐(123)에 고정되고 노즐 어셈블리 본체(122)에 대해 승강 가능하게 된 승강부(124)와, 상기 승강부(124)에 공압 공급을 제어하여 승강부(124)를 승강시키는 승강용 공압 공급부를 포함하여 구성될 수 있다.
도 2는 종래의 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치의 구조도이다.
도 2를 참조하면, 이러한 이송장치는 종래의 벨트 이송장치를 사용하는데, 픽커부(200)는 바텀 플레이트(291)의 한쪽 끝부분에 지지 블럭(292)과 LM 고정블럭(290)이 결합되고, 이 LM 고정블럭(290) 내에 LM 가이드(도시되지 않음)가 설치된다.
또한, 상기 바텀 플레이트(291)의 다른 한쪽 끝부분에 베이스플레이트(210)에 결합되고, 이 베이스 플레이트(210)의 한쪽 끝에 픽커들(220) 중 한 쌍의 제 1 픽커(220-1)가 고정되도록 설치되어 있어서, 간격 조절시의 고정 기준점이 된다.
나머지 세 쌍의 제 2 픽커 내지 제 4 픽커(220-2 내지 220-4)는 구동모터(도시되지 않음)에 의해 구동되는 구동폴리(250)와 이 구동폴리(250)와 벨트(230)에 의해 연결된 종동폴리(250)의 회전에 의해 수평 이동거리(W1) 사이를 왕복 이동한다.
또한, 상기 벨트(230)에 벨트 클램프블럭(270)이 연결되고, 이 벨트 클램프블럭(270)에 결합된 이동 플레이트(280)가 상기 벨트(230)에 의해 이동되어, 상기 제 2 내지 제 4 픽커(220-2 내지 220-4)가 상기 이동 플레이트(280)와 상기 LM 고정블럭(290) 사이에 결합된 캠블럭(260) 내에 형성된 슬롯 홀을 따라 수직 이동거리(W2) 사이를 왕복 이동한다.
이러한 종래의 벨트 이송장치는 픽커 이송시 진동이 발생하며, 픽커이송에 따른 벨트 쳐짐 또는 벨트마모에 의한 빈번한 벨트교체를 필요로 하며, 벨트 백레쉬(backlash)에 의한 위치 정밀도가 저하된다는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해, 복수의 픽커 이송시 발생하는 진동, 벨트쳐짐 또는 벨트마모 및 벨트 백레쉬가 발생하지 않는 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치를 제공함에 있다.
본 발명은 상기한 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치는 구동모터에 연결된 폴리에 의해 구동되어 픽커를 X축(수평) 이동시키는 볼 스크류 및; 구동모터에 의해 구동되어 상기 픽커를 Y축(수직) 이동시키는 랙기어 및 피니언기어를 포함하며, 상기 볼 스크류는 1㎜와 3㎜의 상이한 피치를 가진 제 1 볼 스크류와 6㎜의 피치를 가진 제 2 볼스크류로 이루어진 3단 제어방식인 것을 특징으로 한다.
삭제
본 발명의 스크류와 랙 및 피니언 기어를 이용한 픽커부 이송장치는 종래의 벨트 이송장치에 비해, 진동발생이 극히 저하되며, 벨트쳐짐 또는 벨트마모에 의한 빈번한 벨트교체를 필요로 하지 않으며, 벨트 백레쉬에 의한 위치 정밀도를 높일 수 있다는 이점이 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치를 보다 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략될 것이다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 클라이언트나 운용자, 사용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도면 전체에 걸쳐 같은 참조번호는 같은 구성 요소를 가리킨다.
도 3은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부 전체 이송장치의 구조도이다.
도 3을 참조하면, 픽커부(300)는 베이스플레이트(도시되지 않음)의 중간부분에 LM 가이드(380)가 결합되고, 상기 베이스플레이트에 픽커들(350) 중 한 쌍의 제 1 픽커(350-1; 도 4 참조)가 고정되도록 설치되어 있어서, 간격 조절시의 고정 기준점이 된다.
나머지 세 쌍의 제 2 픽커 내지 제 4 픽커(350-2 내지 350-4; 도 4 참조)는 구동모터(도시되지 않음)에 의해 구동되는 폴리(360)와 이 폴리(350)에 연결된 볼 스크류(370, 도 4 참조)에 의해 픽커의 X축 이동방향이 제어되며, 랙기어(310)와 피니언기어(320)에 의해 이동에 의한 Y축 이동방향이 제어된다.
도 4는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부의 X축 이송을 위한 스크류의 구조도이다.
도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부(300; 도 3 참조)에서 픽커(350)의 X축 이송을 보다 상세히 살펴보고자 한다.
구동모터(도시되지 않음)와 연결된 폴리(360)에 의해 회전되며, 1㎜와 3㎜의 상이한 피치를 가진 제 1 볼 스크류(370-1)과 6㎜의 피치를 가진 제 2 볼스크류(370-2)가 3단 제어방식의 볼 스크류(370)에 의해 픽커의 X축 이송이 제어된다. 즉, 베이스플레이트(도시되지 않음)에 고정된 상기 한 쌍의 제 1 피커(350-1)를 제외하곤, 나머지 세 쌍의 제 2 픽커 내지 제 4 픽커(350-2 내지 350-4)는 구동모터(도시되지 않음)에 의해 구동되는 폴리(360)와 이 폴리(350)에 연결되며, 상이한 피치를 가진 상기 제 1 및 제 2 볼 스크류((370-1, 370-2)에 의해 상기 세 쌍의 제 2 픽커 내지 제 4 픽커(350-2 내지 350-4)의 X축 이동거리가 제어된다.
상기 세 쌍의 제 2 픽커 내지 제 4 픽커(350-2 내지 350-4)의 X축 이동거리는 상기 볼 스크류의 상이한 피치에 비례하여 이송거리가 3배, 6배로 늘어나게 된다.
도 5는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부의 Y축 이송을 위한 랙 및 피니언 기어부의 구조도이다.
도 5를 참조하여, 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부(300; 도 3 참조)에서 픽커(350)의 Y축 이송을 보다 상세히 살펴보고자 한다.
구동모터(도시되지 않음)와 연결된 랙기어(310)와 피니언기어(320)를 이용하여 각 쌍의 피커들(350-1 내지 350-4; 도 4 참조)이 Y축 이송이 제어된다. 즉, 구동모터에 연결된 랙기어(310)와 피니언기어(320)가 작동하여, 픽커(350)를 수직 이동시키면, 상기 픽커(350)는 LM 가이드(380)에 의해 수직 이동된다.
이러한 방식으로, 픽커(350)를 X축 이송 및 Y축 이송시키는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치는 종래의 벨트에 의한 이송장치에 비해, 진동발생이 극히 저하되며, 벨트쳐짐 또는 벨트마모에 의한 빈번한 벨트교체를 필요로 하지 않으며, 벨트 백레쉬에 의한 위치 정밀도를 높일 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 양호한 실시 예에 근거하여 설명하였지만, 이러한 실시 예는 본 발명을 제한하려는 것이 아니라 예시하려는 것이므로, 본 발명이 속하는 기술분야의 숙련자라면 본 발명의 기술사상을 벗어남이 없이 위 실시 예에 대한 다양한 변화나 변경 또는 조절이 가능할 것이다. 그러므로, 본 발명의 보호 범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 한정될 것이며, 변화 예나 변경 예 또는 조절 예를 모두 포함하는 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 종래의 전자부품 픽커의 사시도.
도 2는 종래의 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치의 구조도.
도 3은 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부 전체 이송장치의 구조도.
도 4는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부의 X축 이송을 위한 스크류의 구조도.
도 5는 본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽커부의 Y축 이송을 위한 랙 및 피니언 기어부의 구조도.
* 도면 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100, 200, 300: 픽커부 310; 랙기어
320: 피니언기어 350: 픽커
360: 폴리 370: 볼 스크류
380: LM 가이드

Claims (2)

  1. 삭제
  2. 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치에 있어서,
    구동모터에 연결된 폴리에 의해 구동되어 픽커를 X축(수평) 이동시키는 볼 스크류 및;
    구동모터에 의해 구동되어 상기 픽커를 Y축(수직) 이동시키는 랙기어 및 피니언기어를 포함하며, 상기 볼 스크류는,
    1㎜와 3㎜의 상이한 피치를 가진 제 1 볼 스크류와 6㎜의 피치를 가진 제 2 볼스크류로 이루어진 3단 제어방식인 것을 특징으로 하는 테스트 핸들러의 픽커부 이송장치.
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