KR101056040B1 - Substrate adsorption vacuum chuck - Google Patents
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Abstract
본 발명은 TFT, LCD, PDP 등의 평판디스플레이에 사용되는 기판인 글라스를 진공 흡착하는 기판흡착용 진공 척에 관한 것이다. 본 발명은 몸체의 하면이나 측면에서 상면을 향해 천공된 다수의 에어분출구멍과 에어흡입구멍이 마련되되 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍은 몸체의 상면에 교대로 번갈아가면서 마련되고 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍이 천공된 몸체의 하면이나 측면에 그 배열방향으로 길게 배출버퍼와 흡입버퍼가 마련되며, 상기 에어분출구멍과 배출버퍼는 배출오리피스로, 상기 에어흡입구멍과 흡입버퍼는 흡입오리피스로 서로 연통되게 연결되며, 상기 버퍼 및 오리피스를 덮도록 몸체의 하면이나 측면에 커버가 마련되고 상기 배출버퍼와 흡입버퍼에 에어를 공급 내지 흡입할 수 있도록 상기 몸체나 커버에 연결포트가 마련된 것을 특징으로 한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate adsorption vacuum chuck for vacuum adsorption of glass, which is a substrate used for flat panel displays such as TFT, LCD, and PDP. The present invention is provided with a plurality of air ejection holes and air intake holes drilled toward the upper surface from the bottom or side of the body, wherein the air ejection holes and the air intake holes are alternately provided on the upper surface of the body and the air ejection holes and A discharge buffer and a suction buffer are provided on the lower surface or the side of the body in which the air suction holes are perforated, and the air discharge hole and the discharge buffer are discharge orifices, and the air suction hole and the suction buffer are suction orifices. It is connected in communication, the cover is provided on the bottom or side of the body to cover the buffer and the orifice, characterized in that the connection port is provided on the body or cover to supply or suck air to the discharge buffer and the suction buffer .
따라서 본 발명은 몸체의 상면에 교대로 번갈아가면서 다수의 에어분출구멍과 에어흡입구멍을 마련하고 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍을 구분시켜 버퍼로부터 오리피스를 통해 제각기 연통되게 마련함으로써 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍에 부하를 인가할 수 있어 어느 일부분의 에어흡입구멍이 오픈(개방)되더라도 진공흡착이 가능하며, 이로 인하여 기판이 몸체의 중앙은 물론 어느 한쪽으로 치우쳐 놓임에 무관하고 서로 이웃하는 에어흡입구멍간의 사이즈인 소형부터 몸체의 길이에 상응하는 대형에 이르기까지 여러 가지 사이즈의 기판을 흡착 고정할 수 있는 것이다.Accordingly, the present invention provides a plurality of air ejection holes and air intake holes alternately alternately on the upper surface of the body, and separates the air ejection holes and the air intake holes so as to communicate with each other through an orifice from a buffer. The load can be applied to the air suction hole, so that vacuum suction is possible even when any part of the air suction hole is opened (opened), and this allows air suction adjacent to each other regardless of whether the substrate is biased to the center or to one side of the body. It is possible to adsorb and fix substrates of various sizes, ranging from the small size of the holes to the large size corresponding to the length of the body.
기판흡착, 진공 척, 패턴요홈, 오리피스 Substrate adsorption, vacuum chuck, pattern groove, orifice
Description
본 발명은 기판흡착용 진공 척에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 몸체의 상면에 교대로 번갈아가면서 다수의 에어분출구멍과 에어흡입구멍이 마련되되 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍이 구분되어 버퍼로부터 오리피스를 통해 제각기 연통되게 마련됨으로써 어느 일부분의 에어흡입구멍이 오픈(개방)되더라도 진공흡착이 가능하며, 이로 인하여 여러 가지 사이즈의 기판을 흡착 고정할 수 있는 기판흡착용 진공 척에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum chuck for absorbing a substrate, and more particularly, a plurality of air ejection holes and air suction holes are alternately alternately disposed on an upper surface of the body, and the air ejection holes and the air suction holes are separated from the buffer. Since the respective orifices are provided to communicate with each other through the orifice, vacuum suction is possible even when any part of the air suction hole is opened (opened), and thus relates to a substrate suction vacuum chuck capable of absorbing and fixing various sizes of substrates.
요즈음, TFT, LCD, PDP 등의 평판디스플레이에는 기판이 사용되는데, 상기 기판은 여러 가지의 다양한 사이즈로 마련되고 그 사이즈가 점차 커져 대형화되고 있는 추세이다. 상기 기판은 이송, 가공 및 검사 등을 위해서 고정시키는 데, 대부분이 진공을 이용하여 흡착 고정시키는 진공 척이 사용된다.Nowadays, substrates are used for flat panel displays such as TFT, LCD, PDP, etc., and the substrates are provided in various various sizes, and the sizes thereof are gradually increasing in size. The substrate is fixed for transfer, processing, inspection, and the like, and a vacuum chuck is mostly used for adsorption fixing using a vacuum.
기존의 진공 척은 도 1에 나타낸 바와 같이, 몸체(10)의 상면엔 각각의 기판사이즈에 알맞은 사각형의 패턴요홈(12a,12b,12c))이 마련되되 상기 패턴요 홈(12a,12b,12c)은 중앙에 가장 작은 것부터 외측으로 갈수록 큰 사이즈로 동심을 이루고 마련되어 있으며 상기 각각의 패턴요홈(12a,12b,12c)과 연통된 유로마다 별도의 솔레노이드밸브(14a,14b,14c)가 마련되어 있다.In the conventional vacuum chuck, as shown in FIG. 1, the
상기와 같이 구성된 기존의 진공 척은 몸체(10)의 패턴요홈(12a,12b,12c) 위에 기판(G)이 패턴요홈(12a,12b,12c)의 부분적인 개방 없이 전체를 덮도록 정확하게 놓여야만 기판(G) 하면과 몸체(10)의 상면이 밀착되어 몸체(10)의 패턴요홈(12a,12b,12c)을 폐쇄하게 된다. 이로 인하여 몸체(10)의 상면에 흡착력이 걸리므로 기판(G)이 몸체(10)의 상면에 흡착되어 고정되는 것이었다.The existing vacuum chuck configured as described above should be placed exactly on the
그러나 상기와 같은 기존의 진공 척에 있어서는, 몸체의 패턴요홈이 사각형으로 형성되되 상기 패턴요홈이 중앙에서 외측으로 갈수록 큰 사이즈의 사각형이 적어도 2개 이상 형성된 것이어서 소정 사이즈의 기판을 흡착 고정시키고자 할 때 기판의 사이즈가 패턴요홈의 사이즈보다 작거나 기판이 한쪽으로 치우쳐 패턴요홈의 일부가 개방되게 되면 개방된 패턴요홈 부분을 통하여 에어가 흡입되므로 몸체 상면과 기판의 하면엔 흡착(진공)압력이 걸리지 않아 흡착되지 않는다는 문제점이 있었다.However, in the conventional vacuum chuck as described above, the pattern groove of the body is formed in a rectangle, but the pattern groove is formed at least two or more squares of a larger size from the center to the outside to adsorb and fix the substrate of a predetermined size. When the size of the substrate is smaller than the size of the pattern groove or when the substrate is biased to one side and part of the pattern groove is opened, air is sucked through the open pattern groove, so suction (vacuum) pressure is not applied to the upper surface of the body and the lower surface of the substrate. There was a problem that it is not adsorbed.
따라서 기판사이즈에 따라 몸체 상면의 패턴요홈 사이즈를 설계하여야 하므로 흡착 고정시키고자 하는 기판사이즈의 종류만큼 패턴요홈 또한 여러 개로 형성하여야 하며, 상기 몸체에 패턴요홈을 형성함에 한계가 있어 다수의 진공 척으로 마련할 수밖에 없고 결국 다수개의 척 구입을 위한 비용증가 및 관리가 효율적이지 못하다는 문제점이 있었다.Therefore, the pattern groove size of the upper surface of the body should be designed according to the substrate size. Therefore, the number of pattern grooves should be formed as many as the type of the substrate size to be fixed and fixed. Inevitably, there was a problem that the cost increase and management for the purchase of multiple chucks were not efficient.
특히, 몸체 상면의 패턴요홈 개수만큼 솔레노이드밸브가 필수적으로 설치되어야 하므로 진공 척의 구성 또한 복잡하고 단일진공 척의 제작비용이 증가될 수밖에 없다는 문제점이 있었다.In particular, since the solenoid valve must be installed as many as the number of pattern grooves on the upper surface of the body, the configuration of the vacuum chuck is also complicated and there is a problem that the manufacturing cost of the single vacuum chuck must be increased.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 제반 폐단 및 문제점을 해결하기 위하여 연구개발한 것으로서, 그 목적을 열거하여 보고자 한다.The present invention has been researched and developed in order to solve the above-mentioned conventional closures and problems, it is intended to enumerate the purpose.
첫 번째 목적은 몸체의 상면에 교대로 번갈아가면서 다수의 에어분출구멍과 에어흡입구멍을 마련하고 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍을 구분시켜 버퍼로부터 오리피스를 통해 제각기 연통되게 마련함으로써 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍에 부하를 인가할 수 있어 어느 일부분의 에어흡입구멍이 오픈(개방)되더라도 진공흡착이 가능하며, 이로 인하여 기판이 몸체의 중앙은 물론 어느 한쪽으로 치우쳐 놓임에 무관하고 서로 이웃하는 에어흡입구멍간의 사이즈인 소형부터 몸체의 길이에 상응하는 대형에 이르기까지 여러 가지 사이즈의 기판을 흡착 고정할 수 있도록 한 기판흡착용 진공 척을 제공하는데 있다.The first objective is to provide a plurality of air blowing holes and air suction holes alternately on the upper surface of the body and to separate the air blowing holes and the air suction holes so as to communicate with each other through an orifice from a buffer. The load can be applied to the air suction hole, so that vacuum suction is possible even when any part of the air suction hole is opened (opened), and this allows air suction adjacent to each other regardless of whether the substrate is biased to the center or to one side of the body. The present invention provides a substrate suction vacuum chuck capable of absorbing and fixing substrates of various sizes ranging from the small size of the holes to the large size corresponding to the length of the body.
두 번째 목적은 각각의 에어흡입구멍이 흡입버퍼와 흡입오리피스를 통해 제각기 연통되고 상기 양쪽의 흡입버퍼와 연통된 유로에 각각 압력센서를 마련함으로써 압력센서를 통해 체크되는 압력을 통하여 여러 개의 압력체크포트 중에서 어느 한쪽의 압력체크포트가 오픈되게 됨을 인식할 수 있으며, 이로 인하여 기판의 작업 불량을 방지하고 작업불량으로 인한 손실을 미연에 방지할 수 있도록 한 기판흡착용 진공 척을 제공하는데 있다.The second purpose is to provide a plurality of pressure check ports through the pressure checked through the pressure sensor by providing a pressure sensor in each of the air suction holes are respectively communicated through the suction buffer and the suction orifice, and each of the suction buffer and the communication passage It can be recognized that the pressure check port of any one of the open, thereby to provide a substrate suction vacuum chuck to prevent the work failure of the substrate and prevent the loss due to the work in advance.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판흡착용 진공 척은 몸체의 하면이나 측면에서 상면을 향해 천공된 다수의 에어분출구멍과 에어흡입구멍이 마련되되 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍은 몸체의 상면에 교대로 번갈아가면서 마련되고 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍이 천공된 몸체의 하면이나 측면에 그 배열방향으로 길게 배출버퍼와 흡입버퍼가 마련되며, 상기 에어분출구멍과 배출버퍼는 배출오리피스로, 상기 에어흡입구멍과 흡입버퍼는 흡입오리피스로 서로 연통되게 연결되며, 상기 버퍼 및 오리피스를 덮도록 몸체의 하면이나 측면에 커버가 마련되고 상기 배출버퍼와 흡입버퍼에 에어를 공급 내지 흡입할 수 있도록 상기 몸체나 커버에 연결포트가 마련된 것을 특징으로 한다.Substrate adsorption vacuum chuck of the present invention for achieving the above object is provided with a plurality of air ejection holes and air suction holes perforated toward the upper surface from the bottom or side of the body, the air ejection hole and the air suction hole is the body Alternately provided on the upper surface of the exhaust and the suction buffer is provided on the lower surface or side of the body in which the air ejection hole and the air suction hole is perforated in the arrangement direction, the air ejection hole and the discharge buffer is discharge orifice Furnace, the air suction hole and the suction buffer is connected in communication with each other by the suction orifice, a cover is provided on the bottom or side of the body to cover the buffer and the orifice and can supply or suck air to the discharge buffer and the suction buffer It is characterized in that the connection port is provided on the body or cover.
상기 흡입오리피스는 그 단면적이 1㎟이하의 단면적으로 마련함이 바람직하다. 그 이유는 에어흡입구멍에서 흡입버퍼로 흡입할 때 부하, 즉 저항을 걸어주어야만 각각의 에어흡입구멍마다 흡착력을 얻을 수 있고 이로 인하여 어느 일부분의 에어흡입구멍이 오픈(개방)되더라도 진공흡착이 가능하게 된다. Preferably, the suction orifice has a cross-sectional area of 1 mm 2 or less. The reason for this is that the suction force can be obtained for each air suction hole only when a load, that is, a resistance, is applied to the suction buffer from the air suction hole, so that vacuum suction is possible even if a part of the air suction hole is opened (opened). do.
특히, 상기 흡입오리피스의 형상은 가공이 어려운 원형보다는 가공이 용이한 브이자형으로 형성함이 바람직하다. 그 사이즈 또한 폭 및 깊이를 0.2~0.6㎜정도로 가공함이 더욱 바람직하다. 흡입오리피스의 폭과 깊이가 0.6㎜를 초과하면 에어 보유량이 커서 응답성이 느리고 그 만큼의 에어손실이 크며, 0.2㎜미만이면 에어의 흐름이 원활하지 않을 수 있기 때문이다.In particular, the shape of the suction orifice is preferably formed in a V-shaped shape that is easy to process rather than difficult to form a circle. It is more preferable to process the size and width and depth to about 0.2-0.6 mm. This is because if the width and depth of the suction orifice exceed 0.6 mm, the air retention is large, so the response is slow and the air loss is large. If the suction orifice is less than 0.2 mm, the air flow may not be smooth.
상기 배출오리피스는 위에서 설명한 흡입오리피스의 원리와 동일하나 단지 부상력을 얻기 위한 것이라는 점에서 차이가 있다.The discharge orifice is identical to the principle of the suction orifice described above, except that the discharge orifice is merely for obtaining a flotation force.
본 발명에 따른 기판흡착용 진공 척에 있어서, 상기 에어흡입구멍 중에서 몸체의 길이방향 중앙부분에 위치된 2개의 에어흡입구멍은 압력을 체크하는 압력체크포트이며, 상기 2개의 압력체크포트는 몸체 중간양측부위의 흡입버퍼와 연통되게 센서연결포트가 마련되고 상기 흡입버퍼와 센서연결포트의 상단이 서로 연통되게 마련되어야 한다. 상기 2개의 압력체크포트는 그 상단인 몸체의 상면에 최소사이즈의 기판이 놓일 수 있도록 소정형상으로 형성되는 하나의 패턴요홈으로 마련됨이 바람직하다. In the substrate suction vacuum chuck according to the present invention, two air suction holes located in the central portion of the air suction hole in the longitudinal center portion of the body are pressure check ports for checking pressure, and the two pressure check ports are in the middle of the body. The sensor connection port should be provided in communication with the suction buffers at both sides, and the upper ends of the suction buffer and the sensor connection port should be provided in communication with each other. The two pressure check ports are preferably provided with one pattern groove formed in a predetermined shape so that the substrate of the minimum size can be placed on the upper surface of the body, which is the upper end thereof.
본 발명에 따른 기판흡착용 진공 척은, 상기 몸체를 판형으로 마련할 수 있는데, 이러한 경우의 몸체는 10여㎜ 정도의 판재를 사용하는바 에어배출구멍과 에어흡입구멍을 상하수직으로 천공하고 몸체의 하면에 에어배출구멍과 에어흡입구멍 주위에 그 배열방향으로 배출버퍼와 흡입버퍼를 마련하며 상기 에어분출구멍과 배출버퍼는 배출오리피스로, 상기 에어흡입구멍과 흡입버퍼는 흡입오리피스로 서로 연통되게 연결하여 마련한 것을 특징으로 한다.In the substrate suction vacuum chuck according to the present invention, the body may be provided in a plate shape, in which case the body uses a plate material of about 10 mm, and the air discharge hole and the air suction hole are drilled vertically and vertically. A discharge buffer and a suction buffer are provided in the arrangement direction around the air discharge hole and the air suction hole on the lower surface of the air discharge hole and the discharge buffer to the discharge orifice, and the air suction hole and the suction buffer to the suction orifice. It is characterized by the connection provided.
본 발명에 따른 기판흡착용 진공 척은 몸체의 상면에 교대로 번갈아가면서 다수의 에어분출구멍과 에어흡입구멍을 마련하고 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍을 구분시켜 버퍼로부터 오리피스를 통해 제각기 연통되게 마련함으로써 상기 에어분출구멍과 에어흡입구멍에 부하를 인가할 수 있어 어느 일부분의 에어흡입구멍이 오픈(개방)되더라도 진공흡착이 가능하며, 이로 인하여 기판이 몸체의 중앙은 물론 어느 한쪽으로 치우쳐 놓임에 무관하고 서로 이웃하는 에어흡입구멍간의 사이즈인 소형부터 몸체의 길이에 상응하는 대형에 이르기까지 여러 가지 사이즈의 기판을 흡착 고정할 수 있는 효과를 갖는다.Substrate adsorption vacuum chuck according to the present invention is provided alternately on the upper surface of the body to provide a plurality of air ejection holes and air intake holes and to separate the air ejection holes and air intake holes to communicate with each other through an orifice from a buffer. Thus, a load can be applied to the air ejection hole and the air suction hole, so that vacuum suction is possible even when any part of the air suction hole is opened (opened), thereby allowing the substrate to be biased toward either the center or the body. And it has the effect of adsorbing and fixing the substrate of various sizes ranging from the small to the size corresponding to the length of the body between the air suction hole adjacent to each other.
또한 본 발명에 따른 기판흡착용 진공 척은 각각의 에어흡입구멍이 흡입버퍼와 흡입오리피스를 통해 제각기 연통되고 상기 양쪽의 흡입버퍼와 연통된 유로에 각각 압력센서를 마련함으로써 압력센서를 통해 체크되는 압력을 통하여 여러 개의 압력체크포트 중에서 어느 한쪽의 압력체크포트가 오픈되게 됨을 인식할 수 있으며, 이로 인하여 기판의 작업불량을 방지하고 작업불량으로 인한 손실을 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the vacuum suction chuck for substrate adsorption according to the present invention, each air suction hole is communicated through the suction buffer and the suction orifice respectively, and the pressure checked by the pressure sensor by providing a pressure sensor in each of the passages and communication with the suction buffer of both sides It can be recognized that the pressure check port of any one of the pressure check port is opened through the through, thereby preventing the work defect of the substrate and prevent the loss due to the work defect in advance.
이하, 본 발명의 기판흡착용 진공 척을 첨부된 도면에 의거하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the substrate suction vacuum chuck of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명에 따른 바람직한 일실시예의 기판흡착용 진공 척을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 측면도이며, 도 4 내지 도 8은 본 발명의 요부인 몸체를 발췌하여 나타낸 도면들이다. 본 발명에 따른 기판흡착용 진공 척은, 몸체(100)와 이 몸체(100)의 정면에 그 중앙을 기준으로 하여 양쪽에 커버(200)로 구성된다.Figure 2 is a perspective view schematically showing a substrate suction vacuum chuck of a preferred embodiment according to the present invention, Figure 3 is a side view of Figure 2, Figures 4 to 8 are views showing the body that is the main part of the present invention. . Substrate adsorption vacuum chuck according to the present invention, the
상기 몸체(100)는 도 4 내지 도 8에 나타낸 바와 같이, 정면에서 상면을 향해 천공된 다수의 에어분출구멍(110)과 에어흡입구멍(120)이 마련되되 상기 에어분출구멍(110)과 에어흡입구멍(120)은 몸체(100)의 상면에 교대로 번갈아가면서 마련되어 있고 상기 에어분출구멍(110)과 에어흡입구멍(120)이 천공된 몸체(100)의 정면에 그 배열방향으로 길게 배출버퍼(112)와 흡입버퍼(122)가 마련되며, 상기 에어분출구멍(110)과 배출버퍼(112)는 배출오리피스(114)로, 상기 에어흡입구멍(120)과 흡입버퍼(122)는 흡입오리피스(124)로 서로 연통되게 연결되어 있다.As shown in FIGS. 4 to 8, the
상기 에어분출구멍(110)은 몸체(100)의 상면전후방에서 균일하게 분출되도록 마련하면 족하며, 상기 에어분출구멍(110)이 후방으로 치우친 경우, 몸체(100)의 정면에서 후방상단을 향해 지나가는 몸체(100)상면의 전방부분에 에어분출구멍(110)과 연통되면서 분기되는 에어분출구멍을 마련함이 바람직하다.The
상기 에어흡입구멍(120) 또한 에어분출구멍(110)과 동일하게 마련되면 족하므로 그 구체적인 설명은 생략한다. Since the
그리고 상기 에어흡입구멍(120)의 상단에는 이웃하는 에어배출구멍(110)과 균일하게 근접되는 형상으로 폐쇄된 형상의 패턴요홈(126)이 마련되어 있다. At the upper end of the
상기 에어흡입구멍 중에서 몸체(100)의 길이방향 중앙부분에 위치된 2개의 에어흡입구멍은 압력을 체크하는 압력체크포트(120a)이며, 상기 2개의 압력체크포트(120a)는 상기 몸체(100) 중간양측부위의 흡입버퍼(122)와 연통되게 센서연결포 트(130)가 마련되어 있고 상기 흡입버퍼(122)와 센서연결포트(130)의 상단이 서로 연통되게 마련되어 있다. 상기 2개의 압력체크포트(120a)는 그 상단인 몸체(100)의 상면에 최소사이즈의 기판(G)이 놓일 수 있도록 소정형상으로 형성되는 하나의 패턴요홈(126a)으로 마련되어 있다. Of the air suction holes, the two air suction holes located at the central portion in the longitudinal direction of the
상기 패턴요홈(126,126a)은 적당량의 에어를 보유하도록 흡입오리피스(124)보다는 깊고 흡입버퍼(122)보다는 낮게 형성됨이 바람직하다. The
상기 커버(200)는 몸체(100) 정면의 배출버퍼(112)와 흡입버퍼(122)는 물론 배출오리피스(114) 및 흡입오리피스(124)를 기밀이 유지되게 덮는 판재이다. 또한 상기 커버(200)에는 컴프레서로부터 공급받는 에어를 몸체(100) 정면의 배출버퍼(112)로 공급할 수 있도록 배출버퍼(112)와 연통된 연결포트(202)가 마련되어 있다. The
상기 몸체(100)의 하면에는 진공펌프에 의해 흡입하는 에어를 몸체(100) 정면의 흡입버퍼(122)로부터 흡입할 수 있도록 흡입버퍼(122)와 연통된 연결포트(128)가 마련되어 있다.The lower surface of the
상기 흡입오리피스(124)는 그 단면적이 1㎟이하의 단면적으로 마련함이 바람직하다. 그 이유는 에어흡입구멍(120)에서 흡입버퍼(122)로 흡입할 때 적당한 부하, 즉 저항을 걸어주어야만 각각의 에어흡입구멍(120)마다 흡착력을 얻을 수 있고 이로 인하여 어느 일부분의 에어흡입구멍(120)이 오픈(개방)되더라도 진공흡착이 가능하게 된다. The
상기 흡입오리피스(124)의 형상은 가공이 어려운 원형보다는 가공이 용이한 브이자형으로 형성함이 더욱 바람직하다. 이때, 위에서 언급한 바와 같이 단면적을 갖는 것이면 충분하나 그 폭 및 깊이를 0.2~0.6㎜정도로 가공함이 더욱 바람직하다. 상기 흡입오리피스(124)의 폭과 깊이가 0.6㎜를 초과하면 에어보유량이 커서 응답성이 느리고 그 만큼의 에어손실이 크며, 0.2㎜미만이면 에어의 흐름이 원활하지 않을 수 있기 때문이다. 따라서 상기 흡입오리피스(124)에 의하면 흡입버퍼(122)로 유입되기 전에 에어흡입구멍(120)에서의 에어흡입유량을 기판의 흡착에 필요한 최소한의 유량이 유입되므로 에어손실이 최소화되게 된다.The shape of the
상기 배출오리피스(114)는 위에서 설명한 흡입오리피스(124)의 원리와 동일하나 단지 부상력을 얻기 위한 것이라는 점에서 차이가 있다. 따라서 상기 배출오리피스(114)에 의하면, 분출버퍼(112)에서 에어분출구멍(110)로 유입되기 전에 에어유입유량을 기판(G)의 부상에 필요한 최소한의 유량이 유입되므로 에어손실이 최소화되게 된다.The
상기와 같이 구성된 기판흡착용 진공 척은 컴프레서로부터 연장된 에어호스(도시되지 않음)를 통해 에어가 커버(200)의 연결포트(202)로 공급되고 있고, 진공펌프와 유통되게 연결된 흡입호스(도시되지 않음)를 통해 몸체(100) 하면의 연결포트(128)로부터 에어를 흡입하는 상태이다. 상기 진공펌프와 연결포트(128) 사이의 유로인 호스에는 진공인가 여부를 제어하기 위한 하나의 솔레노이드밸브가 마련되어한 한다. In the substrate suction vacuum chuck configured as described above, the air is supplied to the
이때, 컴프레서로부터 공급되는 에어는 배출버퍼(112)와 배출오리피스(114) 및 에어분출구멍(110)을 통해 몸체(100)의 상면으로부터 분출되고 진공펌프에 의해 흡입되는 에어는 상기 솔레노이드밸브가 오픈(개방)되게 되면 에어흡입구멍(120)과 흡입오리피스(124) 및 흡입버퍼(122)를 통해 진공펌프 측으로 흡입되게 된다.At this time, the air supplied from the compressor is ejected from the upper surface of the
이러한 상태에서 최소사이즈 이상인 소정사이즈의 기판(G)을 몸체(100)의 상면에 올려놓되 적어도 중앙의 패턴요홈(126a)전체를 덮도록 올려놓으면 에어분출구멍(110)으로부터 지속적으로 분출되는 에어로 인해 기판(G)이 부상되고 이렇게 기판(G)을 부상시킨 에어는 기판(G)에 의해 사방으로 퍼지게 된다. In this state, the substrate G having a predetermined size of at least the minimum size is placed on the upper surface of the
이때, 각각의 에어배출구멍(110)들은 각각의 배출오리피스(114)를 통해 배출버퍼(112)와 연통되어 있으므로 상기 각각의 에어배출구멍(110)들은 부하, 즉 저항이 걸려있는 상태이며, 이로 인하여 각각의 에어배출구멍(110)마다 균일한 흡착력이 발생되는 상태인바 다수의 에어배출구멍(110)중에서 어느 일부분의 에어배출구멍(110)이 오픈(개방)되더라도 부상시킬 수 있는 것이다.At this time, each of the air discharge holes 110 is in communication with the
다시 말해서, 몸체(100)에 배열된 에어배출구멍(110)들 중 적어도 2~3개 이상의 에어배출구멍(110)을 덮는 최소사이즈나 이보다 큰 기판(G)이면 부상시킴이 가능하며, 이로 인하여 기판(G)이 몸체(100)의 중간부분이나 어느 한쪽으로 치우친 상태로 놓인다 하더라도 아무런 영향 없이 자유롭게 부상시킬 수 있는 것이다.In other words, if the minimum size or larger substrate (G) covering at least two to three or more air discharge holes 110 of the air discharge holes 110 arranged in the
이와 동시에 에어흡입구멍(120)에서 흡입하고 있으므로 에어분출구멍(110)에서 분출되는 에어는 상기 에어흡입구멍(120)과 하나의 폐쇄모양을 이루고 에어분출구멍(110)의 주위까지 넓게 퍼져있는 패턴요홈(126,126a)으로 인하여 상기 패턴요홈(126,126a)의 사방에서 균일하게 흡입이 이루어진다.At the same time, since the air is sucked from the
따라서 몸체(100)의 상면에 놓인 기판(G)은 에어의 흡입력으로 인하여 부압 이 발생되므로 몸체(100)의 상면에 진공 흡착되게 된다.Therefore, since the negative pressure is generated due to the suction force of air, the substrate G placed on the upper surface of the
이때, 각각의 에어흡입구멍(120)들은 각각의 흡입오리피스(124)를 통해 흡입버퍼(122)와 연통되어 있으므로 상기 각각의 에어흡입구멍(120)들은 부하, 즉 저항이 걸려있는 상태이며, 이로 인하여 각각의 에어흡입구멍(120)마다 균일한 흡착력이 발생되는 상태인바 다수의 에어흡입구멍(120)중에서 어느 일부분의 에어흡입구멍(120)이 오픈(개방)되더라도 진공흡착이 가능하게 된다.At this time, the respective air suction holes 120 are in communication with the
결론적으로, 몸체(100)에 배열된 에어흡입구멍(120)들 중 적어도 하나이상의 에어흡입구멍(120)과 그 주위의 패턴요홈(126)을 덮는 사이즈나 이보다 큰 기판(G)이면 진공흡착이 가능하며, 이로 인하여 기판(G)이 몸체(100)의 중간부분이나 어느 한쪽으로 치우친 상태로 놓인다 하더라도 아무런 영향 없이 자유롭게 진공흡착이 이루어지는 것이다.In conclusion, if the substrate G covers the at least one or more air suction holes 120 and the
이와 같이 몸체(100)의 상면에서 기판(G)이 진공 흡착이 이루어질 때에는 몸체(100)의 중간위치인 양쪽의 흡입버퍼(122)에서 몸체(100)의 상면에 이르기까지 천공된 복수의 압력체크포트(120a)는 물론 에어흡입구멍(120)을 기판(G)에 의해 들뜸 없이 밀폐되어야 제대로 진공흡착이 이루어지는 정상적인 상태이다. 이때, 센서연결포트(130)에 호스를 통해 흡입버퍼(122)와 직접적으로 연통된 각각 압력센서(PS)가 압력을 체크하여 제어모니터에 출력한다. As such, when the substrate G is vacuum-adsorbed on the upper surface of the
예를 들어, 상기 압력센서PS)가 개방시엔 0v의 신호로 출력되고 진공시엔 5v의 신호로 출력되는 것이라면, 상기 압력센서(PS)에서 출력되는 신호를 32,000으로 배가시켜 제어모니터에 출력시키면 작업자는 양쪽의 압력센서(PS)로부터 체크되는 미세한 체크압력차이 또한 확인할 수 있어 어느 한쪽의 압력체크포트(120a) 중 하나가 오픈됨을 확인할 수 있는 것이다.For example, if the pressure sensor PS is output as a signal of 0v when it is opened and as a signal of 5v when it is vacuum, the operator outputs the signal output from the pressure sensor PS to 32,000 and outputs it to the control monitor. The minute check pressure difference checked from both pressure sensors PS can also be confirmed, so that one of the
따라서 어느 한쪽의 압력체크포트(120a)중 어느 하나가 오픈됨으로 인해 발생되는 작업불량을 미연에 방지함은 물론 고가의 원자재손실을 방지할 수 있으며, 또한 장비점검 내지 세정함으로써 압력체크포트(120a)의 오픈을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, it is possible not only to prevent work defects caused by opening any one of the
도 9는 본 발명에 따른 기판흡착용 진공 척의 다른 실시예를 나타낸 도면으로서, 몸체를 10여㎜ 정도의 판재형상으로 마련하고 상기 몸체의 하면에 커버를 마련한 것이다. 9 is a view showing another embodiment of the substrate suction vacuum chuck according to the present invention, the body is provided in the shape of a plate of about 10mm and the cover is provided on the lower surface of the body.
상기 몸체(100)는 에어배출구멍(110)과 에어흡입구멍(120)이 상하수직으로 천공되고 몸체(100)의 하면에 에어배출구멍(110)과 에어흡입구멍(120) 주위에 그 배열방향으로 배출버퍼(112)와 흡입버퍼(122)를 마련되어 있으며 상기 에어분출구멍(110)과 배출버퍼(112)는 배출오리피스(114)로, 상기 에어흡입구멍(120)과 흡입버퍼(122)는 흡입오리피스(124)로 서로 연통되게 연결되어 있다. 상기 커버(200)는 몸체(100) 하면의 배출버퍼(112)와 흡입버퍼(122)는 물론 배출오리피스(114) 및 흡입오리피스(124)를 기밀이 유지되게 덮는 판재이다.The
상기와 같은 다른 실시예의 기판흡착용 진공 척은 바람직한 실시 예와 마찬가지로 그 기능 및 작용이 동일하므로 그 구체적인 설명은 생략하며, 진공 척의 슬림(slim)화를 꾀할 수 있는 것이다.Substrate adsorption vacuum chuck of another embodiment as described above is the same as the preferred embodiment the function and action is the same, so the detailed description thereof will be omitted, it is possible to achieve the slim (slim) of the vacuum chuck.
도 1은 종래의 기판흡착용 진공 척을 나타낸 구성도이다.1 is a block diagram showing a conventional substrate suction vacuum chuck.
도 2는 본 발명에 따른 바람직한 일실시예의 기판흡착용 진공 척을 개략적으로 나타낸 사시도이다. Figure 2 is a perspective view schematically showing a vacuum chuck for substrate adsorption according to an embodiment of the present invention.
도 3은 도 2의 측면도이다.3 is a side view of FIG. 2.
도 4는 본 발명의 기판흡착용 진공 척에서 몸체만을 발췌하여 나타낸 평면도이다.Figure 4 is a plan view showing only the body extracted from the substrate suction vacuum chuck of the present invention.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ에 대한 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along line VV of FIG. 4.
도 6은 도 4의 Ⅵ-Ⅵ에 대한 단면도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view taken to VI-VI of FIG. 4.
도 7은 본 발명의 기판흡착용 진공 척에서 몸체만을 발췌하여 나타낸 정면도이다.Figure 7 is a front view showing only the body extract in the substrate suction vacuum chuck of the present invention.
도 8은 도 4의 Ⅷ-Ⅷ에 대한 단면도이다.FIG. 8 is a cross-sectional view of VIII-VIII of FIG. 4. FIG.
도 9는 본 발명에 따른 기판흡착용 진공 척의 다른 실시예를 나타낸 단면도이다.9 is a cross-sectional view showing another embodiment of a substrate suction vacuum chuck according to the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
100: 몸체 110: 에어배출구멍 112: 배출버퍼100: body 110: air discharge hole 112: discharge buffer
114: 배출오리피스 120: 에어흡입구멍 122: 흡입버퍼114: discharge orifice 120: air suction hole 122: suction buffer
124: 흡입오리피스 126: 패턴요홈 128: 연결포트124: suction orifice 126: pattern groove 128: connection port
130: 체크포트 200: 커버 PS: 압력센서130: check port 200: cover PS: pressure sensor
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