KR101048063B1 - 기판 처리 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

기판 처리 장치는 하부 용기, 상부 용기, 약액 공급부 및 초임계 유체부를 포함한다. 하부 용기는 기판을 지지한다. 상부 용기는 하부 용기 상에 상하 이동 가능하도록 배치되며, 하부 용기와 결합하여 기판을 건조하기 위한 내부 공간을 형성한다. 약액 공급부는 상하부 용기가 이격된 상태에서 하부 용기 상에 수평 이동 가능하도록 배치되며, 기판으로 기판을 처리하기 위한 약액을 제공한다. 초임계 유체부는 상부 용기와 연결되며, 내부 공간으로 기판을 건조하기 위한 초임계 유체를 공급 및 배출한다.

Description

기판 처리 장치 및 방법{Apparatus and method of processing a substrate}
본 발명은 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초임계 유체를 이용하여 기판을 건조하기 위한 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 식각액, 세정액 등의 약액으로 처리된 기판에 이소프로필알코올(IPA)과 질소(N2)와의 혼합가스를 제공하여 기판을 건조한다. 그러나, 기판 상에 형성된 패턴이 미세화됨에 따라, 상기 기판 건조시 상기 패턴 사이의 약액을 건조하기가 어렵다. 따라서, 상기 패턴 사이의 약액을 효과적으로 건조하기 위해 초임계 유체를 이용한 건조 기술이 제안된다. 상기 초임계 유체를 이용한 건조 기술은 약액 처리된 기판을 초임계 처리 장치인 고압 용기 내에 반입하고, 액체 이산화탄소를 장치 내에 도입하여 기판 표면의 약액을 치환하고, 압력을 상승시켜 이산화탄소를 초임계 상태로 만들어 초임계 건조 처리를 진행한 후 감압한다.
상기 기술은 별도의 장치에서 상기 기판에 대한 약액 처리 공정을 수행한 후 상기 기판을 상기 초임계 처리 장치로 이송하여 상기 초임계 처리 장치에서 상기 기판을 건조한다. 따라서, 상기 기판을 이송하는 도중 상기 기판을 습식 상태로 유지하기 어렵고, 상기 이송 시간으로 인해 상기 기판 처리 공정의 생산성이 저하될 수 있다.
본 발명은 기판에 대한 약액 처리 공정과 건조 공정을 연속적으로 수행할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.
본 발명은 상기 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는 기판을 지지하는 하부 용기와, 상기 하부 용기 상에 상하 이동 가능하도록 배치되며, 상기 하부 용기와 결합하여 상기 기판을 건조하기 위한 내부 공간을 형성하는 상부 용기와, 상기 상하부 용기가 이격된 상태에서 상기 하부 용기 상에 수평 이동 가능하도록 배치되며, 상기 기판으로 상기 기판을 처리하기 위한 약액을 제공하는 약액 공급부 및 상기 상부 용기와 연결되며, 상기 내부 공간으로 상기 기판을 건조하기 위한 초임계 유체를 공급 및 배출하는 초임계 유체부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 약액 공급부는 상기 기판을 식각하기 위한 식각액 및 상기 기판을 세정하기 위한 세정액 중 적어도 하나를 상기 기판으로 공급할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 기판 처리 장치는 상기 하부 용기와 연결되고, 상기 약액이 상기 기판에 균일하게 제공되도록 상기 기판을 지지한 하부 용기를 회전시키는 회전 구동부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 기판 처리 장치는 상기 약액에 의해 상기 상하부 용기들이 손상되는 것을 방지하기 위해 상기 상하부 용기들에 구비되는 보호부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 보호 부재는 상기 상하부 용기들에 착탈가능한 재킷일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 보호 부재는 상기 상하부 용기들 표면에 형성되는 코팅막일 수 있다.
본 발명에 따른 기판 처리 방법은 상부 용기와 하부 용기를 이격시킨 상태에서 상기 하부 용기 상에 지지된 기판으로 상기 기판을 처리하기 위한 약액을 제공하는 단계와, 상기 상부 용기와 하부 용기를 결합하여 상기 기판을 수용하는 내부 공간을 형성하는 단계 및 상기 내부 공간으로 초임계 유체를 공급 및 배출하여 상기 기판을 건조하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 약액 제공 단계에서 상기 약액이 상기 기판에 균일하게 제공되도록 상기 기판을 지지한 하부 용기를 회전시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 약액은 상기 기판을 식각하기 위한 식각액 및 상기 기판을 세정하기 위한 세정액 중 적어도 하나일 수 있다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치 및 방법은 기판의 이송 없이 상기 기판에 대한 약액 처리 공정 및 건조 공정을 연속적으로 수행할 수 있다. 따라서, 상기 기판 처리 공정 시간을 단축하여 상기 기판 처리 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 기판 처리 장치(100)는 기판(10)에 대한 약액 처리 공정 및 건조 공정을 수행하기 위한 것으로, 하부 용기(110), 상부 용기(120), 회전 구동부(130), 수직 구동부(140), 약액 공급부(150), 임계 유체부(160) 및 보호 부재(170)를 포함한다. 상기 기판(10)은 반도체 소자를 형성하기 위한 웨이퍼 또는 평판 표시 소자를 형성하기 위한 유리 기판일 수 있다.
상기 하부 용기(110)는 상기 기판(10)을 지지한다. 상기 하부 용기(110)의 상부면은 평탄한 형태 또는 오목한 형태를 가질 수 있으나, 후술하는 약액의 배출을 위채 평평한 형태를 갖는 것이 바람직하다.
상기 하부 용기(110)는 상기 상부면에 지지된 상기 기판(10)이 움직이지 않도록 고정한다. 예를 들면, 상기 하부 용기(110)는 기계력, 정전기력 또는 진공력으로 상기 기판(10)을 고정할 수 있다.
한편, 상기 하부 용기(110)의 내부에 히터(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 히터는 상기 하부 용기(110)에 지지된 기판(10)을 가열하여 상기 약액 처리 공정 및 건조 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
상기 상부 용기(120)는 상기 하부 용기(110) 상에 배치되며, 상하 이동 가능하도록 구비된다. 상기 상부 용기(120)는 하부면에 홈(122)을 갖는다. 상기 홈(122)의 크기는 상기 기판(10)의 크기보다 크다. 상기 상부 용기(120)가 상기 하부 용기(110)와 결합할 때, 상기 홈(122)은 상기 하부 용기(110)에 지지된 기판(10)을 수용하는 내부 공간을 형성한다.
상기 상부 용기(120)는 상기 하부 용기(110)와 이격되어 상기 하부 용기(110)에 지지된 기판(10)이 외부에 노출될 수 있다. 따라서, 상기 기판(10)에 대한 상기 약액 처리 공정을 수행할 수 있다. 또한, 상기 상부 용기(110)는 상기 하부 용기(120)와 결합하여 상기 기판(10)을 수용하는 내부 공간을 형성한다. 상기 내부 공간에서 상기 기판(10)에 대한 건조 공정을 수행할 수 있다.
상기 회전 구동부(130)는 상기 하부 용기(110)의 하부면과 연결되며, 상기 하부 용기(110)를 회전시킨다. 상기 하부 용기(110)의 회전에 따라 상기 기판(10)도 회전한다.
상기 수직 구동부(140)는 상기 상부 용기(120)의 상부면과 연결되며, 상기 상부 용기(110)를 상하 이동시킨다. 상기 수직 구동부(140)가 상기 상부 용기(120)를 상승시키면, 상기 상부 용기(120)와 상기 하부 용기(110)는 서로 이격된다. 따라서, 상기 기판(10)에 대한 상기 약액 처리 공정을 수행할 수 있다. 상기 수직 구 동부(140)가 상기 상부 용기(120)를 하강시키면, 상기 상부 용기(120)와 상기 하부 용기(110)는 서로 결합된다. 따라서, 상기 기판(10)에 대한 상기 건조 공정을 수행할 수 있다.
상기 약액 공급부(150)는 상기 상부 용기(120)와 상기 하부 용기(110)가 이격된 상태에서 상기 하부 용기(110) 상에 수평 이동 가능하도록 배치되며, 상기 기판(10)으로 상기 기판(10)을 처리하기 위한 약액을 제공한다. 상기 약액 공급부(150)는 노즐(152), 수평 구동부(154) 및 보울(156)을 포함한다.
상기 노즐(152)은 상기 하부 용기(110)의 상방에 배치된다. 상기 노즐(152)은 상기 하부 용기(110) 상에 지지된 기판(10)으로 약액을 분사한다. 상기 약액은 상기 기판(10)을 식각하기 위한 식각액, 상기 기판(10)을 세정하기 위한 세정액 등을 들 수 있다. 상기 노즐(152)은 상기 기판(10)으로 상기 식각액을 분사하거나, 상기 세정액을 분사할 수 있다. 또한, 상기 노즐(152)은 상기 식각액과 상기 세정액을 순차적으로 분사할 수 있다. 이 경우, 상기 노즐(152)은 상기 식각액을 분사하는 식각액 분사 노즐 및 상기 세정액을 분사하는 세정액 분사 노즐을 포함할 수 있다.
한편, 상기 회전 구동부(130)의 구동에 따라 상기 기판(10)이 회전하는 경우, 상기 노즐(152)에서 분사된 약액이 상기 기판(10)으로 균일하게 제공될 수 있다. 따라서, 상기 기판(10)이 균일하게 식각되거나 세정될 수 있다.
상기 수평 구동부(154)는 상기 노즐(152)과 연결되며, 상기 노즐(152)을 상기 하부 용기(110)의 상부면과 평행한 방향으로 수평 이동할 수 있다. 일 예로, 상 기 수평 구동부(154)는 상기 노즐(152)을 직선 왕복운동시켜 수평 이동할 수 있다. 따른 예로, 상기 수평 구동부(154)는 상기 노즐(152)을 회전 운동시켜 수평 이동할 수 있다.
상기 약액 처리 공정시 상기 노즐(152)은 상기 하부 용기(110)에 지지된 기판(10)의 상방에 위치하고, 그 외의 경우 상기 노즐(152)은 상기 하부 용기(110)의 일측 상방에 위치할 수 있다. 그러므로, 상기 수평 구동부(154)는 상기 노즐(152)의 위치를 용이하게 변경할 수 있다.
상기 보울(156)은 상기 하부 용기(110)의 측면 둘레를 따라 배치되며, 상방이 개방된 용기 형태를 갖는다. 상기 보울(156)은 상기 기판(10)의 회전에 따라 상기 기판(10)으로부터 비산되는 상기 약액을 차단한다. 따라서, 상기 약액에 의해 다른 장치들이 오염되는 것을 방지한다.
한편, 상기 기판(10)을 사익 하부 용기(110)로 로딩하거나 상기 하부 용기(110)로부터 언로딩하기 위해 상기 보울(156)은 별도의 상하 구동부에 의해 상하 이동할 수 있다.
상기 초임계 유체부(160)는 상기 상부 용기(120)와 연결되며, 상기 내부 공간으로 상기 기판(10)을 건조하기 위한 초임계 유체를 공급 및 배출한다.
상기 초임계 유체는 임계온도(Tc) 및 임계압력(Pc) 이상의 영역에 있는 유체로서 기체와 액체의 구별이 모호해져 임계압력 이상의 압력을 가하여도 액화가 되지 않는 비응축성 특성을 가진다. 즉, 초임계 유체의 물성은 액체적인 성질과 기체적인 성질을 모두 가지고 있어서, 기체와 같은 확산도와 점성, 액체와 같은 용해능 력을 가지고 있다. 상기 초임계 유체의 예로는 초임계 이산화탄소, 초임계 산소, 초임계 아르곤, 초임계 크립톤, 초임계 제논, 초임계 암모니아 등을 들 수 있다.
참고적으로, 초임계 이산화탄소는 임계온도가 31℃ 이고, 임계압력이 72.8 기압(atm) 정도로서 임계영역(35℃, 75atm)에서의 점성은 0.03cP, 표면장력은 0 dynes/cm, 밀도는 300kg/㎥의 물성을 가진다.
상기 초임계 유체부(160)는 공급관(162), 배출관(164), 제1 밸브(166) 및 제2 밸브(168)를 포함한다.
상기 공급관(162) 및 상기 배출관(164)은 각각 상기 상부 용기(120)를 관통하여 상기 홈(122)과 연통한다. 예를 들면, 상기 공급관(162)은 상기 상부 용기(120)의 일측면에 배치되고, 상기 배출관(164)은 상기 일측면과 반대되는 상기 상부 용기(120)의 타측면에 배치된다.
상기 공급관(162)은 상기 초임계 유체를 상기 내부 공간으로 공급한다. 상기 내부 공간으로 공급된 상기 초임계 유체는 상기 기판(10) 표면의 약액을 치환하여 상기 기판(10)을 건조한다. 상기 배출관(162)은 상기 초임계 유체를 상기 내부 공간으로부터 배출한다.
상기 제1 밸브(166)는 상기 공급관(162) 상에 배치되며, 상기 공급관(162)을 개폐하여 상기 초임계 유체의 공급을 조절한다. 상기 제2 밸브(168)는 상기 배출관(164) 상에 배치되며, 상기 배출관(162)을 개폐하여 상기 초임계 유체의 배출을 조절한다. 일 예로, 상기 제1 밸브(166)와 상기 제2 밸브(168)는 동시에 개폐될 수 있다. 다른 예로, 상기 제1 밸브(166)와 상기 제2 밸브(168)는 순차적으로 개폐될 수 있다. 구체적으로, 상기 제1 밸브(166)가 개방된 후 상기 제2 밸브가(168)가 개방되고, 상기 제1 밸브(166)가 차단된 후 상기 제2 밸브가(168)가 차단될 수 있다.
상기 보호 부재(170)는 상기 하부 용기(110) 및 상기 상부 용기(120)의 표면에 구비된다. 예를 들면, 상기 보호 부재(170)는 상기 하부 용기(110)의 상부면 및 상기 상부 용기(120)의 하부면에 각각 구비될 수 있다.
일 예로, 상기 보호 부재(170)는 상기 상하부 용기들(110, 120)에 착탈가능한 재킷(jacket)일 수 있다. 상기 재킷이 탈착 가능하므로, 상기 재킷의 주기적인 교체가 용이하다.
다른 예로, 상기 보호 부재(170)는 상기 상하부 용기들(110, 120) 표면에 형성되는 코팅막일 수 있다. 상기 코팅막은 주기적인 교체없이 반영구적으로 사용할 수 있다.
상기 보호 부재(170)는 상기 약액에 대해 내화학성을 갖는 재질로 이루어질 수 있다. 상기 내화학성 재질의 예로는 테프론을 들 수 있다.
따라서, 상기 보호 부재(170)는 상기 약액에 의해 상기 상하부 용기들(110, 120)이 손상되는 것을 방지한다.
상기 기판 처리 장치(100)는 상기 하부 용기(110)를 개방하여 상기 기판(10)에 대한 약액 처리 공정을 수행하고, 상기 하부 용기(110)를 상기 상부 용기(120)와 결합하여 상기 기판(10)에 대한 건조 공정을 수행할 수 있다. 상기 기판(10)의 이동없이 상기 기판 처리 장치(100)에서 상기 약액 처리 공정 및 상기 건조 공정을 연속적으로 수행할 수 있다. 따라서, 상기 기판 처리 장치(100)를 이용한 기판 처 리 공정 시간을 단축할 수 있고, 상기 기판 처리 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 2a 내지 도 2c는 도 1에 도시된 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 2a를 참조하면, 수직 구동부(140)의 구동에 따라 상부 용기(120)가 상방으로 이동하여 상기 상부 용기(120)와 하부 용기(110)가 이격된다. 이때, 보울(156)은 상기 하부 용기(110)의 상부면보다 낮게 위치한 상태이다. 이송암(미도시)이 기판(10)을 상기 하부 용기(110)의 상부면으로 로딩한다. 상기 기판(10)은 상기 하부 용기(110)에 의해 지지되면서 고정된다.
상기 수평 구동부(154)의 구동에 따라 노즐(152)이 상기 하부 용기(110)에 지지된 기판(10)의 상방으로 이동한다. 보울(156)이 상기 하부 용기(110)의 상부면보다 높도록 상방으로 이동한다.
회전 구동부(130)의 구동에 따라 상기 하부 용기(110) 및 상기 기판(10)이 회전하고, 상기 노즐(152)이 상기 회전하는 기판(10)으로 약액을 분사하여 상기 기판(10)에 대한 약액 처리 공정을 수행한다. 상기 노즐(152)은 상기 기판(10)으로 상기 기판(10)을 식각하기 위한 식각액을 분사하거나, 상기 기판(10)을 세정하기 위한 세정액을 분사할 수 있다. 또한, 상기 노즐(152)은 상기 식각액과 상기 세정액을 순차적으로 분사할 수 있다. 상기 기판(10)이 회전하므로 상기 노즐(152)에서 분사된 약액이 상기 기판(10)으로 균일하게 제공될 수 있다. 따라서, 상기 기 판(10)이 균일하게 식각되거나 세정될 수 있다.
상기 기판(10)에 대한 약액 처리 공정이 완료되면, 상기 하부 용기(110)의 회전과 상기 노즐(152)의 분사를 중단한다.
도 2b를 참조하면, 상기 보울(156)이 상기 하부 용기(110)의 상부면보다 낮도록 하방으로 다시 이동한 상태에서 상기 수평 구동부(154)의 구동에 따라 노즐(152)이 상기 하부 용기(110)에 지지된 기판(10)의 상방에서 상기 하부 용기(110)의 일측 상방으로 이동한다.
다음으로, 상기 수직 구동부(140)의 구동에 따라 상부 용기(120)가 하방으로 이동하여 상기 상부 용기(120)와 하부 용기(110)가 결합한다. 상기 상하부 용기들(110, 120)의 결합에 따라 상기 상하부 용기들(110, 120) 사이에 상기 기판(10)을 수용하는 내부 공간이 형성된다.
도 2c를 참조하면, 제1 밸브(166) 및 제2 밸브(168)를 개방하여 공급관(162)을 통해 초임계 유체를 상기 내부 공간으로 공급하고 배출관(164)을 통해 상기 초임계 유체를 배출한다. 상기 내부 공간으로 공급된 상기 초임계 유체는 상기 기판(10) 표면의 약액을 치환하여 상기 기판(10)을 건조한다.
상기 기판(10)에 대한 건조 공정이 완료되면, 상기 제1 밸브(166) 및 제2 밸브(168)를 차단하여 공급관(162)을 통해 상기 초임계 유체의 공급과 상기 배출관(164)을 통한 상기 초임계 유체의 배출을 중단한다.
상기 제1 밸브(166)와 상기 제2 밸브(168)는 동시에 개폐될 수 있다. 다른 예로, 상기 제1 밸브(166)와 상기 제2 밸브(168)는 순차적으로 개폐될 수 있다.
도 2d를 참조하면, 상기 수직 구동부(140)의 구동에 따라 상부 용기(120)가 상방으로 이동하여 상기 상부 용기(120)와 하부 용기(110)가 이격된다. 다음으로, 상기 하부 용기(110)가 상기 기판(10)의 고정을 해제하고, 상기 이송암이 상기 건조 공정이 완료된 기판(10)을 상기 하부 용기(110)의 상부면으로부터 언로딩한다.
이후, 상기 새로운 기판(10)에 대해 상기 공정들을 반복한다.
상기와 같은 기판 처리 방법은 상기 기판(10)의 이송 공정없이 상기 기판(10)에 대한 상기 약액 처리 공정 및 상기 건조 공정을 연속적으로 수행할 수 있다. 따라서, 상기 기판 처리 공정에 소요되는 시간을 단축하여 상기 기판 처리 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 처리 장치 및 방법은 기판의 이송없이 상기 기판에 대한 약액 처리 공정 및 건조 공정을 연속적으로 수행할 수 있다. 따라서, 상기 기판 처리 공정 시간을 단축하여 상기 기판 처리 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 단면도이다.
도 2a 내지 도 2d는 도 1에 도시된 기판 처리 장치를 이용한 기판 처리 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 기판 처리 장치 110 : 하부 용기
120 : 상부 용기 122 : 홈
130 : 회전 구동부 140 : 수직 구동부
150 : 임계 유체부 152 : 임계 유체 공급관
154 : 제1 밸브 156 : 임계 유체 배출관
158 : 제2 밸브 160 : 약액 공급부
162 : 노즐 164 : 수평 구동부
166 : 보울 170 : 보호부재
10 : 기판

Claims (9)

  1. 기판을 지지하는 하부 용기;
    상기 하부 용기 상에 상하 이동 가능하도록 배치되며, 상기 하부 용기와 결합하여 상기 기판을 건조하기 위한 내부 공간을 형성하는 상부 용기;
    상기 상하부 용기가 이격된 상태에서 상기 하부 용기 상에 수평 이동 가능하도록 배치되며, 상기 기판으로 상기 기판을 처리하기 위한 약액을 제공하는 약액 공급부; 및
    상기 상부 용기와 연결되며, 상기 내부 공간으로 상기 기판을 건조하기 위한 초임계 유체를 공급 및 배출하는 초임계 유체부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 약액 공급부는 상기 기판을 식각하기 위한 식각액 및 상기 기판을 세정하기 위한 세정액 중 적어도 하나를 상기 기판으로 공급하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 하부 용기와 연결되고, 상기 약액이 상기 기판에 균일하게 제공되도록 상기 기판을 지지한 하부 용기를 회전시키는 회전 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 약액에 의해 상기 상하부 용기들이 손상되는 것을 방지하기 위해 상기 상하부 용기들에 구비되는 보호부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 보호 부재는 상기 상하부 용기들에 착탈가능한 재킷인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 보호 부재는 상기 상하부 용기들 표면에 형성되는 코팅막인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 상부 용기와 하부 용기를 이격시킨 상태에서 상기 하부 용기 상에 지지된 기판으로 상기 기판을 처리하기 위한 약액을 제공하는 단계;
    상기 상부 용기와 하부 용기를 결합하여 상기 기판을 수용하는 내부 공간을 형성하는 단계; 및
    상기 내부 공간으로 초임계 유체를 공급 및 배출하여 상기 기판을 건조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 약액 제공 단계에서 상기 약액이 상기 기판에 균일하게 제공되도록 상기 기판을 지지한 하부 용기를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 약액은 상기 기판을 식각하기 위한 식각액 및 상기 기판을 세정하기 위한 세정액 중 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
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