KR101026839B1 - Apparatus for small sized smart actuator and the method therefor - Google Patents

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KR101026839B1 KR1020090122214A KR20090122214A KR101026839B1 KR 101026839 B1 KR101026839 B1 KR 101026839B1 KR 1020090122214 A KR1020090122214 A KR 1020090122214A KR 20090122214 A KR20090122214 A KR 20090122214A KR 101026839 B1 KR101026839 B1 KR 101026839B1
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조영준
양태헌
권동수
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Abstract

PURPOSE: A small smart actuator device and a sensing method thereof are provided to senses a magnetic reaction force and generate an inertial vibration due to magnetic reaction force by using piezoelectric materials and solenoid materials with a hybrid type. CONSTITUTION: An actuator unit changes supplied electricity to a magnetic field to generate a magnetic reaction force. A sensing unit uses a piezoelectric phenomenon which changes a shape by the magnetic reaction force. The actuator unit is a first magnetic force generator(110) in which a solenoid coil is arranged. A second magnetic force generator(210) is magnetically adjacent to the first magnetic generator. A piezoelectric layer(220) changes the shape by the magnetic reaction force. An elastic unit(230) is connected to the piezoelectric layer.

Description

소형 스마트 액츄에이터 장치 및 그 방법{Apparatus for small sized smart actuator and the method therefor}Apparatus for small sized smart actuator and the method therefor}

본 발명은 소형 스마트 액츄에이터 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 센싱 기능을 구비한 소형 스마트 액츄에이터 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a small smart actuator device and a method thereof, and more particularly, to a small smart actuator device having a sensing function and a method thereof.

일반적으로, 터치 스크린은 외부에서 스크린을 직접 접촉함으로써 터치 스크린내 포인터의 위치와 기능을 조작할 수 있다.In general, the touch screen can manipulate the position and function of the pointer in the touch screen by directly touching the screen from the outside.

햅틱 피드백(haptic feedback)이란 물체를 만질때, 사람의 핑커팁(손가락 끝 또는 스타일러스 펜)으로 느낄 수 있는 촉각적 감각으로서, 피부가 물체 표면에 닿아서 느끼는 촉감 피드백(Tactile feedback)과 관절과 근육의 움직임이 방해될 때 느껴지는 근감각 힘 피드백(Kinesthetic force feedback)을 포괄하는 개념이다.Haptic feedback is a tactile sensation that can be felt by a human fingerer tip (fingertip or stylus pen) when touching an object, and the tactile feedback that the skin touches the surface of the object and the joint and muscle It is a concept that encompasses kinesthetic force feedback that is felt when movement is disturbed.

햅틱을 이용한 햅틱 장치는 가상의 물체(예를 들어, 윈도우 화면의 버튼 표시)를 사람이 만졌을 때, 실제의 물체(실제의 버튼)를 만지는 것과 같은 응답성으로 동적 특성(버튼을 누를 때 손가락으로 전달되는 진동, 촉감과 동작음 등)을 재생할 수 있는 것이 가장 이상적이라 할 수 있다. 이러한 햅틱 장치의 성능 향상을 위해 지금까지는 모터와 링크 메카니즘을 이용한 메카트로닉스 장비 등이 사용되었다.A haptic device using haptics is a dynamic response (such as touching a real object (actual button) when a person touches a virtual object (for example, displaying a button on a window screen) with a finger when a button is pressed. It is ideal to be able to reproduce transmitted vibrations, tactile feelings, and operation sounds). To improve the performance of such haptic devices, mechatronics equipment using a motor and a link mechanism has been used until now.

한편, 최근에 개발되고 있는 햅틱 장치들은 피에조 타입과 솔레노이드 타입의 각각 한가지 유형의 액츄에이터로만 구성되어 있다. 그러나, 종래 피에조 타입의 액츄에이터는 강한 힘 또는 가속도를 제공할 수 있는 반면, 스트로크(stroke)가 작은 단점으로 인해 모바일 핸드폰 등에 탑재 시 사용자가 진동력을 느끼기 어려운 문제점이 있다.On the other hand, recently developed haptic devices are composed of only one type of actuator each of the piezo type and solenoid type. However, the conventional piezo-type actuator may provide a strong force or acceleration, but due to the disadvantage of a small stroke, it is difficult for the user to feel the vibration force when mounted on a mobile cellular phone.

또한 솔레노이드 타입의 액츄에이터는 스트로크가 큰 반면에 초소형으로 제작할 경우 저주파에서의 진동력이 줄어드는 문제점이 있다. 즉, 소형 모바일 기기에 적용하기 위해 액츄에이터를 소형으로 설계시에 공진모드로 200 Hz에 맞춰서 큰 힘을 내는데, 저주파인 1 Hz의 전압을 인가하면 진동력이 줄어드는 문제점이 있다.In addition, the solenoid type actuator has a large stroke, but when manufactured in a very small size, there is a problem that the vibration force at low frequency is reduced. That is, when the actuator is designed to be small in order to be applied to a small mobile device, the actuator generates a large force in accordance with 200 Hz in the resonance mode. However, when a low frequency of 1 Hz is applied, the vibration force is reduced.

그리고 기존의 소형 액츄에이터 장치에 있어서, 솔레노이드 액츄에이터의 움직임을 자가 센싱하는데 어려운 문제점이 있다.In the conventional small actuator device, there is a problem that it is difficult to self-sensing the movement of the solenoid actuator.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 두 가지 타입(Piezoelectric, Solenoid)의 물질을 하이브리드 형태로 구성하여 자기 반력으로 인한 관성 진동을 발생시키는 동시에, 자기 반력을 센싱하는 소형 스마트 액츄에이터 장치 및 그 방법을 제공함에 있다.The present invention has been devised in view of the above problems, and an object of the present invention is to construct two types of materials (Piezoelectric, Solenoid) in a hybrid form to generate an inertial vibration due to magnetic reaction force, while sensing the magnetic reaction force The present invention provides a small smart actuator device and a method thereof.

본 발명은 소형 스마트 액츄에이터 장치에 있어서, 인가되는 전기를 자기장으로 변환시켜 자기 반력을 발생시키는 액츄에이터 수단; 및 상기 액츄에이터 수단에서 발생되는 자기반력에 의해 형상변화를 일으키는 압전현상을 이용한 센싱 수단; 을 포함하며, 상기 자기 반력으로 인한 관성 진동을 발생시키는 동시에, 상기 자기 반력을 센싱하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a small smart actuator device, comprising: actuator means for converting applied electricity into a magnetic field to generate a magnetic reaction force; And a sensing means using a piezoelectric phenomenon which causes a shape change by the magnetic reaction force generated by the actuator means. It includes, and generating the inertial vibration due to the magnetic reaction force, characterized in that for sensing the magnetic reaction force.

한편, 소형 스마트 액츄에이터 장치를 이용한 센싱 방법에 있어서, (a) 외부로부터 인가되는 전기를 액츄에이터 수단을 통해 자기장으로 변환시켜 자기 반력을 발생시키는 단계; 및 (b) 상기 액츄에이터 수단의 자기 반력으로 인한 진동을 센싱 수단으로 센싱하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, a sensing method using a small smart actuator device, comprising: (a) generating a magnetic reaction force by converting electricity applied from the outside into a magnetic field through the actuator means; And (b) sensing the vibration caused by the magnetic reaction force of the actuator means with a sensing means; Characterized in that it comprises a.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 두 가지 타입(Piezoelectric, Solenoid)의 물질을 하이브리드 형태로 구성하여 자기 반력으로 인한 관성 진동을 발생시키는 동시에, 자기 반력을 센싱하는 효과가 있다.According to the present invention as described above, two types of materials (Piezoelectric, Solenoid) in a hybrid form to generate an inertial vibration due to the magnetic reaction force, there is an effect of sensing the magnetic reaction force.

본 발명의 구체적 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 발명에 관련된 공지 기능 및 그 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.Specific features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings. In the meantime, when it is determined that the detailed description of the known functions and configurations related to the present invention may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, it should be noted that the detailed description is omitted.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings as follows.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치의 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치에 관한 구조도이다.1 is a schematic configuration diagram of a small smart actuator device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a structural diagram of a small smart actuator device according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치는 액츄에이터 수단(100), 센싱 수단(200)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the small smart actuator device according to the first embodiment of the present invention includes an actuator means 100 and a sensing means 200.

우선, 액츄에이터 수단(100)은 외부로부터 인가되는 전기를 자기장으로 변환시켜 자기 반력을 발생시키는 구성요소이다.First, the actuator means 100 is a component that converts electricity applied from the outside into a magnetic field to generate a magnetic reaction force.

이러한 액츄에이터 수단(100)은 솔레노이드 코일이 배치되는 제1 자력발생부(110)인 것을 특징으로 한다. 여기서, 액츄에이터 수단의 솔레노이드 코일은 외부로부터 전원을 인가받아 전자석 기능을 한다.The actuator means 100 is characterized in that the first magnetic force generating unit 110, the solenoid coil is disposed. Here, the solenoid coil of the actuator means serves as an electromagnet by receiving power from the outside.

센싱 수단(200)은 액츄에이터 수단의 제1 자력발생부(110)에 자기적으로 인접하게 설치되는 제2 자력발생부(210)와, 액츄에이터 수단의 자기반력에 의해 형상변화를 일으키는 압전층(220)(피에조,Piezo)과, 제1 자력발생부와 제2 자력발생부를 사이에 두고 배치되는 탄성부(230)가 압전층에 연결되어, 자기 반력을 센싱하 고, 인가되는 전기를 기계적 반력으로 변환하는 것을 특징으로 한다.The sensing means 200 includes a second magnetic force generating portion 210 which is magnetically installed adjacent to the first magnetic force generating portion 110 of the actuator means, and a piezoelectric layer 220 which causes a shape change by the magnetic reaction force of the actuator means. (Piezo) and an elastic portion 230 disposed between the first magnetic force generating portion and the second magnetic force generating portion are connected to the piezoelectric layer to sense magnetic reaction force, and to apply the applied electric force to mechanical reaction force. Characterized in that the conversion.

바람직하게는 도 2에 도시된 바와 같이, 액츄에이터 수단 및 센싱 수단은 빔타입인 것을 특징으로 한다.Preferably, as shown in Figure 2, the actuator means and the sensing means is characterized in that the beam type.

바람직하게는 센싱 수단의 압전층인 피에조 압전 물질(Piezo-electronic Ceramic)을 이용하여, 액츄에이터 수단에서의 진동을 센싱한다. 이러한 센싱 수단을 예를 들면, 기존의 편심모터에서 회전각을 센싱하는 엔코더와 비슷한 역할을 하는 것으로 예를 들 수 있다.Preferably, piezo-electronic ceramics, which are piezoelectric layers of the sensing means, are used to sense vibrations in the actuator means. For example, the sensing means may play a role similar to an encoder for sensing a rotation angle in a conventional eccentric motor.

바람직하게는 제2 자력발생부는 영구자석인 것을 특징으로 하고, 압전층은 Pb(ZrTi)O3와 같은 물질로 이루어져 있다. 따라서 전기가 가해지면 진동이 발생하게 된다. 이를 위해 압전층의 양단에는 전극이 연결되어 있다.Preferably, the second magnetic force generating portion is a permanent magnet, and the piezoelectric layer is made of a material such as Pb (ZrTi) O 3 . Therefore, vibration is generated when electricity is applied. To this end, electrodes are connected at both ends of the piezoelectric layer.

바람직하게는 액츄에이터 수단에서 발생되는 전자기력이 센싱 수단의 하단에 부착된 영구자석을 밀어주어 압전물질의 형상변화를 일으키고, 이 형상변화는 압전물질의 특성에 의해 기전력을 불러일으킨다.Preferably, the electromagnetic force generated by the actuator means pushes the permanent magnet attached to the lower end of the sensing means, causing a change in the shape of the piezoelectric material, which causes the electromotive force by the characteristics of the piezoelectric material.

탄성부(230)는 굽힘 탄성이 좋은 금속재(강재) 또는 합성수지재의 탄성빔(Elastic Beams)으로, 액츄에이터 수단에서 발생하는 자기 반력을 더욱 크게 하는 관성진동을 제공할 수 있다.The elastic part 230 may be an elastic beam of a metal material (steel material) or a synthetic resin material having good bending elasticity, and may provide an inertial vibration that increases the magnetic reaction force generated by the actuator means.

여기서, 본 발명의 일실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 영구자석이 상측에 솔레노이드 코일이 하측에 배치되는 것으로 하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아닌 바, 영구자석이 하측에, 솔레노이드 코일이 상측에 배치될 수 있음은 물론이다.Here, in the small smart actuator device according to an embodiment of the present invention, as shown in FIG. 2, the solenoid coil is disposed on the lower side of the permanent magnet, but the present invention is not limited thereto. Of course, the solenoid coil may be disposed above the lower side.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치의 압전물질의 형상변화에 따른 기전력 파형을 나타낸 그래프이다.3 is a graph showing the electromotive force waveform according to the shape change of the piezoelectric material of the small smart actuator device according to an embodiment of the present invention.

솔레노이드 코일의 액츄에이터 수단이 구동시, 피에조 압전물질의 형상변화는 도 3에 도시된 바와 같이, 기전력 파형을 발생시킨다.When the actuator means of the solenoid coil is driven, the shape change of the piezoelectric piezoelectric material generates an electromotive force waveform, as shown in FIG.

한편, 상술한 소형 스마트 액츄에이터 장치를 이용한 방법(이하, "소형 스마트 액츄에이터 장치를 이용한 센싱 방법"이라 함)에 대하여 설명하면 다음과 같다.On the other hand, the method using the above-mentioned small smart actuator device (hereinafter referred to as "sensing method using the small smart actuator device") will be described as follows.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치를 이용한 센싱 방법의 전체 흐름도이다.4 is a flowchart illustrating a sensing method using a small smart actuator device according to an embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 액츄에이터 수단은 외부로부터 인가되는 전기를 자기장으로 변환시켜 자기 반력을 발생시킨다(S2).As shown in FIG. 4, the actuator means converts electricity applied from the outside into a magnetic field to generate a magnetic reaction force (S2).

다음으로, 센싱 수단은 액츄에이터 수단의 자기 반력으로 인한 진동을 센싱한다(S4).Next, the sensing means senses the vibration due to the magnetic reaction force of the actuator means (S4).

다음으로 센싱 수단은 인가되는 전기를 기계적 반력으로 변환한다(S6).Next, the sensing means converts the applied electricity into mechanical reaction force (S6).

그리고 액츄에이터 수단의 자기 반력 및 센싱 수단의 기계적 반력이 합쳐진 관성진동을 발생시킨다(S6). In addition, the magnetic reaction force of the actuator means and the mechanical reaction force of the sensing means generate an inertial vibration (S6).

여기서, 상기 액츄에이터 수단의 제2 자력발생부가 제1 자력발생부에 자기적으로 인접하게 설치되고, 상기 자기반력으로 인해 상기 제1 및 제2 자력발생부를 사이에 두고 설치되는 탄성부가 상하이동하며 상기 센싱 수단으로 전달하는 것을 특징으로 한다.Here, the second magnetic force generating portion of the actuator means is installed magnetically adjacent to the first magnetic force generating portion, the elastic portion which is installed between the first and second magnetic force generating portion due to the magnetic reaction force is movable Characterized in that the transmission to the sensing means.

본 발명에 따르면 크기가 작고 저전력(약 0.3W)에서 작동하는 소형진동모터의 피에조 압전물질과 솔레노이드 코일을 접합한 하이브리드 형태의 소형 스마트 액츄에이터 장치에 있어서, 이동하는 긴 타입의 솔레노이드와 적층으로 배열된 피에조 물질이 동기화되어 진동력의 강도를 높이는 구조와, 진동력 발생 소스 자체가 움직이는 구조로서, 저주파(대략 0 내지 10 Hz)에서 버튼 클릭감을 위해 큰 진동력을 제공하고, 다수의 공진주파수와 넓은 주파수 대역(대략 0 내지 300 Hz)으로, 다양한 진동햅틱 피드백을 전달할 뿐만 아니라, 솔레노이드 코일의 액츄에이터 수단이 구동시, 센싱수단에 의해 압전물질의 형상변화가 도 3에 도시된 바와 같은 기전력 파형을 발생시켜 이를 자가 센싱하는 효과가 있다.According to the present invention, in a hybrid smart compact actuator device in which a piezoelectric material and a solenoid coil of a small vibration motor operating at a small size and operating at a low power (about 0.3 W) are combined, they are arranged in a stack with a moving long type solenoid. The structure that the piezo material is synchronized to increase the strength of the vibration force, and the vibration force source itself moves, providing a large vibration force for the feeling of button click at low frequencies (approximately 0 to 10 Hz), a large number of resonance frequencies and a wide range In the frequency band (approximately 0 to 300 Hz), in addition to delivering a variety of vibration haptic feedback, when the actuator means of the solenoid coil is driven, the shape change of the piezoelectric material by the sensing means generates an electromotive force waveform as shown in FIG. It has the effect of self sensing.

이상으로 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 이와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용에만 국한되는 것이 아니며, 기술적 사상의 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대해 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.As described above and described with reference to a preferred embodiment for illustrating the technical idea of the present invention, the present invention is not limited to the configuration and operation as shown and described as described above, it is a deviation from the scope of the technical idea It will be understood by those skilled in the art that many modifications and variations can be made to the invention without departing from the scope of the invention. Accordingly, all such suitable changes and modifications and equivalents should be considered to be within the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치에 관한 개략적인 구성도.1 is a schematic configuration diagram of a small smart actuator device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치에 관한 구조도.2 is a structural diagram of a small smart actuator device according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치의 압전물질의 형상변화에 따른 기전력 파형을 나타낸 그래프.Figure 3 is a graph showing the electromotive force waveform according to the shape change of the piezoelectric material of the small smart actuator device according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 소형 스마트 액츄에이터 장치를 이용한 센싱 방법의 전체 흐름도.4 is an overall flowchart of a sensing method using a small smart actuator device according to an embodiment of the present invention.

** 도면 부호에 대한 설명 **** Description of reference numbers **

100 : 액츄에이터 수단 110 : 제1 자력발생부100: actuator means 110: first magnetic force generating portion

200 : 센싱 수단 210 : 제2 자력발생부200: sensing means 210: second magnetic force generating portion

220 : 압전층 230 : 탄성부220: piezoelectric layer 230: elastic portion

Claims (8)

소형 스마트 액츄에이터 장치에 있어서,In the small smart actuator device, 인가되는 전기를 자기장으로 변환시켜 자기 반력을 발생시키는 액츄에이터 수단; 및Actuator means for converting applied electricity into a magnetic field to generate a magnetic reaction force; And 상기 액츄에이터 수단에서 발생되는 자기반력에 의해 형상변화를 일으키는 압전현상을 이용한 센싱 수단; 을 포함하며,Sensing means using piezoelectric phenomena which cause a shape change by magnetic reaction force generated by the actuator means; Including; 상기 자기 반력으로 인한 관성 진동을 발생시키는 동시에, 상기 자기 반력을 센싱하는 것을 특징으로 하는 소형 스마트 액츄에이터 장치.Small smart actuator device, characterized in that for generating the inertial vibration due to the magnetic reaction force, the magnetic reaction force is sensed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액츄에이터 수단은, The actuator means, 솔레노이드 코일이 배치되는 제1 자력발생부인 것을 특징으로 하는 소형 스마트 액츄에이터 장치.Small smart actuator device, characterized in that the solenoid coil is a first magnetic force generating unit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액츄에이터 수단 및 센싱 수단은,The actuator means and the sensing means, 빔타입인 것을 특징으로 하는 소형 스마트 액츄에이터 장치.Small smart actuator device, characterized in that the beam type. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 센싱수단은,The sensing means, 상기 액츄에이터 수단의 제1 자력발생부에 자기적으로 인접하게 설치되는 제2 자력발생부;A second magnetic force generating portion installed magnetically adjacent to the first magnetic force generating portion of the actuator means; 상기 액츄에이터 수단의 자기반력에 의해 형상변화를 일으키는 압전층; 및A piezoelectric layer which causes a shape change by the magnetic reaction force of the actuator means; And 상기 제1 자력발생부 및 제2 자력발생부를 사이에 두고 상기 압전층에 연결배치되는 탄성부;를 포함하며,And an elastic part disposed to be connected to the piezoelectric layer with the first magnetic force generating part and the second magnetic force generating part interposed therebetween. 상기 자기반력을 센싱하고, 인가되는 전기를 기계적 반력으로 변환하는 것을 특징으로 하는 소형 스마트 액츄에이터 장치.Small smart actuator device, characterized in that for sensing the magnetic reaction force and converts the applied electricity into mechanical reaction force. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제2 자력발생부는,The second magnetic force generating unit, 영구자석인 것을 특징으로 하는 소형 스마트 액츄에이터 장치.Small smart actuator device, characterized in that the permanent magnet. 소형 스마트 액츄에이터 장치를 이용한 센싱 방법에 있어서,In the sensing method using a small smart actuator device, (a) 외부로부터 인가되는 전기를 액츄에이터 수단을 통해 자기장으로 변환시켜 자기 반력을 발생시키는 단계; 및(a) converting electricity applied from the outside into a magnetic field through the actuator means to generate a magnetic reaction force; And (b) 상기 액츄에이터 수단의 자기 반력으로 인한 진동을 센싱 수단으로 센싱하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 소형 스마트 액츄에이터 장치를 이용한 센싱 방법.(b) sensing vibration caused by magnetic reaction force of the actuator means with a sensing means; Sensing method using a small smart actuator device comprising a. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, (c) 상기 인가되는 전기를 상기 센싱 수단을 통해 기계적 반력으로 변환하는 단계; 및(c) converting the applied electricity into mechanical reaction force through the sensing means; And (d) 상기 액츄에이터 수단의 자기 반력 및 상기 센싱 수단의 기계적 반력이 합쳐진 관성진동을 발생시키는 단계; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소형 스마트 액츄에이터 장치를 이용한 센싱 방법.(d) generating an inertial vibration in which the magnetic reaction force of the actuator means and the mechanical reaction force of the sensing means are combined; Sensing method using a small smart actuator device further comprising a. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 (a) 단계는,Step (a) is, 상기 액츄에이터 수단의 제2 자력발생부가 제1 자력발생부에 자기적으로 인접하게 설치되고, 상기 자기반력으로 인해 상기 제1 및 제2 자력발생부를 사이에 두고 설치되는 탄성부가 상하이동하며 상기 센싱 수단으로 전달하는 것을 특징으로 하는 소형 스마트 액츄에이터 장치를 이용한 센싱 방법.The second magnetic force generating portion of the actuator means is installed magnetically adjacent to the first magnetic force generating portion, the elastic portion which is installed between the first and second magnetic force generating portion due to the magnetic reaction is moved and the sensing means Sensing method using a small smart actuator device, characterized in that for transmitting to.
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