KR101016749B1 - System for inspecting objects received in a cassette - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사 대상물 이송 수단을 효율적으로 가동시키고 그에 따라 검사 대상물에 대한 검사 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 검사 시스템을 제공하며, 본 발명에 따른 검사 시스템은 다수의 검사기들, 검사 대상물들이 수용된 카셋트 및 검사기들과 카셋트 사이에 위치한 이송 수단을 포함하며, 어느 한 검사기 내에서 검사 대상물에 대한 검사 공정이 진행되는 동안 이송 수단은 다른 검사 대상물을 또다른 어느 한 검사기 내로 로딩 및 언로딩시킨다. The present invention provides an inspection system capable of efficiently operating the inspection object transporting means and thus improving the efficiency of the inspection process for the inspection object, the inspection system according to the present invention is a cassette containing a plurality of inspectors, inspection objects And a conveying means located between the inspectors and the cassette, wherein the conveying means loads and unloads another inspected object into another inspector while the inspecting process for the inspected object is in progress in one inspector.

검사 시스템, 카셋트Inspection system, cassette

Description

검사 시스템{System for inspecting objects received in a cassette}Inspection system {System for inspecting objects received in a cassette}

도 1은 일반적인 검사 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 평면도.1 is a plan view showing a schematic configuration of a general inspection system.

도 2는 본 발명에 따른 검사 시스템의 전체적인 구성을 도시한 평면도. Figure 2 is a plan view showing the overall configuration of the inspection system according to the present invention.

본 발명은 검사 시스템에 관한 것으로서, 특히 검사 대상물을 검사하는 다수의 검사기를 설치하고 단일의 이송 수단으로 카셋트 내의 검사 대상물을 각 검사기로 이송시켜 검사 효율을 높일 수 있는 검사 시스템에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection system, and more particularly, to an inspection system capable of increasing inspection efficiency by installing a plurality of inspectors for inspecting inspection objects and transferring inspection objects in a cassette to each inspector by a single conveying means.

반도체 소자, 유기 전계 발광 소자(organic electroluminescent device; 유기 EL 소자) 등을 제조하는 공정에서 주요 부재인 기판은 취급시 많은 주의가 요구된다. 즉, 기판(또는 웨이퍼)은 주로 석영(quartz) 또는 글라스(glass)로 제조되며, 따라서 미약한 외부 충격이 가해질지라도 파손될 수 있으며, 특히 기판의 표면에는 소자를 구성하는 많은 구조가 형성되기 때문에 완전한 상태를 유지해야만 한다. 만일 표면에 미세한 흠(scratch)이라도 존재하는 경우에는 불량으로 간주되어 폐기 처리된다.In the process of manufacturing a semiconductor device, an organic electroluminescent device (organic EL device) and the like, the substrate, which is a main member, requires much attention in handling. That is, the substrate (or wafer) is mainly made of quartz or glass, and thus can be broken even under a slight external impact, especially since the surface of the substrate has many structures constituting the device. You must keep it. If even a small scratch is present on the surface, it is regarded as defective and disposed of.

이와 같은 기판의 재질 및 구조적인 특성 때문에 기판을 이송시키기 과정에 서 보다 세밀한 주의가 요구되며, 따라서 기판만을 개별적으로 이송하지 않고 카셋트(cassette)라는 수단을 이용한다. 카셋트에는 다수의 기판들을 이격시킨 상태로 수용시킬 수 있는 구조로 이루어져 있으며, 이와 같은 카셋트를 이동시킴으로서 표면에 충격이나 흠을 발생시키지 않고 기판을 이동시킬 수 있다. 한편, 이러한 기능을 수행하는 카셋트는 일반적인 것이므로 그 구조에 대한 설명은 생략한다.Due to the material and structural characteristics of the substrate, more attention is required in the process of transferring the substrate, and thus, a cassette is used instead of the individual substrate. The cassette has a structure capable of accommodating a plurality of substrates in a spaced apart state, and by moving the cassette, the substrate can be moved without generating an impact or a flaw on the surface. On the other hand, since the cassette that performs this function is a general thing, a description of the structure is omitted.

제조가 완료된 기판 또는 한 공정이 완료된 다수의 기판을 카셋트 내에 위치시킨 뒤, 기판의 상태 등을 검사하기 위해서 카셋트를 검사 시스템 내에 투입하게 된다. After manufacturing the completed substrate or a plurality of substrates in which a process is completed is placed in the cassette, the cassette is introduced into the inspection system to inspect the state of the substrate and the like.

도 1은 일반적인 검사 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 평면도로서, 1대의 검사기(1)와 2대의 카셋트 재치대(2A 및 2B) 그리고 검사기(1)와 카셋트 재치대(2A 및 2B) 사이에 위치하는 검사 대상물 이송 수단(3; 로보트)으로 이루어진 검사 시스템을 도시하고 있다. 한편, 도 1에서는 편의상 검사기(1)와 이송 수단(3)을 제어하는 제어 장치를 도시하지 않았다. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a general inspection system, which is located between one inspector 1 and two cassette placing tables 2A and 2B and between the inspector 1 and the cassette placing tables 2A and 2B. The inspection system which consists of inspection object conveying means 3 (robot) is shown. In FIG. 1, a control device for controlling the inspector 1 and the conveying means 3 is not illustrated for convenience.

각 카셋트 재치대(2A 및 2B) 상에는 카셋트가 위치하며, 각 카셋트 내에는 검사 대상물인 다수의 기판들이 적재되어 있는 상태이다. 검사 대상물 이송 수단 (3)인 로보트는 카셋트 내에 적재된 기판을 인출하여 검사기(1) 내로 로딩 (loading)하고, 검사가 완료된 기판을 검사기(1) 내에서 인출(unloading)한 후 해당 카셋트로 다시 로딩한다.A cassette is positioned on each cassette placing table 2A and 2B, and a plurality of substrates to be inspected are loaded in each cassette. The robot, which is the inspection object transporting means 3, takes out the substrate loaded in the cassette and loads it into the inspector 1, unloads the completed substrate in the inspector 1, and then loads it back into the cassette. Load.

이와 같은 구성을 갖는 검사 시스템을 이용하여 기판을 검사하는 공정에서는 다음과 같은 문제점이 발생한다. The following problem occurs in the process of inspecting a board | substrate using the inspection system which has such a structure.                         

검사기(1) 내로의 기판의 로딩 및 검사기(1)로부터의 기판의 언로딩을 수행하는 이송 수단(3)은 검사기(1) 내에서 기판에 대한 검사 과정이 진행되는 동안에 어떠한 동작도 수행하지 않는 정지(idle) 상태가 된다. 검사를 진행해야할 기판이 많을수록 검사 공정 동안에 이와 같은 이송 수단(1)의 정지 시간이 길어지게 되며, 이는 이송 수단(1)의 가동 효율을 저하시킬 뿐만 아니라 검사 장비의 가동 시간을 불필요하게 늘리는 원인이 된다. The conveying means 3 which loads the substrate into the inspector 1 and unloads the substrate from the inspector 1 does not perform any operation during the inspection process for the substrate in the inspector 1. It is in an idle state. The more substrates to be inspected, the longer the downtime of the transfer means 1 during the inspection process, which not only lowers the operating efficiency of the transfer means 1 but also unnecessarily increases the uptime of the inspection equipment. do.

검사 시스템을 관리하는 관리자는 모든 공정 상황을 체크하기 때문에 2대의 검사 시스템을 관리하는 것은 어려우며, 따라서 이송 수단(1)의 정지 상태가 길어지게 되면 관리자의 작업 효율도 낮아질 수 밖에 없다. 또한, 검사 효율을 향상시키기 위하여 2대의 검사 시스템을 운용하는 방안도 있으나, 검사 시스템이 넓은 설치 면적을 요구하기 때문에 한정된 작업 공간 내에 2대 이상의 검사 시스템을 설치하는 것은 바람직하지 못하다. Since the manager who manages the inspection system checks all process conditions, it is difficult to manage two inspection systems, and therefore, when the stationary state of the conveying means 1 becomes longer, the work efficiency of the manager is inevitably lowered. In addition, there are methods for operating two inspection systems to improve inspection efficiency, but it is not preferable to install two or more inspection systems in a limited work space because the inspection system requires a large installation area.

따라서 본 발명은 검사 대상물 이송 수단을 효율적으로 가동시키고 그에 따라 검사 대상물에 대한 검사 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 검사 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide an inspection system capable of efficiently operating an inspection object transporting means and thus improving the efficiency of the inspection process for the inspection object.

상기 목적을 실현하기 위한 본 발명에 따른 검사 시스템은 제 1 카셋트; 상기 제 1 카셋트 내의 기판들을 검사하기 위한 제 1 검사기; 제 2 카셋트; 상기 제 2 카셋트 내의 기판들을 검사하기 위한 제 2 검사기; 및 상기 제 1 검사기 및 제 2 검사기 중 어느 하나에서 기판 검사 공정이 진행되는 동안 상기 제 1 검사기 및 제 2 검사기 중 나머지 하나 내로 검사 대상 기판을 로딩 및 언로딩시키는 이송 수단을 구비하고; 상기 이송 수단은, 상기 제 1 카셋트로부터 기판을 언로딩하여 상기 제 1 검사기에 로딩하고, 상기 제 1 검사기에서 기판 검사 공정이 진행되는 동안, 상기 제 2 카셋트로부터 기판을 언로딩하여 상기 제 2 검사기에 로딩하며; 상기 제 2 검사기에서 기판 검사 공정이 진행되는 과정에서, 상기 제 1 검사기로부터 기판 검사 공정이 완료된 기판을 언로딩하여 상기 제 1 카셋트에 로딩함과 아울러 상기 제 1 카셋트로부터 새로운 기판을 언로딩하여 상기 제 1 검사기에 로딩하고, 상기 제 1 검사기에서 새로운 기판 검사 공정이 진행되는 과정에서, 상기 제 2 검사기로부터 기판 검사 공정이 완료된 기판을 언로딩하여 상기 제 2 카셋트에 로딩함과 아울러 상기 제 2 카셋트로부터 새로운 기판을 언로딩하여 상기 제 2 검사기에 로딩한다.An inspection system according to the present invention for realizing the above object comprises a first cassette; A first inspector for inspecting substrates in the first cassette; Second cassette; A second inspector for inspecting substrates in the second cassette; And transfer means for loading and unloading the inspection target substrate into the other of the first inspector and the second inspector while the substrate inspecting process is performed in any one of the first inspector and the second inspector; The transfer means unloads the substrate from the first cassette and loads it into the first inspector, while the substrate inspecting process is performed in the first inspector, the substrate unloads the substrate from the second cassette. Loading on; In the process of performing the substrate inspection process in the second inspector, the substrate on which the substrate inspection process is completed is unloaded from the first inspector, loaded into the first cassette, and unloaded a new substrate from the first cassette. In the process of loading the first inspection machine, a new substrate inspection process in the first inspection machine, unloading the substrate on which the substrate inspection process is completed from the second inspection machine and loading the second cassette and loading the second cassette A new substrate is unloaded from and loaded into the second inspector.

이하, 첨부된 도면을 참고로 한 바람직한 실시예의 상세한 설명에 의하여 본 발명은 보다 완전하게 이해될 것이다. Hereinafter, the present invention will be more fully understood by the detailed description of preferred embodiments with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 검사 시스템의 전체적인 구성을 도시한 평면도로서, 2대의 제 1 및 제 2 검사기(11A 및 11B), 2조의 제 1 및 제 2 카셋트 재치부(12A 및 12B) 그리고 검사기(11A 및 11B)와 카셋트 재치부(12A 및 12B) 사이의 공간에 설치된 검사 대상물 이송 수단(13)으로 이루어진 검사 시스템을 도시하고 있다. 한편, 도 2에서도 편의상 검사기(11A 및 11B)와 이송 수단(13)을 제어하는 제어 장치 를 도시하지 않았으며, 각 카셋트 재치부(12A 및 12B)에는 2개씩의 카셋트 재치대가 위치한다.FIG. 2 is a plan view showing the overall configuration of the inspection system according to the present invention, which includes two first and second inspectors 11A and 11B, two sets of first and second cassette mounts 12A and 12B, and an inspector ( The inspection system which consists of the inspection object conveying means 13 provided in the space between 11A and 11B and the cassette mounting parts 12A and 12B is shown. On the other hand, Figure 2 does not show a control device for controlling the inspection device (11A and 11B) and the conveying means 13 for convenience, each cassette mounting portion (12A and 12B) two cassette mounting tables are located.

제 1 카셋트 재치부(12A)에 재치된 카셋트(이하, 편의상 "제 1 카셋트"라 칭함) 내의 기판은 제 1 검사기(11A) 내에서 검사 공정이 진행되며, 제 2 카셋트 재치부(12B)대에 재치된 카셋트(이하, 편의상 "제 2 카셋트"라 칭함) 내의 기판은 제 2 검사기(11B) 내에서 검사 공정이 진행된다. The substrate in the cassette (hereinafter referred to as " first cassette " for convenience) placed on the first cassette placing portion 12A undergoes an inspection process in the first inspection unit 11A, and the second cassette placing portion 12B stands. The substrate in the cassette (hereinafter referred to as " second cassette " for convenience) is subjected to an inspection process in the second inspector 11B.

먼저, 이송 수단(13)이 제 1 카셋트 내의 기판을 언로딩하여 제 1 검사기( 11A) 내로 로딩하며, 이후 제 1 검사기(11A) 내에서 기판의 검사 공정이 진행된다. 제 1 검사기(11A) 내에서의 기판 검사 공정이 진행되는 동안, 이송 수단(13)은 제 2 카셋트로 회전하여 제 2 카셋트 내의 기판을 언로딩한 후, 제 2 검사기(11B) 내로 로딩한다. First, the transfer means 13 unloads the substrate in the first cassette and loads it into the first inspector 11A, and then the inspection process of the substrate is performed in the first inspector 11A. While the substrate inspection process in the first inspector 11A is in progress, the transfer means 13 rotates to the second cassette to unload the substrate in the second cassette and then loads it into the second inspector 11B.                     

제 2 검사기(11B) 내에서의 기판 검사 공정이 진행되는 과정에서, 제 1 검사기(11A) 내에서의 기판 검사 공정이 종료되며, 이 때 이송 수단(13)은 제 1 검사기 (11A)내에서 검사가 완료된 기판을 언로딩한 후, 제 1 카셋트 내로 로딩한다. In the course of the substrate inspection process in the second inspector 11B, the substrate inspection process in the first inspector 11A is ended, and the transfer means 13 is then operated in the first inspector 11A. The unloaded substrate is unloaded and then loaded into the first cassette.

이송 수단(13)이 제 1 카셋트에서 새로운 기판을 언로딩하여 제 1 검사기 (11A) 내로 로딩하는 동안, 제 2 검사기(11B) 내에서의 기판 검사 공정이 종료되며, 제 1 검사기(11A) 내로 새로운 기판을 로딩한 이송 수단(13)은 제 2 검사기 (11B)에서 검사가 완료된 기판을 언로딩하여 제 2 카셋트로 로딩한 후, 새로운 기판을 제 2 검사기(11B)로 로딩한다.While the transport means 13 unloads a new substrate in the first cassette and loads it into the first inspector 11A, the substrate inspection process in the second inspector 11B ends, and into the first inspector 11A. The transfer means 13 which loaded the new substrate unloads the board | substrate with which the inspection was completed in the 2nd inspection machine 11B, loads it into a 2nd cassette, and then loads a new board | substrate to the 2nd inspection machine 11B.

이상과 같이 이송 수단(13)은 제 1 검사기(11A)의 검사 공정 동안에 제 2 카셋트에서 기판을 언로딩한 후 제 2 검사기(11B)로 로딩하며, 제 2 검사기(11B)의 검사 공정 동안에 제 1 카셋트에서 기판을 언로딩한 후 제 1 검사기(11A)로 로딩하게 된다.As described above, the transfer means 13 unloads the substrate from the second cassette during the inspection process of the first inspector 11A and then loads it into the second inspector 11B, and during the inspection process of the second inspector 11B, The substrate is unloaded from one cassette and then loaded into the first inspector 11A.

한편, 상기 설명에서는 2대의 검사기(11A 및 11B)와 2조의 카셋트 재치부 (12A 및 12B)가 설치되어 있는 검사 시스템을 설명하였지만, 단일의 이송 수단과 다수의 검사기들이 설치되어 있다면, 단일의 카셋트 재치부만을 사용하여도 동일한 기능 및 효과를 얻을 수 있음은 물론이다. On the other hand, in the above description, the inspection system in which two inspectors 11A and 11B and two sets of cassette placing parts 12A and 12B are provided is described. However, if a single conveying means and a plurality of inspectors are installed, a single cassette is provided. It is a matter of course that the same function and effect can be obtained using only the placement unit.

이상과 같은 본 발명은 2대의 검사기를 이용하여 검사 대상물에 대한 검사를 진행함으로서 어느 한 검사기에서 검사 공정이 진행되는 동안 다른 검사기로의 검사 대상물의 로딩 및 언로딩이 이루어지기 때문에 이송 수단이 정지되는 시간을 최 소화할 수 있어 장비의 효율적이 이용이 가능하다. 또한, 종래의 검사 시스템과 비교하여, 동일한 시간 동안 2배 이상의 검사 대상물을 검사할 수 있어 작업의 효율을 향상시킬 수 있음은 물론이다.In the present invention as described above, the inspection means are inspected using two inspectors, so that the conveying means is stopped because the loading and unloading of the inspected object to the other inspector is performed while the inspecting process is performed in one inspector. The time can be minimized and the equipment can be used efficiently. In addition, compared to the conventional inspection system, the inspection object can be inspected twice or more during the same time, it is a matter of course that can improve the efficiency of the work.

한편, 이송 수단의 이동 반경을 최소화시킬 수 있다면, 검사기와 카셋트 재치대는 도 2에 도시된 형태와는 다른 어떠한 형태로 배치되어도 관계없다. 또한, 본 발명의 목적을 이루기 위하여 검사기의 2대로 제한되지는 않으며, 각 검사기 내에서의 기판의 검사 시간을 고려하여 이송 수단의 대기 시간(정지 상태)을 최소화할 수 있는 범위 내에서 설정할 수 있음은 물론이다. On the other hand, as long as the moving radius of the conveying means can be minimized, the inspector and the cassette mounting table may be arranged in any form other than the form shown in FIG. In addition, in order to achieve the object of the present invention is not limited to two of the inspector, in consideration of the inspection time of the substrate in each inspector can be set within the range that can minimize the waiting time (stop state) of the transport means Of course.

Claims (2)

제 1 카셋트;A first cassette; 상기 제 1 카셋트 내의 기판들을 검사하기 위한 제 1 검사기;A first inspector for inspecting substrates in the first cassette; 제 2 카셋트;Second cassette; 상기 제 2 카셋트 내의 기판들을 검사하기 위한 제 2 검사기; 및A second inspector for inspecting substrates in the second cassette; And 상기 제 1 검사기 및 제 2 검사기 중 어느 하나에서 기판 검사 공정이 진행되는 동안 상기 제 1 검사기 및 제 2 검사기 중 나머지 하나 내로 검사 대상 기판을 로딩 및 언로딩시키는 이송 수단을 구비하고;A conveying means for loading and unloading the inspection target substrate into the other of the first inspector and the second inspector while the substrate inspecting process is performed in any one of the first inspector and the second inspector; 상기 이송 수단은,The conveying means, 상기 제 1 카셋트로부터 기판을 언로딩하여 상기 제 1 검사기에 로딩하고, 상기 제 1 검사기에서 기판 검사 공정이 진행되는 동안, 상기 제 2 카셋트로부터 기판을 언로딩하여 상기 제 2 검사기에 로딩하며;Unloading the substrate from the first cassette and loading it into the first inspector, while the substrate inspection process is in progress in the first inspector, unloading the substrate from the second cassette and loading it into the second inspector; 상기 제 2 검사기에서 기판 검사 공정이 진행되는 과정에서, 상기 제 1 검사기로부터 기판 검사 공정이 완료된 기판을 언로딩하여 상기 제 1 카셋트에 로딩함과 아울러 상기 제 1 카셋트로부터 새로운 기판을 언로딩하여 상기 제 1 검사기에 로딩하고, In the process of performing the substrate inspection process in the second inspector, the substrate on which the substrate inspection process is completed is unloaded from the first inspector, loaded into the first cassette, and unloaded a new substrate from the first cassette. Loaded into the first checker, 상기 제 1 검사기에서 새로운 기판 검사 공정이 진행되는 과정에서, 상기 제 2 검사기로부터 기판 검사 공정이 완료된 기판을 언로딩하여 상기 제 2 카셋트에 로딩함과 아울러 상기 제 2 카셋트로부터 새로운 기판을 언로딩하여 상기 제 2 검사기에 로딩하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.In the process of performing a new substrate inspection process in the first inspector, the substrate on which the substrate inspection process is completed is unloaded from the second inspector, loaded into the second cassette, and unloaded a new substrate from the second cassette. And the second inspection machine is loaded. 제 1 항에 있어서, 상기 검사 대상물이 수용된 카셋트는 2개 이상인 검사 시스템. The inspection system according to claim 1, wherein the cassette containing the inspection object is two or more.

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