KR101010600B1 - 회절광학소자를 이용한 레이저 가공 장치 - Google Patents
회절광학소자를 이용한 레이저 가공 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (6)
- 레이저 가공 장치로서,레이저 빔을 출력하기 위한 레이저 발생부;상기 레이저 발생부로부터 출사되는 레이저 빔을 복수개로 분할하는 회절광학소자;기 설정된 회전각에 따라 상기 회절광학소자의 회전각을 제어하여, 상기 회절광학소자가 회전축을 중심으로 대상물에 대하여 수평회전하도록 하는 간격 조절부; 및상기 회절광학소자에 의해 복수개로 분할된 레이저 빔을 각각 집속시켜 상기 대상물로 조사하기 위한 광학계;를 포함하는 레이저 가공 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 간격 조절부는, 모터 구동되는 회전 스테이지(Motorized rotation stage), 또는 모터 구동되는 고니어미터(Motorized goniometer)인 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 광학계는 포커싱 렌즈, f-세타 렌즈, 또는 f-세타 텔레센트릭 렌즈 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 레이저 가공 장치.
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