KR101003394B1 - Probe unit including a detachable part using a sliding PCB type - Google Patents

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Abstract

본 발명은 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛에 관한 것이다. 상기 프로브 유닛은, 프로브 스테이지 위에 고정되어 피검사체를 검사하는 것으로서, 본 발명은 유닛베이스부, 상기 유닛베이스부의 전면을 따라 장착된 머니퓰레이터부 및 상기 머니퓰레이터부에 장착되어 피검사체를 검사하는 프로브블록부를 구비하는 프로브 유닛에 관한 것이다. 상기 프로브 유닛은, 상기 프로브블록부와 전기적으로 연동되는 프로브회로기판이 탑재되고, 상기 유닛베이스부에 착탈가능하도록 마련된 회로기판베이스부; 및 상기 회로기판베이스부를 상기 유닛베이스부에 착탈하도록, 상기 유닛베이스부에 설치된 착탈부;를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 본 발명은 프로브 스테이지로부터 유닛베이스부 전체를 분해하는 작업없이, 프로브회로기판을 용이하게 점검 및 교체할 수 있다. The present invention relates to a probe unit capable of fine positioning of the probe. The probe unit is fixed on the probe stage to inspect the object under test, and the present invention provides a unit base part, a manipulator part mounted along the front surface of the unit base part, and a probe block part mounted on the manipulator part to inspect the subject. It relates to a probe unit to be provided. The probe unit may include a circuit board base part mounted on a probe circuit board electrically connected to the probe block part and detachable from the unit base part; And a detachable part provided in the unit base part to attach and detach the circuit board base part to the unit base part. Thus, the present invention can easily inspect and replace the probe circuit board without the work of disassembling the whole unit base part from the probe stage.

프로브 유닛, 유닛베이스부, 프로브회로기판, 회로기판베이스부 Probe Unit, Unit Base, Probe Circuit Board, Circuit Board Base

Description

슬라이딩 피씨비 방식의 프로브회로기판의 착탈부를 구비한 프로브 유닛{Probe unit including a detachable part using a sliding PCB type}Probe unit including a detachable part using a sliding PCB type}

본 발명은 LCD 패널 등에 신호를 인가하여 패널의 상태를 검사하는 프로브 유닛(Probe Unit)에 관한 것이다.The present invention relates to a probe unit for inspecting a state of a panel by applying a signal to an LCD panel or the like.

프로브 유닛은 LCD 패널 등 평판 디스플레이 패널이 정상 작동되는 여부를 확인하기 위한 테스트 장비이다. 프로브 유닛은, 검사모듈로부터 전기적인 신호를 검사의 대상인 패널에 인가하거나 패널로부터 검침된 신호를 검사모듈로 제공하는 기능을 수행한다. 프로브 유닛은 프로브 스테이지에 고정장착되어 사용된다.The probe unit is a test device for checking whether a flat panel display panel such as an LCD panel is normally operated. The probe unit performs a function of applying an electrical signal from the inspection module to the panel to be inspected or providing a signal read from the panel to the inspection module. The probe unit is fixed to the probe stage and used.

그리고 종래의 프로브 유닛은, 프로브패널의 접촉전극과 접촉하기 위한 다수 개의 탐침들이 고정 장착된 프로브블록부, 검사모듈로부터 프로브블록부로 전기적 신호를 출력하거나 탐침으로부터 검침된 전기적 신호를 프로브블록부를 통해 입력받아 검사모듈로 출력하는 프로브회로기판, 이 프로브회로기판을 탑재하여 유닛베이스부의 하부에 설치하는 회로기판베이스부를 구비한다.In the conventional probe unit, a probe block unit in which a plurality of probes for contacting the contact electrode of the probe panel is fixedly mounted, outputs an electrical signal from the inspection module to the probe block unit, or inputs an electrical signal read from the probe through the probe block unit. And a circuit board base portion mounted on the lower portion of the unit base portion by mounting the probe circuit board and receiving the probe circuit board.

그런데, 종래의 프로브 유닛은, 회로기판베이스부에 탑재된 프로브회로기판의 점검을 위해서 유닛베이스부 전체를 프로브 스테이지로부터 분해해야 하는 번거 러움이 발생하며, 유닛베이스부의 분해에 따른 재 조립 및 재 조정에 따른 작업 상의 부담이 발생하는 어려움이 있다.By the way, in the conventional probe unit, it is troublesome to disassemble the whole unit base part from the probe stage in order to inspect the probe circuit board mounted on the circuit board base part. There is a difficulty in generating a burden on the work.

본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해, 프로브 스테이지로부터 유닛베이스부 전체를 분해하는 작업없이, 프로브회로기판을 용이하게 점검 및 교체할 수 있는 프로브 유닛을 제공하는 데 목적이 있다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a probe unit that can easily inspect and replace a probe circuit board without disassembling the entire unit base portion from the probe stage.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 유닛베이스부, 상기 유닛베이스부의 전면을 따라 장착된 머니퓰레이터부 및 상기 머니퓰레이터부에 장착되어 피검사체를 검사하는 프로브블록부를 구비하는 프로브 유닛에 관한 것으로, 상기 프로브 유닛은 상기 프로브블록부와 전기적으로 연동되는 프로브회로기판이 탑재되고, 상기 유닛베이스부에 착탈가능하도록 마련된 회로기판베이스부; 및 상기 회로기판베이스부를 상기 유닛베이스부에 착탈하도록, 상기 유닛베이스부에 설치된 착탈부;를 구비하는 것을 특징으로 한다.A feature of the present invention for achieving the above-described technical problem, relates to a probe unit having a unit base portion, a manipulator portion mounted along the front surface of the unit base portion and a probe block portion mounted to the manipulator portion to inspect the subject The probe unit may include: a circuit board base part mounted on a probe circuit board electrically connected to the probe block part and detachable from the unit base part; And a detachable part provided in the unit base part to attach and detach the circuit board base part to the unit base part.

전술한 본 발명의 회로기판베이스부는, 상기 착탈부에 의해 착탈되도록, 양 측면에 가이드 핀이 형성되고, 상기 착탈부는, 상기 회로기판베이스부를 상기 유닛베이스부에 착탈하기 위해, 상기 가이드 핀과 연결되어 상기 회로기판베이스부를 가이드하는 가이드 레일을 구비한다.The above-described circuit board base part of the present invention has guide pins formed on both sides thereof so that the circuit board base part is detachable by the detachable part, and the detachable part is connected to the guide pin to detach the circuit board base part from the unit base part. And a guide rail for guiding the circuit board base portion.

여기서, 상기 착탈부는, 상기 회로기판베이스부의 양 측에 각각 설치되는 것 이 바람직하다.Here, the detachable parts are preferably provided on both sides of the circuit board base part.

그리고, 상기 회로기판베이스부에서, 상기 가이드 핀의 각각은 일정 간격 이격되어 2개씩 형성되고, 상기 착탈부에서, 상기 가이드 레일은 상기 가이드 핀의 각각에 대응되어 연결되도록, 2개씩 마련되어 있다.In the circuit board base portion, each of the guide pins is formed at two spaced apart intervals, and in the detachable portion, two guide rails are provided to correspond to each of the guide pins.

또한, 상기 착탈부에서, 상기 가이드레일은 상기 회로기판베이스부를 외부로부터 유입하거나 외부로 유출하는 개구부를 포함하는 개구부 레일영역과 상기 개구부 레일영역과 연통되고 상기 개구부 레일영역으로부터 유입된 상기 회로기판베이스부를 사전에 정해진 장착위치로 가이드하는 장착 레일영역을 구비한다. 여기서, 상기 유닛베이스부는, 상기 회로기판베이스부가 상기 착탈부에 의해 착탈되고 상기 회로기판베이스부가 상기 유닛베이스부의 상하측을 통과하면서 착탈되도록, 상기 머니퓰레이터의 후방에 길이 방향으로 형성된 착탈공을 구비하고, 상기 착탈부에서, 상기 장착 레일영역은 상기 회로기판베이스부가 상기 유닛베이스부의 하측에 평행하게 장착되도록 상기 유닛베이스부의 하측에 수평하게 형성되고, 상기 개구부 레일영역은 상기 회로기판베이스부가 상기 착탈공을 통하여 상기 유닛베이스부의 상하부를 왕복하도록 상기 장착 레일영역에 수직으로 형성되는 것이 바람직하다.In the detachable part, the guide rail may include an opening rail region including an opening for introducing the circuit board base portion from the outside or the outside, and the circuit board base communicating with the opening rail region and flowing from the opening rail region. And a mounting rail area for guiding the part to a predetermined mounting position. Here, the unit base portion has a detachable hole formed in the longitudinal direction at the rear of the manipulator so that the circuit board base portion is detached by the detachable portion and the circuit board base portion is detached while passing through the upper and lower sides of the unit base portion, And the mounting rail area is formed horizontally under the unit base part such that the circuit board base part is mounted in parallel to the lower side of the unit base part, and the opening rail area includes the circuit board base part in the detachable hole. It is preferably formed perpendicular to the mounting rail area to reciprocate the upper and lower portions of the unit base portion through.

이와 같이, 본 발명에 따른 프로브 유닛은, 유닛베이스부에 착탈부와 착탈공을 구비함으로써, 프로브회로기판이 탑재된 회로기판베이스부만을 별도로 독립적으로 분리 및 결합하는 것이 가능하다. 따라서, 본 발명에 따른 프로브 유닛은 유닛베이스부의 전체를 분해해야 하는 작업이 없이도 장착된 프로브회로기판을 용이하 게 점검하거나 피검사체에 대응하여 프로브회로기판의 교체를 용이하게 수행하는 것이 가능하다.As described above, the probe unit according to the present invention is provided with a detachable part and a detachable hole in the unit base part, so that only the circuit board base part on which the probe circuit board is mounted can be separately separated and combined. Therefore, the probe unit according to the present invention can easily inspect the mounted probe circuit board without replacing the whole of the unit base part or easily replace the probe circuit board in correspondence to the inspected object.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 유닛의 구성 및 동작을 구체적으로 설명한다. With reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the probe unit according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛의 사시도이다.1 is a perspective view of a probe unit according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛(1)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 프로브 스테이지(도시되지 않음)의 상부에 플레이트 구조를 갖는 유닛베이스부(10), 유닛베이스부(10)의 전면을 따라 장착된 머니퓰레이터부(20), 머니퓰레이터부(20)에 장착되어 피검사체(P)를 검사하는 프로브블록부(25)와 프로브회로기판(도시되지 않음)이 탑재된 회로기판베이스부(30) 및 회로기판베이스부(30)를 유닛베이스부(10)에 착탈하는 착탈부(40);를 구비하고 있다.Probe unit 1 according to an embodiment of the present invention, as shown in Figure 1, the unit base portion 10 having a plate structure on the top of the probe stage (not shown), the unit base portion 10 The circuit board base part mounted on the manipulator part 20 mounted along the front surface of the manipulator part 20 and the probe block part 25 and the probe circuit board (not shown) mounted on the manipulator part 20 to inspect the object P. And a detachable portion 40 which attaches and detaches the 30 and the circuit board base portion 30 to the unit base portion 10.

유닛베이스부(10)는 프로브 유닛(1)의 지지대로서, 패널 지지테이블(미도시)과 검사모듈(도시되지 않음)에 인접하여 배치된다. 이 패널 지지테이블의 상부에는 LCD 패널, 또는 PDP 등 피검사체(P)가 위치하며, 프로브 유닛(1)은 검사모듈과 연동하여, 검사모듈이 필요한 검사를 할 수 있도록 매개역할을 수행한다. 검사모듈은에 프로브 유닛(1)을 통한 검사를 위해 다양한 측정기와 점등기를 구비할 수 있다. The unit base portion 10 is a support of the probe unit 1 and is disposed adjacent to a panel support table (not shown) and an inspection module (not shown). An LCD panel, or a PDP such as a PDP is positioned above the panel support table, and the probe unit 1 interworks with an inspection module to perform an intermediary role for the inspection module to perform a necessary inspection. The inspection module may be provided with various meters and lighters for inspection through the probe unit (1).

더불어 유닛베이스부(10)는 회로기판베이스부(30)가 유닛베이스부(10)의 상하측을 통과하면서 착탈되도록, 머니퓰레이터부(20)의 후방에 길이 방향으로 형성된 착탈공(15)을 구비하고 있다. 이러한 착탈공(15)을 통한 회로기판베이스부(30) 의 동작에 대해서는 후술한다.In addition, the unit base portion 10 includes a detachable hole 15 formed in the longitudinal direction at the rear of the manipulator portion 20 so that the circuit board base portion 30 can be detached while passing through the upper and lower sides of the unit base portion 10. Doing. The operation of the circuit board base unit 30 through the detachable hole 15 will be described later.

머니퓰레이터부(20)는 유닛베이스부(10)의 전면 가장자리를 따라 설치되며, 피검사체(P)의 크기 및 피검사체의 전극의 갯수 및 위치에 따라 다양한 위치에 다양한 갯수로 마련될 수 있다.The manipulator part 20 may be installed along the front edge of the unit base part 10, and may be provided in various numbers at various positions according to the size of the object P and the number and position of electrodes of the object under test.

프로브블록부(25)는 머니퓰레이터부(20)의 전단에 설치되며 피검사체(P)의 전극과 접촉하는 탐침을 구비하고 있다. 프로브블록부(25)는 후술하는 프로브회로기판(도시되지 않음)과 연동되어 피검사체(P)로 사전에 정해진 신호를 인가하거나 피검사체(P)로부터 검출된 신호를 프로브회로기판(도시되지 않음)에 출력하는 기능을 수행한다.The probe block portion 25 is provided at the front end of the manipulator portion 20 and has a probe contacting the electrode of the inspected object P. The probe block unit 25 is interlocked with a probe circuit board (not shown), which will be described later, to apply a predetermined signal to the test object P or to detect a signal detected from the test object P by the probe circuit board (not shown). ) To execute the function.

회로기판베이스부(30)는 전술한 프로브블록부(25)와 전기적 및 기계적으로 연결된 프로브회로기판(도시되지 않음)을 탑재하고 있으며, 유닛베이스부(10)의 사전에 정해진 장착위치에 장착되어 있거나, 유닛베이스부(10)의 장착위치로부터 탈거되어 유닛베이스부(10)와 분리되어 독립적으로 다룰 수 있도록 설계되어 있다. 이러한 착탈은 후술하는 착탈부(40)에 의해 구현될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 회로기판베이스부(30)는 후술하는 착탈부(40)에 대응하여 회로기판베이스부(30)의 착탈을 수행하기 위한 가이드 핀(32)을 형성하고 있다. 즉 양 측면에 각각 가이드 핀(32)이 한 쌍씩이 형성되어 있다.The circuit board base unit 30 includes a probe circuit board (not shown) electrically and mechanically connected to the probe block unit 25 described above, and is mounted at a predetermined mounting position of the unit base unit 10. Or, it is detached from the mounting position of the unit base portion 10 and is designed to be handled separately from the unit base portion 10. This detachment may be implemented by the detachable portion 40 to be described later. As shown in FIG. 2, the circuit board base part 30 forms a guide pin 32 for attaching and detaching the circuit board base part 30 corresponding to the detachable part 40 described later. That is, a pair of guide pins 32 are formed on each side.

착탈부(40)는 회로기판베이스부(30)를 유닛베이스부(10)의 장착위치로 가이드하여 장착하거나, 장착위치로부터 외부로 가이드하여 탈거하는 기능을 수행한다. 도 2의 확대 사시도 및 도 3의 분해 사시도에 도시된 바와 같이, 착탈부(40)는 회 로기판베이스부(30)의 양 측에 상기 회로기판베이스부(30)와 수직한 방향으로 배치되어 있다. The detachable part 40 performs the function of guiding and mounting the circuit board base part 30 to the mounting position of the unit base part 10, or guiding it to the outside from the mounting position. As shown in an enlarged perspective view of FIG. 2 and an exploded perspective view of FIG. 3, the detachable part 40 is disposed on both sides of the circuit board base part 30 in a direction perpendicular to the circuit board base part 30. have.

도 2는 착탈부(40)에 대한 확대 사시도 및 분해도이다. 이하에서는, 도 2를 참조하여 착탈부(40)에 대해 설명한다. 회로기판베이스부(30)의 양 측에 각각 설치되어 있고, 회로기판베이스부(30)가 양 측면에 각각 설치된 한 쌍의 가이드 핀(32)에 의해 정해진 장착위치에 장착되거나, 장착위치로부터 외부로 탈거되도록 인도하는 가이드 레일(42)을 구비하고 있다. 착탈부(40)는 한 쌍의 가이드 핀(32)에 대응되도록 한 쌍의 가이드 레일(42)을 각 구비하고 있다.2 is an enlarged perspective view and exploded view of the detachable portion 40. Hereinafter, the detachable part 40 will be described with reference to FIG. 2. It is provided at both sides of the circuit board base portion 30, and the circuit board base portion 30 is mounted at a mounting position determined by a pair of guide pins 32 provided at both sides, or is external from the mounting position. The guide rail 42 which guides so that removal may be carried out is provided. The detachable part 40 includes a pair of guide rails 42 so as to correspond to the pair of guide pins 32, respectively.

여기서, 가이드 레일(42)은 도 3에 도시된 바와 같이, 회로기판베이스부(30)를 외부로부터 유입하거나 외부로 유출하는 개구부(g)를 포함하는 개구부 레일영역(422)과 개구부 레일영역(422)과 연통되고 개구부 레일영역(422)으로부터 유입된 회로기판베이스부(30)를 장착위치로 가이드하는 장착 레일영역(424)으로 구분할 수 있다.Here, as illustrated in FIG. 3, the guide rail 42 includes an opening rail area 422 and an opening rail area including an opening g which flows in or out of the circuit board base part 30. A mounting rail region 424 communicating with the 422 and guiding the circuit board base portion 30 introduced from the opening rail region 422 to the mounting position may be divided.

그리고, 착탈부(40)에서, 전술한 장착 레일영역(424)은 도 2에 도시된 바와 같이, 유닛베이스부(10)의 하측에 형성된다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 착탈부(40)의 측면과 유닛베이스부(10)의 하부면을 고정격자(44)와 볼트를 이용하여 연결 고정시킴으로써, 착탈부(40)를 유닛베이스부()에 결합한다. 그리고, 회로기판베이스부(30)가 사전에 정해진 장착위치에 도달한 경우, 도 2 및 3에 도시된 바와 같이, 볼트와 같은 고정부재(46)를 이용하여 회로기판베이스부(30)의 측면에 착탈부(40)를 고정시킨다. In the detachable portion 40, the mounting rail region 424 described above is formed below the unit base portion 10, as shown in FIG. That is, as shown in FIG. 2, by attaching and fixing the side surface of the detachable portion 40 and the lower surface of the unit base portion 10 using the fixed grid 44 and the bolt, the detachable portion 40 is fixed to the unit base. To bind to (). Then, when the circuit board base portion 30 reaches a predetermined mounting position, as shown in Figs. 2 and 3, the side surface of the circuit board base portion 30 by using a fixing member 46 such as a bolt Fix the detachable portion 40 to.

또한, 회로기판베이스부(30)는 전술한 가이드 레일(42)의 개구부 레일영역(422)에 의해, 유닛베이스부(10)에 형성된 착탈공(15)을 통하여, 유닛베이스부(10)의 상하부를 이동하도록 장착 레일영역(424)에 대하여 수직하게 형성되어 있다.  In addition, the circuit board base portion 30 is formed by the opening rail region 422 of the guide rail 42 described above, through the detachable hole 15 formed in the unit base portion 10. It is formed perpendicular to the mounting rail area 424 so as to move up and down.

이하에서는, 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛(1)의 회로기판베이스부(30)의 착탈동작 중 장착 동작만을 설명한다. 탈거 동작은 장착 동작의 역순으로 진행된다.Hereinafter, referring to FIG. 4, only the mounting operation during the detachment operation of the circuit board base unit 30 of the probe unit 1 according to the exemplary embodiment of the present invention will be described. The stripping operation proceeds in the reverse order of the mounting operation.

도 4에 도시된 장착 동작은 회로기판베이스부(30)가 착탈부(40)에 의해 외부로부터 유입되어 유닛베이스부(10)의 정해진 장착위치에 도달하는 데 까지를 도시한 것이다. The mounting operation shown in FIG. 4 shows the circuit board base part 30 coming in from the outside by the detachable part 40 to reach a predetermined mounting position of the unit base part 10.

도 4의 (a)는, 교체할 회로기판베이스부(30)를 유닛베이스부(10)의 위쪽에서 유입시키는 과정을 도시한 것으로, 회로기판베이스부(30)에는 프로브회로기판(도시되지 않음)이 탑재되어 있다. 도 4의 (b) 및 (c)는 회로기판베이스부(30)가 착탈부(40)에 의해 가이드되어 유닛베이스부(10)의 사전에 정해진 장착위치로 접근하는 과정을 도시한 것으로, 회로기판베이스부(30)의 양 측면에 형성된 가이드 핀(32)이 착탈부(40)의 가이드 레일(42)을 따라 장착위치로 접근한다.4 (a) illustrates a process of introducing the circuit board base portion 30 to be replaced from above the unit base portion 10, and the circuit board base portion 30 includes a probe circuit board (not shown). ) Is mounted. 4 (b) and (c) illustrate a process in which the circuit board base part 30 is guided by the detachable part 40 to approach a predetermined mounting position of the unit base part 10, and the circuit Guide pins 32 formed on both sides of the substrate base part 30 approach the mounting position along the guide rails 42 of the detachable part 40.

도 4의 (d)는, 전술한 도 4의 (a), (b) 및 (c)과정에 의해 회로기판베이스부(30)가 사전에 정해진 장착위치에 도달한 경우, 도 3에 도시된 고정부재(46)를 이용하여 착탈부(40)에 회로기판베이스부(30)를 고정한다. 도 4의 (a) 내지 (c) 도면에서도 고정부재(46)가 도시되어 있으나, 고정부재(46)는 회로기판베이스부(30) 가 장착위치에 도달한 경우 외부로부터 제공되어도 무방하다. 이러한 회로기판베이스부(30)의 장착 과정은 회로기판베이스부(30)가 도 1에 도시된 착탈공(15)을 통해 유닛베이스부(10)의 상·하를 통과하면서 이루어진다. 탈거 과정은 이와는 역순으로 유닛베이스부(10)의 하측에서 상측으로 이루어진다.FIG. 4 (d) shows the circuit board base part 30 reaching a predetermined mounting position by the above-described processes (a), (b) and (c) of FIG. The circuit board base part 30 is fixed to the detachable part 40 using the fixing member 46. Although the fixing member 46 is shown in FIGS. 4A to 4C, the fixing member 46 may be provided from the outside when the circuit board base part 30 reaches the mounting position. The mounting process of the circuit board base part 30 is performed while the circuit board base part 30 passes up and down the unit base part 10 through the detachable hole 15 shown in FIG. 1. The removal process is made from the lower side to the upper side of the unit base portion 10 in the reverse order.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛(1)은 프로브회로기판(도시되지 않음)을 점검하거나 피검사체(P)의 용도에 따라 프로브회로기판(도시되지 않음)을 교체하기 위해, 종래와 같이 유닛베이스부(10)의 전체를 분해하여야 하는 번거러운 작업없이, 프로브회로기판(도시되지 않음)이 탑재된 회로기판베이스부(30)만을 독립적으로 분리 및 결합하는 것에 의해 가능하다.As such, the probe unit 1 according to the exemplary embodiment of the present invention may inspect the probe circuit board (not shown) or replace the probe circuit board (not shown) according to the use of the inspected object P. Without the cumbersome work of disassembling the whole of the unit base part 10 as in the related art, only the circuit board base part 30 on which the probe circuit board (not shown) is mounted can be separated and coupled independently.

상기한 바와 같은 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.The present invention as described above has been described through the embodiments described in the drawings and detailed description of the invention, but this is only exemplary, those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications and equivalents therefrom Examples are possible. Therefore, the technical protection scope of the present invention will be defined by the appended claims.

본 발명은 LCD 패널 등 평판 디스플레이 패널이 정상 작동되는 여부를 검사하는 장비로서, 반도체 및 평판 디스플레이 패널의 검사와 관련된 전자분야에서 유용하게 사용될 수 있다.The present invention is a device for inspecting whether a flat panel display panel such as an LCD panel is normally operated, it can be usefully used in the electronic field related to the inspection of semiconductor and flat panel display panel.

도 1은, 본 발명의 일 실시예에 프로브 유닛의 사시도이다.1 is a perspective view of a probe unit in one embodiment of the present invention.

도 2는, 도 1의 'A'에 대한 확대도이다.FIG. 2 is an enlarged view of 'A' of FIG. 1.

도 3은, 도 2에 대한 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view of FIG. 2.

도 4는, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유닛에서 회로기판베이스부를 장착하는 과정을 도시한 도면이다. 4 is a diagram illustrating a process of mounting a circuit board base part in a probe unit according to an exemplary embodiment of the present invention.

Claims (6)

유닛베이스부, 상기 유닛베이스부의 전면을 따라 장착된 머니퓰레이터부 및 상기 머니퓰레이터부에 장착되어 피검사체를 검사하는 프로브블록부를 구비하는 프로브 유닛에 있어서,A probe unit comprising a unit base portion, a manipulator portion mounted along a front surface of the unit base portion, and a probe block portion mounted on the manipulator portion to inspect an object to be inspected, 상기 프로브블록부와 전기적으로 연동되는 프로브회로기판이 탑재되고, 상기 유닛베이스부에 착탈가능하도록 마련된 회로기판베이스부; 및A circuit board base part mounted on a probe circuit board electrically connected to the probe block part and detachable from the unit base part; And 상기 회로기판베이스부를 상기 유닛베이스부에 착탈하도록, 상기 유닛베이스부에 설치된 착탈부;를A detachable portion provided in the unit base portion so as to attach and detach the circuit board base portion from the unit base portion. 구비하여,Equipped with 상기 프로브 유닛으로부터 상기 회로기판베이스부만을 독립적으로 분리 및 결합이 가능한 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.A probe unit, characterized in that only the circuit board base portion from the probe unit can be separated and combined independently. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 회로기판베이스부는, 상기 착탈부에 의해 착탈되도록, 양 측면에 가이드 핀이 형성되고,Guide pins are formed on both side surfaces of the circuit board base part so that the circuit board base part is detachable by the detachable part. 상기 착탈부는, 상기 회로기판베이스부를 상기 유닛베이스부에 착탈하기 위해, 상기 가이드 핀과 연결되어 상기 회로기판베이스부를 가이드하는 가이드 레일을 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.And the detachable part includes a guide rail connected to the guide pin to guide the circuit board base part to attach and detach the circuit board base part to the unit base part. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 착탈부는, 상기 회로기판베이스부의 양 측에 각각 설치된 것을 특징으 로 하는 프로브 유닛.And the detachable parts are provided at both sides of the circuit board base part. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 회로기판베이스부에서, 상기 가이드 핀의 각각은 일정 간격 이격되어 2개씩 형성되고,In the circuit board base portion, each of the guide pins are formed by two spaced apart a predetermined interval, 상기 착탈부에서, 상기 가이드 레일은 상기 가이드 핀의 각각에 대응되어 연결되도록, 2개씩 마련되는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.In the detachable portion, the guide rail is provided with two, so as to correspond to each of the guide pins, characterized in that each provided. 제2항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 4, 상기 착탈부에서, 상기 가이드레일은 상기 회로기판베이스부를 외부로부터 유입하거나 외부로 유출하는 개구부를 포함하는 개구부 레일영역과 상기 개구부 레일영역과 연통되고 상기 개구부 레일영역으로부터 유입된 상기 회로기판베이스부를 사전에 정해진 장착위치로 가이드하는 장착 레일영역을 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.In the detachable portion, the guide rail includes an opening rail region including an opening for introducing the circuit board base portion from the outside or an outlet to the outside and the circuit board base portion in communication with the opening rail region and introduced from the opening rail region. And a mounting rail region for guiding to a mounting position determined in the table. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 유닛베이스부는, 상기 회로기판베이스부가 상기 착탈부에 의해 착탈되고 상기 회로기판베이스부가 상기 유닛베이스부의 상하측을 통과하면서 착탈되도록, 상기 머니퓰레이터의 후방에 길이 방향으로 형성된 착탈공을 구비하고,The unit base portion has a detachable hole formed in the longitudinal direction at the rear of the manipulator so that the circuit board base portion is detached by the detachable portion and the circuit board base portion is detached while passing through the upper and lower sides of the unit base portion, 상기 착탈부에서, 상기 장착 레일영역은 상기 회로기판베이스부가 상기 유닛 베이스부의 하측에 평행하게 장착되도록 상기 유닛베이스부의 하측에 수평하게 형성되고, 상기 개구부 레일영역은 상기 회로기판베이스부가 상기 착탈공을 통하여 상기 유닛베이스부의 상하부를 왕복하도록 상기 장착 레일영역에 수직으로 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.In the detachable part, the mounting rail area is formed horizontally under the unit base part such that the circuit board base part is mounted in parallel to the lower side of the unit base part, and the opening rail area has the circuit board base part in the detachable hole. Probe unit is formed perpendicular to the mounting rail area to reciprocate the upper and lower portions of the unit base portion through.
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