KR101000456B1 - Probe unit with easy maintenance - Google Patents

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Abstract

본 발명은 검사장치와 연동되어, 프로브스테이지 위에 고정된 피검사체를 검사하는 프로브유닛에 관한 것이다. 상기 프로브유닛은, 유닛베이스부; 상기 유닛베이스부의 상부면의 앞측 가장자리를 따라 장착되며, 상기 유닛베이스부의 앞측 방향으로 돌출된 고정암을 포함하는 머니퓰레이터부; 상기 검사장치와 전기적으로 연동되는 프로브회로기판을 탑재하고, 상부면의 앞측 가장자리가 상기 유닛베이스부의 앞측 가장자리보다 상기 유닛베이스부의 앞측 방향으로 돌출된 돌출부분을 구비하도록 상기 유닛베이스부의 하부에 장착된 회로기판베이스부; 및 일측이 탐침을 구비하고, 타측이 상기 회로기판베이스부의 상기 돌출부분의 상부면 일부에 대하여 위에서 아래방향으로 결합되어 상기 프로브회로기판과 연결되는 프로브블록부;를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 본 발명은 프로브 스테이지로부터 유닛베이스부를 분해하는 작업없이 프로브블록부를 프로브유닛으로부터 분리할 수 있어, 프로브블록부의 유지 및 보수를 용이하게 할 수 있다.The present invention relates to a probe unit interlocked with an inspection device for inspecting a test object fixed on a probe stage. The probe unit, the unit base portion; A manipulator part mounted along a front edge of the upper surface of the unit base part and including a fixed arm protruding in the front direction of the unit base part; A probe circuit board electrically interlocked with the inspection apparatus, and mounted at a lower portion of the unit base portion such that the front edge of the upper surface has a protruding portion protruding in the front direction of the unit base portion than the front edge of the unit base portion; A circuit board base portion; And a probe block part having one side having a probe and the other side coupled downward from the top with respect to a portion of the upper surface of the protruding portion of the circuit board base part and connected to the probe circuit board. Thus, the present invention can separate the probe block portion from the probe unit without disassembling the unit base portion from the probe stage, thereby facilitating maintenance and repair of the probe block portion.

프로브유닛, 유닛베이스부, 프로브회로기판, 프로브블록부 Probe unit, unit base part, probe circuit board, probe block part

Description

유지 및 보수가 용이한 프로브유닛{Probe unit with easy maintenance}Probe unit with easy maintenance

본 발명은 LCD 패널 등에 신호를 인가하여 패널의 상태를 검사하는 프로브유닛(probe unit)에 관한 것이다.The present invention relates to a probe unit for inspecting the state of a panel by applying a signal to an LCD panel or the like.

프로브유닛은, 프로브 스테이지 위에 고정되어 피검사체를 검사장치로부터 전기적인 신호를 검사의 대상인 패널에 인가하거나 패널로부터 검침된 신호를 검사장치로 제공하는 기능을 수행한다. 프로브유닛은 프로브 스테이지에 고정장착되어 LCD 패널 등 평판 디스플레이 패널이 정상 작동되는지 여부를 확인하기 위한 테스트 장비에 사용된다.The probe unit is fixed on the probe stage and performs a function of applying an electrical signal from an inspection apparatus to a panel to be inspected or providing a signal read from the panel to the inspection apparatus. The probe unit is fixedly mounted on the probe stage and is used in test equipment for checking whether a flat panel display panel such as an LCD panel is normally operated.

종래의 프로브유닛은, 도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 몸체로서 유닛베이스부(10)를 구비하고, 유닛베이스부(10)의 전면을 따라 머니퓰레이터(20)가 복수개 설치된다. 유닛베이스부(10)의 하부에는 회로기판베이스부(30)가 설치되고, 회로기판베이스부(30)에는 프로브회로기판(35)이 탑재된다. 프로브회로기판(35)은 검사장치(도시되지 않음)와 프로브블록부(40)를 서로 연동시키는 기능을 수행한다. 머니퓰레이터(20)에는 피검사체를 검사하기 위한 프로브블록부(40)가 설치되어 있다, 도2는 도1의 A에 대한 분해 확대도이다. 프로브블록부(40)는 도2에 도시된 바와 같 이, 헤드모듈(42)과 인터페이스모듈(46)이 결합되어 이루어진다. 헤드모듈(42)은 피검사체의 전극과 접촉하는 탐침(43)과 인터페이스모듈(46)과 전기적 연결을 수행하는 제1FPC 필름(44)을 구비하고 탐침(43)으로부터 검침된 신호나 탐침으로 인가되는 신호를 인터페이스모듈(46)을 통해 프로브회로기판(35)으로 보내거나 받는 기능을 수행한다. 인터페이스모듈(46)은 헤드모듈(42)의 상부에 마련된 제1FPC 필름(44)과 연결되는 제1고정부분(47)과 프로브회로기판(35)과 연결되는 제2고정부분(48) 그리고 제1고정부분(47)에 의해 일측이 제1FPC 필름(44)과 연결되고, 제2고정부분(48)에 의해 타측이 프로브회로기판(35)과 연결되는 제2FPC 필름(49)을 구비한다. 여기서, 제2FPC 필름(49)의 타측과 프로브회로기판(35)은 인터페이스모듈(46)의 제2고정부분(48)과 회로기판베이스부(30)에 마련된 회로기판결합판(36)의 결합에 의해 연결된다.1 and 2, the conventional probe unit includes a unit base portion 10 as a body, and a plurality of manipulators 20 are provided along the front surface of the unit base portion 10. The circuit board base part 30 is provided below the unit base part 10, and the probe circuit board 35 is mounted on the circuit board base part 30. The probe circuit board 35 performs a function of interlocking an inspection device (not shown) and the probe block unit 40 with each other. The manipulator 20 is provided with a probe block portion 40 for inspecting an object to be inspected. FIG. 2 is an exploded enlarged view of FIG. As shown in FIG. 2, the probe block portion 40 is formed by combining the head module 42 and the interface module 46. The head module 42 includes a probe 43 which contacts the electrode of the object under test, and a first FPC film 44 which makes an electrical connection with the interface module 46. The head module 42 is applied as a signal or probe probed from the probe 43. The signal is transmitted to or received from the probe circuit board 35 through the interface module 46. The interface module 46 may include a first fixing part 47 connected to the first FPC film 44 provided on the head module 42, a second fixing part 48 connected to the probe circuit board 35, and a first fixing part 47 connected to the probe circuit board 35. One side is provided with a second FPC film 49 connected to the first FPC film 44 by the first fixing part 47 and the other side is connected to the probe circuit board 35 by the second fixing part 48. Here, the other side of the second FPC film 49 and the probe circuit board 35 are coupled between the second fixing part 48 of the interface module 46 and the circuit board coupling plate 36 provided on the circuit board base part 30. Is connected by.

그러나, 종래의 프로브블록부(40)는 헤드모듈(42) 및 인터페이스모듈(46)을 연결하기 위해 설치되는 제1FPC 필름(44)과, 제1FPC 필름(44) 및 제1고정부분(47)의 결합에 의해 발생하는 접점에 의해 노이즈가 발생하는 단점을 가지고 있다. 또한, 종래의 프로브블록부(10)는 점검 후 재조립시 구성요소 중 인터페이스모듈(46)을 아래에서 위쪽으로 먼저 조립한 후, 헤드모듈(42)을 인터페이스모듈(46)과 머니퓰레이터(20)에 조립하는 2단계의 공정을 수행해야 하므로 점검을 위한 시간이 추가되는 문제를 가지고 있다. However, the conventional probe block portion 40 includes a first FPC film 44, a first FPC film 44, and a first fixing portion 47 installed to connect the head module 42 and the interface module 46. There is a disadvantage that noise is generated by the contact generated by the combination of. In addition, the conventional probe block unit 10 first assembles the interface module 46 of the components from the bottom to the top when reassembly after inspection, the head module 42 and the interface module 46 and the manipulator 20 Since the two-step process of assembling must be performed, there is a problem of adding time for inspection.

한편, 프로브유닛(10)은 검사의 정밀성유지를 위해 각 구성요소들에 대한 유지 및 보수가 필요하며, 피검사체(P)와 접촉하는 프로브블록부(40)에 대한 유지 및 보수도 필수적이다.On the other hand, the probe unit 10 requires maintenance and repair of each component in order to maintain the precision of the inspection, and maintenance and repair of the probe block portion 40 in contact with the inspected object P is also essential.

그러나. 종래 프로브유닛(10)은, 프로블록부(40)의 점검 및 교체를 위해서 유닛베이스부(10) 전체를 프로브 스테이지(도시되지 않음)로부터 분해해야 하는 번잡한 작업을 수행해야 하는 단점을 가지고 있다. But. The conventional probe unit 10 has a disadvantage in that a complicated operation of disassembling the entire unit base unit 10 from a probe stage (not shown) for checking and replacing the problock unit 40 has a disadvantage. .

본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해, 프로브 스테이지로부터 유닛베이스부를 분해하는 작업없이, 프로브블록부를 용이하게 유지 및 보수할 수 있고, 종래의 프로브블록부 자체의 구성을 개선하여 노이즈 발생을 최소화면서 프로브블록부의 유지 및 보수를 용이하게 할 수 있는 프로브유닛을 제공하는 데 목적이 있다.The present invention, in order to solve the above problems, can easily maintain and repair the probe block portion without disassembling the unit base portion from the probe stage, while improving the configuration of the conventional probe block portion itself while minimizing noise generation An object of the present invention is to provide a probe unit that can facilitate maintenance and repair of the probe block portion.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 검사장치와 연동되어, 프로브스테이지 위에 고정된 피검사체를 검사하는 프로브유닛에 관한 것으로, 상기 프로브유닛은, 유닛베이스부; 상기 유닛베이스부의 상부면의 앞측 가장자리를 따라 장착되며, 상기 유닛베이스부의 앞측 방향으로 돌출된 고정암을 포함하는 머니퓰레이터부; 상기 검사장치와 전기적으로 연동되는 프로브회로기판을 탑재하고, 상부면의 앞측 가장자리가 상기 유닛베이스부의 앞측 가장자리보다 상기 유닛베이스부의 앞측 방향으로 돌출된 돌출부분을 구비하도록 상기 유닛베이스부의 하부에 장착된 회로기판베이스부; 및 일측이 탐침을 구비하고, 타측이 상기 회로기판베이스부의 상기 돌출부분의 상부면 일부에 대하여 위에서 아래방향으로 결합되어 상기 프로브회로기판과 연결되는 프로브블록부;를 구비하는 것을 특징으로 한다.A feature of the present invention for achieving the above-mentioned technical problem is related to the probe unit which interlocks with the test | inspection apparatus, and examines the to-be-tested object fixed on the probe stage, The said probe unit is a unit base part; A manipulator part mounted along a front edge of the upper surface of the unit base part and including a fixed arm protruding in the front direction of the unit base part; A probe circuit board electrically interlocked with the inspection apparatus, and mounted at a lower portion of the unit base portion such that the front edge of the upper surface has a protruding portion protruding in the front direction of the unit base portion than the front edge of the unit base portion; A circuit board base portion; And a probe block part having one side having a probe and the other side coupled downward from the top with respect to a portion of the upper surface of the protruding portion of the circuit board base part and connected to the probe circuit board.

여기서, 상기 프로브회로기판은, 상기 회로기판베이스부의 돌출부분의 상부면의 일부에 상기 프로브블록부와 연결하기 위한 제1결합부분을 구비하고, 상기 프로브블록부는, 상기 제1결합부분과 대응하는 제2결합부분과, 상기 제1결합부분과 제2결합부분을 위에서 아래 방향으로 결합시키는 결합부재를 구비하며, 상기 결합부재에 의하여 상기 제1결합부분과 상기 제2결합부분이 결합된 경우 상기 프로브블록부와 상기 프로브회로기판은 전기적 및 기계적으로 연결된다.Here, the probe circuit board includes a first coupling portion for connecting the probe block portion to a portion of an upper surface of the protruding portion of the circuit board base portion, wherein the probe block portion corresponds to the first coupling portion. A second coupling portion and a coupling member for coupling the first coupling portion and the second coupling portion from top to bottom, and wherein the first coupling portion and the second coupling portion are coupled to each other by the coupling member. The probe block portion and the probe circuit board are electrically and mechanically connected.

또한, 상기 프로브회로기판은 상기 제1결합부분이 볼트홈으로 형성되고, 상기 프로브블록부는 상기 제2결합부분이 상기 볼트홈에 대응하는 볼트공으로 형성되며, 상기 결합부재가 위에서 아래 방향으로 상기 볼트공을 관통하여 상기 제1결합부분의 볼트홈에 체결되는 볼트로 마련될 수 있다.The probe circuit board may include the first coupling portion formed as a bolt groove, the probe block portion formed with a bolt hole corresponding to the bolt groove, and the coupling member moves from the top to the bottom thereof. It may be provided as a bolt that penetrates the ball to the bolt groove of the first coupling portion.

그리고, 상기 프로브블록부는, 상기 탐침을 통하여 상기 피검사체의 접촉전극과 신호를 주고받는 탐침모듈과, 상기 탐침모듈을 통해 주고받은 신호를 상기 프로브회로기판에 연결하도록 상기 탐침모듈과 일체로 형성된 연결모듈을 구비할 수 있다. In addition, the probe block unit, a probe module for transmitting and receiving a signal to and from the probe electrode of the test object through the probe, the connection formed integrally with the probe module to connect the signal transmitted and received through the probe module to the probe circuit board Modules may be provided.

여기서, 상기 프로브블록부는, 상기 탐침모듈이 상기 탐침으로부터 인출된 단자와 연결모듈을 연결하는 제1인터페이스를 구비하고, 상기 연결모듈이 상기 제1인터페이스와 상기 프로브회로기판을 연결하는 제2인터페이스를 구비한다.Here, the probe block unit, the probe module has a first interface for connecting the terminal drawn out from the probe and the connection module, the connection module connects the first interface and the second interface for connecting the probe circuit board Equipped.

또한, 상기 제1인터페이스는 상기 피검사체를 구동시키는 구동회로기판으로 마련될 수 있다. 그리고, 상기 제1인터페이스는 이방성도전필름에 상기 피검사체를 구동시키는 구동칩이 실장되어 마련될 수 있다.In addition, the first interface may be provided as a driving circuit board for driving the inspected object. The first interface may be provided with a driving chip mounted on the anisotropic conductive film to drive the inspected object.

이와 같이, 본 발명에 따른 프로브유닛은, 프로브블록부를 점검하기 프로브 스테이지로부터 유닛베이스부를 분해하는 것 없이 프로브블록부를 프로브유닛으로부터 분리하는 것이 가능하여 프로브블록부의 유지 및 보수를 용이하게 할 수 있다.Thus, the probe unit according to the present invention can separate the probe block portion from the probe unit without disassembling the unit base portion from the probe stage to check the probe block portion, thereby facilitating maintenance and repair of the probe block portion.

또한, 본 발명에 따른 프로브유닛은 종래 프로브블록부에 존재하던 FPC 필름과 이 FPC 필름과의 결합에 의해 발생하는 접점이 배제된, 탐침의 단자와 연결된 구동회로기판과 프로브회로기판을 직접 연결하는 프로브블록부를 구현함으로써, 노이즈의 발생을 최소화하고 프로브블록부의 유지 및 보수도 용이하게 할 수 있다.In addition, the probe unit according to the present invention is a direct connection between the probe circuit board and the drive circuit board connected to the terminal of the probe, the contact point generated by the combination of the FPC film and the FPC film existing in the conventional probe block portion is excluded. By implementing the probe block portion, it is possible to minimize the occurrence of noise and to facilitate maintenance and repair of the probe block portion.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브유닛의 구성 및 동작을 구체적으로 설명한다. 이하 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브유닛에 대하여, 도3 내지 도5를 참조하여, 구체적으로 설명한다. 도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브블록부가 분리된 프로브유닛의 사시도이고, 도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브블록부가 결합된 프로브유닛의 사시도이며, 도5는 도4에 대한 측면도이다. With reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration and operation of the probe unit according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, a probe unit according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 5. 3 is a perspective view of a probe unit in which a probe block unit is separated according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a perspective view of a probe unit in which a probe block unit is coupled according to an embodiment of the present invention, and FIG. Side view.

도3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브유닛(100)은, 프로브 스테이지(도시되지 않음)의 상부에 플레이트 구조를 갖는 유닛베이스부(110), 유닛베이스부(110)의 상부면 앞측 가장자리를 따라 장착된 머니퓰레이터 부(120), 검사장치(도시되지 않음)와 연동하는 프로브회로기판(135)을 탑재하고 유닛베이스부(110)의 하부에 설치된 회로기판베이스부(130), 머니퓰레이터부(120)에 장착되어 피검사체를 검사하는 프로브블록부(140)를 구비한다. As shown in Figure 3, the probe unit 100 according to an embodiment of the present invention, the unit base portion 110, the unit base portion 110 having a plate structure on the top of the probe stage (not shown) The circuit board base unit 130 mounted on the manipulator unit 120 mounted along the front edge of the upper surface of the unit 120 and the probe circuit board 135 interlocked with the inspection device (not shown) is installed below the unit base unit 110. And a probe block unit 140 mounted on the manipulator unit 120 to inspect the object to be inspected.

본 실시예에 따른 유닛베이스부(110)는 프로브유닛(100)의 지지대로서, 패널 지지테이블(미도시)과 검사장치(도시되지 않음)에 인접하여 배치된다. 이 패널 지지테이블의 상부에는 LCD 패널, 또는 PDP 등 피검사체가 위치하며, 프로브유닛(100)은 검사장치(도시되지 않음)와 연동하여, 검사장치가 필요한 검사를 할 수 있도록 매개역할을 수행한다. 검사장치는 프로브유닛(100)을 통한 검사를 위해 다양한 측정기와 점등기를 구비할 수 있다. The unit base unit 110 according to the present embodiment is a support of the probe unit 100 and is disposed adjacent to a panel support table (not shown) and an inspection device (not shown). An inspection object such as an LCD panel or a PDP is positioned above the panel support table, and the probe unit 100 interworks with an inspection device (not shown) to perform an intermediary role for the inspection device to perform necessary inspections. . The inspection apparatus may include various measuring instruments and lighters for inspection through the probe unit 100.

본 실시예에 따른 머니퓰레이터부(120)는 유닛베이스부(110)의 전면 가장자리를 따라 설치되며, 피검사체의 크기 및 피검사체의 전극의 갯수 및 위치에 따라 다양한 위치에 다양한 갯수로 마련될 수 있다. 여기서, 머니퓰레이터부(120)는 유닛베이스부(110)의 앞측 방향으로 돌출된 부분이 존재하며, 여기서는 이 돌출된 부분을 "고정암"이라 정의한다. 고정암(125)은 도4에 도시된 바와 같이, 볼트(126)를 이용하여 프로브블록부(140)를 머니퓰레이터부(120)에 고정시킨다. The manipulator part 120 according to the present exemplary embodiment may be installed along the front edge of the unit base part 110, and may be provided in various numbers at various positions according to the size of the inspected object and the number and position of electrodes of the inspected object. . Here, the manipulator portion 120 has a portion protruding in the front direction of the unit base portion 110, and this protrusion portion is defined as "fixed arm". As shown in FIG. 4, the fixed arm 125 fixes the probe block part 140 to the manipulator part 120 using a bolt 126.

본 실시예에 따른 회로기판베이스부(130)는, 회로기판베이스부(130)의 앞측 가장자리가 유닛베이스부(110)의 앞측 가장자리보다 앞측으로 돌출되도록 장착된다. 도3 내지 도5에 도시된 바와 같이, 회로기판베이스부(130)는 유닛베이스부(110)의 앞측으로 일정한 영역만큼 돌출된 돌출부분(도5의 'B' 참조)을 가지게 된다. 이러한 돌출부분(B)의 상부면의 일부에는 프로브블록부(140)를 고정하기 위 한 제1결합부분(138)이 형성되어 있고, 프로브블록부(140)를 프로브회로기판(135)에 연결하기 위한 회로기판결합판(136)을 구비한다. 또한, 회로기판베이스부(130)에는 검사장치와 프로브블록부(140)를 연동시키는 프로브회로기판(135)이 탑재되어 있다.The circuit board base part 130 according to the present exemplary embodiment is mounted such that the front edge of the circuit board base part 130 protrudes forward than the front edge of the unit base part 110. As shown in FIGS. 3 to 5, the circuit board base unit 130 has a protruding portion (see 'B' in FIG. 5) protruding by a predetermined area toward the front of the unit base unit 110. A first coupling part 138 for fixing the probe block part 140 is formed on a part of the upper surface of the protrusion part B, and the probe block part 140 is connected to the probe circuit board 135. A circuit board coupling plate 136 is provided. In addition, the circuit board base unit 130 is provided with a probe circuit board 135 for interlocking the inspection device and the probe block unit 140.

본 실시예에 따른 프로브블록부(140)는, 일측이 탐침(1422)을 구비하고, 타측이 위에서 아래방향으로 회로기판베이스부(130)의 돌출부분(B)에 마련된 회로기판결합판(136)과 결합함으로써 프로브회로기판(135)과 연결된다. 즉, 프로브블록부(140)는 회로기판베이스부(130)의 돌출부분(B)의 상부면에 위치한 제1결합부분(138)과 결합하기 위한 제2결합부분(148)을 구비한다. 그리고 프로브블록부(140)는 제1결합부분(138)과 제2결합부분(148)을 위에서 아래방향으로 결합하는 결합부재(149)를 구비하고 있다. 이 결합부재(149)에 의해 제1결합부분(138)과 제2결합부분(148)이 결합된 경우, 프로브블록부(140)와 프로브회로기판(135)은 회로기판결합판(136)을 통하여 전기적 및 기계적으로 연결된다. 본 실시예에서는, 도3에 도시된 바와 같이, 제1결합부분(138)은 돌출부분(B)의 상부면 일부 영역에 형성된 볼트홈의 형태로 마련될 수 있다. 이에 대응하여 프로브블록부(140)의 제2결합부분(148)은 볼트공으로 마련되고 제1결합부분(138)과 제2결합부분(148)을 결합하는 결합부재(149)는 볼트로 마련된다. 도3에 도시된 바와 같이 결합부재(149)는 사용자의 파지가 용이하도록 손잡이가 길게 되어있고 손잡이의 표면에 요철을 구비한다.The probe block part 140 according to the present embodiment has a probe 1422 at one side and a circuit board coupling plate 136 provided at the protruding portion B of the circuit board base part 130 from the top to the bottom. ) Is connected to the probe circuit board 135. That is, the probe block part 140 includes a second coupling part 148 for coupling with the first coupling part 138 located on the upper surface of the protruding portion B of the circuit board base part 130. In addition, the probe block part 140 includes a coupling member 149 that couples the first coupling portion 138 and the second coupling portion 148 from the top downward. When the first coupling part 138 and the second coupling part 148 are coupled by the coupling member 149, the probe block part 140 and the probe circuit board 135 may connect the circuit board coupling plate 136. Through electrical and mechanical connection. In the present embodiment, as shown in FIG. 3, the first coupling portion 138 may be provided in the form of a bolt groove formed in a portion of the upper surface of the protruding portion B. Correspondingly, the second coupling part 148 of the probe block part 140 is provided with a bolt hole, and the coupling member 149 for coupling the first coupling part 138 and the second coupling part 148 is provided with a bolt. . As shown in FIG. 3, the coupling member 149 has a long handle to facilitate gripping by a user, and has irregularities on the surface of the handle.

이하에서는, 도3 내지 도5를 참조하여, 프로브블록부(140)에 대해 구체적으로 설명한다. 도3에 도시된 바와 같이, 프로브블록부(140)는 탐침(1422)이 설치된 탐침모듈(142)과 연결모듈(146)로 구분할 수 있다. 탐침모듈(142)은 탐침(1422)을 통하여 피검사체의 접촉전극과 신호를 주고받는 기능을 수행한다. 탐침모듈(142)은 연결모듈(146)을 통하여 프로브회로기판(135)과 연결된다. 구체적으로, 탐침모듈(142)은 탐침(1422)으로부터 인출된 단자와 연결모듈(146)을 연결하는 제1인터페이스(1424)를 구비하고, 연결모듈(146)은 제1인터페이스(1424)와 프로브회로기판(135)을 연결하는 제2인터페이스(1464)를 구비한다. Hereinafter, the probe block unit 140 will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 5. As shown in FIG. 3, the probe block unit 140 may be divided into a probe module 142 and a connection module 146 provided with the probe 1422. The probe module 142 exchanges a signal with a contact electrode of an object through the probe 1422. The probe module 142 is connected to the probe circuit board 135 through the connection module 146. In detail, the probe module 142 includes a first interface 1424 connecting the terminal drawn out from the probe 1422 and the connection module 146, and the connection module 146 includes the first interface 1424 and the probe. A second interface 1464 connecting the circuit board 135 is provided.

여기서, 탐침모듈(142)의 제1인터페이스(1424)는 피검사체를 구동시키기 위한 구동신호를 발생하는 구동칩(1426)이 실장된 구동회로기판(1424)으로 마련될 수 있다. 이러한 구동회로기판(1424)은 이방성도전필름(Anisotropic Conductive Film,ACF)에 COF(Chip On Film) 등의 방식을 이용하여 드라이브 IC(1426)를 실장하고, 구동회로기판(1424)의 일측을 TAB(Tape Automated Binding)와 같은 방식을 이용하여 각 탐침(1422)에 대응하는 단자에 접속하며, 구동회로기판(1424)의 타측도 TAB와 같은 방식을 이용하여 연결모듈(146)에 접속한다. The first interface 1424 of the probe module 142 may be provided as a driving circuit board 1424 mounted with a driving chip 1426 for generating a driving signal for driving the object under test. The driving circuit board 1424 mounts the drive IC 1426 on an anisotropic conductive film (ACF) using a chip on film (COF) method, and one side of the driving circuit board 1424 is TAB. (Tape Automated Binding) is connected to the terminal corresponding to each of the probes 1422, and the other side of the driving circuit board 1424 is connected to the connection module 146 using the same method as TAB.

그리고, 연결모듈(146)의 제2인터페이스(1464)의 일측 단자는 제1인터페이스(1424)와 TAB 또는 솔더링과 같은 방식에 의해 접속되고, 제2인터페이스(1464)의 타측 단자는 제1결합부분(138)과 제2결합부분(148)가 결합부재(149)에 의해 도4 및 도5와 같이 결합된 경우, 제2인터페이스(1464)의 타측 단자는 돌출부분(B)에 배치된 회로기판결합판(136)을 통하여 프로브회로기판(135)의 일측 단자와 접속된다. One terminal of the second interface 1464 of the connection module 146 is connected to the first interface 1424 by a method such as TAB or soldering, and the other terminal of the second interface 1464 is connected to the first coupling part. When the 138 and the second coupling portion 148 are coupled as shown in FIGS. 4 and 5 by the coupling member 149, the other terminal of the second interface 1464 is a circuit board disposed at the protruding portion B. The coupling plate 136 is connected to one terminal of the probe circuit board 135.

이와 같이, 본 실시예에 따른 프로브블록부(140)는, 탐침(1422)의 단자와 직접 연결된 구동회로기판(1426)을 FPC 필름으로 마련된 제2인터페이스(1464)를 이용 하여 프로브회로기판(135)에 연결하는 구성을 통하여, 종래 탐침(1422)의 단자와 프로브회로기판(135)의 사이에 존재하였던 도2에 도시된 종래 프로브블록부(40)의 제1FPC 필름(44)과 도2에 도시된 바와 같은 제1FPC 필름(44)과 제1고정부분(47)의 결합에 의한 접점을 배제시킴으로써, 이러한 종래의 구성들로부터 초래되었던 노이즈를 최소화할 수 있다.As described above, the probe block unit 140 according to the present exemplary embodiment may include a driving circuit board 1426 directly connected to a terminal of the probe 1422 using the second interface 1464 provided with an FPC film. ), The first FPC film 44 of the conventional probe block portion 40 shown in FIG. 2 that existed between the terminal of the conventional probe 1422 and the probe circuit board 135. By excluding the contact by the combination of the first FPC film 44 and the first fixing portion 47 as shown, it is possible to minimize the noise resulting from these conventional configurations.

또한, 회로기판베이스부(130)에 형성된 제1결합부분(138), 프로브블록부(140)에 형성된 제2결합부분(148)을 위에서 아래방향으로 체결하는 결합부재(149)를 사용함으로써, 프로브블록부(140)의 유지 및 보수 시에 종래와 같이 프로브 스테이지(도시되지 않음)로부터 유닛베이스부(110)를 분해하는 것 없이 위로부터 결합부재(149)를 해체함으로써 프로브블록부(140)를 프로브유닛(100)으로부터 용이하게 분리할 수 있어, 프로브블록부(140)의 유지 및 보수도 용이하게 할 수 있다. In addition, by using the coupling member 149 for fastening the first coupling portion 138 formed on the circuit board base portion 130 and the second coupling portion 148 formed on the probe block portion 140 from the top downward, At the time of maintenance and repair of the probe block unit 140, the probe block unit 140 is disassembled by disassembling the coupling member 149 from above without disassembling the unit base unit 110 from the probe stage (not shown) as in the related art. It can be easily separated from the probe unit 100, it can also facilitate the maintenance and repair of the probe block unit 140.

본 발명은 LCD 패널 등 평판 디스플레이 패널이 정상 작동되는 여부를 검사하는 장비로서, 반도체 및 평판 디스플레이 패널의 검사와 관련된 전자분야에서 유용하게 사용될 수 있다.The present invention is a device for inspecting whether a flat panel display panel such as an LCD panel is normally operated, it can be usefully used in the electronic field related to the inspection of semiconductor and flat panel display panel.

도1은 종래 프로브유닛의 사시도이다.1 is a perspective view of a conventional probe unit.

도2는 도1의 A에 대한 분해 확대도이다.FIG. 2 is an exploded enlarged view of A of FIG. 1. FIG.

도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브블록부가 분리된 프로브유닛의 사시도이다.3 is a perspective view of a probe unit with a probe block separated according to an embodiment of the present invention.

도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브블록부가 결합된 프로브유닛의 사시도이다.Figure 4 is a perspective view of a probe unit coupled to the probe block unit according to an embodiment of the present invention.

도5는 도4에 대한 측면도이다. FIG. 5 is a side view of FIG. 4. FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 프로브유닛 110 : 유닛베이스부100: probe unit 110: unit base portion

120 : 머니퓰레이터부 130 : 회로기판베이스부120: manipulator portion 130: circuit board base portion

135 : 프로브회로기판 138 : 제1결합부분135: probe circuit board 138: first coupling portion

140 : 프로브블록부 142 : 탐침모듈140: probe block portion 142: probe module

1422 : 탐침 1424 : 제1인터페이스1422: probe 1424: the first interface

1426 : 구동칩 146 : 연결모듈1426: driving chip 146: connection module

1464 : 제2인터페이스 148 : 제2결합부분1464: second interface 148: second coupling portion

149 : 결합부재149: coupling member

Claims (7)

검사장치와 연동되어, 프로브스테이지 위에 고정된 피검사체를 검사하는 프로브유닛에 있어서,In the probe unit interlocked with the inspection device for inspecting the inspected object fixed on the probe stage, 유닛베이스부;Unit base portion; 상기 유닛베이스부의 상부면의 앞측 가장자리를 따라 장착되며, 상기 유닛베이스부의 앞측 방향으로 돌출된 고정암을 포함하는 머니퓰레이터부;A manipulator part mounted along a front edge of the upper surface of the unit base part and including a fixed arm protruding in the front direction of the unit base part; 상기 검사장치와 전기적으로 연동되는 프로브회로기판을 탑재하고, 상부면의 앞측 가장자리가 상기 유닛베이스부의 앞측 가장자리보다 상기 유닛베이스부의 앞측 방향으로 돌출된 돌출부분을 구비하도록 상기 유닛베이스부의 하부에 장착된 회로기판베이스부; 및A probe circuit board electrically interlocked with the inspection apparatus, and mounted at a lower portion of the unit base portion such that the front edge of the upper surface has a protruding portion protruding in the front direction of the unit base portion than the front edge of the unit base portion; Circuit board base portion; And 일측이 탐침을 구비하고, 타측이 상기 회로기판베이스부의 상기 돌출부분의 상부면 일부에 대하여 위에서 아래방향으로 결합되어 상기 프로브회로기판과 연결되는 프로브블록부;A probe block part having one side having a probe and the other side coupled to the probe circuit board from the top to the bottom of a portion of the protruding portion of the circuit board base part; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브유닛.Probe unit comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프로브회로기판은, 상기 회로기판베이스부의 돌출부분의 상부면의 일부에 상기 프로브블록부와 연결하기 위한 제1결합부분을 구비하고,The probe circuit board includes a first coupling part for connecting the probe block part to a part of an upper surface of the protruding part of the circuit board base part, 상기 프로브블록부는, 상기 제1결합부분과 대응하는 제2결합부분과, 상기 제 1결합부분과 제2결합부분을 위에서 아래 방향으로 결합시키는 결합부재를 구비하며,The probe block portion includes a second coupling portion corresponding to the first coupling portion, and a coupling member coupling the first coupling portion and the second coupling portion from the top to the bottom, 상기 결합부재에 의하여 상기 제1결합부분과 상기 제2결합부분이 결합된 경우 상기 프로브블록부와 상기 프로브회로기판은 전기적 및 기계적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 프로브유닛.And the probe block portion and the probe circuit board are electrically and mechanically connected when the first coupling portion and the second coupling portion are coupled by the coupling member. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 프로브회로기판은, 상기 제1결합부분이 볼트홈으로 형성되고,The probe circuit board, the first coupling portion is formed of a bolt groove, 상기 프로브블록부는 상기 제2결합부분이 상기 볼트홈에 대응하는 볼트공으로 형성되고, 상기 결합부재가 위에서 아래 방향으로 상기 볼트공을 관통하여 상기 제1결합부분의 볼트홈에 체결되는 볼트로 마련된 것을 특징으로 하는 프로브유닛.The probe block part is formed of a bolt hole corresponding to the bolt groove of the second coupling portion, and the coupling member is provided as a bolt that is fastened to the bolt groove of the first coupling portion through the bolt hole from the top to the bottom direction. Probe unit characterized in that. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프로브블록부는, 상기 탐침을 통하여 상기 피검사체의 접촉전극과 신호를 주고받는 탐침모듈과, 상기 탐침모듈을 통해 주고받은 신호를 상기 프로브회로기판에 연결하도록 상기 탐침모듈과 일체로 형성된 연결모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브유닛.The probe block unit may include a probe module which exchanges a signal with a contact electrode of the test object through the probe, and a connection module which is integrally formed with the probe module to connect a signal transmitted and received through the probe module to the probe circuit board. Probe unit characterized in that it comprises. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 프로브블록부는, 상기 탐침모듈이 상기 탐침으로부터 인출된 단자와 연 결모듈을 연결하는 제1인터페이스를 구비하고, 상기 연결모듈이 상기 제1인터페이스와 상기 프로브회로기판을 연결하는 제2인터페이스를 구비하는 것을 특징으로 하는 프로브유닛.The probe block unit includes a first interface for connecting the probe module to the terminal drawn out from the probe and a connection module, and the connection module includes a second interface for connecting the first interface to the probe circuit board. Probe unit, characterized in that. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1인터페이스는 상기 피검사체를 구동시키는 구동회로기판으로 마련된 것을 특징으로 하는 프로브유닛.And the first interface comprises a driving circuit board for driving the inspected object. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제1인터페이스는 이방성도전필름에 상기 피검사체를 구동시키는 구동칩이 실장된 것을 특징으로 하는 프로브유닛.The first interface is a probe unit, characterized in that the drive chip for driving the test object is mounted on the anisotropic conductive film.
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