KR100994643B1 - 구형 볼을 이용한 화합물 반도체 기판의 제조 방법과 이를 이용한 화합물 반도체 기판 및 화합물 반도체 소자 - Google Patents
구형 볼을 이용한 화합물 반도체 기판의 제조 방법과 이를 이용한 화합물 반도체 기판 및 화합물 반도체 소자 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (23)
- 기재 기판 상에 제1직경을 가지는 다수의 제1구형 볼들을 코팅하는 단계;상기 제1구형 볼들을 식각 마스크로 하여 상기 기재 기판을 이방성 식각하여, 기둥 모양의 섬들을 형성하는 단계;상기 섬들이 형성된 기재 기판 상에 상기 제1직경보다 작은 제2직경을 가지는 다수의 제2구형 볼들을 코팅하여 상기 섬들 사이에 상기 제2구형 볼들을 채워넣는 단계; 및상기 제2구형 볼들 위로 노출된 상기 섬들의 표면에서부터 제1화합물 반도체를 성장시켜, 상기 섬들을 덮고 서로 연결된 구조의 제1화합물 반도체층을 형성하는 단계;를 포함하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제1항에 있어서,상기 제1구형 볼들을 코팅하는 단계 이전에, 상기 기재 기판 상에 제2화합물 반도체를 증착하여 제2화합물 반도체층을 형성하는 단계를 더 포함하여,상기 제1구형 볼들을 코팅하는 단계는, 상기 제2화합물 반도체층 상에 상기 제1구형 볼들을 코팅하고,상기 섬들을 형성하는 단계는, 상기 제2화합물 반도체층을 식각하여 상기 제2 화합물 반도체로 이루어진 섬들을 형성하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 및 제2구형 볼들은, 서로 독립적으로, 산화실리콘(SiO2) 볼, 사파이어(Al2O3) 볼, 산화타이타늄(TiO2) 볼, 산화지르코늄(ZrO2) 볼, Y2O3-ZrO2 볼, 산화구리(CuO, Cu2O) 볼, 산화탄탈륨(Ta2O5) 볼, PZT(Pb(Zr,Ti)O3) 볼, Nb2O5 볼, FeSO4 볼, Fe3O4 볼, Fe2O3 볼, Na2SO4 볼, GeO2 볼, 또는 CdS 볼로 이루어진 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1직경은 0.5~5㎛인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제4항에 있어서,상기 제2직경은 10~500nm인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1구형 볼들을 코팅하는 단계에서 제1구형 볼들 간의 간격은 10㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 섬들을 형성하는 단계와 상기 제2구형 볼들을 코팅하는 단계의 사이에, 상기 제1구형 볼들을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제2항에 있어서,상기 제1화합물 반도체와 제2화합물 반도체는 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 및 제2화합물 반도체층은, 서로 독립적으로, GaN, AlN, AlGaN 또는 이들의 조합(GaxAlyInzN, 단, x, y, z는 각각 0 이상 1 이하로서 x+y+z=1를 만족함)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 제1화합물 반도체, 제2화합물 반도체, 또는 제1 및 제2화합물 반도체는, Si, Ge, Mg, Zn, O, Se, Mn, Ti, Ni 및 Fe로 이루어진 군 중에서 선택된 1종 이상의 이종물질을 추가로 함유하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 기재 기판은 사파이어(Al2O3), GaAs, 스피넬, InP, SiC 또는 Si로 이루어지는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판의 제조 방법.
- 기재 기판;상기 기재 기판의 표면에 수직한 방향으로 다수 개 형성된 기둥 모양의 섬들(islands);상기 섬들 사이에 채워진 다수의 구형 볼들; 및상기 다수의 구형 볼들 위로 노출된 상기 섬들의 표면에서부터 성장되어 상기 섬들을 덮는 화합물 반도체층을 포함하는 화합물 반도체 기판.
- 제12항에 있어서,상기 구형의 볼들은 산화실리콘(SiO2) 볼, 사파이어(Al2O3) 볼, 산화타이타늄(TiO2) 볼, 산화지르코늄(ZrO2) 볼, Y2O3-ZrO2 볼, 산화구리(CuO, Cu2O) 볼, 산화탄탈륨(Ta2O5) 볼, PZT(Pb(Zr,Ti)O3) 볼, Nb2O5 볼, FeSO4 볼, Fe3O4 볼, Fe2O3 볼, Na2SO4 볼, GeO2 볼, 또는 CdS 볼로 이루어진 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제12항에 있어서,상기 섬들은 원기둥 모양이거나, 복수의 원기둥이 서로 합쳐진 모양인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제14항에 있어서,상기 원기둥의 직경이 0.5~5㎛인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제14항에 있어서,상기 원기둥 간의 간격은 10㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제12항에 있어서,상기 구형 볼들의 직경이 10~500nm인 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제12항에 있어서,상기 섬들이 상기 화합물 반도체층과 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제12항에 있어서,상기 화합물 반도체층은 GaN, AlN, InN 또는 이들의 조합(GaxAlyInzN, 단, x, y, z는 각각 0 이상 1 이하로서 x+y+z=1를 만족함)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제19항에 있어서,상기 화합물 반도체층은 Si, Ge, Mg, Zn, O, Se, Mn, Ti, Ni 및 Fe로 이루어진 군 중에서 선택된 1종 이상의 이종물질을 추가로 함유하는 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제12항에 있어서,상기 섬들이 상기 기재 기판과 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제12항에 있어서, 상기 기재 기판은 사파이어(Al2O3), GaAs, 스피넬, InP, SiC 또는 Si로 이루어진 것을 특징으로 하는 화합물 반도체 기판.
- 제12항 내지 제22항 중 어느 한 항에 기재된 화합물 반도체 기판을 이용하여 제조된 화합물 반도체 소자로서,상기 화합물 반도체층은, 제1도전형의 화합물 반도체층; 상기 제1도전형의 화합물 반도체층 상에 형성된 활성층; 및 상기 활성층 상에 형성된 제2도전형의 화합물 반도체층을 포함하고,상기 제1 및 제2도전형의 화합물 반도체층에 각각 전기적으로 연결된 제1 및 제2전극을 포함하는 화합물 반도체 소자.
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