KR100992144B1 - Automic force microscope - Google Patents

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    • G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means

Abstract

본 발명은 탐침(probe)의 상하 유동에 의한 캔틸레버(cantilever)의 변형을 측정하여 시료 표면의 형상을 영상으로 획득할 수 있도록 한 원자간력 현미경에 관한 것이다.The present invention relates to an atomic force microscope that can obtain the image of the surface of the sample by measuring the deformation of the cantilever due to the vertical flow of the probe (probe).

본 발명에 따르면, 스캐너에 장착되며, 일측 단부에는 시료 표면과의 상호 작용력에 의해 상하 유동되는 탐침(probe)이 부착되어 있는 캔틸레버를 포함하는 원자간력 현미경에 있어서, 캔틸레버(cantilever)(30)는 스캐너(scanner)(20)에 복수 개 장착되어, 구동수단(40)을 통한 원스텝(one step) 회전에 의해 교체 가능하도록 한 것에 그 특징이 있다. 이에 따라, 원자간력 현미경의 사용성 및 기능성을 향상시킬 수 있을 뿐 아니라 캔틸레버의 교체에 따른 시간적 손실을 상대적으로 줄일 수 있다.
According to the present invention, a cantilever 30 in an atomic force microscope including a cantilever attached to a scanner and having a probe attached at one end thereof to be flowed up and down by an interaction force with a sample surface. Is characterized in that a plurality of scanners 20 are mounted so that they can be replaced by one-step rotation through the driving means 40. Accordingly, not only the usability and functionality of the atomic force microscope can be improved, but also the time loss due to replacement of the cantilever can be relatively reduced.

스캐너, 캔틸레버, 탐침, 구동수단, 광원, 광위치검출기Scanner, Cantilever, Probe, Driving Means, Light Source, Photo Position Detector

Description

원자간력 현미경 {AUTOMIC FORCE MICROSCOPE} Atomic Force Microscopy {AUTOMIC FORCE MICROSCOPE}             

도 1은 종래 원자간력 현미경의 구조도이고,1 is a structural diagram of a conventional atomic force microscope,

도 2는 본 발명에 따른 원자간력 현미경의 구조도이고,2 is a structural diagram of an atomic force microscope according to the present invention,

도 3은 본 발명에 따른 원자간력 현미경의 캔틸레버 설치구조를 도시한 사시도이고,3 is a perspective view showing the cantilever installation structure of the atomic force microscope according to the present invention,

도 4는 본 발명에 따른 원자간력 현미경의 캔틸레버 작동상태를 도시한 평면도이다.4 is a plan view showing a cantilever operating state of the atomic force microscope according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >           <Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

20 : 스캐너 30 : 캔틸레버            20: Scanner 30: Cantilever

32 : 탐침 40 : 구동수단            32: probe 40: drive means

50 : 시료 60 : 광원            50: sample 60: light source

70 : 광위치검출기
70: photo position detector

본 발명은 원자간력 현미경에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탐침(probe)의 상하 유동에 의한 캔틸레버(cantilever)의 변형을 측정하여 시료 표면의 형상을 영상으로 획득할 수 있도록 한 원자간력 현미경에 관한 것이다.
The present invention relates to an atomic force microscope, and more particularly, to an atomic force microscope in which the shape of a sample surface can be obtained by measuring deformation of the cantilever caused by vertical flow of a probe. It is about.

일반적으로, 나노기술(NT)은 원자나 분자 크기의 극미세 세계에서 물질의 구조와 특성을 규명하고 이를 조작·제어하는 기술로서, IT 또는 BT와 더불어 21C의 핵심기술로 주목받고 있다. In general, nanotechnology (NT) has been attracting attention as a core technology of 21C along with IT or BT as a technology for identifying, manipulating, and controlling the structure and properties of materials in an ultra-fine world of atomic or molecular size.

불과 얼마 전까지만 해도 원자나 분자 단위의 나노(nano)세계는 너무나 미세하여 아무리 좋은 현미경으로도 볼 수 없는 미지의 영역이었다. 이러한 나노세계를 열 수 있는 열쇠가 물질의 표면 특성을 원자 단위까지 측정할 수 있는 새로운 개념의 원자 현미경이다. Not long ago, the nano-nano world of atoms and molecules was so tiny that it was an unknown area that could not be seen with a good microscope. The key to opening this nanoworld is a new concept of atomic microscopy that can measure the surface properties of materials down to the atomic level.

이러한 원자 현미경은 주로 연구용과 산업용 분석 또는 측정기기로 사용되고 있으며, 연마된 광학렌즈나 증착막의 두께 정밀도 측정에서부터 천연광석의 표면 분석에 이르기까지 종래보다 더 작은 단위로 측정하려는 여러 다양한 분야에 활용되고 있다. 특히, 산업용으로는 반도체의 표면 계측, defect 분석, 컴팩트 디스크, 자기 디스크 등에 쓰인 비트(bit)의 모양새 조사 등에 쓰이고 있으며, 최근 괄목할만한 성장을 보이고 있는 평판표시장치(Flat Panel Display)의 제조공정 분석장비로도 활용되고 있다. These atomic microscopes are mainly used for research and industrial analysis or measuring devices, and are used in various fields to measure in smaller units than conventional ones, from measuring thickness precision of polished optical lenses or deposited films to surface analysis of natural ores. . In particular, it is used for surface measurement of semiconductors, defect analysis, investigation of the shape of bits used in compact disks, magnetic disks, etc., and the manufacturing process analysis of flat panel display, which has recently shown remarkable growth. It is also used as equipment.

그로 인해, 원자 현미경은 제1세대인 광학 현미경, 제2세대인 전자 현미경 다음의 제3세대 현미경으로 자리 잡아가고 있는 실정이다. 원자 현미경의 효시는 STM(Scanning Tunneling Microscope)이며, 가장 널리 사용되고 있는 원자 현미경은 원자간력 현미경이라고 불리는 AFM(Automic Force Microscope)이다. For this reason, the atomic microscope has become a third generation microscope after the first generation optical microscope and the second generation electron microscope. The success of atomic force microscopy is STM (Scanning Tunneling Microscope) and the most widely used atomic microscope is AFM (Automatic Force Microscope) called Atomic Force Microscope.

종래의 원자간력 현미경(AFM) 구조는 대부분 도 1에 도시된 바와 같이, 캔틸레버(cantilever)(2)의 탐침(probe)(4)을 시료(6)에 근접시키면 탐침(4) 끝의 원자와 시료(6) 표면의 원자들 사이에 상호 작용력이 생긴다. 이 상호 작용력은 Van Der Waals Force)이며, 그 크기는 nano Newton 이하로 미약하나 이렇게 미약한 힘에 의해서도 캔틸레버(2)의 공명진동수가 변화하며, 캔틸레버(2)의 변형 정도나 공명진동수 변화는 광원(7) 및 광위치검출기(8)로 측정된다. 이렇게 감지된 원자 사이의 힘이 일정하게 유지되도록 피드백(feedback) 제어를 하면서 탐침(2)을 x-y 방향으로 움직이면 탐침(4)은 시료(6) 표면의 높낮이를 따라가게 되며, 이 때 기록된 각 위치의 높낮이가 바로 시료(6)의 형상을 나타내는 사진이 된다. Conventional atomic force microscopy (AFM) structure is mostly shown in Figure 1, when the probe (4) of the cantilever (2) close to the sample (6) atom at the tip of the probe (4) And interaction forces between atoms on the surface of the sample 6. This interaction force is Van Der Waals Force), and its size is less than nano Newton, but the resonant frequency of the cantilever (2) is changed even by this weak force, and the deformation degree or resonant frequency change of the cantilever (2) is a light source. (7) and the optical position detector (8). By moving the probe (2) in the xy direction with feedback control so that the force between the sensed atoms is kept constant, the probe (4) follows the height of the surface of the sample (6). The height of the position immediately becomes a photograph showing the shape of the sample 6.

탐침(4)은 스캐너(9)에 장착되어 있는 캔틸레버(2)라고 불리우는 작은 막대(100㎛×10㎛×1㎛)의 단부에 부착되어 있으며, 이는 마이크로머시닝(micro-machining)으로 만들어진다.The probe 4 is attached to the end of a small rod (100 μm × 10 μm × 1 μm) called cantilever 2 mounted on the scanner 9, which is made of micro-machining.

그러나 상기와 같은 원자간력 현미경(AFM)은 캔틸레버(4)가 스캐너(2)에 하나만 장착되는 구조를 가짐으로써 측정 시료(6)가 바뀔 때 또는 캔틸레버(2)에 손상이 발생될 때마다 캔틸레버(4)를 일일이 교체해야 하는 불편함이 있으며, 또한 한 시료(6)에 여러 종류의 막이 형성되어 있는 경우에는 일시에 측정할 방법이 없다는 문제점이 있다.However, such an atomic force microscope (AFM) has a structure in which only one cantilever 4 is mounted on the scanner 2 so that the cantilever 2 is changed whenever the measurement sample 6 is changed or when the cantilever 2 is damaged. There is a problem in that it is inconvenient to replace (4) one by one, and when several kinds of films are formed in one sample 6, there is a problem that there is no method to measure at one time.

그로 인해, 원자간력 현미경의 기능성 및 사용성이 저하될 뿐 아니라 캔틸레 버(2)의 교체에 따른 시간적 손실이 상당하다.
As a result, not only the functionality and usability of the atomic force microscope are lowered, but also the time loss due to the replacement of the cantilever 2 is considerable.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 제반 여건에 따라 캔틸레버를 간편하고 신속하게 교체할 수 있는 원자간력 현미경을 제공하고자 하는 데 그 목적이 있다.
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an atomic force microscope that can easily and quickly replace the cantilever according to various conditions.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 스캐너에 장착되며, 일측 단부에는 시료 표면과의 상호 작용력에 의해 상하 유동되는 탐침(probe)이 부착되어 있는 캔틸레버를 포함하는 원자간력 현미경에 있어서, 상기 캔틸레버(cantilever)는 상기 스캐너(scanner)에 복수 개 장착되어, 구동수단을 통한 원스텝(one step) 회전에 의해 교체 가능하도록 한 것에 그 특징이 있다.In order to achieve the above object, the present invention, in the atomic force microscope including a cantilever is attached to the scanner, the probe is attached to one end of the flow (up and down) by the interaction force with the sample surface, The cantilever is characterized in that a plurality of cantilever is mounted on the scanner, so that the cantilever can be replaced by one step rotation through a driving means.

상기 복수의 캔틸레버는 그 종류가 서로 다른 것 또는 그 종류가 서로 같은 것을 선택적으로 적용할 수 있다.The plurality of cantilevers may be selectively applied to different kinds or the same kinds.

상기 캔틸레버는 상기 스캐너에 방사상으로 장착되는 것이 바람직하다.The cantilever is preferably mounted radially to the scanner.

상기 구동수단은 일정 각도로 회전 가능한 스텝 모터 또는 서보 모터를 사용하는 것이 바람직하다.
Preferably, the driving means uses a step motor or a servo motor that can rotate at a predetermined angle.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 하기 와 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 원자간력 현미경의 구조도이고, 도 3은 본 발명에 따른 원자간력 현미경의 캔틸레버 설치구조를 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 원자간력 현미경의 캔틸레버 작동상태를 도시한 평면도이다.2 is a structural diagram of an atomic force microscope according to the present invention, Figure 3 is a perspective view showing the cantilever installation structure of the atomic force microscope according to the present invention, Figure 4 is a cantilever operation of the atomic force microscope according to the present invention It is a top view which shows the state.

도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 원자간력 현미경(AFM)은 스캐너(20)와; 구동수단(40)을 통해 원스텝(one step) 회전 가능하도록 스캐너(20)에 복수 개 장착되며, 단부에는 시료(50) 표면과의 상호 작용력에 의해 상하 유동되는 탐침(32)이 각각 부착되어 있는 캔틸레버(30)와; 캔틸레버(30)의 상부에 설치되어, 캔틸레버(30)에 광을 조사하는 광원(60)과; 캔틸레버(30)의 유동에 의해 반사되는 광의 반사각도를 측정하여 시료(60) 표면의 형상을 알아내는 광위치검출기(70)를 포함하여 구성된다.As shown in the figure, an atomic force microscope (AFM) according to the present invention includes a scanner 20; A plurality of scanners 20 are mounted on the scanner 20 so as to be able to rotate one step through the driving means 40, and the probes 32, which are vertically flown by the interaction force with the surface of the sample 50, are attached to the ends thereof, respectively. Cantilever 30; A light source 60 disposed above the cantilever 30 and irradiating light to the cantilever 30; It comprises a light position detector 70 for measuring the reflection angle of the light reflected by the flow of the cantilever 30 to determine the shape of the surface of the sample 60.

스캐너(scanner)(20)는 복수의 캔틸레버(30)를 지지함과 동시에 광위치검출기(70)를 통해 검출된 캔틸레버(30)의 움직임을 일정하게 유지시키는 역할을 수행하며, 필요에 따라 다양한 종류의 것을 선택적으로 사용할 수 있지만 튜브스캐너(tube scanner)를 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 튜브스캐너의 x,y방향 주사범위는 대체로 100×100㎛ 정도이며, 원자 규모의 해상도를 얻기 위해서는 탐침(32)의 이동거리를 약 0.01 옹스트롬 정도까지 조절할 수 있어야 한다. 특히, 스캐너(20)는 주사 범위 또는 정밀도 등에 영향을 미칠 수 있다.The scanner 20 supports a plurality of cantilevers 30 and simultaneously maintains the movement of the cantilevers 30 detected through the optical position detector 70, and various types as necessary. Although it can be used optionally, it is preferable to use a tube scanner (tube scanner). The scanning range of the tube scanner in the x and y directions is generally about 100 × 100 μm, and the moving distance of the probe 32 should be adjusted to about 0.01 angstrom in order to obtain atomic resolution. In particular, the scanner 20 may affect the scanning range or precision.

캔틸레버(cantilever)(30) 및 탐침(32)은 시료(50)의 표면에 적용되는 힘이나 궁극적인 AFM의 lateral resolution을 결정하기 때문에 AFM의 가장 중요한 요소 중의 하나이다. 캔틸레버(30)는 마이크로머시닝으로 정밀하게 제작되며, 그 길이가 100㎛, 폭 10㎛, 두께 1㎛로서 아주 작아 미세한 힘에 의해서도 상하로 쉽게 휘어지도록 만들었다. 그리고 캔틸레버(30) 각각의 단부에 부착되어 있는 탐침(32)의 끝은 원자 몇 개 정도의 크기로 매우 첨예하며, 이러한 탐침(32)을 시료(50) 표면에 접근시키면 탐침(32) 끝의 원자와 시료(50) 표면의 원자 사이의 간격에 따라 서로 당기는 힘(인력) 또는 서로 미는 힘(척력)이 작용한다. 캔틸레버(30) 및 탐침(32)은 Photolithography 기술을 이용하여 silicone이나 silicone nitride 등으로 만들어진다. 특히, V모양의 캔틸레버(30)가 수직방향의 변화에 대해서 물리적인 힘을 적게 받으므로 가장 널리 이용된다.Cantilever 30 and probe 32 are one of the most important elements of AFM because they determine the force applied to the surface of sample 50 or the lateral resolution of the ultimate AFM. The cantilever 30 is precisely manufactured by micromachining, and its length is 100 μm, a width of 10 μm, and a thickness of 1 μm so that the cantilever 30 is easily bent up and down by a minute force. The tip of the probe 32 attached to each end of the cantilever 30 is very sharp in the size of several atoms. When the probe 32 approaches the surface of the sample 50, the tip of the probe 32 Depending on the distance between the atom and the atom on the surface of the sample 50, the pulling force (force) or the pushing force (repulsive force) act on each other. The cantilever 30 and the probe 32 are made of silicone or silicone nitride using photolithography techniques. In particular, the V-shaped cantilever 30 is most widely used because it receives less physical force against the change in the vertical direction.

한편, 복수의 캔틸레버(30)는 그 종류가 서로 다른 것을 스캐너(20)에 장착함으로써 한 시료(50)에 여러 종류의 막이 있는 경우에도 원스텝(one step) 회전에 의해 즉시 교체하여 사용할 수 있으며, 마찬가지로 그 종류가 서로 같은 복수의 캔틸레버(30)를 스캐너(20)에 장착함으로써 사용 중 손상이 발생된 경우 별도의 교체 작업없이 원스텝(one step) 회전에 의해 즉시 교체 가능하다. 캔틸레버(30)의 장착구조는 필요에 따라 다양하게 변형 가능하나, 스캐너(20)에 방사상으로 장착되는 것이 바람직하다. 그리고 그 장착개수는 적절히 조절 가능하다.On the other hand, the plurality of cantilevers 30 can be used immediately by one step rotation even if there are several kinds of membranes in one sample 50 by mounting the different kinds in the scanner 20, Likewise, when a plurality of cantilevers 30 of the same type are mounted on the scanner 20, when damage occurs during use, they can be immediately replaced by one step rotation without a separate replacement. The mounting structure of the cantilever 30 can be variously modified as necessary, but is preferably mounted radially to the scanner 20. And the mounting number can be adjusted suitably.

구동수단(40)은 복수의 캔틸레버(30)를 일정 각도로 원스텝 회전 가능한 공지된 여러 종류의 것을 선택적으로 사용할 수 있지만, 그 구조가 간단하면서도 기능이 우수한 스텝 모터(step motor) 또는 서보 모터(servo motor)를 사용하는 것이 바람직하다. 구동수단(40)은 공지된 형태의 것과 동일한 구조를 지니고 있으므로 자세한 설명은 생략하기로 한다.The drive means 40 can selectively use a variety of known types capable of one-step rotation of the plurality of cantilevers 30 at a predetermined angle, but the step motor or servo motor having a simple structure and excellent function motor). Since the driving means 40 has the same structure as that of the known type, a detailed description thereof will be omitted.

광원(60)은 레이저(laser)를 비롯한 여러 종류의 것을 적용할 수 있으며, 광원(60)으로부터 방출되는 광은 캔틸레버(30)에 의해 반사되며, 캔틸레버(30)에 의해 반사된 광은 광위치검출기(70)를 통해 검출된다. 광위치검출기(70)는 2차원 광다이오드(photodiode) 또는 CCD(Charge-Coupled Device)소자로 구성된다. 이 경우, 광원(60)으로부터 발출되는 광의 경로는 캔틸레버(30)에 발생된 응력의 양 또는 캔틸레버(30)의 변형 정도에 의해 결정되며, 따라서 광위치검출기(70)는 캔틸레버(30)의 응력의 양 내지 변형 정도를 검출할 수 있다.The light source 60 may be applied to various kinds of light, including a laser, and the light emitted from the light source 60 is reflected by the cantilever 30, and the light reflected by the cantilever 30 is located at a light position. It is detected through the detector 70. The photo position detector 70 is composed of a two-dimensional photodiode or a charge-coupled device (CCD) element. In this case, the path of the light emitted from the light source 60 is determined by the amount of stress generated in the cantilever 30 or the degree of deformation of the cantilever 30, so that the light position detector 70 is stressed by the cantilever 30. The amount to the degree of deformation of can be detected.

광원(60)은 컨트롤러(미도시)로부터 인가되는 신호에 따라 구동하고, 광위치검출기(70)로부터 출력되는 광위치신호는 컨트롤러로 입력되며, 컨트롤러는 디스플레이부(미도시)를 통하여 시료(50)의 표면 형상을 디스플레이하게 된다.The light source 60 is driven in accordance with a signal applied from a controller (not shown), the optical position signal output from the optical position detector 70 is input to the controller, the controller is a sample 50 through the display unit (not shown) Display the surface shape.

한편, 상기에서는 원자간력 현미경의 일 실시예에 대해 설명한 것으로서, 캔틸레버(30)가 장착되는 구조를 지닌 여러 형태의 것에 다양하게 적용할 수 있음은 물론이다.
On the other hand, as described above with respect to an embodiment of the atomic force microscope, of course, it can be applied to various forms having a structure in which the cantilever 30 is mounted.

이상에서 설명한 원자간력 현미경의 작동상태를 간단히 살펴보면 하기와 같다.Briefly looking at the operating state of the atomic force microscope described above is as follows.

먼저, 원자간력 현미경(AFM)의 캔틸레버(30) 단부에 부착된 탐침(32)을 시료(50)의 표면에 근접시키면 탐침(32) 끝의 원자와 시료(50) 표면의 원자들 사이에 상호 작용력이 생긴다. 이 상호 작용력은 Van Der Waals Force)이며, 그 크기는 nano Newton 이하로 미약하나 이렇게 미약한 힘에 의해서도 캔틸레버(30)의 공명진동수가 변화하며 캔틸레버(30)의 휘는 정도나 공명진동수 변화는 광원(60) 및 광위치검출기(70)로 측정된다. First, when the probe 32 attached to the end of the cantilever 30 of the atomic force microscope (AFM) is brought close to the surface of the sample 50, the atoms between the atoms at the tip of the probe 32 and the atoms of the surface of the sample 50 are separated. Interaction force is created. This interaction force is Van Der Waals Force), and its size is less than nano Newton, but the resonant frequency of the cantilever 30 is changed even by this weak force, and the bending degree or resonant frequency change of the cantilever 30 is changed to a light source ( 60) and the light position detector 70.

이렇게 감지된 원자 사이의 힘이 일정하게 유지되도록 피드백(feedback) 제어를 하면서 탐침(32)을 x-y 방향으로 움직이면 탐침(32)은 시료(50) 표면의 높낮이를 따라 움직이게 되며, 이 때 기록된 각 위치의 높낮이가 바로 시료(50)의 형상을 나타내는 영상이 된다.When the probe 32 is moved in the xy direction while controlling the feedback to maintain a constant force between the atoms thus detected, the probe 32 moves along the height of the surface of the sample 50. The height of the position becomes an image showing the shape of the sample 50.

한편, 캔틸레버(30)를 교체하고자 할 때에는 버튼 등과 같은 컨트롤러를 통해 원스텝(one step) 회전시킴으로써 선택적으로 즉시 교체 가능하다.
Meanwhile, when the cantilever 30 is to be replaced, the cantilever 30 can be selectively replaced immediately by rotating one step through a controller such as a button.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 복수의 캔틸레버를 원스텝 회전에 의해 선택적으로 교체 가능하게 함으로써 원자간력 현미경의 사용성 및 기능성을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the present invention, the usability and the functionality of the atomic force microscope can be improved by selectively replacing the plurality of cantilevers by one-step rotation.

또한, 캔틸레버의 교체에 따른 시간적 손실을 줄일 수 있을 뿐 아니라 작업의 효율성을 상대적으로 높일 수 있다는 장점이 있다.In addition, the time loss due to the replacement of the cantilever can be reduced, and the work efficiency can be relatively increased.

Claims (6)

스캐너에 장착되며, 일측 단부에는 시료 표면과의 상호 작용력에 의해 상하 유동되는 탐침(probe)이 부착되어 있는 캔틸레버를 포함하는 원자간력 현미경에 있어서,In the atomic force microscope including a cantilever attached to the scanner, and attached to the probe at one end is attached to the probe (up and down) by the interaction force with the sample surface, 상기 캔틸레버(cantilever)는 상기 스캐너(scanner)에 복수 개 장착되어, 구동수단을 통한 원스텝(one step) 회전에 의해 교체 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경.A plurality of cantilever (cantilever) is mounted to the scanner (scanner), atomic force microscope, characterized in that the replacement by one-step (one step) through the drive means. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 캔틸레버는 그 종류가 서로 다른 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경.The atomic force microscope of the plurality of cantilever is different in kind. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 캔틸레버는 그 종류가 서로 같은 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경.An atomic force microscope, characterized in that the plurality of cantilevers are the same kind. 제2항 또는 제3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 캔틸레버는 상기 스캐너에 방사상으로 장착되는 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경.And said cantilever is radially mounted to said scanner. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구동수단은 일정 각도로 회전 가능한 스텝 모터인 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경.The driving means is an atomic force microscope, characterized in that the step motor rotatable at a predetermined angle. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 구동수단은 일정 각도로 회전 가능한 서보 모터인 것을 특징으로 하는 원자간력 현미경.The driving means is an atomic force microscope, characterized in that the rotatable servo motor at a predetermined angle.
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