KR102612275B1 - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

어레이 테스트 장치가 개시된다. 상기 장치는, 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 지지하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 배치되며 상기 기판의 검사를 위한 복수의 검사 모듈들과, 상기 검사 모듈들을 지지하며 상기 검사 모듈들을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 갠트리 유닛들을 포함한다. 상기 장치는 상기 기판에 전기적인 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침들을 포함하는 복수의 프로브 유닛들과, 상기 프로브 유닛들을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛들을 포함한다.

Description

어레이 테스트 장치{Array tester}
본 발명의 실시예들은 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 TFT(Thin Film Transistor) 기판의 전기적인 성능을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판 디스플레이 장치는 구동 회로들이 형성된 TFT 기판을 포함한다. 일 예로서, LCD 기판의 경우 TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통 전극들이 형성된 컬러 필터 기판과, 상기 TFT 기판과 컬러 필터 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트 유닛을 포함할 수 있다.
일반적으로 어레이 테스트 장치는 상기 TFT 기판의 화소 전극들의 불량 여부를 검출하기 위해 사용될 수 있으며, 상기 TFT 기판을 지지하기 위한 스테이지와, 상기 TFT 기판을 조명하기 위한 광원과, 상기 TFT 기판의 상부에 배치되어 상기 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 형성하며 상기 광원으로부터의 조사된 광을 투과시키는 모듈레이터와, 상기 모듈레이터를 촬상하여 상기 TFT 기판의 화소 전극들의 불량 여부를 판단하기 위한 검사 카메라 등을 포함할 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-1470591호에는 광원으로부터 모듈레이터로 조사되는 광을 균일하게 하여 검사 신뢰도를 향상시키는 어레이 테스트 장치가 개시되어 있다.
본 발명의 실시예들은 다양한 기판 크기에 대응할 수 있는 개선된 어레이 테스트 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 지지하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 배치되며 상기 기판의 검사를 위한 복수의 검사 모듈들과, 상기 검사 모듈들을 지지하며 상기 검사 모듈들을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 갠트리 유닛들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 어레이 테스트 장치는 2개의 갠트리 유닛들을 포함할 수 있으며, 상기 갠트리 유닛들에는 2개의 검사 모듈들이 각각 장착될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 검사 모듈들은, 상기 기판의 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 발생시키며 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터와, 상기 모듈레이터의 상부에 배치되며 상기 모듈레이터를 촬상하기 위한 검사 카메라와, 상기 모듈레이터 및 검사 카메라를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수직 구동부는, 수직 방향으로 배치되는 베이스 플레이트와, 상기 모듈레이터 및 검사 카메라를 지지하며 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트에 장착되는 가동 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 장착되며 상기 가동 플레이트를 수직 방향으로 이동시키기 위한 공압 실린더를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 수직 구동부는, 상기 공압 실린더의 내부 압력이 기 설정된 압력 이하로 저하되는 경우 상기 가동 플레이트의 낙하를 방지하기 위한 비상정지 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비상정지 유닛은 상기 가동 플레이트의 수직 방향 이동을 정지시키기 위한 제2 공압 실린더를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 어레이 테스트 장치는, 상기 기판에 전기적인 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침들을 포함하는 복수의 프로브 유닛들과, 상기 프로브 유닛들을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 어레이 테스트 장치는 4개의 제2 갠트리 유닛들을 포함할 수 있으며, 상기 제2 갠트리 유닛들에는 4개의 프로브 유닛들이 각각 장착될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 어레이 테스트 장치는, 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 지지하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지 상부에 배치되며 상기 기판의 검사를 위한 복수의 검사 모듈들과, 상기 검사 모듈들을 지지하며 상기 검사 모듈들을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 갠트리 유닛들을 포함할 수 있다. 또한, 상기 어레이 테스트 장치는 상기 기판에 전기적인 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침들을 포함하는 복수의 프로브 유닛들과, 상기 프로브 유닛들을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛들을 포함할 수 있다.
특히, 상기 스테이지 상에는 복수의 기판들이 동시에 로드될 수 있으며, 상기 복수의 검사 모듈들과 복수의 프로브 유닛들에 의해 상기 기판들에 대한 검사 공정이 동시에 수행될 수 있다. 따라서, 상기 기판들에 대한 검사 공정에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있으며, 또한 다양한 크기의 기판들에 대한 검사 공정이 가능하므로 상기 검사 공정에 소요되는 비용이 크게 절감될 수 있다.
또한, 상기 어레이 테스트 장치는 상기 검사 모듈의 비정상적인 낙하를 방지하기 위한 비상정지 유닛을 포함할 수 있으며, 이에 따라 상기 검사 모듈의 비정상적인 낙하에 따른 손실을 예방할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 검사 모듈을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1에 도시된 스테이지 상에 로드된 기판들을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치(100)는 복수의 화소 전극들(미도시)을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판(10)에 대한 전기적인 검사를 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이 패널의 TFT 기판에 대한 성능 검사를 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 기판(10)을 지지하기 위한 스테이지(110)와, 상기 스테이지(110) 상부에 배치되며 상기 기판(10)에 대한 검사를 수행하기 위한 복수의 검사 모듈들(120)과, 상기 검사 모듈들(120)을 지지하며 상기 검사 모듈들(120)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제1 갠트리 유닛들(140)을 포함할 수 있다.
특히, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 2개의 제1 갠트리 유닛들(140)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 갠트리 유닛들(140)에는 2개의 검사 모듈들(120)이 각각 장착될 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 검사 모듈을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 3을 참조하면, 상기 각각의 검사 모듈들(120)은, 상기 기판(10)의 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 발생시키며 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터(122)와, 상기 모듈레이터(122)의 상부에 배치되며 상기 모듈레이터(122)를 촬상하기 위한 검사 카메라(124)와, 상기 모듈레이터(122) 및 상기 검사 카메라(124)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(130)를 포함할 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 모듈레이터(122)는 상기 기판(10)의 불량 유무에 따라 특정 물성치가 변화될 수 있다. 특히, 상기 기판(10)의 화소 전극들이 정상인 경우 상기 모듈레이터(122) 내부에 전기장이 형성되고, 상기 전기장에 의해 분자 배열이 일정한 방향으로 배열되어 광이 통과할 수 있으며, 이와 다르게 상기 기판(10)의 화소 전극들이 불량인 경우 전기장이 형성되지 않거나 전기장의 세기가 저하되어 분자 배열이 변경되지 않으며 이에 의해 광이 통과할 수 없게 된다.
예를 들면, 상기 모듈레이터(122)는 공통 전극들이 형성된 전극층(미도시)과 상기 전기장에 의해 물성이 변화되는 전광 물질층(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 전극층은 상기 기판(10)의 화소 전극들과 함께 그 사이에서 전기장을 형성할 수 있으며, 상기 전광 물질층은 상기 전기장에 의해 분자 배열이 변화되는 PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)층일 수 있다. 그러나, 상기 전광 물질층은 PDLC 층에 한정되는 것이 아니라 무기EL(Electro Luminance), 액정층 등 다양한 물질층이 사용될 수 있다.
구체적으로, 상기 화소 전극들이 정상인 경우 상기 공통 전극들과 화소 전극들 사이에서 형성된 전기장에 의해 상기 전광 물질층의 분자 배열이 전계 방향으로 변화되어 광이 투과될 수 있으며, 상기 화소 전극들이 불량인 경우 광 투과량이 감소되거나 광을 투과시키지 않을 수 있다. 즉, 상기 화소 전극들의 전기적인 성능에 따라 상기 모듈레이터(122)의 광 투과량이 변화될 수 있으며, 상기 검사 카메라(124)는 상기 모듈레이터(122)를 촬상함으로써 상기 기판의 불량 유무를 판단할 수 있다.
상기 검사 카메라(124)는 텔레센트릭 렌즈(126)와 동축 조명(128)을 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 동축 조명(128)으로부터 조사된 광은 하프 렌즈(미도시)를 통해 모듈레이터(124)를 향해 반사될 수 있으며, 상기 모듈레이터(124) 및/또는 상기 기판(10)으로부터 반사된 광이 상기 검사 카메라(124)에 의해 검출될 수 있다.
그러나, 상기와 다르게, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 스테이지(110) 하부에 배치된 백라이트 조명 유닛을 포함할 수도 있으며, 이 경우 상기 스테이지(110)는 상기 백라이트 조명 유닛으로부터 조사된 광을 투과시키기 위해 투광 물질로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수직 구동부(130)는, 수직 방향으로 배치되는 베이스 플레이트(132)와, 상기 모듈레이터(122) 및 상기 검사 카메라(124)를 지지하며 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(132)에 장착되는 가동 플레이트(134)와, 상기 베이스 플레이트(132)에 장착되며 상기 가동 플레이트(134)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 제1 공압 실린더(136)를 포함할 수 있다.
상기 모듈레이터(122)와 상기 검사 카메라(124)는 브래킷들에 의해 상기 가동 플레이트(134)에 장착될 수 있다. 상기 제1 공압 실린더(136)는 상기 모듈레이터(122)가 상기 기판(10)에 인접하도록 상기 가동 플레이트(134)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있으며, 상기 가동 플레이트(134)의 수직 방향 이동은 리니어 모션 가이드와 같은 가이드 기구에 의해 안내될 수 있다.
한편, 상기 검사 모듈들(120)의 베이스 플레이트들(132)은 상기 제1 갠트리 유닛들(140)에 장착될 수 있으며, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 제1 갠트리 유닛들(140)은 상기 베이스 플레이트들(132)을 제1 수평 방향, 예를 들면, 상기 제1 갠트리 유닛들(140)의 연장 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부들을 구비할 수 있다. 일 예로서, 상기 수평 구동부들은 리니어 모터를 이용하여 구성될 수 있으며, 상기 검사 모듈들(120)을 검사 위치들로 각각 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 제1 갠트리 유닛들(140)은 상기 검사 모듈들(120)의 위치 조절을 위해 상기 제1 수평 방향에 대하여 직교하는 제2 수평 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 상기 제1 갠트리 유닛들(140)의 제2 수평 방향 이동은 서보 모터와 리니어 모션 가이드 등에 의해 이루어질 수 있다. 그러나, 상기 제1 갠트리 유닛들(140)의 수평 이동 방법은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수직 구동부(130)는 상기 검사 모듈(120)의 낙하를 방지하기 위한 비상정지 유닛(138)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 비상정지 유닛(138)은 제1 공압 실린더(136)의 내부 압력이 기 설정된 압력 이하로 저하되는 경우 상기 압력 저하로 인하여 상기 가동 플레이트(134)가 낙하되는 것을 방지하기 위한 제2 공압 실린더를 포함할 수 있다. 상기 제2 공압 실린더는 상기 베이스 플레이트(132)에 장착될 수 있으며 상기 내부 압력이 비정상적으로 낮아지는 경우 상기 가동 플레이트(134)의 수직 방향 이동을 정지시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 공압 실린더의 실린더 로드 일측 단부에는 브레이크 패드가 장착될 수 있으며, 상기 제2 공압 실린더는 상기 검사 모듈(120)의 낙하를 방지하기 위하여 상기 브레이크 패드가 상기 가동 플레이트(134)에 밀착되도록 동작될 수 있다.
상기와 같은 비상 정지를 위하여 상기 베이스 플레이트(132)에는 상기 제2 공압 실린더의 실린더 로드가 통과되는 개구가 구비될 수 있다. 그러나, 상기와 같은 비상 정지의 세부 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 기판에 전기적인 신호를 인가하기 위한 복수의 탐침들을 포함하는 복수의 프로브 유닛들(150)과, 상기 프로브 유닛들(150)을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛들(160)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 4개의 제2 갠트리 유닛들(160)을 포함할 수 있으며, 상기 제2 갠트리 유닛들(160)에는 4개의 프로브 유닛들(150)이 각각 장착될 수 있다.
예를 들면, 상기 프로브 유닛들(150)은 길게 연장하는 바(bar) 형태를 가질 수 있으며, 상기 탐침들은 상기 프로브 유닛(150)의 연장 방향을 따라 배열될 수 있다. 또한, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 프로브 유닛들(150)은 상기 기판(10)의 전극 배열에 따라 회전 가능하도록 구성될 수 있다.
상기 제2 갠트리 유닛들(160)은 상기 제1 수평 방향으로 상기 프로브 유닛들(150)을 이동시킬 수 있으며, 또한 상기 제2 연장 방향으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 프로브 유닛들(150)은 리니어 모터들에 의해 상기 제1 수평 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 제2 갠트리 유닛들(160)은 스텝 모터와 리니어 모션 가이드에 의해 상기 제2 수평 방향으로 이동될 수 있다. 그러나, 상기 제2 갠트리 유닛들(160)의 수평 이동 방법은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기 프로브 유닛들(150)의 수직 이동은 공압 실린더에 의해 이루어질 수 있다. 그러나, 상기 프로브 유닛들(150)의 수직 이동 방법 역시 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
도 4 내지 도 6은 도 1에 도시된 스테이지 상에 로드된 기판들을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 스테이지(10) 상에는 복수의 기판들(10)이 로드될 수 있다. 예를 들면, 46 인치 또는 48 인치 기판들(10A)의 경우 도 4에 도시된 바와 같이 상기 스테이지(110) 상에 8장의 기판들(10A)이 로드될 수 있으며, 55 인치 기판들(10B)의 경우 도 5에 도시된 바와 같이 6장의 기판들(10B)이 상기 스테이지(110) 상에 로드될 수 있다.
상기와 다르게, 상기 스테이지(110) 상에는 서로 다른 크기를 갖는 기판들(10C, 10D)이 로드될 수도 있다. 예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이 65 인치 크기를 갖는 3장의 기판들(10C)과 32 인치 크기를 갖는 6장의 기판들(10D)이 상기 스테이지(110) 상에 동시에 로드될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 어레이 테스트 장치(100)는, 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판(10)을 지지하기 위한 스테이지(110)와, 상기 스테이지(110) 상부에 배치되며 상기 기판(10)의 검사를 위한 복수의 검사 모듈들(120)과, 상기 검사 모듈들(120)을 지지하며 상기 검사 모듈들(120)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제1 갠트리 유닛들(140)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 기판(10)에 전기적인 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침들을 포함하는 복수의 프로브 유닛들(150)과, 상기 프로브 유닛들(150)을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛들(160)을 포함할 수 있다.
특히, 상기 스테이지(110) 상에는 복수의 기판들(10)이 동시에 로드될 수 있으며, 상기 복수의 검사 모듈들(120)과 복수의 프로브 유닛들(150)에 의해 상기 기판들(10)에 대한 검사 공정이 동시에 수행될 수 있다. 따라서, 상기 기판들(10)에 대한 검사 공정에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있으며, 또한 다양한 크기의 기판들(10)에 대한 검사 공정이 가능하므로 상기 검사 공정에 소요되는 비용이 크게 절감될 수 있다.
또한, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 검사 모듈(120)의 비정상적인 낙하를 방지하기 위한 비상정지 유닛(138)을 포함할 수 있으며, 이에 따라 상기 검사 모듈(120)의 비정상적인 낙하에 따른 손실을 예방할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 100 : 어레이 테스트 장치
110 : 스테이지 120 : 검사 모듈
122 : 모듈레이터 124 : 검사 카메라
126 : 텔레센트릭 렌즈 128 : 동축 조명
130 : 수직 구동부 132 : 베이스 플레이트
134 : 가동 플레이트 136 : 제1 공압 실린더
138 : 비상정지 유닛 140 : 제1 갠트리 유닛
150 : 프로브 유닛 160 : 제2 갠트리 유닛

Claims (9)

  1. 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 지지하기 위한 스테이지;
    상기 스테이지 상부에 배치되며 상기 기판의 검사를 위한 복수의 검사 모듈들; 및
    상기 검사 모듈들을 지지하며 상기 검사 모듈들을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 갠트리 유닛들을 포함하되,
    상기 검사 모듈들 각각은, 상기 기판의 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 발생시키며 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터와, 상기 모듈레이터의 상부에 배치되며 상기 모듈레이터를 촬상하기 위한 검사 카메라와, 상기 모듈레이터 및 검사 카메라를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부를 포함하고,
    상기 수직 구동부는, 수직 방향으로 배치되는 베이스 플레이트와, 상기 모듈레이터 및 검사 카메라를 지지하며 수직 방향으로 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트에 장착되는 가동 플레이트와, 상기 베이스 플레이트에 장착되며 상기 가동 플레이트를 수직 방향으로 이동시키기 위한 공압 실린더와, 상기 공압 실린더의 내부 압력이 기 설정된 압력 이하로 저하되는 경우 상기 가동 플레이트의 낙하를 방지하기 위한 비상정지 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 비상정지 유닛은 상기 가동 플레이트의 수직 방향 이동을 정지시키기 위한 제2 공압 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 공압 실린더의 실린더 로드에는 브레이크 패드가 장착되며, 상기 가동 플레이트의 낙하를 방지하기 위해 상기 브레이크 패드가 상기 가동 플레이트에 밀착되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 기판에 전기적인 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침들을 포함하는 복수의 프로브 유닛들; 및
    상기 프로브 유닛들을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
  9. 삭제
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