KR100987732B1

KR100987732B1 - Basket for electroless plating

Info

Publication number: KR100987732B1
Application number: KR1020080082923A
Authority: KR
Inventors: 장영수; 신영환
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2008-08-25
Filing date: 2008-08-25
Publication date: 2010-10-13
Also published as: KR20100024180A

Abstract

무전해 도금용 바스켓이 개시된다. 도금조에 침지되는 기판을 가이드 하는 무전해 도금용 바스켓으로서, 육면체 형상의 프레임; 기판의 두께에 상응하는 거리만큼 이격되어 프레임의 내측에 좌우 방향으로 배치되는 한 쌍의 제1 와이어부; 제1 와이어부와 격자를 형성하도록, 프레임의 내측에 상하 방향으로 배치되는 한 쌍의 제2 와이어부를 포함하는 무전해 도금용 바스켓은, 구조가 간단하면서도 장력 관리에 유리할 뿐만 아니라, 다양한 두께의 기판에 대한 작업을 동시에 수행할 수 있다.An electroless plating basket is disclosed. An electroless plating basket for guiding a substrate immersed in a plating tank, the basket comprising: a hexahedral frame; A pair of first wire parts spaced apart by a distance corresponding to a thickness of the substrate and disposed in a left and right direction inside the frame; The electroless plating basket including a pair of second wire parts disposed up and down inside the frame so as to form a lattice with the first wire part has a simple structure and advantageous in tension management, and a substrate having various thicknesses. You can work on at the same time.

무전해, 바스켓, 와이어 Electroless, Basket, Wire

Description

무전해 도금용 바스켓{Basket for electroless plating}Basket for electroless plating

본 발명은 무전해 도금용 바스켓에 관한 것이다.The present invention relates to an electroless plating basket.

인쇄회로기판 제작은 기술적인 경향이 점점 박형화 되어 가는 추세이다. 따라서 설비구조상 얇은 패널을 취급하는데 물리적인 파손을 방지하기 위한 설비적인 개선이 필요한 상황이다.Printed circuit board manufacturing is becoming more and more thin. Therefore, there is a situation in which a facility improvement is required to prevent physical damage in handling thin panels in the facility structure.

　화학 동도금을 위한 기존의 도금 바스켓의 형상은 기본적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 기판의 양측을 유도해주는 가이드프레임으로 구성이 되어 있는데 이는 기판의 휨성이 적은 두꺼운 패널에 대해서는 효과적인 도금이 가능하였지만 두께가 얇은 초 박판을 도금하기에는 기판의 휨성으로 인해서 가이드 프레임의 구조로는 휨으로 인한 기판의 이탈문제를 해결하지 못하는 한계상황이다.The shape of the conventional plating basket for chemical copper plating basically consists of a guide frame that guides both sides of the substrate as shown in FIG. 1, which is effective for thick panels with low warpage of the substrate, but has a thickness. In order to plate a thin ultra thin plate, due to the warpage of the substrate, the structure of the guide frame does not solve the problem of detachment of the board due to the warpage.

　이를 해결하기 위해서, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판의 최외곽 측면을 클램프로 잡아주는 도금바스켓이 개발되었지만 역시 기판의 최외곽을 잡아주는 부분에서의 장력의 균일성 문제로 인한 기판의 이탈이 발생하고 있으며, 클램핑 되는 부분의 미도금 및 에칭 현상으로 새로운 디자인의 바스켓의 개발이 필요한 상황이 다.In order to solve this problem, as shown in FIG. 2, a plating basket has been developed that clamps the outermost side of the substrate, but also the separation of the substrate due to the uniformity of tension in the outermost portion of the substrate is prevented. It is happening and it is necessary to develop a basket of new design due to the unplating and etching of clamping part.

본 발명은 구조가 간단하면서도 장력 관리에 유리할 뿐만 아니라, 다양한 두께의 기판에 대한 작업을 동시에 수행할 수 있는 무전해 도금용 바스켓을 제공하는 것이다.The present invention provides a basket for electroless plating, which is simple in structure and advantageous in tension management, and can simultaneously perform operations on substrates of various thicknesses.

본 발명의 일 측면에 따르면, 도금조에 침지되는 기판을 가이드 하는 무전해 도금용 바스켓으로서, 육면체 형상의 프레임; 기판의 두께에 상응하는 거리만큼 이격되어 프레임의 내측에 좌우 방향으로 배치되는 한 쌍의 제1 와이어부; 제1 와이어부와 격자를 형성하도록, 프레임의 내측에 상하 방향으로 배치되는 한 쌍의 제2 와이어부를 포함하는 무전해 도금용 바스켓을 제공할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a basket for electroless plating for guiding a substrate immersed in a plating bath, the frame of the hexahedral shape; A pair of first wire parts spaced apart by a distance corresponding to a thickness of the substrate and disposed in a left and right direction inside the frame; An electroless plating basket may be provided that includes a pair of second wire parts disposed in an up and down direction inside the frame to form a lattice with the first wire part.

프레임의 좌우측에는, 프레임에 탈착 가능하게 결합되는 제1 가이드바가 구비될 수 있으며, 제1 와이어부는 제1 가이드바에 결합될 수 있다. 이 때, 제1 가이드바는 단면이 'V'자 형상 또는 'U'자 형상일 수 있다.Left and right sides of the frame may be provided with a first guide bar detachably coupled to the frame, the first wire portion may be coupled to the first guide bar. In this case, the first guide bar may have a 'V' shape or a 'U' shape in cross section.

한편, 프레임의 하측에는, 프레임에 탈착 가능하게 결합되는 제2 가이드바가 구비될 수 있으며, 제2 와이어는 제2 가이드바에 결합될 수 있다. 이 때, 제2 가이드바는 단면이 'V'자 형상 또는 'U'자 형상일 수 있다.On the other hand, the lower side of the frame may be provided with a second guide bar detachably coupled to the frame, the second wire may be coupled to the second guide bar. In this case, the second guide bar may have a 'V' shape or a 'U' shape in cross section.

또한, 프레임의 상측에는, 제2 와이어부가 결합되도록, 프레임의 좌우 방향 으로 배치되며, 기판의 두께에 상응하는 거리만큼 이격되는 한 쌍의 제3 가이드바가 구비될 수도 있다. 이러한 제3 가이드바의 일부는, 프레임의 하측 방향으로 절곡될 수도 있다.In addition, a pair of third guide bars may be provided on the upper side of the frame such that the second wire unit is coupled to the left and right directions of the frame and spaced apart by a distance corresponding to the thickness of the substrate. A part of the third guide bar may be bent in the downward direction of the frame.

한편, 제1 와이어부는 금속 재질로 이루어질 수 있다.Meanwhile, the first wire part may be made of a metal material.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 구조가 간단하면서도 장력 관리에 유리할 뿐만 아니라, 다양한 두께의 기판에 대한 작업을 동시에 수행할 수 있다. According to a preferred embodiment of the present invention, not only is the structure simple, but also advantageous to tension management, and it is possible to simultaneously perform operations on substrates of various thicknesses.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.As the invention allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the written description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all transformations, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In the following description of the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, components, or a combination thereof.

이하, 본 발명에 따른 무전해 도금용 바스켓의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the electroless plating basket according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals and Duplicate explanations will be omitted.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 무전해 도금용 바스켓을 나타내는 사시도이고, 도 4는 도 3의 무전해 도금용 바스켓을 나타내는 정면도이며, 도 5는 도 3의 무전해 도금용 바스켓을 나타내는 측면도이다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 프레임(100), 제1 가이드바(110), 제2 가이드바(120), 제3 가이드바(130), 제1 와이어부(140), 제2 와이어부(150), 랙걸이(160)가 도시되어 있다.3 is a perspective view illustrating an electroless plating basket according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a front view illustrating the electroless plating basket of FIG. 3, and FIG. 5 illustrates the electroless plating basket of FIG. 3. Side view. 3 to 5, the frame 100, the first guide bar 110, the second guide bar 120, the third guide bar 130, the first wire part 140, and the second wire part 150, rack hanger 160 is shown.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 무전해 도금용 바스켓은 전면이 개방된 육면체 형상의 프레임(100)을 주된 몸체로 하여, 그 내부에 좌우 방향으로 배치되는 제1 와이어부(140) 및 상하 방향으로 배치되는 제2 와이어부(150)를 구비 한다. 이렇게 프레임(100)의 내부에서 격자를 구획하는 와이어들에 의해 도금 대상물인 기판이 지지될 수 있게 된다.As shown in FIG. 3, the electroless plating basket according to the present embodiment has a hexahedral frame 100 having a front surface as a main body, and has a first wire part 140 disposed in a left and right direction therein. ) And the second wire part 150 disposed in the vertical direction. As described above, the substrate to be plated may be supported by the wires partitioning the grating in the frame 100.

즉, 프레임(100)의 내측에 좌우 방향으로 배치되는 한 쌍의 제1 와이어부(140)는 서로 기판의 두께에 상응하는 거리만큼 이격되고, 제1 와이어부(140)와 격자를 형성하도록 프레임(100)의 내측에 상하 방향으로 배치되는 한 쌍의 제2 와이어부(150) 역시 기판의 두께에 상응하는 거리만큼 이격됨으로써, 제1 와이어부(140)와 제2 와이어부(150)가 구획하는 공간 내에 기판이 수용되어 가이드 될 수 있는 것이다.That is, the pair of first wire parts 140 disposed in the left and right direction inside the frame 100 are spaced apart from each other by a distance corresponding to the thickness of the substrate, and the frame is formed to form a grid with the first wire part 140. The pair of second wire parts 150 disposed in the vertical direction inside the 100 are also spaced apart by a distance corresponding to the thickness of the substrate, so that the first wire part 140 and the second wire part 150 are divided. The substrate can be accommodated and guided in the space.

종래기술에 따른 무전해 도금용 바스켓의 경우, 기판의 좌우측 단부만을 단속함으로써 기판을 지지하는 구조를 제시하였던 것에 비해, 본 실시예에 따르면, 기판의 상하좌우측 단부는 물론 기판의 전면을 지지하는 구조를 제시할 수 있게 된다. 이처럼 기판의 전면을 지지할 수 있게 함으로써, 여러 개의 기판을 동시에 장착하는 경우에도, 기판의 휨 등에 의해 기판이 서로 겹쳐지는 현상을 방지할 수 있게 되는 효과를 나타낼 수 있다.In the case of the electroless plating basket according to the prior art, the structure for supporting the substrate by interposing only the left and right ends of the substrate is proposed, but according to the present embodiment, the structure for supporting the front of the substrate as well as the upper, lower, left and right ends of the substrate Can be presented. By allowing the entire surface of the substrate to be supported as described above, even when a plurality of substrates are mounted at the same time, it is possible to prevent the phenomenon that the substrates overlap with each other due to the warpage of the substrate.

뿐만 아니라, 클램프를 이용하던 바스켓의 경우 클램핑 장력을 주기적으로 관리해야 했던 것에 반해, 본 실시예에 따른 바스켓은 별도의 장력 관리가 필요하지 않은 유리한 효과를 나타낼 수 있다.In addition, in the case of the basket using the clamp had to periodically manage the clamping tension, the basket according to the present embodiment may exhibit an advantageous effect that does not require a separate tension management.

한편, 얇은 기판이 장착되는 경우에도 해당 기판이 휘어지지 않고 견고히 지지될 수 있도록 하기 위해, 와이어들은 금속 재질로 이루어질 수 있다. 물론, 이 밖의 설계 상의 필요에 따라 와이어의 재질을 변경할 수도 있음은 물론이다.Meanwhile, even when a thin substrate is mounted, the wires may be made of a metal material so that the substrate may be firmly supported without being bent. Of course, it is also possible to change the material of the wire according to the other design needs.

도금 대상물인 기판이 보다 견고하게 지지될 수 있도록 하기 위하여, 프레임(100)의 좌우측에는, 프레임(100)의 상하 방향으로 연장되는 형상의 제1 가이드바(110)가 구비되고, 이러한 제1 가이드바(110)에 제1 와이어부(140)가 결합된다. 제1 가이드바(110)는, 이에 결합되는 한 쌍의 제1 와이어부(140)가 소정 간격으로 이격되고 유지되어 배치될 수 있도록 그 단면이 'V'자 형상 또는 'U'자 형상으로 절곡된 형상일 수 있다. 이렇게 제1 가이드바(110)가 절곡된 형상을 갖는 경우, 장착되는 기판의 양 단부가 절곡된 부위에 의해 보다 더 안정적으로 지지될 수 있는 효과를 나타낼 수도 있다.In order for the substrate to be plated to be more firmly supported, first and second guide bars 110 having a shape extending in the vertical direction of the frame 100 are provided on the left and right sides of the frame 100. The first wire part 140 is coupled to the bar 110. The first guide bar 110 may be bent in a 'V' shape or a 'U' shape so that a pair of first wire parts 140 coupled thereto may be spaced apart and maintained at predetermined intervals. It may be a shape. Thus, when the first guide bar 110 has a bent shape, both ends of the substrate to be mounted may have an effect that can be more stably supported by the bent portion.

프레임(100)의 좌우측에는 이러한 제1 가이드바(110)가 여러 개 구비될 수 있으며, 그 개수는 도금을 위해 장착하고자 하는 기판의 수에 따라 결정될 수 있다.Several first guide bars 110 may be provided on the left and right sides of the frame 100, and the number thereof may be determined according to the number of substrates to be mounted for plating.

한편, 제1 가이드바(110)는 볼트, 나사, 클립, 후크 등과 같은 각종 체결수단에 의해 프레임(100)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. 이렇게 제1 가이드바(110)가 프레임(100)에 탈착이 가능하도록 설계함으로써, 하나의 바스켓에 장착되는 기판의 두께가 변하더라도 슬릿 간격이 구분되는 다양한 제1 가이드바(110)를 프레임(100)에 장착함으로써 무전해 도금을 원활하게 수행할 수 있는 효과를 나타낼 수 있게 된다.Meanwhile, the first guide bar 110 may be detachably coupled to the frame 100 by various fastening means such as bolts, screws, clips, hooks, and the like. Thus, the first guide bar 110 is designed to be detachable to the frame 100, so that even if the thickness of the substrate mounted on one basket is changed, the various first guide bar 110, the slit interval is divided frame 100 By attaching to), the electroless plating can be performed smoothly.

뿐만 아니라, 도금하려는 기판의 수가 기준치 이하인 경우(예를 들면 10매 이하)에도, 해당 기판의 수만큼 제1 가이드바(110)를 프레임(100)에 장착함으로써 무전해 도금을 원활하게 수행할 수 있는 효과 또한 나타낼 수 있게 된다.In addition, even when the number of substrates to be plated is equal to or less than the reference value (for example, 10 sheets or less), electroless plating may be smoothly performed by attaching the first guide bar 110 to the frame 100 by the number of the substrates. The effect can also be shown.

한편, 프레임(100)의 하측에는 프레임(100)의 좌우 방향으로 연장되는 형상의 제2 가이드바(120)가 구비되고, 이러한 제2 가이드바(120)에 제2 와이어부(150)가 결합된다. 제2 가이드바(120)는, 이에 결합되는 한 쌍의 제2 와이어부(150)가 소정 간격으로 이격되고 유지되어 배치될 수 있도록 그 단면이 'V'자 형상 또는 'U'자 형상으로 절곡된 형상일 수 있다(도 3의 135 참조). 이렇게 제2 가이드바(120)가 절곡된 형상을 갖는 경우, 장착되는 기판의 하측 단부가 절곡된 부위에 의해 보다 더 안정적으로 지지될 수 있는 효과를 나타낼 수도 있다.On the other hand, the lower side of the frame 100 is provided with a second guide bar 120 having a shape extending in the left and right direction of the frame 100, the second wire portion 150 is coupled to the second guide bar 120 do. The second guide bar 120 is bent in a 'V' shape or a 'U' shape so that the pair of second wire parts 150 coupled thereto are spaced apart and maintained at predetermined intervals. May be shaped (see 135 in FIG. 3). Thus, when the second guide bar 120 has a bent shape, the lower end of the substrate to be mounted may have an effect that can be more stably supported by the bent portion.

프레임(100)의 하측에는 이러한 제2 가이드바(120)가 여러 개 구비될 수 있으며, 그 개수는 도금을 위해 장착하고자 하는 기판의 수에 따라 결정될 수 있다. 또한, 제2 가이드바(120)는, 제1 가이드바(110)의 경우와 같이, 볼트, 나사, 클립, 후크 등과 같은 각종 체결수단(미도시)에 의해 프레임(100)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다.The second guide bar 120 may be provided in the lower side of the frame 100, the number of which may be determined according to the number of substrates to be mounted for plating. In addition, as in the case of the first guide bar 110, the second guide bar 120 is detachably coupled to the frame 100 by various fastening means (not shown) such as bolts, screws, clips, and hooks. Can be.

프레임(100)의 상측에는, 제2 와이어부(150)가 결합되도록, 프레임(100)의 좌우 방향으로 배치되는 한 쌍의 제3 가이드바(130)가 구비될 수 있다. 즉, 프레임(100)의 하측에 구비되는 제2 가이드바(120)와, 프레임(100)의 상측에 구비되는 제3 가이드바(130)에 의해 제2 와이어부(150)가 지지됨으로써, 제2 와이어부(150)가 프레임(100)의 상하 방향으로 배치되는 구조가 구현되는 것이다.On the upper side of the frame 100, a pair of third guide bars 130 disposed in the left and right directions of the frame 100 may be provided to couple the second wire part 150 to each other. That is, the second wire part 150 is supported by the second guide bar 120 provided on the lower side of the frame 100 and the third guide bar 130 provided on the upper side of the frame 100. The structure in which the two wire parts 150 are arranged in the vertical direction of the frame 100 is implemented.

이 때, 한 쌍의 제3 가이드바(130)는 기판의 두께에 상응하는 거리만큼 이격되도록 배치된다. 제2 가이드바(120)의 경우와 달리, 제3 가이드바(130)의 경우에 는, 기판이 장착될 수 있는 경로를 확보할 필요가 있기 때문이다. 이처럼, 한 쌍의 제3 가이드바(130)가 서로 이격되는 구조를 가짐으로써, 그 사이의 공간을 통해 기판이 바스켓 내부에 장착될 수 있게 된다.In this case, the pair of third guide bars 130 are disposed to be spaced apart by a distance corresponding to the thickness of the substrate. Unlike the case of the second guide bar 120, in the case of the third guide bar 130, it is necessary to secure a path on which the substrate can be mounted. As such, since the pair of third guide bars 130 are spaced apart from each other, the substrate may be mounted in the basket through the space therebetween.

또한, 제3 가이드바(130)의 일부는, 프레임(100)의 하측 방향으로 절곡되는 형상을 가질 수 있다. 이는, 도금이 완료된 다음 기판을 바스켓의 내부에서 꺼내는 경우, 기판을 집어 낼 수 있는 공간을 확보하기 위한 것이다.In addition, a portion of the third guide bar 130 may have a shape that is bent in the downward direction of the frame 100. This is to secure a space for picking up the substrate when the substrate is taken out of the basket after the plating is completed.

한편, 무전해 도금용 바스켓은 별도의 랙(rack, 미도시) 등에 의해 도금조에 침지되는데, 이를 위하여 프레임(100)의 상부에는 랙에 매달릴 수 있기 위한 랙걸이(160)가 형성될 수 있다.On the other hand, the electroless plating basket is immersed in the plating bath by a separate rack (rack, not shown), etc. For this purpose, a rack hanger 160 may be formed on the top of the frame 100 to be suspended from the rack.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. It will be understood that the invention may be varied and varied without departing from the scope of the invention.

전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.Many embodiments other than the above-described embodiments are within the scope of the claims of the present invention.

도 1 및 도 2는 종래기술에 따른 무전해 도금용 바스켓을 나타내는 사진.1 and 2 are photographs showing a basket for electroless plating according to the prior art.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 무전해 도금용 바스켓을 나타내는 사시도.Figure 3 is a perspective view showing a basket for electroless plating according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 무전해 도금용 바스켓을 나타내는 정면도.4 is a front view illustrating the electroless plating basket of FIG. 3.

도 5는 도 3의 무전해 도금용 바스켓을 나타내는 측면도.Fig. 5 is a side view showing the electroless plating basket of Fig. 3.

도 6은 도 3의 제1 가이드바를 나타내는 확대 사시도.6 is an enlarged perspective view illustrating the first guide bar of FIG. 3.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100: 프레임100: frame

110: 제1 가이드바110: first guide bar

120: 제2 가이드바120: second guide bar

130: 제3 가이드바130: third guide bar

140: 제1 와이어부140: first wire portion

150: 제2 와이어부150: second wire portion

160: 랙걸이160: rack hanger

Claims

도금조에 침지되는 기판을 가이드 하는 무전해 도금용 바스켓으로서,As an electroless plating basket for guiding a substrate immersed in a plating bath,

육면체 형상의 프레임;A hexahedral frame;

상기 프레임의 좌우측 각각에 결합되고, 상기 프레임의 상하 방향으로 연장된 형상을 갖는 제1 가이드바;First guide bars coupled to each of left and right sides of the frame and extending in a vertical direction of the frame;

상기 제1 가이드바에 결합되어 상기 프레임의 내측에 좌우 방향으로 배치되는 한 쌍의 제1 와이어부; - 여기서, 상기 한 쌍의 제1 와이어부는 상기 기판의 두께에 상응하는 거리만큼 서로 이격됨 -A pair of first wire parts coupled to the first guide bar and disposed in a left and right direction inside the frame; Wherein the pair of first wire portions are spaced apart from each other by a distance corresponding to the thickness of the substrate.

상기 프레임의 하측에 결합되고, 상기 프레임의 좌우 방향으로 연장되는 형상을 갖는 제2 가이드바;A second guide bar coupled to a lower side of the frame and having a shape extending in a horizontal direction of the frame;

일단이 상기 제2 가이드바에 결합되어 상기 프레임의 내측에 상하 방향으로 배치되는 한 쌍의 제2 와이어부; - 여기서, 상기 한 쌍의 제2 와이어부는 서로 이격되며, 상기 제1 와이어부와 격자를 형성함 - 및A pair of second wire parts having one end coupled to the second guide bar and disposed in an up and down direction inside the frame; Wherein the pair of second wire portions are spaced apart from each other and form a lattice with the first wire portion; and

상기 프레임의 상측에 배치되며, 상기 제2 와이어부의 타단이 결합되는 한 쌍의 제3 가이드바; - 여기서, 상기 한 쌍의 제3 가이드바는 상기 기판의 두께에 상응하는 거리만큼 서로 이격됨 A pair of third guide bars disposed on an upper side of the frame and to which the other end of the second wire part is coupled; Wherein the pair of third guide bars are spaced apart from each other by a distance corresponding to the thickness of the substrate

를 포함하는 무전해 도금용 바스켓.Electroless plating basket comprising a.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 제1 가이드바는 상기 프레임에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 무전해 도금용 바스켓.The first guide bar is an electroless plating basket, characterized in that detachably coupled to the frame.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 제1 가이드바는 단면이 'V'자 형상 또는 'U'자 형상인 것을 특징으로 하는 무전해 도금용 바스켓.The first guide bar has a cross-section 'V' shape or 'U' shape, characterized in that the electroless plating basket.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 제2 가이드바는 상기 프레임에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 무전해 도금용 바스켓.The second guide bar is an electroless plating basket, characterized in that detachably coupled to the frame.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 제2 가이드바는 단면이 'V'자 형상 또는 'U'자 형상인 것을 특징으로 하는 무전해 도금용 바스켓.The second guide bar is a basket for electroless plating, characterized in that the cross section 'V' shape or 'U' shape.

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제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 제3 가이드바의 일부는, 상기 프레임의 하측 방향으로 절곡되는 것을 특징으로 하는 무전해 도금용 바스켓.A portion of the third guide bar is bent in the lower direction of the frame, characterized in that the electroless plating basket.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 제1 와이어부는 금속 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 무전해 도금용 바스켓.The first wire portion of the electroless plating basket, characterized in that made of a metal material.