KR100968584B1 - Droplet discharging apparatus - Google Patents

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임근배
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포항공과대학교 산학협력단
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Abstract

본 발명은 액적 토출 장치에 관한 것으로서, 액체가 공급되며 일측 단부가 개방되어 액적을 토출하는 노즐과, 상기 노즐의 개방된 단부를 향하여 기체를 분사하는 분사구가 형성된 하우징과, 상기 분사구로 기체를 공급하는 기체공급관을 포함할 수 있다.The present invention relates to a droplet ejection apparatus, wherein a liquid is supplied and one end thereof is opened to discharge droplets, a housing including a nozzle for injecting gas toward the open end of the nozzle, and gas is supplied to the nozzle. It may include a gas supply pipe.

액적, 토출, 분사구, 펌프, 하우징 Droplets, discharge, nozzles, pumps, housings

Description

액적 토출 장치{DROPLET DISCHARGING APPARATUS}Droplet discharging device {DROPLET DISCHARGING APPARATUS}

본 발명은 액적 토출 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 기체 분사구를 갖는 액적 토출 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a droplet ejection apparatus, and more particularly to a droplet ejection apparatus having a gas injection port.

일반적으로 액적을 토출하는 장치는 액적이 토출되는 팁에 공급되는 액체를 가압하여 팁에서 기판 등으로 액적으로 떨어뜨린다. 그러나 액체의 압력만으로 액적을 떨어뜨리면 액적의 크기를 일정한 수준 이하로 줄이지 못하는 문제가 있다.In general, a device for ejecting droplets pressurizes the liquid supplied to the tip from which the droplet is ejected and drops the droplet from the tip to the substrate or the like. However, when the droplets are dropped only by the pressure of the liquid, there is a problem that the size of the droplets cannot be reduced to a certain level or less.

액적을 토출하는 팁 등에 맺힌 미세한 액적의 크기를 줄이기 위해서는 팁의 내경을 줄여야 하는데, 내경을 줄이면 팁 내부에 불순물이 누적되어 팁이 막히는 문제가 있으며, 팁의 내경을 줄이더라도 표면 장력이 여전히 작용하여 팁의 내경을 줄이는 것 만으로는 액적의 크기를 줄이기에 한계가 있다.In order to reduce the size of the droplets formed on the tip of ejecting the droplets, the inner diameter of the tip should be reduced, but if the inner diameter is reduced, impurities accumulate inside the tip, causing the tip to clog. Even though the inner diameter of the tip is reduced, the surface tension still acts. Reducing the inner diameter of the tip alone limits the size of the droplets.

팁에 형성된 액적이 떨어지기 직전의 힘의 분포를 살펴보면, 액적에 작용하는 중력과 액적의 모멘텀 변화량, 그리고 표면 장력이 작용하는 것을 알 수 있다.Looking at the force distribution just before the droplets formed on the tip fall, it can be seen that the gravity acting on the droplets, the amount of change in the momentum of the droplets, and the surface tension are applied.

이때, 표면장력보다 모멘텀의 변화량과 중력을 합한 값이 더 크면 액적이 낙하하게 된다. 따라서 아무리 팁의 내경을 작게 형성하더라도 표면장력의 존재로 인하여 액적의 크기를 일정한 수준 이하로 감소시키는 것은 어려운 실정이다.At this time, if the sum of the change amount of momentum and gravity is larger than the surface tension, the droplet will fall. Therefore, no matter how small the inner diameter of the tip, it is difficult to reduce the size of the droplet to a certain level due to the presence of the surface tension.

또한, 팁에서 액적이 토출될 때 모멘텀의 변화량에 따라 액적이 순간적으로 토출되므로 토출되는 미세한 액적의 양을 일정하게 유지하는 것은 매우 어렵다.In addition, since the droplets are instantaneously discharged according to the amount of change in the momentum when the droplets are ejected from the tip, it is very difficult to keep the amount of the fine droplets ejected constantly.

나노 크기의 미세구조물을 이용한 응용분야가 널리 알려지고 있는 바, 나노 크기의 미세구조물을 제작하기 위해서는 미세한 크기를 갖는 액적을 정밀하게 공급하는 것이 무엇보다도 중요한데, 종래의 기술로는 액적을 정밀하게 공급하는 것이 어려운 실정이다.Application fields using nano-sized microstructures are widely known. In order to manufacture nano-sized microstructures, it is important to precisely supply droplets having a fine size. It is difficult to do.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 보다 미세한 액적을 정확한 양으로 공급할 수 있는 액적 공급 장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a droplet supply apparatus capable of supplying finer droplets in an accurate amount.

상기한 목적을 달성하기 위해서 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치는 액체가 공급되며 일측 단부가 개방되어 액적을 토출하는 노즐과, 상기 노즐의 개방된 단부를 향하여 기체를 분사하는 분사구가 형성된 하우징과, 상기 분사구로 기체를 공급하는 기체공급관을 포함할 수 있다.In order to achieve the above object, a droplet ejection apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention includes a nozzle to which liquid is supplied and one end of which is opened to eject the droplet, and an injection hole to inject gas toward the open end of the nozzle. It may include a housing and a gas supply pipe for supplying gas to the injection port.

상기 분사구는 노즐의 외면과 인접하게 배치될 수 있으며, 상기 분사구는 상기 노즐의 둘레방향을 따라 이어져 형성될 수 있다.The injection hole may be disposed adjacent to the outer surface of the nozzle, the injection hole may be formed to continue along the circumferential direction of the nozzle.

또한, 상기 노즐이 상기 분사구에 끼워지고, 상기 분사구와 상기 노즐 사이의 공간으로 기체가 분사될 수 있다. In addition, the nozzle may be inserted into the injection hole, and gas may be injected into the space between the injection hole and the nozzle.

또한, 상기 노즐은 상기 하우징에 삽입되어 관통하며, 상기 기체공급관은 상 기 하우징과 연통되도록 설치될 수 있다. 또한, 상기 노즐은 상부노즐과 상기 상부노즐보다 더 작은 내경을 갖는 하부노즐을 포함하고, 상기 하우징에는 상기 상부노즐이 끼워지는 상부홀과 상기 하부노즐이 끼워지는 분사구가 형성되며, 상기 하부노즐과 상기 분사구 사이의 공간으로 기체가 분사될 수 있다.In addition, the nozzle is inserted through the housing, the gas supply pipe may be installed to communicate with the housing. In addition, the nozzle includes an upper nozzle and a lower nozzle having a smaller inner diameter than the upper nozzle, and an upper hole into which the upper nozzle is fitted and an injection hole into which the lower nozzle is fitted are formed in the housing. Gas may be injected into the space between the injection holes.

상기 하우징에는 복수 개의 노즐이 끼워져 설치되고, 상기 노즐들의 외면과 인접한 하우징의 면에 각각 분사구가 형성될 수 있다. 또한, 상기 하우징에는 상기 하우징 내로 공급된 기체가 유통하는 통로가 형성될 수 있다.A plurality of nozzles may be inserted into the housing, and injection holes may be formed on surfaces of the housing adjacent to the outer surfaces of the nozzles. In addition, a passage through which gas supplied into the housing flows may be formed in the housing.

하우징의 일측 면은 개방되고 개방된 부분에는 빛이 투과할 수 있는 광투과성 물질로 이루어진 투명판이 설치될 수 있다.One side of the housing may be open and an open portion may be provided with a transparent plate made of a light transmissive material through which light may pass.

또한, 액적 토출 장치는 상기 노즐과 연결되어 상기 노즐로 액체를 공급하는 액체 공급관과, 상기 액체 공급관과 연통되며 내부에 액체가 저장된 액체 공급부와, 상기 액체 공급부와 연결되어 상기 액체 공급부의 내부 압력을 조절하여 상기 액체 공급관으로 액체를 이동시키는 펌프를 더 포함할 수 있다.In addition, the droplet ejection apparatus is connected to the nozzle for supplying a liquid to the nozzle, a liquid supply part in communication with the liquid supply pipe and stored therein, and connected to the liquid supply part to the internal pressure of the liquid supply part It may further comprise a pump for adjusting the liquid to move the liquid supply pipe.

상기 액체 공급부는 외형을 이루는 챔버와 상기 챔버 내부에 설치되며 액체를 저장하는 용기를 포함하고, 액적 토출 장치는 상기 챔버 내부의 압력과 상기 용기 내부의 액체 압력을 검출하여 압력 차에 대한 정보를 상기 펌프의 작동을 제어하는 펌프 제어부로 전달하는 압력 검출기를 더 포함할 수 있다.The liquid supply unit includes a chamber forming an outer shape and a container installed inside the chamber and storing a liquid, and the droplet ejecting device detects the pressure inside the chamber and the liquid pressure inside the container to provide information about the pressure difference. The apparatus may further include a pressure detector configured to transmit a pump control unit to control the operation of the pump.

본 발명에 따르면 노즐의 단부에 맺힌 액적을 향하여 기체를 분사하여 액적을 이탈시킴으로써 보다 작은 크기의 액적을 공급할 수 있다.According to the present invention, a droplet of a smaller size can be supplied by ejecting the gas toward the droplet formed at the end of the nozzle to release the droplet.

또한, 노즐의 단부에 액적을 맺히게 하고, 모멘텀의 변화 없이 기체의 분사만으로 액적을 이탈시킴으로써 보다 액적의 크기를 정밀하게 제어할 수 있다.In addition, it is possible to precisely control the size of the droplets by forming droplets at the end of the nozzle and leaving the droplets only by spraying the gas without changing the momentum.

또한, 분사구가 노즐의 둘레를 따라 형성되어 액적을 향하여 기체를 용이하게 분사할 수 있으며, 액적을 원하는 위치로 안정적으로 공급할 수 있다.In addition, the injection port is formed along the circumference of the nozzle can easily inject the gas toward the droplet, it is possible to stably supply the droplet to the desired position.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 이하에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and like reference numerals designate like elements throughout the specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치를 도시한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic block diagram showing a droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하여 설명하면 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치는 펌프(131)와 액체공급부(135), 압축기체 공급부(142), 액체공급관(138), 기체공급관(148), 및 토출헤드(120)를 포함한다.Referring to FIG. 1, a droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a pump 131, a liquid supply part 135, a compressor body supply part 142, a liquid supply pipe 138, a gas supply pipe 148, and And a discharge head 120.

펌프(131)는 토출하고자 하는 액체가 저장된 액체공급부(135)의 내부 압력을 조절하는 역할을 한다. 액체공급부(135)는 밀폐된 챔버로 이루어지며 내부에 액체가 저장된 용기(132)가 설치된다. 또한 용기(132)에는 액체공급관(138)이 삽입되는데, 액체공급관(138)은 단부가 액체 속에 넣어진다.The pump 131 serves to adjust the internal pressure of the liquid supply unit 135 in which the liquid to be discharged is stored. The liquid supply unit 135 is formed of a sealed chamber and a container 132 in which a liquid is stored therein is installed. In addition, a liquid supply pipe 138 is inserted into the container 132, and the liquid supply pipe 138 is inserted into the liquid end.

이에 따라 펌프(131)로 인하여 액체공급부(135) 내부의 압력이 상승하면 액체공급관(138)을 통하여 액체가 액체공급부(135)의 외부로 인출될 수 있다. 펌프(131)와 액체공급부(135) 사이에는 액체압력 레귤레이터(137)가 설치되는데, 액체압력 레귤레이터(137)는 펌프(131)에서 공급되는 공기의 압력을 일정한 수준으로 변환시키는 역할을 한다. 펌프(131)에는 펌프 제어부(134)가 연결 설치되어 펌프의 작동을 제어한다.Accordingly, when the pressure inside the liquid supply unit 135 increases due to the pump 131, the liquid may be drawn out of the liquid supply unit 135 through the liquid supply pipe 138. A liquid pressure regulator 137 is installed between the pump 131 and the liquid supply unit 135. The liquid pressure regulator 137 converts the pressure of the air supplied from the pump 131 to a predetermined level. The pump control unit 134 is connected to the pump 131 to control the operation of the pump.

또한, 액체공급부(135) 내에는 용기(132) 하부의 압력과 챔버 내부의 압력을 측정하여 비교하는 압력 검출기(136)가 설치되는데, 압력 검출기(136)는 펌프 제어부(134)와 연결되어 압력 차이에 대한 정보를 검출하여 펌프 제어부(134)로 전달하는 역할을 한다. 펌프 제어부(134)는 압력 차이에 대한 정보를 통해서 용기(132) 내의 액체의 양을 검출하며, 액체의 양이 적정한 수준 이하일 때에는 펌프(131)의 작동을 중지시킨다.In addition, a pressure detector 136 is installed in the liquid supply unit 135 to measure and compare the pressure in the lower portion of the container 132 with the pressure in the chamber, and the pressure detector 136 is connected to the pump control unit 134 to provide a pressure. It detects information about the difference and delivers it to the pump control unit 134. The pump control unit 134 detects the amount of the liquid in the container 132 through the information on the pressure difference, and stops the operation of the pump 131 when the amount of the liquid is below the appropriate level.

압축기체 공급부(142)는 압축 공기가 저장된 봄베로 이루어지는데 압축기체 공급부(142)는 기체압력 레귤레이터(145)를 매개로 기체공급관(148)과 연결된다.The compressor body supply unit 142 is formed of a cylinder in which compressed air is stored, and the compressor body supply unit 142 is connected to the gas supply pipe 148 through the gas pressure regulator 145.

기체압력 레귤레이터(145)는 기체공급관(148)으로 유입되는 기체의 압력을 일정한 수준으로 조절하는 역할을 한다.The gas pressure regulator 145 serves to adjust the pressure of the gas flowing into the gas supply pipe 148 to a constant level.

본 실시예에서는 기체로 공기가 사용된 것을 예로서 설명하나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 액체의 종류에 따라 다양한 종류의 기체가 적용될 수 있다.In this embodiment, the air is used as a gas as an example, but the present invention is not limited thereto, and various kinds of gases may be applied according to the type of liquid.

또한, 압축기체 공급부(142)는 압축된 기체를 기체공급관(148)으로 공급할 수 있는 장치이면 되는 것으로 반드시 압축기체가 저장된 봄베에 제한되는 것은 아니다. 따라서 압축기체 공급부(142)는 펌프 등으로 이루어질 수도 있다.In addition, the compressor body supply unit 142 may be any device capable of supplying the compressed gas to the gas supply pipe 148, but is not necessarily limited to the cylinder in which the compressor body is stored. Therefore, the compressor body supply unit 142 may be formed of a pump or the like.

도 2 및 도 3을 참조하여 토출헤드에 대해서 자세히 설명한다.The discharge head will be described in detail with reference to FIGS. 2 and 3.

토출헤드(120)는 하우징(121)과 하우징(121)에 삽입되는 노즐(110), 및 노즐의 단부로 공기를 분사하는 분사구(123)를 포함하여 구성된다.The discharge head 120 includes a housing 121, a nozzle 110 inserted into the housing 121, and an injection hole 123 for injecting air to the end of the nozzle.

하우징(121)은 대략 사각형상의 상자로 이루어지며, 내부에 공기가 유통하는 통로(129)를 갖는다. 하우징(121)의 일면은 개방되어 있고 개방된 부분에는 광투과성 물질로 이루어진 투명판(124)이 설치되어 하우징(121)을 밀봉한다. 투명판(124)은 하우징(121)에 노즐(110)을 용이하게 설치할 수 있도록 작업자에게 노즐(110)의 위치에 대한 정보를 제공하는 역할을 한다.The housing 121 is formed of a substantially rectangular box and has a passage 129 through which air flows. One surface of the housing 121 is open and a transparent plate 124 made of a light transmissive material is installed at the open portion to seal the housing 121. The transparent plate 124 serves to provide the operator with information about the position of the nozzle 110 so that the nozzle 110 can be easily installed in the housing 121.

그리고 하우징(121)의 한쪽 벽면에는 하우징(121) 내부로 압축 기체를 공급하는 기체공급관(148)이 연결 설치된다.In addition, a gas supply pipe 148 for supplying compressed gas into the housing 121 is connected to one wall surface of the housing 121.

노즐(110)은 위쪽에 설치된 상부노즐(112)과 상부노즐(112)의 아래에 설치된 하부노즐(114)로 이루어지며, 하부노즐(114)은 미세한 액적을 용이하게 토출할 수 있도록, 상부노즐(112)보다 내경이 더 작은 관 형태로 이루어진다.The nozzle 110 includes an upper nozzle 112 installed above and a lower nozzle 114 installed below the upper nozzle 112, and the lower nozzle 114 easily discharges fine droplets. The inner diameter is smaller than that of the tube (112).

상부노즐(112)은 액체공급관(138) 연결되어 액체를 하부노즐(114)로 전달하며, 단부가 하우징(121)에 삽입되어 상부노즐(112)과 하부노즐(114)의 연결부는 하우징(121) 내에 위치한다. 상부노즐(112)은 액체공급관(138)과 연결되는데, 이에 따라 액체공급관(138)은 액체공급부(135)에서 상부노즐(112)로 액체를 공급할 수 있다.The upper nozzle 112 is connected to the liquid supply pipe 138 to transfer the liquid to the lower nozzle 114, the end is inserted into the housing 121, the connection portion of the upper nozzle 112 and the lower nozzle 114 is connected to the housing 121 ) The upper nozzle 112 is connected to the liquid supply pipe 138, so that the liquid supply pipe 138 may supply the liquid from the liquid supply unit 135 to the upper nozzle 112.

하우징(121)에는 상부노즐(112)이 끼워지는 상부홀(125)과 하부노즐(114)이 끼워지는 분사구(123)가 형성된다. 이에 따라 노즐(110)은 하우징(121)을 상하로 관통하여 노즐(110)의 단부가 하우징(121)의 아래로 돌출된다. 상부홀(125)과 상부노즐(112) 사이에는 개스킷(115)이 설치되어 상부홀(125)과 상부노즐(112) 사이를 밀봉한다. 본 실시예에서는 개스킷(115)이 설치된 것으로 예시하고 있지만, 개스킷(115) 외에 오링 등의 밀봉부재가 설치될 수도 있다.The housing 121 is formed with an injection hole 123 into which the upper hole 125 into which the upper nozzle 112 is fitted and the lower nozzle 114 are fitted. Accordingly, the nozzle 110 penetrates up and down the housing 121, and an end portion of the nozzle 110 protrudes downward from the housing 121. A gasket 115 is installed between the upper hole 125 and the upper nozzle 112 to seal between the upper hole 125 and the upper nozzle 112. In this embodiment, the gasket 115 is illustrated as being installed, but a sealing member such as an O-ring may be installed in addition to the gasket 115.

분사구(123)는 하부노즐(114)의 외경보다 큰 내경을 갖는데, 이에 따라 분사구(123)와 하부노즐(114) 사이에는 기체가 분사될 수 있도록 공간이 형성된다. 이 공간은 하부노즐의 둘레를 따라 이어져 형성되는데, 이에 따라 분사구를 통해서 액적으로 하부를 향한 균일한 힘이 작용할 수 있다. 즉, 기체를 통해서 작용하는 힘이 한 방향으로 치우친다면 액적이 수직 하강하지 못하고 일측으로 비켜서 낙하하여 원하는 위치에 액적을 떨어뜨리는 것이 곤란하지만, 본 실시예와 같이 기체가 분사되는 구멍이 하부노즐의 둘레를 따라 이어져 형성되면 액적을 수직 하강시켜서 액적을 원하는 위치에 공급할 수 있다.The injection hole 123 has an inner diameter larger than the outer diameter of the lower nozzle 114, and thus a space is formed between the injection hole 123 and the lower nozzle 114 to allow gas to be injected. This space is formed along the circumference of the lower nozzle, so that a uniform force may be applied to the lower portion through the injection port toward the droplets. That is, if the force acting through the gas is biased in one direction, it is difficult to drop the droplet at a desired position by falling off to one side without falling vertically, but as shown in this embodiment, the hole in which the gas is sprayed is formed in the lower nozzle. When formed along the circumference, the droplet can be vertically lowered to supply the droplet to a desired position.

분사구(123)에 하부노즐(114)이 삽입되므로 기체가 분사되는 공간은 하부노즐(114)의 둘레를 따라 이어져 형성된다.Since the lower nozzle 114 is inserted into the injection hole 123, a space in which gas is injected is formed along the circumference of the lower nozzle 114.

본 실시예에서는 분사구(123)에 하부노즐(114)이 삽입된 것으로 예시하고 있지만, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니며, 분사구(123)는 노즐(110)과 인접하게 위치하여 노즐(110)의 단부로 압축기체를 분사할 수 있는 구조이면 충분하다.In this embodiment, the lower nozzle 114 is illustrated as being inserted into the injection hole 123, but the present invention is not limited thereto, and the injection hole 123 is positioned adjacent to the nozzle 110 to determine the nozzle 110. It is sufficient that the structure capable of injecting the compressor body to the end.

따라서, 분사구(123)는 하부노즐(114)이 삽입되는 홀의 둘레에 하나 또는 복 수로 형성될 수 있으며, 하부노즐이 삽입되는 홀의 둘레를 따라 이어져 형성될 수도 있다.Therefore, the injection holes 123 may be formed in one or a plurality of circumferences of the holes in which the lower nozzles 114 are inserted, or may be formed along the circumferences of the holes in which the lower nozzles are inserted.

하우징(121) 내에는 복수 개의 노즐들(110)이 일 방향을 따라 이격되어 배치되는데, 노즐(110)이 배치된 방향을 따라 통로(129)가 이어져 형성되어 하우징(121)으로 유입된 기체가 통로(129)를 통하여 각 노즐(110)의 분사구(123)로 분사된다In the housing 121, a plurality of nozzles 110 are spaced apart along one direction, and a passage 129 is formed along the direction in which the nozzles 110 are disposed, so that gas introduced into the housing 121 is formed. It is injected to the injection port 123 of each nozzle 110 through the passage 129

액체공급부(135)에서 일정한 압력으로 액체를 노즐(110)로 공급하면, 하부노즐(114)의 단부에는 설정된 크기의 액체 방울인 액적(116)이 형성된다. 이때, 액적(116)에 작용하는 중력보다 표면장력이 더 커서 액적(116)은 아래로 떨어지지 아니하고 하부노즐(114)의 단부에 맺혀있게 된다.When the liquid is supplied to the nozzle 110 at a constant pressure from the liquid supply unit 135, a droplet 116, which is a liquid droplet of a predetermined size, is formed at the end of the lower nozzle 114. At this time, the surface tension is greater than gravity acting on the droplet 116 so that the droplet 116 does not fall down but is bound to the end of the lower nozzle 114.

액적(116)이 맺혀진 하부노즐(114)의 단부를 향하여 분사구(123)를 통해서 압축기체를 분사하면 액적(116)은 기체의 가압력에 의하여 노즐(110)에서 아래로 토출된다. When the compressor body is injected through the injection hole 123 toward the end of the lower nozzle 114 having the droplet 116 formed therein, the droplet 116 is discharged downward from the nozzle 110 by the pressure of the gas.

이때, 기체는은 노즐(110)과 하우징(121) 사이의 공간으로 분사되어 압축기체가 용이하게 액적(116)으로 도달할 수 있으며, 압축기체가 액적(116)의 낙하방향으로 분사되어 원하는 위치에 액적(116)을 용이하게 토출할 수 있다.At this time, the gas is injected into the space between the nozzle 110 and the housing 121 so that the compressor body can easily reach the droplet 116, the compressor body is injected in the falling direction of the droplet 116, the desired position The droplet 116 can be discharged easily.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the scope of the invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치를 도시한 구성도이다.1 is a block diagram showing a droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치의 헤드부를 도시한 절개 사시도이다.2 is a cutaway perspective view illustrating a head of a droplet ejection apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액적 토출 장치의 헤드부를 도시한 부분 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view showing the head portion of the droplet ejection apparatus according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

110: 노즐 112: 상부노즐110: nozzle 112: upper nozzle

114: 하부노즐 116: 액적114: lower nozzle 116: droplet

120: 토출헤드 121: 하우징120: discharge head 121: housing

123: 분사구 124: 투명판123: nozzle 124: transparent plate

129: 통로 131: 펌프129: passage 131: pump

132: 용기 135: 액체공급부132: container 135: liquid supply

136: 압력 검출기 138: 액체공급관136: pressure detector 138: liquid supply pipe

142: 압축기체 공급부 148: 기체공급관142: compressor body supply unit 148: gas supply pipe

Claims (11)

액체가 공급되며 일측 단부가 개방되어 액적을 토출하는 노즐;A nozzle to which liquid is supplied and one end is opened to discharge the droplets; 상기 노즐의 개방된 단부를 향하여 기체를 분사하는 분사구가 형성된 하우징; 및A housing having an injection hole for injecting gas toward the open end of the nozzle; And 상기 분사구로 기체를 공급하는 기체공급관;A gas supply pipe for supplying gas to the injection hole; 을 포함하고Including 상기 노즐은 상기 분사구에 끼워져 상기 하우징의 외측으로 돌출되고,The nozzle is inserted into the injection port and protrudes out of the housing, 상기 분사구와 상기 노즐 사이의 공간으로 기체가 분사되는 액적 토출 장치.Droplet ejecting device in which gas is injected into the space between the injection port and the nozzle. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 분사구는 노즐의 외면과 인접하게 배치된 액적 토출 장치.The ejection port is disposed adjacent to the outer surface of the nozzle droplet ejection apparatus. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 분사구는 상기 노즐의 둘레방향을 따라 이어져 형성된 액적 토출 장치.The ejection openings are formed along the circumferential direction of the nozzle. 삭제delete 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기체공급관은 상기 하우징과 연통된 액적 토출 장치.And the gas supply pipe is in communication with the housing. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 노즐은 상부노즐과 상기 상부노즐보다 더 작은 내경을 갖는 하부노즐을 포함하고,The nozzle includes an upper nozzle and a lower nozzle having a smaller inner diameter than the upper nozzle, 상기 하우징에는 상기 상부노즐이 끼워지는 상부홀과 상기 하부노즐이 끼워지는 분사구가 형성되며,The housing has an upper hole into which the upper nozzle is fitted and an injection hole into which the lower nozzle is fitted. 상기 하부노즐과 상기 분사구 사이의 공간으로 기체가 분사되는 액적 토출 장치.Droplet ejection apparatus in which gas is injected into the space between the lower nozzle and the injection port. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 하우징에는 복수 개의 노즐이 끼워져 설치되고,The housing is fitted with a plurality of nozzles, 상기 노즐들의 외면과 인접한 하우징의 면에 각각 분사구가 형성된 액적 토출 장치.And ejection openings respectively formed on surfaces of the housing adjacent to the outer surfaces of the nozzles. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 하우징에는 상기 하우징 내로 공급된 기체가 유통하는 통로가 형성된 액적 토출 장치.And a passage through which the gas supplied into the housing flows. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 하우징의 일측 면은 개방되고 개방된 부분에는 빛이 투과할 수 있는 광투과 성 물질로 이루어진 투명판이 설치된 액적 토출 장치.One side of the housing is open and the liquid ejection device is provided with a transparent plate made of a light-transmissive material through which light is transmitted. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 노즐과 연결되어 상기 노즐로 액체를 공급하는 액체 공급관;A liquid supply pipe connected to the nozzle to supply liquid to the nozzle; 상기 액체 공급관과 연통되며 내부에 액체가 저장된 액체 공급부;A liquid supply unit communicating with the liquid supply tube and storing a liquid therein; 상기 액체 공급부와 연결되어 상기 액체 공급부의 내부 압력을 조절하여 상기 액체 공급관으로 액체를 이동시키는 펌프;A pump connected to the liquid supply part to adjust the internal pressure of the liquid supply part to move the liquid to the liquid supply pipe; 를 더 포함하는 액적 토출 장치.Droplet discharge device further comprising. 제 10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 액체 공급부는 외형을 이루는 챔버와 상기 챔버 내부에 설치되며 액체를 저장하는 용기를 포함하고,The liquid supply unit includes an outer chamber and a container installed inside the chamber to store liquid. 상기 챔버 내부의 압력과 상기 용기 내부의 액체 압력을 검출하여 압력 차에 대한 정보를 상기 펌프의 작동을 제어하는 펌프 제어부로 전달하는 압력 검출기를 더 포함하는 액적 토출 장치.And a pressure detector which detects a pressure inside the chamber and a liquid pressure inside the container and transmits information about a pressure difference to a pump controller that controls the operation of the pump.
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