KR100964575B1 - 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 적용되는캐리어 기판 - Google Patents

유연한 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 적용되는캐리어 기판 Download PDF

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Abstract

변형이 발생하지 않는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법 및 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 공정시 유연한 기판을 지지하기 위해 적용되는 캐리어 기판이 개시된다. 플라스틱 기판의 열 평창계수에 상응하는 열 팽창계수를 갖는 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 적층하고, 플라스틱 기판의 표면에 표시 소자를 형성한다. 이어, 플라스틱 기판으로부터 캐리어 기판을 분리시킨다. 따라서, 유연한 기판인 플라스틱 기판과 캐리어 기판간에 열 팽창계수의 차이에 의해 발생되는 변화를 효과적으로 완화시키는 구조를 가지고 있어 표시소자 형성 공정시 플라스틱 기판의 휨 현상을 효과적으로 방지할 수 있다.

Description

유연한 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 적용되는 캐리어 기판{METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY DEVICE HAVING THE FLEXIBILITY AND CARRIER PLATE APPLING THEREOF}
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타내는 공정흐름도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타내는 공정흐름도이다.
도 3은 본 발명의 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 방법에 적용되는 캐리어 기판을 설명하기 위한 구성도이다.
도 4a 내지 4c는 본 발명의 제1 실시예에서 플라스틱 기판의 적층온도 변화에 따른 플라스틱 기판의 휨 상태를 비교 실험하여 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에서 캐리어 기판과 플라스틱 기판의 열팽창계수 차이에 따른 플라스틱 기판의 휨 상태를 비교 실험하여 나타낸 도면이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
120 : 플라스틱 기판 100, 200 : 캐리어 기판
본 발명은 유연한 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 적용되는 캐리어 기판에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 변형이 발생하지 않는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법 및 상기 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 공정시 유연한 기판을 지지하기 위해 적용되는 캐리어 기판에 관한 것이다.
최근 기술의 발달과 인터넷의 보편화 및 소통되는 정보의 양이 폭발적으로 늘어남에 따라 언제 어디서나 정보를 접할 수 있는 “유비퀴토스 디스플레이 (ubiquitous display)”환경이 창출되고 있다. 따라서 정보를 출력하는 매개체인 디스플레이 장치의 역할이 보다 중요시되고, 그 사용 범위도 더욱더 광범위해지고 있는 실정이다.
이러한, 유비퀴토스 디스플레이 환경을 구현하기 위해서는 디스플레이 장치의 휴대성을 향상시킴과 동시에 각종 멀티미디어 정보를 표시가 가능하면서 가볍고, 표시면적이 넓고, 해상도가 우수하며, 표시속도가 빠른 디스플레이 장치의 특성이 요구되어야 한다.
이러한 요구에 부응하여 디스플레이 장치의 대형화 및 상기 장치를 구성하는 유리 기판의 밀도 및 유리 기판의 두께를 감소시키는 방향으로 활발하게 연구되어 왔다. 그러나, 상기 디스플레이 장치 즉, 액정 표시 패널에 적용되는 유리 기판의 유리 밀도가 감소될 경우 유리 기판을 구성하는 이산화실리콘(SiO2)이 실질적으로
유리 기판의 모든 물리적 특성 값을 결정하기 때문에 상기 유리기판 밀도를 더 낮추는 기술은 한계에 직면하였다.
또한, 상술한 휴대성이 어려운 문제점을 해결하기 위해서 디스플레이 장치의 크기를 줄여야 하지만은 이는 대화면의 디스플레이 장치를 원하는 소비자들의 욕구에 상충되는 문제점을 갖는다.
따라서, 대화면이라는 특성과 가벼워 휴대성이 우수한 특성을 동시에 만족시키기 위해서는 디스플레이 장치를 플라스틱 기판에 형성하는 유연한 디스플레이 장치의 필요성이 대두되고 있는 실정이다.
상술한 유연한 디스플레이 장치는 궁극적으로 롤(Roll)투 롤(Roll) 방식으로 제조될 수 있다. 그러나 상술한 방식으로 유연성을 갖는 유연한 디스플레이 장치를 생산하기 위해서는 생산 단계의 모든 공정에서 플라스틱 기판을 적용하기 위한 전용 설비가 개발되어야 할 뿐만 아니라 많은 투자비용이 요구되는 문제점을 갖는다.
현재, 샤프(Sharp)나 필립스(Philips)와 같은 기존의 LCD 제조사들은 유연한 디스플레이 장치에 대한 연구를 진행하고 있으나 대부분 플라스틱 기판을 적용하기 위해 전용 척을 고안하여 유연한 디스플레이 장치를 제조하는 연구를 진행하고 있는 실정이다.
그러나, 이러한 연구는 기존의 LCD 양산 설비를 그대로 이용할 수 없기 때문에 현재 양산 설비를 대폭 변경되어야 하는 단점을 가지고 있다.
또한, 접착제가 도포된 유리 기판에 상기 플라스틱 기판을 부착시켜 현재 LCD 양산 설비에 플라스틱 기판을 적용하는 방법이 제시되고 있으나 상술한 방법은 디스플레이 장치를 형성하는 공정시 유리 기판과 플라스틱 기판간의 열팽창계수의 차이에 의해 상기 플라스틱 기판의 휨 현상이 발생한다. 이로 인해 상기 플라스틱 기판 상에 형성되는 디스플레이 소자의 손상이 초래된다.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 캐리어 기판상에 지지되어 있는 플라스틱 기판의 휨 방지 및 기존의 디스플레이 양산설비 하에서 유연한 디스플레이 장치를 형성하기 위한 방법을 제공한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 유연한 디스플레이 장치의 형성 공정에 적용되는 플라스틱 기판의 휨 방지 및 기존의 디스플레이 양산설비 하에서 유연한 디스플레이 장치를 형성하기 위해 적용되는 캐리어 기판을 제공한다.
상술한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조방법은, (a) 플라스틱 기판의 열 평창계수에 상응하는 열 팽창계수를 갖는 캐리어 기판 상에 상기 플라스틱 기판을 적층하는 단계; (b) 상기 플라스틱 기판의 표면에 표시 소자를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 플라스틱 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리시키는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 목적을 실현하기 위한 다른 하나의 특징에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조방법은, 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 적층시킨 이후 상기 플라스틱 기판의 표면에 디스플레이 장치의 화상 표시소자를 형성하는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법에서, (a) 상기 표시소자 형성 공정이 수행되기 전의 제1 온도와, 상기 표시소자 형성 공정이 수행되는 제2 온도간의 평균 온도 하에서 상기 캐리어 기판 상에 상기 플라스틱 기판을 적층하는 단계; (b) 상기 캐리어 기판 상에 적층된 플라스틱 기판의 표면에 표시소자를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 플라스틱 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리시키는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 캐리어 기판은, 화상 표시소자가 형성되는 플라스틱 기판을 지지하되, 상기 플라스틱 기판의 열 팽창계수에 상응하는 열 팽창계수를 갖는 물질로 형성된다.
이러한 캐리어 기판에 의하면, 유연한 기판인 플라스틱 기판과 캐리어 기판간에 열 팽창계수의 차이에 의해 발생되는 변화를 효과적으로 완화시키는 구조를 가지고 있어 표시소자 형성 공정시 플라스틱 기판의 휨 현상을 효과적으로 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타내는 공정 흐름도이다.
도 1을 참조하면, 캐리어 기판 상에 접착물질(Bonding Matter)을 균일한 두께를 갖도록 도포한 후 소정의 온도 하에서 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 적층시킨다(단계 S110, S120).
여기서, 캐리어 기판은 실리콘 기판 또는 유리 기판이고, 상기 플라스틱 기판을 캐리어 기판인 유리 기판 상에 적층(라미네이션)시킬 경우에 적용되는 소정의 온도는 이후 유연한 디스플레이 장치의 화상 표시소자를 형성하기 전에 해당하는 제1 공정온도와 상기 화상 표시소자를 형성하는 공정에 적용되는 제2 공정온도를 산술 평균하여 나타낸 평균온도이다.
즉, 상온과 상기 화상 표시소자를 형성하는 공정온도의 평균 온도 하에서 상기 유리 기판 상에 플라스틱 기판을 적층시킬 경우 상기 유리 기판과 플라스틱 기판의 열팽창계수의 불일치로 인한 플라스틱 기판의 휨 현상의 방지 및 스트레스 발생을 최소화시킬 수 있다.
이어서, 상기 유리 기판 상에 부착된 플라스틱 기판에 디스플레이 장치의 화상 표시소자를 형성하는 공정(색화소층 형성 공정)을 수행함으로서, 상기 플라스틱 기판을 컬러필터 기판으로 형성한다(단계 S130).
상기 표시소자의 형성공정은 플라스틱 기판 상에 블랙 매트릭스, 컬러필터, 오버 코팅막, 공통전극을 형성하는 공정인 컬러필터 형성을 포함한다.
컬러 필터 기판의 형성 방법을 구체적으로 나타내면, 상기 플라스틱 기판을 영상이 표시되는 상기 광 투과영역 및 광을 차단하는 차광 영역으로 정의한 후 블랙 포토레지스트를 슬릿 코팅(Slit Coating) 공정 또는 스핀 코팅(Spin Coating) 공정을 적용하여 도포한다.
여기서, 블랙 포토레지스트는 노광된 부분이 현상에 의해 제거되는 포지티브 포토레지스트(Positive Photoresist) 또는 노광된 부분이 잔류하는 네거티브 포토레지스트(Negative Photoresist)를 포함한다.
이어서, 마스크(도시되지 않음)를 이용하여 상기 도포된 블랙 포토레지스트를 자외선(Ultraviolet, UV)에 노광한다. 이때, 상기 자외선이 조사된 부분의 블랙 포토레지스트의 분자 결합이 끊어져서 상기 광 투과 영역 내의 블랙 포토레지스트의 분자량이 감소한다. 상기 자외선이 투과되지 않는 부분인 상기 차광 영역 내의 블랙 포토레지스트는 고분자 상태를 유지한다.
이어서, 블랙 포토레지스트를 현상(Developing)한다. 상기 현상에 의해 상기 분자량이 감소한 블랙 포토레지스트는 제거되어 상기 차광 영역 내에만 존재하는 블랙 매트릭스를 형성한다.
이어서, 블랙 매트릭스가 형성된 상부 기판 상에 컬러 필터를 형성한다. 상기 컬러 필터는 특정한 파장의 광만을 선택적으로 투과시킨다. 바람직하게는, 상기 컬러필터는 안료(Pigment)를 포함하는 포토레지스트를 플라스틱 기판 상에 도포한 후에 상기 포토레지스트를 노광하고 현상함으로서 형성된다. 이때, 상기 컬러 필터를 먼저 형성한 이후에 상기 블랙 매트릭스를 형성할 수 있다.
이어서, 상기 컬러 필터가 형성된 상기 플라스틱 기판 상에 투명한 유기물을 도포하여 상기 오버코팅층을 형성한다. 상기 오버코팅층은 상기 블랙 매트릭스 및 상기 컬러 필터에 의한 단차를 제거하는데 사용된다.
이어서, 상기 오버코팅층의 전면에 투명한 도전성 물질을 도포한 후 차광 영역에 대응하는 상기 투명한 도전성 물질의 일부를 제거함으로서, 상기 컬러 필터 상의 광 투과 영역(화소 영역) 내에 배치된 공통 전극을 형성함으로서, 컬러필터 기판이 형성된다.
이어서, 상기 플라스틱 기판 상에 표시소자가 형성됨으로서 형성된 컬러 필터 기판으로부터 캐리어 기판을 분리함으로서, 유연한 디스플레이 장치인 유연성을 갖는 컬러필터 기판을 형성한다.(단계 S140) 여기서, 상기 플라스틱 기판의 분리는 캐리어 기판과 플라스틱 기판을 서로 밀착시키기 위해 적용된 접착제를 유기용매로 녹여 용출시켜 제거함으로서 수행된다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유연한 디스플레이 장치의 제조방법을 나타내는 공정흐름도이다.
도 2를 참조하면, 먼저 캐리어 기판 상에 접착물질(Bonding Matter)을 균일한 두께로 도포한 후, 플라스틱과 상응하는 열팽창 계수를 갖는 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 적층시킨다(단계 S210).
여기서, 캐리어 기판은 고 내열성 엔지니어링 플라스틱, 나노복합 화합물이 포함된 폴리머, 강화 섬유 플라스틱으로 형성된 기판이며, 상기 엔지니어링 플라스틱은 폴리아미드 수지, 폴리옥시메틸렌 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리페닐렌옥사이드 수지, 폴리에스터 수지 및 폴리에스터에스터케톤 수지등을 포함한다.
즉, 상기 플라스틱 기판과 유사한 열팽창계수를 갖는 캐리어 기판에 플라스틱 기판을 적층한 이후 표시소자를 형성하는 공정을 진행할 경우, 상기 유리 기판과 플라스틱 기판의 열팽창계수의 불일치로 인한 플라스틱 기판의 휨 현상을 미연에 방지할 수 있을 뿐만 아니라 및 형성되는 표시소자의 스트레스 발생을 최소화시킬 수 있다.
이어서, 상기 캐리어 기판 상에 부착된 플라스틱 기판의 표면에 디스플레이 장치의 표시소자를 형성하는 공정(TFT 배선 형성공정)을 수행함으로서, 상기 플라스틱 기판을 어레이 기판으로 형성한다(단계 S230).
상기 표시소자의 형성공정은 플라스틱 기판 상에 스위칭 소자로 동작하는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor), 게이트 절연막, 패시베이션막, 유기막, 화소 전극등을 형성하는 어레이 기판 형성 공정이다.
상기 어레이 기판을 형성하는 방법을 구체적으로 나타내면, 먼저 하부 기판 상에 도전성 물질을 증착한 후 전성 물질의 일부를 식각하여 게이트 전극 및 게이트 라인을 형성한다. 이후에, 게이트 전극 및 게이트 라인 형성된 하부 기판의 전면에 상기 게이트 절연막을 증착한다. 게이트 절연막은 투명한 물질로 실리콘 질화막(SiNx)을 포함한다.
이어서, 아몰퍼스 실리콘 및 N+ 아몰퍼스 실리콘을 증착 및 식각하여 게이트 전극에 대응하는 게이트 절연막 상에 반도체층을 형성한다. 이어서, 반도체층이 형성된 게이트 절연막 상에 도전성 물질을 증착한다. 이후에, 상기 도전성 물질의 일부를 식각하여 소오스 전극, 소오스 라인 및 드레인 전극을 형성한다. 따라서, 소오스 전극, 게이트 전극, 드레인 전극 및 반도체층을 포함하는 상기 박막 트랜지스터가 형성된다.
이어서, 박막 트랜지스터가 형성된 하부 기판 상에 투명한 절연물질을 증착하여 패시베이션막을 형성한 후 상기 패시베이션막의 일부를 제거하여 드레인 전극의 일부를 노출하는 개구부를 형성한다. 이때, 상기 개구부를 상기 유기막을 형성한 이후에 형성할 수도 있다.
이어서, 상기 패시베이션막 상에 유기물질을 도포하여 유기막을 형성한 후 상기 유기막을 노광 및 현상하여 드레인 전극의 일부가 개구된 유기막을 형성한다. 이때, 상기 유기막의 상부 표면에 오목부를 형성하는 것이 바람직하다.
이어서, 상기 유기막 및 패시베이션막 상에 투명한 도전성 물질을 증착한다. 상기 투명한 도전성 물질은 ITO, IZO, ZO 등을 포함한다. 바람직하게는, 상기 투명한 도전성 물질은 ITO를 포함한다.
계속해서, 상기 투명한 도전성 물질의 일부를 식각하여 상기 화소 영역 내에 상기 화소 전극을 형성함으로서 어레이 기판을 형성한다. 이때, 상기 유기막 및 상기 투명 전극 상에 반사 전극을 형성할 수 있다.
이어서, 상기 플라스틱 기판 상에 표시소자가 형성됨으로서 형성된 어레이 기판으로부터 캐리어 기판을 분리함으로서, 유연한 디스플레이 장치에 적용되는 유연성을 갖는 어레이 기판을 형성한다.(단계 S240)
여기서, 상기 플라스틱 기판의 분리는 캐리어 기판과 플라스틱 기판을 서로 밀착시키는 접착제를 유기용매로 녹여 용출시켜 제거함으로서 수행된다.
도 3은 본 발명의 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 방법에 적용되는 캐리어 기판을 설명하기 위한 구성도이다.
도 3을 참조하면, 캐리어 기판(200)은 유연한 디스플레이 장치를 형성하기 위해 플라스틱 기판(120)을 지지하는 역할을 하는 기판으로서, 상기 플라스틱 기판과 열 팽창계수가 유사한 물질로 형성된 사각 형상을 갖는 기판(Plate)이다.
여기서, 플라스틱 기판(120)과 유사한 열 팽창계수를 갖는 물질은 고 내열성 엔지니어링 플라스틱(폴리아미드 수지(Polyamide Resin), 폴리옥시메틸렌 수지(Polyoxymethylene Resin), 폴리카보네이트 수지(Polycabonate Resin), 폴리페 닐렌옥사이드 수지(Polypenleneoxide Resin), 폴리에스터 수지(polyesther), 폴리에스터에스터케톤 수지)와, 나노화합물을 포함하는 폴리머와 강화 섬유 플라스틱 등을 포함한다.
따라서, 상술한 물질로 형성된 캐리어 기판(200)은 상기 유연한 특성을 갖는 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 공정시 캐리어 기판(200)과 플라스틱 기판(120)간에 열 팽창계수의 차이를 미연에 방지함으로서 플라스틱 기판(120)의 휨 현상 및 플라스틱 기판(120)에 형성되는 화상 표시소자의 스트레스(Stress)를 미연에 차단할 수 있는 특성을 갖는다.
실험예 1
약 25℃에서 캐리어 기판인 유리 기판에 플라스틱 기판을 적층한 이후 표시 소자를 형성하기 위해 증착 챔버의 공정 온도를 약 150℃로 상승시켜 플라스틱 기판에 소정의 막질을 형성하는 증착 공정을 수행하였다.
여기서, 캐리어 기판인 유리 기판은 5ppm/℃의 열팽창계수를 갖고, 상기 플라스틱 기판은 폴리에테르술폰(Polyethersuifone)으로 형성된 기판으로 약 50ppm/℃의 열팽창계수를 가지고있기 때문에 증착 챔버의 온도가 25℃에서 150℃로 온도가 상승될 경우 유리 기판에는 0.0625%의 변형이 발생되는 반면, 플라스틱 기판에는 0.6250%의 변형이 발생한다.
따라서, 약 25℃에서 캐리어 기판인 유리 기판에 플라스틱 기판을 적층한 이후 표시 소자를 형성하기 위해 공정 온도를 약 150℃로 상승시키면, 상기 플라스틱 기판의 변형도가 더 크기 때문에 도 4a에 도시된 그림과 같이 기판의 상면이 볼록 하게 휘는 현상이 발생한다.
실험예 2
표시 소자를 형성하기 위한 증착공정의 온도인 150℃에서 캐리어 기판인 유리 기판에 플라스틱 기판을 적층 및 박막을 증착하는 공정을 수행한 이후 플라스틱 기판을 약 25℃에서 방치하였다.
여기서, 캐리어 기판인 유리 기판은 5ppm/℃의 열팽창계수를 갖고, 상기 플라스틱 기판은 폴리에테르술폰(Polyethersuifone)으로 형성된 기판으로 약 50ppm/℃의 열팽창계수를 가지고있기 때문에 증착 챔버의 온도가 25℃에서 150℃로 온도가 상승될 경우 유리 기판은 0.0625%의 변형이 일어나고, 플라스틱 기판은 0.6250%의 변형이 일어난다.
따라서, 표시 소자를 형성하기 위해 공정 온도인 150℃에서 캐리어 기판인 유리 기판에 플라스틱 기판을 적층한 후 플라스틱 기판을 약 25℃에서 방치되면, 상기 플라스틱 기판의 변형도가 더 크기 때문에 도 4b에 도시된 그림과 같이 기판의 저면이 볼록하게 휘는 현상이 발생한다.
실험예 3
약 85℃에서 캐리어 기판인 유리 기판에 플라스틱 기판을 적층한 이후 표시소자를 형성하기 위해 증착 챔버의 공정 온도를 약 150℃로 상승시켜 플라스틱 기판에 소정의 막질을 형성하는 증착 공정을 수행하였다.
여기서, 캐리어 기판인 유리 기판은 5ppm/℃의 열팽창계수를 갖고, 상기 플라스틱 기판은 폴리에테르술폰(Polyethersuifone)으로 형성된 기판으로 약 50ppm/ ℃의 열팽창계수를 가지고있기 때문에 증착 챔버의 온도가 25℃에서 150℃로 온도가 상승될 경우 유리 기판은 0.0625%의 변형이 일어나고, 플라스틱 기판은 0.6250%의 변형이 일어난다.
따라서, 상온과 증착 공정온도의 평균온도인 약 85℃에서 캐리어 기판인 유리 기판에 플라스틱 기판을 적층한 이후 표시 소자를 형성하기 위한 증착 공정 온도를 약 150℃로 상승시키면, 상기 플라스틱 기판의 변형이 50%정도 감소되기 때문에 도 4c에 도시된 그림과 같이 플라스틱 기판의 휨 형상이 발생하지 않는다.
실험예 4
약 25℃에서 플라스틱 기판과 상응하는 열팽창계수를 갖는 캐리어 기판인 강화 플라스틱 기판에 플라스틱 기판을 적층한 이후 표시 소자를 형성하기 위해 증착 챔버의 공정 온도를 약 150℃로 상승시켜 플라스틱 기판에 소정의 패턴을 형성하는 증착공정을 수행하였다.
상기 캐리어 기판인 강화 플라스틱 기판은 약 40ppm/℃의 열 팽창계수를 갖고, 표시 소자가 형성되는 플라스틱 기판인 폴리에테르술폰(Polyethersulfone)으로 형성된 기판은 약 50ppm/℃의 열팽창계수를 가지고 있다. 여기서, 공정 온도가 25℃에서 150℃로 온도가 상승될 경우, 상기캐리어 기판인 강화 플라스틱 기판은 0.50%의 변형이 일어나고, 일반 플라스틱 기판은 0.6250%의 변형이 일어난다.
따라서, 약 25℃에서 캐리어 기판인 강화 플라스틱 기판에 플라스틱 기판을 적층한 이후 표시 소자를 형성하기 위한 증착 챔버의 공정 온도를 약 150℃로 상승시키면, 상기 강화 플라스틱 기판과 표시소자가 형성되는 플라스틱 기판의 변형도( 열팽창계수)가 유사하기 때문에 도 5에 도시된 그림과 같이 플라스틱 기판의 변형이 발생하지 않는다.
이상에서 설명한 바와 같이, 유연한 디스플레이 장치를 형성하는 방법은 상온과 화상 표시소자를 형성하는 공정온도의 평균 온도 하에서 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 적층시키는 방법을 적용하고 있기 때문에 상기 캐리어 기판과 플라스틱 기판의 열 팽창계수의 불일치로 인한 플라스틱 기판의 휨 현상의 방지 및 스트레스 발생을 최소화시킬 수 있다.
또한, 유연한 디스플레이 장치를 형성하는데 적용되는 캐리어 기판은 플라스틱 기판 상에 표시 장치의 배선을 형성하는 고온의 화학적 기상 증착 공정시 플라스틱 기판과 캐리어 기판간의 열팽창 계수의 차이를 최대한 완화시킬 수 있는 물질로 형성되어 있기 때문에 상기 플라스틱 기판의 휨 현상을 효과적으로 완화시킬 수 있다.
또한, 유연한 기판의 형성방법은 기존의 디스플레이 장치의 생산라인에 설비의 변경 없이 적용될 수 있기 때문에 양산 설비의 설비투자 없이 유연한 디스플레이 장치를 형성할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (11)

  1. (a) 플라스틱 기판의 열 평창계수와 상응하는 열 팽창계수를 갖는 캐리어 기판 상에 상기 플라스틱 기판을 적층하는 단계;
    (b) 상기 플라스틱 기판의 표면에 표시 소자를 형성하는 단계; 및
    (c) 상기 플라스틱 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리시키는 단계를 포함하는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단계(a)는, 상기 표시 소자의 형성 공정이 수행되기 전의 제1 온도와, 상기 표시 소자의 형성 공정이 수행되는 제2 온도간의 평균 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 캐리어 기판은 고 내열성 엔지니어링 플라스틱, 나노복합 화합물이 포함된 폴리머 및 강화 섬유 플라스틱으로 이루어진 군중에서 선택된 어느 하나의 물질로 형성된 것을 특징으로 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 표시소자가 형성된 플라스틱 기판은 디스플레이 장치의 어레이 기판 또는 컬러필터 기판인 것을 특징으로 하는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.
  5. 캐리어 기판 상에 플라스틱 기판을 적층시킨 이후 상기 플라스틱 기판의 표면에 디스플레이 장치의 화상 표시소자를 형성하는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법에서,
    (a) 상기 표시소자 형성 공정이 수행되기 전의 제1 온도와, 상기 표시소자 형성 공정이 수행되는 제2 온도간의 평균 온도 하에서 상기 캐리어 기판 상에 상기 플라스틱 기판을 적층하는 단계;
    (b) 상기 캐리어 기판 상에 적층된 플라스틱 기판의 표면에 표시소자를 형성하는 단계; 및
    (c) 상기 플라스틱 기판으로부터 상기 캐리어 기판을 분리시키는 단계를 포함하는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 캐리어 기판은 유리 기판 또는 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 캐리어 기판은 상기 플라스틱 기판과 상응하는 열 팽창계수를 갖는 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 캐리어 기판은 고 내열성 엔지니어링 플라스틱, 나노복합 화합물이 포함된 폴리머 및 강화 섬유 플라스틱으로 이루어진 군중에서 선택 된 어느 하나의 물질로 형성된 것을 특징으로 유연한 디스플레이 장치의 제조방법.
  9. 화상 표시소자가 형성되는 플라스틱 기판을 지지하는 캐리어 기판에서,
    상기 캐리어 기판은 상기 플라스틱 기판의 열 팽창계수에 상응하는 열 팽창계수를 갖는 물질로 형성된 기판인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  10. 제9항에 있어서, 상기 물질은 고 내열성 엔지니어링 플라스틱, 나노복합 화합물이 포함된 폴리머 및 강화 섬유 플라스틱으로 이루어진 군중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
  11. 제10항에 있어서, 상기 고 내열성 엔지니어링 플라스틱은 폴리아미드 수지, 폴리옥시메틸렌 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리페닐렌옥사이드 수지, 폴리에스터 수지 및 폴리에스터에스터케톤 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 기판.
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