KR100963950B1 - 세척시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 세척액이 저장되는 세척실(111a,121a)이 구비된 세척기(100)와;상기 세척기(100)에서 세척된 피세척물을 건조하는 건조기(200)와;연결라인(310)에 의해 상기 세척기(100)와 건조기(200)에 연결되어, 상기 세척기(100)와 건조기(200)에서 배출된 오염된 세척액이 저장되는 임시저장탱크(300)와;상기 임시저장탱크(300)에 연결되어 임시저장탱크(300)에 저장된 오염된 세척액을 재생하여 상기 세척기(100)로 공급하는 리사이클링장치(400)와;상기 리사이클링장치(400)에 연결되어 리사이클링장치(400)에서 재생되어 배출된 세척액을 저장하는 보조저장탱크(500)와;상기 세척기(100)와 건조기에(200)에 연결되는 진공펌프(140)를 포함하며,상기 세척기(100)는 피세척물을 1차 세척하며 일측에는 상기 임시저장탱크(300)의 연결라인(310)이 연결되는 드레인(116)이 형성된 1차 세척기(110)와, 상기 1차 세척기(110)에 의해 1차 세척된 피세척물을 재차 세척하는 2차 세척기(120)를 포함하며, 상기 1차 세척기(110)와 2차 세척기(120)의 세척실(111a,121a)은 연결관(140)에 의해 상호 연결되고,상기 리사이클링장치(400)는, 내부에 저장된 오염된 세척액을 가열하여 증기를 발생시키며 일측에는 배출라인이 연결된 스팀발생기(410)와, 상기 스팀발생기(410)에서 발생된 세척액 증기를 냉각시키는 냉각기(420)를 포함하고, 상기 배출라인(413)은 리사이클링장치(400)와 건조기(200)를 연결하여 스팀발생기(410)에서 발생된 고압의 세척액 증기를 상기 건조기(200)로 공급하는 고온배출라인(413a)과, 상기 고온배출라인(413a)에서 분기되어 상기 2차 세척기(120)와 보조저장탱크(500)로 연결되는 저온배출라인(413b)으로 구성되고, 상기 냉각기(420)는 상기 연결라인(310)을 통해 리사이클링장치(400)로 공급되는 저온의 세척액과 저온배출라인(413b)을 통해 배출되는 고온의 세척액 증기를 상호 열교환하는 1차 열교환기(421)와, 별도로 공급되는 냉각수를 이용하여 1차 열교환된 세척액 증기를 2차 냉각시켜 저온배출라인(413b)을 통해 배출되는 세척액 증기의 온도를 상온정도로 낮추어 세척액 상태로 응축되도록 하는 2차 열교환기(422)로 구성되며,상기 진공펌프(140)는 상기 건조기(200)의 본체(210) 내부에 피세척물이 투입되면, 본체(210)의 내부를 1차 진공상태로 만들고, 상기 스팀발생기(410)에서 발생된 세척액 스팀이 본체(210)의 내부로 공급되어 세척액 스팀에 의해 피세척물이 가열되면, 본체(210) 내부를 1차 진공에 비해 압력이 더욱 낮은 2차 진공상태로 만들어, 본체(210) 내부의 세척액이 증발되어 피세척물이 건조되도록 하는 것을 특징으로 하는 세척시스템.
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- 제 1항에 있어서, 상기 건조기(200)에는 질소공급장치(600)가 연결된 것을 특징으로 하는 세척시스템.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090087071A KR100963950B1 (ko) | 2009-09-15 | 2009-09-15 | 세척시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090087071A KR100963950B1 (ko) | 2009-09-15 | 2009-09-15 | 세척시스템 |
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Publication Number | Publication Date |
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KR100963950B1 true KR100963950B1 (ko) | 2010-06-17 |
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ID=42370074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090087071A KR100963950B1 (ko) | 2009-09-15 | 2009-09-15 | 세척시스템 |
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Country | Link |
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KR (1) | KR100963950B1 (ko) |
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2009
- 2009-09-15 KR KR1020090087071A patent/KR100963950B1/ko active IP Right Grant
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