KR100961673B1

KR100961673B1 - 누출 검사 장치의 이상 검출 방법, 누출 검사 장치

Info

Publication number: KR100961673B1
Application number: KR1020087016084A
Authority: KR
Inventors: 아키오 후루세
Original assignee: 가부시키가이샤 고스모 게이키
Priority date: 2006-01-13
Filing date: 2007-01-12
Publication date: 2010-06-09
Also published as: US7805259B2; EP2246683B1; KR20080079294A; EP1972917A1; EP2246684A1; EP2246683A1; CN101371122B; EP2246684B1; CN101371122A; WO2007080972A1; JP4441573B2; JPWO2007080972A1; TWI369485B; TW200938824A; EP1972917A4; US20090012726A1

Abstract

교정 과정에서, 표준이 되는 제1 피검사체 내에 공기를 봉입하고, 공기의 밀봉 완료 시점으로부터 소정 시간 경과한 시점의 제1 피검사체 내의 압력 변화값(B1)과, 이 경과 시점으로부터 동일 시간이 더 경과한 시점의 압력 변화값(B2)을 각각 계측하고, 기억한다. 또, 검사 과정에서, 누출 검사 대상인 제2 피검사체 내에 공기를 봉입하고, 공기의 밀봉 완료 시점부터 압력 변화값(B1과 B2)에 상당하는 압력 변화값(B1' 및 B2')을 계측하고, 이들 계측값으로부터 파형비(K)를 K=(B1'-B2')/(B1-B2)로서 연산한다. 그리고, 파형비(K)의 값을 사용하여 누출 검사 장치의 이상을 판정한다.

누출 검사 장치, 이상 검출 방법, 교정 과정, 검사 과정, 압력 변화값, 파형비

Description

누출 검사 장치의 이상 검출 방법, 누출 검사 장치{METHOD FOR DETECTING FAULT IN LEAKAGE INSPECTOR, LEAKAGE INSPECTOR}

본 발명은 피검사체의 누출의 유무를 검사하는 누출 검사 장치의 이상을 검출하는 방법 및 이 방법을 실시하는 누출 검사 장치에 관한 것이다.

예를 들면, 가스계량기, 또는 자동차의 연료탱크, 엔진의 하우징 등의 누출이 있어서는 안 되는 용기나 기구부품 등의 누출의 유무의 검사를 공기압을 이용하여 행하는 누출 검사 장치가 실용화되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 종래부터 사용되고 있는 누출 검사 장치에는, 상기한 용기나 기구부품 등인 피검사체의 내부와, 누출이 없는 기준 탱크의 내부에 동시에 공기압을 가하고, 양자의 내부 간에 압력차가 발생하는지 아닌지에 의해 피검사체에 누출의 여부를 판정하는 형식(이하 이 형식을 차압식 누출 검사 장치라고 칭함)과, 단지 피검사체의 내부에만 공기압을 가하고, 그 공기압이 소정 시간의 범위 내에서 변화되는지 아닌지에 의해 피검사체에 누출의 여부를 판정하는 형식(이하 게이지압식 누출 검사 장치라고 칭함)이 존재한다.

[종래의 차압식 누출 검사 장치]

도 1은 종래의 차압식 누출 검사 장치인 누출 검사 장치(100)의 구성을 도시 하는 도면이다.

차압식의 누출 검사 장치(100)은 공압 장치(200)와 판정 장치(300)에 의해 구성된다.

도 1에 도시하는 공압 장치(200)는 피검사체의 내부의 가압을 행하는 컴프레서 등의 공압원(201)과, 이 공압원(201)으로부터 토출되는 공기량을 조정하고, 공압원(201)이 외부에 가하는 공기압을 소정의 공기압으로 조정하는 압력 조절 밸브(202)와, 압력 조절 밸브(202)로 압력 조절된 공기압을 피검사체(A, B)측 및 기준 탱크(207) 측에 가하는 상태(포트 X-Y 사이의 도통상태)와, 피검사체(A, B)측 및 기준 탱크(207)측의 공기를 대기로 배기하는 상태(포트 Y-Z 사이의 도통 상태)를 전환할 수 있는 3방향 전자 밸브(203)와, 피검사체(A 또는 B)의 내부 및 기준 탱크(207)의 내부에 공기압을 가한 상태에서 이들 내부의 공기를 밀봉하기 위한 밀봉 밸브(204A, 204B)와, 피검사체(A 또는 B)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부의 압력차를 측정하는 차압계(205)와, 피검사체(A)와 피검사체(B) 중 어느 곳에 공기압을 가할지를 전환하고, 일방의 피검사체를 교환 중에 타방의 피검사체를 검사 가능하게 하기 위한 전환 밸브(206A, 206B)와, 기준 탱크(207)와, 공기압 공급관로를 피검사체(A) 및 피검사체(B)에 접속하기 위한 접속 지그(208A, 208B)로 구성된다. 또한, 공기압 공급관로란 공압원(201)의 토출구에 접속되어, 공기를 피검사체(A, B)나 기준 탱크(207)에 공급하기 위한 관로를 의미한다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 이 공기압 공급관로의 도중에는, 상기의 압력 조절 밸브(202), 3방향 전자 밸브(203), 밀봉 밸브(204A, 204B), 전환 밸브(206A, 206B)가 존재한다.

판정 장치(300)는 차압계의 출력신호를 증폭하는(이득을 저이득 상태와 고이득 상태로 전환 가능) 가변 이득 증폭기(301)와, AD 변환기(302)와, 입력 포트(303), CPU(central processing unit)(304)와, ROM(read-only memory)(305), 쓰기와 읽기 가능한 메모리인 RAM(random access memory)(306) 및 출력 포트(307)에 의해 구성되는 마이크로컴퓨터와, 누출 판정 결과를 표시하는 디스플레이 등의 누출 판정 표시기(308)를 구비한다.

이 예의 ROM(305)에는, 마이크로컴퓨터를, 동작 타이밍 발생 수단, 제어정보 생성 수단, 측정값 기억 수단 및 누출 판정 수단으로서, 각각 동작시키기 위한 동작 타이밍 발생 프로그램, 제어정보 생성 프로그램, 측정값 기억 프로그램 및 누출 판정 프로그램이 기억되어 있다. 이들 프로그램은, 마이크로컴퓨터의 기동시에, ROM(305)으로부터 읽혀지고, 동작 타이밍 발생 프로그램(306A), 제어정보 생성 프로그램(306AB), 측정값 기억 프로그램(306B), 누출 판정 프로그램(306C)으로서 RAM(306)에 기억된다. 또한, 도면에서는 "프로그램"을 "PG"로 약칭한다. RAM(306)에 기억된 프로그램은 CPU(304)에 기입되고, CPU(304)는 이들 프로그램을 해독·실행함으로써 상기의 각 수단으로서 기능한다.

도 2A에서 2E는 누출 검사 장치(100)의 대략의 동작을 설명하기 위한 그래프이다. 도 2A는 가변 이득 증폭기(301)의 출력값의 시간변화를 나타내는 그래프이다. 도 2A에서는, 가변 이득 증폭기(301)의 출력값을 종축에 잡고, 시간을 횡축에 잡고 있다. 또, 도 2B는 가압기간(T1)일 때에 H(High) 상태가 되고, 그 이외일 때에 L(Low) 상태가 되는 타이밍 신호(C1)를 나타낸 그래프이다. 도 2C는, 안정기 간(T2)일 때에 H 상태가 되고, 그 이외일 때에 L 상태가 되는 타이밍 신호(C2)를 나타낸 그래프이다. 도 2D는, 검사기간(T3)일 때에 H 상태가 되고, 그 이외일 때에 L 상태가 되는 타이밍 신호(C3)를 나타낸 그래프이다. 도 2E는 배기기간(T4)일 때에 H 상태가 되고, 그 이외일 때에 L 상태가 되는 타이밍 신호(C4)를 나타낸 그래프이다. 도 2B로부터 2E에서는, 각 제어신호의 전압을 종축에 잡고, 시간을 횡축에 잡고 있다.

공압 장치(200)는, 가압기간(T1), 안정기간(T2), 검사기간(T3), 배기기간(T4)이라는 변하는 4개의 기간에서 각각 상이한 동작을 행한다.

가압기간(T1)에서는, 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y의 사이를 도통시키고, 또한 밀봉 밸브(204A와 204B)를 각각 도통시킨다. 이것에 의해, 피검사체(A) 또는 피검사체(B) 중 어느 하나의 내부와 기준 탱크(207)의 내부에, 공압원(201)의 동작에 기인하는 공기압이 가해진다.

안정기간(T2)에서는, 밀봉 밸브(204A와 204B)를 차단한다. 이것에 의해, 피검사체(A) 또는 피검사체(B) 중 어느 하나의 내부와 기준 탱크(207)의 내부에 공기압이 가해진 상태에서, 이들 내부의 공기가 각각 밀봉된다. 그리고, 일정 시간 이 상태를 유지하고, 이들 내부의 공기압을 안정시킨다(공기압의 단열 변화에 의한 영향을 제거함). 또, 안정기간(T2)에서는, 가변 이득 증폭기(301)가 저이득의 상태로 전환되어 있다. 판정 장치(300)는, 이 상태에서의 가변 이득 증폭기(301)의 출력값(V_M)(도 2A)이 설정값(NG)에 도달하지 않으면, 피검사체(A) 또는 피검사체(B)에 「큰 누출 없음」으로 판정한다. 판정 결과는 누출 판정 표시기(308)에 표시된다. 안정기간(T2)이 종료한 시점에서, 가변 이득 증폭기(301)의 출력값은 0으로 리셋되고, 또한 가변 이득 증폭기(301)가 고이득의 상태로 전환되고, 다음 검사기간(T3)으로 이행한다.

검사기간(T3)에서는, 차압계(205)로부터 출력된 압력차값을 고이득상태의 가변 이득 증폭기(301)에서 증폭하고, 그 가변 이득 증폭기(301)로부터 출력된 증폭값이 설정값(NG)을 초과하는지 아닌지에 의해 누출의 유무가 판정된다. 판정 결과는 누출 판정 표시기(308)에 표시된다. 안정기간(T2)의 사이에 피검사체(A) 또는 피검사체(B) 중 어느 하나의 내부와 기준 탱크(207)의 내부의 공기압은 안정되어 있다. 검사기간(T3)에서는, 고이득상태의 가변 이득 증폭기(301)에서 증폭된 압력차값을 검증함으로써, 약간의 압력차의 변화도 검출 가능하다.

배기기간(T4)에서는, 밀봉 밸브(204A, 204B)가 열리고, 또한 3방향 전자 밸브(203)의 포트 Y-Z가 도통하는 상태로 된다. 이것에 의해, 피검사체(A) 또는 피검사체(B) 중 어느 하나의 내부와 기준 탱크(207)의 내부에 봉입된 공기가 포트(Z)로부터 대기로 배기되어, 이들 내부의 공기압이 대기압과 동일하게 된다. 그 후에 검사가 종료된다.

이들 각 기간으로의 전환은, 예를 들면 다음과 같이 행해진다. 우선, 동작 타이밍 발생 수단이 현재의 기간에 대응하는 타이밍 신호(C1, C2, C3, C4)(도 2B부터 2E)를 발생시킨다. 제어정보 생성 수단은 동작 타이밍 발생 수단이 발생시킨 타이밍 신호(C1, C2, C3, C4)가 나타내는 기간의 동작을 3방향 전자 밸브(203), 밀봉 밸브(204A, 204B), 가변 이득 증폭기(301)에 실행시키기 위한 제어신호를 생성한다. 생성된 제어신호는 출력 포트(307)로부터 3방향 전자 밸브(203), 밀봉 밸브(204A, 204B), 가변 이득 증폭기(301)에 출력된다. 3방향 전자 밸브(203), 밀봉 밸브(204A, 204B), 가변 이득 증폭기(301)는 제어신호에 따라 각 기간의 동작을 행한다.

또한, 차압식의 누출 검사 장치(100)의 기준 탱크(207)에는, 피검사체(A 또는 B)로부터, 공기의 온도안정이 좋은 것을 사용한다. 피검사체의 내부와 기준 탱크(207)의 내부에 테스트압(TP)을 가하면, 공급되는 공기의 온도가 상온이어도, 피검사체와 기준 탱크(207)의 내부온도는 상승된다(단열 특성). 이 상승온도는 테스트압(TP)과 공급되는 공기온도에 의존한다.

가압기간(T1)의 종료 시점에서는, 피검사체의 내압과 기준 탱크(207)의 내압은 동일하기 때문에, 압력차는 거의 제로이다. 그러나, 기준 탱크(207)의 공기의 온도안정성은 피검사체보다도 좋기 때문에, 밀봉 밸브(204A, 204B)가 닫혀진 후는, 기준 탱크(207) 내인 쪽이 피검사체 내보다도 빨리 공기온도가 안정된다. 그 결과, 피검사체 내의 공기온도의 변화가 압력차 변화로 되어 나타난다. 피검사체와 기준 탱크(207)에 누출이 없으면, 이 압력차는 시간의 경과와 함께 쇠퇴하여, 결국 일정한 압력차값으로 된다. 이것이, 밀봉 밸브(204A, 204B)를 닫으면, 피검사체 등에 누출이 없어도, 피검사체와 기준 탱크(207)에 압력차가 발생하는 이유이다.

[종래의 게이지압식 누출 검사 장치]

도 3은 종래의 게이지압식 누출 검사 장치인 누출 검사 장치(110)의 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 3에서 도 1과 공통되는 부분에 대해서는, 도 1과 동일한 부호를 사용했다.

게이지압식의 누출 검사 장치(110)는 공압 장치(400)와 판정 장치(300)로 구성된다. 판정 장치(300)에 관해서는 차압식의 누출 검사 장치(100)의 그것과 동일하기 때문에, 여기에서는 공압 장치(400)의 구성에 대해서만 설명한다.

공압 장치(400)는, 공압원(201)과, 압력 조절 밸브(202)와, 3방향 전자 밸브(203)와, 밀봉 밸브(204)와, 전환 밸브(206A, 206B)와, 접속 지그(208A, 208B)와, 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력을 측정하는 압력계(209)로 구성된다.

도 4A는 압력계(209)로부터 출력되는 압력측정값이 변화되는 모습을 도시한 그래프이다. 도 4A에서는, 압력계(209)의 출력값을 종축에 잡고, 시간을 횡축에 취하고 있다.

누출 검사 장치(110)에서는, 가압기간(T1)에서 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부에 테스트압(TP)을 가한다. 가압기간(T1)의 종료 시점에서 밀봉 밸브(204)가 닫힌다. 밀봉 밸브(204)가 닫힌 후, 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 공기압은 단열 변화(가압에 의해 온도가 상승한 피검사체 내부의 공기의 열이 서서히 피검사체에 방출되고, 당해 공기의 온도가 저하됨으로 인한 공기압의 변화)에 의해 서서히 저하를 시작한다.

도 4B는 판정 장치(300)의 가변 이득 증폭기의 출력파형을 도시하는 그래프이다.

가변 이득 증폭기의 출력값은 바이어스값인 테스트압(TP)과, 도 4A에 도시하는 압력의 차를 취하고, 그 차를 증폭한 값이다. 안정기간(T2)에서는, 이 가변 이득 증폭기도, 차압식의 누출 검사 장치(100)의 경우와 마찬가지로, 저이득의 상태에서 동작하고, 판정 장치(300)는, 당해 가변 이득 증폭기의 출력값이 설정값(NG)에 도달하는 것과 같은 경우, 피검사체(A) 또는 피검사체(B)에 「큰 누출이 있다」고 판정을 내린다. 안정기간(T2)의 기간에 설정값(NG)에 달하지 않은 경우에는, 가변 이득 증폭기의 출력이 리셋 되어, 당해 가변 이득 증폭기가 고이득의 상태로 전환되고, 검사기간(T3)으로 이동한다.

검사기간(T3)에서는, 판정 장치(300)의 가변 이득 증폭기는 고이득의 상태에서 동작한다. 판정 장치(300)는 검사기간(T3) 동안에, 압력값의 저하량에 대응하는 가변 이득 증폭기의 출력값(M)이 설정값(NG)을 초과하지 않으면 「누출 없음」으로 판정하고 검사를 종료한다. 또한, 각 기간의 제어방법은 차압식 누출 검사 장치와 동일하다(도 4C부터 4F)

[누출 검사 장치의 오동작]

상기한 누출 검사 장치의 각 동작은 누출 검사 장치의 각 부가 정상적으로 동작하고 있는 경우의 동작이다. 그러나, 때로는 오작동이 발생하고, 이 오작동이 검출되지 않은 채, 검사가 계속되어, 누출이 있는 피검사체도 누출이 없는 피검사체도 모두 「누출 없음」이라고 하는 판정 또는 피검사체의 모두를 「누출 있음」이라고 하는 판정을 내려버릴 우려가 있다.

이하에 각 부의 오작동의 예를 설명한다.

(1) 차압식의 누출 검사 장치(100)(도 1)가, 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y 사이가 도통되지 않거나, 또는 밀봉 밸브(204A 및 204B)의 쌍방이 열리지 않은 채, 누출 검사를 행한 것으로 한다. 이 경우, 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부에는 어느 곳에도 공기압이 가해지지 않는다. 그 때문에, 이들 양 내부의 압력차는 제로가 되고, 차압계(205)의 계측값도 제로가 된다. 이 결과로서 누출 판정 수단은 「누출 없음」으로 오판정을 내릴 우려가 있다.

(2) 3방향 전자 밸브(203)와 밀봉 밸브(204A 및 204B)는 모두 정상적으로 동작했지만, 전환 밸브(206A, 206B)의 어느 것도 닫힌 상태인 채로, 차압식의 누출 검사 장치(100)(도 1)가 누출 검사를 행한 것으로 한다. 통상, 공기압 공급로에는 누출이 없기 때문에, 이 경우의 차압계(205)의 계측값은 충분히 작아진다. 이 결과로서 누출 판정 수단은 「누출 없음」으로 오판정을 내릴 우려가 있다.

이것과 동일한 오작동은 게이지압식의 누출 검사 장치(110)(도 3)에서도 발생한다.

(3) 차압계(205)가 동작 불능으로 된 상태에서, 차압식의 누출 검사 장치(100)가 누출 검사를 행한 것으로 한다. 이 경우, 차압계(205)의 출력값은 제로가 되기 때문에, 누출 판정 수단은 피검사체(A, B)의 상황에 관계없이 「누출 없음」으로 오판정을 내릴 우려가 있다.

이 종류의 고장이 게이지압식의 누출 검사 장치(110)에서 발생한 경우, 압력계(209)의 측정값은 제로가 된다. 이 경우도 누출 판정 수단은 피검사체(A, B)의 상황에 관계없이 「누출 없음」으로 오판정을 내릴 우려가 있다.

본 출원인은 상기한 누출 검사 장치의 결점을 해소하기 위하여, 자기진단기능 부착 차압식 리크 테스터를 제안했다(특허문헌 2 참조).

앞에 제안한 자기진단기능 부착 차압식 리크 테스터에서는, 검사의 개시 전에, 밀봉 밸브(204A와 204B)의 어느 일방을 닫은 상태에서 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y 사이를 도통시키는 제어를 행하고, 그 때 검출된 압력차를 가변 이득 증폭기가 저이득으로 증폭한 값이 NG 레벨을 초과하면, 리크 테스터가 정상이라고 판정한다. 즉, 밀봉 밸브(204A와 204B)의 어느 한쪽이 닫혀 있는 상태에서 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y 사이를 도통시키는 제어를 하면, 3방향 전자 밸브(203)가 정상적으로 동작하고 있으면, 피검사체 또는 기준 탱크(207)에만 압력이 주어진다. 이 상태에서 차압계(205)가 정상이고, 게다가 판정 장치(300)가 정상이면, 저이득의 증폭감도에서도 압력차의 절대값은 NG 레벨 이상으로 되므로 리크 테스터가 정상이라는 판정 결과가 출력될 것이다. 따라서, 이때, 피검사체에 누출이 있는 취지의 판정 결과가 출력되지 않으면, 그것으로서, 어느 하나가 불량으로 되었다고 판단할 수 있다.

특허문헌 1: 일본 특허 제1775588호 공보

특허문헌 2: 일본 특공평7-101193호 공보

(발명의 개시)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

일본 특공평7-101193호 공보에 개시된 방법에서는, 검사 개시 시의 약간의 시간을 들여서 자기진단을 행하고 있다. 이 약간의 시간은 「0.5초 정도」인 것이, 일본 특공평7-101193호 공보의 [0025]에 기재되어 있다. 워크의 수가 수 10개부터 수 100개 정도이면, 이 자기진단에 요하는 시간의 영향은 작다. 그러나, 워크의 수가 많아짐에 따라, 이 영향은 커진다. 따라서, 자기진단에 요하는 시간은 한없이 제로에 가까운 것이 바람직하다.

또, 일본 특공평7-101193호 공보에 개시된 자기진단 방법은, 차압식의 누출 검사 장치밖에 적용할 수 없고, 게이지압식의 누출 검사 장치에는 적용할 수 없다.

본 발명의 제 1 목적은 자기진단에 특별한 시간을 소비하지 않는 누출 검사 장치의 이상 검출 방법과, 이 이상 검출 방법을 실시하는 누출 검사 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 제 2 목적은, 차압식 또는 게이지압식을 막론하고, 이상 검출 동작을 실행할 수 있는 누출 검사 장치의 이상 검출 방법과, 이 이상 검출 방법을 실시하는 누출 검사 장치를 제공하는 것에 있다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 제 1 태양으로서, 피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에 누출이 있는 아닌지를 검사하는 누출 검사 장치의 이상동작을 검출하는 이상 검출 방법에 있어서, 교정 과정과 검사 과정을 포함하고, 상기 교정 과정은 표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료 시점과, 당해 완료시점으로부터 소정 시간이 경과한 제1 시점 사이에서 발생했다, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1)을 기억부에서 기억하는 과정과, 상기 제1 시점과, 당해 제1 시점부터 상기 소정 시간이 더 경과한 제2 시점 사이에서 발생한, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B2)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B2)을 기억부에서 기억하는 과정을 포함하고, 상기 검사 과정은, 누출 검사가 행해지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점부터 상기 소정 시간이 경과한 제3 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1')을 기억부에서 기억하는 과정과, 상기 제3 시점과, 당해 제3 시점부터 상기 소정 시간이 더 경과한 제4 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B2')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B2')을 기억부에서 기억하는 과정과, 파형비(K)를 K=(B1'-B2')/(B1-B2)로서 연산하는 과정과, 상기 파형비(K)의 값을 사용하여 동작 이상을 판정하는 과정을 포함하는 방법을 제안한다. 또한, "계측"이란 물리량을 측정하는 것 및 측정된 물리량으로부터 어떤 값을 산출하는 것 모두를 포함하는 개념인 것으로 정의한다.

여기에서, 교정 과정에서 측정한 압력 변화값의 차 B1-B2가 0보다도 충분히 크고, 검사 과정에서 측정한 압력 변화값의 차 B1'-B2'의 값이 (B1'-B2')≒0일 경우, 파형비(K)는 K≒0이 된다. 파형비(K)가 K≒0인 경우, 검사 과정에서, 피검사체에 공기압이 인가되고 있지 않았거나, 계측기가 동작 불능이었던 것이 예측된다. 이것에 의해, 누출 검사 장치 중의 공압 장치계의 동작 이상을 판정할 수 있다.

또, 교정 과정을 행한 후는, 복수의 제2 피검사체에 대하여, 각각 검사 과정만을 적용해 갈 수 있다. 그리고, 본 발명의 검사 과정에서는, 누출 검사 방법에서는 필수가 되는 안정기간을 이용하여 자기진단을 행한다. 그 때문에 이 발명에서는, 자기진단에 특별한 시간을 소비하지 않는다. 즉, 누출 검사 장치의 자기진단을 위하여 특별한 시간을 소비하지 않기 때문에, 모든 제2 피검사체에 대하여 누출 검사 장치의 자기진단과 누출 검사를 실행해도, 종래의 검사시간과 동일한 시간에 검사를 종료할 수 있다.

또한, 이 방법에서는, 피검사체 내의 압력 변화값을 측정하여 검사 장치의 자기진단을 행하기 때문에, 차압식 누출 검사 장치에 한하지 않고 게이지압식 누출 검사 장치에도 적용가능하다.

또, 파형비(K)의 값이 1보다 대단히 큰 경우, 교정 과정에서 측정한 압력 변화값의 차(B1-B2)와, 검사 과정에서 측정한 압력 변화값의 차(B1'-B2')의 관계는 (B1-B2)<<(B1'-B2')이 된다((B1'-B2')은 (B1-B2)보다도 충분히 큼). 이 상황으로부터, 교정 과정에서 측정한 표준이 되는 제1 피검사체와, 검사 과정에서 측정한 실제의 측정대상인 제2 피검사체가 이질적인 것을 예측할 수 있다. 이러한 제1 피검사체와 제2 피검사체가 이질적인 것의 예측은 유효하다. 누출 검사 장치는 피검사체의 특질의 차이에 기인하여, 그 누출 판정을 잘못해버리는 경우가 있기 때문이다. 이하에 그 예를 설명한다.

(4) 예를 들면 피검사체가 주물인 경우에, 그 내벽으로부터 외벽으로 관통하는 구멍이 존재하지 않음에도 불구하고, 내벽에 다수의 기공(blowhole)이 형성되어, 기공에의 공기의 출입구가 좁고, 기공의 속에 존재하는 용적이 비교적 큰 경우가 있다. 이러한 피검사체의 누출 검사를 종래의 차압식의 누출 검사 장치(100)(도 1)가 행한 경우, 안정기간(T2)부터 검사기간(T3)에 걸쳐서 공기가 서서히 기공 내로 침입하기 때문에, 시간의 경과에 따라 차압계(205)로 계측된 압력차값이 서서히 높아지고, 종국적으로 「누출 있음」이라고 판정되는 경우가 있다. 외부로의 누출이 존재하지 않기 때문에, 본래는 「누출 없음」으로 판정되는 것이 옳지만, 내부의 기공의 존재에 의해 「누출 있음」으로 판정되어버린다. 이러한 오판정은 종래의 게이지압식의 누출 검사 장치(110)에서도 발생한다.

(5) 가압기간(T1) 및 안정기간(T2)의 각 시간 길이는 피검사체의 내용적에 의해 결정된다. 어떤 내용적의 피검사체를 다량으로 검사하는 경우, 가압기간(T1) 및 안정기간(T2)은 그들 피검사체에 적합한 시간 길이로 설정된다. 이 검사중, 간혹 내용적이 상이한 피검사체가 혼입된 경우, 이 피검사체에서는 부적절한 가압기간(T1) 및 안정기간(T2)에서 검사가 이루어지게 된다.

또, 본 발명의 제 2 태양으로서, 피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치의 이상 동작을 검출하는 이상 검출 방법에 있어서, 교정 과정과 검사 과정을 포함하고, 상기 교정 과정은 표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점부터 제1 소정 시간이 경과한 제1 시점에서의, 상기 제1 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB1)을 구하고, 당해 미분값(BB1)을 기억부에서 기억하는 과정과, 상기 제1 시점부터 제2 소정 시간이 더 경과한 제2 시점에서의, 상기 제1 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB2)을 구하고, 당해 미분값(BB2)을 기억부에서 기억하는 과정을 포함하고, 상기 검사 과정은 누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점부터 상기 제1 소정 시간이 경과한 제3 시점에서의, 상기 제2 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB1')을 구하고, 당해 미분값(BB1')을 기억부에서 기억하는 과정과, 상기 제3 시점부터 상기 제2 소정 시간이 더 경과한 제4 시점에서의, 상기 제2 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB2')을 계측하고, 당해 미분값(BB2')을 기억부에서 기억하는 과정과, 파형비(K)를 K=(BB1'-BB2')/(BB1-BB2)로서 연산하는 과정과, 파형비(K)의 값을 사용하여 동작 이상을 판정하는 과정을 포함하는 방법을 제안한다.

여기에서, 교정 과정에서 얻어진 미분값의 차 BB1-BB2이 0보다도 충분히 크고, 검사 과정에서 얻어진 미분값의 차 BB1'-BB2'의 값이 (BB1'-BB2')≒0일 경우, 파형비(K)는 K≒0이 된다. 파형비(K)가 K≒0인 경우, 검사 과정에서, 피검사체에 공기압이 가해지지 않았거나, 계측기가 동작 불능이었던 것이 예측된다. 이것에 의해, 누출 검사 장치 중의 공압 장치계의 동작 이상을 판정할 수 있다.

또, 교정 과정을 행한 후는, 복수의 제2 피검사체에 대하여, 각각 검사 과정만을 적용해 갈 수 있다. 그리고, 본 발명의 검사 과정에서는 누출 검사방법에서는 필수가 되는 안정기간을 이용하여 자기진단을 행한다. 그 때문에 이 발명에서는, 자기진단에 특별한 시간을 소비하지 않는다. 즉, 누출 검사 장치의 자기진단을 위해 특별한 시간을 소비하지 않기 때문에, 모든 제2 피검사체에 대하여 누출 검사 장치의 자기진단과 누출 검사를 실행해도, 종래의 검사시간과 동일한 시간에 검사를 종료할 수 있다.

또한, 이 방법에서는, 피검사체 내의 압력의 미분값을 사용하여 검사 장치의 자기진단을 행하기 때문에, 차압식 누출 검사 장치에 한하지 않고 게이지압식 누출 검사 장치에도 적용가능하다.

또, 파형비(K)의 값이 1보다 대단히 큰 경우, 교정 과정에서 얻어진 미분값의 차(BB1-BB2)와, 검사 과정에서 얻어진 미분값의 차(BB1'-BB2')의 관계는 (BB1-BB2)<<(BB1'-BB2')이 된다. 이 상황으로부터, 교정 과정에서 측정한 표준이 되는 제1 피검사체와, 검사 과정에서 측정한 실제의 측정대상인 제2 피검사체가 이질인 것을 예측할 수 있다.

또, 본 발명의 제 3 태양으로서, 피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치로서, 공기압 공급로를 통하여 피검사체에 접속되고, 당해 피검사체의 내부로 가압하는 공압원과, 공기압 공급로의 도중에 존재하는 개폐 가능한 밸브와, 피검사체의 내부의 압력을 계측하는 계측기와, 프로세서와, 계측기에서의 계측값을 저장하는 기억부를 포함하고, 프로세서는 밸브를 열고, 표준이 되는 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 밸브를 통하여, 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 소정 시간이 경과한 제1 시점 사이에서 발생한, 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1)을 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B1)을 기억부에서 기억하게 하는 과정과, 제1 시점과, 당해 제1 시점으로부터 소정 시간이 더 경과한 제2 시점 사이에서 발생한, 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B2)을 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B2)을 기억부에서 기억하게 하는 과정과, 밸브를 열고, 누출 검사가 이루어지는 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 밸브를 닫고, 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 소정 시간이 경과한 제3 시점 사이에서 발생한, 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1')을 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B1')을 기억부에서 기억하게 하는 과정과, 제3 시점과, 당해 제3 시점으로부터 소정 시간이 더 경과한 제4 시점 사이에서 발생한, 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B2')을 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B2')을 기억부에서 기억하게 하는 과정의 실행을 제어하고, 파형비(K)를 K=(B1'-B2')/(B1-B2)로서 연산하는 과정과, 파형비(K)의 값을 사용하여 동작 이상을 판정하는 과정을 실행하는 장치를 제안한다.

또, 본 발명의 제 4 태양으로서, 피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치로서, 공기압 공급로를 통하여 상기 피검사체에 접속되고, 당해 피검사체의 내부로 가압하는 공압원과, 상기 공기압 공급로의 도중에 존재하는 개폐 가능한 밸브와, 상기 피검사체의 내부의 압력을 계측하는 계측기와, 프로세서와, 상기 계측기에서의 계측값을 저장하는 기억부를 포함하고, 상기 프로세서는, 상기 밸브를 열고, 표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 밸브를 닫고, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점으로부터 제1 소정 시간이 경과한 제1 시점에서의, 상기 제1 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB1)을 구하고, 당해 미분값(BB1)을 기억부에서 기억하게 하는 과정과, 상기 제1 시점으로부터 제2 소정 시간이 더 경과한 제2 시점에서의, 상기 제1 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB2)을 구하고, 당해 미분값(BB2)을 기억부에서 기억하게 하는 과정과, 상기 밸브를 열고, 누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 밸브를 닫고, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점으로부터 상기 제1 소정 시간이 경과한 제3 시점에서의, 상기 제2 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB1')을 구하고, 당해 미분값(BB1')을 기억부에서 기억하게 하는 과정과, 상기 제3 시점으로부터 상기 제2 소정 시간이 더 경과한 제4 시점에서의, 상기 제2 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB2')을 구하고, 당해 미분값(BB2')을 기억부에서 기억하게 하는 과정의 실행을 제어하고, 파형비(K)를 K=(BB1'-BB2')/(BB1-BB2)로 하여 연산하는 과정과, 상기 파형비(K)의 값을 사용하여 동작 이상을 판정하는 과정을 실행하는 장치를 제안한다.

또, 본 발명의 제3, 4 태양에서, 바람직하게는, 상기 제2 피검사체가 주물이며, 상기 프로세서는, 상기 파형비(K)가 1보다 소정값 이상 클 경우에, 상기 제2 피검사체의 내벽에 기공이 있는 것으로 판정한다.

또, 본 발명의 제3, 4 태양에서, 바람직하게는, 상기 프로세서는, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해, 당해 제2 피검사체에 누출이 있는지 아닌지를 판정하고, 상기 파형비(K)가 0에서 소정값 이내인 것으로 판정한 경우에, 상기 공기압 공급로 또는 상기 밸브 또는 상기 계측기에 이상 있음으로 판정한다.

또, 본 발명의 제 3 태양의 일례로서, 상기 계측기는, 차압계이고, 상기 압력 변화값(B1, B2, B1', B2')은, 각각, 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부와 기준 탱크의 내부 사이의 압력차의 변화값이다.

또, 본 발명의 제 4 태양의 일례로서, 상기 계측기는 차압계이고, 상기 미분값(BB1, BB2, BB1', BB2')은, 각각, 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부와 기준 탱크의 내부 사이의 압력차의 미분값이다.

또, 본 발명의 제 3 태양의 일례로서, 상기 계측기는 압력계이고, 상기 압력 변화값(B1, B2, B1', B2')은, 각각, 대기압에 대한 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부압력의 변화값이다.

또, 본 발명의 제 4 태양의 일례로서, 상기 계측기는 압력계이고, 상기 미분값(BB1, BB2, BB1', BB2')은, 각각, 대기압에 대한 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부압력의 미분값이다.

또, 본 발명의 제 5 태양으로서, 피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치의 이상 동작을 검출하는 이상 검출 방법에 있어서, 교정 과정과 검사 과정을 포함하고, 상기 교정 과정은 표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 소정 시간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1)을 기억부에서 기억하는 과정을 포함하고, 상기 검사 과정은 누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 상기 소정 시간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1')을 기억부에서 기억하는 과정과, 상기 압력 변화값(B1, B1')이, 정수 γ, δ에 대하여 γ·B1+δ>B1'을 나타내는 경우에, 누출 검사 장치의 동작 이상으로 판정하는 과정을 포함하는 방법을 제안한다.

여기에서, 본 발명의 제 5 태양에서는, 필수가 되는 안정기간을 이용하고, 교정 과정에서 표준이 되는 압력 변화값(B1)을 계측하고, 검사 과정에서 진단대상이 되는 압력 변화값(B1')을 측정하고, 그 대소관계를 비교하는 것만으로 누출 검사 장치의 이상을 검출할 수 있다.

즉, 교정 과정에서는 누출이 없는 제1 피검사체를 이용하여, 이 제1 피검사체 내의 압력 변화값(B1)을 측정한다. 따라서, 이 압력 변화값에는 누출 성분은 포함되지 않고 봉입된 공기의 단열 변화에 수반되는 압력 변화값만이 검출된다.

이에 반해, 검사 과정에서 측정하는 압력 변화값(B1')은 누출이 있을 지도 모르는 제2 피검사체 내의 압력 변화를 계측하고 있다. 따라서, 누출 검사 장치가 정상적으로 동작하고 있으면, 이러한 조건에서 계측된 압력 변화값 B1과 B1'의 사이에는, 이상적으로는 반드시 B1≤B1'의 관계가 성립할 것이다.

본 발명의 제 5 태양에서는 이 현상을 이용하여, 검사 과정의 안정기간에 측정하는 제2 피검사체 내의 압력 변화값(B1')과, 교정 과정에서 측정한 압력 변화값(B1)을 비교하여, 정수 γ, δ에 대하여 γ·B1+δ>B1'일 경우에 검사 장치가 이상으로 판정한다. 또한, γ,δ는 오차를 고려하여 설정되는 정수이다.

또, 교정 과정을 행한 후는, 복수의 제2 피검사체에 대하여, 각각 검사 과정만을 적용해 갈 수 있다. 본 발명의 검사 과정에서는 누출 검사 방법에서는 필수가 되는 안정기간을 이용하여 자기진단을 행한다. 그 때문에 본 발명에서는, 자기진단에 특별한 시간을 소비하지 않는다. 즉, 누출 검사 장치의 자기진단을 위해 특별한 시간을 소비하지 않기 때문에, 모든 제2 피검사체에 대하여 누출 검사 장치의 자기진단과 누출 검사를 실행해도 종래의 검사시간과 동일한 시간에 검사를 종료할 수 있다.

또, 본 발명의 제 6 태양으로서, 피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치로서, 공기압 공급로를 통하여 상기 피검사체에 접속되고, 당해 피검사체의 내부로 가압하는 공압원과, 상기 공기압 공급로의 도중에 존재하는 개폐 가능한 밸브와, 상기 피검사체의 내부의 압력을 계측하는 계측기와, 프로세서와, 상기 계측기에서의 계측값을 저장하는 기억부를 포함하고, 상기 프로세서는, 상기 밸브를 열고, 표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 밸브를 닫고, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 소정 시간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1)을 상기 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B1)을 기억부에서 기억하게 하는 과정과, 상기 밸브를 열고, 누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 상기 밸브를 닫고, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 상기 소정 시간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1')을 상기 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B1')을 기억부에서 기억하게 하는 과정의 실행을 제어하고, 상기 압력 변화값(B1, B1')이 정수 γ, δ에 대하여 γ·B1+δ>B'을 나타내는 경우에, 누출 검사 장치의 동작 이상으로 판정되는 과정을 실행하는 장치를 제안한다.

또, 본 발명의 제 6 태양의 일례로서, 상기 계측기는 차압계이고, 상기 압력 변화값(B1, B1')은, 각각, 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부와 기준 탱크의 내부 사이의 압력차의 변화값이다.

또, 본 발명의 제 6 태양의 일례로서, 상기 계측기는 압력계이고, 상기 압력 변화값(B1, B')은, 각각, 대기압에 대한 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부압력의 변화값이다.

(발명의 효과)

이상과 같이, 본 발명에서는, 자기진단에 특별한 시간을 소비하지 않고, 누출 검사 장치의 이상을 검출할 수 있다.

또, 본 발명에서는, 차압식 또는 게이지압식을 막론하고, 이상 검출 동작을 실행할 수 있다.

도 1은 종래의 차압식 누출 검사 장치의 구성을 도시하는 도면이다.

도 2는 누출 검사 장치의 대략의 동작을 설명하기 위한 그래프이다. 도 2A는 가변 이득 증폭기의 출력값의 시간변화를 나타내는 그래프이다. 또한 도 2B는 가압기간(T1)일 때에 H(High) 상태가 되고, 그 이외일 때에 L(Low) 상태가 되는 타이밍 신호(C1)를 나타낸 그래프이다. 도 2C는 안정기간(T2)일 때에 H 상태가 되고, 그 이외일 때에 L 상태가 되는 타이밍 신호(C2)를 나타낸 그래프이다. 도 2D는 검사기간(T3)일 때에 H 상태가 되고, 그 이외일 때에 L 상태가 되는 타이밍 신호(C3)를 나타낸 그래프이다. 도 2E는 배기기간(T4)일 때에 H 상태가 되고, 그 이외일 때에 L 상태가 되는 타이밍 신호(C4)를 나타낸 그래프이다.

도 3은 종래의 게이지압식 누출 검사 장치의 구성을 도시하는 도면이다.

도 4A는 압력계로부터 출력되는 압력측정값이 변화되는 모습을 나타낸 그래프이다. 도 4B는 판정 장치의 가변 이득 증폭기의 출력파형을 나타내는 그래프이다. 또, 도 4C는 가압기간(T1)일 때에 H(High) 상태가 되고, 그 이외일 때에 L(Low) 상태가 되는 타이밍 신호(C1)를 나타낸 그래프이다. 도 4D는 안정기간(T2)일 때에 H 상태가 되고, 그 이외일 때에 L 상태가 되는 타이밍 신호(C2)를 나타낸 그래프이다. 도 4E는, 검사기간(T3)일 때에 H 상태가 되고, 그 이외일 때에 L 상태가 되는 타이밍 신호(C3)를 나타낸 그래프이다. 도 4F는 배기기간(T4)일 때에 H 상태가 되고, 그 이외일 때에 L 상태가 되는 타이밍 신호(C4)를 나타낸 그래프이다.

도 5는 제 1 실시형태의 누출 검사 장치의 구성을 도시하는 도면이다.

도 6은 파형비(K)를 구하기 위한 측정조건을 예시한 그래프이다.

도 7은 오작동의 예(2)의 상태에서 측정된, 피검사체의 내부와 기준 탱크의 내부와의 압력차의 시간변화를 나타내는 곡선 X-3과, 전술한 곡선 X-1을 나타내는 도면이다.

도 8은 제 2 실시형태의 누출 검사 장치의 구성을 나타내는 도면이다.

도 9는 미분값을 사용하여 차압식의 누출 검사 장치에서 파형비(K)를 구하기 위한 측정조건을 예시한 그래프이다.

도 10은 제 4 실시형태의 누출 검사 장치의 구성을 도시하는 도면이다.

도 11은 제 4 실시형태의 파형비(K)를 구하기 위한 측정조건을 예시한 그래프이다.

도 12는 오작동의 예(2)의 상태에서 측정된, 피검사체의 내부와 기준 탱크(207)의 내부와의 압력차의 시간변화를 나타내는 곡선 X-3과, 전술한 곡선 X-1을 나타내는 도면이다.

도 13은 제 5 실시형태의 누출 검사 장치의 구성을 도시하는 도면이다.

(부호의 설명)

100, 110, 500, 510, 700, 710 누출 검사 장치

200, 400 공압 장치

300, 600, 610, 800, 810 판정 장치

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

[제 1 실시형태]

본 발명의 제 1 실시형태를 설명한다.

<개요>

제 1 실시형태는 본 발명의 제1, 3 태양을 차압식의 누출 검사 장치에 적용한 실시형태이다.

제 1 실시형태에서는, 교정 과정 및 검사 과정 각각에 있어서 안정기간을 2분할하고, 안정기간의 전반의 기간에서 전술한 압력 변화값(B1 또는 B1')을 측정하고, 후반의 기간에서 압력 변화값(B2 또는 B2')을 측정한다.

교정 과정에서 측정된 압력 변화값(B1과 B2)은, (B1-B2)로서 기억부에서 기억되고, 검사 과정시에 파형비(K)를 계산할 때에 이용된다. 검사 과정에서 피검사체의 누출의 유무 판정과 함께 측정된 압력 변화값(B1'과 B2')은, 파형비(K)=(B1'-B2')/(B1-B2)의 연산에 사용된다.

여기에서, 산출된 파형비(K)가 K≒1일 경우, 누출 검사 장치가 정상적으로 동작하고 있는 것으로 추정할 수 있다.

또, 피검사체의 누출의 판정 결과에 관계없이, 파형비(K)가 K≒0인 경우에는, 누출 검사 장치의 공압 장치에 이상이 발생하고 있는 것으로 추정할 수 있다.

또, 피검사체의 누출의 판정 결과에 관계없이, 파형비(K)가 K>>1인 경우에는, 주로 피검사체가 표준이 되는 피검사체와 이질인 것으로 추정할 수 있다.

<상세>

도 5는 제 1 실시형태의 누출 검사 장치(500)의 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 5에서 도 1과 공통되는 부분에 대해서는, 도 1과 동일한 부호를 붙이고, 설명을 간략화한다.

본 형태의 누출 검사 장치(500)는 공압 장치(200)와 판정 장치(600)로 구성된다. 공압 장치(200)의 구성은 전술한 종래 구성과 동일하며, 피검사체의 내부로 가압하는 컴프레서 등의 공압원(201)과, 이 공압원(201)으로부터 토출되는 공기량을 조정하고, 공압원(201)이 외부에 가하는 공기압을 소정의 공기압으로 조정하는 압력 조절 밸브(202)와, 압력 조절 밸브(202)로 압력조절된 공기압을 피검사체(A, B)측 및 기준 탱크(207)측에 가하는 상태(포트 X-Y 사이의 도통상태)와, 피검사체(A, B)측 및 기준 탱크(207)측의 공기를 대기로 배기하는 상태(포트 Y-Z 사이의 도통상태)를 전환 가능한 3방향 전자 밸브(203)와, 피검사체(A 또는 B)의 내부 및 기준 탱크(207)의 내부에 공기압을 가한 상태에서 이들 내부의 공기를 밀봉하기 위한 밀봉 밸브(204A, 204B)와, 피검사체(A 또는 B)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부와의 압력차를 측정하는 차압계(205)("측정기"에 상당)와, 피검사체(A)와 피검사체(B)의 어느 곳에 공기압을 가할지를 전환하여, 일방의 피검사체를 교환 중에 타방의 피검사체를 검사 가능하게 하기 위한 전환 밸브(206A, 206B)와, 기준 탱크(207)와, 공기압 공급관로를 피검사체(A) 및 피검사체(B)에 접속하기 위한 접속 지그(208A, 208B)로 구성된다. 또한, 공기압 공급관로란 공압원(201)의 토출구에 접속되어, 공기를 피검사체(A, B)나 기준 탱크(207)에 공급하기 위한 관로를 의미한다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 이 공기압 공급관로의 도중에는, 상기의 압력 조절 밸브(202), 3방향 전자 밸브(203), 밀봉 밸브(204A, 204B), 전환 밸브(206A, 206B)가 존재한다.

판정 장치(600)는 차압계(205)의 출력신호를 증폭하는(이득을 저이득 상태와 고이득 상태로 전환 가능) 가변 이득 증폭기(301)와, AD 변환기(302)와, 입력 포트(303), CPU(304)와, ROM(305), RAM(306) 및 출력 포트(307)로 구성되는 마이크로컴퓨터와, 누출 판정 표시기(308)와, 누출 검사 장치(500)의 이상이나 피검사체의 이상이 검출되었을 때에 그 이상을 표시하는 이상 표시기(309)를 구비한다.

이 예의 ROM(305)에는, 마이크로컴퓨터를, 동작 타이밍 발생 수단, 제어정보 생성 수단, 측정값 기억 수단, 누출 판정 수단, 표준값 측정 수단, 검사값 측정 수단, 파형비 연산 수단 및 이상 판정 수단으로서, 각각 동작시키기 위한 동작 타이밍 발생 프로그램, 제어정보 생성 프로그램, 측정값 기억 프로그램, 누출 판정 프로그램, 표준값 측정 프로그램, 검사값 측정 프로그램, 파형비 연산 프로그램 및 이상 판정 프로그램이 기억되어 있다. 이들 프로그램은, 마이크로 컴퓨터의 기동시에, ROM(305)으로부터 읽혀지고, 동작 타이밍 발생 프로그램(306A), 제어정보 생성 프로그램(306AB), 측정값 기억 프로그램(306B), 누출 판정 프로그램(306C), 표준값 측정 프로그램(306D), 검사값 측정 프로그램(306E), 파형비 연산 프로그램(306F) 및 이상 판정 프로그램(306G)으로서 RAM(306)에 기억된다. RAM(306)에 기억된 프로그램은 CPU(304)에 읽혀지고, CPU(304)는 이들 프로그램을 해독·실행함으로써 상기의 각 수단으로서 기능한다.

본 형태의 이상 검출 방법은, 누출 검사를 실시하기 직전에 존재하는 안정기간(T2)을 이용하여 파형비(K)를 구하고, 파형비(K)의 값에 따라 누출 검사 장 치(500)나 피검사체의 이상을 판정하려고 하는 점에 특징이 있다.

도 6은 파형비(K)를 구하기 위한 측정조건을 예시한 그래프이다. 여기에서, 종축은 피검사체(A 또는 B)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부와의 압력차를 나타내고, 횡축은 시간을 나타낸다. 도 6에 도시하는 곡선 X-1은 교정 과정의 압력차 특성을 나타내고, 곡선 X-2는 검사 과정의 압력차 특성을 나타낸다. 또, 선 C는 피검사체(A 또는 B)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부와의 압력차 중, 피검사체에 누출이 있는 것에 기인하여 발생한 압력차를 나타낸다. 이하, 이 도면을 적당하게 인용하면서 본 형태의 이상 검출 방법을 설명한다.

<<교정 과정>>

본 형태의 이상 검출 방법은 교정 과정과 검사 과정을 포함한다. 교정 과정에서는 접속 지그(208A 또는 208B)중 어느 하나에, 누출이 없는, 표준이 되는 피검사체(A 또는 B)의 어느 하나(제1 피검사체)를 접속한다. 여기에서, 접속 지그(208A)에 피검사체(A)를 접속하는 경우에는, 전환 밸브(206A)가 열리고, 전환 밸브(206B)가 닫힌다. 반대로, 접속 지그(208B)에 피검사체(B)를 접속하는 경우에는, 전환 밸브(206B)가 열리고, 전환 밸브(206A)가 닫힌다.

이 상태에서, 가압기간(T1), 안정기간(T2), 검사기간(T3) 및 배기기간(T4)의 각 동작이 행해진다. 또한, 이들 각 기간의 동작의 제어는 다음과 같이 행해진다.

우선, CPU(304)에 동작 타이밍 발생 프로그램(306A)이 읽혀져서 구성되는 동작 타이밍 발생 수단이 각 기간에 대응하는 타이밍 신호를 발생시킨다. CPU(304)에 제어정보 생성 프로그램(306AB)이 읽혀져서 구성되는 제어정보 생성 수단은, 동 작 타이밍 발생 수단이 발생시킨 타이밍 신호가 나타내는 기간의 동작을, 3방향 전자 밸브(203), 밀봉 밸브(204A, 204B), 가변 이득 증폭기(301)에 실행시키기 위한 제어신호를 생성한다. 생성된 제어신호는 출력 포트(307)로부터 3방향 전자 밸브(203), 밀봉 밸브(204A, 204B), 가변 이득 증폭기(301)에 출력된다. 3방향 전자 밸브(203), 밀봉 밸브(204A, 204B), 가변 이득 증폭기(301)는 제어신호에 따라 각 기간의 동작을 행한다. 이하에, 각 기간의 동작을 설명한다.

가압기간(T1)에서는, 공압원(201)을 구동시키고, 압력 조절 밸브(202)를 연 상태에서, 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y 사이를 도통시키고, 또한 밀봉 밸브(204A와 204B)를 열어 그것들을 각각 도통시킨다. 이것에 의해, 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 어느 하나(제1 피검사체)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부와에 공기압이 가해진다. 이 상태는 가압기간(T1)이 종료될 때까지 계속된다. 그리고, 가압기간(T1)이 종료된 시점에서, 밀봉 밸브(204A와 204B)를 닫아 각각의 도통을 차단한다. 이것에 의해, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 공기가 밀봉되고, 기준 탱크(207)의 내부의 공기가 밀봉된다.

다음 안정기간(T2)에서는, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부와, 기준 탱크(207)의 내부 사이에 발생하는 압력차를 측정한다. 본 형태의 예에서는, 안정기간(T2)을 2분할하고, 전반의 T2/2의 기간의 종료 시점과, 후반의 T2/2의 기간의 종료 시점에서, 각각의 기간에서의 압력 변화값(B1과 B2)을 측정한다(도 6의 곡선 X-1 참조).

즉, 우선, 차압계(205)를 사용하여, 가압기간(T1)(제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 그 내부의 공기를 밀봉하는 과정을 포함함)의 완료시점과, 당해 완료시점부터 시간 T2/2가 경과한 제1 시점 사이(안정기간(T2)의 전반의 T2/2의 기간)에서 발생한, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B1)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1)을 RAM(306)에 기억한다. 다음에, 제1 시점과, 당해 제1 시점으로부터 시간(T2/2)이 더 경과한 제2 시점 사이(안정기간(T2)의 후반의 T2/2의 기간)에서 발생한, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B2)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B2)을 RAM(306)에 기억한다. 또한, 본 형태에서의 "압력 변화값"이란 공기압이 가해진 피검사체(A 또는 B)의 내부의 공기압과 기준 탱크(207)의 내부의 공기압의 압력차의 변화값을 의미한다. 또, 압력 변화값(B2)은 B3-B1에 의해 구할 수 있다. 또한, B3은 교정 과정의 가압기간(T1)의 완료시점과 안정기간(T2)의 완료시점 사이에서 생긴 압력 변화값을 의미한다. 그 후, 측정된 압력 변화값 B1과 B2의 차(B1-B2)가 구해지고, 이것이 표준값으로서 RAM(306)에 기억된다.

또한, 교정 과정의 안정기간(T2)에서 행해지는 계측처리의 제어는, CPU(304)에 표준값 측정 프로그램(306D)이 읽혀져서 구성되는 표준값 측정 수단에 의해 행해진다. 또, 압력 변화값(B1, B2)이나 표준값(B1-B2)을 RAM(306)에 기억하는 처리는 CPU(304)에 측정값 기억 프로그램(306B)이 읽혀져서 구성되는 측정값 기억 수단에 의해 제어된다.

검사기간(T3) 및 배기기간(T4)의 동작은 전술한 바와 같기 때문에, 설명을 생략한다.

<<검사 과정>>

검사 과직정은 누출 검사 대상이 되는 피검사체의 수만큼 반복된다.

검사 과정에서는 접속 지그(208A 또는 208B) 중 어느 하나에, 누출 검사 대상이 되는 피검사체(A 또는 B)의 어느 하나(제2 피검사체)를 접속한다. 여기에서, 접속 지그(208A)에 피검사체(A)를 접속하는 경우에는, 전환 밸브(206A)가 열리고, 전환 밸브(206B)가 닫힌다. 반대로, 접속 지그(208B)에 피검사체(B)를 접속하는 경우에는 전환 밸브(206B)가 열리고, 전환 밸브(206A)가 닫힌다.

이 상태에서, 교정 과정과 마찬가지로 가압기간(T1), 안정기간(T2), 검사기간(T3) 및 배기기간(T4)의 각 동작이 행해진다. 또한, 검사기간(T3) 및 배기기간(T4)의 동작은 전술한 바와 같기 때문에 설명을 생략하고, 이하에서는, 검사 과정에서의 가압기간(T1) 및 안정기간(T2)의 동작을 설명한다.

가압기간(T1)에서는, 교정 과정과 마찬가지로, 제2 피검사체인 피검사체(A 또는 B)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부로 가압하고, 가압기간(T1)이 종료된 시점에서, 이들 내부의 공기를 각각 밀봉한다.

다음 안정기간(T2)에서는, 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부와, 기준 탱크(207)의 내부 사이에 발생하는 압력차를 측정한다. 본 형태의 예에서는, 안정기간(T2)을 2분할하고, 전반의 T2/2의 기간의 종료 시점과, 후반의 T2/2의 기간의 종료 시점에서, 각각의 기간에서의 압력 변화값(B1'과 B2')을 측정한다(도 6의 곡선 X-2 참조).

즉, 우선, 가압기간(T1)(제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 그 내부의 공기를 밀봉하는 과정을 포함함)의 완료시점과, 당해 완료시점부터 시간 T2/2이 경과한 제3 시점 사이(안정기간(T2)의 전반의 T2/2의 기간)에서 발생한, 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B1')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1')을 RAM(306)에 기억한다. 다음에 제3 시점과, 당해 제3 시점부터 시간 T2/2가 더 경과한 제4 시점 사이(안정기간(T2)의 후반의 T2/2의 기간)에서 발생한, 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B2')을 계측하고, 당해 압력변화값(B2')을 RAM(306)에 기억한다. 그 후, 측정된 압력 변화값 B1'과 B2'의 차(B1'-B2')가 구해지고, 이것이 측정값으로서 RAM(306)에 기억된다. 또한, 검사 과정의 안정기간(T2)에서 행해지는 계측처리의 제어는 CPU(304)에 검사값 측정 프로그램(306E)이 읽혀져서 구성되는 검사값 측정 수단에 의해 행해진다. 또, 압력 변화값(B1', B2')이나 측정값(B1'-B2')을 RAM(306)에 기억하는 처리는 측정값 기억 수단에 의해 제어된다.

또한, 검사 과정에서는 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 누출의 유무는 불명확하다. 그러나, 가령 피검사체에 누출이 존재했다고 해도, 이하의 이유에 의해, 측정값(B1'-B2')으로부터 누출에 의한 영향은 제거되어, 결과적으로 파형비(K)로부터도 누출에 의한 영향이 제거된다.

즉, 도 6의 선 C로 나타내는 바와 같이, 피검사체의 내부와 기준 탱크(207)의 내부의 차압 중, 피검사체에 누출이 있는 것에 기인하여 발생한 압력차는 시간의 경과에 따라 일정한 비율로 증가한다. 이 경우, 압력 변화값(B1') 중 피검사체에 누출이 있는 것에 기인하는 압력 변화값(△C1)과, 압력 변화값(B2') 중 피검사 체에 누출이 있는 것에 기인하는 압력 변화값(△C2)은 동일하게 된다(△C1=△C2). 따라서, 이들 압력 변화값 B1'과 B2'의 차분을 측정값(B1'-B2')으로서 연산함으로써, 피검사체의 누출에 기인하는 성분(△C1과 △C2)은 제거된다.

다음에 CPU(304)에 파형비 연산 프로그램(306F)이 읽혀져서 구성되는 파형비 연산 수단이 RAM(306)으로부터 표준값(B1-B2)과 측정값(B1'-B2')을 읽어들이고, 파형비(K)를 K=(B1'-B2')/(B1-B2)로서 연산한다. 산출된 파형비(K)는 RAM(306)에 저장된다.

다음에 CPU(304)에 이상 판정 프로그램(306G)이 읽혀져서 구성되는 이상 판정 수단이, RAM(306)으로부터 파형비(K)를 읽어들이고, 파형비(K)의 값이 1로부터 소정값 이상 떨어진 경우에, 누출 검사 장치의 동작 이상으로 판정하고, 이 판정 결과는 출력 포트(307)로부터 출력되고, 이상 표시기(309)로부터 출력된다. 또한, 이 "소정값"은, 누출이 없는 피검사체의 품질 편차에 기초하여 적당하게 결정되는 값이며, 예를 들면, K≤1-α(0<α≤1)이거나, K≥1+β(β>0)일 때, 누출 검사 장치의 동작 이상으로 판정된다. 또한, α의 1 예로서는, 예를 들면 α=0,3을 예시할 수 있고, β의 1 예로서는, 예를 들면 β=0.5를 예시할 수 있다. 또, β에 설정가능한 상한은 없고, 장치의 구성 등에 따라 적당하게 설정 가능하다.

즉, 이 파형비(K)는 각 검사 과정에서 계측된 압력차 추이를 나타내는 곡선 X-2(도 6)가, 교정 과정에서 계측된 압력차 추이를 나타내는 곡선 X-1에 근사하고 있는지 아닌지를 묻는 지표로서 이용된다. K=1일 때, 검사 과정의 곡선 X-2는 교정 과정의 곡선 X-1에 근사하고 있다고 할 수 있다. 파형비(K)의 값이 1로부터 떨 어질수록, 검사 과정의 곡선 X-2는 교정 과정의 곡선 X-1으로부터 떨어져, 누출 검사 장치가 오작동을 일으키고 있을 가능성이 높다고 할 수 있다.

예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(1)와 같이, 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y의 사이가 도통하지 않거나, 또는 밀봉 밸브(204A 및 204B)가 열리지 않은 채 누출 검사가 행해진 경우에는, 공기압이 피검사체 및 기준 탱크(207)에 가해지고 있지 않기 때문에, 측정값(B1'-B2')≒0이 되고, 파형비(K)≒0이 된다. 또한, 동일한 상황은 공기압 공급로에 막힘이 생긴 경우에도 일어날 수 있다. 이상 판정 수단은, 누출 검사의 결과를 막론하고, 파형비(K)가 K≤1-α를 충족시킬 때(파형비(K)가 0부터 소정값 이내일 때), 「누출 검사 장치가 오작동했다」라고 판정하고, 그 판정 결과를 이상 표시기(309)에 표시되게 한다.

또, 예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(2)와 같이, 3방향 전자 밸브(203)와 밀봉 밸브(204A, 204B)는 모두 정상동작했지만, 전환 밸브(206A, 206B)의 어느 쪽도 닫힌 상태인 채로, 누출 검사가 실행된 경우에는, 압력 변화값(B1' 및 B2')은 거의 0이 된다. 전환 밸브(206A 또는206B)에 의해, 피검사체(A 또는 B)의 내부의 공간이 차압계(205)가 측정을 행하는 공간으로부터 차단되어 있기 때문에, 공기압 공급로 내부만의 단열 변화는 단시간에 수렴되기 때문이다.

도 7은, 오작동의 예(2)의 상태에서 측정된, 피검사체의 내부와 기준 탱크(207)의 내부와의 압력차의 시간변화를 나타내는 곡선 X-3과, 전술한 곡선 X-1을 나타내는 도면이다. 도 7의 곡선 X-3에 나타내는 바와 같이, 압력 변화값(B1' 및 B2')은 거의 0이 된다. 이 결과, 파형비 연산 수단이 산출하는 파형비(K)는 K≒0 이 된다. 또한, 동일한 상황은 공기압 공급로에 막힘이 생긴 경우에도 일어날 수 있다. 이상 판정 수단은, 누출 검사의 결과를 막론하고, 파형비(K)이 K≤1-α을 충족시키 때(파형비(K)가 0부터 소정값 이내일 때), 「누출 검사 장치가 오작동했다」라고 판정하고, 그 판정 결과를 이상 표시기(309)에 표시되게 한다.

또, 예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(3)와 같이, 차압계(205)가 동작 불능으로 된 경우에는, 검사 과정에서 측정되는 압력 변화값(B1' 및 B2')은 모두 0으로 되기 때문에, 파형비 연산 수단이 산출하는 파형비(K)는 K≒0으로 된다. 이상 판정 수단은 누출 검사 결과에 관계없이, 파형비(K)가 K≤1-α을 충족시킬 때, 「누출 검사 장치가 오작동했다」라고 판정하고, 이상 표시기(309)에 누출 검사 장치가 이상인 것을 표시되게 한다.

즉, 이상 판정 수단은 K≤1-α를 충족시킬 때, 공기압 공급로, 3방향 전자 밸브(203), 밀봉 밸브(204A, 204B), 전환 밸브(206A, 206B) 중 어느 하나 또는 차압계(205) 중 어느 하나에 이상 있음으로 판정할 수 있다.

또, 예를 들면 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(4)와 같이, 피검사체가 주물인 경우에 있어서, 내벽에 기공이 존재하는 경우에는, 피검사체의 내용적이 커진 것과 마찬가지인 상태가 된다. 이 경우, 내부 기공이 존재하는 피검사체의 내부의 압력차의 변화량은 도 6의 곡선 X-2로 나타내는 바와 같이 곡선 X-1로 나타내는 표준이 되는 피검사체의 압력차의 변화량보다도 커진다. 이 경우, 도 6으로부터 명확한 바와 같이, 압력 변화값(B1')는 압력 변화값(B1)보다 크다. 그 결과로서 (B1'-B2')>(B1-B2)이 되고, 파형비(K)는 K>1이 된다. 이것에 의해 K가 1보다도 소정값 이상 커지면, 가령, 누출 검사 결과가 「누출 있음」이었다고 해도, 이상 판정 수단은 누출 검사 장치의 판정이 이상인 것을 검출할 수 있다. 이 경우에는, 피검사체가 주물이므로, 피검사체의 내벽면에 기공이 존재하는 것을 표시한 것과 마찬가지이다. 또한, 예를 들면, 이상 판정 수단에 피검사체가 주물인 취지의 정보가 입력되고, K≥ 1+β로 된 경우에, 이상 판정 수단이 피검사체의 내벽면에 기공이 존재한다고 판정하고, 그 결과를 이상 표시기(309)에 표시되게 하는 구성이어도 된다. 또한, 파형비(K)가 1이 아니어도 1근방인 경우는, 잡음성분에 의한 오차로서, 정규의 피검사체로서 인정하고, 1로부터 크게 떨어진 값일 때 피검사체의 내벽에 기공이 있거나 또는 장치의 이상으로서 판정하면 된다.

또, 본 형태의 구성에서는, 예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(5)와 같이, 어떤 내용적의 피검사체를 다량으로 검사하는 경우에 있어서, 가끔 내용적이 상이한 피검사체가 혼입된 경우도 검출가능하다.

즉, 이상의 설명으로부터 명확한 바와 같이, 파형비(K)는 표준이 되는 제1 피검사체와 동일한 용적을 갖는 제2 피검사체의 내부에, 기준이 되는 가압조건에서 가압하고(가압기간(T1)), 가압 후, 밀봉 밸브(204A, 204B)로 밀봉한 시점에서 워크 내의 압력 변화를 차압계(205)로 측정하여 구해진다. 따라서, 제2 피검사체의 내용적이 제1 피검사체의 내용적과 상이한 경우에는, 파형비(K)는 1로부터 떨어진 값이 된다. 1로부터 떨어진 값이라고는 해도, 1 근방의 값은 잡음성분에 의한 것으로서 정규의 피검사체로서 인정하고, 1로부터 크게 떨어진 값일 때, 피검사체가 이질적인 또는 누출 검사 장치에 이상이 있는 것으로 판정하면 된다. 예를 들면, K≤1-α'(0<α'≤1)이거나, K≥1+β'(β'>0)으로 된 경우에, 이상 판정 수단이 측정대상의 제2 피검사체가 다른 피검사체와 이질이라고 판정하는 구성이어도 된다. 또, α'의 일례로서는, 예를 들면 α'=0.5을 예시할 수 있고, β'의 일례로서는, 예를 들면 β'=1을 예시할 수 있다. 또, β'에 설정가능한 상한은 없게 ∼장치의 구성등 에 따라 적당하게 설정가능하다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 형태에 의하면 누출 검사 장치 자체의 이상은 물론, 피검사체의 이질성도 검출할 수 있다. 이 이상 판정 결과와 누출 검사 결과를 조합함으로써, 어디에 이상이 존재하고 있는지를 추정할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 본 형태에서는, 안정기간(T2)을 2분하고, 우선, 가압기간(T1)의 완료시점부터 시간 T2/2가 경과한 시점을 제1, 3 시점으로 하고, 제1, 3 시점부터 시간 T2/2가 더 경과한 시점을 제2, 4 시점으로 했다. 그러나, 가압기간(T1)의 완료시점으로부터 T2/2 이외의 소정 시간이 경과한 시점을 제1, 3 시점으로 하고, 제1, 3 시점으로부터 당해 소정 시간이 더 경과한 시점을 제2, 4 시점으로 해도 된다.

[제 2 실시형태]

본 발명의 제 2 실시형태를 설명한다.

제 2 실시형태는 본 발명의 제 1, 3 태양을 게이지압식의 누출 검사 장치에 적용한 실시형태이다. 이하에서는, 제 1 실시형태와의 차이점을 중심으로 설명하고, 제 1 실시형태와 공통되는 사항에 대해서는 설명을 생략한다.

도 8은 제 2 실시형태의 누출 검사 장치(510)의 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 8에 있어서 도 3, 도 5와 공통되는 부분에 대해서는 도 3, 5와 동일한 부호를 붙이고, 설명을 간략하게 한다.

본 형태의 누출 검사 장치(510)는 공압 장치(400)와 판정 장치(610)에 의해 구성된다. 공압 장치(400)의 구성은 전술한 종래 구성과 동일하다. 판정 장치(610)는 압력계(209)("계측기"에 상당)의 출력신호를 증폭하는(이득을 저이득 상태와 고이득 상태로 전환 가능) 가변 이득 증폭기(301A)와, AD 변환기(302)와, 입력 포트(303), CPU(304)와, ROM(305), RAM(306) 및 출력 포트(307)로 구성되는 마이크로컴퓨터와, 누출 판정 표시기(308)와, 이상 표시기(309)를 구비한다.

이하, 본 형태의 이상 검출 방법을 설명한다.

<<교정 과정>>

교정 과정에서는 제 1 실시형태와 동일하게, 접속 지그(203A 또는 208B) 중 어느 하나에, 누출이 없는, 표준이 되는 피검사체(A 또는 B) 중 어느 하나(제1 피검사체)를 접속한다.

가압기간(T1)에서는, 공압원(201)을 구동시키고, 압력 조절 밸브(202)를 연 상태에서, 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y 사이를 도통시키고, 또한 밀봉 밸브(204A와 204B)를 열어 그것들을 각각 도통시킨다. 이것에 의해, 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 어느 하나(제1 피검사체)의 내부에 테스트압(TP)이 가해진다. 이 상태는 가압기간(T1)이 종료될 때까지 계속된다. 그리고, 가압기간(T1)이 종료된 시점에서 밀봉 밸브(204A와 204B)를 닫아 각각의 도통을 차단한다. 이것에 의 해, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 공기를 밀봉한다.

다음 안정기간(T2)에서는, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 대기압에 대한 압력을 측정한다. 본 형태의 예에서는, 안정기간(T2)을 2분할하고, 전반의 T2/2의 기간의 종료 시점과, 후반의 T2/2의 기간의 종료 시점에서, 각각의 기간에서의 압력 변화값(B1과 B2)을 측정한다.

즉, 우선, 압력계(209)를 사용하고, 가압기간(T1)(제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 그 내부의 공기를 밀봉하는 과정을 포함함)의 완료시점과, 당해 완료시점부터 시간 T2/2가 경과한 제1 시점 사이(안정기간(T2)의 전반의 T2/2의 기간)에서 발생한, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B1)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1)을 RAM(306)에 기억한다. 다음에 제1 시점과, 당해 제1 시점으로부터 시간(T2/2)이 더 경과한 제2 시점 사이(안정기간(T2)의 후반의 T2/2의 기간)에서 발생한, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B2)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B2)을 RAM(306)에 기억한다. 또한, 본 형태에서의 "압력 변화값"이란 대기압에 대한 피검사체(A 또는 B)의 내부의 압력의 변화값을 의미한다. 그 후, 측정된 압력 변화값(B1과 B2)의 차(B1-B2)가 구해지고, 이것이 표준값으로서 RAM(306)에 기억된다.

또한, 교정 과정의 안정기간(T2)에서 행해지는 계측처리의 제어는 표준값 측정 수단에 의해 행해지고, 압력 변화값(B1, B2)이나 표준값(B1-B2)을 RAM(306)에 기억하는 처리는 측정값 기억 수단에 의해 제어된다.

<<검사 과정>>

검사 과정은 누출 검사 대상이 되는 피검사체의 수만큼 반복된다.

검사 과정에서는 제 1 실시형태와 마찬가지로 접속 지그(208A 또는 208B) 중 어느 하나에, 누출 검사 대상이 되는 피검사체(A 또는 B)의 어느 하나(제2 피검사체)를 접속한다.

이 상태에서, 교정 과정과 마찬가지로, 가압기간(T1), 안정기간(T2), 검사기간(T3) 및 배기기간(T4)의 각 동작이 행해진다. 또한, 검사기간(T3) 및 배기기간(T4)의 동작은 전술한 바와 같기 때문에 설명을 생략하고, 이하에서는, 검사 과정에서의 가압기간(T1) 및 안정기간(T2)의 동작을 설명한다.

가압기간(T1)에서는, 교정 과정과 마찬가지로, 제2 피검사체인 피검사체(A 또는 B)의 내부로 가압하고, 가압기간(T1)이 종료된 시점에서, 이 내부의 공기를 밀봉한다.

다음의 안정기간(T2)에서는, 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력을 측정한다. 본 형태의 예에서는, 안정기간(T2)을 2분할하고, 전반의 T2/2의 기간의 종료 시점과, 후반의 T2/2의 기간의 종료 시점에서, 각각의 기간에 있어서의 압력 변화값(B1'과 B2')을 측정한다.

즉, 우선, 가압기간(T1)(제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 그 내부의 공기를 밀봉하는 과정을 포함함)의 완료시점과, 당해 완료시점부터 시간 T2/2가 경과한 제3 시점 사이(안정기간(T2)의 전반의 T2/2의 기간)에서 발생한, 제2 피검사 체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B1')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1')을 RAM(306)에 기억한다. 다음에 제3 시점과, 당해 제3 시점부터 시간 T2/2가 더 경과한 제4 시점 사이(안정기간(T2)의 후반의 T2/2의 기간)에서 발생한, 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B2')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B2')을 RAM(306)에 기억한다. 그 후에 측정된 압력 변화값 B1'과 B2'의 차(B1'-B2')이 구해지고, 이것이 측정값으로서 RAM(300)에 기억된다. 또한, 검사 과정의 안정기간(T2)에서 행해지는 계측처리의 제어는 검사값 측정 수단에 의해 행해지고, 압력 변화값(B1', B2')이나 측정값(B1'-B2')을 RAM(306)에 기억하는 처리는 측정값 기억 수단에 의해 제어된다.

다음에, 제 1 실시형태와 마찬가지로, 이상 판정 수단이 RAM(306)으로부터 파형비(K)를 읽고, 파형비(K)의 값이 1로부터 소정값 이상 떨어진 경우에, 누출 검사 장치의 동작 이상으로 판정하고, 이 판정 결과는 출력 포트(307)로부터 출력되고, 이상 표시기(309)로부터 출력된다.

예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(1)와 같이, 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y의 사이가 도통되지 않거나, 또는 밀봉 밸브(204)가 열리지 않은 채 누출 검사가 행해진 경우에는, 공기압이 피검사체에 가해지고 있지 않기 때문에, 측정값(B1'-B2')≒0으로 되고, 파형비(K)≒0으로 된다. 따라서, 파형비(K)가 K≤1-α를 충족시킬 때(파형비(K)가 0에서부터 소정값 이내일 때), 「누출 검사 장치가 오작동했다」라고 판정할 수 있다.

또, 예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(2)과 같이, 3방향 전자 밸브(203)와 밀봉 밸브(204)는 모두 정상동작했지만, 전환 밸브(206A, 206B)의 어느 쪽도 닫힌 상태인 채로, 누출 검사가 실행된 경우에는, 압력 변화값(B1' 및 B2')은 거의 0이 된다. 전환 밸브(206A 또는 206B)에 의해, 피검사체(A 또는 B)의 내부의 공간이 압력계(209)가 측정을 행하는 공간으로부터 차단되어 있어, 공기압 공급로 내부만의 단열 변화는 단시간에 수렴되기 때문이다. 이 결과, 게이지압식의 누출 검사 장치(510)에서도 전환 밸브(206A, 206B)의 어느 쪽도 열리지 않은 경우, 파형비(K)는 K≒0으로 된다. 따라서, 파형비(K)가 K≤1-α을 충족시킬 때(파형비(K)가 0에서부터 소정값 이내일 때), 「누출 검사 장치가 오작동했다」라고 판정할 수 있다.

또, 예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(3)와 같이, 압력계(209)가 동작 불능으로 된 경우에는, 압력값의 검출을 전혀 할 수 없게 되기 때문에, 검사 과정에서 측정될 압력 변화값(B1' 및 B2')은 모두 0이 된다. 이 결과, 파형비(K)도 K≒0이 된다. 따라서, 이상 판정 수단은 누출 검사 결과에 관계없이, 파형비(K)가 K≤1-α를 충족시킬 때, 「누출 검사 장치가 오작동했다」라고 판정할 수 있다.

또, 예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(4)와 같이, 피검사체가 주물인 경우에 있어서, 내벽에 기공이 존재하는 경우에는, 피검사체의 내용적이 커진 것과 마찬가지인 상태가 된다. 이 경우, 내부 기공이 존재하는 피검사체의 내부의 압력의 변화량은 표준이 되는 피검사체의 압력의 변화량보다도 커진다. 그 결과 (B1'-B2')>(B1-B2)으로 되어, 파형비(K)는 K>1이 된다. 이것에 의해 K가 1보다도 소정값 이상 커지면, 가령, 누출 검사 결과가 「누출 있음」이었다고 해도, 이상 판정 수단은 누출 검사 장치의 판정이 이상인 것을 검출할 수 있다. 이 경우에는, 피검사체가 주물이므로, 피검사체의 내벽면에 기공이 존재하는 것을 표시한 것과 마찬가지이다. 또한, 예를 들면 이상 판정 수단에 피검사체가 주물인 취지의 정보가 입력되고, K≥1+β로 된 경우에, 이상 판정 수단이 피검사체의 내벽면에 기공이 존재한다고 판정하고, 그 결과를 이상 표시기(309)에 표시되게 하는 구성이어도 된다.

또, 본 형태의 구성에서도, 제 1 실시형태와 마찬가지로, 예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(5)와 같이, 어떤 내용적의 피검사체를 다량으로 검사하는 경우에 있어서, 가끔 내용적이 상이한 피검사체가 혼입된 경우도 검출 가능하다.

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에 의하면, 누출 검사 장치 자체의 이상은 물론, 피검사체의 이질성도 검출할 수 있다. 이 이상 판정 결과와 누출 검사 결과를 조합함으로써, 어디에 이상이 존재하고 있는지를 추정할 수 있다.

[제 3 실시형태]

제 3 실시형태는, 제 1, 2 실시형태의 변형예이다. 이하에서는, 제 1, 2 실시형태와의 차이점만을 설명한다.

제 1, 2의 실시형태에서는, 압력 변화값(B1, B2와 B1', B2')을 기초로 파형비(K)를 구하는 방법을 설명했다. 본 형태에서는, 압력 변화값(B1, B2과 B1', B2') 대신, 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB1, BB2와 BB1', BB2')을 바탕으로 파형비(K)를 구한다.

도 9는 미분값을 사용하여 차압식의 누출 검사 장치에서 파형비(K)를 구하기 위한 측정조건을 예시한 그래프이다. 여기에서, 종축은 피검사체(A 또는 B)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부와의 압력차를 나타내고, 횡축은 시간을 나타낸다. 도 9에 나타내는 곡선 X-1은 교정 과정의 압력차 특성을 나타내고, 곡선 X-2는 검사 과정의 압력차 특성을 나타낸다.

본 형태에서는, 안정기간(T2) 내에서, 임의의 2점의 시각(X1)("제1 시점" 및 "제3 시점"에 상당)과 시각(X2)("제2 시점" 및 "제4 시점"에 상당)에서의, 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값 dP_X1/dt=BB1, dP_X2/dt=BB2, dP_X1'/dt=BB1', dP_X2'/dt=BB2'를 사용하여, 파형비(K)를 K=(BB1'-BB2')/(BB1-BB2)로 구한다. 또한, 차압식의 누출 검사 장치의 경우, "피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값"이란, 피검사체의 내부의 압력과 기준 탱크(207)의 내부의 압력의 압력차의 시간에 관한 미분값을 의미한다.

또, 게이지압식의 누출 검사 장치의 경우도, 이와 마찬가지로 파형비(K)를 K=(BB1'-BB2')/(BB1-BB2)로 구할 수 있다. 또한, 게이지압식의 누출 검사 장치의 경우, "피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값"이란 피검사체의 내부의 압력의 시간에 관한 미분값을 의미한다.

미분값을 사용한 경우도, K≒0일 때 상기와 마찬가지로 공압 장치(400)의 오동작을 예측할 수 있고, K>>1일 때, 피검사체의 내벽의 기공의 존재나, 피검사체의 이질성을 예측할 수 있다.

[제 4 실시형태]

본 발명의 제 4 실시형태를 설명한다.

<개요>

제 4 실시형태는, 본 발명의 제 5, 6 태양을 차압식의 누출 검사 장치에 적용한 실시형태이다.

제 4 실시형태에서는, 교정 과정 및 검사 과정 각각에 있어서, 압력 변화값(B1 및 B1')을 측정한다. 그리고, 측정된 압력 변화값(B1 및 B1')을 사용하여, 누출 검사 장치의 이상을 검출한다.

<상세>

도 10은 제 4 실시형태의 누출 검사 장치(700)의 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 10에 있어서 도 1, 5와 공통되는 부분에 대해서는, 도 1, 5와 동일한 부호를 붙이고, 설명을 간략화한다.

본 형태의 누출 검사 장치(700)는 공압 장치(200)와 판정 장치(800)에 의해 구성된다. 공압 장치(200)의 구성은 전술한 종래 구성이나 제 1 실시형태의 구성과 동일하기 때문에 설명을 생략한다. 본 형태의 판정 장치(800)와, 제 1 실시형태의 판정 장치(600)의 상이점은, CPU(304)에 읽혀지는 표준값 측정 프로그램, 검사값 측정 프로그램, 파형비 연산 프로그램 및 이상 판정 프로그램의 내용이 상이한 점이다. 도 10에서는, 이들 프로그램을, 표준값 측정 프로그램(806D), 검사값 측정 프로그램(806E), 파형비 연산 프로그램(806F) 및 이상 판정 프로그램(806G)으 로 표기하고 있다.

본 형태의 이상 검출 방법도, 누출 검사를 실시하기 직전에 존재하는 안정기간(T2)을 이용하여 파형비(K)를 구하고, 파형비(K)의 값에 따라 누출 검사 장치(700)나 피검사체의 이상을 판정하려고 하는 점에 특징이 있다.

도 11은 본 형태의 파형비(K)를 구하기 위한 측정조건을 예시한 그래프이다. 여기에서, 종축은 피검사체(A 또는 B)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부의 압력차를 나타내고, 횡축은 시간을 나타낸다. 도 11에 도시하는 곡선 X-1은 교정 과정의 압력차 특성을 나타내고, 곡선 X-2는 검사 과정의 압력차 특성을 나타낸다. 또, 선 C는 피검사체(A 또는 B)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부와의 차압 중, 피검사체에 누출이 있는 것에 기인하여 발생한 압력차를 나타낸다. 이하, 이 도면을 적당하게 인용하면서 본 형태의 이상 검출 방법을 설명한다.

<<교정 과정>>

본 형태의 이상 검출 방법도 교정 과정과 검사 과정을 포함한다.

교정 과정에서는 제 1 실시형태와 같이 접속 지그(208A 또는 208B) 중 어느 하나에, 누출이 없는, 표준이 되는 피검사체(A 또는 B)의 어느 하나(제1 피검사체)를 접속한다.

이 상태에서, 가압기간(T1), 안정기간(T2), 검사기간(T3) 및 배기기간(T4)의 각 동작이 행해진다. 또한, 이들 각 기간의 동작의 제어는 제 1 실시형태와 동일하다.

가압기간(T1)에서는, 제 1 실시형태와 마찬가지로, 피검사체(A) 또는 피검사 체(B)의 어느 하나(제1 피검사체)의 내부와 기준 탱크(207)의 내부에 공기압이 가해진다. 이 상태는 가압기간(T1)이 종료할 때까지 계속되고, 그 후, 양쪽 내부의 공기가 밀봉된다.

다음의 안정기간(T2)에서는, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부와, 기준 탱크(207)의 내부 사이에 발생하는 압력차를 측정한다. 본 형태에서는, 가압기간(T1)(제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 그 내부의 공기를 밀봉하는 과정과를 포함함)의 완료시점과 당해 완료시점으로부터 소정 기간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B1)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1)을 RAM(306)에 기억한다. 본 형태의 예에서는, 당해 소정 기간=안정기간(T2)으로 하고, 안정기간(T2)의 종료 시점에서 압력 변화값(B1)을 측정한다(도 11의 곡선 X-1 참조). 또한, 본 형태에서의 "압력 변화값"이란 공기압이 가해진 피검사체(A 또는 B)의 내부의 공기압과, 기준 탱크(207)의 내부의 공기압의 압력차의 변화값을 의미한다.

또한, 교정 과정의 안정기간(T2)에서 행해지는 계측처리의 제어는, CPU(304)에 표준값 측정 프로그램(806D)이 읽혀져서 구성되는 표준값 측정 수단에 의해 행해진다. 또, 압력 변화값(B1)을 RAM(306)에 기억하는 처리는 측정값 기억 수단에 의해 제어된다.

<<검사 과정>>

검사 과정에서는 제 1 실시형태와 같이, 접속 지그(208A 또는 208B) 중 어느 하나에, 누출 검사 대상이 되는 피검사체(A 또는 B)의 어느 하나(제2 피검사체)를 접속한다.

다음의 안정기간(T2)에서는, 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부와, 기준 탱크(207)의 내부 사이에 발생하는 압력차를 측정한다. 본 형태에서는, 가압기간(T1)(제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 그 내부의 공기를 밀봉하는 과정을 포함함)의 완료시점과 당해 완료시점으로부터 소정 기간(교정 과정의 그것과 동일)이 경과한 시점 사이에서 발생한, 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B1')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1')을 RAM(306)에 기억한다. 본 형태의 예에서는, 당해 소정 기간=안정기간(T2)으로 하고, 안정기간(T2)의 종료 시점에서 압력 변화값(B1')을 측정한다(도 11의 곡선 X-2 참조).

또한, 검사 과정의 안정기간(T2)에서 행해지는 계측처리의 제어는 CPU(304)에 검사값 측정 프로그램(806E)이 읽혀져서 구성되는 검사값 측정 수단에 의해 행해진다. 또, 압력 변화값(B1')을 RAM(306)에 기억하는 처리는 측정값 기억 수단에 의해 제어된다.

다음에, CPU(304)에 파형비 연산 프로그램(806F)이 읽혀져서 구성되는 파형비 연산 수단이 RAM(306)으로부터 압력 변화값(B1, B1')을 읽어 들이고, 파형비(K)를 K=B1'/B1로서 연산한다. 산출된 파형비(K)는 RAM(306)에 저장된다.

또한, 압력 변화값(B1') 중, 제2 피검사체의 누출에 기인하는 압력 변화값 성분은 △C≒B1'-B1으로 된다(도 11의 선 C 참조). 안정기간(T2)의 종료 시점에서 측정되는 압력 변화값(B1')은 이 제2 피검사체의 누출에 기인하는 압력 변화값 성분(△C)을 포함한다. 검사 과정에서는 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 누출의 유무는 불명확하다. 제2 피검사체에 어느 정도의 누출이 존재하는 경우에는 △C>0가 되고, 제2 피검사체에 누출이 없는 경우에는 △C=0이 된다. 그 때문에 어느 경우이더라도, 누출 검사 장치가 정상적으로 동작하고 있는 한에 있어서는 B1≤B1'이 성립하게 된다. 파형비(K)를 적용하면,

K=B1'/B1≥1

이 된다.

다음에 CPU(304)에 이상 판정 프로그램(806G)이 읽혀져서 구성되는 이상 판정 수단이 RAM(306)으로부터 파형비(K)를 읽어들이고, 파형비(K)의 값이 1 미만일 경우, 즉, 압력 변화값(B1, B1')이 B1>B1'을 나타내는 경우에, 누출 검사 장치의 동작 이상으로 판정한다.

즉, 이 파형비(K)는 각 검사 과정에서 계측된 압력차 추이를 나타내는 곡선 X-2(도 11)이 교정 과정에서 계측된 압력차 추이를 나타내는 곡선 X-1에 근사하고 있는지 아닌지를 묻는 지표로서 이용된다. K=1일 때, 검사 과정의 곡선 X-2는 교정 과정의 곡선 X-1에 근사하고 있다고 할 수 있다. 파형비(K)의 값이 1로부터 떨어질수록, 검사 과정의 곡선 X-2는 교정 과정의 곡선 X-1로부터 벗어나고, 누출 검사 장치가 오작동을 일으키고 있을 가능성이 높다고 할 수 있다.

예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(1)와 같이, 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y의 사이가 도통되지 않거나, 또는 밀봉 밸브(204A 및 204B)가 열리지 않은 채 누출 검사가 행해진 경우에는, 공기압이 피검사체 및 기준 탱크(207)에 가해지고 있지 않기 때문에, B1'≒0이 되고, 파형비(K)도 K≒0이 된다. 따라서, 이상 판정 수단은 B1>B1'을 충족시킬 때, 「누출 검사 장치가 오작동 했다」고 판정할 수 있다. 그 판정 결과는 이상 표시기(309)에 표시된다.

또, 예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(2)와 같이, 3방향 전자 밸브(203)와 밀봉 밸브(204A, 204B)는 모두 정상동작했지만, 전환 밸브(206A, 206B)의 어느 쪽도 닫힌 상태인 채로, 누출 검사가 실행된 경우에는, 압력 변화값(B1')은 거의 0이 된다. 전환 밸브(206A 또는 206B)에 의해, 피검사체(A 또는 B)의 내부의 공간이 차압계(205)가 측정을 행하는 공간으로부터 차단되어 있어, 공기압 공급로 내부만의 단열변화는 단시간에 수렴되기 때문이다.

도 12는, 오작동의 예(2)의 상태에서 측정된, 피검사체의 내부와 기준 탱크(207)의 내부의 압력차의 시간변화를 나타내는 곡선 X-3과, 전술한 곡선 X-1을 나타내는 도면이다. 도 12의 곡선 X-3에 나타내는 바와 같이, 압력 변화값(B1')은 거의 0이 된다. 이 결과, 파형비 연산 수단이 산출하는 파형비(K)는 K≒0이 된다. 이상 판정 수단은, 누출 검사의 결과를 막론하고, B1>B1'을 충족시킬 때, 누출 검사 장치에 이상이 있는 것으로 판정하고, 그 판정 결과를 이상 표시기(309)에 표시되게 한다.

또, 예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(3)와 같이, 차압계(205)가 동작 불능으로 된 경우에는, 검사 과정에서 측정되는 압력 변화값(B1')은 0이 되기 때문에, 파형비 연산 수단이 산출하는 파형비(K)는 K≒0이 된다. 이상 판정 수단은, 누출 검사 결과에 관계없이 B1>B1'을 충족시킬 때, 누출 검사 장치가 이상인 것으로 판정하고, 이상 표시기(309)에 누출 검사 장치가 이상인 것을 표시되게 한다.

또한, 검사 과정에서, 밀봉 밸브(204A, 204B)의 어느 일방이 닫힌 상태인 채 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y 사이를 도통시키면, 앞에 설명한 일본 특공평7-101193호 공보(특허문헌 2)에 개시하는 바와 같이 누출 있음으로 오판정되어, 그 판정 결과가 누출 판정 표시기(308)에 표시된다. 그러나, 이 오판정은 실제로는 피검사체에 누출이 없는 것임에도 불구하고, 누출이 있다고 하는 오판정이기 때문에, 실해는 적다.

또한, 본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기의 실시형태에서는, 이상 판정 수단은 B1>B1'을 충족시킬 때, 누출 검사 장치에 이상이 있는 것으로 판정했다. 그러나, 예를 들면, 차압계(205)의 검출감도가 저하된 것에 기인하여 B1>B1'의 관계에 이르는 경우도 생각할 수 있다. 이러한 경우, 차압계(205)의 검출감도의 저하가 허용 범위이면, 누출 검사 장치에 이상이 있는 것으로 판정하지 않는 것이 좋은 경우도 있다. 감도의 저하가 예를 들면 정상시로부터 30%의 저하까지 허용할 수 있는 경우, 파형비(K)를

K=B1'/B1>0.7

로 설정하고, K가 0.7을 초과하면 정상동작 범위로 판정하는 설정을 행해도 된다.

또, 이상인 것으로 판정하는 임계값(δ)을 임의로 설정할 수 있는 구성이어도 된다. 이 경우, 이상 판정 수단은 B1'-B1<δ일 때 누출 검사 장치의 이상으로 판정한다.

여기에서, 누출 검사 장치가 정상인 상태이면,

B1'-B1≥0

을 충족시킨다. 따라서, 누출 검사 장치가 정상인 상태에서 가장 작은 B1'은 B1'=B1이다.

또, 누출 검사 장치의 이상에 의해 검사시에 압력 변화값 B1'이 B1'=0으로 되었을 때

B1'-B1=-B1

을 충족시킨다.

따라서, 설정 가능한 임계값(δ)의 범위는

0≥δ>-B1

이 된다.

이것들을 일반화하면, 이상 판정 수단은 γ·B1+δ>B1'(γ는 정수)을 충족시킬 때, 누출 검사 장치에 이상이 있는 것으로 판정하게 된다. 또한, γ의 설정가능한 범위는 γ>0이다. γ의 상한은 특별히 없고, 계측기의 특성이나 피검사체 등에 따라 적당하게 설정된다. 단, 예를 들면, 차압계(205)의 검출 감도가 저하됨으로 인한 오판정만을 피하기 위해서는 0<γ≤1의 범위에서 γ를 설정하면 된다.

또, 본 형태에서는, 소정 기간=안정기간(T2)으로 하고, 안정기간(T2)의 종료 시점에, 압력 변화값(B1, B1')을 측정하는 것으로 했는데, 소정 기간<안정기간(T2)으로 하고, 가압기간(T1)의 완료시점부터 당해 소정 시간이 경과한 시점에서 압력 변화값(B1, B1')을 측정하는 구성이어도 된다.

[제 5 실시형태]

본 발명의 제 5 실시형태를 설명한다.

제 5 실시형태는, 본 발명의 제 5, 6 태양을 게이지압식의 누출 검사 장치에 적용한 실시형태이다. 이하에서는, 지금까지 말한 실시형태와의 차이점을 중심으로 설명한다.

도 13은 제 5 실시형태의 누출 검사 장치(710)의 구성을 도시하는 도면이다. 또한, 도 13에서 도 1, 3, 8과 공통되는 부분에 대해서는, 도 1, 3, 8과 동일한 부호를 붙이고, 설명을 간략화한다.

본 형태의 누출 검사 장치(710)는 공압 장치(400)와 판정 장치(810)로 구성 된다. 공압 장치(400)의 구성은 전술한 종래 구성이나 제 2 실시형태의 구성과 동일하기 때문에 설명을 생략한다. 본 형태의 판정 장치(810)와, 제 4 실시형태의 판정 장치(800)의 차이점은 가변 이득 증폭기(301) 대신 전술의 가변 이득 증폭기(301A)를 구비하는 점이다.

본 형태의 이상 검출 방법도, 누출 검사를 실시하기 직전에 존재하는 안정기간(T2)을 이용하여 파형비(K)를 구하고, 파형비(K)의 값에 따라 누출 검사 장치(710)나 피검사체의 이상을 판정하려고 하는 점에 특징이 있다.

이하, 본 형태의 이상 검출 방법을 설명한다.

<<교정 과정>>

교정 과정에서는 제 1 실시형태와 마찬가지로, 접속 지그(208A 또는 208B) 중 어느 하나에, 누출이 없는, 표준이 되는 피검사체(A 또는 B)의 어느 하나(제1 피검사체)를 접속한다.

가압기간(T1)에서는, 제 1 실시형태와 마찬가지로, 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 어느 하나(제1 피검사체)의 내부에 공기압이 가해진다. 이 상태는 가압기간(T1)이 종료되기까지 계속되고, 그 후에 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉한다.

다음 안정기간(T2)에서는, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력을 측정한다. 본 형태에서는, 가압기간(T1)(제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 그 내부의 공기를 밀봉하는 과정을 포함함)의 완료시점과 당해 완료시점으로부터 소정 기간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 제1 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B1)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1)을 RAM(306)에 기억한다. 본 형태의 예에서는, 당해 소정 기간=안정기간(T2)으로 하고, 안정기간(T2)의 종료 시점에서 압력 변화값(B1)을 측정한다. 또한, 본 형태에서의 "압력 변화값"이란 공기압이 가해진 피검사체(A 또는 B)의 내부의 압력의 변화값을 의미한다.

또한, 교정 과정의 안정기간(T2)에서 행해지는 계측처리의 제어는 표준값 측정 수단에 의해 행해지고, 압력 변화값(B1)을 RAM(306)에 기억하는 처리는 측정값 기억 수단에 의해 제어된다.

검사기간(T3) 및 배기기간(T4)의 동작은 전술한 바와 같이 때문에, 설명을 생략한다.

<<검사 과정>>

이 상태에서, 교정 과정과 마찬가지로, 가압기간(T1), 안정기간(T2), 검사기 간(T3) 및 배기기간(T4)의 각 동작이 행해진다. 또한, 검사기간(T3) 및 배기기간(T4)의 동작은 전술한 바와 같기 때문에 설명을 생략하고, 이하에서는, 검사 과정에서의 가압기간(T1) 및 안정기간(T2)의 동작을 설명한다.

가압기간(T1)에서는, 교정 과정과 마찬가지로, 제2 피검사체인 피검사체(A 또는 B)의 내부로 가압하고, 가압기간(T1)이 종료한 시점에서, 이 내부의 공기를 밀봉한다.

다음의 안정기간(T2)에서는, 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력을 측정한다.

본 형태에서는, 가압기간(T1)(제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과, 그 내부의 공기를 밀봉하는 과정을 포함함)의 완료시점과 당해 완료시점으로부터 소정 기간(교정 과정의 그것과 동일함)이 경과한 시점 사이에서 발생한, 제2 피검사체인 피검사체(A) 또는 피검사체(B)의 내부의 압력 변화값(B1')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1')을 RAM(306)에 기억한다. 본 형태의 예에서는, 당해 소정 기간=안정기간(T2)으로 하고, 안정기간(T2)의 종료 시점에서 압력 변화값(B1')을 측정한다.

또한, 검사 과정의 안정기간(T2)에서 행해지는 계측처리의 제어는 검사값 측정 수단에 의해 행해지고, 또, 압력 변화값(B1')을 RAM(306)에 기억하는 처리는 측정값 기억 수단에 의해 제어된다.

다음에 CPU(304)에 파형비 연산 프로그램(806F)이 읽혀져서 구성되는 파형비 연산 수단이 RAM(306)으로부터 압력 변화값(B1, B1')을 읽어들이고, 파형비(K)를 K=B1'/B1로서 연산한다. 산출된 파형비(K)는 RAM(306)에 저장된다.

다음에, 제 4 실시형태와 같이 이상 판정 수단이 RAM(306)으로부터 파형비(K)를 읽어들이고, 파형비(K)의 값이 1 미만일 경우, 즉, 압력 변화값(B1, B1')이 B1>B1'을 나타내는 경우에, 누출 검사 장치의 동작 이상인 것으로 판정한다.

예를 들면, 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(1)와 같이, 3방향 전자 밸브(203)의 포트 X-Y의 사이가 도통되지 않거나, 또는 밀봉 밸브(204)가 열리지 않은 채 누출 검사가 행해진 경우에는, 공기압이 피검사체에 가해지고 있지 않기 때문에, B1'≒0이 되고, 파형비(K)도 K≒0이 된다. 따라서, 이상 판정 수단은 B1>B1'을 충족시킬 때, 「누출 검사 장치가 오작동했다」라고 판정할 수 있다. 그 판정 결과는 이상 표시기(309)에 표시된다.

또, 예를 들면 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(2)와 같이, 3방향 전자 밸브(203)와 밀봉 밸브(204)는 모두 정상동작했지만, 전환 밸브(206A, 206B)의 어느 쪽도 닫힌 상태인 채로, 누출 검사가 실행된 경우에는, 압력 변화값(B1')은 거의 0이 된다. 전환 밸브(206A 또는 206B)에 의해, 피검사체(A 또는 B)의 내부의 공간이 압력계(209)가 측정을 행하는 공간으로부터 차단되어 있어, 공기압 공급로 내부만의 단열 변화는 단시간으로 수렴되기 때문이다. 이 경우, 압력 변화값(B1')은 거의 0이 된다. 이 결과, 파형비 연산 수단이 산출하는 파형비(K)는 K≒0이 된다. 이상 판정 수단은, 누출 검사의 결과를 막론하고, B1>B1'을 충족시킬 때, 누출 검사 장치에 이상이 있는 것으로 판정하고, 그 판정 결과를 이상 표시기(309)에 표시되게 한다.

또, 예를 들면 전술한 누출 검사 장치의 오작동의 예(3)와 같이, 압력 계(209)가 동작 불능으로 된 경우에는, 검사 과정에서 측정되는 압력 변화값(B1')은 0이 되기 때문에, 파형비 연산 수단이 산출하는 파형비(K)는 K≒0이 된다. 이상 판정 수단은, 누출 검사 결과에 관계없이 B1>B1'을 충족시킬 때, 누출 검사 장치가 이상인 것으로 판정하고, 이상 표시기(309)에 누출 검사 장치가 이상인 것을 표시되게 한다.

또한, 본 발명은 상기의 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기의 실시형태에서는, 이상 판정 수단은 B1>B1'을 충족시킬 때, 누출 검사 장치에 이상이 있는 것으로 판정했다. 그러나, 제 4 실시형태에서 설명한 것과 같이, 이상 판정 수단이, γ·B1+δ>B1'(γ는 정수)을 충족시킬 때, 누출 검사 장치에 이상이 있는 것으로 판정하는 구성이어도 된다.

또, 각 실시형태에서 기술한 프로그램은, 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 기록해 둘 수 있다. 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서는, 예를 들면 자기 기록 장치, 광디스크, 광자기 기록 매체, 반도체 메모리 등과 같은 것이어도 되지만, 구체적으로는, 예를 들면, 자기 기록 장치로서, 하드 디스크 장치, 플렉시블 디스크, 자기테이프 등을, 광디스크로서, DVD(Digital Versatile Disc), DVD-RAM(Random Access Memory), CD-ROM(Compact Disc Read Only Memory), CD- R(Recordable)/RW(ReWritable) 등을, 광자기 기록 매체로서 MO(Magneto-Optical disc) 등을, 반도체 메모리로서 EEP-ROM(Electronically Erasable and Programmable-Read Only Memory) 등을 사용할 수 있다.

또, 이 프로그램의 유통은, 예를 들면, 그 프로그램을 기록한 DVD, CD-ROM 등의 휴대형 기록매체를 판매, 양도, 대여 등 함으로써 행한다. 또한, 이 프로그램을 서버 컴퓨터의 기억 장치에 저장해 두고, 네트워크를 통하여, 서버 컴퓨터로부터 다른 컴퓨터로 그 프로그램을 전송함으로써, 이 프로그램을 유통시키는 구성으로 해도 된다.

이러한 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 예를 들면, 우선, 휴대형 기록매체에 기록된 프로그램 혹은 서버 컴퓨터로부터 전송된 프로그램을, 일단, 자기의 기억 장치에 저장한다. 그리고, 처리의 실행시, 이 컴퓨터는, 자기의 기록매체에 저장된 프로그램을 읽어내고, 읽어낸 프로그램을 따른 처리를 실행한다. 또, 이 프로그램의 다른 실행형태로서, 컴퓨터가 휴대형 기록 매체로부터 직접 프로그램을 읽어내고, 그 프로그램에 따른 처리를 실행하는 것으로 해도 되고, 또한, 이 컴퓨터에 서버 컴퓨터로부터 프로그램이 전송될 때마다, 차례차례, 받은 프로그램에 따른 처리를 실행하는 것으로 해도 된다. 또, 서버 컴퓨터로부터, 이 컴퓨터로의 프로그램의 전송은 행하지 않고, 그 실행 지시와 결과 취득만에 의해 처리 기능을 실현하는, 소위 ASP(Application Service Provider)형의 서비스에 의해, 상기의 처리를 실행하는 구성으로 해도 된다. 또한, 본 형태에서의 프로그램에는, 전자 계산기에 의한 처리의 용도로 제공하는 정보로서 프로그램에 준하는 것(컴퓨터에 대한 직접 적인 지령은 아니지만 컴퓨터의 처리를 규정하는 성질을 갖는 데이터 등)을 포함하는 것으로 한다.

또한 상기의 각 형태에서, 컴퓨터상에서 소정의 프로그램을 실행시킴으로써 구성하는 것으로 한 부분의 적어도 일부를, 하드웨어만 실현하는 것으로 해도 된다.

본 발명에 의한 누출 검사 장치의 이상 검출 방법 및 이 이상 검출 방법을 사용하여 동작하는 누출 검사 장치는, 예를 들면, 각종 용기 제조회사 등에서 활용된다.

Claims

피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치의 이상 동작을 검출하는 이상 검출 방법에 있어서,

교정 과정과 검사 과정을 포함하고,

상기 교정 과정은,

표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 소정 시간(T)이 경과한 제1 시점 사이에서 발생한, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1)을 기억부에서 기억하는 과정과,

상기 제1 시점과, 당해 제1 시점으로부터 상기 소정 시간(T)이 더 경과한 제2 시점과의 사이에서 발생한, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B2)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B2)을 기억부에서 기억하는 과정을 포함하고,

상기 검사 과정은,

누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 상기 소정 시간(T)이 경과한 제3 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1')을 기억부에서 기억하는 과정과,

상기 제3 시점과, 당해 제3 시점으로부터 상기 소정 시간(T)이 더 경과한 제4 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B2')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B2')을 기억부에서 기억하는 과정과,

파형비(K)를 K=(B1'-B2')/(B1-B2)로서 연산하는 과정과,

상기 파형비(K)의 값을 사용하여 동작 이상을 판정하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 이상 검출 방법.
피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치의 이상동작을 검출하는 이상 검출 방법에 있어서,

교정 과정과 검사 과정을 포함하고,

상기 교정 과정은,

표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점부터 제1 소정 시간이 경과한 제1 시점에 있어서의, 상기 제1 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB1)을 구하고, 당해 미분값(BB1)을 기억부에서 기억하는 과정과,

상기 제1 시점부터 제2 소정 시간이 더 경과한 제2 시점에 있어서의, 상기 제1 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB2)을 구하고, 당해 미분값(BB2)을 기억부에서 기억하는 과정을 포함하고,

상기 검사 과정은,

누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점부터 상기 제1 소정 시간이 경과한 제3 시점에 있어서의, 상기 제2 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB1')을 구하고, 당해 미분값(BB1')을 기억부에서 기억하는 과정과,

상기 제3 시점부터 상기 제2 소정 시간이 더 경과한 제4 시점에 있어서의, 상기 제2 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB2')을 계측하고, 당해 미분값(BB2')을 기억부에서 기억하는 과정과,

파형비(K)를 K=(BB1'-BB2')/(BB1-BB2)로서 연산하는 과정과,

상기 파형비(K)의 값을 사용하여 동작 이상을 판정하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 이상 검출 방법.
피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치로서,

공기압 공급로를 통하여 상기 피검사체에 접속되고, 당해 피검사체의 내부로 가압하는 공압원과,

상기 공기압 공급로의 도중에 존재하는 개폐 가능한 밸브와,

상기 피검사체의 내부의 압력을 계측하는 계측기와,

프로세서와,

상기 계측기에서의 계측값을 저장하는 기억부를 포함하고,

상기 프로세서는,

상기 밸브를 열고, 표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 밸브를 닫고, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 소정 시간이 경과한 제1 시점 사이에서 발생한, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1)을 상기 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B1)을 상기 기억부에서 기억하게 하는 과정과,

상기 제1 시점과, 당해 제1 시점으로부터 상기 소정 시간이 더 경과한 제2 시점 사이에서 발생한, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B2)을 상기 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B2)을 상기 기억부에서 기억하게 하는 과정과,

상기 밸브를 열고, 누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 밸브를 닫고, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 상기 소정 시간이 경과한 제3 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1')을 상기 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B1')을 상기 기억부에서 기억하게 하는 과정과,

상기 제3 시점과, 당해 제3 시점부터 상기 소정 시간이 더 경과한 제4 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B2')을 상기 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B2')을 상기 기억부에서 기억하게 하는 과정의 실행을 제어하고,

파형비(K)를 K=(B1'-B2')/(B1-B2)로서 연산하는 과정과,

상기 파형비(K)의 값을 사용하여 동작 이상을 판정하는 과정을 실행하는 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치 로서,

공기압 공급로를 통하여 상기 피검사체에 접속되고, 당해 피검사체의 내부로 가압하는 공압원과,

상기 공기압 공급로의 도중에 존재하는 개폐 가능한 밸브와,

상기 피검사체의 내부의 압력을 계측하는 계측기와,

프로세서와,

상기 계측기에서의 계측값을 저장하는 기억부를 포함하고,

상기 프로세서는,

상기 밸브를 열고, 표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 밸브를 닫고, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점부터 제1 소정 시간이 경과한 제1 시점에 있어서의, 상기 제1 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB1)을 구하고, 당해 미분값(BB1)을 기억부에서 기억하게 하는 과정과,

상기 제1 시점부터 제2 소정 시간이 더 경과한 제2 시점에 있어서의, 상기 제1 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB2)을 구하고, 당해 미분값(BB2)을 기억부에서 기억하게 하는 과정과,

상기 밸브를 열고, 누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 밸브를 닫고, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점부터 상기 제1 소정 시간이 경과한 제3 시점에 있어서의, 상기 제2 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB1')을 구하고, 당해 미분값(BB1')을 기억부에서 기억하게 하는 과정과,

상기 제3 시점부터 상기 제2 소정 시간이 더 경과한 제4 시점에 있어서의, 상기 제2 피검사체의 내부압력의 시간에 관한 미분값(BB2')을 구하고, 당해 미분값(BB2')을 기억부에서 기억하게 하는 과정의 실행을 제어하고,

파형비(K)를 K=(BB1'-BB2')/(BB1-BB2)로 하여 연산하는 과정과,

상기 파형비(K)의 값을 사용하여 동작 이상을 판정하는 과정을 실행하는 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
제 3 항에 있어서,

상기 계측기는, 차압계이고,

상기 압력 변화값(B1, B2, B1', B2')은,

각각, 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부와 기준 탱크의 내부와의 간의 압력차의 변화값인 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 계측기는 차압계이고,

상기 미분값(BB1, BB2, BB1', BB2')은,

각각, 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부와 기준 탱크의 내부 사이의 압력차의 미분값인 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
제 3 항에 있어서,

상기 계측기는 압력계이고,

상기 압력 변화값(B1, B2, B1', B2')은,

각각, 대기압에 대한 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부압력의 변화값인 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 계측기는 압력계이고,

상기 미분값(BB1, BB2, BB1', BB2')은,

각각, 대기압에 대한 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부압력의 미분값인 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
제 3 항에 있어서,

상기 제2 피검사체가 주물이고,

상기 프로세서는,

상기 파형비(K)가 1보다 소정값 이상 큰 경우에,

상기 제2 피검사체의 내벽에 기공이 있는 것으로 판정하는 것을 특징으로 하 는 누출 검사 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 제2 피검사체가 주물이고,

상기 프로세서는,

상기 파형비(K)가 1보다 소정값 이상 클 경우에, 상기 제2 피검사체 내에 기공이 있는 것으로 판정하는 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
제 3 항에 있어서,

상기 프로세서는,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해, 당해 제2 피검사체에 누출이 있는지 아닌지를 판정하고,

상기 파형비(K)가 0에서부터 소정값 이내인 것으로 판정한 경우에,

상기 공기압 공급로 또는 상기 밸브 또는 상기 계측기에 이상 있음으로 판정하는 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 프로세서는,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해, 당해 제2 피검사체에 누출이 있는지 아닌지를 판정하고,

상기 파형비(K)가 0에서부터 소정값 이내인 것으로 판정한 경우에,

상기 공기압 공급로 또는 상기 밸브 또는 상기 계측기에 이상 있음으로 판정하는 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치의 이상동작을 검출하는 이상 검출 방법에 있어서,

교정 과정과 검사 과정을 포함하고,

상기 교정 과정은,

표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 소정 시간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1)을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1)을 기억부에서 기억하는 과정을 포함하고,

상기 검사 과정은,

누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점부터 상기 소정 시간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1')을 계측하고, 당해 압력 변화값(B1')을 기억부에서 기억하는 과정과,

상기 압력 변화값(B1, B1')이, 정수(γ, δ)에 대하여 γ·B1+δ>B1'을 나타내는 경우에, 누출 검사 장치의 동작 이상인 것으로 판정하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치의 이상 검출 방법.
피검사체의 내부의 공기압을 당해 피검사체의 외부의 기압보다도 높게 한 상태에서 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화를 계측하고, 당해 피검사체의 내부의 공기압 변화량에 의해 당해 피검사체에서의 누출 여부를 검사하는 누출 검사 장치로서,

공기압 공급로를 통하여 상기 피검사체에 접속되고, 당해 피검사체의 내부로 가압하는 공압원과,

상기 공기압 공급로의 도중에 존재하는 개폐 가능한 밸브와,

상기 피검사체의 내부의 압력을 계측하는 계측기와,

프로세서와,

상기 계측기에서의 계측값을 저장하는 기억부를 포함하고,

상기 프로세서는,

상기 밸브를 열고, 표준이 되는 상기 피검사체인 제1 피검사체의 내부로 가 압하는 과정과,

상기 밸브를 닫고, 상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제1 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과, 당해 완료시점으로부터 소정 시간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 상기 제1 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1)을 상기 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B1)을 기억부에서 기억하게 하는 과정과,

상기 밸브를 열고, 누출 검사가 이루어지는 상기 피검사체인 제2 피검사체의 내부로 가압하는 과정과,

상기 밸브를 닫고, 상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정과,

상기 제2 피검사체의 내부의 공기를 밀봉하는 과정의 완료시점과 당해 완료시점으로부터 상기 소정 시간이 경과한 시점 사이에서 발생한, 상기 제2 피검사체의 내부의 압력 변화값(B1')을 상기 계측기에서 계측하게 하고, 당해 압력 변화값(B1')을 기억부에서 기억하게 하는 과정의 실행을 제어하고,

상기 압력 변화값(B1, B1')이, 정수(γ, δ)에 대하여, γ·B1+δ>B1'을 나타내는 경우에, 누출 검사 장치의 동작 이상인 것으로 판정하는 과정을 실행하는 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
제 14 항에 있어서,

상기 계측기는 차압계이고,

상기 압력 변화값(B1, B1')은,

각각, 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부와 기준 탱크의 내부 사이의 압력차의 변화값인 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.
제 14 항에 있어서,

상기 계측기는 압력계이고,

상기 압력 변화값(B1, B1')은,

각각, 대기압에 대한 상기 제1 피검사체 또는 상기 제2 피검사체의 내부압력의 변화값인 것을 특징으로 하는 누출 검사 장치.