KR100956252B1 - Profiler - Google Patents

Profiler Download PDF

Info

Publication number
KR100956252B1
KR100956252B1 KR1020080114001A KR20080114001A KR100956252B1 KR 100956252 B1 KR100956252 B1 KR 100956252B1 KR 1020080114001 A KR1020080114001 A KR 1020080114001A KR 20080114001 A KR20080114001 A KR 20080114001A KR 100956252 B1 KR100956252 B1 KR 100956252B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
measuring
surface plate
measurement
horizontal
profiler
Prior art date
Application number
KR1020080114001A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이형락
최철호
Original Assignee
주식회사 실트론
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 실트론 filed Critical 주식회사 실트론
Priority to KR1020080114001A priority Critical patent/KR100956252B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100956252B1 publication Critical patent/KR100956252B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/20—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004—Supports
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
    • G01C9/18—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids
    • G01C9/20—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids the indication being based on the inclination of the surface of a liquid relative to its container
    • G01C9/22—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids the indication being based on the inclination of the surface of a liquid relative to its container with interconnected containers in fixed relation to each other

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

PURPOSE: A profiler is provided to obtain detained profile information, such as the shape and diameter of a measured surface, and to accurately measure the shape of the measured surface at a time. CONSTITUTION: A profiler comprises a measuring bar(110), a measuring probe(120), and a surface plate(200). The measuring probe is movably installed in the measuring bar. The measuring bar is formed in a C-shape, and has vertical parts(112). A horizontality control screw is formed in the bottom ends of the vertical parts for leveling. The measuring probe is movably installed in the bottom of the horizontal part(111) of the measuring bar. One end of the measuring probe is movably installed in the horizontal part, and the other end is contacted with the measured surface of a measured body. The measured body is placed on the surface plate.

Description

프로파일러 {PROFILER}Profiler {PROFILER}

본 발명은 프로파일러에 관한 것으로, 보다 상세하게는 직선 프로파일이라는 단편적 정보에서 벗어나서, 측정면의 형상이나 반경/직경에 대한 보다 자세한 프로파일 정보를 획득할 수 있을 뿐만 아니라, 수평조정을 위한 과정(leveling)을 반복해서 수행할 필요가 없이, 측정면의 형상을 단 한번에 정확히 측정할 수 있는 프로파일러에 관한 것이다.The present invention relates to a profiler, and more specifically, to obtain more detailed profile information on the shape or radius / diameter of the measurement surface, deviating from the fragmentary information called the linear profile, as well as leveling for horizontal adjustment. It is about a profiler that can accurately measure the shape of the measurement surface at once without the need to repeat).

폴리싱(polishing) 공정에서, 폴리싱 패드(polishing pad)는 평탄도(flatness)에 매우 큰 영향을 미치는 주요 인자로서, 정반에 압착된 패드 자체가 평탄도가 우수할 것이 요청된다. 폴리셔 정반의 경우에는 높은 경도로 인하여, 마이크로미터 단위의 평탄도 제어가 어렵기 때문에, 압착된 패드의 전반적인 두께 편차가 발생한다. 물론, 패드 내 두께 편차도 포함하게 된다. 이에 따라, 나노미터 영역의 웨이퍼 평탄도 제어를 위해 정반 또는 패드면의 프로파일(profile) 측정이 요구된다.In a polishing process, a polishing pad is a major factor that greatly affects flatness, and it is required that the pad itself pressed on the surface plate has excellent flatness. In the case of the polisher plate, because of the high hardness, it is difficult to control the flatness in micrometers, and thus, overall thickness variation of the pressed pad occurs. Of course, the thickness variation in the pad is also included. Accordingly, profile measurement of the surface plate or pad surface is required for controlling wafer flatness in the nanometer region.

종래의 일반적인 프로파일러(profiler)의 모습을 도 1에 도시하였다.The appearance of a conventional general profiler is shown in FIG. 1.

이에 도시된 바와 같이, 측정면(40)의 프로파일을 측정하기 위하여, 측정 바(10)의 하부에는 상기 측정면(40)과 접촉하여 이동할 수 있는 측정 프로브(probe, 30)가 구비되어 있다. 측정 프로브(30)는 측정바(10)의 하부에서 이동가능하도록 설치되어 있으며, 측정 프로브(30)에 의하여 측정된 신호는 데이터 변환 및 모니터링을 위한 PC(50)로 송신된다. 측정바(10)는 대략 ㄷ자 형태로서, 측정바(10)의 일단 하부에는 수평조정 볼트(20)가 구비된다.As shown therein, in order to measure the profile of the measurement surface 40, a measurement probe 30 is provided at the lower portion of the measurement bar 10 to move in contact with the measurement surface 40. The measurement probe 30 is installed to be movable under the measurement bar 10, and the signal measured by the measurement probe 30 is transmitted to the PC 50 for data conversion and monitoring. The measuring bar 10 has a substantially c-shape, and has a horizontal adjustment bolt 20 at one end of the measuring bar 10.

측정방법을 설명하면 다음과 같다. 먼저, 측정하고자 하는 측정면(40) 위 또는 그외 측정하고자 하는 주변부에 측정바(10)를 위치시키고, 수평조정 볼트(20)를 이용하여 수평을 맞춘다. 그 후, 측정 프로브(30)를 이동시켜 측정하고, 측정데이터는 PC(50)로 송부되어 양 끝점을 0점으로 한 데이터 변환 및 직선의 프로파일로 디스플레이된다.The measurement method is as follows. First, the measurement bar 10 is placed on the measurement surface 40 to be measured or the peripheral part to be measured, and leveled using the horizontal adjustment bolt 20. Thereafter, the measurement probe 30 is moved and measured, and the measurement data is sent to the PC 50 and displayed as a profile of a data transformation and a straight line with both endpoints as zero points.

이러한 종래의 프로파일러는 측정바(10)의 수평을 맞추기 위하여 도 2와 같은 반복작업을 수행하여야 하므로, 측정시간의 증가가 발생한다. 도 2에서처럼, 측정바를 안착한 후(S10), 측정(S20)을 수행하고 데이터를 통하여 기울기를 확인하게 된다(S30). 그 후에 수평조정 나사를 통하여 기울기를 보정하고(S40), 다시 측정(S20)을 수행하는 과정을 반복하게 되는 것이다.Since the conventional profiler must perform the repetitive operation as shown in FIG. 2 to level the measurement bar 10, an increase in measurement time occurs. As shown in FIG. 2, after seating the measurement bar (S10), the measurement (S20) is performed and the slope is confirmed through the data (S30). After that, the process of repeating the correction (S40), and performs the measurement (S20) through the horizontal adjustment screw.

이러한 방법은 측정시간의 증가와 함께, 측정된 데이터의 기울어진 프로파일이 정반 자체의 기울어짐에 의한 것인지, 측정기 자체의 틀어짐에서 기인한 것인지를 확인하기 어려운 문제가 있다. 즉, 측정기의 좌우 평형을 확인할 수 있는 방안이 없는 관계로, 양 끝점을 0으로 하는 변환된 데이터를 통해 정반 및 패드면 직선의 프로파일만 확인할 수 밖에 없는 단점이 있다.This method has a problem that it is difficult to determine whether the inclined profile of the measured data is due to the inclination of the table itself or the distortion of the measuring device itself with the increase of the measurement time. That is, since there is no way to check the left and right equilibrium of the measuring instrument, there is a disadvantage that only the profile of the surface plate and the straight line of the pad surface can be confirmed through the converted data having zero at both ends.

보다 자세한 설명을 위하여 도 3a 및 도 3b를 제시한다. 도 3은 종래에 의한 기울어짐의 보정예를 설명한 그래프로서, 도 3a는 측정된 데이터의 예를 보여주는 그래프이고, 도 3b는 보정을 수행한 예를 보여주는 그래프이다. 측정된 데이터 도 3a의 양 끝점을 0으로 변환한 것이나, 전술한 바와 같이, 그 원인을 파악할 수 없다는 문제가 있다.3A and 3B are presented for more detailed description. 3 is a graph illustrating a conventional example of correction of inclination, FIG. 3A is a graph showing an example of measured data, and FIG. 3B is a graph showing an example of performing correction. Measured Data There is a problem in that both ends of FIG. 3A are converted to 0, but as described above, the cause cannot be identified.

또한, 정반 혹은 패드면의 프로파일에 대하여 단편적인 정보만을 파악한다는 문제가 있다. 즉, 한번의 측정을 통해 직선이라는 단일 프로파일 정보밖에 취득할 수 없었다. 정반의 형태나 더욱 자세한 정보를 얻기 위해서는 수차례 반복 측정이 필요하며, 측정시마다 정반을 회전시키고, 측정기를 이동하며, 측정기의 수평을 조정해야하는 작업을 반복해서 수행하여야 하는 문제가 있다.In addition, there is a problem that only fragment information is grasped about the surface plate or the profile of the pad surface. In other words, only one profile information of a straight line could be obtained through one measurement. In order to obtain the shape of the plate and more detailed information, it is necessary to repeat the measurement several times, and there is a problem of repeatedly performing the task of rotating the plate, moving the measuring instrument, and adjusting the level of the measuring instrument every time.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 목적은 직선 프로파일이라는 단편적 정보에서 벗어나서, 측정면의 형상이나 반경/직경에 대한 보다 자세한 프로파일 정보를 획득할 수 있는 형상 측정기를 제공함에 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a shape measuring device that can obtain more detailed profile information about the shape or radius / diameter of the measurement surface, apart from the fragmentary information called a straight profile.

본 발명의 다른 목적은, 수평조정을 위한 과정(leveling)을 반복해서 수행할 필요가 없이, 측정면의 형상을 단 한번에 정확히 측정할 수 있는 형상 측정기를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a shape measuring device capable of accurately measuring the shape of a measurement surface without having to repeatedly perform leveling for horizontal adjustment.

본 발명의 또 다른 목적은, 종래에는 확인이 불가능하던 좌우높이 편차에 대한 정보를 보다 단순해진 과정을 통해서도 확인할 수 있는 형상 측정기를 제공함에 있다.Still another object of the present invention is to provide a shape measuring device which can confirm information on left and right height deviations, which has not been confirmed in the related art, through a simpler process.

상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 프로파일러는 측정바, 상기 측정바에 직선으로 이동 가능하게 설치되며, 일단이 측정면에 접촉되는 측정 프로브, 회전 가능하며, 상기 측정면을 구비한 측정체가 올려지는 정반, 및 상기 측정 프로브의 신호를 수신하여, 상기 측정면의 프로파일을 시현하는 제어부를 포함하며, 상기 정반의 회전 및 상기 측정 프로브의 직선 이동으로 상기 측정면의 3차원 형상을 측정하는 것을 특징으로 한다.According to a preferred embodiment of the present invention for achieving the above object of the present invention, a profiler according to the present invention is installed in the measurement bar, the measurement bar to be movable in a straight line, one end of the measuring probe, Rotatable, a surface plate on which the measuring body having the measuring surface is raised, and a control unit for receiving a signal of the measuring probe and displaying a profile of the measuring surface, the rotation of the surface plate and the linear movement of the measuring probe It is characterized in that for measuring the three-dimensional shape of the measurement surface.

상기 정반의 하부에 위치한 정반수평유닛을 더 포함하며, 상기 정반수평유닛 은 내부에 액체가 일부이상 채워진 정반 수평부, 상기 액체의 움직임을 감지하는 센서부, 및 상기 센서부의 신호에 따라 상기 정반의 수평을 조정하는 수평 구동부를 포함한다. 또한, 상기 수평 구동부는 모터, 및 상기 모터의 회전력을 직선 운동으로 변환시키는 기어를 포함하는 것이 바람직하다. 이때, 정반수평유닛은 탈부착이 가능한 것이 좋다.And a surface plate horizontal unit disposed below the surface plate, wherein the surface plate unit includes a platen horizontal portion filled with at least a portion of liquid therein, a sensor unit for detecting a movement of the liquid, and a signal of the platen plate. It includes a horizontal drive for adjusting the horizontal. In addition, the horizontal drive unit preferably includes a motor and a gear for converting the rotational force of the motor into linear motion. At this time, the platen horizontal unit is preferably detachable.

상기 수평 구동부는 모터, 및 상기 모터의 회전력을 직선 운동으로 변환시키는 기어를 포함하며, 상기 측정 프로브는 그 길이가 조절되는 것이 바람직하다.The horizontal driving unit includes a motor and a gear for converting the rotational force of the motor into linear motion, and the measurement probe is preferably adjusted in length.

상기 정반의 회전속도를 감지할 수 있는 회전센서부를 더 포함하며, 상기 회전센서부는 상기 정반의 측면에 위치하여 상기 정반과 함께 회전하는 신호발진부, 및 상기 측정바에 위치하여, 상기 신호발진부의 신호를 수신하는 신호수신부를 포함한다.And a rotation sensor unit capable of sensing a rotational speed of the surface plate, wherein the rotation sensor unit is located at the side of the surface plate and rotates together with the surface plate, and is located at the measurement bar. It includes a signal receiving unit for receiving.

또한, 본 발명에 따른 프로파일러는 측정체에 구비된 측정면의 프로파일을 측정하는 프로파일러에 있어서, 상기 측정면은 측정프로브에 접촉하되, 상기 측정프로브는 직선이동하며, 상기 측정체는 정반에 위치시켜 상기 정반을 회전시키면서 상기 측정면의 3차원 형상을 측정하는 것을 특징으로한다.In addition, the profiler according to the present invention is a profiler for measuring the profile of the measuring surface provided in the measuring body, wherein the measuring surface is in contact with the measuring probe, the measuring probe is moved linearly, the measuring body on the surface plate It is characterized in that for measuring the three-dimensional shape of the measurement surface while rotating the surface plate.

이와 같이 구성되어, 직선 프로파일이라는 단편적 정보에서 벗어나서, 측정면의 형상이나 반경/직경에 대한 보다 자세한 프로파일 정보를 획득할 수 있을 뿐만 아니라, 수평조정을 위한 과정(leveling)을 반복해서 수행할 필요가 없이, 측정면의 형상을 단 한번에 정확히 측정할 수 있다.In this way, it is possible to obtain more detailed profile information about the shape or radius / diameter of the measurement surface, and to perform leveling for the horizontal adjustment. Without this, the shape of the measuring surface can be accurately measured at once.

본 발명에 따르면, 직선 프로파일이라는 단편적 정보에서 벗어나서, 측정면의 형상이나 반경/직경에 대한 보다 자세한 프로파일 정보를 획득할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, it is possible to obtain more detailed profile information on the shape or radius / diameter of the measurement surface, away from the fragmentary information called the straight profile.

또한, 수평조정을 위한 과정(leveling)을 반복해서 수행할 필요가 없이, 측정면의 형상을 단 한번에 정확히 측정할 수 있다.In addition, it is possible to accurately measure the shape of the measurement surface without having to repeatedly perform leveling for horizontal adjustment.

이뿐 아니라, 종래에는 확인이 불가능하던 좌우높이 편차에 대한 정보를 보다 단순해진 과정을 통해서도 확인할 수 있게 된다.In addition, the information about the left and right height deviations, which were not conventionally identified, can be confirmed through a simpler process.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 이하 설명에서는 구성 및 기능이 거의 동일하여 동일하게 취급될 수 있는 요소는 동일한 참조번호로 특정될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited or limited by the embodiments. For reference, in the following description, elements that can be treated identically in terms of configuration and function are almost the same and can be specified by the same reference numerals.

도 4는 본 발명에 따른 프로파일러의 모습을 도시한 평면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 프로파일러의 모습을 도시한 정면도이다.Figure 4 is a plan view showing a state of the profiler according to the present invention, Figure 5 is a front view showing a state of the profiler according to the present invention.

이에 도시된 바와 같이, 프로파일러(100)는 측정바(110), 측정바(110)에 이동 가능하게 설치된 측정 프로브(120) 및 측정면이 포함된 측정체가 올려지는 정반(200)이 포함되어 구성된다.As shown therein, the profiler 100 includes a measuring bar 110, a measuring probe 120 movably installed on the measuring bar 110, and a surface plate 200 on which a measuring object including a measuring surface is mounted. It is composed.

측정바(110)는 ㄷ자 모양으로서, 측정바(110)는 수평부(111)와 수직부(112)로 구성된다. 수직부(112)에서 지면과 맞닿는 단부에는 레벨링(leveling)을 위하여 수평조절나사가 구비될 수 있다.The measuring bar 110 has a U-shape, and the measuring bar 110 includes a horizontal part 111 and a vertical part 112. In the vertical portion 112, the end of the contact with the ground may be provided with a horizontal adjustment screw for leveling (leveling).

측정바(110)의 수평부(111) 하부에는 측정 프로브(120)가 이동 가능하게 설치된다. 측정 프로브(120)는 수평부(111)를 따라 직선으로 이동한다. 측정 프로브(120)의 일단은 수평부(111)에 이동가능하게 설치되고, 타단은 측정면과 접하게 되며, 측정 프로브(120)의 길이(즉, 수평부와 측정면간의 간격에 해당하는 길이)는 조절이 가능하다. 측정 프로브(120)에서 측정된 데이터는 데이터 변환 및 모니터링이 수행되는 제어부(140)에 송신되어 해석된다.The measurement probe 120 is installed below the horizontal portion 111 of the measurement bar 110 to be movable. The measuring probe 120 moves in a straight line along the horizontal part 111. One end of the measurement probe 120 is installed to be movable in the horizontal portion 111, the other end is in contact with the measurement surface, the length of the measurement probe 120 (that is, the length corresponding to the distance between the horizontal portion and the measurement surface) Is adjustable. The data measured by the measurement probe 120 is transmitted to the control unit 140 where data conversion and monitoring is performed and interpreted.

측정하고자 하는 측정면을 구비한 측정체가 올려지는 정반(200)은 회전이 가능하다. 정반(200)의 회전 속도를 파악할 수 있는 회전센서부(130, 131)가 구비되는데, 적외선이나 초음파 신호의 송수신을 이용하여 회전속도를 감지할 수 있다. 즉, 신호발진부(130)는 정반(200)의 측면에 부착되어 있고, 신호수신부(131)는 측정바(110)의 수평부(111)에 구비되어, 검출된 신호에 의하여 정반(200)의 회전속도를 측정한다. 신호의 수신과 송신부의 위치는 뒤바뀔 수 있으며, 신호의 종류도 한정하지 않는다. 또한, 정반(200)은 원판 모양으로 예시하였으나 이에 한정되는 것은 아니다.The surface plate 200 on which the measuring body having the measuring surface to be measured is mounted can be rotated. Rotation sensor units 130 and 131 are provided to grasp the rotational speed of the surface plate 200. The rotational speed may be sensed by transmitting and receiving infrared or ultrasonic signals. That is, the signal oscillation unit 130 is attached to the side of the surface plate 200, the signal receiving unit 131 is provided in the horizontal portion 111 of the measurement bar 110, by the detected signal of the surface plate 200 Measure the speed of rotation. Receiving and transmitting the position of the signal may be reversed, and the type of signal is not limited. In addition, the surface plate 200 is illustrated as a disc shape, but is not limited thereto.

정반(200)에 올려져 측정면이 측정되는 측정체의 예로는, 폴리싱 공정에 사용되는 폴리싱 패드를 예시할 수 있다. 폴리싱 패드의 경우에는 전술한 바와 같이, 패드의 평탄도가 매우 중요하다.As an example of the measuring object which is mounted on the surface plate 200 and the measurement surface is measured, the polishing pad used for a polishing process can be illustrated. In the case of a polishing pad, as described above, the flatness of the pad is very important.

정반(200)은 수평을 확보하기 위하여 수평계 원리를 채용한 정반 수평부(210) 및 수평 구동부(220)를 하부에 구비한다. 본 명세서에서는 정반 수평부(210) 및 수평 구동부(220)을 포함하여 정반수평유닛이라 지칭한다. 정반 수평 부(210)는 그 안에 액체가 일부 이상 채워져 있으며, 낮은 방향으로 액체가 흘러가 한쪽 방향의 높고 낮음을 통해 수평 여부를 확인한다. 액체의 움직임을 파악하기 위하여 좌우 양쪽끝에 액체 감지가 가능하도록 센서를 구비한다.The surface plate 200 is provided with a surface plate horizontal portion 210 and a horizontal drive portion 220 employing a horizontal principle to secure the horizontal. In the present specification, the surface plate horizontal unit 210 and the horizontal driving unit 220 is referred to as a surface plate horizontal unit. The surface horizontal portion 210 is filled with at least a portion of the liquid therein, the liquid flows in a low direction to check whether the horizontal through the high and low in one direction. Sensors are provided on both left and right ends to detect liquid movement.

액체가 들어있는 관의 길이 및 센서의 개수는 수평에 대한 정확도의 차이에 따라 달라질 수 있다. 센서에 의해 모아진 정보는 수평 구동부(220)에 전달되며, 수평 구동부(220)는 구동하여 정반(200)의 수평을 맞추게 된다.The length of the tube containing the liquid and the number of sensors can vary depending on the difference in accuracy with respect to the horizontal. The information collected by the sensor is transmitted to the horizontal driver 220, and the horizontal driver 220 drives to level the surface plate 200.

수평 구동부(220)는 모터와, 모터의 회전을 직선운동으로 변환하는 기어일 수 있으며, 모터의 회전으로 인하여 정반의 일측의 높이를 승하강시키는 역할을 한다. 정반수평부(210) 및 수평 구동부(220)는 정반에서 탈착할 수 있도록 구성할 수도 있다.The horizontal drive unit 220 may be a motor and a gear for converting the rotation of the motor into a linear motion, and serves to raise and lower the height of one side of the surface plate due to the rotation of the motor. The surface plate horizontal portion 210 and the horizontal drive portion 220 may be configured to be detachable from the surface plate.

기울어진 측정면을 측정했을 경우, 측정기의 수평에 따라 측정결과가 달라질 수 있다. 이러한 예를 도 6a, 6b, 도 7a, 7b에 도시하였다. 기존의 경우에는 이렇게 달라질 수 있는 결과를 보정하기 위해 변환된 값, 즉 양 끝 지점을 0으로 변환하여 직선의 프로파일에 대한 정보만을 확인하였다. 이 경우에는 좌우 높이편차에 대한 정보를 확인하기 어려우며, 측정 결과에 대한 신뢰성이 떨어진다. 하지만, 본 발명에서는 높이차에 의한 유체 흐름을 이용하여 현재의 정보를 얻고, 이에 대한 피드백을 통해 모터 등의 회전으로 높이를 자동 조절함으로써, 레벨링에 소요되는 시간 및 불편함을 줄이고, 측정값의 보정없이 실제 측정된 데이터를 그대로 신뢰할 수 있게 된다.When measuring the inclined measuring surface, the measurement result may vary depending on the level of the measuring instrument. This example is shown in FIGS. 6A, 6B, 7A, 7B. In the existing case, only the information about the profile of the straight line was confirmed by converting the converted value, that is, both end points to 0, in order to compensate for such a different result. In this case, it is difficult to confirm the information on the left and right height deviations, and the reliability of the measurement results is poor. However, in the present invention, the current information is obtained by using the fluid flow due to the height difference, and by automatically adjusting the height by the rotation of the motor through the feedback thereto, the time and inconvenience required for leveling is reduced, and the measurement value Actually measured data can be trusted without correction.

도 8a는 기존의 프로파일러에서 측정면의 측정위치를 표시한 것이고, 도 8b 는 도 8a의 측정 결과를 도시한 것이다. 도 8b를 살펴보면, 종래의 방법에 의한 경우는 보정을 통해 양쪽 에지(edge)의 높이가 동일하고, 센터부가 오목한 형태(concave)로 프로파일이 도출된다. 기존의 경우 1회 측정시 1개의 직선 프로파일 정보를 얻는데 그친다.8A shows the measurement position of the measurement surface in the existing profiler, and FIG. 8B shows the measurement result of FIG. 8A. Referring to FIG. 8B, in the case of the conventional method, a profile is derived in a concave shape in which the heights of both edges are the same and the center portion is concave through correction. In the conventional case, only one linear profile information is obtained in one measurement.

도 9a는 본 발명의 프로파일러에서 측정면의 측정위치를 표시한 것이고, 도 9b는 도 9a의 측정 결과를 도시한 것이다.Figure 9a shows the measurement position of the measurement surface in the profiler of the present invention, Figure 9b shows the measurement results of Figure 9a.

이에 도시된 바와 같이, 정반의 회전에 의하여 측정면 전체에 대한 정확한 정보를 얻을 수 있게 된다. 본 발명의 측정 결과는 측정면의 모든 정보를 포함하고 있으며, 이에 따라 3D 및 원하는 구간에 대한 직선 프로파일을 확인할 수 있다.As shown in the drawing, accurate information on the entire measurement surface can be obtained by the rotation of the surface plate. The measurement result of the present invention includes all the information of the measurement surface, thereby confirming the 3D and the linear profile for the desired section.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art various modifications and variations of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.

본 명세서 내에 포함되어 있음.Included in this specification.

도 1은 종래의 프로파일러를 도시한 정면도이다.1 is a front view showing a conventional profiler.

도 2는 종래의 프로파일러의 측정공정을 도시한 순서도이다.Figure 2 is a flow chart illustrating a measurement process of a conventional profiler.

도 3a, B는 종래에 의한 기울어짐의 보정예를 설명한 그래프로서, 도 3a는 측정된 데이터의 예를 보여주는 그래프이고, 도 3b는 보정을 수행한 예를 보여주는 그래프이다.3A and 3B are graphs illustrating a conventional example of correction of inclination, and FIG. 3A is a graph showing an example of measured data, and FIG. 3B is a graph showing an example of performing correction.

도 4는 본 발명에 따른 프로파일러의 모습을 도시한 평면도이다.4 is a plan view showing a state of the profiler according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 프로파일러의 모습을 도시한 정면도이다.5 is a front view showing a state of the profiler according to the present invention.

도 6a는 측정면이 기울어진 경우는 도시한 정면도이고, 도 6b는 도 6a의 측정값 그래프이다.FIG. 6A is a front view illustrating the inclined measurement surface, and FIG. 6B is a graph of the measured value of FIG. 6A.

도 7a는 측정면과 측정바가 같이 기울어진 경우는 도시한 정면도이고, 도 7b는 도 7a의 측정값 그래프이다.7A is a front view illustrating a case where the measurement surface and the measurement bar are inclined together, and FIG. 7B is a graph of the measured value of FIG. 7A.

도 8a는 기존의 프로파일러에서 측정면의 측정위치를 표시한 것이고, 도 8b는 도 8a의 측정 결과를 도시한 것이다.FIG. 8A illustrates the measurement position of the measurement surface in the existing profiler, and FIG. 8B illustrates the measurement result of FIG. 8A.

도 9a는 본 발명의 프로파일러에서 측정면의 측정위치를 표시한 것이고, 도 9b는 도 9a의 측정 결과를 도시한 것이다.Figure 9a shows the measurement position of the measurement surface in the profiler of the present invention, Figure 9b shows the measurement results of Figure 9a.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for main parts of the drawings>

100: 프로파일러 110: 측정바100: profiler 110: measuring bar

111: 수평부 112: 수직부111: horizontal portion 112: vertical portion

120: 측정 프로브 130: 신호발진부120: measurement probe 130: signal oscillator

131: 신호수신부 140: 제어부131: signal receiver 140: controller

200: 정반 210: 정반 수평부200: plate 210: plate horizontal portion

220: 수평 구동부220: horizontal drive unit

Claims (14)

측정바;Measuring bar; 상기 측정바에 직선으로 이동 가능하게 설치되며, 일단이 측정면에 접촉되는 측정 프로브;A measuring probe installed on the measuring bar so as to be movable in a straight line and having one end contacting the measuring surface; 회전 가능하며, 상기 측정면을 구비한 측정체가 올려지는 정반;A table, rotatable, on which a measuring body having the measuring surface is placed; 상기 측정 프로브의 신호를 수신하여, 상기 측정면의 프로파일을 시현하는 제어부; 및A controller which receives a signal of the measurement probe and displays a profile of the measurement surface; And 상기 정반의 하부에 위치한 정반수평유닛;A surface plate horizontal unit located below the surface plate; 을 포함하며,Including; 상기 정반수평유닛은,The platen horizontal unit, 내부에 액체가 일부이상 채워진 정반 수평부;Platen horizontal portion filled with at least a portion of liquid inside; 상기 액체의 움직임을 감지하는 센서부; 및Sensor unit for detecting the movement of the liquid; And 상기 센서부의 신호에 따라 상기 정반의 수평을 조정하는 수평 구동부;A horizontal driver for adjusting the horizontal of the surface plate according to the signal of the sensor unit; 를 포함하며,Including; 상기 정반의 회전 및 상기 측정 프로브의 직선 이동으로 상기 측정면의 3차원 형상을 측정하는 것을 특징으로 하는 프로파일러.A profiler for measuring a three-dimensional shape of the measurement surface by the rotation of the surface plate and the linear movement of the measurement probe. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수평 구동부는,The horizontal drive unit, 모터; 및motor; And 상기 모터의 회전력을 직선 운동으로 변환시키는 기어;A gear for converting the rotational force of the motor into linear motion; 를 포함하는 프로파일러.Profiler including. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정반수평유닛은 탈부착이 가능한 것을 특징으로 하는 프로파일러.The platen horizontal unit is characterized in that the detachable profiler. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 측정바는 ㄷ자 형태로서, 지면을 지지하고 있는 곳에 수평조절을 위한 나사가 구비된 것을 특징으로 하는 프로파일러.The measuring bar is a U-shaped profile, characterized in that provided with a screw for leveling the place supporting the ground. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 측정 프로브는 그 길이가 조절되는 것을 특징으로 하는 프로파일러.And the measuring probe is adjusted in length. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정반의 회전속도를 감지할 수 있는 회전센서부를 더 포함하는 프로파일러.Profiler further comprises a rotation sensor unit for detecting the rotational speed of the surface plate. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 회전센서부는,The rotation sensor unit, 상기 정반의 측면에 위치하여 상기 정반과 함께 회전하는 신호발진부; 및A signal oscillator positioned on the side of the surface plate and rotating together with the surface plate; And 상기 측정바에 위치하여, 상기 신호발진부의 신호를 수신하는 신호수신부;A signal receiver positioned on the measurement bar to receive a signal of the signal oscillator; 를 포함하는 프로파일러.Profiler including. 측정체에 구비된 측정면의 프로파일을 측정하는 프로파일러에 있어서,In the profiler which measures the profile of the measuring surface with which the measurement body was equipped, 상기 측정면은 측정 프로브에 접촉하되, 상기 측정 프로브는 직선 이동하며, 상기 측정체는 정반에 위치시켜 상기 정반을 회전시키면서 상기 측정면의 3차원 형상을 측정하며, 상기 정반은 하부에 위치한 정반수평유닛에 의해 수평 유지되며, The measuring surface is in contact with the measuring probe, the measuring probe moves in a straight line, the measuring body is located on the surface plate to measure the three-dimensional shape of the measurement surface while rotating the surface plate, the surface plate is located in the lower surface horizontal Leveled by the unit, 상기 정반수평유닛은,The platen horizontal unit, 내부에 액체가 일부이상 채워진 정반 수평부;Platen horizontal portion filled with at least a portion of liquid inside; 상기 액체의 움직임을 감지하는 센서부; 및Sensor unit for detecting the movement of the liquid; And 상기 센서부의 신호에 따라 상기 정반의 수평을 조정하는 수평 구동부;A horizontal driver for adjusting the horizontal of the surface plate according to the signal of the sensor unit; 을 포함하는 프로파일러.Profiler including. 삭제delete 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 수평 구동부는,The horizontal drive unit, 모터; 및motor; And 상기 모터의 회전력을 직선 운동으로 변환시키는 기어;A gear for converting the rotational force of the motor into linear motion; 를 포함하는 프로파일러.Profiler including. 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 측정 프로브는 그 길이가 조절되는 것을 특징으로 하는 프로파일러.And the measuring probe is adjusted in length. 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 정반의 회전속도를 감지할 수 있는 회전센서부를 더 포함하는 프로파일러.Profiler further comprises a rotation sensor unit for detecting the rotational speed of the surface plate. 제 13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 회전센서부는,The rotation sensor unit, 상기 정반의 측면에 위치하여 상기 정반과 함께 회전하는 신호발진부; 및A signal oscillator positioned on the side of the surface plate and rotating together with the surface plate; And 상기 측정 프로브가 직선으로 이동 가능하게 설치되는 측정부에 위치하여, 상기 신호발진부의 신호를 수신하는 신호수신부;A signal receiver configured to be positioned in a measurement unit in which the measurement probe is linearly movable and to receive a signal of the signal oscillator; 를 포함하는 프로파일러.Profiler including.
KR1020080114001A 2008-11-17 2008-11-17 Profiler KR100956252B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080114001A KR100956252B1 (en) 2008-11-17 2008-11-17 Profiler

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080114001A KR100956252B1 (en) 2008-11-17 2008-11-17 Profiler

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100956252B1 true KR100956252B1 (en) 2010-05-06

Family

ID=42281439

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080114001A KR100956252B1 (en) 2008-11-17 2008-11-17 Profiler

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100956252B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014163245A1 (en) * 2013-04-05 2014-10-09 (주) 유원컴텍 Three-dimensional motion sensor having via hole

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03255901A (en) * 1990-03-07 1991-11-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Roll profile measuring method
JPH1137705A (en) 1997-07-23 1999-02-12 Kawasaki Steel Corp Method for measuring roll profile
JP2000292106A (en) * 1999-04-08 2000-10-20 Toyota Central Res & Dev Lab Inc Monitoring apparatus for measuring thickness of film
JP2003240503A (en) 2002-02-18 2003-08-27 Fukushima Prefecture Method and apparatus for measuring perfect circle

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03255901A (en) * 1990-03-07 1991-11-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Roll profile measuring method
JPH1137705A (en) 1997-07-23 1999-02-12 Kawasaki Steel Corp Method for measuring roll profile
JP2000292106A (en) * 1999-04-08 2000-10-20 Toyota Central Res & Dev Lab Inc Monitoring apparatus for measuring thickness of film
JP2003240503A (en) 2002-02-18 2003-08-27 Fukushima Prefecture Method and apparatus for measuring perfect circle

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014163245A1 (en) * 2013-04-05 2014-10-09 (주) 유원컴텍 Three-dimensional motion sensor having via hole

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5138268B2 (en) Dimensional measuring device
US8221193B2 (en) Closed loop control of pad profile based on metrology feedback
US7394553B2 (en) Integrated measurement device
EP2075530A2 (en) Surveying instrument and surveying compensation method
CN108731950B (en) A kind of tire wear measurement rack
JP2007017292A (en) Brake disk inspecting device
CN101657296A (en) System, device and method for levelling floors
JP2007054947A (en) Device for grinding spinning cot
KR200448699Y1 (en) a bending measurement device of the shaft
CN105806301A (en) Surface warpage measurement device and method
KR100956252B1 (en) Profiler
JP2000136923A (en) Contact-type pipe-inside-diameter measuring apparatus
JP2017043941A (en) Cutting depth gauge of concrete cutter
CN107433960A (en) A kind of rail head of rail profile measuring instrument
CN107144247A (en) A kind of digital display axle run-out instrument and axle glitch detection method
CN102297681A (en) Device and method for measuring installation gradient of rotary kiln supporting roller
FR2590666A1 (en) INSTRUMENT FOR MEASURING THE PROFILE OF RAILWAY WHEELS
CN108709568B (en) Clinometer detection device
JP6326710B2 (en) Surface roughness measuring machine
JP2017096906A (en) Method of measuring topographic profile and/or topographic image
CN210968543U (en) Verticality detection device
US6473987B1 (en) Method for measuring wafer thickness
CN114234895A (en) Flatness detection equipment for constructional engineering and use method thereof
CN202885781U (en) Non-contact type height measuring device for surrounding edge of mattress
CN112967484A (en) House safety identification device and use method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130327

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140325

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160401

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170328

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180319

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190325

Year of fee payment: 10