KR100950016B1 - 평판 패널 지지유닛 - Google Patents

평판 패널 지지유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR100950016B1
KR100950016B1 KR1020080033600A KR20080033600A KR100950016B1 KR 100950016 B1 KR100950016 B1 KR 100950016B1 KR 1020080033600 A KR1020080033600 A KR 1020080033600A KR 20080033600 A KR20080033600 A KR 20080033600A KR 100950016 B1 KR100950016 B1 KR 100950016B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
flat panel
horizontal
vertical
edge
plate
Prior art date
Application number
KR1020080033600A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090108264A (ko
Inventor
이행삼
조인군
Original Assignee
티에스씨멤시스(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 티에스씨멤시스(주) filed Critical 티에스씨멤시스(주)
Priority to KR1020080033600A priority Critical patent/KR100950016B1/ko
Publication of KR20090108264A publication Critical patent/KR20090108264A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100950016B1 publication Critical patent/KR100950016B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

평판 패널 지지유닛은 제1 플레이트, 제2 플레이트, 제1 및 제2 가로변지지부재, 및 제1 및 제2 세로변 지지부재를 포함한다. 제2 플레이트는 평판 패널의 세로 방향을 따라 이동 가능하도록 제1 플레이트 상에 구비된다. 제1 가로변 지지부재는 상기 제1 플레이트 상에 고정되고, 상기 평판 패널의 상단 가로변을 지지한다. 제1 및 제2 세로변 지지부재들은 제1 플레이트 상에 구비되며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하기 위해 상기 평판 패널의 가로 방향을 따라 이동 가능하다. 제2 가로변 지지부재는 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 하단 가로변을 지지하기 위해 상기 평판 패널의 세로 방향을 따라 이동 가능하다.

Description

평판 패널 지지유닛{Unit for supporting a flat panel}
본 발명은 평판 패널 지지유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 패널의 검사를 위해 평판 패널의 가장자리를 지지하는 평판 패널 지지유닛에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display) 패널, 유기 EL 패널 등의 평판 패널은 여러 단계의 제조 공정을 거쳐 제조된다. 상기 평판 패널의 제조 공정시 상기 평판 패널에 대한 검사를 수행한다. 상기 검사는 프로브 유닛을 이용한 평판 패널의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 및 현미경 등을 이용한 육안검사를 포함한다.
상기 평판 패널은 다양한 크기를 가지므로, 상기 평판 패널의 크기에 따라 평판 패널 지지유닛을 각각 제작한다. 검사할 평판 패널의 크기에 따라 평판 패널 지지유닛을 분리 교체하여 상기 평판 패널에 대한 검사를 수행한다.
상기와 같은 평판 패널 지지유닛의 교체는 다음과 같은 문제점들을 갖는다.
첫째, 검사할 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널 지지유닛을 각각 제작해야 하므로 상기 평판 패널 지지유닛 제작 비용이 많이 소요된다.
둘째, 상기 평판 패널의 대형화로 인해 상기 평판 패널 지지유닛의 무게가 증가된다. 따라서, 상기 평판 패널 지지유닛의 교체 작업 및 보관에 어려움이 있다.
본 발명은 다양한 크기의 평판 패널을 지지하는 평판 패널 지지유닛을 제공한다.
본 발명에 따른 평판 패널 지지유닛은 제1 플레이트, 상기 평판 패널의 상단 가로변을 지지하며, 상기 제1 플레이트 상에 고정되는 제1 가로변 지지부재, 상기 제1 플레이트 상에서 상기 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 가로 방향을 따라 이동 가능한 제1 및 제2 세로변 지지부재들 및 상기 평판 패널의 하단 가로변을 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 세로 방향을 따라 이동 가능한 제2 가로변 지지부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 평판 패널 지지유닛은 상기 제1 플레이트의 하부에 상기 광이 통과하기 위한 제2 개구를 가지며, 상기 세로 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 제1 플레이트를 지지하는 제2 플레이트를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재들과 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들은 각각 상기 평판 패널을 진공 흡착하기 위한 진공라인을 가질 수 있다.
상기 평판 패널 지지유닛은 상기 제1 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세 로변 지지부재들에 각각 구비되며, 상기 제1 가로변 지지부재에 놓여지는 상기 평판 패널의 상단 가로변들 길이 및 위치 그리고 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들에 놓여지는 상기 평판 패널의 세로변들 길이 및 위치를 감지하는 센서들 및 상기 제1 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들의 진공 라인들 상에 각각 구비되고, 상기 센서들의 감지 결과에 따라 상기 진공 라인들을 선택적으로 개폐하여 상기 평판 패널의 상단 가로변 및 상기 세로변들이 커버하는 진공 라인들에만 상기 진공력을 제공하는 밸브들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 제2 가로변 지지부재는 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들 사이에 배치되며, 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들 사이의 최소 간격과 같거나 작은 길이를 가질 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 가로변 지지부재는 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들의 일단들이 삽입되며, 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들의 상기 가로 방향 이동을 가이드하는 가이드 홈을 가질 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재들의 상부면 중앙 부위들 각각에는 상기 평판 패널의 로딩 및 언로딩을 위한 그리퍼(gripper)가 삽입되는 적어도 하나의 홈이 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 평판 패널 지지유닛은 평판 패널의 상단 가로변을 지지하는 제1 가로변 지지부재, 상기 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 가로 방향으로 이동 가능한 제1 및 제2 세로변 지지부재들 및 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들 사이에 배치되어 상기 평판 패 널의 하단 가로변을 지지하고, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 세로 방향으로 이동 가능하며, 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들 사이의 최소 간격과 같거나 작은 길이를 갖는 제2 가로변 지지부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 평판 패널 지지유닛은 상기 제1 가로변 지지부재를 고정하고, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 제1 가로변 지지부재를 상기 세로 방향으로 이동시키기 위해 상기 세로 방향을 따라 이동 가능한 플레이트를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 평판 패널 지지유닛은 평판 패널의 가로변을 지지하는 제1 가로변 지지부재를 고정하는 플레이트 및 제2 가로변 지지부재를 평판 패널의 세로 방향으로 이동하고 상기 플레이트 상에 배치되는 제1 세로변 지지부재 및 제2 세로변 지지부재를 가로 방향으로 이동할 수 있으므로, 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널 지지유닛의 크기를 가변할 수 있다. 따라서, 상기 평판 패널의 크기에 따른 상기 평판 패널 지지유닛의 교체 시간 및 비용을 줄일 수 있다.
상기 제2 가로변 지지부재의 길이가 상기 제1 세로변 지지부재와 상기 제2 세로변 지지부재 사이의 최소 거리와 같거나 작으므로, 상기 제2 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들이 서로의 이동을 제한하지 않는다. 따라서, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재의 상면들이 동일한 높이를 가질 수 있고, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재의 상면들에 진공라인을 형성하여 상기 평판 패널을 직접 진공 흡 착할 수 있다. 그러므로, 상기 평판 패널 지지유닛의 구조를 단순화하고 크기를 감소시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 평판 패널 지지유닛에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또 는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 패널 지지유닛을 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 제1 지지부재 및 제2 지지부재의 이동을 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 평판 패널 지지유닛(100)은 프로브 유닛을 이용하여 평판 패널(10)의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 그리고 현미경 등을 이용한 육안검사를 실시하기 위해 상기 평판 패널(10)을 지지하는 장치이다.
이하에서 상기 평판 패널(10)과 평행한 평면에서 좌우 방향을 가로 방향이라 하고 상하 방향을 세로방향이라 한다.
상기 평판 패널 지지유닛(100)은 백라이트 유닛(미도시) 상에 구비된다. 상기 백라이트 유닛은 상기 평판 패널 지지유닛(100)에 놓여지는 평판 패널(10)을 조 명한다.
상기 평판 패널 지지유닛(100)은 제1 플레이트(110), 제2 플레이트(120), 제1 가로변 지지부재(130), 제1 세로변 지지부재(140), 제2 세로변 지지부재(150), 제2 가로변 지지부재(160), 제1 구동부재(170), 제2 구동 부재(180), 제3 구동 부재(185) 및 제4 구동 부재(190)를 포함한다.
상기 제1 플레이트(110)는 상기 백라이트 유닛의 상방에 구비된다. 상기 제1 플레이트(110)는 중앙에 사각형의 제1 개구(112)를 갖는다. 상기 제1 개구(112)를 통해 상기 평판 패널(10)을 조명하기 위한 광이 통과한다.
상기 제2 플레이트(120)는 상기 제1 플레이트(110)의 상방에 구비되며, 상기 평판 패널(10)의 세로 방향을 따라 이동 가능하다. 상기 제2 플레이트(120)는 중앙에 사각형의 제2 개구(122)를 갖는다. 상기 제2 개구(122)를 통해 상기 제1 개구(112)를 통해 제공된 광이 통과한다.
상기 제2 개구(122)의 크기는 상기 평판 패널(10)의 크기와 같거나 크다. 따라서, 상기 제2 플레이트(120)가 상기 광을 차단하지 않으므로, 상기 광이 상기 평판 패널(10) 전체를 조명할 수 있다.
마찬가지로, 상기 제1 개구(112)의 크기는 상기 제2 개구(122)의 크기와 같거나 크다. 따라서, 상기 제1 플레이트(110)가 상기 광을 차단하지 않으므로, 상기 광이 상기 평판 패널(10) 전체를 조명할 수 있다.
상기 제1 가로변 지지부재(130)는 상기 제2 플레이트(120)의 상부면 상단에 고정되며, 상기 평판 패널(10)의 가로 방향을 따라 연장되어 상기 평판 패널(10)의 상단 가로변을 지지한다. 상기 제1 가로변 지지부재(130)의 길이는 상기 제2 개구(122)의 좌우 폭과 같거나 클 수 있다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 가로변 지지부재(130), 제1 세로변 지지부재(140) 및 제2 세로변 지지부재(150)의 평판 패널(10) 고정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 상기 제1 가로변 지지부재(130)는 상기 평판 패널(10)의 상단 가로변 저면을 진공 흡착하기 위한 제1 진공라인(132)들을 갖는다. 따라서, 상기 제1 가로변 지지부재(130)는 상기 평판 패널(10)의 상단 가로변을 고정한다.
상기 제1 가로변 지지부재(130)는 상기 제2 개구(122)를 향하는 측면에 상기 가로 방향으로 연장되는 제1 가이드 홈(134a) 및 제2 가이드 홈(134b)을 포함한다. 상기 제1 가이드 홈(134a) 및 제2 가이드 홈(134b)은 동일한 높이를 갖는다. 상기 제1 가이드 홈(134a)은 상기 제1 가로변 지지부재(130)의 상기 측면 좌측에 위치하며, 상기 제2 가이드 홈(134b)은 상기 제1 가로변 지지부재(130)의 상기 측면 우측에 위치한다.
상기 제1 가로변 지지부재(130)는 상면 중앙에 제1 그립 홈(136)을 갖는다. 상기 평판 패널(10)의 로딩 및 언로딩시 상기 평판 패널(10)을 이송하는 그리퍼(gripper)가 상기 제1 그립 홈(136)에 삽입된다. 상기 제1 가로변 지지부재(130)가 상기 가로 방향으로 이동하지 않으므로, 상기 제1 그립 홈(136)은 상기 평판 패널(10)의 상단 중앙에 위치한다.
제1 센서(138)들은 상기 제1 가로변 지지부재(130) 상에 구비된다. 예를 들 면, 상기 제1 센서(138)들은 상기 제1 진공라인(132)들의 사이 또는 일측에 각각 배치된다. 상기 제1 센서(138)들이 상기 제1 가로변 지지부재(130)에 놓여지는 상기 평판 패널(10)의 상단 가로변을 감지하여 상기 평판 패널(10)의 상단 가로변 길이와 상기 상단 가로변이 상기 제1 가로변 지지부재(130) 상에 놓여진 위치를 감지한다.
제1 밸브들(139)은 상기 제1 진공라인(132)들 상에 각각 구비되고, 상기 제1 센서(138)들의 감지 결과에 따라 상기 제1 진공 라인(136)들을 선택적으로 개폐한다. 예를 들면, 상기 평판 패널(10)의 상단 가로변이 놓여지는 상기 제1 진공라인(132)들에 구비된 제1 밸브들(139)은 개방되고, 상기 평판 패널(10)의 가로변들이 놓여지지 않은 상기 제1 진공라인(132)들에 구비된 제1 밸브들(139)은 차단된다. 따라서, 상기 평판 패널(10)의 상단 가로변이 놓여지지 않은 상기 제1 진공라인(132)들을 통해 상기 진공력이 누설되지 않고, 상기 평판 패널(10)의 상단 가로변이 놓여지는 상기 제1 진공라인(132)들에만 상기 진공력이 제공된다. 따라서, 상기 제1 가로변 지지부재(130)는 상기 진공력을 이용하여 상기 평판 패널(10)의 상단 가로변을 안정적으로 고정할 수 있다.
한편, 검사할 평판 패널(10)의 크기와 놓여질 위치를 예상하여 상기 제1 진공 라인(136)들 상에 구비된 상기 제1 밸브(139)들을 선택적으로 개폐할 수 있다.
상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)는 상기 제2 플레이트(120) 상의 상기 가로 방향 양단에 각각 구비된다. 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)는 상기 세로 방향을 따라 각각 연장되며, 상기 가로방향으로 이동 가능하다. 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)는 상기 평판 패널(10)의 세로변들을 각각 지지한다. 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150) 각각의 길이는 상기 제2 개구(122)의 상하 폭과 같거나 클 수 있다.
상기 제1 가이드 홈(134a)은 상기 제1 세로변 지지부재(140)의 일단을 가이드하고, 상기 제2 가이드 홈(134b)은 상기 제2 세로변 지지부재(150)의 일단을 가이드한다.
상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)는 상기 평판 패널(10)의 세로변들 저면을 각각 진공 흡착하기 위한 제2 진공라인(142)들 및 제3 진공라인(152)들을 갖는다. 따라서, 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)는 상기 평판 패널(10)의 세로변들을 고정한다.
제2 센서(144)들은 상기 제1 세로변 지지부재(140) 상에 구비되고, 제3 센서(154)들은 상기 제2 세로변 지지부재(150) 상에 구비된다. 제2 밸브들(146)은 상기 제2 진공라인(142)들 상에 각각 구비되고, 제3 밸브들(156)은 상기 제3 진공라인(152)들 상에 각각 구비된다.
상기 제2 센서(144)들 및 상기 제3 센서(154)들, 상기 제2 밸브(146)들 및 상기 제3 밸브(156)들에 대한 설명은 상기 제1 센서(138)들과 상기 제1 밸브(139)들에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 제2 가로변 지지부재(160)는 제1 블록(162) 및 제2 블록(164)을 포함한다.
상기 제1 블록(162)은 상기 가로 방향을 따라 연장되며, 상기 제1 플레이트(110)와 상기 제2 플레이트(120) 사이에 구비된다. 상기 제1 블록(162)은 상기 세로 방향을 따라 이동 가능하다. 상기 제1 블록(162)의 길이는 상기 제2 개구(122)의 좌우 폭보다 클 수 있다.
상기 제2 블록(164)은 상기 가로 방향을 따라 연장되며, 상기 제1 블록(162)에 고정된다. 예를 들면, 상기 제2 블록(164)의 고정 위치는 상기 제1 블록(162)의 가로 방향의 중앙 부위일 수 있다. 상기 제2 블록(164)은 상기 평판 패널(10)의 하단 가로변을 지지한다. 상기 제2 블록(164)의 길이는 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150) 사이의 최소 간격과 같거나 작을 수 있다.
상기 제2 가로변 지지부재(160)의 길이가 상기 제1 세로변 지지부재(140)와 상기 제2 세로변 지지부재(150) 사이의 최소 거리와 같거나 작으므로, 상기 제2 가로변 지지부재(160)와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들(140, 150)이 서로의 이동을 제한하지 않는다. 즉, 상기 제2 가로변 지지부재(160)의 방해없이 상기 제1 세로변 지지부재(140)와 상기 제2 세로변 지지부재(150)가 상기 가로 방향으로 이동할 수 있으며, 또한, 상기 제1 세로변 지지부재(140)와 상기 제2 세로변 지지부재(150)의 방해없이 상기 제2 가로변 지지부재(160)가 상기 세로 방향으로 이동할 수 있다.
상기 제2 블록(164)은 상기 평판 패널(10)의 하단 가로변 저면을 진공 흡착하기 위한 제4 진공라인(166)들을 갖는다. 따라서, 상기 제2 가로변 지지부재(160) 는 상기 평판 패널(10)의 하단 가로변을 고정한다.
상기 제2 가로변 지지부재(160)의 제2 블록(164)은 상면 중앙에 제2 그립 홈(168)을 갖는다. 상기 평판 패널(10)의 로딩 및 언로딩시 상기 그리퍼가 상기 제2 그립 홈(168)에 삽입된다. 상기 제2 가로변 지지부재(160)가 상기 가로 방향으로 이동하지 않으므로, 상기 제2 그립 홈(168)은 상기 평판 패널(10)의 하단 중앙에 위치한다.
상기 평판 패널(10)의 크기가 변화되더라도 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)가 상기 가로 방향을 따라 이동하여 상기 평판 패널(10)을 상기 가로 방향 중앙에 위치시킬 수 있다. 그러므로, 상기 제1 가로변 지지부재(130)의 상면 중앙 및 상기 제2 가로변 지지부재(160)의 제2 블록(164)은 상면 중앙에 각각 형성된 상기 제1 그립 홈(136) 및 상기 제2 그립 홈(168)을 통해 상기 그리퍼가 상기 평판 패널(10)의 중심을 안정적으로 고정하여 로딩 및 언로딩할 수 있다.
상기 제2 가로변 지지부재(160)와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들(140, 150)이 서로의 이동을 제한하지 않으므로, 상기 제1 가로변 지지부재(130), 제1 세로변 지지부재(140), 제2 세로변 지지부재(150) 및 상기 제2 가로변 지지부재(160)의 상면들이 동일한 높이를 가질 수 있다. 따라서, 상기 제1 가로변 지지부재(130), 제1 세로변 지지부재(140), 제2 세로변 지지부재(150) 및 상기 제2 가로변 지지부재(160)가 상기 평판 패널(10)의 저면과 동시에 접촉하여 상기 평판 패널(10)을 진공 흡착할 수 있다.
상기에서는 상기 평판 패널(10)이 상기 제1 내지 제4 진공라인들(132, 142, 152, 166)을 통해 제공되는 진공력에 의해 고정되는 것으로 설명되었지만, 상기 평판 패널(10)은 상기 진공력 및 상기 평판 패널(10)이 상기 제1 가로변 지지부재(130), 제1 세로변 지지부재(140), 제2 세로변 지지부재(150) 및 상기 제2 가로변 지지부재(160)의 상면들과 접촉하도록 가압하는 클램프(도시 안됨)에 의해 고정될 수 있다. 또한, 상기 평판 패널(10)은 상기 제1 내지 제4 진공라인들(132, 142, 152, 166)을 생략하고 상기 클램프에 의해서만 고정될 수도 있다.
한편, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재(130, 160)와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재(140, 150) 상에 놓여진 상기 평판 패널(10)을 이동시켜 상기 평판 패널(10)을 검사 위치로 정렬하기 위한 정렬 부재(도시 안됨)가 더 구비될 수 있다.
상기 제1 구동 부재(170)는 상기 제2 플레이트(120)를 상기 세로 방향으로 이동시키기 위한 것으로, 제1 볼 스크류(171), 제2 볼 스크류(172), 제1 모터(173), 동력전달부재(174), 제1 볼너트(175)들 및 제1 LM가이드(176)들을 포함한다.
상기 제1 볼 스크류(171)는 상기 제1 플레이트(110) 상의 우측단 중앙에서 상단까지 상기 세로 방향으로 연장된다. 상기 제2 볼 스크류(172)는 상기 제1 플레이트(110) 상의 좌측단 중앙에서 상단까지 상기 세로 방향으로 연장된다. 상기 제1 볼 스크류(171)와 상기 제2 볼 스크류(172)는 서로 평행하게 배치된다. 상기 제1 볼 스크류(171) 및 상기 제2 볼 스크류(172)는 각각 일방향 스크류 구조를 가지며, 서로 반대 방향의 스크류 구조를 갖는다. 예를 들면, 상기 제1 볼 스크류(171)가 왼방향 스크류 구조를 가지면, 상기 제2 볼 스크류(172)는 오른방향 스크류 구조를 갖는다.
상기 제1 모터(173)는 상기 제1 볼 스크류(171)의 일단에 연결되어 상기 제1 볼 스크류(171)를 회전시킨다. 상기 제1 모터(173)의 구동력은 상기 제1 볼 스크류(171)에 직접 전달되거나 벨트 등을 통하여 전달될 수 있다.
상기 동력전달부재(174)는 상기 제1 볼 스크류(171)의 타단과 상기 제2 볼 스크류(172)의 타단을 연결하며, 상기 제1 볼 스크류(171)의 회전력을 상기 제2 볼 스크류(172)로 제공한다. 예를 들면, 상기 동력전달부재(174)는 회전축과 기어를 포함하거나 벨트와 풀리를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 제1 모터(173)가 상기 제1 볼 스크류(171)와 상기 제2 볼 스크류(172)를 동시에 회전시킬 수 있다.
본 발명에서는 상기 동력전달부재(174)를 이용하여 상기 제2 볼 스크류(172)를 회전시키는 것으로 설명되었다. 하지만, 상기 동력전달부재(174)를 생략하고 상기 제2 볼 스크류(172)를 회전시키기 위한 제1 모터(173)를 추가 장착할 수도 있다.
상기 제1 볼너트(175)들은 상기 제2 플레이트(120)의 상기 가로 방향 양단에 각각 연결되며, 상기 제1 볼 스크류(171) 및 상기 제2 볼 스크류(172)에 각각 끼워진다. 상기 제1 볼너트(175)들은 상기 제1 볼 스크류(171) 및 상기 제2 볼 스크류(172)의 회전에 따라 상기 세로 방향을 따라 직선 이동한다. 상기 제1 볼너트(175)들의 이동에 따라 상기 제2 플레이트(120) 및 상기 제2 플레이트(120)에 고정된 제1 가로변 지지부재(130)는 상기 세로 방향을 따라 직선 이동한다.
상기 제1 LM가이드(176)들은 상기 제1 플레이트(110) 상의 좌우 양단에 상기 제1 볼 스크류(171) 및 상기 제2 볼 스크류(172)와 평행하게 각각 구비된다. 상기 제1 LM가이드(176)들은 상기 제2 플레이트(120)의 상기 세로 방향 이동을 가이드한다.
상기 제2 구동 부재(180)는 상기 제1 세로변 지지부재(140)를 상기 가로 방향으로 이동시키기 위한 것으로, 제3 볼 스크류(181), 제2 모터(182) 및 제2 볼너트(183) 및 제2 LM가이드(184)를 포함한다.
상기 제3 볼 스크류(181)는 상기 제2 플레이트(120) 상의 하단 중앙에서 좌측단까지 상기 가로 방향으로 연장된다. 상기 제3 볼 스크류(181)는 일방향 스크류 구조를 갖는다.
상기 제2 모터(182)는 상기 제3 볼 스크류(181)의 일단에 연결되어 상기 제3 볼 스크류(181)를 회전시킨다. 상기 제2 모터(182)의 구동력은 상기 제3 볼 스크류(181)에 직접 전달되거나 벨트 등을 통하여 전달될 수 있다.
상기 제2 볼너트(183)는 상기 제1 세로변 지지부재(140)의 타단에 연결되며, 상기 제3 볼 스크류(181)에 끼워진다. 상기 제2 볼너트(183)들은 상기 제3 볼 스크류(181)의 회전에 따라 상기 가로 방향을 따라 직선 이동한다. 상기 제2 볼너트(183)들의 이동에 따라 상기 제1 세로변 지지부재(140)는 상기 가로 방향을 따라 직선 이동한다.
상기 제2 LM가이드(184)는 상기 제2 플레이트(120)의 하단 중앙에서 좌측단까지 가로 방향으로 연장되며, 상기 제3 볼 스크류(181)와 평행하게 배치된다. 상 기 제2 LM가이드(184)들은 상기 제1 세로변 지지부재(140)의 상기 가로 방향 이동을 가이드한다.
상기 제3 구동 부재(185)는 상기 제2 세로변 지지부재(150)를 상기 가로 방향으로 이동시키기 위한 것으로, 제4 볼 스크류(186), 제3 모터(187), 제3 볼너트(188) 및 제3 LM가이드(189)를 포함한다.
상기 제2 플레이트(120) 상의 하단 중앙에서 우측단에 걸쳐 구비된다는 점을 제외하면, 상기 제3 구동 부재(185)에 대한 구체적인 설명은 상기 제2 구동 부재(180)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 제4 구동 부재(190)는 상기 제2 가로변 지지부재(160)를 상기 세로 방향으로 이동시키기 위한 것으로, 제5 볼 스크류(191), 제4 모터(192) 및 제4 볼너트(193)를 포함한다.
상기 제5 볼 스크류(191)는 상기 제1 플레이트(110) 상의 하단 중앙에 상기 세로 방향으로 연장된다. 상기 제5 볼 스크류(191)는 일방향 스크류 구조를 갖는다.
상기 제4 모터(192)는 상기 제5 볼 스크류(191)의 일단에 연결되어 상기 제5 볼 스크류(191)를 회전시킨다. 상기 제4 모터(192)의 구동력은 상기 제5 볼 스크류(191)에 직접 전달되거나 벨트 등을 통하여 전달될 수 있다.
상기 제4 볼너트(193)는 상기 제2 세로변 지지부재(160)의 제1 블록(162)에 연결되며, 상기 제5 볼 스크류(191)에 끼워진다. 상기 제4 볼너트(193)는 상기 제5 볼 스크류(191)의 회전에 따라 상기 가로 방향을 따라 직선 이동한다. 상기 제4 볼 너트(193)의 이동에 따라 상기 제2 가로변 지지부재(160)는 상기 세로 방향을 따라 직선 이동한다.
도시되지는 않았지만, 제4 LM가이드들은 상기 제1 플레이트(110) 상의 양단에 상기 제5 볼 스크류(191)와 평행하게 각각 구비된다. 상기 제4 LM가이드들은 상기 제1 LM가이드(176)들의 위치보다 내측에 위치하며, 상기 상기 제1 블록(162)의 상기 세로 방향 이동을 가이드한다.
상기 제1 구동 부재(170)가 상기 제2 플레이트(120)와 상기 제2 플레이트(120) 상에 위치하는 상기 제1 가로변 지지부재(130), 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)를 상기 세로 방향으로 이동시키고, 상기 제4 구동 부재(190)가 상기 제2 가로변 지지부재(160)를 상기 세로 방향으로 이동시키므로, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재들(130, 160)의 교체 없이 상기 평판 패널(10)의 세로 방향 길이 변화에 대응할 수 있다.
상기 제2 구동 부재(180)가 상기 제1 세로변 지지부재(140)를 상기 가로 방향으로 이동시키고, 상기 제3 구동 부재(185)가 상기 제2 세로변 지지부재(150)를 상기 가로 방향으로 이동시키므로, 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들(140, 150)의 교체 없이 상기 평판 패널(10)의 세로 방향 길이 변화에 대응할 수 있다.
도시되지는 않았지만 상기 평판 패널 지지유닛(100)은 제1 내지 제5 차광 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 차광 부재, 제2 차광 부재 및 제3 차광 부재는 각각 케이스, 상기 케이스 내부에 수납되는 권취롤 및 상기 권취롤에 감겨져 있으며 일단은 각각에 해 당되는 지지부재의 측면에 체결되는 차광시트를 포함한다.
상기 제1 차광부재는 상기 제2 플레이트(120)의 이동에 따라 펼쳐지거나 접혀지며, 상기 제1 플레이트(110)와 상기 제2 플레이트(120) 사이의 제1 개구(112)를 통해 상기 백라이트 유닛에서 조사된 광이 통과하는 것을 차단한다.
상기 제2 차광부재 및 제3 차광 부재는 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)의 이동에 따라 펼쳐지거나 접혀지며, 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)의 외측 제2 개구(122)를 통해 상기 백라이트 유닛에서 조사된 광이 통과하는 것을 차단한다.
상기 제4 차광부재는 상기 제2 가로변 지지부재(160)의 이동에 따라 펼쳐지거나 접혀지며, 상기 제2 가로변 지지부재(160)의 외측 제2 개구(122)를 통해 상기 백라이트 유닛에서 조사된 광이 통과하는 것을 차단한다.
상기 제5 차광부재는 작업자가 직접 이동시킴에 따라 펼쳐지거나 접혀지며, 상기 제2 가로변 지지부재(160)와 상기 제1 세로변 지지부재(140) 사이 및 상기 제2 가로변 지지부재(160)와 상기 제2 세로변 지지부재(150) 사이의 측방향 공간을 통해 빠져나올 수 있는 광을 차단한다.
상기 평판 패널 지지유닛에서 상기 평판 패널(10)의 로딩 과정을 설명하면 다음과 같다.
검사하고자 하는 상기 평판 패널(10)의 크기를 확인한 후, 상기 평판 패널(10)의 크기에 맞게 상기 제2 플레이트(120)를 상기 세로 방향으로 이동하여 상기 제1 가로변 지지부재(130)를 위치시킨다.
다음으로, 상기 제1 가로변 지지부재(130)와 상기 제2 가로변 지지부재(160) 사이의 간격이 상기 평판 패널(10)의 상기 세로 방향 길이와 일치하도록 상기 제2 가로변 지지부재(160)를 상기 세로 방향으로 이동시킨다.
이후, 상기 제1 세로변 지지부재(140)와 상기 제2 세로변 지지부재(150) 사이의 간격이 상기 평판 패널(10)의 상기 가로 방향 길이와 일치하도록 상기 제1 세로변 지지부재(140) 및 상기 제2 세로변 지지부재(150)를 상기 가로 방향으로 이동시킨다.
상기 제1 및 제2 가로변 지지부재(130, 160)와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재(140, 150)의 이동이 완료되면, 상기 평판 패널 지지유닛(100)은 상기 평판 패널(10)의 사이즈에 대응하는 크기의 상기 광이 통과하는 개구를 갖는다.
이하에서는 상기 평판 패널 지지유닛(100)의 작동에 대해 설명한다.
우선, 제1 구동부재(170)의 구동에 의해 제2 플레이트(120)가 평판 패널(10)의 세로 방향으로 제1 플레이트(110) 상면을 따라 이동한다. 상기 제2 플레이트(120)의 이동에 따라 상기 제2 플레이트(120)에 고정된 제1 가로변 지지부재(130)가 기 설정된 위치로 이동한다.
상기 제1 가로변 지지부재(130)가 기 설정된 위치에 위치하면, 상기 제4 구동 부재(190)의 구동에 의해 상기 제2 가로변 지지부재(160)가 상기 세로 방향으로 이동한다. 이때, 상기 제2 가로변 지지부재(160)는 상기 제1 가로변 지지부재(130)와 가까워지도록 이동하거나 상기 제1 가로변 지지부재(130)로부터 멀어지도록 이동할 수 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재들(130, 160) 사이의 간격 이 검사할 평판 패널(10)의 세로변 길이만큼 이격될 수 있다.
다음으로, 제2 구동 부재(180) 및 제3 구동 부재(185)의 구동에 의해 제1 및 제2 세로변 지지부재(140, 150)가 서로 가까워지도록 이동하거나 서로 멀어지도록 이동한다. 띠라서, 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들(140, 150) 사이의 간격이 상기 평판 패널(10)의 가로변 길이만큼 이격될 수 있다.
한편, 상기 제1 가로변 지지부재(130)의 위치가 설정되면, 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재(140, 150)를 먼저 이동시킨 후 상기 제2 가로변 지지부재(160)를 이동시킬 수도 있다.
상기 제1 및 제2 가로변 지지부재(130, 160)와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재(140, 150)의 이동이 완료되면, 상기 평판 패널(10)을 상기 평판 패널 지지유닛(100) 상에 로딩한다.
정렬 부재를 이용하여 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재(130, 160)와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재(140, 150) 상에 놓여진 상기 평판 패널(10)을 이동시켜 상기 평판 패널(10)을 검사 위치로 정렬한다.
상기 평판 패널(10)의 위치가 정렬되면, 제1 내지 제4 진공라인들(132, 142, 152, 166)을 통해 진공력을 제공하여 상기 평판 패널(10)을 고정한다. 이때, 상기 평판 패널(10)의 크기와 위치에 따라 상기 제1 내지 제3 진공라인들(132, 142, 152) 각각은 선택적으로 진공력이 제공될 수 있다.
이후, 상기 평판 패널(10)에 대한 검사 공정을 수행한다.
본 발명에 따른 평판 패널 지지유닛은 평판 패널의 가로변을 지지하는 제1 가로변 지지부재를 고정하는 플레이트 및 제2 가로변 지지부재를 평판 패널의 세로 방향으로 이동하고 상기 플레이트 상에 배치되는 제1 세로변 지지부재 및 제2 세로변 지지부재를 가로 방향으로 이동할 수 있으므로, 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널 지지유닛의 크기를 가변할 수 있다. 따라서, 상기 평판 패널의 크기에 따른 상기 평판 패널 지지유닛의 교체 시간 및 비용을 줄일 수 있다.
상기 제2 가로변 지지부재의 길이가 상기 제1 세로변 지지부재와 상기 제2 세로변 지지부재 사이의 최소 거리와 같거나 작으므로, 상기 제2 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들이 서로의 이동을 제한하지 않는다. 따라서, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재의 상면들이 동일한 높이를 가질 수 있고, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재의 상면들에 진공라인을 형성하여 상기 평판 패널을 직접 진공 흡착할 수 있다. 그러므로, 상기 평판 패널 지지유닛의 구조를 단순화하고 크기를 감소시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 패널 지지유닛을 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 및 제2 가로변 지지부재들 및 제1 및 제2 세로변 지지부재들의 이동을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 가로변 지지부재, 제1 세로변 지지부재 및 제2 세로변 지지부재의 평판 패널 고정을 설명하기 위한 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
10 : 평판 패널 100 : 평판 패널 지지유닛
110 : 제1 플레이트 120 : 제2 플레이트
130 : 제1 가로변 지지부재 140 : 제1 세로변 지지부재
150 : 제2 세로변 지지부재 160 : 제2 가로변 지지부재
170 : 제1 구동부재 180 : 제2 구동부재
185 : 제3 구동부재 190 : 제4 구동부재

Claims (9)

  1. 제1 플레이트;
    평판 패널의 상단 가로변을 지지하며, 상기 제1 플레이트 상에 고정되는 제1 가로변 지지부재;
    상기 제1 플레이트 상에서 상기 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 가로 방향을 따라 이동 가능한 제1 및 제2 세로변 지지부재들; 및
    상기 평판 패널의 하단 가로변을 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 세로 방향을 따라 이동 가능한 제2 가로변 지지부재를 포함하고,
    상기 제1 및 제2 가로변 지지부재들의 상부면 중앙 부위들 각각에는 상기 평판 패널의 로딩 및 언로딩을 위한 그리퍼(gripper)가 삽입되는 적어도 하나의 홈이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 플레이트의 하부에 광이 통과하기 위한 제2 개구를 가지며, 상기 세로 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 제1 플레이트를 지지하는 제2 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 가로변 지지부재들과 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들은 각각 상기 평판 패널을 진공 흡착하기 위한 진공라인을 갖는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들에 각각 구비되며, 상기 제1 가로변 지지부재에 놓여지는 상기 평판 패널의 상단 가로변들 길이 및 위치 그리고 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들에 놓여지는 상기 평판 패널의 세로변들 길이 및 위치를 감지하는 센서들; 및
    상기 제1 가로변 지지부재와 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들의 진공 라인들 상에 각각 구비되고, 상기 센서들의 감지 결과에 따라 상기 진공 라인들을 선택적으로 개폐하여 상기 평판 패널의 상단 가로변 및 상기 세로변들이 커버하는 진공 라인들에만 진공력을 제공하는 밸브들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제2 가로변 지지부재는 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들 사이에 배치되며, 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들 사이의 최소 간격과 같거나 작은 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  6. 제1항에 있어서, 상기 제1 가로변 지지부재는 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들의 일단들이 삽입되며, 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들의 상기 가로 방향 이동을 가이드하는 가이드 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  7. 삭제
  8. 평판 패널의 상단 가로변을 지지하는 제1 가로변 지지부재;
    상기 평판 패널의 세로변들을 각각 지지하며, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 가로 방향으로 이동 가능한 제1 및 제2 세로변 지지부재들; 및
    상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들 사이에 배치되어 상기 평판 패널의 하단 가로변을 지지하고, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 평판 패널의 세로 방향으로 이동 가능하며, 상기 제1 및 제2 세로변 지지부재들 사이의 최소 간격과 같거나 작은 길이를 갖는 제2 가로변 지지부재를 포함하고,
    상기 제1 및 제2 가로변 지지부재들의 상부면 중앙 부위들 각각에는 상기 평판 패널의 로딩 및 언로딩을 위한 그리퍼(gripper)가 삽입되는 적어도 하나의 홈이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1 가로변 지지부재를 고정하고, 상기 평판 패널의 크기에 따라 상기 제1 가로변 지지부재를 상기 세로 방향으로 이동시키기 위해 상기 세로 방향을 따라 이동 가능한 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 패널 지지유닛.
KR1020080033600A 2008-04-11 2008-04-11 평판 패널 지지유닛 KR100950016B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080033600A KR100950016B1 (ko) 2008-04-11 2008-04-11 평판 패널 지지유닛

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080033600A KR100950016B1 (ko) 2008-04-11 2008-04-11 평판 패널 지지유닛

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090108264A KR20090108264A (ko) 2009-10-15
KR100950016B1 true KR100950016B1 (ko) 2010-03-31

Family

ID=41551684

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080033600A KR100950016B1 (ko) 2008-04-11 2008-04-11 평판 패널 지지유닛

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100950016B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102862818A (zh) * 2011-07-05 2013-01-09 塔工程有限公司 玻璃面板输送装置
KR101384092B1 (ko) * 2011-12-30 2014-04-14 엘아이지에이디피 주식회사 기판 이송장치 및 이것을 포함하는 기판 검사장비

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101528607B1 (ko) * 2013-10-29 2015-06-12 (주) 인텍플러스 디스플레이 패널 이송장치
KR101690098B1 (ko) * 2016-06-16 2016-12-27 (주)한테크 유리패널 이송장치
CN107290876B (zh) * 2017-06-29 2020-05-22 武汉精测电子集团股份有限公司 一种lcm检测用支承装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200169519Y1 (ko) * 1997-05-31 2000-02-01 김영환 반도체 제조장비의 웨이퍼 고정장치
KR100776177B1 (ko) * 2004-12-17 2007-11-16 주식회사 디이엔티 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200169519Y1 (ko) * 1997-05-31 2000-02-01 김영환 반도체 제조장비의 웨이퍼 고정장치
KR100776177B1 (ko) * 2004-12-17 2007-11-16 주식회사 디이엔티 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102862818A (zh) * 2011-07-05 2013-01-09 塔工程有限公司 玻璃面板输送装置
KR101384092B1 (ko) * 2011-12-30 2014-04-14 엘아이지에이디피 주식회사 기판 이송장치 및 이것을 포함하는 기판 검사장비

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090108264A (ko) 2009-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100950018B1 (ko) 평판 패널 지지유닛 및 이를 갖는 평판 패널 검사 스테이지
KR100950016B1 (ko) 평판 패널 지지유닛
KR960009091A (ko) 피검사체의 검사장치
KR101496360B1 (ko) 시험관 준비 장치
KR20120010801A (ko) 플렉서블 디스플레이 검사장치
KR20090086047A (ko) 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법
JP5393321B2 (ja) 自動分析装置
KR20070058830A (ko) 편광필름 검사장치 및 방법
KR20190137304A (ko) 용기 검사장치
KR100950014B1 (ko) 평판 패널 지지유닛 및 이를 갖는 평판 패널 검사 스테이지
KR101663648B1 (ko) 플렉시블 디스플레이 패널 검사용 반전기
KR101572640B1 (ko) 커버드 디스플레이 패널 검사 장치용 지그
TWI231964B (en) LCD panel auto gripping apparatus and method for use in a panel carrier for an automatic probe unit
JP2007256017A (ja) 外観検査装置
KR100873743B1 (ko) 검사 장치
KR101543875B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치
TWI391649B (zh) 面板缺陷之點燈測試機台及面板缺陷之點燈測試方法
KR101151021B1 (ko) 표시패널의 셀 검사기
KR20190009130A (ko) 튜브 구조 부품의 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 검사 방법
KR102415289B1 (ko) 초박형 유리의 벤딩 시험장치
KR101318212B1 (ko) 글라스 이송 장치
KR20030078650A (ko) 피검사기판의 검사장치
KR100973468B1 (ko) 4측면 테이블을 가지는 액정패널 점등검사장치
JP7219172B2 (ja) 検査システム
KR100483363B1 (ko) 인라인 검사기의 바이패스를 위한 검사 스테이지 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130503

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140124

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150202

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151209

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161222

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180322

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190405

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200213

Year of fee payment: 11