KR100945575B1

KR100945575B1 - 글래스의 표면 검사장치

Info

Publication number: KR100945575B1
Application number: KR1020070049536A
Authority: KR
Inventors: 김경범; 김종준
Original assignee: 충주대학교 산학협력단; 기가비스주식회사
Priority date: 2007-05-22
Filing date: 2007-05-22
Publication date: 2010-03-08
Also published as: KR20080102728A

Abstract

본 발명은 각도 조절이 가능한 상하부의 조명계 및 카메라, X-Y 방향 이동 및 회전이 가능한 글래스 기판 지그수단 등을 포함하는 새로운 형태의 글래스 표면 검사장치에 관한 것이다.

본 발명은 글래스 기판의 360°회전 및 X-Y 방향 이동을 가능하게 하고, 상하부에 설치한 조명계 및 카메라의 각도조절을 가능하게 하는 등 총 6축으로 동작하면서 글래스 기판의 표면 상태에 따른 모든 산란 성분을 분석할 수 있고, 글래스 기판의 위-아래 표면 재질 및 표면 조도에 따라 투과되는 빛을 분석하고 글래스 내부 성분을 검사할 수 있는 글래스의 표면 검사장치를 제공한다.

광학 글래스 기판, 머신비전, 레이저, 카메라

Description

글래스의 표면 검사장치{Apparatus for inspecting glass}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치를 나타내는 사시도

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치를 나타내는 정면도

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치에서 조명계/카메라 설치대를 나타내는 사시도

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치의 설치상태를 나타내는 정면도

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치의 작업상태를 나타내는 사시도

도 6은 종래 글래스의 표면 검사방식을 보여주는 개략도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 글래스 지그장치 11 : 상부 플레이트

12 : 조명계 13 : 카메라

14 : 조명계 설치대 15a,15b : 카메라 설치대

16 : 상부 비전장치 17 : 하부 플레이트

18 : 하부 비전장치 19 : 글래스 고정부

20 : 회전판 21 : 가이드 홀

22 : 스크류 조절장치 23a,23b : 미세 스크류 조절장치

24 : 베이스 25 : 프레임 구조물

26 : 모터 27 : 가이드 레일

28 : 모션 블럭

본 발명은 글래스의 표면 검사장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 각도 조절이 가능한 상하부의 조명계 및 카메라, X-Y 방향 이동 및 회전이 가능한 글래스 기판 지그수단 등을 포함하는 새로운 형태의 검사 시스템을 구현함으로써, 글래스 기판의 위 표면 뿐만 아니라 아래 표면 및 내부까지 검사할 수 있으며, 따라서 검사시간 및 후처리작업을 대폭 절감할 수 있는 글래스의 표면 검사장치에 관한 것이다.

일반적으로 머신비전기술을 이용한 글래스의 표면 검사장치는 각각의 분야와 용도에 따라 다르게 적용되고 있다.

보통 가시광선 파장영역을 갖는 조명계와 카메라의 조합을 이용하여 글래스 기판의 표면 상태를 검사한다.

종래의 글래스 기판 검사방법으로는 암시야 방식이나 명시야 방식을 이용하여 표면을 검사하는 방법이 있다.

예를 들면, 도 6에 도시한 바와 같이, 조명계(100)를 이용하여 검사 대상(110)의 표면에 빛을 조사한 후, 표면으로부터 반사된 빛을 카메라(120)로 검출하여 불량 상태를 확인하는 방법이 있다.

여기서, 미설명 부호 130은 카메라로부터 제공되는 검출값을 분석/판별하는 수단이다.

이 방법은 2대의 카메라를 이용하여 반사되어 직접 들어오는 빛과 표면상태에 따라 다른 방향으로 반사되는 빛을 검출하여 정상상태와 불량상태를 판별하는 방법이다.

그러나, 위와 같은 검사방법은 글래스의 위 표면에 대한 검사만 가능하며, 글래스 아래 및 내부의 검사가 불가능하다.

또한, 글래스 아래 표면에 대한 검사를 행할 시 두번에 걸쳐 작업자의 수작업 및 후처리가 필요하게 되고, 글래스 위-아래 표면을 동시에 검사할 수 없는 단점이 있다.

표면 검사 시 가시광선 파장영역을 갖는 조명계를 사용하는 경우, 즉 할로겐 조명의 경우 표면에서 반사되는 특성은 파장대에 따라 빛의 투과 및 반사 특성이 각각 달라지게 된다.

가시광선 파장대의 가변적인 조명상태는 암시야 검사방식을 적용시키고자 할 때, 특정 파장을 유지할 수 없어 영상에서 그 특성이 일정하게 나타나지 않고 잡음이 많이 섞여서 나타난다.

또한, 표면에서 반사하는 빛은 물체의 재질, 표면 형상의 높이, 기울기, 표면상태, 만곡 등에 따라 달라지게 되는데, 종래의 검사방법에서는 모든 방향으로 산란되는 빛을 검출할 수 없어 검사의 신뢰성이 떨어지게 된다.

따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 글래스 기판의 360°회전 및 X-Y 방향 이동을 가능하게 하고, 상하부에 설치한 조명계 및 카메라의 각도조절을 가능하게 하는 등 총 6축으로 동작하면서 글래스 기판의 표면 상태에 따른 모든 산란 성분을 분석할 수 있고, 글래스 기판의 위-아래 표면 재질 및 표면 조도에 따라 투과되는 빛을 분석하고 글래스 내부 성분을 검사할 수 있는 글래스의 표면 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치는 글래스 기판이 세팅되는 부분으로서 모터 이송을 통해 X-Y 방향으로 글래스 기판을 이동시킬 수 있는 글래스 지그장치와, 글래스 기판의 위 표면을 검사하는 부분으로서 수직으로 배치되는 상부 플레이트상에서 각도조절이 가능하며 빛 조사를 위한 조명계와 빛 검출을 위한 카메라를 가지면서 서로 일정거리를 두고 배치되 는 조명계 설치대 및 카메라 설치대를 포함하는 상부 비전장치와, 글래스 기판의 아래 표면 검사 및 위 표면에서 굴절 투과된 성분을 검사하는 부분으로서 수직으로 배치되는 하부 플레이트상에서 각도조절이 가능하게 배치되며 빛 검출을 위한 카메라를 갖는 카메라 설치대를 포함하는 하부 비전장치로 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 글래스 지그장치는 글래스 기판이 세팅되는 글래스 고정부의 360°회전을 가능하게 하는 회전판을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 글래스 지그장치의 글래스 고정부는 글래스 기판 크기의 변경 시에 대비하여 탈부착이 가능한 구조로 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 상부 비전장치의 조명계 설치대 및 카메라 설치대는 상부 플레이트상에 곡선궤적을 가지면서 일정구간에 걸쳐 형성되는 적어도 2열의 가이드 홀을 이용하여 안내되면서 표면 법선을 기준으로 양방향으로 ±20°~ 85°까지 각도조절이 가능하도록 된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 하부 비전장치의 카메라 설치대는 하부 플레이트상에 곡선궤적을 가지면서 일정구간에 걸쳐 형성되는 적어도 2열의 가이드 홀을 이용하여 안내되면서 표면 법선을 기준으로 양방향으로 ±55°(총 110°)까지 각도조절이 가능하도록 된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 상부 비전장치 및 하부 비전장치의 조명계/카메라 설치대는 스크류 조절장치의 조작에 의해 조명계 및 카메라의 상하 방향 위치 조절이 가능하도록 된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 상부 비전장치 및 하부 비전장치의 조명계/카메라 설치대는 2개의 미세 스크류 조절장치의 조작에 의해 조명계 및 카메라의 상하 및 좌우 방향 미세 위치 조절이 가능하도록 된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 상부 비전장치의 조명계는 레이저 슬릿 빔 조명계인 것을 특징으로 한다.

본 발명에서 제공하는 글래스의 표면 검사장치는 크게 글래스 기판을 세팅하는 부분과, 글래스 기판의 위 표면을 검사하는 부분과, 글래스 기판의 아래 표면 및 투과 성분을 검사하는 부분을 조합한 형태로 이루어져 있다.

예를 들면, 글래스 기판이 모터 이송을 통해 X-Y 방향으로 위치 이동이 가능한 지그장치에 설치되며, 이 지그장치에는 글래스 기판을 잡아주고 있는 글래스 고정부를 360°회전시켜주는 회전판이 구비된다.

또, 글래스 기판의 크기 변경 여부에 따라 글래스 고정부가 탈부착식으로 구성되어 크기 변경에 따른 고정부 교체가 가능하게 된다.

또, 지그장치는 X-Y 방향으로 모터 제어가 가능하도록 구성되어서 글래스 기판 전체를 검사할 수 있다.

그리고, 조명계, 예를 들면 레이저 슬릿 빔과 카메라가 글래스 기판의 한점을 정확하게 검사할 수 있도록 비전장치가 구비된다.

이 비전장치의 조명계와 카메라는 그 각도를 조절할 수 있고, 상부측과 하부측으로 나뉘어져 있다.

상부측에서는 조명계와 카메라의 각도 조절에 따른 글래스 기판의 위 표면을 검사할 수 있으며, 하부측에서는 글래스 기판의 아래 표면 검사 및 위 표면에서 굴절 투과된 성분을 검사할 수 있다.

비전장치에 구비되는 설치대는 상하 왕복운동이 가능하며, 조명계와 카메라는 상/하/좌/우 방향으로 미세 눈금조절이 가능하도록 구성되어 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치를 나타내는 정면도이다.

도 1과 도 2에 도시한 바와 같이, 글래스 기판의 세팅을 위한 글래스 지그장치(10)는 글래스 기판을 잡아주는 글래스 고정부(19), 이 글래스 고정부(19)를 지지하면서 글래스 기판을 포함하는 글래스 고정부 전체를 360°회전시켜주는 회전판(20), X-Y 방향으로 글래스 기판을 이동시키기 위한 구동수단으로서 모터(26), 안내를 위한 가이드 레일(27) 등을 포함한다.

예를 들면, 베이스(24)에는 Y축 방향으로 나란한 2개의 가이드 레일(27)이 설치되고, 이 가이드 레일(27)에는 모터(26)의 구동에 따른 저부의 스크류 전동장치(미도시)에 의해 Y축으로 이동가능한 플레이트가 설치되고, 이 플레이트에는 X축 방향으로 구동가능한 모션 블럭(28), 예를 들면 리니어 블럭 및 이 리니어 블럭에 의해 X축 방향으로 이동가능한 플레이트가 설치되고, 이 플레이트상에 글래스 기판, 글래스 고정부(19) 및 회전판(20)이 설치된다.

여기서, 도1의 선형모터(28)는 선형스테핑모터로써, 글래스 고정부(19)와 회전판(20)을 지지해 주는 글래스 고정부(19)의 전체 프레임은 선형모터(28)의 선형이동 테이블에 체결되어 X방향으로 이동된다.

이에 따라, 모터 이송을 통해 X-Y 방향으로 글래스 기판의 위치가 이동될 수 있다.

여기서, 글래스 기판을 글래스 고정부상에 세팅하는 형태는 다양한 형태를 적용할 수 있다.

예를 들면, 상기 글래스 고정부(19)에는 그 내측 가장자리를 따라 형성되는 단차진 턱 구조의 안착부가 구비되어 있어서 이 안착부에 글래스 기판의 양단부가 걸쳐지게 하는 형태로 세팅할 수 있다.

이때의 상기 글래스 고정부(19)는 대략 링 형태를 하고 있는 회전판(20)의 내측으로 자리하면서 통상의 체결구조로 탈부착이 가능하게 설치될 수 있다.

이렇게 글래스 고정부(19)가 탈부착이 가능함에 따라 글래스 기판 크기의 변경 시에 변경되는 글래스 기판 크기에 맞는 것으로 용이하게 교체할 수 있다.

상기 회전판(20)은 글래스 기판을 포함하는 글래스 고정부 전체를 360°회전시키는 역할을 한다.

이때의 회전판은 위의 글래스 기판이 글래스 고정부에 안착되는 형태와 유사하게 설치될 수 있는데, 예를 들면 플레이트의 원형 홀 가장자리를 따라 형성되는 단차진 턱 구조의 안착부 내에 걸쳐지는 형태로 설치될 수 있으며, 클램핑 수단을 해제한 상태에서 회전판을 손으로 돌리면 방향에 관계없이 360°회전시킬 수 있게 된다.

이에 따라, 상하부 비전장치에서 조명계 및 카메라 각도 설정이 완료되면 회전판을 이용하여 글래스 기판을 회전시킬 수 있고, 회전판이 360°회전 가능하기 때문에 글래스 기판 표면 상태에 따라 임의의 입체적 방향으로 산란되는 성분을 모두 분석할 수 있다.

글래스 기판의 위 표면, 아래 표면, 투과 성분을 검사하기 위한 상부 비전장치(16)와 하부 비전장치(18)는 수직 상태로 위아래 나란하게 배치되어 있는 상부 플레이트(11)와 하부 플레이트(17)와, 이 플레이트상에서 각도조절이 가능하게 조립되는 조명계 설치대(14) 및 카메라 설치대(15a),(15b)와, 각각의 설치대에 장착되는 조명계(12) 및 카메라(13) 등을 포함한다.

상기 상부 비전장치(16)와 하부 비전장치(18)의 조명계 설치대(14) 및 카메라 설치대(15a),(15b)는 상부 플레이트(11)와 하부 플레이트(17)상에 곡선궤적을 가지면서 일정구간에 걸쳐 형성되는 적어도 나란한 2열의 가이드 홀(21)을 이용하여 안내되면서 위치를 옮길 수 있다.

상기 가이드 홀(21)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 장치를 정면에서 보았을 때 글래스 기판이 있는 위치(높이)를 가상의 중심점으로 하여 하나의 동심원을 이루는 원 모양으로 배치될 수 있다.

이러한 설치대는 그 브라켓의 배면에서 상하부 플레이트를 관통하여 연장되는 볼트 부재와 상하부 플레이트의 뒷쪽면에서 볼트 부재에 체결되는 너트 부재에 의해 고정되거나, 또 볼트 부재 및 너트 부재의 체결상태 해제 시 가이드 홀(21)을 따라 위치를 옮긴 후 그 위치에서 재차 고정될 수 있는 구조로 설치된다.

또한, 조명계 설치대(14) 및 카메라 설치대(15a),(15b)에 구비되는 조명계(12) 및 카메라(13)는 설치대에 있는 브라켓의 전면에 통상의 체결구조로 설치될 수 있다.

또한, 상기 상부 비전장치(16) 및 하부 비전장치(18)의 조명계/카메라 설치대(14),(15a),15b)는 스크류 조절장치(22)의 조작을 통해 조명계 및 카메라의 상하 방향 위치를 조절할 수 있도록 되어 있으며, 특히 서로 교차하는 방향으로 설치되는 2개의 미세 스크류 조절장치(23a)(23b)의 조작을 통해 상하 및 좌우 방향의 미세 위치 조절도 가능하도록 되어 있다.

이를 위하여, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 조명계/카메라 설치대(14),(15a),15b)는 3개의 "ㄷ"자형 브라켓이 적층 조합되는 동시에 그 사이사이에 2개의 블럭이 개재되는 형태로 구성되고, 각 블럭은 브라켓면에 밀착 지지되면서 브라켓상에 양단 지지되는 스크류 조절장치(22) 및 미세 스크류 조절장치(23a)(23b)에 관통되어 스크류 전동가능하게 조립되며, 각각의 블럭은 가이드 바에 의해 안내되는 구조로 이루어져 있다.

특히, 2개의 미세 스크류 조절장치(23a)(23b)는 서로 90°교차하는 형태로 배치되어 있어서 조명계 또는 카메라의 상하 및 좌우 방향 미세 조절이 가능하게 된다.

상기 조명계(12)와 카메라(13)는 가장 윗쪽에 위치되는 브라켓의 전면에 설치되고, 가장 아래쪽에 위치되는 브라켓은 상하부 플레이트(11),(17)의 전면에 밀착되면서 그 볼트 부재 및 너트 부재의 체결을 이용하여 설치대 전체를 지지하는 역할을 하게 된다.

이에 따라, 스크류 조절장치(22)의 노브를 조작하면 이 스크류 조절장치(22)와 스크류 전동되는 아래쪽 블럭의 움직임을 이용하여 조명계와 카메라를 상하 방향으로 이동시킬 수 있고, 하나의 미세 스크류 조절장치(23a)의 노브를 조작하면 윗쪽 블럭의 움직임을 이용하여 조명계 또는 카메라를 상하 방향으로 미세 이동시킬 수 있으며, 다른 하나의 미세 스크류 조절장치(23b)의 노브를 조작하면 가장 윗쪽 브라켓의 움직임을 이용하여 조명계 또는 카메라를 좌우 방향으로 미세 이동시킬 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치의 설치상태를 나타내는 정면도이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 글래스의 표면 검사를 위한 장치는 프레임 구조물(25)을 이용하여 지지된다.

예를 들면, 조명계/카메라를 포함하는 상부 플레이트(11)와 하부 플레이트(17)는 수직자세로 위아래 배치되면서 프레임 구조물(25)상에 설치되고, 글래스 기판이 세팅되는 글래스 지그장치를 포함하는 베이스(24)는 상하부 플레이트(11),(17) 사이에서 수평자세로 배치되면서 프레임 구조물(25)상에 설치된다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 글래스의 표면 검사장치의 작업상태를 나타내는 사시도이다.

도 5에 도시한 바와 같이, 여기서는 글래스 표면 상태에 따른 모든 산란 성분을 분석할 수 있도록 하기 위해 총 6축이 움직이도록 구성된 글래스 표면 검사장 치를 보여준다.

먼저, 글래스 지그장치(10)에는 글래스 기판(G)이 세팅되고 모터 제어를 통해 글래스 기판을 X-Y 방향으로 이송 제어하여 글래스 기판의 전체를 자동으로 검사할 수 있다.

또, 360°회전이 가능한 회전판을 이용하여 글래스 기판을 회전시키면 표면 상태에 따라 임의의 입체적 방향으로 산란되는 성분을 모두 분석할 수 있다.

다음, 상하부 비전장치(16),(18)의 경우를 살펴보면, 조명계/카메라 설치대(14),(15a),(15b)의 경우 상하부 플레이트(11),(17)상에서의 각도 조절 후, 각각의 조명계와 카메라의 각도가 설정되면 고정된 상태에서 설정된 각도 축을 따라서 상/하 이송시킬 수 있다.

또, 조명계(12) 및 카메라(13)는 상/하/좌/우로 미세한 눈금 조절이 가능하다.

설치대의 임의의 이송을 완료한 후에 각각의 조명계와 카메라의 초점을 정확하게 맞추기 위해 상/하 방향으로 미세 조절을 할 수 있다.

그리고나서 조명계, 예를 들면 레이저의 입사빔을 글래스 기판 위 표면의 한점에 조사를 시키면 그것을 영상 중심에 맞추기 위해 각도 축을 따라 좌/우 방향으로 미세 눈금 조절을 할 수 있다.

글래스 기판 표면 및 내부 상태에 따라 빛의 산란되는 정도와 방향이 각각 달라지게 된다.

따라서, 레이저 슬릿 빔 등과 같은 조명계(12)를 이용한 표면상태를 정확하 게 분석하기 위해서는 주 산란이 일어나는 방향에 대해 검사할 수 있는 메커니즘이 필요하다.

이를 위하여, 상부 비전장치(16)에서 위 표면 상태에 따라 산란되는 모든 성분을 분석할 수 있으며, 이때의 상부 비전장치(16)는 표면 법선을 기준으로 양방향으로 ±20˚~ 85˚까지 조절 가능하며, 표면의 법선 방향에 설치대가 탈부착식으로 구성되어 표면에 수직한 방향도 산란 성분의 분석이 가능하다.

기본적으로 글래스의 반사는 위 표면에서 반사되는 성분과 빛이 위 표면에서 투과 굴절되어 글래스 아래 방향으로 반사되는 두 가지 성분으로 볼 수 있다.

여기서, 투과 굴절되는 반사는 위 표면에 대해 독립적인 성분이 아니기 때문에 위/아래 및 내부 상태에 따라 투과 굴절되어 반사되는 각도가 달라지게 되며, 글래스 표면의 아래 방향으로 다양하게 산란된다.

따라서, 아래 방향으로 산란을 일으키게 되는 성분을 검출 및 분석하기 위해서 하부 비전장치(18)를 표면 법선을 기준으로 양방향으로 ±55˚(총 110˚)까지 각도 조절을 할 수 있도록 구성함으로써, 아래쪽으로 산란을 야기시키는 모든 성분을 검출 및 분석할 수 있다.

여기서, 표면 상태에 따라 어떤 임의의 방향으로 산란을 야기시키는 가장 중요한 요소는 레이저의 조명각도가 가장 중요하며, 이 레이저 조명 각도에 따른 카메라의 검출각도를 조정하면서 표면 상태의 신뢰성 있는 분석이 이루어지게 된다.

각각의 상부/하부 비전장치의 작동을 통하여 글래스 위/아래 표면 및 내부 상태에 따른 모든 산란 성분을 취득할 수 있으며, 위/아래 표면 및 내부 상태를 동 시에 검사하며 분석할 수 있다.

이때, 카메라에서 제공되는 검출값을 가지고 글래스 기판의 표면 및 내부 상태를 분석하는 방법은 당해 기술분야에서 통상적으로 알려져 있는 방법이라면 특별히 제한되지 않고 채택될 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 표면 상태에 따른 모든 산란 성분을 분석할 수 있는 동시에 위-아래 표면 재질 및 표면 조도에 따른 투과되는 빛을 분석하고 글래스 내부 성분을 검사할 수 있는 장점이 있다.

또한, 상부측 카메라에서 글래스 기판의 위 표면의 반사되는 특성을 분석하고, 하부측 카메라에서 글래스 기판의 위/아래 표면 및 내부에서 굴절 투과된 반사 특성을 분석할 수 있는 장점이 있다.

또한, 일정한 파장을 갖는 레이저 슬릿 빔을 조명계로 적용함으로써, 파장이 표면 상태의 반사 특성 변화에 영향을 주지 않고, 스침 입사 각도에서 움푹 들어간 것과 같은 결함을 검사할 때, 표면 상태에 따라 편향되는 각도를 분석할 수 있는 장점이 있다.

또한, 종전과 같이 위 표면 검사만 가능한 것이 아니라, 글래스 내부 및 위-아래 표면 검사가 동시에 이루어질 수 있어 검사 시간 및 후처리작업을 대폭 절감할 수가 있는 장점이 있다.

따라서, 산업 현장에서 요구되는 모든 불량 규격을 정확하게 분류할 수 있으 며, 결함의 산란 현상 분석에 따라 초미세 결함도 검출 가능한 효과가 있다.

또한, 모든 글래스 기반 표면 검사에 적용할 수가 있어 산업적, 경제적 측면에서 볼 때 다양한 효과를 가져올 수가 있다.

Claims

글래스 기판이 세팅되는 부분으로서 모터 이송을 통해 X-Y 방향으로 글래스 기판을 이동시킬 수 있는 글래스 지그장치(10);

글래스 기판의 위 표면을 검사하는 부분으로서 수직으로 배치되는 상부 플레이트(11)상에서 각도조절이 가능하며 빛 조사를 위한 조명계(12)와 빛 검출을 위한 카메라(13)를 가지면서 서로 일정거리를 두고 배치되는 조명계 설치대(14) 및 카메라 설치대(15a)를 포함하는 상부 비전장치(16); 및

글래스 기판의 아래 표면 검사 및 위 표면에서 굴절 투과된 성분을 검사하는 부분으로서 수직으로 배치되는 하부 플레이트(17)상에서 각도조절이 가능하게 배치되며 빛 검출을 위한 카메라(13)를 갖는 카메라 설치대(15b)를 포함하는 하부 비전장치(18)로 이루어지는 것으로,

상기 상부 비전장치(16)의 조명계 설치대(14) 및 카메라 설치대(15a)와 상기 하부 비젼장치(18)의 카메라 설치대(15b)는 각각 상기 상부 플레이트(11)와 하부플레이트(17) 상에 곡선궤적을 가지면서 일정구간에 걸쳐 형성되는 적어도 2열의 가이드 홀(21)을 따라 안내되면서 각도조절이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 글래스의 표면 검사장치.
청구항 1에 있어서, 상기 글래스 지그장치(10)는 글래스 기판이 세팅되는 글래스 고정부(19)의 360°회전을 가능하게 하는 회전판(20)을 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스의 표면 검사장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 글래스 지그장치(10)의 글래스 고정부(19)는 글래스 기판 크기의 변경 시에 대비하여 탈부착이 가능한 구조로 설치되 는 것을 특징으로 하는 글래스의 표면 검사장치.
삭제
청구항 1에 있어서, 상기 하부 비전장치(18)의 카메라 설치대(15b)는 표면 법선을 기준으로 양방향으로 ±55°(총 110°)까지 각도조절이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 글래스의 표면 검사장치.
청구항 1 또는 청구항 5에 있어서, 상기 상부 비전장치(16) 및 하부 비전장치(18)의 조명계/카메라 설치대(14),(15a),15b)는 스크류 조절장치(22)의 조작에 의해 조명계 및 카메라의 상하 방향 위치 조절이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 글래스의 표면 검사장치.
청구항 1 또는 청구항 5에 있어서, 상기 상부 비전장치(16) 및 하부 비전장치(18)의 조명계/카메라 설치대(14),(15a),(15b)는 2개의 미세 스크류 조절장치(23a)(23b)의 조작에 의해 조명계 및 카메라의 상하 및 좌우 방향 미세 위치 조절이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 글래스 표면의 검사장치.
청구항 1에 있어서, 상기 상부 비전장치(16)의 조명계(12)는 레이저 슬릿 빔 조명계인 것을 특징으로 하는 글래스의 표면 검사장치.