KR100942069B1 - 마이크로 유체 시스템 - Google Patents

마이크로 유체 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR100942069B1
KR100942069B1 KR1020087001815A KR20087001815A KR100942069B1 KR 100942069 B1 KR100942069 B1 KR 100942069B1 KR 1020087001815 A KR1020087001815 A KR 1020087001815A KR 20087001815 A KR20087001815 A KR 20087001815A KR 100942069 B1 KR100942069 B1 KR 100942069B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
channel structure
microfluidic system
cavity
additional
micro
Prior art date
Application number
KR1020087001815A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080023262A (ko
Inventor
아스트리트 로흐프
발티마르 벤젤
Original Assignee
지멘스 악티엔게젤샤프트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 지멘스 악티엔게젤샤프트 filed Critical 지멘스 악티엔게젤샤프트
Publication of KR20080023262A publication Critical patent/KR20080023262A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100942069B1 publication Critical patent/KR100942069B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0093—Microreactors, e.g. miniaturised or microfabricated reactors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
    • B01F33/30—Micromixers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00783—Laminate assemblies, i.e. the reactor comprising a stack of plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/00873—Heat exchange
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/0095—Control aspects
    • B01J2219/00952—Sensing operations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/0095—Control aspects
    • B01J2219/00952—Sensing operations
    • B01J2219/00954—Measured properties
    • B01J2219/00961—Temperature
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00781—Aspects relating to microreactors
    • B01J2219/0095—Control aspects
    • B01J2219/00952—Sensing operations
    • B01J2219/00954—Measured properties
    • B01J2219/00963—Pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/08—Ergonomic or safety aspects of handling devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/14—Process control and prevention of errors
    • B01L2200/143—Quality control, feedback systems

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

본 발명은 유체의 통행을 위한 마이크로 채널 구조물, 및 열 전달 유체의 통행을 위해 하나 이상의 분리 벽에 의하여 마이크로 채널 구조물로부터 분리된 추가의 채널 구조물을 포함하는 마이크로 유체 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 마이크로 유체 시스템의 내부 누출의 위험은 공동(12)으로부터 상기 마이크로 채널 구조물(2)을 분리함으로서 하나 이상의 지점에서 추가의 분리 벽(11)에 의해 적시에 인지될 수 있고, 상기 분리 벽(11)은 상기 마이크로 채널 구조물(2)과 상기 추가의 채널 구조물(5) 사이의 상기 분리 벽(8)보다 적어도 국소적으로 더 약하며, 상기 공동(12)은 유입되는 유체의 검출을 위한 검출 장치(14)에 연결된다.

Description

마이크로 유체 시스템{MICROFLUID SYSTEM}
본 발명은 유체를 안내하기 위한 마이크로 채널 구조물 및 열 전달 유체를 안내하기 위해 하나 이상의 분리 벽에 의하여 마이크로 채널 구조물로부터 분리된 추가의 채널 구조물을 포함하는 마이크로 유체 시스템에 관한 것이다.
EP 1 217 099로부터 공지되어 있는 이러한 유형의 마이크로 유체 시스템은 마이크로 반응기를 형성하며, 마이크로 반응기 내에서 혼합될 유체(추출물)용 마이크로 채널 구조물 및 반응 생성물이 제 1 플레이트 내에 형성되고, 열 전달 유체를 위한 추가의 채널 구조물이 추가의 플레이트 내에 형성된다. 이러한 2개의 플레이트는 제 3 플레이트와 결합되며, 마이크로 채널 구조물과 추가의 채널 구조물 사이에 분리 벽을 형성하는 제 3 플레이트는 마이크로 채널 구조물과 추가의 채널 구조물 사이에 삽입된다. 열 전달 유체는 외부적으로 온도 제어, 즉, 가열 또는 냉각된다.
우수한 열 전달을 보장하기 위해, 생성물 측과 열교환기 측 사이의 분리 벽이 가능한 얇도록 형성되어야 한다. 화학 반응시, 특히 고온 반응 온도에서 마이크로 채널 구조물의 내측 벽 상에 종종 부식이 일어난다. 외부로의 누출은 화학물질의 배출에 의해 검출될 수 있다. 일반적으로 강제 환기에 의해 흄 챔버(fume chambers)에서 반응이 실행되기 때문에 작업자에 대한 위험성은 비교적 낮다. 한편, 열 교환기 측과 생성물 측 사이에서 누출이 발생하고 처리시 화학물질이 열 교환기 회로로 과유동하면, 화학물질은 흄 챔버 외부의 서모스탯(thermostat)에서 아마도 증발될 수 있으며, 그 결과 작업자는 독성 물질로 된 증기에 노출될 수 있다. 또한, 화학물질이 열 교환기 회로에 들어가거나 열 전달 유체가 마이크로 반응기의 마이크로 채널 구조물에 들어가면 열 전달 및 화학 반응 중 하나 이상에 결함이 발생할 수 있다.
따라서 본 발명의 목적은 온도가 제어되는 마이크로 유체 시스템의 내부 누출의 위험을 신속하게 검출하는 것이다.
이러한 목적은, 도입부에 상술된 유형의 마이크로 유체 시스템에서 마이크로 채널 구조물이 하나 이상의 지점에서 축의 벽에 의해 공동(cavity)으로부터 분리되고, 상기 추가의 분리 벽이 상기 마이크로 채널 구조물과 상기 추가의 채널 구조물 사이의 상기 분리 벽보다 적어도 국소적으로 더 약하도록 형성되며, 상기 공동이 유입되는 유체를 검출하기 위한 검출 장치에 연결되는 본 발명에 따라 달성된다.
결과적으로 추가의 분리 벽은 마이크로 채널 구조물 내에 부식이 있는 경우, 먼저 파괴될 것인 미리결정된 파단점을 형성한다. 이 경우, 유체는 마이크로 채널 구조물에서 공동안으로 유동할 것이며, 이러한 공동에서 유체는 검출 장치에 의해 검출될 것이다. 검출의 결과로서, 경보 신호가 발생될 수 있고 및/또는 흐름 반응 처리가 자동으로 중단된다.
다수의 상이한 검출 원리는 공동안으로 유입되는 유체를 검출하는데 적합하다. 이들 원리는 특히 유입되는 유체에 의해 열선이 냉각되는 열 풍력 측정(thermoanemometry), 유입되는 유체에 의해 야기된 공동 내의 전기 전도율 또는 전기 용량의 변화 측정, 탁도 측정과 같은 광학 측정 방법, 유입되는 유체로 인해 공동 내의 음향 전달의 변화를 탐지하기 위한 초음파 등을 포함한다.
바람직하게, 예를 들면 열 풍력 측정, 전도율 측정 또는 용량 측정과 같이 단순하며 그에 따라 비용이 저렴한 검출 원리는 검출 장치가 공동 내에 직접 배치될 수 있도록 적용될 것이다. 결함이 있는 경우 마이크로 유체 시스템이 보수될 수 없기 때문에, 검출 장치는 또한 비용이 저렴한 일회용 부분이어야 한다.
대안적으로, 공동은 검출 장치가 연결되는 채널로서 형성될 수 있으며, 그 후 바람직하게는 예를 들면 압력 밀봉식 봉입물(encapsulation) 또는 마이크로 유체 시스템을 포함하는 다층 구조물의 층으로 실제 마이크로 유체 시스템의 외부에 배치된다.
미리결정된 파단점으로 작용하는 추가의 분리 벽은 마이크로 채널 구조물과 추가의 채널 구조물 사이의 분리 벽보다 더 약하도록 상이한 방식으로 형성될 수 있다. 바람직하게 추가의 분리 벽은 마이크로 채널 구조물과 추가의 채널 구조물 사이의 분리 벽보다 더 얇도록 형성된다. 대안적으로 또는 추가적으로, 추가의 분리 벽은 화학적 전처리 또는 방사선 처리에 의해 약화될 수 있다.
일반적으로 마이크로 유체 시스템은 특정한 압축 강도 요구조건을 만족시켜야 하므로, 마이크로 채널 구조물과 추가의 채널 구조물 사이에서 분리 벽의 허용 가능한 최소 벽 두께는 하한을 갖는다: 분리 벽의 양 측면 상의 채널의 폭이 더 작을수록, 벽 두께가 더 얇을 수 있다. 따라서, 바람직하게 추가의 분리 벽의 일 측면 상의 공동의 폭은 타측면 상의 마이크로 채널 구조물의 채널의 폭보다 더 작아서, 압력 테스트에서 테스트 압력에 의해 파괴될 위험 없이 추가의 분리 벽의 벽 두께가 감소될 수 있다.
마이크로 유체 시스템에 대한 부식으로부터의 위험성을 검출할 때 안전도 및 신뢰도를 증가시키기 위해 또는 복수의 임계점을 감시할 수 있기 위해, 추가의 분리 벽, 공동, 및 검출 장치의 중복 설비가 마이크로 채널 구조물의 하나 이상의 추가 지점에 제공될 수 있다. 마이크로 채널 구조물과 복수의 공동들 사이의 추가의 분리 벽의 취약부는 동일하거나 상이할 수 있다. 미리결정된 2개 이상의 파단점 중 제 1 파단점에서 파단점 뒤에 각각 위치되는 공동 내부로 유체가 유입된 후, 먼저 경보 또는 사전 경보가 발생되는 반면, 제 2 또는 추가의 미리결정된 파단점이 파괴되는 경우, 추가로 높은 수준의 경보가 발생되거나 마이크로 유체 시스템 내의 반응 공정이 자동으로 차단되고, 예를 들면 퍼지 공정과 같은 추가의 안전 조치가 선택적으로 개시된다.
바람직하게 본 발명은 예를 들면 고온, 화학 변화 등과 같이 특정한 환경으로 인하여 증가된 부식에 노출되는 마이크로 유체 시스템에 사용된다. 본 발명에 따른 마이크로 유체 시스템은 따라서 바람직하게 마이크로 반응기, 마이크로 혼합기, 및/또는 마이크로 유지 유닛(microretention unit)이다.
본 발명을 더 설명하기 위해 도면에 그려진 형태가 하기에 참조될 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 마이크로 유체 시스템의 개략적이며 예시적인 실시예의 도면이며,
도 2는 본 발명에 따른 마이크로 유체 시스템의 다른 예시적인 실시예의 단면도이다.
도 1은 유체(3, 4)를 안내 및 혼합하도록 마이크로 채널 구조물(2)이 형성되는 단일편 또는 다중편 캐리어(기판)(1)를 포함하는 마이크로 반응기의 형태로 마이크로 유체 시스템을 도시한다. 또한, 캐리어(1)는 추가의 채널 구조물(5)을 포함하며, 이 추가의 채널 구조물 내에서 열 전달 유체(6)가 유동한다. 마이크로 채널 구조물(2)의 혼합 섹션(7) 영역에서, 마이크로 채널 구조물은 얇은 분리 벽(8)에 의해 추가의 채널 구조물(5)로부터 분리되며, 얇은 분리 벽(8)은 단지 십 분의 몇 밀리미터의 두께를 갖는다. 추가의 채널 구조물(5)은 호스 연결 또는 유체 채널과 같은 유체 연결(9)을 통해 서모스탯(10)에 연결되며, 추가의 채널 구조물 내에서 열 전달 유체(6)는 온도 조절 - 유체(3, 4)의 발열 반응시 냉각 - 된다.
혼합 섹션(7)의 영역 내의 한 지점에서, 마이크로 채널 구조물(2)은 추가의 분리 벽(11)에 의하여, 캐리어(1) 내에 또한 형성되는 공동(12)으로부터 분리된다. 공동(12)은 본 명세서에서 채널의 형태로 형성되고, 추가의 유체 연결(13)을 통해 검출 장치(14)에 연결되며, 검출 장치는 공동(12) 안으로 유입되는 유체를 검출하도록 형성된다. 이러한 목적을 위해 고려될 수 있는 검출 방법은 일반적으로 공지 되어 있으므로 더 설명되지 않을 것이다. 검출시, 검출 장치(14)는 출력 신호(15)를 발생시키며, 출력 신호는 경보음을 발생시키거나, 예를 들면 반응 공정의 차단과 같은 추가의 조치를 시작하는데 사용될 수 있다. 추가의 분리 벽(11)은, 마이크로 채널 구조물(2) 내부에 부식이 있는 경우, 분리 벽(8)이 파괴되어 마이크로 채널 구조물(2)로부터 추가의 채널 구조물(5)로, 또는 반대로 추가의 채널 구조물(5)로부터 마이크로 채널 구조물(2)로 유체가 유입될 수 있기 전에, 추가의 분리 벽(11)의 파괴가 먼저 일어나도록, 분리 벽(8)과 비교하여 더 약하게, 여기서는 더 얇게 형성된다.
도 2는 마이크로 유체 시스템용 모듈의 형태로 마이크로 반응기를 도시한다. 다중편 캐리어(1)의 베이스 플레이트(16) 상에는 마이크로 채널 구조물(2)을 포함하는 구조층(17)이 도포된다. 또한, 대안적으로 마이크로 채널 구조물(2)은 적합한 마이크로 공학적 방법에 의해 단일 플레이트의 일 측면 상에 도입될 수 있다. 최상부가 개방되어 있는 마이크로 채널 구조물(2)은 얇은 플레이트(18)로 덮이며, 얇은 플레이트는 추가의 채널 구조물(5)의 일부분을 포함하는 추가의 구조층을 위한 베이스 플레이트로 작용한다. 층(19)의 최상부는 추가의 플레이트(20)로 덮인다. 추가의 채널 구조물(5)의 나머지 부분은 추가의 베이스 플레이트(22) 상의 추가의 구조층(21)으로 형성되며, 추가의 채널 구조물(5)의 아래에서 추가의 구조층(21)과 추가의 베이스 플레이트(22)는 모두 베이스 플레이트(16)에 인접하여 놓여 있다. 플레이트 및 구조물의 기초 표면(16 내지 22)에 수직으로 및 그에 대응하여 이들 플레이트 및 구조물을 가로질러 이어지는 유체 채널(23)은 채널 구조 물(5)의 두 부분을 연결할 뿐 아니라, 열 전달 유체(6) 및 유체(3, 4)를 공급 및 방출하는 작용을 한다. 플레이트(16, 18, 22)는 디자인에 따라 온도 센서(24) 또는 용량성 압력 센서(25)인, 부분적인 전기 구조물을 지지하며, 마이크로 채널 구조물(2)에서 유체의 압력 및 온도를 측정하는 작용을 한다.
혼합 섹션(7)의 영역에서, 공동(12)은 플레이트(16)와 플레이트(22) 사이에 형성되며, 이러한 공동에는 공동(12) 안으로 유입되는 유체를 검출하기 위한 전기 구조물(26)이 배치된다. 이러한 전기 구조물(26)은 예를 들면 서로 일정 거리 이격되어 있는 2개의 전극으로 이루어질 수 있으며, 이들 두 전극 사이에서 전기 전도율 또는 전기 용량이 측정된다. 그러나 전기 구조물은, 자신으로부터 방출된 음파의 음향 전파를 측정하는 음향 변환기 또는 광 배리어의 형태인 탁도 센서일 수도 있다. 전기 구조물(26)은 자신의 하류에 연결된 평가 장치(미도시)와 함께 검출 장치(14)를 형성한다. 공동(12) 영역에서 두께가 감소된 플레이트(16)는 공동 영역에 추가의 분리 벽의 미리결정된 파단점을 형성한다. 추가의 분리 벽(11)의 두께의 감소에도 불구하고 압력 테스트시 테스트 압력에 의해 파괴될 위험이 없도록, 추가의 분리 벽(11)의 일 측면 상의 공동(12)의 폭은 타측면 상의 마이크로 채널 구조물(2)의 채널의 폭보다 더 좁다.

Claims (12)

  1. 유체(3, 4)를 안내하기 위한 마이크로 채널 구조물(2) 및 열 전달 유체(6)를 안내하기 위해 하나 이상의 분리 벽(8)에 의하여 상기 마이크로 채널 구조물(2)로부터 분리된 추가의 채널 구조물(5)을 포함하는 마이크로 유체 시스템에 있어서,
    상기 마이크로 채널 구조물(2)이 하나 이상의 지점에서 추가의 분리 벽(11)에 의해 공동(12)으로부터 분리되고,
    상기 추가의 분리 벽(11)이 상기 마이크로 채널 구조물(2)과 상기 추가의 채널 구조물(5) 사이의 상기 분리 벽(8)보다 적어도 국소적으로 더 약하도록 형성되는 미리결정된 파단점을 포함하며,
    상기 공동(12)이 상기 마이크로 채널 구조물(2)로부터 상기 공동(12) 안으로 유입되는 유체를 검출하기 위한 검출 장치(14)에 연결되는 것을 특징으로 하는
    마이크로 유체 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 검출 장치(14)가 상기 공동(12) 내에 배치되는 것을 특징으로 하는
    마이크로 유체 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 공동(12)이 상기 검출 장치(14)로 안내하는 채널로서 형성되는 것을 특징으로 하는
    마이크로 유체 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 추가의 분리 벽(11)이 상기 마이크로 채널 구조물(2)과 상기 추가의 채널 구조물(5) 사이의 상기 분리 벽(8)보다 더 얇도록 형성되는 것을 특징으로 하는
    마이크로 유체 시스템.
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 추가의 분리 벽(11)이 화학적 전처리 및 방사선 처리 중 하나 이상에 의해 약화되는 것을 특징으로 하는
    마이크로 유체 시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 추가의 분리 벽(11)의 일 측면 상의 상기 공동(12)의 폭이 상기 추가의 분리 벽(11)의 타측면 상의 상기 마이크로 채널 구조물(2)의 채널 폭보다 더 좁은 것을 특징으로 하는
    마이크로 유체 시스템.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 추가의 분리 벽, 공동, 및 검출 장치의 중복 설비가 상기 마이크로 채널 구조물(2)의 하나 이상의 추가 지점에 제공되는 것을 특징으로 하는
    마이크로 유체 시스템.
  11. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 추가의 분리 벽, 공동, 및 검출 장치의 보조 설비가 상기 마이크로 채널 구조물(2)의 하나 이상의 추가의 지점에 제공되며, 상기 추가의 분리 벽들의 취약부가 서로 상이한 것을 특징으로 하는
    마이크로 유체 시스템.
  12. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    마이크로 반응기, 마이크로 혼합기, 및 마이크로 유지 유닛 중 하나 이상으로서 형성되는 것을 특징으로 하는
    마이크로 유체 시스템.
KR1020087001815A 2005-07-25 2006-07-24 마이크로 유체 시스템 KR100942069B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102005034642.1 2005-07-25
DE102005034642A DE102005034642B3 (de) 2005-07-25 2005-07-25 Mikrofluidiksystem

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080023262A KR20080023262A (ko) 2008-03-12
KR100942069B1 true KR100942069B1 (ko) 2010-02-12

Family

ID=36686635

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020087001815A KR100942069B1 (ko) 2005-07-25 2006-07-24 마이크로 유체 시스템

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8146650B2 (ko)
EP (1) EP1907111B1 (ko)
JP (1) JP4931922B2 (ko)
KR (1) KR100942069B1 (ko)
CN (1) CN101227972B (ko)
DE (1) DE102005034642B3 (ko)
WO (1) WO2007012632A1 (ko)

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8690073B2 (en) * 2003-05-16 2014-04-08 Kambix Innovations, Llc Control of flow rate and thermal conditions using two-layered thin films separated by flexible seals and rotatable pivot
US8814057B2 (en) * 2003-05-16 2014-08-26 Kambix Innovations, Llc Minimizing flow disturbances in fluidic cells utilizing soft seals
US8684274B2 (en) * 2003-05-16 2014-04-01 Kambix Innovations, Llc Cooling enhancements in thin films using flexible complex seal due to temperature increase or thermal load increase
US8684275B2 (en) * 2003-05-16 2014-04-01 Kambix Innovations, Llc Smart passive thermal devices and methods
US8714461B2 (en) * 2003-05-16 2014-05-06 Kambix Innovations, Llc Enhancing insulating properties at higher temperature utilizing soft seals
DE602007002265D1 (de) 2007-01-16 2009-10-15 Hitachi Plant Technologies Ltd Substanzherstellungsvorrichtung und chemische Reaktoren mit der Vorrichtung
US9764322B2 (en) 2008-09-23 2017-09-19 Bio-Rad Laboratories, Inc. System for generating droplets with pressure monitoring
US9492797B2 (en) 2008-09-23 2016-11-15 Bio-Rad Laboratories, Inc. System for detection of spaced droplets
JP5746632B2 (ja) * 2009-11-12 2015-07-08 旭硝子株式会社 マイクロチャネル構造体並びにエマルションおよび固体球状粒子の製造方法
BR112012026406B1 (pt) 2010-04-16 2020-06-09 Opko Diagnostics Llc método de conduzir controle de qualidade para determinar anormalidades na operação de um sistema microfluídico
JP2012024313A (ja) * 2010-07-23 2012-02-09 Nitto Denko Corp 液滴生成器及び液滴生成方法
WO2012061444A2 (en) * 2010-11-01 2012-05-10 Hiddessen Amy L System for forming emulsions
WO2012092394A1 (en) 2010-12-29 2012-07-05 Cardinal Health 414, Llc Closed vial fill system for aseptic dispensing
ITTO20110565A1 (it) * 2011-06-28 2012-12-29 St Microelectronics Srl Struttura multistrato avente un canale microfluidico e un sistema di rilevamento di perdite dal canale microfluidico e metodo per rilevare perdite in un dispositivo microfluidico
US9417332B2 (en) 2011-07-15 2016-08-16 Cardinal Health 414, Llc Radiopharmaceutical CZT sensor and apparatus
US20130102772A1 (en) 2011-07-15 2013-04-25 Cardinal Health 414, Llc Systems, methods and devices for producing, manufacturing and control of radiopharmaceuticals-full
WO2013012813A1 (en) 2011-07-15 2013-01-24 Cardinal Health 414, Llc Modular cassette synthesis unit
JP2013115204A (ja) * 2011-11-28 2013-06-10 Toyota Motor Corp 熱交換装置
US9244051B2 (en) * 2012-07-03 2016-01-26 Chevron U.S.A. Inc. Detection of hydrocarbons in aqueous environments
KR102196896B1 (ko) 2013-11-13 2020-12-31 애플 인크. 유도성 전력 전달 시스템들을 위한 전송기
EP2923754B1 (en) * 2014-03-26 2019-08-14 Corning Incorporated Modular photochemical flow reactor system
JP2015202461A (ja) * 2014-04-15 2015-11-16 セイコーエプソン株式会社 化学合成装置、及び化学合成装置の製造方法
EP3180835A4 (en) 2014-08-12 2017-09-13 PowerbyProxi Limited System and method for power transfer
CN104888675A (zh) * 2015-06-08 2015-09-09 南京理工大学 集成传热单元和检测单元的微流体反应器
WO2017204663A1 (en) 2016-05-25 2017-11-30 Powerbyproxi Limited A coil arrangement
WO2017209630A1 (en) 2016-06-01 2017-12-07 Powerbyproxi Limited A powered joint with wireless transfer
CN206834025U (zh) 2016-11-18 2018-01-02 鲍尔拜普罗克西有限公司 感应式电力传输线圈组件
US10978911B2 (en) 2016-12-19 2021-04-13 Apple Inc. Inductive power transfer system
CN107519775A (zh) * 2017-09-14 2017-12-29 华北电力大学 一种乳化装置
US10593468B2 (en) 2018-04-05 2020-03-17 Apple Inc. Inductive power transfer assembly
CN111207988B (zh) * 2020-02-18 2021-08-27 中南大学 一种基于微流体的矿浆监测装置
JP2023017649A (ja) * 2021-07-26 2023-02-07 株式会社日立プラントサービス マイクロリアクタおよび生成物生成方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1232785A2 (de) * 2001-02-15 2002-08-21 Cognis Deutschland GmbH & Co. KG Chip-Reaktor
US20040148858A1 (en) * 2002-03-29 2004-08-05 Tadao Yamamoto Chemical reaction apparatus and power supply system
WO2004091773A1 (en) * 2003-04-15 2004-10-28 Degussa Ag Electrically heated reactor and process for carrying out gas reactions at a high temperature using this reactor

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2766442A (en) * 1952-11-26 1956-10-09 Jr William H Meyer Leak detection apparatus
US4270049A (en) * 1978-06-12 1981-05-26 Ishikawajima-Harima Jukogyo Kabushiki Kaisha Liquid leakage detection system
JPH06331404A (ja) * 1993-05-20 1994-12-02 Tokico Ltd 流量センサ
DE10064417A1 (de) * 2000-12-21 2002-07-04 Cpc Cellular Process Chemistry Mikroreaktor für elektrochemische Umsetzungen
US6934435B2 (en) * 2001-10-05 2005-08-23 ARETé ASSOCIATES Microfluidic pump system for chemical or biological agents
CN2596363Y (zh) * 2002-12-20 2003-12-31 上海博昇微晶科技有限公司 一种微流体***
JPWO2006043642A1 (ja) * 2004-10-20 2008-05-22 株式会社荏原製作所 流体反応装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1232785A2 (de) * 2001-02-15 2002-08-21 Cognis Deutschland GmbH & Co. KG Chip-Reaktor
US20040148858A1 (en) * 2002-03-29 2004-08-05 Tadao Yamamoto Chemical reaction apparatus and power supply system
WO2004091773A1 (en) * 2003-04-15 2004-10-28 Degussa Ag Electrically heated reactor and process for carrying out gas reactions at a high temperature using this reactor

Also Published As

Publication number Publication date
US8146650B2 (en) 2012-04-03
KR20080023262A (ko) 2008-03-12
WO2007012632A1 (de) 2007-02-01
EP1907111B1 (de) 2012-02-29
US20100008834A1 (en) 2010-01-14
CN101227972B (zh) 2010-11-10
CN101227972A (zh) 2008-07-23
EP1907111A1 (de) 2008-04-09
JP4931922B2 (ja) 2012-05-16
DE102005034642B3 (de) 2006-08-03
JP2009502525A (ja) 2009-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100942069B1 (ko) 마이크로 유체 시스템
US7226206B2 (en) Dynamic heat flow meter for measuring thermal properties of insulation or the like, and corresponding method
EP1977829A1 (en) Device for performing multiple analyses in parallel
US20080081005A1 (en) Chemical synthesis device
CN105004379B (zh) 流量传感器
JP2009128229A (ja) マイクロチップ
EP3074121B1 (en) Reactor system for high throughput applications
Floyd et al. Novel liquid phase microreactors for safe production of hazardous specialty chemicals
AU2014376966A1 (en) Fuel cell unit
EP3396371B1 (en) Ultrasonic flaw detection device and ultrasonic flaw detection method
US8901502B2 (en) Device for determining a parameter of a medium
EP1955762B1 (en) Substance manufacturing apparatus and chemical reactors with the apparatus
CN108348914B (zh) 用于控制接收流体样本小盒中过量流体流动的***和方法
KR20120080842A (ko) 마이크로 유체 디바이스 및 그의 제어 방법과 버블 제어 방법
JP2009095770A (ja) マイクロリアクタ
JP2005091169A (ja) 光学測定用マイクロリアクター及びそれを用いた光学測定方法
US20170356840A1 (en) Sealing arrangement and sealing method of a measuring device
TW200528191A (en) Monitoring, control and/or regulation of reactions of a fluid reaction mixture in a reactor having thermoplates
GB2516670A (en) Fluid control device and method of manufacture
JP2009121914A (ja) マイクロチップおよびその使用方法
WO2023069132A1 (en) Double sealed pressure containment assembly
Stogiannis et al. Characterization of fluid flow in a microchannel with a flow disturbing step
CN116347864A (zh) 服务器及机柜
JP2001255283A (ja) 液体用マイクロ波特性測定装置
JPH04238248A (ja) 液中微粒子計

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130117

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140123

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150122

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee