KR100936497B1 - Gauss scanner - Google Patents

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KR100936497B1 KR1020070110133A KR20070110133A KR100936497B1 KR 100936497 B1 KR100936497 B1 KR 100936497B1 KR 1020070110133 A KR1020070110133 A KR 1020070110133A KR 20070110133 A KR20070110133 A KR 20070110133A KR 100936497 B1 KR100936497 B1 KR 100936497B1
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Abstract

본 발명은 자기회로 측정장치에 관한 것으로서, 자기회로가 위치하는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 설치되고 스테이지 상에서 X,Y,Z축 방향으로 이동하는 수평수직이동부와, 상기 수평수직이동부에 설치되고, 상기 자기회로의 자속 밀도 및 자계를 측정하는 가우스 미터를 포함하고, 상기 가우스 미터는 회전 수단에 의해 회전되는 것을 특징으로 하는 자기회로 측정장치가 제공된다. 이에 따라서, 자기회로가 어떠한 위치로 배치되더라도 자기회로의 정밀한 측정 결과를 얻을 수 있고, 신뢰성을 향상시키고 측정 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic circuit measuring apparatus, comprising: a stage on which a magnetic circuit is located, a horizontal vertical moving portion provided on the stage and moving in the X, Y, and Z directions on the stage, and the horizontal vertical moving portion. And a Gaussian meter measuring the magnetic flux density and the magnetic field of the magnetic circuit, wherein the Gaussian meter is rotated by a rotating means. Accordingly, even when the magnetic circuit is disposed at any position, it is possible to obtain a precise measurement result of the magnetic circuit, and to improve the reliability and shorten the measurement time.

가우스 미터, 가우스, 자속밀도, 자기회로, 마그네트론 스퍼터링 Gauss meter, Gaussian, magnetic flux density, magnetic circuit, magnetron sputtering

Description

자기회로 측정장치{GAUSS SCANNER}Magnetic Circuit Measuring Equipment {GAUSS SCANNER}

본 발명은 자기회로 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 측정 대상물의 실제 위치나 크기를 실측하고 상기 실측을 토대로 자속밀도 및 자계를 측정함에 있어, 측정 대상물이 어떠한 자세로 위치되더라도 자기회로 측정에 신뢰성을 향상시키고 측정 시간을 단축시킬 수 있는 자기회로 측정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic circuit measuring apparatus, and more particularly, in measuring the actual position or size of a measurement object and measuring magnetic flux density and magnetic field based on the measurement, no matter what attitude the measurement object is positioned to measure the magnetic circuit. The present invention relates to a magnetic circuit measuring apparatus capable of improving reliability and reducing measurement time.

일반적으로 디스플레이 패널의 유리기판 상에 박막을 형성하는 경우, 막 형성(成膜) 속도가 빠른 등의 이점으로, 마그네트론 스퍼터링 장치가 이용되고 있다. 마그네트론 스퍼터링 장치에서는, 타켓의 후방에 교대로 극성을 바꾸어 복수의 자석으로 구성되는 조립체로 이루어진 자기회로를 설치하고, 이 자기회로에 의해서 타켓의 전방에 자속을 형성하여 전자를 포착하는 것으로 타켓 전방에서의 전자 밀도를 높이고, 이들 전자와 진공 챔버 내에 공급되는 가스와의 충돌확률을 높여 플라즈마 밀도를 높게 하여 스퍼터링한다.In general, in the case of forming a thin film on a glass substrate of a display panel, a magnetron sputtering apparatus is used for advantages such as a high film formation speed. In the magnetron sputtering apparatus, a magnetic circuit composed of an assembly composed of a plurality of magnets is alternately alternately polarized at the rear of the target, and the magnetic circuit forms a magnetic flux in front of the target to capture electrons from the front of the target. Sputtering by increasing the electron density of, increasing the probability of collision between these electrons and the gas supplied into the vacuum chamber.

이와 같은 마그네트론 스퍼터링 장치에 설치되는 자기회로는 자속밀도 및 자계가 일정하게 제어되어야 하는데, 이러한 자기회로의 자속밀도 및 자계를 측정하는 장비가 가우스 미터이다.The magnetic circuit installed in the magnetron sputtering device needs to have a constant magnetic flux density and magnetic field, and a device for measuring magnetic flux density and magnetic field of the magnetic circuit is a Gaussian meter.

상기 가우스 미터는 자기응용제품의 자속밀도 및 자계를 측정하기 위한 것으로 통상 홀 효과를 이용하여 측정 대상물의 자기장 내에 삽입되는 프로브를 포함하여 측정 대상물의 자속밀도 및 자계를 측정한다. 이러한 가우스 미터는 통상 측정자가 휴대할 수 있도록 소형/경량화되어 측정하고자 하는 대상물의 자기장 내에 프로브를 위치시켜 가우스 값을 측정하게 된다. 즉, 측정자는 가우스 미터를 휴대하고 상기 자기회로의 둘레를 따라 이동하며 미리 설정된 구간만을 측정하게 된다.The Gaussian meter is for measuring the magnetic flux density and the magnetic field of the magnetic application, and the magnetic flux density and the magnetic field of the measurement target are measured, including a probe inserted into the magnetic field of the measurement target using a hall effect. Such a Gaussian meter is usually miniaturized / lightweighted so that a measurer can carry it to measure a Gaussian value by placing a probe in a magnetic field of an object to be measured. That is, the measurer carries a Gaussian meter, moves along the circumference of the magnetic circuit, and measures only a predetermined section.

그런데, 최근 디스플레이장치의 유리기판이 커짐에 따라 마그네트론 스퍼터링 장치도 대형화되어 자기회로 역시 대형화되고 있는 추세이다. 이렇게 대형의 자기회로를 종래의 가우스 미터로 측정하게 되는 경우 측정자는 프로브를 손에 쥐고 자기회로의 표면으로부터 소정 거리에 프로브를 위치시키고 자속밀도 및 자계를 측정하게 되는데, 이때 측정자의 숙련도에 따라 자기회로의 자속밀도 및 자계의 측정값이 달라지는 문제가 있다.However, as the glass substrate of the display device has grown in recent years, the magnetron sputtering device has also grown in size, and the magnetic circuit has also grown in size. When a large magnetic circuit is measured by a conventional Gaussian meter, the measurer holds the probe in his hand, positions the probe at a predetermined distance from the surface of the magnetic circuit, and measures magnetic flux density and magnetic field. There is a problem that the magnetic flux density of the circuit and the measured value of the magnetic field are different.

즉, 측정자에 의해 수동으로 자기회로의 자속밀도 및 자계를 측정하는 경우 자기회로의 표면으로부터 소정 거리를 둔 프로브의 위치에 따라 가우스 미터에서 측정된 자속밀도 및 자계는 매번 다른 측정값을 보이게 되어 그 신뢰성이 매우 낮다.That is, when the magnetic flux density and magnetic field of the magnetic circuit are manually measured by the measurer, the magnetic flux density and the magnetic field measured by the Gauss meter show different measurement values every time according to the position of the probe at a distance from the surface of the magnetic circuit. Very low reliability

또한 자기회로의 실제 크기 및 형태에 따라 자속밀도 및 자계는 크게 달라지는데, 이를 측정자가 충분히 숙지하지 못할 경우 종래의 가우스 미터를 사용하여 자기회로의 자속밀도 및 자계를 수회 반복하여 측정하게 됨으로써 자기회로의 자속밀도 및 자계를 측정하는데 많은 시간과 노력이 필요하다.In addition, the magnetic flux density and magnetic field vary greatly depending on the actual size and shape of the magnetic circuit, and if the measurer does not fully understand this, the magnetic flux density and magnetic field of the magnetic circuit are repeatedly measured several times using a conventional Gaussian meter. It takes much time and effort to measure magnetic flux density and magnetic field.

또한 종래에는 측정자가 가우스 미터를 휴대하고 자기회로의 둘레를 따라 이동하며 미리 설정된 구간만의 자속밀도 및 자계만을 측정하게 됨으로써 실제 자기회로의 전 표면에서 발생되는 자속밀도 및 자계를 측정할 수 없고, 이에 따라 자기회로 내부의 자석 파손 여부를 판별할 수 없는 문제가 있다.Also, in the related art, a measurer carries a Gaussian meter, moves along a circumference of a magnetic circuit, and measures only a magnetic flux density and a magnetic field of a predetermined section, so that magnetic flux density and magnetic field generated on the entire surface of the magnetic circuit cannot be measured. Accordingly, there is a problem in that it is not possible to determine whether or not the magnet inside the magnetic circuit is broken.

그리고, 가우스 미터의 기기 특성상 자기회로의 측정면과 가우스 미터가 서로 직각으로 배치되었을 때만 자기회로의 자속밀도 및 자계의 측정이 이루어지기 때문에 자속밀도 및 자계의 측정이 불가하거나, 가우스 미터와 자기회로의 배치에 상당한 시간이 소요되는 문제가 있다.The magnetic flux density and the magnetic field of the magnetic circuit are only measured when the measuring surface of the magnetic circuit and the Gaussian are disposed at right angles to each other because of the characteristics of the Gaussian instrument. There is a problem that takes a considerable time to deploy.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 자기회로의 실제 위치나 크기를 실측하고, 상기 실측을 토대로 자기회로의 전 표면에서 발생되는 자속밀도 및 자계를 측정함으로써 자기회로 측정에 신뢰성을 향상시키고 측정 시간을 단축시킬 수 있는 자기회로 측정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, and to improve the reliability of magnetic circuit measurement by measuring the actual position or size of the magnetic circuit, and by measuring the magnetic flux density and magnetic field generated on the entire surface of the magnetic circuit based on the actual measurement It is an object of the present invention to provide a magnetic circuit measuring apparatus that can reduce the measurement time.

또한, 자속밀도 및 자계를 측정하는 가우스 미터의 기기 특성에 따른 문제점을 해결할 수 있도록 가우스 미터를 회전시킬 수 있는 자기회로 측정장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, another object of the present invention is to provide a magnetic circuit measuring apparatus capable of rotating a Gaussian meter to solve the problems caused by the device characteristics of the Gaussian meter measuring the magnetic flux density and magnetic field.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 자기회로가 위치하는 스테이지와, 상기 스테이지 상에 설치되고 스테이지 상에서 X,Y,Z축 방향으로 이동하는 수평수직이동부와, 상기 수평수직이동부에 설치되고, 상기 자기회로의 자속 밀도 및 자계를 측정하는 가우스 미터를 포함하고, 상기 가우스 미터는 회전 수단에 의해 회전되는 것을 특징으로 하는 자기회로 측정장치에 의해 달성된다.According to the technical idea of the present invention for achieving the above object, a stage in which a magnetic circuit is located, a horizontal vertical moving unit installed on the stage and moving in the X, Y, Z axis directions on the stage, and the horizontal And a Gaussian meter installed in the vertical moving part and measuring the magnetic flux density and the magnetic field of the magnetic circuit, wherein the Gaussian meter is rotated by a rotating means.

여기서, 상기 가우스 미터는 프로브 홀더에 둘러싸여서 일체로 회전되고, 상기 회전 수단은 상기 프로브 홀더를 회전시키는 것을 특징으로 한다.Here, the Gaussian meter is surrounded by the probe holder is rotated integrally, the rotating means is characterized in that for rotating the probe holder.

그리고, 상기 회전 수단은 회전모터를 포함하고, 상기 프로브 홀더는 상기 회전모터의 회전축에 연동되어 회전되는 것을 특징으로 한다.The rotating means includes a rotating motor, and the probe holder is rotated in association with a rotating shaft of the rotating motor.

또한, 상기 프로브 홀더의 외주연에는 상기 회전모터의 회전력을 전달하는 접촉부가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the outer periphery of the probe holder is characterized in that the contact portion for transmitting the rotational force of the rotary motor is provided.

이때 상기 회전모터의 회전축에는 구동기어가 설치되고, 상기 접촉부는 상기 구동기어에 치합되는 피동기어인 것을 특징으로 하거나, 상기 회전모터의 회전축에는 구동폴리가 설치되고, 상기 접촉부는 상기 구동폴리와 벨트로 연결되는 피동폴리인 것을 특징으로 한다.In this case, a driving gear is installed on the rotating shaft of the rotary motor, and the contact portion is a driven gear meshed with the driving gear, or a driving pulley is installed on the rotating shaft of the rotating motor, and the contact portion is the driving pulley and the belt. It is characterized in that the driven poly connected to.

그리고, 상기 가우스 미터는 자기회로에서 X,Y,Z의 백터방향으로 발생하는 자속밀도 및 자계를 측정하는 3축 가우스 미터인 것을 특징으로 한다.The Gaussian meter is a three-axis Gaussian meter for measuring the magnetic flux density and the magnetic field generated in the vector direction of the X, Y, Z in the magnetic circuit.

본 발명에 의한 자기회로 측정장치에 의하면 자기회로의 실제 위치 및 크기를 토대로 자속밀도 및 자계를 측정할 수 있고, 자기회로의 전 구간에 대한 측정이 가능하여 정밀한 측정 결과를 얻을 수 있다.According to the magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention, the magnetic flux density and the magnetic field can be measured based on the actual position and size of the magnetic circuit, and the measurement can be performed for the entire section of the magnetic circuit, thereby obtaining accurate measurement results.

또한, 가우스 미터를 회전시킬 수 있음에 따라 자기회로의 측정면이 어떠한 위치로 배치되더라도 자속밀도 및 자계의 측정이 가능하여 원활하게 자기회로를 측정할 수 있는 효과가 있다.In addition, as the Gaussian can be rotated, the magnetic flux density and the magnetic field can be measured regardless of the position where the measuring surface of the magnetic circuit is disposed, thereby enabling the magnetic circuit to be measured smoothly.

또한 각각의 자기회로를 동일한 조건 하에서 측정할 수 있어 신뢰성이 향상되고, 자기회로의 실측과 가우스 값을 동시에 자기회로 측정장치에서 측정할 수 있기 때문에 자기회로의 측정 시간을 단축하는 효과가 있다.In addition, since each magnetic circuit can be measured under the same conditions, the reliability is improved, and since the actual measurement and the Gaussian value of the magnetic circuit can be simultaneously measured by the magnetic circuit measuring apparatus, the measurement time of the magnetic circuit can be shortened.

이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면에 따라 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 자기회로 측정장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 자기회로 측정장치의 요부를 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 자기회로 측정장치를 나타낸 정면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 자기회로 측정장치를 나타낸 좌측면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 자기회로 측정장치를 나타낸 평면도이다.1 is a perspective view showing a magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention, Figure 2 is a perspective view showing the main portion of the magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention, Figure 3 is a front view showing a magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention, 4 is a left side view showing a magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention, Figure 5 is a plan view showing a magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention.

도면을 참조하여 설명하면, 상기 자기회로 측정장치는 크게 프레임(102)과, 상기 프레임(102)의 상면에 설치되는 스테이지(100)와, 상기 스테이지(100) 상에서 X축 방향으로 이동하는 X축 이동유닛(200)과 Y축 방향으로 이동하는 Y축 이동유닛(300)과, Z축 방향으로 이동하는 Z축 이동유닛(400)을 포함하는 수평수직이동부(700) 및 상기 Z축 이동유닛(400)에 설치된 측정부(500)로 구성된다.Referring to the drawings, the magnetic circuit measuring apparatus includes a frame 102, a stage 100 installed on an upper surface of the frame 102, and an X axis moving in the X-axis direction on the stage 100. The horizontal vertical moving unit 700 and the Z-axis moving unit including the moving unit 200 and the Y-axis moving unit 300 moving in the Y-axis direction, and the Z-axis moving unit 400 moving in the Z-axis direction. It is composed of a measuring unit 500 installed in (400).

상기 프레임(102)은, 소정의 면적을 갖고 상면에 설치될 스테이지(100)의 하중을 충분히 견딜 수 있는 구조물로 이루어지고 그 저면에는 프레임(102)의 이송과 고정이 용이하도록 캐스터(Caster)와 같은 바퀴유닛(104)이 설치된다.The frame 102 is formed of a structure having a predetermined area and capable of sufficiently enduring the load of the stage 100 to be installed on the upper surface, and a caster on the bottom surface of the frame 102 to facilitate the transport and fixing of the frame 102. The same wheel unit 104 is installed.

상기 프레임(102)의 상면에는 자기회로(600)가 위치할 수 있는 면적을 갖는 스테이지(100)가 설치되는데, 상기 스테이지(100)는 크게 정반(110)과, 상기 정반(100)의 평탄면에 위치되는 복수의 고정 블록(120)과, 상기 고정 블록(120) 상에서 수평 이동하는 위치조절 블록(130)으로 구성된다.On the upper surface of the frame 102 is provided a stage 100 having an area in which the magnetic circuit 600 can be located, the stage 100 is large surface plate 110 and the flat surface of the surface plate 100 It consists of a plurality of fixed blocks 120 which are located in the, and the positioning block 130 to move horizontally on the fixed block 120.

아울러, 상기 프레임(102)의 상면과 스테이지(100)의 저면 사이에는 방진패드(106)가 설치는데, 상기 방진패드(106)의 상면에는 요철(106a)(도 3 참조)이 형성되어 방진패드(106)와 스테이지(100)의 저면 즉, 정반(100)의 저면과의 접촉 면 적을 최소화하여 불시에 발생될 수 있는 지면의 요동을 방진패드(106)가 흡수하여 스테이지(100) 및 스테이지(100) 상에 설치되는 X,Y,Z축 이동유닛(200, 300, 400) 및 측정부(500)를 보호하게 된다.In addition, a dustproof pad 106 is installed between the upper surface of the frame 102 and the bottom surface of the stage 100. An unevenness 106a (see FIG. 3) is formed on the upper surface of the dustproof pad 106 to prevent the dustproof pad. The dustproof pad 106 absorbs rocking of the ground, which may occur at any time by minimizing the contact area between the bottom surface of the stage 100 and the bottom surface of the surface plate 100, that is, the stage 100 and the stage ( It protects the X, Y, Z axis moving unit (200, 300, 400) and the measuring unit 500 is installed on the 100.

상기 정반(110)은 소정의 두께를 갖는 장방형으로 형성되어 프레임(102)의 상면에 설치되며, 정반(110)의 상면은 평탄도가 조정된 평탄면이 형성된다. 그리고 정반(110)의 평탄면 상에는 복수의 고정 블록(120)이 위치하는데, 상기 각각의 고정 블록(120)은 소정의 두께를 갖는 장방형으로 형성되고 정반(110)의 평탄면과 마찬가지로 평탄도가 조정된 평탄면이 고정 블록(120)의 상면과 하면에 형성된다.The surface plate 110 is formed in a rectangular shape having a predetermined thickness is installed on the upper surface of the frame 102, the upper surface of the surface plate 110 is formed with a flat surface of which the flatness is adjusted. In addition, a plurality of fixing blocks 120 are positioned on the flat surface of the surface plate 110, and each of the fixing blocks 120 is formed in a rectangle having a predetermined thickness, and the flatness of the surface plate 110 is similar to that of the surface surface of the surface plate 110. The adjusted flat surface is formed on the upper and lower surfaces of the fixing block 120.

또한 상기 고정 블록(120)의 상면에는 고정 블록(120)에 놓이는 자기회로(600)의 기준 위치를 제공하고 조절할 수 있도록 Y축 방향으로 수평 이동하도록 설치된 위치조절 블록(130)이 마련된다.In addition, the upper surface of the fixing block 120 is provided with a positioning block 130 installed to move horizontally in the Y-axis direction to provide and adjust the reference position of the magnetic circuit 600 placed on the fixing block 120.

상기 위치조절 블록(130)은 고정 블록(120)의 상면에서 Y축 방향으로 수평 이동하는 수평부(132)와 상기 수평부(132)에서 고정 블록(120)의 상방으로 수직으로 절곡된 수직부(134)를 포함한다. 또한 상기 고정 블록(120)의 상면에는 위치조절 블록(130)의 수평부(132)를 Y축 방향으로 안내하기 위한 슬롯(122)이 형성되어 상기 슬롯(122)에 수평부(132)가 안착된 상태로 활주하게 된다.The positioning block 130 is a horizontal portion 132 horizontally moved in the Y-axis direction from the upper surface of the fixed block 120 and the vertical portion bent vertically upward of the fixed block 120 in the horizontal portion 132 134. In addition, the upper surface of the fixing block 120 is formed with a slot 122 for guiding the horizontal portion 132 of the positioning block 130 in the Y-axis direction so that the horizontal portion 132 is seated in the slot 122. It slides in the finished state.

그리고 상기 Y축 방향으로 형성된 슬롯(122)에는 위치조절 블록(130)의 위치를 파악할 수 있도록 슬롯(122)을 따라 계측 눈금(124)이 형성되며, 상기 수평부(132)에는 고정 블록(120)의 슬롯(122)을 따라 활주하는 수평부(132)가 움직이지 않도록 고정할 수 있는 고정구(136)를 포함한다. 예를 들어, 상기 고정구(136)는 수평부(132)를 슬롯(122)에 압착하여 고정시킬 수 있는 볼트(미도시) 체결일 수 있다.In addition, a measurement scale 124 is formed along the slot 122 in the slot 122 formed in the Y-axis direction so as to determine the position of the positioning block 130, and the fixed block 120 in the horizontal portion 132. It includes a fastener 136 that can be fixed so that the horizontal portion 132 sliding along the slot 122 of the). For example, the fastener 136 may be a bolt (not shown) fastening to secure the horizontal portion 132 to the slot 122 by pressing.

상기와 같은 구성을 갖는 스테이지(100) 상에는 X, Y, Z축 방향으로 이동하는 수평수직이동부(700)가 설치되는데, 상기 수평수직이동부(700)는, 스테이지(100) 상에서 X축 방향으로 수평 이동하는 X축 이동유닛(200)과, 상기 X축 이동유닛(200)에 설치되고 Y축 방향으로 수평 이동하는 Y축 이동유닛(300)과, 상기 Y축 이동유닛(300)에 설치되고 Z축 방향으로 이동하는 Z축 이동유닛(400)을 포함한다.On the stage 100 having the configuration described above, a horizontal vertical moving unit 700 moving in the X, Y, and Z axis directions is installed, and the horizontal vertical moving unit 700 is in the X axis direction on the stage 100. To the X-axis moving unit 200 to move horizontally, the Y-axis moving unit 300 installed in the X-axis moving unit 200 and horizontally moved in the Y-axis direction, and the Y-axis moving unit 300 And a Z-axis moving unit 400 moving in the Z-axis direction.

상기 X축 이동유닛(200)은, 스테이지(100)의 정반(110) 상면 양측에서 X축 방향으로 설치된 리니어 구동유닛(220)와 상기 리니어 구동유닛(220)에 위해 스테이지(100) 상에서 X축 방향으로 수평 이동하는 갠트리(210)로 구성된다.The X-axis moving unit 200 is an X-axis on the stage 100 for the linear drive unit 220 and the linear drive unit 220 installed in the X-axis direction on both sides of the upper surface of the surface plate 110 of the stage 100. It consists of a gantry 210 to move horizontally in the direction.

도 7은 도 4에 표시된 B부의 부분단면 확대도로, 리니어 구동부를 나타낸다.FIG. 7 is a partial cross-sectional enlarged view of a portion B shown in FIG. 4 and illustrates a linear driving unit. FIG.

상기 리니어 구동유닛(220)을 도 7을 참조하여 설명하면, 상기 리니어 구동유닛(220)은, 전기에너지를 직선적인 운동에너지로 변환시킬 수 있도록 복수의 자석이 일렬로 배열된 고정자(222a)를 갖는 제 1 가이드 레일(222)과, 상기 제 1 가이드 레일(222)을 따라 활주할 수 있도록 취부되고 이동자(224a)가 내설된 X축 이동블록(224)으로 구성되어 제 1 가이드 레일(222)에 전류를 흘려 이동자(224a)와 고정자(222a) 사이에서 추력(推力:미는 힘)을 발생시켜 X축 이동블록(224)을 제 1 가이드 레일(222) 상에서 활주시킨다.Referring to FIG. 7, the linear drive unit 220 includes a stator 222a having a plurality of magnets arranged in a line so as to convert electrical energy into linear kinetic energy. The first guide rail 222 having a first guide rail 222 and the X-axis moving block 224 is mounted so as to slide along the first guide rail 222 and the mover 224a is built-in. An electric current is applied to the X-axis moving block 224 to slide on the first guide rail 222 by generating a thrust between the mover 224a and the stator 222a.

이와 같은 상기 리니어 구동유닛(220)은, 예를 들어, 리니어 유도모터, 리니어 직류모터, 리니어 펄스모터, 리니어 하이브리드모터, 리니어 동기모터 중 어느 하나일 수 있다.The linear driving unit 220 may be, for example, any one of a linear induction motor, a linear DC motor, a linear pulse motor, a linear hybrid motor, and a linear synchronous motor.

또한 상기 제 1 가이드 레일(222)의 상면에는, 제 1 가이드 레일(222)의 선단과 기단에 지지되는 가이드 캡(226)이 설치되는데, 상기 가이드 캡(226)은 X축 이동블록(224)의 내부를 관통하여 X축 이동블록(224)이 임의로 제 1 가이드 레일(222)에서 이탈하는 것을 방지하고 제 1 가이드 레일(222) 내부로 이물이 유입되는 것을 차단하게 된다. 여기서, 상기 가이드 캡(226)의 저면은 X축 이동블록(224)의 내부에 설치된 구동 롤러(228)와 구름 접촉된다.In addition, the upper surface of the first guide rail 222, a guide cap 226 that is supported on the front end and the proximal end of the first guide rail 222 is installed, the guide cap 226 is the X-axis moving block 224 Through the inside of the X-axis moving block 224 to prevent the arbitrary departure from the first guide rail 222 and to block the foreign material flow into the first guide rail 222. Here, the bottom of the guide cap 226 is in contact with the drive roller 228 installed in the X-axis moving block 224.

그리고 상기 제 1 가이드 레일(222)의 선단과 기단에는 X축 이동블록(224)의 과도한 활주에 의한 충돌을 완충하기 위해 완충유닛(230)이 설치된다. 상기 완충유닛(230)은 예를 들어, 충격을 흡수하여 소멸시킬 수 있도록 탄성력을 갖는 부재 또는 유압 실린더 및 코일 스프링 등이 될 수 있다.And the front end and the base end of the first guide rail 222 is provided with a shock absorbing unit 230 to cushion the collision caused by excessive sliding of the X-axis moving block 224. The shock absorbing unit 230 may be, for example, a member having an elastic force or a hydraulic cylinder and a coil spring so as to absorb and extinguish an impact.

상기 정반(110) 상면 양측에서 X축 방향으로 설치된 리니어 구동유닛(220)의 X축 이동블록(224)에 의해 지지되고 스테이지(100) 상에서 X축 방향으로 이동하는 갠트리(210)는, 정반(110) 상면 양측에 설치된 X축 이동블록(224)의 상면 각각에 고정되는 수직보(212)와 각각의 수직보(212)가 일체로 X축 방향으로 이동되도록 연결하는 수평보(214)로 형성되는데, 상기 갠트리(210)는 특히, 수평보(214)에 설치될 Y,Z축 이동유닛(300, 400)과 측정부(500)의 하중을 충분히 견딜 수 있는 구조를 갖는다.The gantry 210 supported by the X-axis moving block 224 of the linear drive unit 220 installed in the X-axis direction on both sides of the upper surface of the surface 110 and moving in the X-axis direction on the stage 100 is a surface plate ( 110 is formed of a vertical beam 212 fixed to each of the upper surface of the X-axis moving block 224 installed on both sides of the upper surface and a horizontal beam 214 connecting the vertical beams 212 integrally to move in the X-axis direction. In particular, the gantry 210 has a structure that can withstand the load of the Y, Z-axis moving units (300, 400) and the measuring unit 500, in particular, to be installed on the horizontal beam (214).

상기와 같이 스테이지(100) 상에 설치되어 X축 방향으로 이동하는 갠트리(210)에는 측정부(500)를 Y축 방향과 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Y축 이동유 닛(300)과 Z축 이동유닛(400)이 설치된다.As described above, the gantry 210 installed on the stage 100 and moving in the X-axis direction has a Y-axis moving unit 300 and a Z-axis for moving the measurement unit 500 in the Y-axis direction and the Z-axis direction. The mobile unit 400 is installed.

도 8은 도 3에 표시된 C부 확대도로, Y축 이동유닛과 Z축 이동유닛의 조립상태를 나타낸다. 도면을 참조하여 설명하면, 스테이지(100) 상에서 X축 방향으로 이동하는 갠트리(210)의 수평보(214)에는 Y축 이동유닛(300)이 설치된다.FIG. 8 is an enlarged view of a portion C shown in FIG. 3, illustrating an assembly state of the Y-axis moving unit and the Z-axis moving unit. Referring to the drawings, the Y-axis moving unit 300 is installed on the horizontal beam 214 of the gantry 210 moving in the X-axis direction on the stage 100.

상기 Y축 이동유닛(300)은, 수평보(214))에 고정된 제 2 가이드 레일(330)에 취부되어 Y축 방향으로 활주하는 Y축 이동블록(320)과, 상기 제 2 가이드 레일(330)의 내부에서 상기 제 2 가이드 레일(330)과 평행하게 설치되고 Y축 이동블록(320)과 치합되는 제 1 스크류 축(312)과 상기 제 1 스크류 축(312)단에 설치되는 제 1 서버 모터(314)를 포함하는 제 1 회전 구동부(310)로 구성된다.The Y-axis moving unit 300 is mounted on the second guide rail 330 fixed to the horizontal beam 214, the Y-axis moving block 320 to slide in the Y-axis direction, and the second guide rail ( 330 is installed in parallel with the second guide rail 330 and the first screw shaft 312 and the first screw shaft 312 to be engaged with the Y-axis moving block 320 and the first screw shaft 312 end It consists of a first rotational drive 310 including a server motor (314).

여기서, 상기 제 1 회전 구동부(310)의 제 1 스크류 축(312)과 제 1 서버 모터(314)의 결합은 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 스크류 축(312)의 선단 또는 기단에 제 1 서버 모터(314)의 구동축이 직접 연결되는 직렬 연결일 수 있고, 경우에 따라서는, 제 1 서버 모터(314)의 구동축이 제 1 스크류 축(312)과 평행하게 또는 교차하게 위치하고, 상기 제 1 서버 모터(314)의 구동축과 제 1 스크류 축(312) 사이에 회전비를 달리하는 각각의 기어가 내설된 감속기어 박스(미도시)가 설치될 수도 있다.Here, the coupling of the first screw shaft 312 and the first server motor 314 of the first rotary drive 310 is formed at the front end or the proximal end of the first screw shaft 312, as shown in FIG. The drive shaft of the first server motor 314 may be a series connection is directly connected, in some cases, the drive shaft of the first server motor 314 is located in parallel or cross with the first screw shaft 312, the first A reduction gear box (not shown) may be installed between the drive shaft of the first server motor 314 and the first screw shaft 312 in which gears varying in rotation ratio.

그리고, 상기 Y축 이동유닛(300)과 직교하도록 Z축 이동유닛(400)이 설치되는데, 상기 Z축 이동유닛(400)은, 제 2 가이드 레일(330)과 직교하고 Y축 이동블록(320)에 고정되는 제 3 가이드 레일(420)과, 상기 제 3 가이드 레일(420)에 취부되어 Z축 방향으로 활주하는 Z축 이동블록(430)과, 상기 제 3 가이드 레일(420)의 내부에서 제 3 가이드 레일(420)과 평행하게 설치되고 Z축 이동블록(430)과 치합되는 제 2 스크류 축(412)과 상기 제 2 스크류 축(412)단에 설치되는 제 2 서버 모터(414)를 포함하는 제 2 회전 구동부(410)로 구성된다.And, the Z-axis moving unit 400 is installed to be orthogonal to the Y-axis moving unit 300, the Z-axis moving unit 400 is orthogonal to the second guide rail 330, Y-axis moving block 320 The third guide rail 420 is fixed to the), the Z-axis moving block 430 is mounted to the third guide rail 420 and slides in the Z-axis direction, and the third guide rail 420 in the interior The second screw shaft 412 installed in parallel with the third guide rail 420 and engaged with the Z-axis moving block 430 and the second server motor 414 installed at the second screw shaft 412 end are provided. It consists of a second rotary drive unit 410 including.

여기서, 상기 제 2 스크류 축(412)과 제 2 서버 모터(414)의 결합은 앞서 설명한 Y축 이동유닛(300)의 제 1 스크류 축(312)과 제 1 서버 모터(314)의 결합처럼 제 2 스크류 축(412)의 선단 또는 기단에 제 2 서버 모터(414)의 구동축이 직접 연결될 수도 있고, 제 2 서버 모터(414)의 구동축이 제 2 스크류 축(412)과 평행하게 또는 교차하게 위치하고 그 사이에 감속기어 박스(미도시)가 설치될 수도 있다.Here, the coupling of the second screw shaft 412 and the second server motor 414 is made like the coupling of the first screw shaft 312 and the first server motor 314 of the Y-axis moving unit 300 described above. The driving shaft of the second server motor 414 may be directly connected to the front end or the proximal end of the two screw shaft 412, and the driving shaft of the second server motor 414 is positioned parallel to or crossing the second screw shaft 412. In the meantime, a reduction gear box (not shown) may be installed.

더블어, 상기 제 2 가이드 레일(330)과 제 3 가이드 레일(420) 각각에는 Y축 이동블록(320)과 Z축 이동블록(430)의 활주 구간을 제한하는 활주 리미트 센서(108)가 설치된다.Double, each of the second guide rail 330 and the third guide rail 420 is provided with a slide limit sensor 108 for limiting the slide section of the Y-axis moving block 320 and Z-axis moving block 430. .

도 6a 및 6b는 도 4에 표시된 A부의 확대도로, Z축 이동유닛에 설치된 측정부를 나타낸 정면도 및 측면도이다. 도 2, 도 6a 및 도 6b를 참조하여 설명하면, 상기 Z축 이동블록(430)에는 레이저 변위센서(미도시)와 가우스 미터(520)을 구비한 측정부(500)가 설치된다.6A and 6B are enlarged views of a portion A shown in FIG. 4, showing front and side views of a measuring unit installed in the Z-axis moving unit. 2, 6A and 6B, the Z-axis moving block 430 is provided with a measuring unit 500 including a laser displacement sensor (not shown) and a Gaussian meter 520.

상기 레이저 변위센서는, 앞서 설명한 바와 같이 Z축 이동블록(430)에 내장 또는 고정됨으로써 고정 블록(120)에 놓인 자기회로(600)의 상면으로부터 소정의 높이에 위치하게 된다. 이러한 레이저 변위센서는 자기회로(600)의 상면에 레이저빔을 발사하는 발광부(미도시)와 자기회로(600)의 상면에서 반사된 레이저빔이 받아들이는 수광부(수광부)를 포함한다.As described above, the laser displacement sensor is embedded in or fixed to the Z-axis moving block 430 to be positioned at a predetermined height from an upper surface of the magnetic circuit 600 placed on the fixed block 120. The laser displacement sensor includes a light emitting unit (not shown) for emitting a laser beam on the upper surface of the magnetic circuit 600 and a light receiving unit (a light receiving unit) that is received by the laser beam reflected from the upper surface of the magnetic circuit 600.

그리고 상기 Z축 이동블록(430)에는 상기 가우스 미터(520)를 승하강 시키는 승하강 수단(800)과 상기 가우스 미터(520)를 회전 시키는 회전 수단(900)이 구비된다.In addition, the Z-axis moving block 430 is provided with a lifting means 800 for raising and lowering the gauss meter 520 and a rotating means 900 for rotating the gauss meter 520.

상기 승하강 수단(800)은 상기 Z축 이동블록(430)에 설치되는 승하강 모터(810)와, 상기 승하강 모터(810)에 설치되어 작동되는 승하강 스크류(820)와, 상기 승하강 스크류(820)에 설치되어 승강 또는 하강 되는 승하강 블록(830)을 포함하고, 승하강 모터(810)의 구동에 따라 승하강 스크류(820)가 작동되어 승하강 블록(830)을 승강 또는 하강시킨다. 그래서, 상기 가우스 미터(520)를 후술되는 커버(440)의 하면을 통하여 커버(440)의 외측으로 노출시키거나 커버(440)의 내측으로 수납하게 된다. 이때 상기 승하강 수단(800)과 인접되는 지점에는 다수개의 승하강 리미트 센서(840)가 구비되어 상기 승하강 블록(830)의 승하강 정도를 단속하게 된다.The lifting means 800 is a lifting motor 810 installed on the Z-axis moving block 430, a lifting screw 820 is installed and operated on the lifting motor 810, and the lifting It includes a lifting block 830 is installed on the screw 820 is raised or lowered, the lifting screw 820 is operated in accordance with the driving of the lifting motor 810 to raise or lower the lifting block 830 Let's do it. Thus, the Gaussian meter 520 is exposed to the outside of the cover 440 through the lower surface of the cover 440 which will be described later, or stored inside the cover 440. In this case, a plurality of elevating limit sensors 840 are provided at points adjacent to the elevating means 800 to control the elevating degree of the elevating block 830.

그리고, 상기 승하강 블록(830)에는 가우스 미터(520)가 설치되는 케이스(510)가 장착되어 일체로 승강 또는 하강된다. 상기 케이스(510)에는 가우스 미터(520) 및 회전 수단(900)이 설치된다. 상기 가우스 미터(520)는 자기회로(600)에서 발생하는 자기장 내에 삽입되어 자기회로(600)의 자속밀도 및 자계를 측정하는 프로브(521)를 포함하는 것으로서, 상기 케이스(510)에 Z축 방향으로 설치되고, 바람직하게는 상기 가우스 미터(520)가 프로브 홀더(530)에 둘러싸여서 상기 케이스(510)에 회전 가능하도록 설치된다. 상기 가우스 미터(520)를 프로브 홀더(530)로 둘러싸서 일체로 승하강 또는 회전시키는 이유는 가우스 미터(520)를 보다 용이하게 승하강 및 회전시키기 위함이다. 이때 사용되는 상기 가우스 미터(520)는 자기회로(600)에서 X,Y,Z의 백터방향으로 발생하는 자속밀도 및 자계를 측정할 수 있는 3축 가우스 미터이다. 상기 가우스 미터(520)는 측정대상인 자기회로의 측정면과 가우스 미터의 X,Y,Z의 백터방향이 서로 직각으로 배치되었을 때만 자기회로의 자속밀도 및 자계의 측정이 이루어지는 기기 특성을 갖고 있기 때문에 상기 가우스 미터(520)을 회전 수단(900)에 의해 회전시킴에 따라 자기회로의 측정면과 가우스 미터 X,Y,Z의 백터방향 중 어느 하나의 방향과 직각으로 배치시키는 동작을 간단한 조작으로 빠르게 실시할 수 있다.In addition, the elevating block 830 is mounted to the case 510, which is installed with a Gauss meter 520, is raised or lowered integrally. The case 510 is provided with a gauss meter 520 and a rotating means 900. The gauss meter 520 includes a probe 521 inserted into a magnetic field generated by the magnetic circuit 600 to measure the magnetic flux density and the magnetic field of the magnetic circuit 600, and the Z-axis direction of the case 510. Preferably, the gauss meter 520 is surrounded by the probe holder 530 is installed to be rotatable in the case 510. The reason for raising or lowering the gauss meter 520 integrally with the probe holder 530 is to raise and lower the gauss meter 520 more easily. The Gaussian meter 520 used at this time is a three-axis Gaussian meter capable of measuring the magnetic flux density and magnetic field generated in the vector direction of X, Y, and Z in the magnetic circuit 600. Since the Gauss meter 520 has the characteristics of measuring the magnetic flux density and the magnetic field of the magnetic circuit only when the measuring surface of the magnetic circuit to be measured and the vector directions of the X, Y, and Z of the Gaussian are perpendicular to each other. As the Gauss meter 520 is rotated by the rotating means 900, the operation of arranging the measurement surface of the magnetic circuit and the direction perpendicular to any one of the vector directions of the Gauss meters X, Y and Z can be quickly performed with a simple operation. It can be carried out.

상기 케이스(510) 상에는 가우스 미터(520)를 회전시키기 위한 회전 수단(900)이 구비되는데, 상기 회전 수단(900)은 상기 케이스(510)에 설치되는 회전 모터(910)를 포함하고, 상기 프로브 홀더(530)의 외주연에는 상기 회전 모터(910)의 회전력을 전달하는 접촉부가 구비됨에 따라 상기 회전 모터(910)의 회전축(920)에 작동에 연동하여 상기 프로브 홀더(530)를 회전시켜서 프로브 홀더(530)와 일체로 가우스 미터(520)를 회전시키게 된다.Rotating means 900 is provided on the case 510 to rotate the Gaussian meter 520. The rotating means 900 includes a rotating motor 910 installed in the case 510, and the probe The outer periphery of the holder 530 is provided with a contact portion for transmitting the rotational force of the rotary motor 910 to rotate the probe holder 530 in conjunction with the operation of the rotary shaft 920 of the rotary motor 910 to probe The Gauss meter 520 is rotated integrally with the holder 530.

상기 회전 수단(900)은 상기와 같은 기술 사상하에 다양하게 실시될 수 있을 것이다. The rotating means 900 may be implemented in various ways under the above technical idea.

바람직하게는 도 6b에 도시된 바와 같이 상기 회전 모터(910)의 회전축(920)에 구동기어(921)가 설치되고, 상기 프로브 홀더(530)의 외주연에는 상기 구동기어(921)와 치합되는 피동기어(923)가 설치될 수 있을 것이다. 그래서, 상기 회전 모터(910)의 작동에 따라 프로브 홀더(530)를 회전시켜서 가우스 미터(520)를 회전시키게 된다. Preferably, as shown in FIG. 6B, a drive gear 921 is installed on the rotation shaft 920 of the rotary motor 910, and is engaged with the drive gear 921 on the outer circumference of the probe holder 530. A driven gear 923 may be installed. Thus, by rotating the probe holder 530 in accordance with the operation of the rotary motor 910 to rotate the Gauss meter 520.

또한, 도 9는 Z축 이동유닛에 설치된 측정부의 다른 실시예을 나타낸 측면도로서, 도 9에 도시된 바와 같이 상기 회전 모터(910)의 회전축(920)에 구동폴리(931)가 설치되고, 상기 프로브 홀더(530)의 외주연에는 상기 구동폴리(931)와 벨트(935)로 연결되는 피동폴리(933)가 설치될 수 있을 것이다. In addition, Figure 9 is a side view showing another embodiment of the measuring unit installed in the Z-axis moving unit, as shown in Figure 9 the drive pulley 931 is installed on the rotating shaft 920 of the rotary motor 910, the probe On the outer circumference of the holder 530, a driven pulley 933, which is connected to the driving pulley 931 and the belt 935, may be installed.

상기 회전 수단은 제시된 실시예에 한정되는 것이 아니라, 가우스 미터를 Z축 방향을 중심축으로 회전시킬 수 있다면 어떠한 구성으로 형성되어도 그 본 발명 의 기술 사상에 포함될 것이다.The rotation means is not limited to the embodiments shown, but any configuration may be included in the technical idea of the present invention as long as the Gauss meter can be rotated about the Z axis direction.

그리고, 상기 케이스(510)의 하면에는 상기 프로브 홀더(530)와 이격배치되어 다수개의 회전 리미트 센서(940)가 구비된다. 그래서, 상기 프로브 홀더(530)의 회전 정도를 단속하게 된다.The lower surface of the case 510 is spaced apart from the probe holder 530 and includes a plurality of rotation limit sensors 940. Thus, the degree of rotation of the probe holder 530 is interrupted.

또한 상기 Z축 이동블록(430)에는 레이저 변위센서와 가우스 미터(520)를 보호하도록 커버(440)가 체결된다.In addition, a cover 440 is fastened to the Z-axis moving block 430 to protect the laser displacement sensor and the Gaussian meter 520.

상기 커버(440)는 레이저 변위센서, 승하강 수단(800), 회전 수단(900) 및 가우스 미터(520)를 덮을 수 있도록 대략 박스 형상을 갖되, 커버(440)가 레이저 변위센서 및 가우스 미터(520)가 자기회로(600)의 측정을 방해하지 않도록 저면이 개방되며, 경우에 따라서는 레이저 변위센서, 승하강 수단(800), 회전 수단(900) 및 가우스 미터(520)의 유지보수를 위하여 상기 커버(440)가 Z축 이동블록(430)에서 개폐될 수 있도록 경첩(미도시)에 의해 체결될 수도 있다.The cover 440 has a substantially box shape so as to cover the laser displacement sensor, the lifting means 800, the rotation means 900, and the Gaussian meter 520, and the cover 440 has a laser displacement sensor and a Gaussian meter ( The bottom surface is opened so that the 520 does not interfere with the measurement of the magnetic circuit 600, and in some cases, for the maintenance of the laser displacement sensor, the lifting means 800, the rotating means 900 and the Gauss meter 520. The cover 440 may be fastened by a hinge (not shown) to be opened and closed at the Z-axis moving block 430.

여기서 자기회로의 위치 및 크기를 실측하고 자속밀도와 자계를 측정하는 측정부를 스테이지 상에서 X,Y,Z축 방향으로 이동시키기 위한 수평수직이동부는 앞서 설명한 구성으로만 한정되는 것이 아니라 다양하게 변형되어 실시될 수 있다. 예를 들어, 상기 수평수직이동부를 대신하여 다관절 로봇에 측정부가 설치되고, 경우에 따라서는 상기 다관절 로봇이 스테이지 상에서 X축 방향으로 이동되도록 설치될 수도 있다.Here, the horizontal vertical moving unit for measuring the position and size of the magnetic circuit and moving the measuring unit for measuring the magnetic flux density and the magnetic field in the X, Y, and Z directions on the stage is not limited to the above-described configuration, but is variously modified. Can be implemented. For example, a measuring unit may be installed in the articulated robot instead of the horizontal vertical moving unit, and in some cases, the articulated robot may be installed to move in the X axis direction on the stage.

또한 측정부에 설치된 레이저 변위센서 및 가우스 미터는 앞서 설명한 구성으로만 한정되는 것이 아니라 상기 레이저 변위센서는 스테이지 상에 위치하는 자 기회로의 원점을 찾고, 그 원점을 기준으로 자기회로의 크기/높이 등을 측정할 수 있는 센서이면 족할 것이다. 그리고 상기 가우스 미터 역시 자기회로에서 발생되는 자속밀도 및 자계를 측정할 수 있는 센서이면 족할 것이다. 경우에 따라서는 상기 레이저 변위센서와 가우스 미터가 일체로 형성될 수도 있을 것이다.In addition, the laser displacement sensor and the Gauss meter installed in the measurement unit is not limited to the above-described configuration, but the laser displacement sensor finds the origin of the magnetic opportunity located on the stage, and the size / height of the magnetic circuit based on the origin. It would be sufficient if the sensor can measure the back. In addition, the Gaussian meter may also be a sensor capable of measuring the magnetic flux density and magnetic field generated in the magnetic circuit. In some cases, the laser displacement sensor and the gauss meter may be integrally formed.

상기와 같은 구성을 갖는 자기회로 측정장치의 동작을 설명하면, 크게 스테이지(100)에 자기회로(600)를 로딩시키는 단계와, 레이저 변위센서가 스테이지(100) 상에 위치하는 자기회로(600)의 위치와 크기를 실측하는 단계와, 가우스 미터(520)가 스테이지(100) 상에 위치하는 자기회로(600)의 둘레를 돌며 자속밀도와 자계를 측정하는 단계로 구분된다.Referring to the operation of the magnetic circuit measuring apparatus having the above configuration, the step of loading the magnetic circuit 600 to the stage 100 largely, and the magnetic circuit 600 in which the laser displacement sensor is located on the stage 100 It is divided into the steps of measuring the position and size of the, and measuring the magnetic flux density and the magnetic field around the magnetic circuit 600, the Gauss meter 520 is located on the stage (100).

스테이지(100)에 자기회로(600)를 로딩시키는 단계는, 상기 자기회로(600)가 고정 블록(120)에 놓이게 될 때 자기회로(600)가 소정의 위치에 정렬될 수 있도록 고정 블록(120)에 설치된 위치조절 블록(130)을 Y축 방향으로 이동시켜 설정된 계측 눈금(124)과 위치조절 블록(130)의 수직부(134)를 일치시킨 후 위치조절 블록(130)이 움직이지 않도록 고정시킨다. The loading of the magnetic circuit 600 on the stage 100 may include the fixing block 120 so that the magnetic circuit 600 may be aligned at a predetermined position when the magnetic circuit 600 is placed on the fixing block 120. Position adjustment block 130 installed in the Y-axis direction to match the vertical scale 134 of the set measurement scale 124 and the positioning block 130 and then fixed the positioning block 130 does not move Let's do it.

그리고 자기회로(600)를 천장 크레인 또는 스텍커와 같은 중량물 운반유닛(미도시)으로 스테이지(100)의 고정 블록(120) 상면에 위치시키는데, 이때 상기 자기회로(600)의 측면을 위치조절 블록(130)의 수직부(134)에 밀착시켜 자기회로(600)를 고정 블록(130)의 소정 위치에 정렬시키게 된다.In addition, the magnetic circuit 600 is positioned on the upper surface of the fixed block 120 of the stage 100 by a heavy load carrying unit (not shown) such as a ceiling crane or a stacker, wherein the side of the magnetic circuit 600 is positioned in the positioning block. The magnetic circuit 600 is aligned with the vertical portion 134 of the 130 at a predetermined position of the fixing block 130.

자기회로(600)를 스테이지(100)에 로딩시킨 후에는 측정부(500)가 스테이 지(100) 상에서 X,Y,Z축 방향으로 이동하여 스테이지(100)에 로딩된 자기회로(600)의 위치 및 크기를 실측하고, 실측된 데이터를 토대로 자기회로(600)에서 발생하는 자속밀도 및 자계를 측정하고 측정된 결과를 출력하게 된다.After the magnetic circuit 600 is loaded on the stage 100, the measurement unit 500 moves on the stage 100 in the X, Y, and Z directions to move the magnetic circuit 600 of the magnetic circuit 600 loaded on the stage 100. The position and size are measured, and the magnetic flux density and magnetic field generated in the magnetic circuit 600 are measured based on the measured data, and the measured results are output.

스테이지(100) 상에 위치하는 자기회로(600)의 위치와 크기를 실측하는 단계는, 상기 스테이지(100) 상에 로딩된 자기회로(600)의 위치 및 크기를 실측하기 위해 수평수직이동부(700)는 측정부(500)의 레이저 변위센서에서 발사된 레이저빔 포인트가 자기회로(600)의 원점에 위치할 수 있도록 X축 방향과 Y축 방향으로 이동하게 된다. 여기서 자기회로의 원점이라 함은 레이저 변위센서나 가우스 미터(520)가 자기회로(600)를 측정하기 위한 출발점이다.The step of measuring the position and size of the magnetic circuit 600 located on the stage 100 may include a horizontal vertical moving unit (H) to measure the position and size of the magnetic circuit 600 loaded on the stage 100. 700 is moved in the X-axis direction and Y-axis direction so that the laser beam point emitted from the laser displacement sensor of the measuring unit 500 can be located at the origin of the magnetic circuit 600. Here, the origin of the magnetic circuit is a starting point for the laser displacement sensor or the Gaussian meter 520 to measure the magnetic circuit 600.

즉, 갠트리(210)를 스테이지(100) 상에서 X축 방향으로 수평 이동시키기 위해 리니어 구동 유닛(220)이 작동하게 되는 바, 상기 갠트리(210)를 지지하는 X축 이동블록(224)이 스테이지(100) 상에서 X축 방향으로 설치된 제 1 가이드 레일(222)을 따라 소정 거리만큼 갠트리(210)를 수평 이동시켜 측정부(500)의 레이저 변위센서의 포인트를 자기회로(600)의 원점으로부터 X축 방향으로 접근시킨다.That is, since the linear drive unit 220 is operated to horizontally move the gantry 210 in the X-axis direction on the stage 100, the X-axis moving block 224 supporting the gantry 210 is a stage ( The gantry 210 is horizontally moved by a predetermined distance along the first guide rail 222 installed in the X-axis direction on the X-axis direction to move the point of the laser displacement sensor of the measuring unit 500 from the origin of the magnetic circuit 600. Approach in direction.

상기와 같은 상태에서, 갠트리(210)에 설치된 Y축 이동유닛(300)이 작동하여 레이저 변위센서의 포인트를 Y축 방향으로 접근시켜 자기회로(600)의 원점과 레이저 변위센서의 포인트를 일치시키는데, 이를 위해 제 1 회전 구동부(310)의 제 1 서버 모터(314)가 회전하여 제 1 스크류 축(312)을 회전시킨다.In the above state, the Y-axis moving unit 300 installed in the gantry 210 operates to approach the point of the laser displacement sensor in the Y-axis direction to match the origin of the magnetic circuit 600 with the point of the laser displacement sensor. To this end, the first server motor 314 of the first rotary drive 310 rotates to rotate the first screw shaft 312.

상기 제 1 스크류 축(312)이 회전되면 상기 제 1 스크류 축(312)과 치합되고 갠트리(210)의 수평보(214)에 형성된 제 2 가이드 레일(330)에 취부된 Y축 이동블 록(320)이 레이저 변위센서를 Y축 방향으로 수평 이동시켜 자기회로(600)의 원점과 레이저 변위센서의 포인트를 일치시킨다.When the first screw shaft 312 rotates, the Y-axis moving block attached to the first screw shaft 312 and mounted on the second guide rail 330 formed on the horizontal beam 214 of the gantry 210 ( 320 moves the laser displacement sensor horizontally in the Y-axis direction so that the origin of the magnetic circuit 600 coincides with the point of the laser displacement sensor.

상기와 같이 자기회로(600)의 원점과 레이저 변위센서의 포인트가 일치되면, Y축 이동블록(320)에 설치된 Z축 이동유닛(400)이 작동하여 레이저 변위센서가 자기회로(600)의 상면으로부터 소정 높이에 위치될 수 있도록 작동하게 되는 바, 제 2 회전 구동부(410)의 제 2 서버 모터(414)가 회전하여 제 2 스크류 축(412)을 회전시킨다.When the origin of the magnetic circuit 600 coincides with the point of the laser displacement sensor as described above, the Z-axis moving unit 400 installed in the Y-axis moving block 320 operates to operate the laser displacement sensor on the upper surface of the magnetic circuit 600. The second server motor 414 of the second rotary drive unit 410 rotates to rotate the second screw shaft 412.

상기 제 2 스크류 축(412)이 회전되면 상기 제 2 스크류 축(412)과 치합되고, 제 2 가이드 레일(330)과 직교하도록 Y축 이동블록(320)에 고정된 제 3 가이드 레일(420)에 취부된 Z축 이동블록(430)이 레이저 변위센서를 Z축 방향으로 수직 이동시켜 레이저 변위센서를 소정의 높이에 위치시킨다.When the second screw shaft 412 is rotated is meshed with the second screw shaft 412, the third guide rail 420 fixed to the Y-axis moving block 320 to be orthogonal to the second guide rail 330 The Z-axis moving block 430 mounted at the position moves the laser displacement sensor vertically in the Z-axis direction to position the laser displacement sensor at a predetermined height.

상기와 같이 레이저 변위센서가 자기회로(600)의 원점을 찾으면, 상기 레이저 변위센서는 자기회로(600)의 폭과 높이 등과 같은 자기회로(600)의 크기를 실측하기 위해 수평수직이동부(700)가 레이저 변위센서를 스테이지(100) 상에서 X,Y축 방향으로 반복적으로 수평 이동시키는데 이러한 레이저 변위센서의 X,Y축 방향 이동은 레이저 변위센서의 포인트가 자기회로(600)의 종점에 일치할 때까지 반복된다.When the laser displacement sensor finds the origin of the magnetic circuit 600 as described above, the laser displacement sensor 700 moves the horizontal vertical moving part 700 to measure the size of the magnetic circuit 600 such as the width and the height of the magnetic circuit 600. ) Repeatedly moves the laser displacement sensor horizontally in the X, Y axis direction on the stage 100. The movement of the laser displacement sensor in the X, Y axis direction may coincide with the end point of the magnetic circuit 600. Is repeated until.

상기와 같이 측정부(500)의 레이저 변위센서에 의해 스테이지(100) 상에 로딩된 자기회로(600)의 위치 및 크기가 실측되면, 가우스 미터(520)가 자기회로(600)의 둘레를 돌며 자속밀도와 자계를 측정하게 된다. When the position and size of the magnetic circuit 600 loaded on the stage 100 are measured by the laser displacement sensor of the measuring unit 500 as described above, the Gaussian meter 520 rotates around the magnetic circuit 600. Magnetic flux density and magnetic field are measured.

상기 자기회로(600)의 자속밀도와 자계를 측정하는 단계는, 자기회로 실측단계에서 구해진 자기회로(600)의 원점에 가우스 미터(520)의 프로브(521)가 위치할 수 있도록 수평수직이동부(700)가 가우스 미터(520)를 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시킨다.Measuring the magnetic flux density and the magnetic field of the magnetic circuit 600, the horizontal vertical moving unit so that the probe 521 of the Gauss meter 520 can be located at the origin of the magnetic circuit 600 obtained in the magnetic circuit measurement step 700 moves the Gauss meter 520 in the X-axis direction and the Y-axis direction.

그리고, 상기 가우스 미터(520)의 프로브(521)가 자기회로(600)의 원점에 위치하면 실측된 자기회로(600)의 둘레를 가우스 미터(520)가 돌면서 자기회로(600)의 자속밀도와 자계를 측정할 수 있도록 상기 수평수직이동부(700)가 측정부(500)의 가우스 미터(520)를 X축 방향과 Y축 방향으로 이동시키고, 가우스 미터(520)에서 측정된 자속밀도와 자계의 데이터는 레이저 변위센서에서 실측된 데이터와 연계하여 측정자에게 시각적으로 출력된다. 예를 들어, 상기 자기회로 측정장치에서 측정된 결과는 그래프 또는 자기회로의 3D 그래픽 상에 자속밀도와 자계가 동시에 표시될 수 있다.When the probe 521 of the Gauss meter 520 is located at the origin of the magnetic circuit 600, the Gauss meter 520 rotates around the measured magnetic circuit 600, and the magnetic flux density of the magnetic circuit 600 is increased. The horizontal vertical moving unit 700 moves the Gauss meter 520 of the measuring unit 500 in the X-axis direction and the Y-axis direction so that the magnetic field can be measured, and the magnetic flux density and magnetic field measured by the Gauss meter 520. The data of is visually output to the measurer in conjunction with the data measured by the laser displacement sensor. For example, the magnetic flux density and the magnetic field may be simultaneously displayed on the graph or 3D graphic of the magnetic circuit.

이때 상기 가우스 미터(520)의 프로브(521)가 자기회로(600)의 측정면과 직각 배치되지 않아 자속밀도와 자계의 측정이 불가하면 회전 모터(910)를 작동시켜 가우스 미터(520)를 회전시킴에 따라 자기회로(600)의 측정면에 대한 프로브(521)의 배치가 조정되어 자기회로(600)의 자속밀도와 자계를 측정 가능하게 된다.At this time, if the probe 521 of the gauss meter 520 is not disposed at right angles to the measuring surface of the magnetic circuit 600, and thus measurement of magnetic flux density and magnetic field is impossible, the rotary motor 910 is operated to rotate the gauss meter 520. As a result, the arrangement of the probe 521 with respect to the measurement surface of the magnetic circuit 600 is adjusted to measure the magnetic flux density and the magnetic field of the magnetic circuit 600.

한편, 본 발명은 상술한 실시예로서만 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.On the other hand, the present invention is not limited only to the above-described embodiment, but can be modified and modified within the scope not departing from the gist of the present invention, it should be seen that such modifications and variations are included in the technical idea of the present invention. do.

예를 들어, 상기 측정부의 레이저 변위센서 및 가우스 미터는 스테이지 상에 로딩된 자기회로의 전구간을 돌며 측정할 수도 있고, 미리 설정된 구간만을 측정할 수도 있을 것이다.For example, the laser displacement sensor and the Gauss meter of the measurement unit may measure the entire period of the magnetic circuit loaded on the stage, or may measure only a predetermined section.

또한 경우에 따라서는, 스테이지 상에 복수의 자기회로가 로딩되고, 각각의 자기회로에 대한 위치 및 크기를 레이저 변위센서가 실측하고, 실측된 데이터를 토대로 각각의 자속밀도 및 자계를 측정할 수도 있을 것이다.In some cases, a plurality of magnetic circuits may be loaded on the stage, the laser displacement sensor may measure the position and size of each magnetic circuit, and each magnetic flux density and magnetic field may be measured based on the measured data. will be.

그리고, 스테이지 상에 로딩된 자기회로의 실측 데이터와 자속밀도 및 자계의 데이터를 기본 데이터와 비교하고, 그 비교 데이터를 통해 측정된 자기회로의 이상 유무를 파악할 수도 있을 것이다.The measured data of the magnetic circuit loaded on the stage, the magnetic flux density and the magnetic field data may be compared with the basic data, and the abnormality of the measured magnetic circuit may be determined through the comparison data.

도 1은 본 발명에 따른 자기회로 측정장치를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 자기회로 측정장치의 요부를 나타낸 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing the main part of the magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 자기회로 측정장치를 나타낸 정면도이다.3 is a front view showing a magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 자기회로 측정장치를 나타낸 좌측면도이다.Figure 4 is a left side view of the magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 자기회로 측정장치를 나타낸 평면도이다.5 is a plan view showing a magnetic circuit measuring apparatus according to the present invention.

도 6a 및 6b는 도 4에 표시된 A부의 확대도로, Z축 이동유닛에 설치된 측정부를 나타낸 정면도 및 측면도이다.6A and 6B are enlarged views of a portion A shown in FIG. 4, showing front and side views of a measuring unit installed in the Z-axis moving unit.

도 7은 도 4에 표시된 B부의 부분단면 확대도로, 리니어 구동부를 나타낸다.FIG. 7 is a partial cross-sectional enlarged view of a portion B shown in FIG. 4 and illustrates a linear driving unit. FIG.

도 8은 도 3에 표시된 C부 확대도로, Y축 이동유닛과 Z축 이동유닛의 조립상태를 나타낸다.FIG. 8 is an enlarged view of a portion C shown in FIG. 3, illustrating an assembly state of the Y-axis moving unit and the Z-axis moving unit.

도 9는 Z축 이동유닛에 설치된 측정부의 다른 실시예을 나타낸 측면도이다.9 is a side view showing another embodiment of the measuring unit installed in the Z-axis moving unit.

<도면 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of Symbols for Main Parts of Drawing>

100 : 스테이지 110 : 정반100: stage 110: table

120 : 고정 블록 130 : 위치조절 블록120: fixed block 130: position adjustment block

200 : X축 이동유닛 210 : 갠트리200: X axis moving unit 210: gantry

220 : 리니어 구동유닛 222 : 제 1 가이드 레일220: linear drive unit 222: first guide rail

224 : X축 이동블록 300 : Y축 이동유닛224: X axis moving block 300: Y axis moving unit

310 : 제 1 회전 구동부 320 : Y축 이동블록310: first rotating drive unit 320: Y-axis moving block

330 : 제 2 가이드 레일 400 : Z축 이동유닛330: second guide rail 400: Z-axis moving unit

410 : 제 2 회전 구동부 420 : 제 3 가이드 레일410: second rotary drive unit 420: third guide rail

430 : Z축 이동블록 500 : 측정부430: Z-axis moving block 500: measuring unit

510 : 케이스 520 : 가우스 미터510: Case 520: Gauss Meter

600 : 자기회로 700 : 수평수직이동부600: magnetic circuit 700: horizontal vertical moving part

800: 승하강 수단 900: 회전 수단800: lifting means 900: rotating means

910: 회전 모터 920: 회전축910: rotary motor 920: rotary shaft

921: 구동기어 923: 피동기어921: drive gear 923: driven gear

Claims (7)

자기회로가 위치하는 스테이지와;A stage in which the magnetic circuit is located; 상기 스테이지 상에 설치되고 스테이지 상에서 X축 방향으로 이동하는 X축 이동유닛과, 상기 X축 이동유닛에 설치되고 Y축 방향으로 이동하는 Y축 이동유닛과, 상기 Y축 이동유닛에 설치되고 Z축 방향으로 이동하는 Z축 이동유닛을 포함하여 상기 스테이지 상에서 X,Y,Z축 방향으로 이동하는 수평수직이동부와;An X-axis moving unit installed on the stage and moving in the X-axis direction on the stage, a Y-axis moving unit installed in the X-axis moving unit and moving in the Y-axis direction, and mounted on the Y-axis moving unit and Z-axis A horizontal vertical moving unit including a Z-axis moving unit moving in a direction, moving in the X, Y, and Z-axis directions; 상기 Z축 이동유닛에 설치되고, 상기 자기회로의 자속 밀도 및 자계를 측정하며, 프로브 홀더에 둘러싸여서 프로브 홀더와 일체로 회전되는 가우스 미터와;A Gaussian meter mounted on the Z-axis moving unit and measuring the magnetic flux density and the magnetic field of the magnetic circuit and surrounded by the probe holder and integrally rotated with the probe holder; 상기 Z축 이동유닛에 설치되어 상기 프로브 홀더 및 가우스 미터를 일체로 회전시키는 회전수단을 포함하고,It is installed on the Z-axis moving unit includes a rotation means for integrally rotating the probe holder and the Gaussian meter, 상기 회전수단은 회전모터를 포함하며, 상기 프로브 홀더는 상기 회전모터의 회전축에 연동되어 회전되는 것을 특징으로 하는 자기회로 측정장치.The rotating means includes a rotating motor, the probe holder is a magnetic circuit measuring device, characterized in that rotated in conjunction with the rotating shaft of the rotating motor. 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 프로브 홀더의 외주연에는 상기 회전모터의 회전력을 전달하는 접촉부가 구비되는 것을 특징으로 하는 자기회로 측정장치.Magnetic circuit measuring apparatus characterized in that the outer periphery of the probe holder is provided with a contact portion for transmitting the rotational force of the rotary motor. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 회전모터의 회전축에는 구동기어가 설치되고,A drive gear is installed on the rotating shaft of the rotating motor, 상기 접촉부는 상기 구동기어에 치합되는 피동기어인 것을 특징으로 하는 자기회로 측정장치.And the contact portion is a driven gear meshed with the drive gear. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 회전모터의 회전축에는 구동폴리가 설치되고,The drive pulley is installed on the rotary shaft of the rotary motor, 상기 접촉부는 상기 구동폴리와 벨트로 연결되는 피동폴리인 것을 특징으로 하는 자기회로 측정장치.And the contact portion is a driven pulley connected to the drive pulley and a belt. 청구항 1, 청구항 4 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 가우스 미터는 자기회로에서 X,Y,Z의 백터방향으로 발생하는 자속밀도 및 자계를 측정하는 3축 가우스 미터인 것을 특징으로 하는 자기회로 측정장치.The Gaussian meter is a magnetic circuit measuring device, characterized in that the three-axis Gaussian meter for measuring the magnetic flux density and magnetic field generated in the vector, X, Y, Z direction in the magnetic circuit.
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