KR100934834B1 - 도포액 도포장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 외부의 노즐몸체와 내부의 노즐몸체의 두 부분으로 구분되며, 상기 외부 및 내부의 노즐몸체는 각각 외부의 제 1 노즐몸체와 제 2 노즐몸체 및 내부의 제 1 노즐몸체와 제 2 노즐몸체의 두 부분으로 구분되는 노즐몸체, 상기 외부의 노즐몸체와 내부의 노즐몸체를 연결시키며, 상기 내부의 제 1 노즐몸체와 제 2 노즐몸체 사이의 간격을 조절하는 다수개의 볼트, 상기 외부의 노즐몸체의 상, 하부로 볼트가 결합되는 상기 내부의 노즐몸체 부분의 소정영역에 형성된 홈, 상기 각각의 볼트가 위치하는 내부의 노즐몸체와 외부의 노즐몸체 사이에 삽입된 스프링과 같은 탄성체, 상기 노즐몸체의 상부에 형성되어 도포액이 유입되는 유입구 및 상기 노즐몸체의 하부에 형성되어 상기 도포액을 피처리물 표면에 도포하는 토출구로 구성되는 슬릿노즐; 및상기 슬릿노즐을 소정 방향으로 이동하기 위한 구동부를 포함하는 도포액 도포장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 피처리물을 안착하기 위한 테이블을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 도포액 도포장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 피처리물은 유리기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 도포액 도포장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 도포액은 포토레지스트와 같은 감광액, 현상액 또는 컬러필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 도포액 도포장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 슬릿노즐의 외부의 노즐몸체와 내부의 노즐몸체는 각각 좌우 두 부분의 외부와 내부의 제 1 노즐몸체 및 외부와 내부의 제 2 노즐몸체로 구성되는 것을 특징으로 하는 도포액 도포장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 외부의 노즐몸체에 상하로 적어도 2 부분에 볼트가 전후방향으로 다수개 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포액 도포장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 탄성체는 볼트가 전, 후진하는 동안 내부의 노즐몸체와 외부의 노즐몸체 사이의 간격을 일정하게 유지하도록 하는 한편, 내부의 제 1 노즐몸체와 제 2 노즐몸체 사이의 갭을 조정하는 것을 특징으로 하는 도포액 도포장치.
- 제 1 기판과 제 2 기판을 제공하는 단계;외부의 노즐몸체와 내부의 노즐몸체의 두 부분으로 구분되며, 상기 외부 및 내부의 노즐몸체는 각각 외부의 제 1 노즐몸체와 제 2 노즐몸체 및 내부의 제 1 노즐몸체와 제 2 노즐몸체의 두 부분으로 구분되는 노즐몸체, 상기 외부의 노즐몸체와 내부의 노즐몸체를 연결시키며, 상기 내부의 제 1 노즐몸체와 제 2 노즐몸체 사이의 간격을 조절하는 다수개의 볼트, 상기 외부의 노즐몸체의 상, 하부로 볼트가 결합되는 상기 내부의 노즐몸체 부분의 소정영역에 형성된 홈, 상기 각각의 볼트가 위치하는 내부의 노즐몸체와 외부의 노즐몸체 사이에 삽입된 스프링과 같은 탄성체, 상기 노즐몸체의 상부에 형성되어 도포액이 유입되는 유입구 및 상기 노즐몸체의 하부에 형성되어 상기 도포액을 도포하는 토출구로 구성되는 슬릿노즐을 이용하여 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판 표면에 도포액을 도포하는 단계;포토리소그래피공정을 이용하여 상기 도포액이 도포된 제 1 기판 또는 제 2 기판에 각각 박막 트랜지스터 패턴 및 컬러필터 패턴을 형성하는 단계; 및상기 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 도포액은 포토레지스트와 같은 감광액, 현상액 또는 컬러필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 슬릿노즐의 외부의 노즐몸체와 내부의 노즐몸체는 각각 좌우 두 부분의 외부와 내부의 제 1 노즐몸체 및 외부와 내부의 제 2 노즐몸체로 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 12 항에 있어서, 상기 탄성체는 볼트가 전, 후진하는 동안 내부의 노즐몸체와 외부의 노즐몸체 사이의 간격을 일정하게 유지하도록 하는 한편, 내부의 제 1 노즐몸체와 제 2 노즐몸체 사이의 갭을 조정하여 상기 기판들 표면에 도포액을 도포하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 제 1 기판과 제 2 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
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