KR100932119B1 - Slit-door valve of semiconductor manufacturing equipment - Google Patents

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KR100932119B1
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slit
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slit door
valve
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KR1020090019436A
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최정호
장정환
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(주)선린
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Abstract

PURPOSE: A slit-door valve of semiconductor manufacturing equipment is provided to maximize the operation efficiency of the apparatus by applying an actuator of a dual seal cylinder and increasing a lifetime. CONSTITUTION: In a slit-door valve of semiconductor manufacturing equipment, an actuator is built in a valve body. A driving part(12) and a shaft are interlinked with the actuator to move a slit door. A driving rack gear(18) is connected with a rod(16) of an actuator, and they are operated with together. A fixing rack gear(20) is fixed on a valve body and guides the driving rack gear through the pinion gear(19). The link member is connected between the pinion gear and the shaft and moves the shaft. The guide is formed with a ball bush made of an SUS material.

Description

반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브{Slit-door valve of semiconductor manufacturing equipment}Slit-door valve of semiconductor manufacturing equipment

본 발명은 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 제조시 챔버 간에 웨이퍼를 통과시키기 위한 슬릿을 개폐하는 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a slit door valve of a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, to an apparatus for opening and closing a slit for passing a wafer between chambers during semiconductor manufacturing.

일반적으로 반도체 제조장치는 특수한 분위기에서 공정이 수행되며, 이들 특수한 공정 분위기를 형성하기 위해서 통제나 조절이 쉬운 별도의 작은 공간을 인접하여 형성하고, 이들 공간을 외부와 격리되도록 하므로서 주된 공정이 수행되는 공간의 내부는 항상 균일한 공정 분위기가 유지되도록 하고 있다.In general, a semiconductor manufacturing apparatus performs a process in a special atmosphere, and in order to form a special process atmosphere, a main process is performed by forming separate small spaces that are easy to control or adjust adjacently and isolate these spaces from the outside. The interior of the space is to maintain a uniform process atmosphere at all times.

외부와 격리되게 하면서 공정 진행시 이 작은 공간을 드나드는 웨이퍼의 통로가 마련되며, 이 통로는 통상 공압 엑추에이터에 의해서 개폐가동되는 슬릿 도어에 의해 단속되도록 하고 있다.A passage is provided for the wafer to enter and exit this small space while the process is insulated from the outside, and this passage is normally interrupted by a slit door that is opened and closed by a pneumatic actuator.

예를 들면, 반도체 제조장치는 진공상태로 공정이 수행되는 프로세스 챔버 외에 이 프로세스 챔버와 인접하여 설치된 기타 챔버를 구비하고 있다.For example, the semiconductor manufacturing apparatus includes a process chamber in which a process is performed in a vacuum state, and other chambers installed adjacent to the process chamber.

즉, 웨이퍼가공 공정이 수행되는 프로세스 챔버, 가공을 위한 웨이퍼를 로드 또는 언로드 하는 로드락 챔버, 그리고 프로세스 챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어 웨이퍼를 이송시키는 트랜스퍼 챔버 등으로 되어 있다.That is, a process chamber in which a wafer processing process is performed, a load lock chamber for loading or unloading a wafer for processing, and a transfer chamber installed between the process chamber and the load lock chamber to transfer wafers.

또한, 상술한 각 챔버에서 웨이퍼의 가공공정 진행될 때에는 각 공정이 진행되는 프로세스 챔버 등에서 웨이퍼 가공공정 진행에 따른 열이 외부로 전달된다.In addition, when the wafer processing process is performed in each of the above-described chambers, heat in accordance with the progress of the wafer processing process is transferred to the outside in a process chamber in which each process is performed.

이러한 열은 각 챔버에 인접한 다른 장비에 영향을 미치게 된다.This heat will affect other equipment adjacent to each chamber.

그리고, 상술한 각각의 챔버들 사이에는 웨이퍼를 통과시키기 위한 슬릿이 형성되어 있고, 슬릿에는 슬릿을 개폐하는 슬릿 도어와 이 슬릿 도어를 작동시키는 슬릿 도어 밸브가 설치되어 있어서 슬릿의 개폐가 이루어지도록 되어 있다.A slit for passing the wafer is formed between the above-mentioned chambers, and a slit door for opening and closing the slit and a slit door valve for operating the slit door are provided in the slit to open and close the slit. have.

상기 슬릿 도어 밸브는 주로 공압에 의해 작동되며, 슬릿 도어측에 연결되는 샤프트, 이 샤프트를 동작시키는 액추에이터, 이 액추에이터를 수용하는 밸브 바디 등을 포함하는 형태로 이루어져 있다. The slit door valve is mainly operated by pneumatic pressure, and consists of a shaft connected to the slit door side, an actuator for operating the shaft, a valve body for accommodating the actuator and the like.

그리고, 상기 액추에이터의 작동을 위한 동작 압력을 제공하는 동작 압력원이 반도체 제조장치에 마련된다. In addition, an operating pressure source for providing an operating pressure for operating the actuator is provided in the semiconductor manufacturing apparatus.

이러한 슬릿 도어 밸브는 공정 진행 중 챔버와 챔버 사이의 압력이 맞추어진 상태에서 일반적으로 동작한다.Such slit door valves generally operate in a state where the pressure between the chamber and the chamber is adjusted during the process.

한편, 상술한 슬릿 도어 밸브는 각 챔버와 챔버 사이에 마련되는 것으로서, 각 챔버의 외부로 배출되는 열에 무방비 상태로 방치되어 있고, 이로 인해 각 챔버에서 발생되는 열에 영향을 받게 되므로서, 슬릿 도어 밸브가 오작동되는 경우가 종종 일어난다. On the other hand, the above-mentioned slit door valve is provided between each chamber and the chamber, and is left unprotected in the heat discharged to the outside of each chamber, thereby being affected by the heat generated in each chamber, the slit door valve Occasionally a malfunction occurs.

예를 들면, 기존의 슬릿 도어 밸브의 경우 고온용 히터 사용과 공정 온도의 영향으로 밸브 바디와 샤프트 부분에 휨 현상이 발생하거나, 또 샤프트 부분이 알루미늄 소재로 이루어진 관계로 장기간 사용 및 공정 온도의 영향으로 변형이 발생하게 되고, 이로 인해 밸브 업/다운 동작시 샤프트 끼임 현상으로 작동 불량이 발생하면서 설비의 운용이 불가능하게 되는 문제가 있다. For example, in the case of the conventional slit door valve, bending occurs in the valve body and the shaft part due to the use of a high temperature heater and the process temperature, or the long-term use and the influence of the process temperature because the shaft part is made of aluminum. Deformation occurs, which causes a problem in that the operation of the equipment is impossible due to a malfunction caused by the shaft pinch phenomenon during the valve up / down operation.

이렇게 슬릿 도어 밸브의 작동 불량이 발생하는 경우 슬릿 도어가 챔버를 완전히 밀폐시키지 못하게 되면서 챔버 및 각 챔버 간의 압력 차이가 발생하게 되고, 이때의 압력차로 인하여 챔버 내부에 위치한 웨이퍼의 쏠림과 파손, 그리고 급작스런 진공상태의 훼손으로 인한 웨이퍼의 손상 및 진공펌프의 파손 등이 발생할 수 있다.When the slit door valve malfunctions, the slit door does not completely seal the chamber, and a pressure difference occurs between the chamber and each chamber. Damage to the wafer and damage to the vacuum pump may occur due to damage in the vacuum state.

따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 밸브 바디의 샤프트에 볼 부시 타입의 가이드 수단을 채용하여 샤프트의 마모성 강화와 우수한 동작 성능을 확보할 수 있는 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브를 제공하는데 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention has been made in view of the above, and a slit door valve of a semiconductor manufacturing facility which adopts a ball bush type guide means in the shaft of the valve body can secure the shaft's wearability and excellent operating performance. The purpose is to provide.

또한, 본 발명은 샤프트 주변을 볼 부시 타입의 가이드 수단으로 보호하여 고온 공정에 대응할 수 있고, 또 샤프트의 슬라이드 기능을 안정적으로 유지시킴으로써, 바디 부분에 휨 현상 발생시에도 구동성에는 전혀 영향을 받지 않도록 한 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브를 제공하는데 다른 목적이 있다. In addition, the present invention protects the periphery of the shaft with a ball bush type guide means to cope with high-temperature processes, and by maintaining the slide function of the shaft stably, so that the driveability is not affected at all even when a bending occurs in the body portion. Another object is to provide a slit door valve in one semiconductor manufacturing facility.

또한, 본 발명은 슬릿 도어의 개폐 작동을 위한 액추에이터의 적용시 듀얼 실 실린더(Dual seal cylinder) 타입을 적용하여 라이프 타임을 증가시킴으로써, 장시간 사용시 효율을 극대화할 수 있는 반도체 제조장비의 슬릿 도어 밸브를 제공하는데 또 다른 목적이 있다. In addition, the present invention increases the life time by applying the dual seal cylinder type when applying the actuator for opening and closing operation of the slit door, the slit door valve of the semiconductor manufacturing equipment that can maximize the efficiency during long time use There is another purpose to provide.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서 제공하는 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브는 밸브 바디와, 상기 밸브 바디에 내장되는 액추에이터와, 상기 액추에이터에 연동되어 동작하면서 슬릿 도어를 이동시키는 전동부 및 샤프트를 포함하며, 상기 샤프트는 가이드 내에 슬라이드 결속되어 상하 동작시 안내를 받을 수 있 도록 된 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the slit door valve of the semiconductor manufacturing equipment provided in the present invention includes a valve body, an actuator embedded in the valve body, and an electric drive unit and a shaft moving the slit door while operating in conjunction with the actuator. And, the shaft is characterized in that the slide is bound in the guide to be guided during the vertical movement.

여기서, 상기 가이드의 경우 SUS 재질의 볼 부시 타입을 적용하는 것이 바람직하고, 상기 액추에이터의 경우에는 듀얼 실 실린더(Dual seal cylinder) 타입을 적용하는 것이 바람직하다. Here, in the case of the guide, it is preferable to apply a ball bush type of SUS material, and in the case of the actuator, it is preferable to apply a dual seal cylinder type.

본 발명에서 제공하는 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브는 다음과 같은 장점을 갖는다. The slit door valve of the semiconductor manufacturing equipment provided by the present invention has the following advantages.

첫째, 밸브 바디의 샤프트 부분에 SUS 재질의 볼 부시 타입의 가이드를 적용함으로써, 내마모성을 강화할 수 있고, 또 고온 공정에 적극 대응할 수 있음은 물론 장기간 사용 및 공정 온도의 영향에도 변형이 일어나지 않으며, 특히 밸브 바디 부분에 휨 등이 발생하는 경우에도 안정적인 구동성을 확보할 수 있다. First, by applying a ball bush type guide made of SUS to the shaft portion of the valve body, it is possible to reinforce the wear resistance and to actively cope with high temperature processes, and also does not cause deformation during long-term use and the influence of the process temperature. Stable driveability can be ensured even when warpage or the like occurs in the valve body portion.

둘째, 듀얼 실 실린더(Dual seal cylinder) 타입의 액추에이터를 적용함으로써, 라이프 타임(Life time)을 증가시킬 수 있고, 결국 장시간 사용시 장비 운용의 효율을 극대화시킬 수 있다. Second, by applying an actuator of a dual seal cylinder type, it is possible to increase the life time, and ultimately maximize the efficiency of equipment operation for a long time use.

셋째, 밸브의 오동작 등 페일(Fail)이 일어날 확률을 줄임으로써, 공정 수율을 증대시킬 수 있는 효과가 있다. Third, by reducing the probability of a failure (fail), such as malfunction of the valve, there is an effect that can increase the process yield.

넷째, 추후 수리시 서스 볼 부시만 교체하는 것으로 대응이 가능하므로, 수리비를 대폭 절감할 수 있는 효과가 있다. Fourth, it is possible to respond by replacing only the bushing bush in the future repair, it is possible to significantly reduce the repair cost.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 도어 밸브를 나타내는 사시도, 정면도 및 측면도이다. 1 to 3 are a perspective view, a front view and a side view showing a slit door valve according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 프로세스 챔버의 슬릿(100)을 개폐하는 슬릿 도어(110)가 마련되고, 상기 슬릿 도어(110)의 하측에는 이 슬릿 도어(110)을 이동시키는 슬릿 도어 밸브가 마련된다. 1 to 3, a slit door 110 for opening and closing the slit 100 of the process chamber is provided, and a slit door for moving the slit door 110 under the slit door 110. A valve is provided.

여기서, 상기 슬릿(100)과 슬릿 도어(110)의 기능 및 형상은 공지의 기술이므로 그 구체적인 설명은 생략한다. Here, since the functions and shapes of the slit 100 and the slit door 110 are well known technologies, detailed descriptions thereof will be omitted.

상기 슬릿 도어 밸브의 밸브 바디(10)는 슬릿(100)과 슬릿 도어(110)가 속해 있는 블럭의 저면부에 설치되고, 상기 밸브 바디(10)측에서 상부로 연장되는 양쪽 2개의 샤프트(13)는 슬릿 도어(110)와 연결된다. The valve body 10 of the slit door valve is installed at the bottom of the block to which the slit 100 and the slit door 110 belong, and both shafts 13 extending upward from the valve body 10 side. ) Is connected to the slit door 110.

이에 따라, 상기 샤프트(13)의 상하 동작에 의해 슬릿 도어(110)는 슬릿(100)을 개폐할 수 있다. Accordingly, the slit door 110 may open and close the slit 100 by the vertical movement of the shaft 13.

상기 밸브 바디(10)의 내부에는 슬릿 도어(110)의 개폐작동을 위해 샤프트(13)를 움직여주는 액추에이터(11)와, 상기 액추에이터(11)로부터 제공되는 동력을 샤프트(13)에 전해주기 위한 전동부(12)가 설치되고, 상기 샤프트(13)의 경우에는 전동부(12)측과 연결되면서 밸브 바디(10)의 상측 공간부, 예를 들면 샤프트 이동을 위해 밸브 바디(10)에 관통 성형한 상측의 공간부를 통해 윗쪽으로 연장되는 구조로 설치되며, 이렇게 설치되는 샤프트(13)에는 밸브 바디(10)의 상단 외측으로 노출된 상태에서 슬릿 도어(110)와 연결된다. An actuator 11 for moving the shaft 13 to open and close the slit door 110 and the power provided from the actuator 11 to the shaft 13 in the valve body 10. Transmission unit 12 is installed, in the case of the shaft 13 is connected to the transmission unit 12 side through the upper space of the valve body 10, for example, through the valve body 10 for the shaft movement It is installed in a structure extending upward through the molded upper space portion, the shaft 13 is installed in this way is connected to the slit door 110 in the state exposed to the outside of the upper end of the valve body (10).

특히, 상기 샤프트(13)는 밸브 바디(10)의 상측 공간부 내에 설치되어 있는 원통형의 가이드(14) 내에 슬라이드 결속되는 형태로 지지되면서 이동시 슬라이드 안내를 받을 수 있도록 되어 있다. In particular, the shaft 13 is supported in the form of being slide-bound in the cylindrical guide 14 installed in the upper space of the valve body 10 to receive the slide guide during movement.

예를 들면, 상기 밸브 바디(10)의 상측 공간부 내에는 가이드(14)가 설치되고, 이렇게 설치되는 가이드(14)는 샤프트(13)의 둘레를 감싸는 형태, 즉 샤프트(13)를 수용하는 형태가 되므로서, 종전과 같이 샤프트가 밸브 본체에 접촉되는 것을 완전히 배제할 수 있고, 또 주변의 고온 환경으로부터 보호될 수 있다. For example, a guide 14 is installed in the upper space portion of the valve body 10, and the guide 14 installed in this way surrounds the circumference of the shaft 13, that is, receives the shaft 13. By being shaped, the shaft can be completely excluded from contacting the valve body as before, and can be protected from the surrounding high temperature environment.

여기서, 상기 가이드(14)는 SUS 재질의 볼 부시로 이루어진 것이 적용될 수 있다. Here, the guide 14 may be made of a ball bush made of SUS material.

따라서, 상기 샤프트(13)는 SUS 재질의 볼 부시로 이루어진 가이드(14) 내에 보호됨과 동시에 슬라이드 안내를 받으면서 상하 동작하게 되므로, 내마모성 향상은 물론 공정 온도에 의한 영향으로부터 벗어나면서 변형이 일어나지 않게 되고, 결국 지속적이고 안정적인 구동성이 확보되면서 슬릿 도어 밸브의 작동 불량을 방지할 수 있게 된다. Therefore, the shaft 13 is protected in the guide 14 made of a SUS ball bush and at the same time operating up and down while receiving a slide guide, so that the wear resistance is improved as well as the deformation does not occur while deviating from the influence of the process temperature, As a result, it is possible to prevent the malfunction of the slit door valve while ensuring a continuous and stable driveability.

또한, 고온 히터에 노출되거나 공정 온도에 의한 영향으로 밸브 바디(10)에 변형이 발생하는 경우, 예를 들면 샤프트(13)가 속해 있는 주변의 밸브 바디(10)에 변형이 발생하는 경우에도 가이드(14)에 의해 샤프트(13)가 안정적으로 보호되면서 지지될 수 있고, 따라서 종전처럼 끼임 현상과 같은 구동 불량이 일어나지 않게 되므로서, 고온의 환경에서 장시간 사용시에도 우수한 구동성을 확보할 수 있다. In addition, when deformation occurs in the valve body 10 due to exposure to a high temperature heater or due to the process temperature, for example, even when deformation occurs in the valve body 10 around which the shaft 13 belongs. 14, the shaft 13 can be supported while being stably protected, and therefore, a driving failure such as a pinching phenomenon does not occur as before, thereby ensuring excellent driveability even when used for a long time in a high temperature environment.

상기 액추에이터(11)는 슬릿 도어(110)의 개폐작동을 위한 동력을 제공하는 부분으로서, 밸브 바디(10)의 내부에 설치되어 전동부(12)를 통해 샤프트(13)를 움직여주는 역할을 한다. The actuator 11 is a part that provides power for the opening and closing operation of the slit door 110, is installed in the valve body 10 to move the shaft 13 through the transmission part 12. .

이를 위하여, 상기 액추에이터(11)는 본체에 해당하는 실린더(15)와, 연결수단인 로드(16)와, 실린더(15)에 내장되면서 로드(16)와 일체 연결되는 피스톤(17)을 포함하는 형태로 구성된다. To this end, the actuator 11 includes a cylinder 15 corresponding to the main body, a rod 16 as a connecting means, and a piston 17 integrally connected with the rod 16 while being embedded in the cylinder 15. Form.

상기 액추에이터(11)는 주로 공압으로 작동하는 것을 적용할 수 있으나 이를 한정하는 것은 아니다. The actuator 11 may be mainly applied to pneumatic operation, but is not limited thereto.

특히, 상기 액추에이터(11)는 듀얼 실 타입의 실린더, 예를 들면 실린더(15)의 내부에서 운동하는 피스톤(17)에 위아래 2개의 실(22a),(22b)을 적용한 듀얼 실 타입의 실린더로 이루어져 있으며, 이에 따라 장시간 사용시에도 그 내구성능이나 작동성능을 지속적으로 유지할 수 있는 등 전체적인 라이프 타임을 증가시킬 수 있는 이점이 있다. In particular, the actuator 11 is a dual seal type cylinder, for example, a dual seal type cylinder in which two seals 22a and 22b are applied to the piston 17 moving inside the cylinder 15. Therefore, there is an advantage that can increase the overall life time, such as to maintain its durability or operating performance even when used for a long time.

상기 전동부(12)는 액추에이터(11)의 동력을 샤프트(13)에 전달하는 부분으로서, 기어 전동방식을 채택하고 있다. The transmission part 12 adopts a gear transmission method as a part for transmitting the power of the actuator 11 to the shaft 13.

예를 들면, 액추에이터(11)의 로드(16)에는 양편에 수직의 치형을 갖는 가동 랙 기어(18)가 연결되고, 이에 대응하여 밸브 바디(10)의 내부 양쪽 벽면쪽에는 가동 랙 기어(18)와 마주보면서 나란한 고정 랙 기어(20)가 설치되며, 이들 랙 기어 사이에는 치합 운동을 통해 랙 기어와 연동되면서 위아래로 움직이는 피니언 기어(19)가 개재된다. For example, a movable rack gear 18 having teeth perpendicular to both sides is connected to the rod 16 of the actuator 11, and correspondingly, movable rack gears 18 on both inner wall surfaces of the valve body 10. ) And side by side fixed rack gear 20 is installed, and between the rack gear is interposed pinion gear 19 moving up and down while interlocking with the rack gear through the engagement movement.

그리고, 상기 피니언 기어(19)와 양쪽의 샤프트(13) 사이에는 양단 핀(23a),(23b) 구조로 결합되는 링크부재(21)가 연결 설치된다. And, between the pinion gear 19 and the shaft 13 on both sides, the link member 21 coupled to the pins 23a, 23b structure at both ends is connected.

이에 따라, 액추에이터(11)의 작동시 가동 랙 기어(18)가 피니언 기어(20)를 끌고 위아래로 움직이면, 링크부재(21)도 함께 아래로 당겨지거나 위로 올려지면서 샤프트(13)가 움직일 수 있고, 결국 슬릿 도어(110)의 개폐가 이루어지게 된다. Accordingly, when the movable rack gear 18 drags the pinion gear 20 and moves up and down when the actuator 11 is operated, the shaft 13 can move while the link member 21 is also pulled down or lifted up together. As a result, opening and closing of the slit door 110 is made.

따라서, 이와 같이 구성된 슬릿 도어 밸브의 작동 상태를 살펴보면 다음과 같다. Therefore, the operation state of the slit door valve configured as described above is as follows.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 도어 밸브의 작동 상태를 정면도이다. Figure 4 is a front view of the operating state of the slit door valve according to an embodiment of the present invention.

도 4에 도시한 바와 같이, 먼저 프로세스 챔버(미도시)의 공정진행에 따라 슬릿 도어(110)가 슬릿 도어 밸브에 의해 프로세스 챔버의 슬릿(100)을 개폐한다. As shown in FIG. 4, first, as the process progresses in the process chamber (not shown), the slit door 110 opens and closes the slit 100 of the process chamber by the slit door valve.

즉, 슬릿 도어 밸브의 액추에이터(11)로 소정 압력의 압력기체가 공급됨에 따라 액추에이터(11)의 로드(16)에 결합된 가동 랙 기어(18)가 승강 또는 하강되면서 밸브 바디(10)의 양편에 마련된 한 쌍의 샤프트(13)가 승강 또는 하강되며, 이에 따라 샤프트(13)의 상단부에 결합되어 있는 슬릿 도어(110)가 프로세스 챔버의 슬릿(100)을 개방 또는 폐쇄하게 된다. That is, as the pressure gas of the predetermined pressure is supplied to the actuator 11 of the slit door valve, the movable rack gear 18 coupled to the rod 16 of the actuator 11 is raised or lowered, and both sides of the valve body 10 are provided. The pair of shafts 13 provided at the lower portion is lifted or lowered, so that the slit door 110 coupled to the upper end of the shaft 13 opens or closes the slit 100 of the process chamber.

이때, 상기 샤프트의 경우 상하 동작시 SUS 재질의 볼 부시로 이루어진 가이드에 의한 안내를 받으면서 동작하게 되므로, 우수한 동작 특성을 보일 수 있고, 또 가이드에 의해 보호를 받기 때문에 공정온도에 의한 영향으로부터 벗어날 수 있으며, 고온용 히터 사용이나 공정온도의 영향으로 밸브 바디가 변형되는 경우에도 전혀 문제없이 제기능을 발휘할 수 있다. In this case, the shaft is operated while being guided by a guide made of a SUS ball bush during the vertical operation, it can exhibit excellent operating characteristics, and can be free from the influence of the process temperature because it is protected by the guide. In addition, even when the valve body is deformed due to the use of a high-temperature heater or the process temperature, it can exhibit proper function without any problem.

즉, SUS 볼 부시 채택으로 마모성 강화 및 밸브 바디 부분에 휨 현상 발생시 종전과 같은 끼임 등의 문제없이 원활하게 작동될 수 있다. That is, by adopting the SUS ball bush can be operated smoothly without problems such as the past when the wear reinforcement and bending occurs in the valve body portion.

또한, 상기 액추에이터의 경우 듀얼 실 타입 실린더 채택으로 장시간 사용하는 경우에도 지속적으로 안정된 작동성능을 발휘할 수 있다. In addition, in the case of the actuator, the dual seal type cylinder may be used to continuously maintain stable performance even when used for a long time.

이상으로 본 발명에 따른 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였다. 그러나, 본 발명이 상술한 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 변경 실시할 수 있을 것이다.In the above, certain preferred embodiments according to the present invention have been illustrated and described. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and a person of ordinary skill in the art may vary without departing from the spirit of the technical idea of the present invention described in the claims below. Will be able to carry out the change.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 도어 밸브를 나타내는 사시도1 is a perspective view showing a slit door valve according to an embodiment of the present invention

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 도어 밸브를 나타내는 정면도Figure 2 is a front view showing a slit door valve according to an embodiment of the present invention

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 도어 밸브를 나타내는 측면도Figure 3 is a side view showing a slit door valve according to an embodiment of the present invention

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 도어 밸브의 작동 상태를 정면도Figure 4 is a front view of the operating state of the slit door valve according to an embodiment of the present invention

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 밸브 바디 11 : 액추에이터10: valve body 11: actuator

12 : 전동부 13 : 샤프트12: electric drive portion 13: shaft

14 : 가이드 15 : 실린더14: guide 15: cylinder

16 : 로드 17 : 피스톤16: rod 17: piston

18 : 가동 랙기어 19 : 피니언 기어18: movable rack gear 19: pinion gear

20 : 고정 랙 기어 21 : 링크부재20: fixed rack gear 21: link member

22a,22b : 실 23a,23b : 핀22a, 22b: Thread 23a, 23b: Pin

Claims (5)

프로세스 챔버의 슬릿 도어를 이동시켜 슬릿을 개폐하는 슬릿 도어 밸브에 있어서, In the slit door valve for moving the slit door of the process chamber to open and close the slit, 밸브 바디(10)와, 상기 밸브 바디(10)에 내장되는 액추에이터(11)와, 상기 액추에이터(11)에 연동되어 동작하면서 슬릿 도어를 이동시키는 전동부(12) 및 샤프트(13)를 포함하며, 상기 샤프트(13)는 상하 동작시 안내를 받을 수 있는 가이드(14) 내에 슬라이드 결속되되, It includes a valve body 10, an actuator 11 embedded in the valve body 10, and the transmission unit 12 and the shaft 13 to move the slit door while operating in conjunction with the actuator 11, The shaft 13 is slide-bound in the guide 14 which can be guided during the vertical movement, 상기 전동부(12)는 액추에이터(11)의 로드(16)에 연결되어 함께 동작하는 가동 랙 기어(18)와, 밸브 바디(10)측에 고정되면서 피니언 기어(19)를 매개로 하여 가동 랙 기어(18)의 운동을 안내하는 고정 랙 기어(20)와, 상기 피니언 기어(19)와 샤프트(13) 사이에 연결되어 샤프트(13)를 움직여주는 링크부재(21)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브. The transmission part 12 is connected to the rod 16 of the actuator 11 and operates together with the movable rack gear 18 and the pinion gear 19 while being fixed to the valve body 10 side by the movable rack. And a fixed rack gear 20 for guiding the movement of the gear 18 and a link member 21 connected between the pinion gear 19 and the shaft 13 to move the shaft 13. A slit door valve of a semiconductor manufacturing facility. 청구항 1에 있어서, 상기 가이드(14)는 SUS 재질의 볼 부시로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브. The slit door valve according to claim 1, wherein the guide (14) is made of a SUS ball bush. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 가이드(14)는 샤프트(13)의 이동을 위해 관통되어 있는 밸브 바디(10)의 공간부 내에서 샤프트(13)의 둘레를 감싸는 형태로 설치되어, 샤프트를 보호하면서 샤프트와 밸브 본체 간의 접촉을 배제시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브. The method of claim 1 or 2, wherein the guide 14 is installed in the form of wrapping around the shaft 13 in the space of the valve body 10 that is penetrated for the movement of the shaft 13, A slit door valve of a semiconductor manufacturing facility, wherein the slit door valve is made to prevent contact between the shaft and the valve body while protecting. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서, 상기 액추에이터(11)는 실린더(15) 및 로드(16)와, 상기 실린더(15)의 내부에서 운동하는 듀얼 실 타입의 피스톤(17)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 슬릿 도어 밸브. The actuator (11) according to claim 1 or 2, characterized in that the actuator (11) comprises a cylinder (15) and a rod (16), and a piston (17) of a dual seal type that moves inside the cylinder (15). Slit door valves for semiconductor manufacturing equipment. 삭제delete
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